JPWO2004061880A1 - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
電極層を、グリーンシートの表面に押し付け、前記電極層を前記グリーンシートの表面に接着する工程と、
前記電極層が接着されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層を、前記グリーンシートの表面に押し付ける前に、前記電極層の表面または前記グリーンシートの表面に、0.02〜0.3μm、好ましくは0.1〜0.2μmの厚みの接着層を形成することを特徴とする。
電極層を、グリーンシートの表面に押し付け、前記電極層を前記グリーンシートの表面に接着する工程と、
前記電極層が接着されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層を、前記グリーンシートの表面に押し付ける前に、前記電極層の表面または前記グリーンシートの表面に、前記グリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径よりも薄い厚みの接着層を形成することを特徴とする。
複数の前記積層ブロックを、前記接着層を介して積層し、前記グリーンチップを形成する。
このような積層を行うことで、たとえば500層以上にグリーンシートが積層されたグリーンチップを容易に製造することができる。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図、
図2A〜図2Cおよび図3A〜図3Cは電極層の転写方法を示す要部断面図、
図4A〜図4C、図5A〜図5C、図6A〜図6C、図7および図8は電極層が接着されたグリーンシートの積層方法を示す要部断面図である。
発明を実施するための最良の態様
保持温度:200〜400℃、特に250〜350℃、
保持時間:0.5〜20時間、特に1〜10時間、
雰囲気 :加湿したN2とH2との混合ガス。
昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
保持温度:1100〜1300℃、特に1150〜1250℃、
保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したN2とH2との混合ガス等。
冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300℃/時間、
雰囲気用ガス:加湿したN2ガス等。
グリーンシート用ペースト(余白パターン用ペーストも同じ)
剥離層用ペースト
接着層用ペースト
内部電極用ペースト(転写される電極層用ペースト)
グリーンシートの形成、接着層および電極層の転写
比較例1
比較例2
Claims (16)
- 電極層を、グリーンシートの表面に押し付け、前記電極層を前記グリーンシートの表面に接着する工程と、
前記電極層が接着されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層を、前記グリーンシートの表面に押し付ける前に、前記電極層の表面または前記グリーンシートの表面に、0.02〜0.3μmの厚みの接着層を形成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 電極層を、グリーンシートの表面に押し付け、前記電極層を前記グリーンシートの表面に接着する工程と、
前記電極層が接着されたグリーンシートを積層し、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有する積層型電子部品の製造方法であって、
前記電極層を、前記グリーンシートの表面に押し付ける前に、前記電極層の表面または前記グリーンシートの表面に、前記グリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径よりも薄い厚みの接着層を形成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記グリーンシートの厚みが3μm以下であり、前記接着層の厚みが、前記グリーンシートの厚みの1/5以下である請求項1または2に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記グリーンシートは、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体粒子を含み、前記誘電体粒子の平均粒径が、0.4μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記グリーンシートは、バインダとして、アクリル系樹脂および/またはブチラール系樹脂を含む請求項4に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、前記グリーンシートに含まれるバインダと実質的に同一の有機高分子材料を含む請求項1〜5のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、可塑剤を含み、その可塑剤は、フタル酸エステル、グリコール、アジピン酸、燐酸エステルの中の少なくとも1つであり、前記可塑剤の重量基準添加量は、前記有機高分子材料の重量基準添加量以下である請求項6に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、帯電除剤を含み、当該帯電除剤は、イミダゾリン系界面活性剤であり、前記帯電除剤の重量基準添加量は、前記有機高分子材料の重量基準添加量以下である請求項6または7に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、誘電体粒子を含み、その誘電体粒子は、前記グリーンシートに含まれる誘電体粒子の平均粒径と同等または小さい平均粒径を持ち、前記グリーンシートに含まれる誘電体組成と実質的に同一種類の誘電体組成である請求項1〜8のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層に含まれる誘電体粒子の重量基準添加割合は、前記グリーンシートに含まれる誘電体粒子の重量基準添加割合よりも少ないことを特徴とする請求項9に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記電極層を前記グリーンシートの表面に接着し、前記電極層が形成されたグリーンシートの表面に、他のグリーンシートを接着する工程を繰り返し行い、複数の前記グリーンシートが前記電極層を介して積層された積層ブロックを形成し、
複数の前記積層ブロックを、前記接着層を介して積層し、前記グリーンチップを形成することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。 - 接着層を用いることなく、電極層をグリーンシートの表面に接着し、前記電極層が形成されたグリーンシートの表面に、他のグリーンシートを接着する工程を繰り返し行い、複数の前記グリーンシートが前記電極層を介して積層された積層ブロックを形成し、
複数の前記積層ブロックを、0.02〜0.3μmの接着層を介して積層し、グリーンチップを形成し、
このグリーンチップを焼成することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記接着層は、転写法により形成される請求項1〜12のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記接着層は、最初に支持シートの表面に剥離可能に形成され、前記グリーンシートの表面または前記電極層の表面に押し付けられて転写されることを特徴とする請求項13に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記電極層は、剥離層を介して、支持シートの表面に所定パターンで形成されており、前記電極層が形成されていない剥離層の表面には、前記電極層と実質的に同じ厚みの余白パターン層が形成され、前記余白パターン層が、前記グリーンシートと実質的に同じ材質で構成してある請求項1〜14のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記剥離層は、前記グリーンシートを構成する誘電体と実質的に同じ誘電体を含むことを特徴とする請求項15に記載の積層型電子部品の製造方法。
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