JPWO2003058768A1 - 検査用ソケット - Google Patents

Abstract

検査対象物に対して均一な押し付け力を作用させることにより、信頼性のある検査を行う。検査用ソケット１０は、検査装置４の検査面に対して検査対象物１を押し付ける。回路デバイス等の検査対象物１をセットするための開口部８ａを有して検査面に取り付けられたベース８に着脱自在に取り付けられ、開口部８ａを開閉するフレーム１１と、所定角度範囲内を正逆回転可能にフレーム１１に取り付けられたシャフト１６を有するとともに、検査対象物１の方向に突出する係合部１８が形成された操作部材１２と、シャフト１６の回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっているとともに係合部１８が対となって摺動するばね片１３ｂを有しており、検査対象物１に対する接離方向に移動するようにシャフト１６に取り付けられた板ばね１３とを備える。

Description

技術分野
本発明は、ＩＣ、プリント配線板、液晶表示パネルのようなパターンが形成された回路デバイス等の検査対象物を、テストボードに電気的に導通させるために用いる検査用ソケットに関する。
背景技術
第３２図及び第３３図は、上述した回路デバイス１の導通検査を行う状態を示しており、回路デバイス１にはコンタクト部１ａがパターン形成されており、この回路デバイス１を検査装置２の内部にセットして検査が行われる。検査装置２は、電極部３ａがパターン形成されたテストボード３と、テストボード３に取り付けられたコンタクトプローブ４とを備えている。
第３３図に示すように、コンタクトプローブ４は、絶縁性のハウジング４ａと、ハウジング４ａ内に整列状に配置された針状の導電性接触子４ｂとを備えている。導電性接触子４ｂは、ハウジング４ａを板厚方向に貫通するように形成された収容孔４ｃ内に収容されており、コイルばね４ｄによって付勢されることにより、軸方向の両端部がハウジング４ａから突出するように付勢されている。このコンタクトプローブ４は導電性接触子４ｂのテストボード３側の端部が電極部３ａと対応するようにテストボード３上に装着されている。
テストボード３上へのコンタクトプローブ４の装着は、第３２図に示すように、板状の取付部材５をねじ等の締結部材６によってテストボード３上に固定することにより行う。取付部材５の取り付けによって、コンタクトプローブ４はテストボード３と取付部材５とによって挟持される。
取付部材５には開口部５ａが形成されており、この開口部５ａ内に回路デバイス１を挿入してセットする。この挿入により、回路デバイス１のコンタクト部１ａと、コンタクトプローブ４の導電性接触子４ｂとが対向し、導電性接触子４ｂを介して回路デバイス１とテストボード３との導通が行われて回路デバイス１の検査が行われる。
このような検査においては、導電性接触子４ｂがテストボード３の電極部３ａと回路デバイス１のコンタクト部１ａとに確実に接触する必要があり、回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付けるため、検査用ソケットが従来から用いられている。
第３４図及び第３５図は、従来の検査用ソケット１００を示す。この検査用ソケット１００は、検査装置２の取付部材５上に固定されるベース１１０と、ベース１１０に回動自在に取り付けられたソケット本体１２０とを備えている。ベース１１０には回路デバイス１が挿入される開口部１１３が形成されている。
ソケット本体１２０は、ベース１１０の開口部１１３を開閉するものであり、ベース１１０に回動可能に取り付けられたフレーム部１２１と、フレーム部１２１に対して進退自在となっている押し付けブロック部１２２とを備えている。また、フレーム部１２１には、ベース１１０に係脱自在に係止するロック部１２３が設けられている。
押し付けブロック１２２にはハンドル１２４が取り付けられている。ハンドル１２４は、外面にねじ部１２５が形成された軸部１２６を有しており、軸部１２６のねじ部１２５がフレーム部１２１を板厚方向に貫通するねじ孔１２７に螺合している。
このような構造では、第３４図に示すソケット本体１２０の開放状態で、ベース１１０の開口部１１３に回路デバイス１を挿入し、その後、第３５図に示すようにソケット本体１２０を閉じて、ロック部１２３をベース１１０に係止させて閉じ状態をロックする。この状態でハンドル１２４をねじ切り方向に回転操作する。この回転によって、第３５図の右半分に示すように、軸部１２６がフレーム部１２１の板厚方向に向かって進行するため、押し付けブロック部１２２は回路デバイス１を押圧してコンタクトプローブ４に押し付け、回路デバイス１の検査が行われる。
第３６図及び第３７図は、従来の別の検査用ソケット２００を示す。この検査用ソケット２００は、回路デバイスとしての半導体パッケージ２１０の導通検査を行うために用いられるものであり、このためテストボード３としては、半導体パッケージ２１０の端子２１１に対応した電極部が形成されたものが使用される。
検査用ソケット２００は、テストボード３及び半導体パッケージ２１０を覆うフレーム部２２０と、フレーム部２２０の両側の外面に取り付けられたロック部２３０とを有している。また、半導体パッケージ２１０をテストボード３に押し付ける押し付けブロック２４０が、フレーム部２２０におけるテストボード３側の面に取り付けられている。押し付けブロック２４０は、圧縮ばね等のばね２５０を介してフレーム部２２０に取り付けられている。
この構造では、第３６図に示すように半導体パッケージ２１０をテストボード３上に載置した後、検査用ソケット２００をテストボード３に被せる。そして、第３７図に示すようにロック部２３０をテストボード３に係止させて閉じ状態をロックする。このロックによりばね２５０が圧縮されるため、ばね２５０の反力によって押し付けブロック２４０が半導体パッケージ２１０をテストボード３に押し付けて検査が行われる。
しかしながら、第３４図及び第３５図に示す従来の検査用ソケット１００では、検査の際に、ねじを締め付ける必要があるため、操作性が悪いものとなっている。また、ねじを締め付けることにより押し付けブロック１２２を回路デバイス１に押し付けるため、締め付けに個人差が生じている。このため、一定の条件での検査を行うことが難しく、信頼性に欠ける問題がある。また、締め付けが弱すぎる場合には、回路デバイス１の導通が良好に得られないとともに、締め付けが強すぎる場合には、回路デバイス１が破壊され易い問題を有している。
第３６図及び第３７図に示す従来の検査用ソケット２００では、ばね２５０のばね力に抗して検査用ソケット２００をセットする必要があるため、ばね力が大きい場合には、作業者に大きな負担となっている。また、テストボード３からの取り外しのため、ロック部２３０を外す際に、ばね２５０の反力によって検査用ソケット２００が瞬時に外れるため、危険が伴う問題がある。
本発明はこのような従来の問題点を考慮してなされたものであり、回路デバイスに均一な押し付け力を作用させることができ、これにより信頼性のある検査を行うことができるとともに、操作性が向上した安全性の高い検査用ソケットを提供することを目的とする。
発明の開示
請求の範囲第１項の発明の検査用ソケットは、検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、検査対象物に対する接離方向に移動可能となっており、検査対象物への接近によって検査対象物を検査面に弾性的に押し付ける押圧体と、押圧体の軸回りで正逆回転可能となっている操作部材とを備え、操作部材の正回転に伴って検査対象物への弾性力が増加し、逆回転に伴って弾性力が減少するように押圧体と操作部材とが係合していることを特徴とする。
請求の範囲第１項の発明では、操作部材の正回転で押圧体の弾性力が増加し、逆回転で弾性力が減少するため、操作部材への回転操作によって検査対象物の押し付け及びその解除を行うことができる。この発明では、押圧体の弾性力によって検査対象物を検査装置の検査面に押し付けるため、均一な押し付けが可能であり、信頼性のある検査を行うことができる。また、操作部材の逆回転では、押圧体の弾性力が減少するため、緩やかに押圧体が検査対象物から離れることができ、安全性を向上させることができる。
請求の範囲第２項の発明の検査用ソケットは、検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、検査対象物をセットするための開口部を有して検査面に取り付けられたベースに着脱自在に取り付けられ、前記開口部を開閉するフレームと、所定角度範囲内を正逆回転可能にフレームに取り付けられたシャフトを有するとともに、検査対象物の方向に突出する係合部が形成された操作部材と、前記シャフトの回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっているとともに前記係合部が対となって摺動するばね片を有しており、検査対象物に対する接離方向に移動するようにシャフトに取り付けられた板ばねとを備えていることを特徴とする。
請求の範囲第２項では、シャフトの回転に伴って操作部材の係合部が板ばねのばね片を摺動する。ばね片はシャフトの回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっているため、係合部がばね片を摺動しながらシャフトが正回転することにより、板ばねは検査対象物の方向に移動して、検査対象物を検査装置の検査面に押し付ける。一方、シャフトが逆回転することにより、板ばねによる検査対象物の押し付け力が軽減して、押し付けを解除することができる。
このような発明では、シャフトの所定角度範囲内の正逆回転により、板ばねの検査対象物への押し付け及びその解除を行うことができるため、操作性が向上する。また、板ばねが一定の荷重で検査対象物を押し付けるため、信頼性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第３項の発明の検査用ソケットは、検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、所定角度範囲内を正逆回転可能となっているシャフトを有するとともに、検査対象物の方向に突出する係合部が形成された操作部材と、前記シャフトの回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっているとともに前記係合部が対となって摺動するばね片を有し、検査対象物に対する接離方向に移動するようにシャフトに取り付けられた板ばねとが組み付けられたモジュールからなり、検査対象物をセットするための開口部を有して検査面に取り付けられたベースに着脱自在に取り付けられて開口部を開閉するフレームに対して前記シャフトが着脱自在となっていることを特徴とする。
請求の範囲第３項の発明においても、シャフト部材の正回転によって、板ばねが検査対象物を押し付けるとともに、シャフト部材の逆回転によって板ばねの押し付け力が軽減するため、シャフトの所定角度範囲内の正逆回転に伴う検査対象物への押し付け及びその解除を行うことができる。このため、操作性が向上するとともに、信頼性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第３項の発明では、操作部材及び板ばねとによってモジュールが形成され、このモジュールがフレームに対して着脱自在となっているため、汎用性のある検査用ソケットとすることができる。
請求の範囲第４項の発明は、請求の範囲第２項または第３項に記載の検査用ソケットであって、検査対象物から離れる方向に前記板ばねを付勢する離隔付勢部材が設けられていることを特徴とする。
請求の範囲第４項の発明では、離隔付勢部材の付勢によって板ばねが検査対象物から離れているため、板ばねが不用意に検査対象物を押し付けることがなく、検査ミスを防止することができる。
請求の範囲第５項の発明は、請求の範囲第２項〜第４項のいずれかに記載の検査用ソケットであって、前記検査対象物と板ばねとの間隔調整を行う間隔調整機構がシャフトとフレームとの間に設けられていることを特徴とする。
請求の範囲第５項の発明では、間隔調整機構によって板ばねと検査対象物との間隔調整を行うことができるため、検査対象物の厚さや大きさに対応することができ、汎用性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第６項の発明は、請求の範囲第２項〜第５項のいずれかに記載の検査用ソケットであって、前記係合部及びばね片の複数対が、シャフトの回転方向に沿って等間隔に設けられていることを特徴とする。
請求の範囲第６項の発明では、複数対の係合部及びばね片が等間隔となっているため、板ばねの検査対象物への押し付け力が均等となる。このため、検査対象物が均等に検査面に押し付けられ、信頼性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第７項の発明は、請求の範囲第５項記載の検査用ソケットであって、前記間隔調整機構は、相互に摺動するように重ね合わされるとともにフレームとの相対回転が拘束された状態でシャフトが挿通し、前記フレームとシャフトとの間に配置された少なくとも２つの調整板を有しており、一方の調整板がシャフトと交差する方向に移動可能となっているとともに、前記移動方向に沿って傾斜する傾斜面が調整板の重ね合わせ面に形成されていることを特徴とする。
請求の範囲第７項の発明では、調整板の重ね合わせ面が傾斜面となっているため、一方の調整板が移動することにより、他方の調整板が板厚方向に移動する。この移動によって、シャフトがフレームに対して接近または離隔するため、板ばねと検査対象物との間隔を調整することができる。この構造では、一方の調整板の移動によって間隔調整を行うため、簡単に間隔調整を行うことができる。また、連続している傾斜面によって間隔調整を行うため、無段階の調整ができ、きめ細かな調整が可能となる。
請求の範囲第８項の発明は、請求の範囲第２項または第３項記載の検査用ソケットであって、前記フレームを取り付けるための支軸がベースに形成されるとともに、支軸が挿入可能な略Ｕ字形の取付溝を有した取付アームがフレームに形成されており、支軸及び取付溝に平行面が形成されていることを特徴とする。
請求の範囲第８項の発明では、支軸及び取付溝に形成された平行面が向き合う以外は、取付アームが支軸から外れないため、フレームをベースに安定して取り付けることができる。また、平行面が向き合った状態では、取付アームを支軸から取り外すことができるため、ベースへのフレームの脱着を簡単に行うことができる。
請求の範囲第９項の発明は、前記係合部とフレーム又は間隔調整機構との間に配設され、シャフトが挿通することによりシャフトの周りで回転自在となっている回転プレートと、回転プレートとフレーム又は間隔調整機構との間に配置された摺動部材とを備えていることを特徴とする。
請求の範囲第９項の発明では、球体の上部が当接する回転プレートが球体の回転による摩擦力に応じてシャフト及び球体とは反対の方向に回転する。このとき、回転プレートの上面が摺動部材の下面に接して摺動する。この摺動部材には、摩擦低減部材を用いることにより、前記摺動の摩擦を軽減することができる。これにより、ハンドルの操作力をさらに低減することが可能となる。
請求の範囲第１０項の発明は、前記フレームに回動可能に取付けられ、フレームがベースの開口部を閉鎖する状態を保持するロックアームと、前記シャフトの上端に固着されたハンドルに、前記フレームの閉じ状態で相互に干渉する突起部が設けられていることを特徴とする。
請求の範囲第１０項の発明では、検査用ソケットの閉じ位置の状態において、ハンドル及びレバーに設けられた突起部の相互干渉により、レバーが設けられているロックアームを開放することができない。したがって、この状態では検査用ソケットを開放することができず、検査対象物である回路デバイスを取出すことが不可能となるので、ハンドルの閉じ状態における検査用ソケットの開放という誤動作を防止することができる。
請求の範囲第１１項の発明は、請求の範囲第１項〜第１０項のいずれかに記載の検査用ソケットであって、前記検査対象物は、パターンが形成された回路デバイスであり、前記検査装置は、電極部が形成されたテストボードと、電極部に対応した針状の導電性接触子の複数がハウジングに整列状に収容されるとともに、導電性接触子の軸方向端部がハウジングの外部に突出するようにコイルばねによって付勢されて前記テストボードに取り付けられたコンタクトプローブとを備えていることを特徴とする。
請求の範囲第１１項の発明では、コンタクトプローブを介して回路デバイスとテストボードとが電気的に接続されるため、回路デバイスに対して信頼性のある検査を行うことができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明を図示する実施の形態により具体的に説明する。なお、各実施の形態において、同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。
（実施の形態１）
第１図〜第８図は、本発明の実施の形態１の検査用ソケット１０を示し、第１図はその縦断面図、第２図は平面図、第３図は左側面図である。
この実施の形態の検査用ソケット１０は、第３２図及び第３３図に示すように、電極部が形成されたテストボード３にコンタクトプローブ４を取り付け、コンタクトプローブ４を介して回路デバイス１を検査するものである。従って、テストボード３が検査装置、回路デバイス１が検査対象物となっている。また、回路デバイス１に臨むコンタクトプローブ４の上面が検査面となっている。
コンタクトプローブ４は第３３図と同様なものが使用されるものであり、第８図に示すように、絶縁性のハウジング４ａと、ハウジング４ａ内に整列状に配置された針状の導電性接触子４ｂとを備え、導電性接触子４ｂがハウジング４を貫通した収容孔４ｃ内に収容され、コイルばね４ｄによって付勢されることにより、軸方向の両端部がハウジング４ａから突出するように付勢された構造となっている。コンタクトプローブ４は導電性接触子４ｂのテストボード３側の端部が電極部３ａと対応するようにテストボード３上に装着される。
第１図に示すように、コンタクトプローブ４は、テストボード３に固定されたベース８を介して同ボード３上に取り付けられるものである。ベース８は回路デバイス１が挿入される開口部８ａを有しており、開口部８ａの周囲がコンタクトプローブ４をテストボード３に押さえ付ける段部８ｂとなっている。また、ベース８には、この実施の形態の検査用ソケット１０を回動自在に支持する支軸９が設けられている。支軸９の反対側には、検査用ソケット１０の閉じ状態をロックするためのフック部８ｃが形成されている。なお、コンタクトプローブ４及びベース８を一体化し、一体化したものをテストボード３上に固定することも可能である。
検査用ソケット１０は、フレーム１１と、フレーム１１に取り付けられた操作部材１２と、操作部材１２への操作によって回路デバイス１への接離方向（上下方向）に移動する押圧体としての板ばね１３とを備えている。
フレーム１１は平面から見て略矩形状、側面から見てコ字状に成形されている。また、フレーム１１はベース８に対して着脱自在となっている。ベース８へのフレーム１１の取り付けを行うため、フレーム１１には、支軸９に係合する取付アーム１１ａが長さ方向の一端側に形成されている。
フレーム１１における取付アーム１１ａとの反対側には、ロックアーム１４が取り付けられている。ロックアーム１４はベース８のフック部８ｃと係合することにより、フレーム１１がベース８の開口部８ａを閉鎖する状態（検査用ソケット１０の閉じ状態）を保持するものである。ロックアーム１４はフレーム１１のロック軸１１ｂに回動可能に取り付けられているとともに、捩りばね、圧縮ばね等のロック用ばね１５によってフック部８ｃとの係合方向に回転するように付勢されている。このロックアーム１４のフック部８ｃへの係合によって、検査用ソケット１０の閉じ状態を安定させることができる。
操作部材１２はフレーム１１を貫通した状態で回転操作されるシャフト１６を備えている。第４図はシャフト１６を示し、円柱状の軸部１６ａと、軸部１６ａから直交方向に延びる円板形状のフランジ部１６ｂとが一体的に形成されることにより構成されている。
シャフト１６の軸部１６ａは操作部材１２の回転中心となる部位であり、下方から上方に向かってフレーム１１を貫通するように抜き出されている。フレーム１１を貫通した抜き出し端には、操作部材１２の回転操作の手懸かりとなるためのハンドル１７が着脱自在に取り付け可能となっている。このハンドル１７は軸部１６ａに対して直交方向に差し込まれるピン１７ａによって操作部材１２に取り付けられる。
シャフト１６（操作部材１２）は所定角度の範囲内を正逆回転可能にフレーム１１に取り付けられる。このため、フレーム１１には、所定長さの円弧状の回転規制孔１１ｄが形成される（第２図参照）とともに、シャフト１６の軸部１６ａには、回転規制孔１１ｄ内を摺動するストッパ１６ｄが突出状に形成されている。
一方、シャフト１６のフランジ部１６ｂは、その上面がフレーム１１と面接触している。このフランジ部１６ｂには、係合部としての球体１８が組み付けられる。球体１８の組み付けを行うため、フランジ部１６ｂには、球体１８が回転可能に落とし込まれるボール孔１６ｃが形成されている。ボール孔１６ｃはシャフト１６の円周方向に対して等間隔となるように、シャフト１６の回転中心の周囲の３箇所に形成されており、これにより、球体１８はシャフト１６の円周方向に対して等間隔となるように配置されている。
係合部として球体１８は、後述する板ばね１３を回路デバイス１に接近させるものであり、操作部材１２の回転に伴って転動しながら板ばね１３上を摺動する。球体１８が転動することにより、操作性が向上する。
フレーム１１における操作部材１２の回転始端及び終端に対応した位置には、クリック部としてのクリック溝１１ｅ、１１ｆが形成されている。操作部材１２の回転の際には、球体１８がこれらのクリック溝１１ｅ、１１ｆに落ち込むことにより、クリック感を得ることができ、これにより回転の開始点及び終了点を確認することができるため、操作性が向上する。
なお、球体１８に代えて、操作部材１２の回転に伴って回転するコロをフランジ部１６ｂに組み付けても良い。
押圧体としての板ばね１３は、操作部材１２のシャフト１６に取り付けられて回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付けるものである。シャフト１６への板ばね１３の取り付けを行うため、板ばね１３の中央部分には、第５図に示すように、シャフト１６の軸部１６ａが貫通する軸孔１３ａが板厚方向に貫通している。軸孔１３ａはシャフト１６の軸部１６ａの外径よりも幾分、大きめの孔径となっており、これにより、シャフト１６の回転が板ばね１３に伝達されることがない。また、板ばね１３は、平面から見て矩形板状の外形となるように成形されている。板ばね１３の外形寸法はフレー１１の幅方向の内寸法よりも幾分小さくなっており、これにより、シャフト１６への取付状態において、板ばね１３はフレーム１１に内側に位置している。以上の構造では、板ばね１３は回転が規制された状態で、回路デバイス１への接離方向にだけ移動可能となっている。
板ばね１３には、複数のばね片１３ｂが形成されている。各ばね片１３ｂは、シャフト１６の正回転の方向に沿って傾斜状に立ち上がるように形成されている。各ばね片１３ｂは、上述した操作部材１２側の球体１８が転動しながら摺動するものであり、従って、球体１８と対となる個数及び位置となるように設けられている。そして、球体１８の摺動は、操作部材１２の回転に伴って行われ、球体１８がばね片１３ｂ上を摺動することにより、板ばね１３は回路デバイス１への接近方向（下方向）に移動するようになっている。
この実施の形態では、球体１８がシャフト１６の円周方向に対して等間隔となるように配置されているため、球体１８と対となるばね片１３ｂもシャフト１６の円周方向に対して等間隔となるように配置される。このように複数対の球体１８及びばね片１３ｂが等間隔に配置されることにより、板ばね１３が回路デバイス１を押圧して回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付ける押し付け力が均等となる。このため、回路デバイス１をコンタクトプローブ４に均等に押し付けることができ、回路デバイス１の信頼性のある検査が可能となっている。
なお、板ばね１３の材質としては、回路デバイス１を押さえ付けるばね加重を有するものが選択される。この材質としては、例えば、ＪＩＳ規格におけるＳＵＳ３０４−ＣＳＰ或いはＳＫ５等が良好である。
板ばね１３には、所定厚さの板状の押し付けブロック２０が取り付けられている。押し付けブロック２０は、ばね片１３ｂが形成されている面と反対側（回路デバイス１側）の面に取り付けられており、回路デバイス１に直接に押圧するようになっている。押し付けブロック２０は緩衝材として作用するものであり、回路デバイス１を傷付けることのないプラスチック、ゴムその他の材料が使用されている。この場合、押し付けブロック２０の外形を板ばね１３と同様な外形としてフレーム１１に対して回転拘束し、間接的に板ばね１３を回転拘束することも可能である。これにより、板ばね１３の加工の自由度が拡大してその加工が容易となる。
以上に加えて、この実施の形態では、離隔付勢部材としての引張りばね１９が設けられている。引張りばね１９は第３図に示すように、フレーム１１と板ばね１３との間に掛け渡されており、板ばね１３を引き上げるように付勢することによって、回路デバイス１から離れる方向に板ばね１３を付勢している。これにより、通常状態では、板ばね１３が回路デバイス１から離れているため、不用意に回路デバイス１を押し付けることがなく、操作ミスを防止することができる。
次に、この実施の形態の作動を説明する。第１図における左半分は回路デバイス１の押し付け以前の状態を、右半分は回路デバイス１の押し付け状態を示す。
第７図に示すように、フレーム１１を起立して開放状態とし、ベース８の開口部８ａに回路デバイス１を挿入する。そして、フレーム１１を閉じ方向に回動させて、ロックアーム１４をベース８のフック部８ｃに係止させて、フレーム１１を閉じる。この状態で、ハンドル１７を正回転させる。
第８図はハンドル１７の正回転によって、球体１８が板ばね１３に作用する状態の変化を示している。ハンドル１７の回転前においては、板ばね１３が引張りばね１９によって引き上げられているため、同図（ａ）で示すように、球体１８がばね片１３ｂの切り起こしの根本部分にある。この状態では、板ばね１３（すなわち、押し付けブロック２０）が回路デバイス１と離れた状態となっている。また、球体１８はフレーム１１における始端側のクリック溝１１ｅに落ち込んでいる。
ハンドル１７への正回転操作によって、シャフト１６が同方向に回転する。この回転によって、同図（ｂ）で示すように、球体１８が転動しながら、ばね片１３ｂの斜面に沿って移動するため、ばね片１３ｂが撓み、板ばね１３はばね片１３ｂの弾性力によって回路デバイス１の方向に移動し同デバイス１を押圧する。この過程では、板ばね１３はコンタクトプローブ４のコイルばね４ｄの反力を受けるが、締付完了時にコンタクトプローブ４から受ける反力よりも、板ばね１３が作用する回路デバイス１への荷重が高くなるように設定することにより、板ばね１３は撓みながら回路デバイス１を弾性的に押圧することができる。また、板ばね１３が撓む際の撓み量によって、回路デバイス１の厚さのばらつきをある程度、吸収することができる。
シャフト１６の回転終端では、ストッパ１６ｄがフレーム１１の回転規制孔１１ｄの終端に当接する。このときには、同図（ｃ）で示すように、球体１８がばね片１３ｂの切り起こし端に到達し、ばね片１３ｂが最大に撓んだ状態となる。これにより、板ばね１３は押し付けブロック２０を介して回路デバイス１をコンタクトプローブ４に最大弾性力で押し付ける（第１図の左半分）。このため、導電性接触子４ｂを介して回路デバイス１とテストボード３とが導通して回路デバイス１の検査を行うことができる。
なお、この移動終端では、球体１８がフレーム１１の終端側のクリック溝１１ｆに落ち込むため、終端に達したことをクリック感で確認することができる。
かかる作動における板ばね１３の総荷重ＰＩは、コイルばね４ｄを含めたコンタクトプローブ４の総荷重ＰＣに対し、ＰＩ＞ＰＣとなるように設定される。そして、このＰＩを回路デバイス１の厚さ公差下限値の寸法で設定することにより、回路デバイス１が公差上限値となった場合でも、板ばね１３の撓みが増えるだけで、ＰＩ＞ＰＣの関係を維持することができる。これにより、回路デバイス１をコンタクトプローブ４に確実に押さえ付けることが可能となる。
回路デバイス１の押し付け解除は、ハンドル１７を逆回転させてシャフト１６を同方向に回転させることにより行うことができる。シャフト１６の逆回転では、球体１８がばね片１３ｂを上述したとの反対方向に移動するため、ばね片１３ｂの撓みが減じる。また、板ばね１３は引張りばね１９によって引き上げられているため、初期状態（第１図の右半分）に復帰する。
このような実施の形態では、シャフト１６の正逆回転により、板ばね１３の回路デバイス１への押し付け及びその解除を行うことができるため、操作性が向上するとともに、板ばね１３が一定の荷重で回路デバイス１を押し付けるため、信頼性のある検査を行うことができる。また、押し付け解除の際には、シャフト１６の逆回転で、板ばね１３の弾性力が減少するため、安全に取り扱うことが可能となる。
第６図は、この実施の形態における支軸９とフレーム１１の取付アーム１１ａとの関係を示す。取付アーム１１ａには、支軸９が挿入される略Ｕ字形の取付溝１１ｇが形成されている。また、支軸９の一部には、径方向と交差する方向の平行面９ｈが形成されるとともに、取付溝１１ｇにも平行面１１ｈが形成されている。
このような構造とすることにより、第６図（ａ）で示すように、支軸９及び取付溝１１ｇに形成された平行面９ｈ、１１ｈが向き合う方向以外は、取付アーム１１ａが支軸９から外れることがない。このため、フレーム１１をベース８に確実に取り付けることができ、フレーム１１を安定して回動することができる。また、支軸９からの取付アーム１１ａ（フレーム）からの着脱は、第６図（ｂ）で示すように、平行面９ｈ、１１ｈが向き合った状態では、取付アーム１１ａを支軸９から取り外すことができる。これにより、ベース８へのフレーム１１の脱着を簡単に行うことができる。
なお、支軸９と取付アーム１１ａとの関係は、これに限定されるものではなく、支軸９を円形断面とした通常の軸体とし、取付アーム１１ａの取付溝１１ｈも円形とした通常の溝であっても良い。
（実施の形態２）
第９図〜第１３図は、本発明の実施の形態２の検査用ソケット３０を示す。第９図において、左半分は回路デバイス１の押し付け前の状態を、右半分は回路デバイス１の押し付け状態である。
この実施の形態の検査用ソケット３０では、間隔調整機構３１が設けられている。間隔調整機構３１は、板ばね１３と回路デバイス１との間隔調整を行うことによって、回路デバイス１に作用する板ばね１３の荷重を調整するものであり、フレーム１１とシャフト１６のフランジ部１６ｂとの間に挟まれるように配置されている。
間隔調整機構３１は重ね合わされた第１の調整板３２及び第２の調整板３３と、間隔調整を行うためのアジャストロッド３４とを備えている。第１の調整板３２がフレーム１１側（上側）に位置してフレーム１１の下面に接触する一方、第２の調整板３３がシャフト１６のフランジ部１６ｂ側（下側）に位置してフランジ部１６ｂの上面に接触している。アジャストロッド３４はフレーム１１と平行となる水平状態で第１の調整板３２に取り付けられている。
第１２図に示すように、第１の調整板３２はアジャストロッド３４が螺合するタップ部３２ａが形成されている。また、第１の調整板３２には、シャフト１６の軸部１６ａが遊挿される長孔３２ｂが形成されている。長孔３２ｂはアジャストロッド３４の長さ方向に沿って延びており、これにより、第１の調整板３２はアジャストロッド３４を回転操作した際に、シャフト１６の軸部１６ａと直交する水平な方向に移動可能となっている。
第２の調整板３３は、シャフト１６の軸部１６ａが貫通する円形の軸孔３３ａが形成されている。軸孔３３ａはシャフト１６の軸部１６ａの外径と同程度或いは幾分大きな径となっており、軸部１６ａが回転可能に貫通するようになっている。このようにシャフト１６の軸部１６ａが貫通することにより、第２の調整板３３は水平方向への移動が拘束され、軸部１６ａの軸方向に沿って上下方向に移動することができる。
第２の調整板３３には、実施の形態１におけるクリック溝１１ｅ、１１ｆと同様なクリック孔３３ｅ、３３ｆが形成されている。これに対し、シャフト１６のフランジ部１６ｂには第９図に示すように、円周上の等間隔位置となる複数の球体１８が挿入されている。球体１８は一部分がフランジ部１６ｂの上方に幾分、突出しており、突出した部分が第２の調整板３３の下面と接触している。このため、球体１８がクリック孔３３ｅ、３３ｆに落ち込むことができ、これにより、実施の形態１と同様に、クリック感によってシャフト１６の回転の開始点及び終了点を確認することが可能となっている。
第１の調整板３２及び第２の調整板３３における重ね合わせ面は、いずれも傾斜面３２ｃ、３３ｃとなっている。これらの傾斜面３２ｃ、３３ｃは、第１の調整板３２の長孔３２ｂが延びる方向に沿って形成されている。また、傾斜面３２ｃ、３３ｃは傾斜角度が略同一であるが、傾斜方向が反転されて重ね合わせられている。このように傾斜方向が反転した状態で傾斜面３２ｃ、３ｃが重ね合わせられることにより、一方の調整板（第１の調整板３２）が移動すると、他方の調整板（第２の調整板３３）が上下方向に移動することができる。
さらに、第１の調整板３２及び第２の調整板３３は、平面から見て矩形状の外形に成形されるとともに、フレーム１１には、これらの調整板３２、３３の側面が当接する切り起こし片１１ｇが形成されている（第１１図参照）。切り起こし片１１ｇは、調整板３２、３３の側面が接触しながら摺動するものであり、側面が切り起こし片１１ｇと接触することにより、調整板３２、３３は回転が拘束された状態となり、第１の調整板３２は水平方向への直線移動、第２の調整板３３は上下方向への移動だけが行われるようになっている。
この実施の形態において、アジャストロッド３４を一方向に回転させて第１の調整板３２を直線方向に推進させると、第１３図に示すように第１の調整板３２がスライドする。このスライドと連動して、その傾斜面３３ｃが第１の調整板３２の傾斜面３２ｃと重ね合わされている第２の調整板３３は、傾斜面３２ｃ、３３ｃの傾斜角度に応じて板ばね１３方向へ移動（下動）する。この移動によって、フランジ部１６ｂが第２の調整板３３と接触しているシャフト１６が同方向に移動するため、フランジ部１６ｂの球体１８が接触しているばね片１３ｂが撓み、板ばね１３が押し下げられて回路デバイス１の方向に移動する。これにより、板ばね１３と回路デバイス１との間隔を調整することができる。一方、アジャストロッド３４を反対方向に回転させる場合には、第２の調整板３３が板ばね１３と離れる方向に移動（上動）するため、板ばね１３が回路デバイス１と離れる方向に移動して、反対方向への間隔調整を同様に行うことができる。
この実施の形態においても、実施の形態１と同様に、板ばね１３にばね片１３ｂが形成されるとともに、操作部材１２を構成するシャフト１６の正方向への回転に伴う球体１８の移動によってばね片１３ｂが撓むため、板ばね１３が押し付けブロック２０を介して回路デバイス１を弾性的にコンタクトプローブ４に押し付ける。このため、実施の形態１と同様に、回路デバイス１の電気的検査を行うことができる。
これに加えて、この実施の形態では、間隔調整機構３１によって板ばね１３と回路デバイス１との間隔を調整することができるため、厚さの異なっている回路デバイス１に対する適合を行うことができる。また、同じ厚さの回路デバイス１に対しては、板ばね１３の撓み量を変更することができるため、板ばね１３による締め付け荷重を調整することができる。従って、回路デバイス１と接触するコンタクトプローブ４の導電性接触子４ｂの本数の変更に対しての適合も可能となる。
さらに、間隔調整機構３１は、傾斜面３２ｃ、３３ｃが連続しており、連続した傾斜面３２ｃ、３３ｃが重ね合わされた第１及び第２の調整板３２、３３のスライドによって板ばね１３と回路デバイス１との間隔調整を行うため、無段階での調整が可能であり、きめ細かな間隔調整を行うことができる。
なお、この実施の形態では、第１及び第２の調整板３２、３３をフレーム１１の切り起こし片１１ｇとの接触によって行っているが、これに限らず、直線状のガイド溝やガイド溝に係合するガイド突起又はフレーム１１の側面内側等によって行っても良い。
（実施の形態３）
第１４図〜第１７図は、本発明の実施の形態３における検査用ソケット４０を示す。この実施の形態においても、板ばね１３にばね片１３ｂが形成されており、操作部材１２を構成するシャフト４２の回転に伴う球体１８の移動によってばね片１３ｂを撓ませる構造となっている。また、間隔調整機構３１が設けられることにより、フレーム１１と板ばね１３との間隔調整が可能となっている。
この実施の形態においては、正逆方向に回転するシャフト４２に回転板４１が取り付けられている。回転板４１は第１６図に示すように、円形板によって形成されており、その中心部分には、円の両側を平行カットした非円形形状の軸孔４１ａが貫通している。この軸孔４１ａにはシャフト４２が貫通し、この貫通によって回転板４１がシャフト４２に取り付けられる。なお、シャフト４２の上端部分には、シャフト４２を回転させるためのハンドル１７がねじ４４によって固定されている（第１４図参照）。
シャフト４２は第１５図に示すように、回転板４１の軸孔４１ａに相応する非円形の外形に形成された第１の軸部４２ａと、円形の外形に成形されて第１の軸部４２ａの下側に連設された第２の軸部４２ｂと、第２の軸部４２ｂの下端に幾分、大径となって形成された鍔部４２ｃとによって形成されている。そして、第１の軸部４２ａが回転板４１の軸孔４１ａを貫通することにより、シャフト４２と一体回転するように回転板４１がシャフト４２に取り付けられる。なお、回転板４２は第１の軸部４２ａと第２の軸部４２ｂとの段差部分に当接することにより、シャフト４２からの抜け落ちが防止されている。
回転板４１には、板厚方向に貫通する貫通孔４１ｂが円周上の複数箇所（３箇所）に等間隔に形成されている。第１４図に示すように、各貫通孔４１ｂには、板ばね１３のばね片１３ｂに沿って移動する球体１８がセットされる。そして、シャフト４２の回転に伴って回転板４１が回転すると、球体１８がばね片１３ｂを撓ませることができ、板ばね１３が押し付けブロック２０を介して回路デバイス１をコンタクトプローブ４に弾性的に押し付けるようになっている。これに加えて、間隔調整機構３１の第２の調整板３３には、第１２図（ｂ）に示すように、球体１８が落ち込むことにより、クリック感を発生させるクリック孔３３ｅ、３３ｆが形成されている。
このような実施の形態では、回転板４１が実施の形態１及び２におけるフランジ部１６ｂと同様に作用するものであり、フランジ部１６ｂに相当する回転板４１をシャフト４１から分離した構造となっている。このようにシャフト４２と回転板４１とを分離した構造では、シャフト４２の外形が簡単となるため、加工が容易となるメリットがある。
シャフト４２の第２の軸部４２ｂには、圧縮ばね４３が外挿されている。第１４図及び第１７図に示すように、圧縮ばね４３の下端は、鍔部４２ｃによって抜け止めされており、上端は板ばね１３に押さえ付けられることにより抜け止めされている。
圧縮ばね４３は鍔部４２ｃと板ばね１３とによって圧縮された状態でシャフト４２に外挿されており、これにより、板ばね１３が回路デバイス１から離れる方向（上方向）に付勢している。従って、圧縮ばね４３は板ばね１３を回路デバイス１から離隔させる離隔付勢部材として作用するものである。
このような構造においても、シャフト４２を正方向に回転させることにより、球体１８がばね片１３ｂを撓ませるため、板ばね１３が押し付けブロック２０を介して回路デバイス１を弾性的にコンタクトプローブ４に押し付けて、回路デバイス１の電気的検査を行う。一方、シャフト４２を正方向に回転させない状態では、圧縮ばね４３のばね力によって、板ばね１３が回路デバイス１と離隔した状態となっているため、板ばね１３が不用意に回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付けることがなく、操作ミスを防止することが可能となっている。
さらに、離隔付勢部材としての圧縮ばね４３がシャフト４２の鍔部４２ｃと板ばね１３との挟まれた状態で取り付けられているため、シャフト４２から外れることがなく、離隔作用を安定して行うことができる。
（実施の形態４）
第１８図〜第２３図は、本発明の実施の形態４における検査用ソケット５０を示す。第１８図において、左半分は回路デバイス１の押し付け以前の状態であり、右半分は回路デバイス１の押し付け状態である。
この実施の形態では、第２０図〜第２２図に示すように、回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付ける機構をモジュール５１とし、このモジュール５１をフレーム１１に対して着脱自在とするものである。モジュール５１は、操作部材１２及び板ばね１３とを組み付けることによって構成されている。
モジュール５１の操作部材１２は、シャフト５３と、ブッシュ５４と、シャフト５３の上端部に取り付けられたハンドル１７とを備えている。
シャフト５３は軸部５３ａと、軸部５３ａから直交方向に延びるフランジ部５３ｂとが一体的に形成された形状となっている。軸部５３ａの上端部には、ハンドル１７がねじ４４によって固定されており、ハンドル１７を正逆方向に回転操作することによりシャフト５３が同方向に回転する。軸部５３ａの下端部は板ばね１３の軸孔１３ａに挿入されるものである。
フランジ部５３ｂには、係合部としての複数（３個）の球体１８が円周上の等間隔に配置される。なお、球体１８を配置するため、球体１８が貫入する貫入孔５３ｃがフランジ部５３ｂの円周上の等間隔位置の３箇所に形成されている。球体１８は、各貫入孔５３ｃから一部が上方に抜き出た状態で貫入孔５３ｃに貫入するようになっている。
ブッシュ５４は、上側ブッシュ部５４ａ及び下側ブッシュ部５４ｂとからなる段付き構造となっている。第２３図は、ブッシュ５４を示し、その中央部には、シャフト５３の軸部が回転可能に貫通する軸孔５４ｃが形成されている。上側ブッシュ部５４ａ及び下側ブッシュ部５４ｂは、第２０図に示すように円を平行カットした非円形の外形に形成されており、下側ブッシュ部５４ｂは上側ブッシュ部５４ａよりも大きな面積のフランジ状に形成されている。上側ブッシュ部５４ａは、フレーム１１に形成されたブッシュ孔１１ｈに圧入される。このため、ブッシュ孔１１ｈは上側ブッシュ部５４ａの外形に相応した非円形の形状に成形されている。
上側ブッシュ部５４ａがフレーム１１のブッシュ孔１１ｈに圧入した状態では、ブッシュ５４が回転止め状態となる。このとき、下側ブッシュ部５４ｂはフレーム１１の下面に当接する。また、ブッシュ５４はシャフト５３のフランジ部５３ｂに上面から当接し、さらに、シャフト５３の軸部５３ａに、ハンドル１７が固定されている。このような構造では、ハンドル１７とブッシュ５４とによってフレーム１１を挟み込むため、シャフト５３がフレーム１１から抜け出ないようになっている。
なお、ブッシュ５４の下面には、第２３図に示すように各球体１８が移動するガイド溝５４ｄが円弧状に形成されている。ガイド溝５４ｄは、球体１８の移動範囲を規制するものであり、球体１８の移動始端（シャフト５３の回転開始点）及び移動終端（シャフト５３の回転終了点）との対応位置にはクリック孔５４ｅ、５４ｆが形成されている。
板ばね１３は、引張りばね１９を介してブッシュ５４の端部に連結されている。従って板ばね１３は、回路デバイス１から離れる上方向に引き上げられるようにブッシュ５４に取り付けられている。板ばね１３の下面には、押し付けブロック２０がねじ５５を介して固定されている（第２２図参照）。さらに、板ばね１３から傾斜状に立ち上がるばね片１３ｂには、対応した球体１８が転動可能に接触している。このような構造では、シャフト５３、ブッシュ５４、ハンドル１７及び押し付けブロック２０を有した板ばね１３が相互に組み付けられるため、モジュール５１とすることができる。
このようなモジュール５１は、板ばね１３及びブッシュ５４が組み付けられた状態のシャフト５３と、ハンドル１７とを分離した状態とし、フレーム１１の下側からシャフト５３を挿入して、ブッシュ５４の上側ブッシュ部５４ａをフレーム１１のブッシュ孔１１ｈに圧入する。そして、フレーム１１から上部に抜き出た軸部５３ａにハンドル１７をねじ４４によって固定することにより、モジュール５１をフレーム１１への取り付けを行うことができる。一方、ハンドル１７をシャフト５３の軸部５３ａから取り外した後、フレーム１１からシャフト５３を抜き取ることにより、モジュール５１をフレーム１１から取り外すことができる。
フレーム１１は、ベース８の仕様に合わせて設計されるのに対し、モジュール５１がフレーム１１に対して着脱自在となっているため、回路デバイス１の厚さや大きさ、さらにはコンタクトプローブ４の導電性接触子４ｂの本数や荷重等に合わせたモジュール５１を選択して検査に用いることができる。このため、汎用性のある検査ソケット５０とすることができる。
（実施の形態５）
第２４図〜第２８図は、本発明の実施の形態５における検査用ソケット６０を示す。
この実施の形態においても、板ばね１３にばね片１３ｂが形成されており、操作部材１２を構成するシャフト４２の回転に伴う球体１８の移動によってばね片１３ｂを撓ませる構造となっている。そして、前記実施の形態３と同様に、間隔調整機構３１が設けられており、フレーム１１と板ばね１３との間隔調整が可能となっている。
さらに、前記実施の形態３と同様に、正逆方向に回転するシャフト４２に回転板４１が取り付けられている。
また、シャフト４２の上端部分には、第２４図に示すように、シャフト４２を回転させるためのハンドル６２がシャフト４２に対する回転を拘束されて取付けられ、止めねじ６４により固定されている。
この実施の形態におけるフレーム１１、シャフト４２、間隔調整機構３１、回転板４１、球体１８、板ばね１３及び圧縮ばね４３関係の構成及び機能は、いずれも前記実施の形態３と同様であるので、これらの詳細な説明は省略する。
そして、シャフト４２の回転に伴って回転板４１が回転すると、球体１８がばね片１３ｂを撓ませることができ、板ばね１３が押し付けブロック２０を介していずれも図示しない回路デバイスをコンタクトプローブに弾性的に押し付けるようになっている。
この実施の形態では、回転板４１の上面に上部が突出する球体１８と第２の調整版３３との間に配置され、シャフト４２が挿通することによりシャフト４２の周りで回転自在となっている回転プレート６５と、回転プレート６５と第２の調整版３３との間に配置された摺動部材６６とが備えられている点が、第１の特徴的な構造となっている。
第２６図は、この実施の形態における球体１８を含む操作部係合部の要部拡大断面図である。
回転プレート６５及び摺動部材６６がない場合、ハンドル６２を把持してシャフト４２を例えば正方向すなわち第２６図のＡ方向に回転させると、回転しない第２の調整板３３の下面と球体１８の上部とが接触し、その接触面において球体１８の回転を妨げようとする摩擦力が発生する。その結果、その摩擦力の分だけハンドル６２の操作力が増大する。
しかし、回転プレート６５及び摺動部材６６があるこの実施の形態においては、球体１８の上部が当接する回転プレート６５が球体１８の回転による摩擦力に応じてシャフト４２及び回転板４１とは反対のＢ方向に回転する。このとき、回転プレート６５の上面が摺動部材６６の下面に接して摺動する。この摺動部材６６には、フッ素樹脂系ワッシャー、潤滑剤が含有されたドライベアリング、あるいはスラストベアリング等の摩擦低減部材を用いることにより、前記摺動の摩擦を軽減することができる。これにより、ハンドル６２の操作力をさらに低減することが可能となる。
なお、この実施の形態における間隔調整機構３１を省いた変形形態とすることもできることはいうまでもない。すなわちこの場合は、摺動部材６６が直接フレーム１１と回転プレート６５との間に配置される。
また、回転板４１が前記実施の形態１又は２のようにシャフト４２と一体に形成された円形フランジであってもよい。
さらに、球体１８の代わりにコロを使用することもできる。
また、第２４図はこの実施の形態の検査用ソケット６０の閉じ状態を示す縦断面図、第２５図はその閉じ状態の平面図、第２７図はその開放状態を示す縦断面図、第２８図はその開放状態の平面図である。
この実施の形態においては、フレーム１１の取付けアーム１１ａ、検査用ソケット６０の閉じ状態をロックするためのベース８のフック部８ｃ、フック部８ｃと係合するロックアーム１４自身等の構成は、前記実施の形態２、３と同様である。ただし、検査用ソケット６０の閉じ状態において、締め付け位置にあるハンドル６２に対応して干渉するようにロックアーム１４に一体化されたレバー６１の上端に突起部６１ａ設けられている点が第２の特徴的な構造となっている。
この実施の形態のハンドル６２は、第２４図、第２５図に示すように、円筒体の中央部を略平行に残して両側上方部が段付状に切除された逃げ部６２ｂと残された中央部の抓み部６２ａとからなっている。ハンドル６２のシャフト４２への取付け構造は、ハンドル６２の非円形の孔とシャフト４２端部が嵌合し回転を拘束されて取付けられ、止めねじ６４により固定されている。
このような実施の形態において、検査用ソケット６０が閉じ状態にあり、ハンドル６２の抓み部６２ａを締め付け位置に回転させた状態においては、第２４図及び第２５図に示すように、レバー６１の突起部６１ａがハンドル６２の抓み部６２ａの端面に当接するように干渉することにより、レバー６１が固定されているロックアーム１４を開放することができない。したがって、この状態では検査用ソケット６０を開放することができず、検査対象物である回路デバイスを取出すことが不可能となる。
このような実施の形態によれば、ハンドル６２の抓み部６２ａが締め付け位置にある検査用ソケット６０の開放という誤動作を防止することが確保できる。
一方、検査用ソケット６０の開放状態の方向にハンドル６２の抓み部６２ａを回転させた開放位置では、第２７図及び第２８図に示すように、レバー６１の突起部６１ａはハンドル６２の逃げ部６２ｂの上方に位置しハンドル６２の抓み部６２ａとも干渉せず、ロックアーム１４を開放した状態に保持することができる。したがって、この状態で検査用ソケット６０を開放し、検査対象物である回路デバイスを取出すことが可能となる。
なお、この実施の形態における突起部６１ａをレバー６１に対応して干渉するようにハンドル６２の側面に突出させて設けた変形形態とすることもできる。すなわちこの場合は、レバー６１は突起部６１ａが切除された略垂直面形状でよく、この垂直面がハンドル６２側の突起部と干渉するよう構成することができる。そして、検査用ソケット６０を開放状態にする方向にハンドル６１を回転させるのに伴い前記突起部が、レバー６１の垂直面から離反することにより前記突起部の干渉を容易に解除することができる。
また、ロックアーム１４とレバー６１は、一体形成されたものであってもよい。
（他の実施の形態）
第２９図〜第３１図は他の実施の形態を示す。第２９図の形態では、シャフト１６のフランジ部１６ｂに、板ばね１３方向に突出する突起６１が形成されている。突起６１はフランジ部１６ｂの円周方向に沿って等間隔に形成されており、板ばね１３に立ち上がり状に形成されたばね片１３ｂと対となって当接している。突起６１は、シャフト１６を正逆方向に回転させるのに伴って、ばね片１３ｂを摺動するものであり、この摺動によりばね片１３ｂを撓ませることができ、板ばね１３による回路デバイス１の押し付けを行うことができる。
第３０図は、板ばね１３を複数重ね合わせた形態を示す。板ばね１３を複数重ね合わせることにより、回路デバイス１を押し付ける荷重を増大させることができる。このため、ばね力が大きく、形状や重量の大きな板ばねを用いる必要がなく、小スペース内での配置を行うことができる。
第３１図は、板ばね１３を回路デバイス１との離隔方向に付勢する離隔付勢部材の別の形態を示す。同図（ａ）は、フレーム１１に圧縮ばね６３を取り付け、圧縮ばね６３によって板ばね１３を上述した方向に付勢する構造となっている。また、同図（ｂ）は、板ばね１３の端部をスリット状に成形し、この成形部分をフレーム１１に直接に係止させることにより、付勢を行う構造となっている。
本発明は以上の実施の形態に限定されることなく、種々変更が可能である。例えば、フレーム１１をベース８に回動可能に支持する支軸９としては、円柱の外形形状であっても良い。また、本発明は回路デバイス１をコンタクトプローブ４に押し付ける以外の検査に用いることができる。
産業上の利用可能性
請求の範囲第１項の発明によれば、押圧体の弾性力によって検査対象物を検査装置の検査面に押し付けるため、均一の押し付けが可能で、信頼性のある検査を行うことができる。また、操作部材の逆回転によって押圧体の弾性力が減少するため、緩やかな取り外しを行うことができる。
請求の範囲第２項の発明によれば、シャフトの所定角度範囲内の正逆回転により、板ばねの検査対象物への押し付け及びその解除を行うことができるため、操作性が向上し、しかも、板ばねが一定の荷重で検査対象物を押し付けるため、信頼性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第３項の発明によれば、シャフトの所定角度範囲内の正逆回転に伴う検査対象物への押し付け及びその解除を行うことができるため、操作性が向上するとともに、信頼性のある検査を行うことができる。また、操作部材及び板ばねとによって形成されるモジュールがフレームに対して着脱自在となっているため、汎用性のある検査用ソケットとすることができる。
請求の範囲第４項の発明によれば、請求の範囲第２項及び第３項の発明の効果を有するのに加えて、板ばねが不用意に検査対象物を押し付けることがないため、検査ミスを防止することができる。
請求の範囲第５項の発明によれば、請求の範囲第２項〜第４項の発明の効果に加えて、板ばねと検査対象物との間隔調整を行うことができるため、検査対象物の厚さや大きさに対応することができ、汎用性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第６項の発明によれば、請求の範囲第２項〜第５項の発明の効果に加えて、板ばねの検査対象物への押し付け力が均等となるため、検査対象物が均等に検査面に押し付けられて、信頼性のある検査を行うことができる。
請求の範囲第７項の発明によれば、請求の範囲第５項の発明の効果に加えて、板ばねと検査対象物との間隔調整を一方の調整板の移動によって行うため、簡単に調整することができるとともに、連続している傾斜面によって間隔調整を行うため、無段階の調整ができ、きめ細かな調整が可能となる。
請求の範囲第８項の発明によれば、請求の範囲第２項及び第３項の発明の効果に加えて、フレームをベースへ簡単に脱着することができる。
請求の範囲第９項の発明によれば、請求の範囲第２項〜第８項の発明の効果に加えて、回転プレートが球体の摺動抵抗を軽減するとともに、摩擦低減部材からなる摺動部材により回転プレートとの摺動抵抗が軽減されることから、操作部の回転操作力が一層低減される。
請求の範囲第１０項の発明によれば、請求の範囲第２項〜第５項の発明の効果に加えて、検査用ソケットの閉じ状態において、ハンドル及びレバーに設けられた突起部の相互干渉により、検査用ソケットの開放という誤動作を防止することが確保できる。
請求の範囲第１１項の発明によれば、請求の範囲第１項〜第８項の発明の効果に加えて、コンタクトプローブを介して回路デバイスとテストボードとが電気的に接続されるため、回路デバイスに対する信頼性のある検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施の形態１の縦断面図であり、第２図は、実施の形態１の平面図であり、第３図は、実施の形態１の側面図であり、第４図は、実施の形態１に用いるシャフトを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は底面図であり、第５図は、実施の形態１に用いる板ばねを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図であり、第６図は、（ａ）及び（ｂ）はフレームをベースに取り付ける構造の部分正面図であり、第７図は、実施の形態１におけるフレーム開放状態の斜視図であり、第８図は、（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態１の作動を順序に沿って説明する断面図であり、第９図は、本発明の実施の形態２の縦断面図であり、第１０図は、実施の形態２の平面図であり、第１１図は、実施の形態２の側面図であり、第１２図は、間隔調整機構を示し、（ａ）は第１の調整板の平面図、（ｂ）は第２の調整板の平面図であり、第１３図は、（ａ）、（ｂ）は、間隔調整機構の作動を示す断面図であり、第１４図は、本発明の実施の形態３の縦断面図であり、第１５図は、実施の形態３に用いるシャフトを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図、（ｃ）は側面図であり、第１６図は、実施の形態３に用いる回転板の平面図であり、第１７図は、実施の形態３に用いる圧縮ばねと板ばねとの関係を示す側面図であり、第１８図は、本発明の実施の形態４の縦断面図であり、第１９図は、実施の形態４の平面図であり、第２０図は、実施の形態４に用いるモジュールの平面図であり、第２１図は、モジュールの側面図であり、第２２図は、モジュールの縦断面図であり、第２３図は、実施の形態４に用いるブッシュを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は底面図であり、第２４図は、本発明の実施の形態５におけるフレーム閉じ状態を示す縦断面図であり、第２５図は、第２４図の平面図であり、第２６図は、実施の形態５における操作部の係合部の要部拡大断面図であり、第２７図は、本発明の実施の形態５におけるフレーム開放状態を示す縦断面図であり、第２８図は、第２７図の平面図であり、第２９図は、（ａ）、（ｂ）はシャフトの別の形態を示す側面図及び縦断面図であり、第３０図は、板ばねの別の形態を示す側面図であり、第３１図は、（ａ）、（ｂ）は離隔付勢部材の別の形態を示す断面図であり、第３２図は、回路デバイスの検査を行う構造を示す断面図であり、第３３図は、コンタクトプローブの内部を示す断面図であり、第３４図は、従来の検査用ソケットの検査前の断面図であり、第３５図は、従来の検査用ソケットの検査状態の断面図であり、第３６図は、別の従来の検査ソケットの検査前の断面図であり、第３７図は、別の従来の検査ソケットの検査状体の断面図である。

Claims (11)

1. 検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、
   検査対象物に対する接離方向に移動可能となっており、検査対象物への接近によって検査対象物を検査面に弾性的に押し付ける押圧体と、
   押圧体の軸回りで正逆回転可能となっている操作部材とを備え、
   操作部材の正回転に伴って検査対象物への弾性力が増加し、逆回転に伴って弾性力が減少するように押圧体と操作部材とが係合していることを特徴とする検査用ソケット。
2. 検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、
   検査対象物をセットするための開口部を有して検査面に取り付けられたベースに着脱自在に取り付けられ、前記開口部を開閉するフレームと、
   所定角度範囲内を正逆回転可能にフレームに取り付けられたシャフトを有すると共に、検査対象物の方向に突出する係合部が形成された操作部材と、
   前記シャフトの回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっていると共に前記係合部が対となって摺動するばね片を有しており、検査対象物に対する接離方向に移動するようにシャフトに取り付けられた板ばねとを備えていることを特徴とする検査用ソケット。
3. 検査装置の検査面に対して検査対象物を押し付けるソケットであって、
   所定角度範囲内を正逆回転可能となっているシャフトを有するとともに、検査対象物の方向に突出する係合部が形成された操作部材と、前記シャフトの回転方向に沿って傾斜状に立ち上がっているとともに前記係合部が対となって摺動するばね片を有し、検査対象物に対する接離方向に移動するようにシャフトに取り付けられた板ばねとが組み付けられたモジュールからなり、
   検査対象物をセットするための開口部を有して検査面に取り付けられたベースに着脱自在に取り付けられて開口部を開閉するフレームに対して前記シャフトが着脱自在となっていることを特徴とする検査用ソケット。
4. 検査対象物から離れる方向に前記板ばねを付勢する離隔付勢部材が設けられていることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３項記載の検査用ソケット。
5. 前記検査対象物と板ばねとの間隔調整を行う間隔調整機構がシャフトとフレームとの間に設けられていることを特徴とする請求の範囲第２項乃至第４項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。
6. 前記係合部及びばね片の複数対が、シャフトの回転方向に沿って等間隔に設けられていることを特徴とする請求の範囲第２項乃至第５項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。
7. 前記間隔調整機構は、相互に摺動するように重ね合わされるとともにフレームとの相対回転が拘束された状態でシャフトが挿通し、前記フレームとシャフトとの間に配置された少なくとも２つの調整板を有しており、一方の調整板がシャフトと交差する方向に移動可能となっているとともに、前記移動方向に沿って傾斜する傾斜面が調整板の重ね合わせ面に形成されていることを特徴とする請求の範囲第５項記載の検査用ソケット。
8. 前記フレームを取り付けるための支軸がベースに形成されるとともに、支軸が挿入可能な略Ｕ字形の取付溝を有した取付アームがフレームに形成されており、支軸及び取付溝に平行面が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項乃至第７項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。
9. 前記係合部とフレーム又は間隔調整機構との間に配設され、シャフトが挿通することによりシャフトの周りで回転自在となっている回転プレートと、
   回転プレートとフレーム又は間隔調整機構との間に配置された摺動部材とを備えていることを特徴とする請求の範囲第２項乃至第８項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。
10. 前記フレームに回動可能に取付けられ、フレームがベースの開口部を閉鎖する状態を保持するロックアームと、前記シャフトの上端に固着されたハンドルに、前記フレームの閉じ状態で相互に干渉する突起部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第２項乃至第９項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。
11. 前記検査対象物は、パターンが形成された回路デバイスであり、
    前記検査装置は、電極部が形成されたテストボードと、
    電極部に対応した針状の導電性接触子の複数がハウジングに整列状に収容されるとともに、導電性接触子の軸方向端部がハウジングの外部に突出するようにコイルばねによって付勢されて前記テストボードに取り付けられたコンタクトプローブとを備えていることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１０項のいずれか１項に記載の検査用ソケット。

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