JPH01316231A - 情報記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は情報記録媒体用基板を成形型を用いて製造する
方法に関するものである。

［従来の技術］ 従来、情報記録媒体用基板（以下、基板と記す）には、
その情報記録面にプリフォーマットパターンの凹凸が形
成されている。このような凹凸プリフォーマットパター
ンを基板に形成する方法としては、基板が熱可塑性樹脂
からなる場合にはインジェクション法や熱プレス法によ
り成形型の凹凸を転写する方法、又は熱硬化性樹脂、熱
可塑性樹脂からなる透明樹脂板上に光硬化性樹脂組成物
を塗布した後、成形型を密着させて透明樹脂板側から紫
外線の如きエネルギーを付与し、該光硬化性樹脂組成物
を硬化させて成形型のレプリカを透明樹脂板に転写する
。いわゆる２２法による方法、或いは樹脂の七ツマ−又
は溶剤を含んだプレポリマーを１片側あるいは両側に凹
凸プリフォーマットパターンをあらかじめ形成させてな
る成形型を用いて注型成形する方法等が知られている。

上記の注油成形法において使用される注型成形型の製造
方法は、例えば、ガラス板又は金属板の上にフォトレジ
ストの薄膜を形成したのち、所定の仕様のプリフォーマ
ットパターンをレーザーカッティングを行って形成した
後、エツチングを行ない、残存するフォトレジストを除
去してプリフォーマットパターンを形成する方法、又は
ガラス板にフォトリソ工程により金属のバターニングを
施す方法により行なわれている。

この様にして得られた注型成形型にスペーサを介して平
滑なガラス板を対向して配設し、注型成形用装置を組み
立てる。この注型成形用装置に液状樹脂を注入し、熱又
は光により液状樹脂を硬化させた後、型から離型し基板
を得ている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記の従来の基板の製造方法においては
、基板形成材料を成形した後、成形型から成形された基
板形成材料を離型する際に、応力が基板形成材料に不均
一に加わるために、得られる基板の表面に形成される凹
凸プリフォーマウドパターンに欠陥が生ずるという欠点
かあった。

本発明は、この様な従来技術の欠点を改善するためにな
されたものであり、成形型を用いて基板形成材料を成形
後、超音波振動を使用して離型することにより、表面に
形成される凹凸プリフォーマットパターンに欠陥がほと
んど生ずることがない基板の製造方法を提供することを
目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 即ち、本発明は、凹凸プリフォーマットを有する基板を
製造する方法において、基板形成材料を、該基板形成材
料と異なる材質の材料で形成された凹凸プリフォーマッ
トパターンの型面を有する成形型を用いて成形後、超音
波振動を使用して基板形成材料を成形型からＩａ型せし
めることを特徴とする基板の製造方法である。

本発明においては、超音波振動を使用して基板形成材料
を成形型から離型せしめるために、基板形成材料と、凹
凸プリフォーマットパターンの型面を有する成形型とは
異なる材質の材料で形成されていることが望ましい。

基板形成材料としては、通常の基板の材料として用いら
れているものであれば如何なるもの使用することができ
るが、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ
る。

凹凸プリフォーマットパターンの型面を有する成形型の
材料としては１例えば、ガラス、ニッケル、鉄等が用い
られる。

また、超音波振動は、成形後、成形された基板形成材料
と成形型とに与えるが、その方法は成形型に超音波振動
子を密着させ、振動子の振動を成形型から基板へ伝える
ことにより行なうことができる。

［作用］ 本発明の基板の製造方法は、凹凸プリフォーマットを有
する情報記録媒体用基板を製造する方法において、基板
形成材料を、該基板形成材料と異なる材質の材料て形成
された凹凸プリフォーマットパターンの型面を有する成
形型を用いて成形後、成形型から基板形成材料を離型す
る際、成形型と基板形成材料の両方に超音波振動を加え
ることにより、成形型と基板形成材料の弾性率及び形状
の違いからそれぞれに発生する共振周波数が異なる。そ
のため、離型のための応力が成形型と基板形成材料の接
触面の全てにおいて同時に均一に発生するために基板上
に形成される凹凸プリフォーマットパターン形状に欠陥
か生じることがなくｆａ型を行なうことがてきる。

［実施例］ 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。

実施例１ 第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の特徴を最もよく表わす
基板の製造方法を示す工程図である。図はいずれも断面
図である。以下、基板の製造工程を追って説明する。

まず、第１図（ａ）において、鏡面を有する厚さ６■の
ガラス板ｌの上に真空蒸着法により厚さ３０００人のク
ロム膜を形成した。その上にポジ型フォトレジストをス
ピンコード法により厚み１０００人となるように塗布し
た。次に、プリフォーマットの溝巾と同じ【口で、フォ
トレジスト下面のクロム膜か露出てきるように、フォト
マスクを介して紫外線で露光後、現像を行った。次に、
プリフォーマットの溝面が露出したクロム膜を６規定塩
酸でエツチングしてクロム膜を溶解し、十分に洗浄した
のち乾燥した０次に、残存フすトレジストを酸素プラズ
マ灰化法により灰化除去し、パターニングされたクロム
パターン２からなるプリフォーマット溝を形成したガラ
ス板を得た。これを注型用型とした。

一方、前記注型用型と同じ大きさの鏡面を有する厚み６
■のガラス板４を対向させ、スペーサ３を介して設置し
、注型成形装置を作成した。（第１図（ｂ）） 該注型成形装置に液状樹脂として、以下の配合組成の樹
脂を注入し、１２０　”Ｃ，１０時間重合を行なった。

（配合組成） メタクリル酸メチル　　　　　　　　７０重量部メタク
リル酸ターシャリブチル　　　２５重量部ポリエチレン
グリコール ジメタクリレート（分子量６ｚｏ）ｓ重量部重合終了後
、超音波振動子６を接合し、　１０〜１００Ｋ）ｌｚの
超音波振動を樹脂が型から剥離するまで加え、ｇｉ型を
行ない（第１図（ｃ）　）　、光カード用基板７を得た
。（第１図（ｄ）） 得られた光カート用基板上に形成された凹凸プリフォー
マットパターン形状には欠陥か認められなかった。

実施例２ 第２図（ａ）、（ｂ）は本発明の基板の製造方法の他の
実施例を示す工程図である。第２図（ａ）において、８
はその上面にプリフォーマットパターンの凹凸が形成さ
れている成形型であり、該成形型の上面に紫外線硬化性
樹脂がｌＯ〜ｌＯ昨朧の厚さに塗布された紫外線硬化性
樹脂層９が形成されている。この紫外線硬化性樹脂とし
てはアクリル樹脂又はポリエステル樹脂のモノマー又は
オリゴマー等が好ましいが、紫外線を照射する前は流動
するため、成形型の周辺部には、スペーサ３が配設され
ている。紫外線硬化性樹脂層９の上にはアクリル樹脂、
ポリカーボネート樹脂等の厚さ０．４ｍｍ程度の厚さの
透明樹脂基板ｌＯを密着させる。

この状態で紫外線ランプ１１を用いて１強い紫外線を照
射し、透明樹脂基板ＩＯを通して紫外線硬化性樹脂を硬
化させる。硬化後、超音波振動子６にて、ｌＯ〜１００
ＫＨｚの超音波振動を紫外線硬化性樹脂が成形型から剥
離するまで加え、離型を行ない第２図（ｂ）に示される
透明樹脂基板１ｏの上に紫外線硬化性樹脂層９の凹凸プ
リフォーマットパターンが形成された基板を得た。

得られた基板上に形成された凹凸プリフォーマットパタ
ーン形状には欠陥が認められなかった。

［発明の効果］ 以上説明したように１本発明の基板の製造方法によれば
、表面に形成される凹凸プリフォーマットパターンに欠
陥がほとんど生ずることがない基板を得ることができる
。

また、超音波振動により離型な行なうために、従来、離
型の際のハンドリングや局部的な応力により、成形型に
不備が生ずることがあったが、本発明に方法を実施する
ことにより、それらがなくなり、成形型の耐久性が向上
した。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施例１の基板の製造
方法を示す工程図および第２図（ａ）、（ｂ）は実施例
２の基板の製造方法を示す工程図である。 １．４・・・ガラス板　　　２・・・クロムパターン３
・・・スペーサ　　　　　５・・・液状樹脂６・・・超
音波振動子　　　７・・・光カード用基板８・・・成形
型 ９・・・紫外線硬化性樹脂層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 凹凸プリフォーマットを有する情報記録媒体用基板を製
   造する方法において、基板形成材料を、該基板形成材料
   と異なる材質の材料で形成された凹凸プリフォーマット
   パターンの型面を有する成形型を用いて成形後、超音波
   振動を使用して基板形成材料を成形型から離型せしめる
   ことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。