JPWO2009082003A1 - 電磁バンドギャップ素子及びそれを用いたアンテナ並びにフィルタ - Google Patents

電磁バンドギャップ素子及びそれを用いたアンテナ並びにフィルタ Download PDF

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Abstract

周期配列された導体片102、導体片102に対応して周期配列された開口部104を有する導体プレーン103、導体片102と導体プレーン103の間に配置された誘電体108を具備する。また導体プレーン103の開口部104内に島状電極105と平面型インダクタンス要素106を配置し、島状電極105と導体片102を導体柱107により接続し、島状電極105と導体プレーン103を平面型インダクタンス要素106を介して接続する。

Description

本発明は、特性の周波数帯において表面波の伝播抑制や電磁波の同相反射等を可能とする電磁バンドギャップ(electromagnetic band gap)素子及びそれを用いたアンテナ並びにフィルタに関するものである。特に、EBG構造の一形態である高インピーダンス表面(high impedance surface)に関するものである。
近年の技術の発展に伴い、電磁バンドギャップ(以下、EBGという)構造が開発されており、例えば、高周波回路からの不要電磁放射による回路間の電磁干渉を防ぐ手段として提案されている。EBG構造は、広義には、誘電体または導体が2次元的あるいは3次元的に周期構造をなし、特定周波数帯の電磁波の2次元あるいは3次元方向の伝播を抑制、または大きく減衰させる構造をいう。
EBG構造の一形態として、高インピーダンス表面(以下、HISという)が特許文献1等に開示されている。その重要な特性として、表面波(表面電流)の抑制、電磁波の同相反射等がある。
図1は従来のHIS構造を有する素子を示す図である。図1(a)は特許文献1のFIG.2aに記載されているHISの断面図を、図1(b)は特許文献1のFIG.2bに記載されているHISの上面図を、図1(c)は特許文献2のFIG.3aに記載されているHISの上面図をそれぞれ示す。
HIS 1は図1(a)に示すように導体プレーン3上に導体片2と導体柱7により構成される画鋲状の導体要素4が周期的に配置され、各導体要素4が導体プレーン3と電気的に接続された構造をなしている。導体片2の形状としては、図1(b)に示すような正六角形や、図1(c)に示すような正方形のもの等が提案されている。
図2は特許文献1のFIG.1に記載されている従来のHISの等価回路図を示す。図1(a)〜図1(c)のHISは、図2に示すように隣接する画鋲状導体間の直列容量Cと、2つ画鋲状導体と導体プレーンから形成される並列インダクタンスLとが2次元的に配列された分布定数回路と考えることができる。
並列インダクタンスLは主として導体柱7により形成され、その大きさは導体柱7の長さに依存する。一方、直列容量Cは隣接する導体片間に形成され、隣接する導体片間の距離及び導体片の大きさに依存する。HISは並列インダクタンスLと直列容量Cからなる共振回路の共振周波数付近で、インピーダンスが高くなることにより表面電流の伝播が抑制されることが特許文献1に記載されている。また、伝播が抑制される帯域幅(バンドギャップ帯域幅)が直列容量Cの逆数に比例することが特許文献1に記載されている。
図2に示すように直列容量Cと並列インダクタンスLの積の値を保ちながら導体片2を小さくすることにより、バンドギャップの中心周波数を変えずにHISの占有する面積を小さくすることが可能となる。
更に、バンドギャップ帯域幅は直列容量Cの逆数に比例することから、直列容量Cと並列インダクタンスLの積の値を保ちながら、並列インダクタンスLを増やすことによりバンドギャップ帯域幅を広くすることが可能となる。
並列インダクタンスLを増やす方法はいくつか提案されている。例えば、特許文献3のFIG.13や特許文献4の図17に記載の方法では、図3(a)に示すように導体片2と導体プレーン3間の誘電体板を2層構造(第1誘電体板18と第2誘電体板28)とし、下層の第2誘電体板28上にインダクタンス要素6が形成されている。また、導体片2とインダクタンス要素6とが第1導体柱17により接続され、インダクタンス要素6と導体プレーン3間が第2導体柱27により電気的に接続されている。
図3(b)は図3(a)に示す構造の等価回路図である。図3(b)から明らかなようにインダクタンス要素6を挿入することにより、並列インダクタンスLを増やしている。インダクタンス要素6としては、例えば、図4(a)に示すスパイラルコイル16や図4(b)に示すミアンダコイル26のほか、弾性表面波共振器、或いはバルク弾性波共振器が挙げられる。
上記EBG構造の適用事例がいくつか知られている。例えば、特許文献1においては、EBG構造のバンドギャップ周波数帯域に含まれる周波数帯を使用したアンテナの反射板としてEBG構造を用いることが記載されている。その場合、表面波がEBG構造中を伝播できなくなるため裏面放射が抑圧され、アンテナ特性の劣化を防止することが記載されている。
特に、逆L型アンテナの反射板として上記EBG構造を用いた場合、表面波抑制の他に、EBG構造に対する電磁波の同相反射を利用できるため、放射効率が向上し、且つ、アンテナエレメントを反射板表面に近接して配置できるため、アンテナの薄型化が可能になることが記載されている。
また、特許文献3においては、表面電流を介した2つのアンテナ間の干渉を防ぐ方法として、グランドとして使用する筐体にEBG構造が用いられている。更に、特許文献5においては筐体の内壁の一部にEBG構造が用いられている。筐体内部の高周波回路に様々な機能を集積化する場合、筐体内に不要電磁放射が発生して、各々の機能間の信号が互いに電磁干渉し、高周波回路全体の特性に悪影響を及ぼすという問題がある。
EBG構造を高周波回路に対向する側の筐体内壁に用いることにより、筐体内の不要電磁放射を防ぎ、筐体の内壁を高周波回路に近接させても高周波回路の特性が変化せず、筐体の小形化を可能としている。
さらに、上記EBG構造を用いて平行平板導波路型EBG構造が構成されることも特許文献6より知られている。平行平板導波路型EBG素子とはある特定の帯域において平行平板導波路内の電磁波伝播を抑制する構造であり、図5は特許文献6に記載の平行平板導波路型EBG構造11を示す。
平行平板導波路型EBG構造11は第1導体プレーン14と図1に示したHIS1により構成されている。第1導体プレーン14とHIS 1は電気的に絶縁されている。またHIS 1の導体片2の周期配列は第1導体プレーン14とHIS 1の導体プレーン3間の導体層に設けられている。さらに各導体片2と導体プレーン3は導体柱7により電気的に接続されている。
平行平板導波路型EBG構造11はその構成単位である単位セル9の周期構造をみなすことができる。
第1導体プレーン14とHIS 1の導体片2が近接した場合、平行平板導波路型EBG構造11の単位セル9当たりの等価回路は図6に示すように伝送線路の中心部に直列共振回路12がシャントされた方式となることが特許文献6より知られている。ここで、図6における容量C1は導体片2と第1導体プレーン14間に形成される容量を、インダクタンスLは導体片2と導体プレーン3間の導体柱7によるインダクタンスを表す。
ここで、HIS 1の場合と異なり、画鋲状導体間の直列容量Cが図6の等価回路に現れないのは、第1導体プレーン14とHIS 1の導体片2が近接することにより、隣接する画鋲状導体間の直列容量Cよりも、導体片2とは第1導体プレーン14間の容量C1の方が支配的となり、画鋲状導体間の直列容量Cは無視できるためである。
平行平板導波路型EBG構造11におけるバンドギャップ周波数帯域は図6に示す直列共振回路12の共振周波数付近で現れること、単位セル9を小型化すると直列共振回路12の共振周波数が高くなるため、ストップバンドは高周波側にシフトすることが特許文献6等に記載されている。
このことは、第1導体プレーン14を設け、さらに導体片2と第1導体プレーン14間の距離を調整することにより、HIS 1単体におけるバンドギャップ周波数帯域とは異なる帯域にバンドギャップを持たせることが可能であることを意味する。
またHIS 1の場合とは異なり、直列容量Cが増加してもバンドギャップは狭帯域化しないことが特許文献7等に記載されている。
平行平板導波路型EBG構造11を用いて、例えば、電子機器内のプリント回路基板(PCB)における電源−グランドプレーンを形成することにより、PCBに実装された能動デバイスのスイッチング動作に伴う電源ノイズを抑制することが可能である。
US6262495 B1号(FIG.1、FIG.2a、FIG.2b) US6483481 B1号(FIG.2a、FIG.3a) US6933895 B2号(FIG.13) 特開2006−253929号公報(図1) 特開2004-22587号公報(図1) US2005/0029632 A1号(FIG.1、2、4)
特許文献1のFIG.2に挙げたHIS 1は、並列インダクタンスLと直列容量Cからなる共振回路の共振周波数付近でバンドギャップが現れ、そのバンドギャップ帯域幅は直列容量Cの逆数に比例する。そのため、直列容量Cと並列インダクタンスLの積の値を保ちながら、並列インダクタンスLを増やすことによりバンドギャップ帯域幅は広くなる。
また、HIS 1の導体柱7を長くすることにより並列インダクタンスLは大きくなり、また導体片2を大きくすることにより直列容量Cは大きくなる。よって、HIS 1の構造でバンドギャップ帯域幅を広くするためには、導体柱7を長くする必要があるため、これに伴いHIS 1が厚くなるという課題がある。
更に、HIS1を薄型に構成し、且つ、特定の周波数でバンドギャップが現れるようにしたい場合には、導体柱7が短くなる分、並列インダクタンスLが小さくなるため、直列容量Cを大きくする必要があり、これに伴い導体片2のサイズが大きくなるという課題があった。
一方、特許文献6のFIG.1に挙げた平行平板導波路型EBG構造11の場合、インダクタンスLと容量C1からなる直列共振回路の共振周波数付近でバンドギャップが現れる。容量C1は導体片2の面積に比例するため、単位セルの小型化に伴い導体片2の面積も減少し、結果として容量C1も減少してしまう。よって、導体片と上側導体プレーン間の誘電体板の誘電率を高くするか板厚を薄くすることにより容量C1の減少分を抑えるか、導体柱7を長くことによりインダクタンスLを大きくする必要がある。
高誘電率材料からなる高価な誘電体板、もしくは板厚の薄い高価な誘電体板を使用すると、製造コストの上昇という課題がある。
また、導体柱7を長くすると、これに伴い、平行平板導波路型EBG構造11が厚くなるという課題がある。
本発明の典型的な目的は、小型化、薄型化、さらにはバンドギャップの広帯域化を実現することが可能な電磁バンドギャップ素子及びそれを用いたアンテナ並びにフィルタを提供することにある。
本発明の典型的な電磁バンドギャップ素子は、周期配列された導体片と、前記導体片に対応して周期配列された開口部を有する導体プレーンと、前記開口部内に配置された島状電極と、インダクタンス要素とを有し、前記導体片と前記島状電極とが導体柱により電気的に接続され、且つ、前記島状電極と前記導体プレーンとが前記インダクタンス要素を介して接続されていることを特徴とする。
また、本発明の典型的なアンテナは、上記電磁バンドギャップ素子を反射板として具備し、その使用周波数帯が前記電磁バンドギャップ素子のバンドギャップ周波数帯域に含まれることを特徴とする。
また、本発明の典型的なコモンモードフィルタは、上記電磁バンドギャップ素子により構成されることを特徴とする。
また、本発明の典型的な平行平板導波路型電磁バンドギャップ素子は上記電磁バンドギャップ素子と、第1導体プレーンとを有し、上記電磁バンドギャップ素子内の導体片2の周期配列と第1導体プレーンが対向した構造となっていることを特徴とする。
さらに、本発明の典型的な電源ノイズ抑制フィルタは、第1及び第2の導体プレーンからなる平行平板の一部又は全てが上記平行平板導波路型電磁バンドギャップ素子により構成され、且つ、前記第1及び第2の導体プレーンのうちいずれか一方が電源に接続され、他方がグランドに接続されていることを特徴とする。
本願は、2007年12月26日に出願された特願2007−334261号に基づき、優先権の利益を主張するものである。そして、特願2007−334261号の内容は本願の明細書の内容に含まれる。
本発明によれば、導体片と導体プレーンを並列型インダクタンスを介して接続することにより、並列インダクタンスの増大化が可能となり、電磁バンドギャップ素子の小型化、薄型化を実現することができ、また、バンドギャップの広帯域化を実現することが可能となる。
従来例のHIS構造を示す図である。 従来例のHISの等価回路図である。 導体柱間にインダクタンス要素を有するHISの例、及びその等価回路を示す図である。 HISにインダクタンス要素として用いられるスパイラルコイルやミアンダコイルを示す図である。 特許文献6に記載の平行平板導波路型EBG構造11を示す図である。 図6の平行平板導波路型EBG構造11の等価回路図である。 本発明に係るEBG素子の第1の実施形態を示す図である。 導体片上に誘電体板が設けられている場合におけるEBG構造を示す断面図である。 図7の導体片と導体プレーンのレイアウトを示す平面図である。 図7の導体片と導体プレーンのレイアウトの一部を示す平面図である。 隣接する導体片の辺同士が互いに噛み合うインタディジタル構造を示す平面図である。 平面型インダクタンス要素としてミアンダコイルを用いた場合の導体プレーン層を示す平面図である。 平面型インダクタンス要素としてスパイラルコイルやミアンダコイル以外 の線状の導体パターンを用いた場合の導体プレーン層を示す平面図である。 本発明の第2の実施形態を示す断面図である。 図14の導体プレーン層のレイアウトを示す平面図である。 本発明の第3の実施形態を示す断面図である。 本発明の第4の実施形態を示す平面図である。 図17のA−A線断面を示す断面図である。 本実施形態のEBG素子を反射板として用いたパッチアンテナの一実施形態を示す図である。 本実施形態のEBG素子を反射板として用いた逆L型アンテナの一実施形態を示す断面図である。 本実施形態のEBG素子を用いたチップ部品型コモンモードフィルタの一実施形態を示す断面図である。 本実施形態のチップ部品型コモンモードフィルタをPCB上に実装した例を示す平面図である。 図22のB−B線断面を示す断面図である。 本実施形態のコモンモードフィルタを内蔵したPCBの一例を示す平面図である。 図24のC−C線断面を示す断面図である。 本発明のコモンモードフィルタ710を内蔵したPCBの他の例を示す平面図である。 図26のD−D線断面を示す断面図である。 本発明の第8の実施形態の平行平板導波路型EBG素子を示す断面図である。 導体柱として貫通ビアを用いた場合の本発明の第8の実施形態の平行平板導波路型EBG素子を示す断面図である。 本実施形態のEBG素子を用いた電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するPCBの一例を示す平面図である。 図30のE−E線断面を示す断面図である。 本実施形態のEBG素子を用いた電源ノイズ抑制フィルタ810を内蔵するPCBの別の一例を示す断面図である。 本実施形態のEBG素子を用いた電源ノイズ抑制フィルタを内蔵する半導体パッケージの一例を示す断面図である。 電源・グランド層間の一部分に電源ノイズ抑制フィルタ810を形成した例を示す断面図である。 導体柱として貫通ビアを用いた場合の本実施形態のEBG素子を構成要素とする電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するPCBの一例を示す断面図である。
符号の説明
1 HIS
2、102、202 導体片
3、103、203、403 導体プレーン
4 導体要素
6 インダクタンス要素
7 導体柱
8、108 誘電体板
9 単位セル
11、811 平行平板導波路型EBG構造
12 直列共振回路
15 インダクタンス要素6と第1導体柱17との接続点
16、116 スパイラルコイル
17、217、417 第1導体柱
18、118、218、418、818 第1誘電体板
25 インダクタンス要素6と第2導体柱27との接続点
26、126 ミアンダコイル
27、227、427 第2導体柱
28、128,228、428 第2誘電体板
101、201、301、401 EBG素子
104、204、404 開口部
105、205、405 島状電極
106、206、406 平面型インダクタンス要素
107 導体柱
117 非貫通ビア
119、219、419 平面型インダクタンス要素の第1端子
127、827 貫通ビア
129、229、429 平面型インダクタンス要素の第2端子
130 隙間領域
237 第3導体柱
309 絶縁性磁性層
412 第1層導体片
422 第2層導体片
432 重なり合う領域
510 パッチアンテナ
511 アンテナエレメント
520 逆L型アンテナ
521 給電線
604、704 グランド層
610 コモンモードフィルタ
611 基板
612 第1パッド
622 第2パッド
613、713、813 PCB
614、714 第1グランドパターン
615 ビア
616 PCB上のパッド
624、724 第2グランドパターン
710 コモンモードフィルタ
715、815 ノイズ源となるデバイス
716 コネクタ
717 ケーブル
725、825 ノイズの影響を受けやすいデバイス
810 電源ノイズ抑制フィルタ
814 第1導体プレーン
816 BGA
823 インターポーダ
824 第2導体プレーン
828 クリアランス
835 半導体チップ
840 インターポーザ823内の電源・グランド層と半導体チップ835との接続部
850 インターポーザ823内の電源・グランド層と外部回路との接続部
次に、発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。まず、本発明の電磁バンドギャップ(EBG)素子とは、上述のように特性の周波数帯において表面波の伝播抑制や電磁波の同相反射を可能とするものである。例えば、高周波回路からの不要電磁放射による回路間の電磁干渉を防ぐ手段として好適に用いることが可能である。
(第1の実施形態)
図7は本発明の第1の実施形態に係る電磁バンドギャップ(EBG)素子の断面図を示す。EBG素子101は、導体2層及びその導体2層により挟まれる誘電体板108により構成されている。導体2層は導体片102の周期配列から構成される導体層と、開口部104が周期的に設けられた導体プレーン103の層とからなる。開口部104は導体片102の周期配列に対応している。
導体プレーン103の各開口部104内には島状電極105とインダクタンス要素106が設けられており、導体プレーン103、平面型インダクタンス要素106及び島状電極105は同じ導体層に形成されている。島状電極105と各導体片102とは導体柱107により電気的に接続されている。
誘電体板108には、例えば、エポキシ樹脂基板、セラミック基板等が用いられる。或いは、誘電体板108として、何も設けなくてもよい(空気でもよい)。インダクタンス要素には平面型インダクタンス要素106を用いている。これは、後述する他の実施形態でも同様である。
また、導体プレーン103、平面型インダクタンス要素106及び島状電極105を同じ導体層に1つの連続するパターンとして形成することにより、島状電極105が導体プレーン103とそれぞれ平面型インダクタンス要素106を介して電気的に接続されている。
このように平面型インダクタンス要素106を介して導体片102から導体プレーン103まで電気的に接続することにより、導体片102から導体プレーン103までの距離を大きくすることなく、並列インダクタンスLの増大化が可能となり、EBG素子101の薄型化を実現することが可能となる。
また、並列インダクタンスと直列容量による共振周波数をある特定の値に設定したい場合には、平面型インダクタンス要素106を設けることにより平面型インダクタンス要素106を設けない場合に比べて並列インダクタンスが増加するため、直列容量を小さく抑えることが可能となる。
ここで、導体片102が小さくなればなるほど直列容量も小さくなることから、並列インダクタンスの増加により導体片102を小型化することも可能となり、同時にバンドギャップ帯域幅を広げることが可能となる。
なお、図7では導体片102が最表層に形成されているが、導体片102上に誘電体板を設けてもよい。図8(a)、図8(b)は導体片102上に誘電体板が設けられている場合における本発明の第1の実施形態に係るEBG素子101の断面図を示す。図8(a)、図8(b)において、第1誘電体板118はEBG素子101内に設けられ、第2誘電体板128は導体片102上に設けられている。この場合、導体柱107として図8(a)に示す非貫通ビア117により形成することも可能であるが、図8(b)に示す貫通ビア127により形成することも可能である。
図9(a)は図7におけるEBG素子の導体片102の周期配列を構成する導体層のレイアウトを示す平面図である。図9(b)は図7の導体プレーン103のレイアウトを示す平面図である。図10は図9(b)における導体プレーン103の各要素を分解して示す図である。なお、図7の断面図は図9(a)、図9(b)、図10の一部断面を示すものではない。図10のスパイラルコイル116は図7のインダクタンス要素106となるが、図9、10のスパイラルコイル116の断面は図7のインダクタンス要素106に対応していない。図9(a)の導電体小片102、図9(b)の導体プレーン103、島状電極105はそれぞれ図7に示す導電体小片102、導体プレーン103、島状電極105に対応し、同様な断面形状を有する。
図9(a)は正方形の導体片102を正方格子状に周期配列する例を示しているが、導体片102のレイアウトは図9(a)の正方形に限ることはない。また、導体片102の配列も正方格子状に限ることはない。例えば、図1(b)に示すように正六角形の導体片102を三角格子状に配置しても良い。
また、図11に示すように隣接する導体片102の辺同士が隙間領域130において互いに噛み合うインタディジタル構造を用いることも可能である。その場合、隣接する導体片102の対向する辺が長くなるため、直列容量Cの増大化が可能となる。よって、導体片102を小型化しても直列容量Cの値を保つことが可能となり、結果として導体片102の小型化が可能となる。
一方、導体プレーン103の層には図9(b)や図10に示すようにスパイラルコイル116により形成された平面型インダクタンス要素106、島状電極105、導体プレーン103が同じ導体層に連続する1つのパターンとして形成されている。平面型インダクタンス要素106にある2つの端子のうち一方の第1端子119と島状電極105とが連続し、平面型インダクタンス要素106にあるもう一方の端子の第2端子129と導体プレーン103とが連続している。
このように導体プレーン103、平面型インダクタンス要素106及び島状電極105を同じ導体層にパターニング形成することにより、導体層数を減らすことが可能となり、製造コストを抑えることが可能となる。
図9(b)、図10の例では、平面型インダクタンス要素106をスパイラルコイル116により形成した例を示しているが、平面型インダクタンス要素106としてスパイラルコイル116以外を用いることも可能である。図12は平面型インダクタンス要素106としてミアンダコイル126を用いた場合の導体プレーン103層のレイアウトを示す平面図である。このように、スパイラルコイル116の代わりにミアンダコイル126を用いても良い。また、スパイラルコイル116やミアンダコイル126を用いることで、並列インダクタンスLの増大化が可能である。
更に、図13(a)、図13(b)は平面型インダクタンス要素106としてスパイラルコイル116やミアンダコイル126以外の線状の導体パターンを用いた場合の導体プレーン層を示す平面図である。図13(a)は平面型インダクタンス要素106を直線の導体パターンにより形成した例を示す。また、図13(b)は平面型インダクタンス要素106を折れ線状の導体パターンにより形成した例を示す。
また、導体プレーン103に設けられた開口部104の大きさを導体片102よりも小さくすることにより、導体プレーン103の電気抵抗の増加を防ぐことが可能となる。なお、EBG構造は、多層プリント回路基板やIPDの製造プロセスにより実現することが可能である。
(第2の実施形態)
図14は本発明の第2の実施形態を示す断面図である。本実施形態では、EBG素子201は、3つの導体層により構成される。3つの導体層は、導体片202の周期配列を構成する導体層、開口部204が周期的に設けられた導体プレーン203の導体層、平面型インダクタンス要素206が形成される導体層とからなる。
導体片202の周期配列を構成する導体層と導体プレーン203との間には第1誘電体板218が介在し、導体プレーン203と平面型インダクタンス要素206が形成される層との間には第2誘電体板228が介在している。また、導体プレーン203は導体片202が形成される導体層と平面型インダクタンス要素206が形成される導体層との間の層に形成されている。導体プレーン203の各開口部204内には島状電極205が設けられており、導体プレーン203、島状電極205は同じ導体層で形成されている。
図15は図14のEBG素子を構成する導体プレーン203のレイアウトを示す平面図である。平面型インダクタンス要素206が導体プレーン203とは別の層に形成されているため、図9(b)に示す第1の実施形態と比較すると、スパイラルコイル116をなくしたレイアウトとなっている。第1及び第2誘電体板218と228には、図7と同様に例えば、エポキシ樹脂基板、セラミック基板等が用いられ、或いは、特に、何も設けなくて空気でもよい。
各導体片202は図14に示すように島状電極205と第1導体柱217により電気的に接続されている。島状電極205は図14に示す最下層に形成された平面型インダクタンス要素206の2つの端子のうちの第1端子219とも第2導体柱227により電気的に接続されている。更に、平面型インダクタンス要素206にある2つの端子のうち他方の端子である第2端子229と導体プレーン203とが第3導体柱237により電気的に接続されている。
本実施形態では、上述のような第1の実施形態の効果に加えて、平面型インダクタンス要素206を導体プレーン203とは別の層に形成することにより、導体層の数が増えるもののコイルの大型化が可能となり、並列インダクタンスLの増大化が可能となる。平面型インダクタンス要素206には、スパイラルコイル116やミアンダコイル126等の線状パターンを用いることが可能である。
更に、導体プレーン203に設けられた開口部204の大きさを導体片202よりも小さくすることにより、導体プレーン203の電気抵抗の増加を防ぐことが可能となる。なお、本実施形態においても第1の実施形態と同様に多層プリント回路基板やIPDの製造プロセスにより実現可能である。
(第3の実施形態)
平面型インダクタンス要素のインダクタンスを増やす構造として平面型インダクタンス要素を絶縁性磁性層で覆うことも可能である。図16(a)、図16(b)はそのような本発明の第3の実施形態を示すものである。図16(a)は図1の実施形態に平面型インダクタンス要素を絶縁性磁性層で覆う構造を適用した場合の断面図である。図16(a)では図7と同一部分には同一符号を付している。
また、図16(b)は図14の実施形態に平面型インダクタンス要素を絶縁性磁性層で覆う構造を適用した場合の断面図である。図16(b)では図14と同一部分には同一符号を付している。
まず、図7の第1の実施形態や図14の第2の実施形態では、平面型インダクタンス要素106及び206を表面の導体層に形成することが可能な構造となっている。従って、図16(a)に示すように平面型インダクタンス要素106を表面の導体層に形成した後、フェライトめっきにより平面型インダクタンス要素106を覆う絶縁性磁性層309を容易に形成することが可能であり、高周波特性に優れた絶縁性磁性層309を形成することが可能となる。
また、図16(b)に示すように平面型インダクタンス要素206を表面の導体層に形成した後、同様にフェライトめっきにより平面型インダクタンス要素206を覆う絶縁性磁性層309を容易に形成可能であり、高周波特性に優れた絶縁性磁性層309を形成することが可能となる。
本実施形態では、平面型インダクタンス要素106や206を絶縁性磁性層309で覆うことにより、平面型インダクタンス要素106や206のインダクタンス値が増加するため、並列インダクタンスLの更なる増大化が可能となる。
(第4の実施形態)
直列容量Cを増やす構造として図11に示すインタディジタル構造以外の構成でも可能である。図17は本発明の第4の実施形態を示す平面図、図18は図17のA−A線における断面図である。
図18に示すように本実施形態のEBG素子401は、導体片の周期配列が第1誘電体板418を介して2つの導体層によって形成されている。それぞれの導体片を図18の上から順に第1層導体片(第1導体片となる)412、第2層導体片(第2導体片となる)422とすると、図17に示すように第1層導体片412と第2層導体片422との間で重なり合う領域432が存在する。重なり合う領域432は第2層導体片422の周期配列から第1層導体片412を上下左右半周期ずらして周期配列することにより容易に形成することが可能である。
上面から見た時に重なり合う領域432では第1層導体片412と第2層導体片422とが第1誘電体板418を介して対向する構造となるため、この重なり合う領域においては隣接する第1層導体片412と第2層導体片422間で容量が生じる。重なり合う領域432の面積を増やことにより、直列容量Cを増やすことが容易となるため、第1層導体片412及び第2層導体片422を小型化しても直列容量Cの値を保つことが可能となり、結果として第1層導体片412及び第2層導体片422の小型化が可能となる。
また、図17及び図18において、403は導体プレーン、404は開口部、405は島状電極、406は平面型インダクタンス要素、417は第1導体柱、427は第2導体柱、428は第2誘電体板である。第1層導体片412は第1導体柱417で島状電極405と電気的に接続され、第2層導体片422は第2導体柱427で導体プレーン403と電気的に接続されている。島状電極405と導体プレーン403は平面型インダクタンス要素406を介して接続されている。
ここで、第1層導体片412、及び第2層導体片422と導体プレーン403との電気的な接続方法としては、図18とは逆に第1層導体片412を第1導体柱417で導体プレーン403と電気的に接続し、第2層導体片422を第2導体柱427で島状電極405と電気的に接続しても良い。また、第1層導体片412、第2層導体片422ともそれぞれ第1導体柱417、第2導体柱427を介して島状電極405と電気的に接続しても良い。これらの場合においては、いずれも島状電極405と導体プレーン403は平面型インダクタンス要素406を介して接続される。
なお、第1誘電体板418としては高誘電率材料を用いたり、或いは第1誘電体板418の厚みを薄くすることにより、直列容量Cを増加させることも可能である。更に、本実施形態のEBG素子401を構成する第1層導体片412及び第2層導体片422のレイアウトとしては、図17に示す正方形に限らず、正六角形の三角格子配列等でも良いことはもちろんである。
(第5の実施形態)
本発明のEBG素子は、アンテナの反射板として用いることが可能である。図19は本発明の第1の実施形態のEBG素子を反射板として用いたパッチアンテナの一例を示す図である。パッチアンテナ510は反射板としてのEBG素子101、アンテナエレメント511及び給電線521より構成されている。
パッチアンテナ510の使用周波数帯を反射板として用いるEBG素子のバンドギャップ周波数帯域内に収まるように設計することにより、表面波がEBG素子101中を伝播できなくなるため裏面放射が抑圧され、アンテナ特性の劣化を防止することが可能となる。また、パッチアンテナ以外のアンテナの反射板として第1の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。
図20は本発明の第1の実施形態のEBG素子を反射板として用いた逆L型アンテナの一例を示す図である。パッチアンテナ510と同様に逆L型アンテナ520は反射板としてのEBG素子101、アンテナエレメント511及び給電線521より構成されている。逆L型アンテナ520の使用周波数帯を反射板として用いるEBG素子のバンドギャップ周波数帯域内に収まるように設計することにより、表面波がEBG素子101中を伝播できなくなるため、パッチアンテナ510の場合と同様に裏面放射が抑圧され、アンテナ特性の劣化を防止することが可能となる。
また逆L型アンテナ520の場合には、EBG素子101の反射板に対して電磁波が同相反射することにより、放射効率が向上し、且つ、アンテナエレメント511をEBG素子101表面に近接して配置することが可能となるため、逆L型アンテナ520全体の薄型化が可能となる。
なお、図19、図20を用いた説明したアンテナの実施形態では、反射板として本発明の第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、本発明の第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。
(第6の実施形態)
本発明のEBG素子によりコモンモードフィルタを構成することも可能である。図21はそのような本発明の第1の実施形態のEBG素子を用いたチップ部品型コモンモードフィルタの一例を示す図である。図21に示すチップ部品型コモンモードフィルタ610は、コモンモードフィルタとして機能するEBG素子101が基板611上に形成されており、層構成としては図7の断面図とは逆に下から順に導体片102を形成する層、導体プレーン103層となっている。
基板611はEBG素子101の厚みが、例えば、100ミクロンメートル以下の場合にEBG素子101を機械的に補強するためのものである。また2つのパッド612、622がそれぞれ導体プレーン103上の端部の2箇所に形成され、パッド612、622はEBG素子101の導体部と電気的に接続されている。
導体層の層構成としては、図21の例とは逆に下から順に導体プレーン103、導体片102を形成する層を基板611上に形成することも可能である。この場合、2つのパッド612、622はEBG素子101の端部の2箇所で且つ導体片102上に形成することにより、パッド612、622をEBG素子101の導体部と電気的に接続することが可能である。
本実施形態のチップ部品型コモンモードフィルタ610は、例えば、IPDの製造プロセスを用い、基板611としてガラス基板等を使用して作製することが可能である。即ち、基板611上にEBG素子101及びパッド612、622を形成する導体及び誘電体を成膜することにより実現可能である。
なお、図21の例ではコモンモードフィルタとして機能するEBG素子として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、本発明の第2乃至第4の実施形態のEBG構造を用いることも可能である。
図22及び図23は本実施形態のチップ部品型コモンモードフィルタ610をPCB(printed-circuit board) 613上に実装した例を示す図である。図22は平面図、図23は図22のB−B線における断面図を示す。図22及び図23に示す構成例では、PCB613は分離された2つのグランドパターンの第1グランドパターン614と第2グランドパターン624を具備している。第1グランドパターン614と第2グランドパターン624はビア615を介してPCB613上のパッド616と電気的に接続されている。第1及び第2のグランドパターンはPCB613内のグランド層604を形成するものである。
ここで、PCB613上のパッド616とチップ部品型コモンモードフィルタ610の図21に示すような第1パッド612及び第2パッド622(図22及び図23では図示せず)とをそれぞれ半田等により電気的に接続する。そうすることで、チップ部品型コモンモードフィルタ610はPCB613内の第1グランドパターン614と第2グランドパターン624との間に電気的に接続された形となる。
このように図21に示した実施形態のチップ部品型コモンモードフィルタ610を介してPCB613内の分離された2つのグランドパターンを電気的に接続することにより、一方のグランドパターンからもう一方のグランドパターンへのコモンモード電流の伝播を抑制することが可能となる。
(第7の実施形態)
本発明のEBG素子をPCB内部に設けることにより、コモンモードフィルタをPCBに内蔵させることも可能である。図24は本発明の第1の実施形態のEBG素子により構成されるコモンモードフィルタ710を内蔵したPCB713の一例を示す平面図、図25は図24のC−C線における断面図を示す。
図24に示すPCB713は2つのグランドパターンである第1グランドパターン714と第2グランドパターン724、EBG素子101により構成されるコモンモードフィルタ710、ノイズ源となるデバイス715及びノイズの影響を受けやすいデバイス725を具備している。
ノイズ源となるデバイス715のグランド端子が第1グランドパターン714と電気的に接続され、ノイズの影響を受けやすいデバイス725のグランド端子が第2グランドパターン724と電気的に接続されている。また、第1グランドパターン714と第2グランドパターン724がコモンモードフィルタ710を介して電気的に接続されている。
その様子を示すのが図25の断面図である。第1グランドパターン714と第2グランドパターン724が形成されているPCB713内のグランド層704にEBG素子101の導体プレーン103を配置し、PCB713内のグランド層704とは別の層に導体片102の周期配列を配置することにより(図7参照)、PCB713内にEBG素子101を設けることが可能である。
ここで、グランド層704に形成されている第1グランドパターン714、第2グランドパターン724及びEBG素子101の導体プレーン103を連続したパターンとすることにより、EBG素子101の導体プレーン103用の導体層を余分に設けることなく、コモンモードフィルタ710を介して第1グランドパターン714と第2グランドパターン724を電気的に接続することが可能となる。
図25に示す構造により、部品のフィルタを用いることなくノイズ源となるデバイス715側の第1グランドパターン714から第2グランドパターン724へのコモンモード電流の伝播を抑制することが可能となる。そのため、ノイズの影響を受けやすいデバイス725がコモンモード電流により受ける影響を抑えることが可能となる。
図24ではノイズの影響を受けやすいデバイス725をコモンモード電流から保護する目的でコモンモードフィルタ710をPCB713に内蔵する例を示しているが、PCB713と接続するケーブルからのコモンモード放射を抑制する目的で、コモンモードフィルタ710を用いることも可能である。
図26は本発明の第1の実施形態のEBG素子を用いたコモンモードフィルタ710を内蔵する別のPCB713の例を示す平面図である。図27は図26のD−D線における断面図を示す。
図26に示すようにケーブル717と接続されたPCB713上のコネクタ716を囲うようにコネクタ716の周辺部に本実施形態のEBG素子により構成されるコモンモードフィルタ710が配置されている。PCB713上のコネクタ716をPCB713の第2グランドパターン724と電気的に接続することにより、コネクタ716にケーブル717をつないだ時に、ケーブル717のグランドは第2グランドパターン724と電気的に接続されることになる。
ここで、コモンモードフィルタ710がなく、図27における第1グランドパターン714と第2グランドパターン724が連続した導体プレーンである場合には、PCB713の内部で発生したコモンモード電流Iが連続した導体プレーンを流れ、コネクタ716を経由してケーブル717へ伝播する。
それに対して、所望の周波数帯域でバンドギャップが現れるEBG素子101を図26に示すようにコネクタ716の周辺部に配置することにより、第1グランドパターン714を流れるコモンモード電流Iのコネクタ716への伝播が抑制されるため、ケーブル717への伝播も抑制される。結果としてケーブル717からの不要電磁波の発生を抑制することが可能となる。
同時に外部の不要電磁波によりケーブル717のグランドにコモンモード電流Iが流れる場合も同様にEBG素子101によりコネクタ716から第1グランドパターン714側へのコモンモード電流Iの伝播も抑制される。よって、PCB713内部の回路動作特性がコモンモード電流Iにより受ける影響を抑えることが可能となる。
なお、図24と図25、及び図26と図27の例ではコモンモードフィルタ710として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、本発明の第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いても良い。
(第8の実施形態)
本発明のEBG素子を用いて平行平板導波路型EBG素子を構成することも可能である。図28はそのような本発明の第1の実施形態のEBG素子を用いた平行平板導波路型EBG素子を示す断面図である。平行平板導波路型EBG素子811は第1導体プレーン814、第1誘電体板818、および図7のEBG素子101により構成されている。
第1導体プレーン814とEBG素子101の導体プレーン103の間の導体層にEBG素子101の導体片102の周期配列は設けられている。各導体片102とEBG素子101の導体プレーン103とを電気的に接続する導体柱107は層間ビアにより形成されている。なおここでは、EBG素子として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。
更に、平行平板導波路型EBG素子810の構成要素であるEBG素子に用いる導体柱として貫通ビアを用いることも可能である。図29は導体柱として貫通ビア827を用いた場合の第1の実施形態のEBG素子101を構成要素とする平行平板導波路型EBG素子の一例を示す。なおここでは、EBG素子として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。図29において第1導体プレーン814のビア貫通部にクリアランス828を設けることによりEBG素子101と第1導体プレーン814とを電気的に非接触にすることが可能となる。これにより、第1導体プレーン814及び導体プレーン103を電気的に非接触にすることが可能となる。
さらに、第1誘電体板818に高誘電率材料を用いたり、或いは第1誘電体板818の厚みを薄くすることにより、容量C1を増加させることも可能である。更に、本実施形態の平行平板導波路型EBG素子810を構成する導体片112のレイアウトとしては、図9(b)に示す正方形に限らず、正六角形の三角格子配列等でも良いことはもちろんである。
(第9の実施形態)
本発明の平行平板導波路型EBG素子を用いて電源ノイズ抑制フィルタを構成することも可能である。図30及び図31はそのような本発明の第8の実施形態の平行平板導波路型EBG素子を用いた電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するPCBの一例を示すものである。図30は平面図、図31は図30のE−E線における断面図である。
図31に示すようにPCB813内の第1導体プレーン814及び第2導体プレーン824のうちの一方が電源層、もう一方がグランド層となっている。PCB813上にはノイズ源となるデバイス815、ノイズの影響を受けやすいデバイス825が実装されており、それぞれのデバイスは電源層及びグランド層と電気的に接続されている。PCB813内の電源・グランド層間のうちの一部領域に電源ノイズ抑制フィルタ810が配置されている。
電源ノイズ抑制フィルタ810は図28の平行平板導波路型EBG素子811により構成されている。平行平板導波路型EBG素子811は第1導体プレーン814と図7のEBG素子101により構成されており、EBG素子101の導体プレーン103はPCB813内の第2導体プレーン824層の一部分に形成され、EBG素子101の導体片102の周期配列は第1導体プレーン814と第2導体プレーン824の間の導体層に設けられている。各導体片102とEBG素子101の導体プレーン103とを電気的に接続する導体柱107は層間ビアにより形成されている。
なお、図31に示す例においては、EBG素子101の導体プレーン103が下層側の導体プレーン層である第2導体プレーン824に形成されているが、上層側の導体プレーン層である第1導体プレーン814にEBG素子101の導体プレーン103を形成してもよい。
電源ノイズ抑制フィルタ810の配置箇所は図30、図31に示すように電源ノイズ抑制フィルタ810によって第1導体プレーン814及び第2導体プレーン824がともにノイズ源となるデバイス815側とノイズの影響を受けやすいデバイス825側とに分離されるようなレイアウトとなっている。
このように電源ノイズ抑制フィルタ810を配置することにより、ノイズ源となるデバイス815から電源・グランドをなす第1導体プレーン814と第2導体プレーン824の層間を伝播する電源ノイズを抑制することが可能となる。そして、ノイズの影響を受けやすいデバイス825の誤動作抑制、及びPCB813からの不要電磁放射を抑制することが可能となる。
なお、電源ノイズ抑制フィルタ810の配置箇所は、図30及び図31の例では電源・グランド層間のうちの一部領域となっているが、第1導体プレーン814及び第2導体プレーン824全面に電源ノイズ抑制フィルタ810をレイアウトすることも可能である。この場合も、図30及び図31の例と同様にノイズ源となるデバイス815から電源・グランドをなす第1導体プレーン814と第2導体プレーン824の層間を伝播する電源ノイズを抑制することが可能となり、ノイズの影響を受けやすいデバイス825の誤動作抑制及びPCB813からの不要電磁放射を抑制することが可能となる。
更に、図32は電源ノイズ抑制フィルタ810を内蔵するPCBの別の一例を示す断面図である。ノイズ源となるデバイス815側もしくはノイズの影響を受けやすいデバイス825を搭載するPCB813において、第1導体プレーン814と第2導体プレーン824により構成される平行平板の周囲に電源ノイズ抑制フィルタ810が配置されている。このようにノイズ源となるデバイス815側の周囲を電源ノイズ抑制フィルタ810で囲うことにより、PCB813から外部への不要電磁放射を抑制することが可能となり、またノイズの影響を受けやすいデバイス825の周囲を電源ノイズ抑制フィルタ810で囲うことにより、外部からの不要電磁放射によりPCB813内部へ伝播する電源ノイズを抑制することが可能となる。
また、本発明のEBG素子を用いた電源ノイズ抑制フィルタを半導体パッケージのインターポーザ内に構成することも可能である。図33はそのような本発明のEBG素子を具備する電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するインターポーザ823の一例を示す断面図である。
図33に示すようにインターポーザ823の第1導体プレーン814及び第2導体プレーン824のうちの一方が電源層、もう一方がグランド層となっている。インターポーザ823上には半導体チップ835が実装されており、電源層及びグランド層と電気的に接続されている。電源ノイズ抑制フィルタ810の層構成は図30及び図31に示す電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するPCB813と同様である。インターポーザ823の電源・グランド層間全領域に電源ノイズ抑制フィルタ810が構成されている。
これにより、半導体チップ835から電源・グランドをなす第1導体プレーン814と第2導体プレーン824の層間を伝播する電源ノイズを抑制することが可能となり、BGA816を介してインターポーザ823と電気的に接続される外部回路への電源ノイズの伝播を抑制することが可能となる。
同時に、外部回路からBGA816を介してインターポーザ823へ伝播する電源ノイズがインターポーザ823内の電源ノイズ抑制フィルタ810により半導体チップ835への伝播が抑制されるため、電源ノイズによる半導体チップ835の誤動作を抑制することが可能となる。
また、図33の例ではインターポーザ823の電源・グランド層間全領域に電源ノイズ抑制フィルタ810が構成されているが、PCBの場合同様、電源・グランド層間の一部分に電源ノイズ抑制フィルタ810を形成することも可能である。図34は電源・グランド層間の一部分に電源ノイズ抑制フィルタ810を形成した例を示す。図34において、インターポーザ823内の電源・グランド層と半導体チップ835との接続部840と、インターポーザ823内の電源・グランド層と外部回路との接続部850の間に電源ノイズ抑制フィルタ810が設けられている。このため、インターポーザ823内の電源ノイズ抑制フィルタ810により、半導体チップ835と外部回路間の電磁波伝播を抑制することが可能となる。
なお、図30と図31、及びや図33の例では電源ノイズ抑制フィルタ810の構成要素として用いるEBG素子として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。
更に、電源ノイズ抑制フィルタ810として図29に示すような導体柱として貫通ビア827を用いた平行平板導波路型EBG素子を用いることも可能である。図34は導体柱として貫通ビア827を用いた場合の第1の実施形態のEBG素子101を構成要素とする電源ノイズ抑制フィルタを内蔵するPCBの一例を示す。なおここでは、EBG素子として第1の実施形態のEBG素子101を用いているが、第2乃至第4の実施形態のEBG素子を用いることも可能である。図34において第1導体プレーン814のビア貫通部にクリアランス828を設けることによりEBG素子101と第1導体プレーン814とを電気的に非接触にすることが可能となる。これにより、第1導体プレーン814及び第2導体プレーン824のうちの一方を電源層、もう一方をグランド層に用いることができる。
また、以上説明した各実施形態では、EBG素子の導体片、導体プレーンの開口部、並列型インダクタンス要素等を二次元に周期配列した例を示したが、本発明は、これに限ることなく、一次元に周期配列しても同様の効果が得られる。
以上、本発明の代表的な実施形態について説明したが、本発明は、本願の請求の範囲によって規定される、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他の種々の形で実施することができる。そのため、前述した各実施形態は単なる例示にすぎず、限定的に解釈されるべきではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書や要約書の記載には拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更はすべて本発明の範囲内のものである。

Claims (15)

  1. 周期配列された導体片と、前記導体片に対応して周期配列された開口部を有する導体プレーンと、前記導体プレーンの開口部内に配置された島状電極と、インダクタンス要素とを有し、
    前記導体片と前記島状電極とが導体柱により電気的に接続され、且つ、前記島状電極と前記導体プレーンとが前記インダクタンス要素を介して接続されていることを特徴とする電磁バンドギャップ素子。
  2. 前記開口部の大きさは前記導体片より小さいことを特徴とする請求項1に記載の電磁バンドギャップ素子。
  3. 前記インダクタンス要素は、前記導体プレーンの開口部内に形成され、前記インダクタンス要素の一方の端子が前記導体プレーンに接続され、他方の端子が前記島状電極に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電磁バンドギャップ素子。
  4. 前記インダクタンス要素は、前記導体プレーンとは別の層に形成され、前記インダクタンス要素の一方の端子が前記島状電極と、他方の端子が前記導体プレーンとそれぞれ導体柱により電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電磁バンドギャップ素子。
  5. 前記インダクタンス要素はスパイラルコイルであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子。
  6. 前記インダクタンス要素はミアンダコイルであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子。
  7. 前記インダクタンス要素が形成された導体層に隣接して絶縁性磁性層が配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子。
  8. 前記導体片は、隣接する辺同士が互いに噛み合うインタディジタル構造をなしていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子。
  9. 前記導体片の周期配列が、第1層の第1導体片と第2層の第2導体片の2つの導体層で形成され、前記第1導体片と第2導体片との間で重なり合う領域が存在することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子。
  10. 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子を反射板として具備し、その使用周波数帯が前記電磁バンドギャップ素子のバンドギャップ周波数帯域に含まれることを特徴とするアンテナ。
  11. 前記アンテナはパッチアンテナであることを特徴とする請求項10に記載のアンテナ。
  12. 前記アンテナは逆Fアンテナであることを特徴とする請求項10に記載のアンテナ。
  13. 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子により構成されるコモンモードフィルタ。
  14. 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の電磁バンドギャップ素子と、第1導体プレーンとを有し、第1導体プレーンと電磁バンドギャップ素子間は電気的に絶縁されており、かつ電磁バンドギャップ素子を構成する導体片の周期配列は第1導体プレーンと電磁バンドギャップ素子を構成する導体プレーンの間の層に設けられていることを特徴とする平行平板導波路型電磁バンドギャップ素子。
  15. 請求項14に記載の平行平板導波路型電磁バンドギャップ素子と、第1及び第2の導体プレーンからなる平行平板とを有し、前記平行平板の一部又は全てが、前記平行平板導波路型電磁バンドギャップ素子として形成されており、且つ、前記第1及び第2の導体プレーンのうちいずれか一方が電源に接続され、他方がグランドに接続されていることを特徴とする電源ノイズ抑制フィルタ。
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