KR100964848B1 - 검사용소켓 - Google Patents

Abstract

검사대상물에 대하여 균일한 가압력을 작용함으로써 신뢰성있는 검사를 수행한다. 검사용소켓(10)은 검사장치(4)의 검사면에 대하여 검사대상물(1)을 가압한다. 회로소자 등의 검사대상물(1)을 세팅하기 위한 개구부(8a)를 포함하는 것으로 검사면에 장착된 베이스(8)에 착탈자재로 장착되어 개구부(8a)를 개폐하는 프레임(11)과, 소정각도범위 내를 정역회전가능하도록 프레임(11)에 장착된 샤프트(16)를 포함하는 것으로 검사대상물(1)의 방향으로 돌출한 계합부(18)가 형성된 조작부재(12)와, 샤프트(16)의 회전방향에 따라 경사형으로 세워지고 계합부(18)가 반대로 되어 접동하는 용수철편(13b)을 포함하는 것으로 검사대상물(1)에 대한 접리방향으로 이동하도록 샤프트(16)에 장착된 판용수철(13)을 구비한다.

검사용소켓, 회로소자, 프레임, 샤프트, 판용수철

Description

검사용소켓{Socket for inspection}

본 발명은, IC, 프린트배선판, 액정표시패널과 같은 패턴이 형성된 회로소자 등의 검사대상물을 테스트보드에 전기적으로 도통시키기 위하여 사용하는 검사용소켓에 관한 것이다.

도 32 및 33은, 상술한 회로소자(1)의 도통검사를 수행하는 상태를 보이는 것으로, 회로소자(1)에는 콘택트부(1a)가 패턴형성되고, 이 회로소자(1)를 검사장치(2)의 내부에 세팅하여 검사가 수행된다. 검사장치(2)는, 전극부(3a)가 패턴형성된 테스트보드(3)와, 테스트보드(3)에 장착된 콘택트프로브(4)를 구비하고 있다.

도 33에서 보는 바와 같이, 콘택트프로브(4)는, 절연성의 하우징(4a)과, 하우징(4a) 내에 정렬형으로 배치된 침상의 도전성접촉자(4b)를 구비하고 있다. 도전성접촉자(4b)는, 하우징(4a)을 판두께방향으로 관통하도록 형성된 흡수공(4c) 내에 수용되어 있고, 코일스프링(4d)에 의해 장착됨으로써 축방향의 양단부가 하우징(4a)으로부터 돌출하도록 부착되어 있다. 이 콘택트프로브(4)는 도전성접촉자(4b)의 테스트보드(3)측의 단부가 전극부(3a)와 대응하도록 테스트보드(3)상에 장착되어 있다.

테스트보드(3)상에 콘택트프로브(4)의 장착은, 도 32에서 보는 바와 같이, 판상의 취부부재(5)를 스프링 등의 접속부재(6)로 테스트보드(3) 상에 고정함으로써 수행된다. 취부부재(5)의 장착에 의해, 콘택트프로브(4)는 테스트보드(3)와 접속부재(5)로 협지된다.

취부부재(5)에는 개구부(5a)가 형성되어 있고, 이 개구부(5a) 내에 회로소자(1)를 삽입하여 세팅한다. 이 삽입에 의해, 회로소자(1)의 콘택트부(1a)와 콘택트프로브(4a)의 도전성접촉자(4b)가 대향하고, 도전성접촉자(4b)를 통하여 회로소자(1)와 테스트보드(3)의 도통이 이루어져 회로소자(1)의 검사가 수행된다.

이와 같은 검사에 있어서는, 도전성접촉자(4b)가 테스트보드(3)의 전극부(3a)와 회로소자(1)의 콘택트부(1a)에 확실히 접촉할 필요가 있기 때문에, 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압하기 위한 검사용소켓이 종래부터 이용되고 있다.

도 34 및 35는 종래의 검사용소켓(100)을 보여준다. 이 검사용소켓(100)은, 검사장치(2)의 취부부재(5)상에 고정된 베이스(110)와, 베이스(110)에 회전자재로 장착된 소켓본체(120)를 구비하고 있다. 베이스(11)에는 회로소자(1)가 삽입될 개구부(113)가 형성되어 있다.

소켓본체(120)는 베이스(11)의 개구부(113)를 개폐하는 것으로, 베이스(110)에 회전가능하게 장착된 프레임부(121)와, 프레임부(121)에 대하여 진퇴자재로 되어있는 가압블록(122)을 구비하고 있다. 또한, 프레임부(121)에는, 베이스(11)에 계탈자재로 걸려있는 록부(123)가 형성되어 있다.

가압블록(122)에는 핸들(124)이 장착되어 있다. 핸들(124)은 외면에 나사부(125)가 형성된 축부(126)를 가지며, 축부(126)의 나사부(125)가 프레임부(121)를 판두께방향으로 관통하는 나사구멍(127)에 나합(螺合)되어 있다.

이와 같은 구조에서는, 도 34에 보인 소켓본체(120)의 개방상태에서, 베이스(110)의 개구부(113)에 회로소자(1)를 삽입하고, 그 후 도 5에 보인 바와 같이 소켓본체(120)를 닫고, 록부(123)를 베이스(110)에 걸어 폐쇄상태로 잠근다. 이 상태에서 핸들(124)을 나사단락방향으로 회전조작한다. 이 회전에 의해, 도 35의 우측에서 보는 바와 같이, 축부(126)가 프레임부(121)의 판두께방향을 따라 진행하기 때문에, 가압블록부(122)는 회로소자(1)를 가압하여 콘택트블록(4)으로 가압함으로써 회로소자(1)의 검사가 수행된다.

도 36 및 37은, 종래의 다른 검사용소켓(200)을 보여준다. 이 검사용소켓(200)은, 회로소자로서의 반도체패키지(210)의 도통검사를 수행하기 위하여 사용되는 것으로, 이것을 위한 테스트보드(3)로는 반도체패키지(210)의 단자(211)에 대응하는 전극부가 형성된 것이 사용된다.

검사용소켓(200)은, 테스트보드(3) 및 반도체패키지(210)를 덮는 프레임부(220)와, 프레임부(220) 양측의 외면에 장착된 록부(230)를 포함한다. 또한, 반도체패키지(210)를 테스트보드(3)에 가압하는 가압블록(240)이 프레임부(220)에 테스트보드(3)측면으로 장착되어 있다. 가압블록(240)은 압축스프링 등의 스프링(250)을 통하여 프레임부(220)에 장착되어 있다.

이 구조에서는, 도 36에서 보는 바와 같이, 반도체패키지(210)를 테스트보드(3) 위에 탑재한 후, 검사용소켓(200)을 테스트보드(3)로 덮는다. 그 다음, 도 37에서 보는 바와 같이, 록부(230)를 테스트보드(3)에 걸어 폐쇄상태로 잠근다. 이 잠금에 의해 용수철(250)이 압축되기 때문에 용수철(250)의 저항력에 의해 가압블록(240)이 반도체패키지(210)를 테스트보드(3)에 가압하여 검사가 수행된다.

그러나, 도 34 및 35에 보인 종래의 검사용소켓(100)에서는, 검사시 나사를 단단히 조일 필요가 있기 때문에 조작성이 악화된다. 또한, 나사를 조임에 따라 가압블록(122)이 회로소자(1)에 가압하기 때문에 조이는 개인차가 발생한다. 이 때문에, 일정조건에서 검사를 수행하는 것이 곤란하여 신뢰성이 부족한 문제가 있다. 또한, 조임이 지나치게 약한 경우에는 회로소자(1)의 도통이 양호하게 얻어지지 않으며, 조임이 지나치게 강한 경우에는 회로소자(1)가 파괴되기 쉬운 문제를 가진다.

도 36 및 37에 보인 종래의 검사용소켓(200)에서는, 용수철(250)의 탄성력에 대하여 검사용소켓(200)을 세팅할 필요가 있기 때문에, 용수철힘이 강한 경우에는 작업자에게 커다란 부담으로 작용할 수 있다. 또한 테스트보드(3)로부터 분리하기 위하여 록부(230)를 제거하는 경우에, 용수철(250)의 탄성력에 의해 검사용소켓(200)이 순간적으로 분리되기 때문에 검사에 수반되는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 고려하여 안출된 것으로, 회로소자에 균일한 가압력을 작용시킬 수 있고 이로써 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있는 것과 함께, 조작성이 향상된 안전성높은 검사용소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구범위 제1항 발명의 검사용소켓은, 검사장치의 검사면에 대하여 검사대상물을 가압하는 소켓에 있어서, 검사대상물에 대하여 접리(接離)방향으로 이동가능 하고 검사대상물에 접근함에 따라 검사대상물을 검사면에 탄성적으로 가압하는 압체와, 압체의 축둘레로 정역(正逆)회전가능하도록 되어 있는 조작부재를 구비하고, 조작부재의 정(正)회전에 따라 검사대상물에의 탄성력이 증가하고 역(逆)회전에 따라 탄성력이 감소하도록 압체와 조작부재가 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제1항의 발명에서는, 조작부재의 정회전으로 압체의 탄성력이 증가하고 역회전으로 탄성력이 감소하기 때문에 조작부재의 회전조작에 따라 검사대상물의 가압 및 그 해제를 수행할 수 있다. 본 발명에서는, 압체의 탄성력에 의해 검사대상물을 검사장치의 검사면에 가압하기 때문에 균일한 가압이 가능하여 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다. 또한, 조작부재의 역회전에서는 압체의 탄성력이 감소하기 때문에 압체가 검사대상물로부터 완만하게 분리될 수 있어서 안전성을 향상시킬 수 있다.

청구범위 제2항 발명의 검사용소켓은, 검사장치의 검사면에 대하여 검사대상물을 가압하는 소켓에 있어서, 검사대상물을 세팅하기 위한 개구부를 포함하고 검사면에 장착된 베이스에 착탈자재로 장착되고 상기 개구부를 개폐하는 프레임과, 소정각도범위 내로 정역회전가능하도록 프레임에 장착된 샤프트를 포함하며 검사대상물의 방향으로 돌출된 계합부가 형성된 조작부재와, 상기 샤프트의 회전방향에 따라 경사형으로 세워지고 상기 계합부가 반대로 되어 접동(摺動)하는 용수철을 포함하며 검사대상물에 대한 접리(接離)방향으로 이동하도록 샤프트에 장착된 판용수철을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제2항에서는, 샤프트의 회전에 의해 조작부재의 계합부가 판용수철 의 용수철편을 접동시킨다. 용수철편은 샤프트의 회전방향에 따라 경사형으로 세워지기 때문에, 계합부가 용수철부를 접동하는 동안 샤프트가 정회전함으로써 판용수철이 검사대상물의 방향으로 이동하여 검사대상물을 검사장치의 검사면으로 가압한다. 한편, 샤프트가 역회전함으로써 판용수철에 의한 검사대상물의 가압력이 감소하여 가압을 해소할 수 있다.

이와 같은 발명에서는, 샤프트의 소정각도범위의 정역회전에 의해, 판용수철의 검사대상물에의 가압 및 그 해제를 수행할 수 있기 때문에 조작성이 향상된다. 또한, 판용수철이 일정한 하중으로 검사대상물을 가압하기 때문에 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제3항 발명의 검사용소켓은, 검사장치의 검사면에 대하여 검사대상물을 가압하는 소켓에 있어서, 소정 각도범위 내를 정역회전가능하도록 되어 있는 샤프트를 포함하며 검사대상물의 방향으로 돌출된 계합부가 형성된 조작부재와, 상기 샤프트의 회전방향에 따라 경사형으로 세워지며 상기 계합부가 반대로 되어 접동하는 용수철편을 포함하고 검사대상물에 대하여 접리방향으로 이동하도록 샤프트에 가압된 판용수철이 달라붙은 모듈로 이루어지고, 검사대상물을 세팅하기 위한 개구부를 구비하여 검사면에 장착된 베이스에 착탈자재로 장착되고 개구부를 개폐하는 프레임에 대하여 상기 샤프트가 착탈자재로 되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제3항의 발명에서도, 샤프트부재의 정회전에 따라 판용수철이 검사대상물을 가압하며, 샤프트부재의 역회전에 따라 판용수철의 가압력이 감소되기 때문에 샤프트의 소정 각도범위 내의 정역회전에 따라 검사대상물에의 가압 및 그 해 제를 수행할 수 있다. 이 때문에, 조작성이 향상되는 것과 함께 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제3항의 발명에서는, 조작부재 및 판용수철에 의해 모듈이 형성되고 이 모듈이 프레임에 대하여 탈착자재로 되어 있기 때문에, 범용성있는 검사용소켓으로 할 수 있다.

청구범위 제4항의 발명은, 청구범위 제2항 또는 제3항에 기재된 검사용소켓에 있어서, 검사대상물로부터 멀어지는 방향으로 상기 판용수철을 부세하는 이격부세부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제4항의 발명에서는, 이격부세부재의 부세에 따라 판용수철이 검사대상물로부터 멀어지기 때문에 판용수철이 부주의하게 검사대상물을 가압하지 않아 검사실수를 방지할 수 있다.

청구범위 제5항의 발명은, 청구범위 제2항 내지 제4항 중 어느 하나에 기재된 검사용소켓에 있어서, 상기 검사대상물과 판용수철의 간격조정을 수행하는 간격조정기구가 샤프트와 프레임 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제5항의 발명에서는, 간격조정기구에 의해 판용수철과 검사대상물의 간격조정을 수행할 수 있기 때문에, 검사대상물의 두께와 크기에 대응할 수 있어서 범용성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제6항의 발명은, 청구범위 제2항 내지 제5항 중 어느 하나에 기재된 검사용소켓에 있어서, 상기 계합부 및 복수의 용수철편이 샤프트의 회전방향에 따라 동일간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제6항의 발명에서는, 복수의 계합부 및 용수철편이 동일간격으로 되어 있기 때문에, 판용수철의 검사대상물에의 가압력이 균등하게 된다. 이 때문에, 검사대상물이 균등하게 검사면에 가압되어 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제7항의 발명은, 청구범위 제5항에 기재된 검사용소켓에 있어서, 상기 간격조정기구는 상호 접동하도록 중첩시켜 프레임과의 상대회전이 구속된 상태로 샤프트가 삽입되어 통과하고, 상기 프레임과 샤프트 사이에 배치된 적어도 2개의 조정판을 가지며, 일방의 조정판이 샤프트와 교차하는 방향으로 이동가능하게 되는 것과 함께 상기 이동방향에 따라 경사진 경사면이 조정판의 중첩면에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제7항의 발명에서는, 조정판의 중첩면이 경사면으로 되어 있기 때문에, 일방의 조정판이 이동함으로써 타방의 조정판이 판두께방향으로 이동한다. 이 이동에 따라 샤프트가 프레임에 대하여 접근 또는 이격하기 때문에 판용수철과 검사대상물의 간격을 조정할 수 있다. 이 구조에서는, 일방의 조정판의 이동에 따라 간격조정을 수행하기 때문에, 간단하게 간격조정을 수행할 수 있다. 또한, 연속된 경사면에 따라 간격조정을 수행하기 때문에 무단계의 조정을 할 수 있어 미세한 조정이 가능하다.

청구범위 제8항의 발명은, 청구범위 제2항 또는 제3항에 기재된 검사용소켓에 있어서, 상기 프레임을 장착하기 위한 지축(支軸)이 베이스에 형성되어 있는 것과 함께 지축이 삽입가능한 대략 U자형의 취부구(取付溝)를 가진 취부암이 프레임에 형성되어 있으며, 상기 지축 및 취부구에 평행면이 형성되어 있는 것을 특징으 로 한다.

청구범위 제8항의 발명에서는, 지축 및 취부구에 형성된 평행면이 대향하는 경우 이외에는 취부암이 지축으로부터 분리되지 않기 때문에, 프레임을 베이스에 안정적으로 장착할 수 있다. 또한, 평행면이 대향하는 상태에서는 취부암을 지축으로부터 분리할 수 있기 때문에 베이스에서의 프레임의 탈착을 간단히 수행할 수 있다.

청구범위 제9항의 발명은, 상기 계합부와 프레임 또는 간격조정기구와의 사이에 배치되고, 샤프트가 삽입되어 통과하는 것에 의해 샤프트 둘레에서 회전자재로 되는 회전플레이트와, 회전플레이트와 프레임 또는 간격조정기구와의 사이에 배치된 접동부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제9항의 발명에서는, 구체의 상부가 접하는 회전플레이트가 구체의 회전에 의한 마찰력에 의해 샤프트 및 구체와는 반대방향으로 회전한다. 이 경우, 회전플레이트의 상면이 접동부재의 하면에 접하도록 접동한다. 이 접동부재에서는 마찰감소부재를 이용함으로써, 상기 접동의 마찰을 감소시킬 수 있다. 이로써 핸들의 조작력을 더욱 감소시킬 수 있다.

청구범위 제10항의 발명은, 상기 프레임에 회전가능하도록 부착되고 프레임이 베이스의 개구부를 폐쇄하는 상태를 유지하는 록암(lock arm)과, 상기 샤프트의 상단에 고착된 핸들에 상기 프레임의 닫힌상태로 상호 간섭하는 돌기부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제10항의 발명에서는, 검사용소켓의 폐쇄위치의 상태에서, 핸들 및 레버에 형성된 돌기부의 상호간섭에 의해 레버가 형성되어 있는 록암을 개방할 수 없다. 따라서, 이 상태에서는 검사용소켓을 개방할 수 없어 검사대상물인 회로소자를 취출하는 것이 불가능하기 때문에, 핸들의 폐쇄상태에서 검사용소켓의 개방이라는 오작동을 방지할 수 있다.

청구범위 제11항의 발명은, 청구범위 제1항 내지 제10항 중 어느 하나에 기재된 검사용소켓에 있어서, 상기 검사대상물은 핸들이 형성된 회로소자이고, 상기 검사장치는 전극부가 형성된 테스트보드와, 전극부에 대응하는 복수의 침상의 도전성접촉자가 하우징에 정렬형으로 수용되는 것과 함께 도전성접촉자의 축방향단부가 하우징의 외부에 형성되도록 코일용수철에 의해 부세되고 상기 테스트보드에 장착된 콘택트프로브를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

청구범위 제11항의 발명에서는, 콘택트프로브를 통하여 회로소자와 테스트보드가 전기적으로 접속되기 때문에 회로소자에 대하여 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예 1의 종단면도이고,

도 2는 실시예 1의 평면도이고,

도 3은 실시예 1의 측면도이고,

도 4는 실시예 1에서 사용되는 샤프트를 보여주는 것으로, (a)는 평면도 (b)는 측면도 (c)는 저면도이고,

도 5는 실시예 1에서 사용되는 판용수철을 보여주는 것으로, (a)는 평면도 (b)는 측면도이고,

도 6의 (a) 및 (b)는 프레임을 베이스에 장착한 구조의 부분정면도이고,

도 7은 실시예 1에서 프레임개방상태의 경시도이고,

도 8의 (a) 내지 (c)는 실시예 1의 작동을 순서에 따라 설명하는 단면도이고,

도 9는 본 발명의 실시예 2의 종단면도이고,

도 10은 실시예 2의 평면도이고,

도 11은 실시예 2의 측면도이고,

도 12는 간격조정기구를 보여주는 것으로, (a)는 제1조정판의 평면도 (b)는 제2조정판의 평면도이고,

도 13의 (a)(b)는 간격조정기구의 작동을 보여주는 단면도이고,

도 14는 본 발명의 실시예 3의 종단면도이고,

도 15는 실시예 3에서 사용한 샤프트를 보여주는 것으로, (a)는 평면도 (b)는 종단면도 (c)는 측면도이고,

도 16은 실시예 3에서 사용한 회전판의 평면도이고,

도 17은 실시예 3에 사용한 압축용수철과 판용수철의 관계를 보여주는 측면도이고,

도 18은 본 발명의 실시예 4의 종단면도이고,

도 19는 실시예 4의 평면도이고,

도 20은 실시예 4에서 사용한 모듈의 평면도이고,

도 21은 모듈의 측면도이고,

도 22는 모듈의 종단면도이고,

도 23은 실시예 4에 사용한 샤프트를 보여주는 것으로, (a)는 평면도 (b)는 측면도 (c)는 저면도이고,

도 24는 본 발명의 실시예 5에서 프레임의 폐쇄상태를 보여주는 종단면도이고,

도 25는 도 24의 평면도이고,

도 26은 실시예 5에서 조작부의 계합부의 요부확대단면도이고,

도 27은 본 발명의 실시예 5에서 프레임개방상태를 보여주는 종단면도이고,

도 28은 도 27의 평면도이고,

도 29에서 (a)(b)는 샤프트의 다른 형태를 보여주는 측면도 및 종단면도이고,

도 30은 판용수철의 다른 형태를 보여주는 측면도이고,

도 31에서 (a)(b)는 이격부세부재의 다른 형태를 보여주는 단면도이고,

도 32는 회로소자의 검사를 수행하는 구조를 보여주는 단면도이고,

도 33은 콘택트프로브의 내부를 보여주는 단면도이고,

도 34는 종래의 검사용소켓의 검사 전의 단면도이고,

도 35는 종래의 검사용소켓의 검사상태의 단면도이고,

도 36은 종래의 다른 검사소켓의 검사 전의 단면도이고,

도 37은 종래의 또 다른 검사소켓의 검사형체의 단면도이다.

이하, 본 발명을 도시한 실시예에 따라 구체적으로 설명한다. 또한, 각 실시예에서 동일한 부재는 동일부호를 사용하여 대응시켰다.

[실시예 1]

도 1 내지 도 8은 본 발명의 실시예 1의 검사용소켓(10)을 보여주는 것으로, 도 1은 그 종단면도, 도 2는 평면도, 도 3은 좌측면도이다.

이 실시예의 검사용소켓(10)은, 도 32 및 33에서 보는 바와 같이, 전극부가 형성된 테스트보드(3)에 콘택트프로브(4)를 장착하고, 콘택트프로브(4)를 통하여 회로소자(1)를 검사하는 것이다. 따라서, 테스트보드(3)가 검사장치, 회로소자(1)가 검사대상물로 된다. 또한, 회로소자(1)에 접한 콘택트프로브(4)의 상면이 검사면으로 된다.

콘택트프로브(4)는 도 33과 동일한 것이 사용되는 것으로, 도 8에서 보는 바와 같이, 절연성의 하우징(4a)과, 하우징(4a) 내에 정렬형으로 배치된 침상의 도전성접촉자(4b)를 구비하고, 도전성접촉자(4b)는 하우징(4)을 관통한 수용홀(4c) 내에 수용되고, 코일용수철(4d)에 의해 부세됨으로써 축방향의 양단부가 하우징(4a)으로부터 돌출하도록 부세된 구조로 되어 있다. 콘택트프로브(4)는, 도전성접촉자(4b)의 테스트보드(3)측의 단부가 전극부(3a)와 대응하도록 테스트보드(3)상에 부착된다.

도 1에서 보는 바와 같이, 콘택트프로브(4)는 테스트보드(3)에 고정된 베이스(8)를 통하여 동일한 보드(3)상에 장착된다. 베이스(8)에는, 본 실시예의 검사용 소켓(10)을 회동자재에 지지하는 지축(9)이 형성되어 있다. 지축(9)의 반대측에는 검사용소켓(10)의 닫힌상태를 유지하기 위한 훅(hook)부(8c)가 형성되어 있다. 또는, 콘택트프로브(4) 및 베이스(8)를 일체화하고, 일체화한 것을 테스트보드(3)상에 고정할 수도 있다.

검사용소켓(10)은, 프레임(11)과, 프레임(11)에 장착된 조작부재(12)와, 조작부재(12)에의 조작에 의해 회로소자(1)로의 접리방향(상하방향)으로 이동하는 압체로서의 판용수철(13)을 구비한다.

프레임(11)은 평면에서 볼 때 대략 직사각형, 측면에서 볼 때 コ자형으로 형성되어 있다. 또한, 프레임(11)은 베이스(8)에 대하여 착탈자재로 되어 있다. 베이스(8)에 프레임(11)을 장착하기 위하여, 프레임(11)에는 지축(9)에 계합하는 취부암(11a)이 길이방향의 일단측에 형성되어 있다.

프레임(11)에서 취부암(11a)의 반대측에는, 록암(lock arm, 14)이 장착되어 있다. 록암(14)은 베이스(8)의 훅부(8c)와 계합함으로써 프레임(11)이 베이스(8)의 개구부(8a)를 폐쇄한 상태(검사용소켓(10)의 폐쇄상태)를 유지하는 것이다. 록암(14)은 프레임(11)의 록축(11b)으로 회전가능하도록 부착되어 있으며, 비틀림용수철, 압축용수철 등의 록(lock)용용수철(15)에 의해 훅부(8c)와의 계합방향으로 회전하도록 부세되어 있다. 이 록암(14)의 훅부(8c)에의 계합에 의해 검사용소켓(10)의 폐쇄상태를 안정시킬 수 있다.

조작부재(12)는 프레임(11)을 관통한 상태로 회전조작되는 샤프트(16)를 구비하고 있다. 도 4는 샤프트(16)를 보여주는 것으로, 원기둥형의 축부(16a), 축부 (16a)로부터 직교방향으로 연장된 원판형상의 플랜지부(16b)가 일체적으로 형성되는 것에 의해 구성되어 있다.

샤프트(16)의 축부(16a)는 조작부재(12)의 회전중심부위이고, 하부방향으로부터 상부방향으로 프레임(11)을 관통하도록 돌출되어 있다. 프레임(11)을 관통하여 돌출된 단에는, 조작부재(12)의 회전조작손잡이로 되기 위하여 핸들(17)이 착탈자재로 장착하게 되어 있다. 이 핸들(17)은 축부(16a)에 대하여 직교방향으로 끼워진 핀(17a)에 의해 조작부재(12)에 장착되어진다.

샤프트(16)(조작부재(12))는 소정 각도범위내를 정역회전가능하도록 프레임(11)에 장착되어 있다. 이를 위하여, 프레임(11)에는 소정 길이의 원주형인 회전규제홀(11d)이 형성되며(도 2 참조), 샤프트(16)의 축부(16a)에는 회전규제홀(11d) 내를 접동하는 스토퍼(16d)가 돌출형으로 형성되어 있다.

한편, 샤프트(16)의 플랜지부(16b)는 그 상면이 프레임(11)과 면접촉하고 있다. 이 플랜지부(16b)에는 계합부로서의 구체(18)가 붙어있다. 구체(18)의 접착을 위하여 플랜지부(16b)에는 구체(18)가 회전가능하도록 패어진 볼홀(16c)이 형성되어 있다. 볼홀(16c)은 샤프트(16)의 원주방향에 대하여 동일간격으로 되도록 샤프트(16)의 회전중심주위의 3곳에 형성되도록 하고, 이로써 구체(18)는 샤프트(16)의 원주방향에 대하여 동일간격으로 배치되어 있다.

계합부로서 구체(18)는, 후술하는 판용수철(13)을 회로소자(1)에 접근시키는 것으로, 조작부재(12)의 회전에 따라 전동하면서 판용수철(13) 위를 접동한다. 구체(18)가 작동함으로써 조작성이 향상된다.

프레임(11)에서 조작부재(12)의 회전시단 및 종단에 대응하는 위치에는, 크릭부로서의 크릭구(11e, 11f)에 형성되어 있다. 조작부재(12)가 회전하는 경우에는, 구체(18)가 이들 크릭구(11e, 11f)에 빠짐으로써 크릭감을 얻을 수 있고, 이로써 회전개시점 및 종료점을 확인할 수 있기 때문에 조작성이 향상된다.

또한, 구체(18)에 대신하여, 조작부재(12)의 회전에 따라 회전하는 굴림대를 플랜지부(16b)에 장착하여도 된다.

압체로서의 판용수철(13)은, 조작부재(12)의 샤프트(16)에 부착되어 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압하는 것이다. 샤프트(16)에 판용수철(13)을 장착하기 위하여, 판용수철(13)의 중앙부분에는 도 5에 보인 바와 같이 샤프트(16)의 축부(16a)가 관통하는 축홀(13a)이 판두께방향으로 관통하고 있다. 축홀(13a)은 샤프트(16)의 축부(16a)의 외부지름보다 약간 큰 홀지름으로 되어 있기 때문에, 샤프트(16)의 회전이 판용수철(13)에 전달되는 것은 아니다. 또한, 판용수철(13)은 평면에서 볼 때 직사각형의 판상형으로 형성되어 있다. 판용수철(13)의 외형크기는 프레임(11) 폭방향의 내부크기보다 약간 작기 때문에, 샤프트(16)에의 취부상태에서 판용수철(13)은 프레임(11)에 내측에 위치하고 있다. 이상의 구조에서는, 판용수철(13)은 회전이 규제되는 상태에서 회로소자(1)에의 접리방향으로만 이동가능하도록 되어 있다.

판용수철(13)에는 복수의 용수철편(13b)이 형성되어 있다. 각 용수철편(13b)은, 샤프트(16)의 정회전방향에 따라 경사형으로 세워지도록 형성되어 있다. 각 용수철편(13b)은 상술한 조작부재(12)측의 구체(18)가 회동하면서 접동하는 것으로, 구체(18)와 쌍이 되는 개수 및 위치가 되도록 형성되어 있다. 또한, 구체(18)의 접동은 조작부재(12)의 회전에 따라 수행되고, 구체(18)가 용수철편(13b) 위를 접동함으로써 용수철(13)은 회로소자(1)로의 접근방향(하부방향)으로 이동하도록 되어 있다.

본 실시예에서는, 구체(18)가 샤프트(16)의 원주방향에 대하여 동일간격으로 배치되어 있기 때문에, 구체(18)와 쌍이 되는 용수철편(13b)도 샤프트(16)의 원주방향에 대하여 동일간격으로 배치된다. 이와 같은 복수쌍의 구체(18) 및 용수철편(13b)이 동일간격으로 배치됨으로써, 판용수철(13)이 회로소자(1)를 가압하여 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)로 가압하는 압력이 균등하게 된다. 이와 같이, 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 균등하게 가압하는 경우, 회로소자(1)의 신뢰성있는 검사가 가능하게 된다.

또한, 판용수철(13)의 재질로는, 회로소자(1)를 누르는 용수철가중을 포함하는 것이 선택된다. 이 재질로는, 예컨대 JIS규격의 SUS304-CSP 또는 SK5가 바람직하다.

판용수철(13)에는, 소정두께의 판상의 가압블록(20)이 장착되어 있다. 가압블록(20)은 용수철편(13b)이 형성되어 있는 면과 반대측면(회로소자(1)측)에 장착되어 있어, 회로소자(1)에 직접적으로 가압하도록 되어 있다. 가압블록(20)은 완충재로 작용하는 것으로, 회로소자(1)를 손상하지 않는 플라스틱, 고무 기타 재료가 사용되어진다. 이 경우, 가압블록(20)의 외형을 판용수철(13)과 동일한 외형으로 하여 프레임(11)에 대하여 회전구속하고, 간접적으로 판용수철(13)을 회전구속할 수도 있다. 이로써, 판용수철(13)의 가공자유도가 확대되어 가공이 용이하게 된다.

상기에 더하여, 본 실시예에서는, 이격부세부재로서의 인장용수철(19)이 형성되어 있다. 인장용수철(19)은 도 3에서 보는 바와 같이, 프레임(11)과 판용수철(13) 사이에 놓여지고, 판용수철(13)을 끌어올리도록 부세함으로써, 회로소자(1)로부터 멀어지는 방향으로 판용수철(13)을 부세한다. 이로써, 통상의 상태에서는, 판용수철(13)이 회로소자(1)로부터 멀어지기 때문에, 부주의하게 회로소자(1)를 가압함 없이 조작실수를 방지할 수 있다.

다음, 본 실시예의 동작을 설명한다. 도 1에서 좌측은 회로소자(1)의 장착 이전의 상태를, 우측은 회로소자(10)의 장착상태를 보여준다.

도 7에 보는 바와 같이, 프레임(11)을 올려 개방상태로 하고, 베이스(8)의 개구부(8a)에 회로소자(1)를 삽입한다. 그 다음, 프레임(11)을 닫는 방향으로 회전시키고, 록암(14)을 베이스(8)의 훅부(8c)에 계지시켜 프레임(11)을 닫는다. 이 상태로, 핸들(17)을 정회전시킨다.

도 8은, 핸들(17)의 정회전에 의해, 구체(18)가 판용수철(13)에 작용하는 상태변화를 보여주는 것이다. 핸들(17)의 회전 전에는, 판용수철(13)이 인장용수철(19)에 의해 끌어올려지기 때문에, 도 8의 (a)에서 보는 바와 같이, 구체(18)가 용수철편(13b)의 끝부분에 놓여있다. 이 상태에서는, 판용수철(13)(즉, 가압블록(20))이 회로소자(1)와 멀어지는 상태로 된다. 또한, 구체(18)는 프레임(11)에서 시단(始端)측의 크릭구(11e)에 빠져있다.

핸들(17)로 정회전조작함으로써, 샤프트(16)는 동일방향으로 회전한다. 이 회전에 의해, 도 8의 (b)에서 보는 바와 같이, 구체(18)가 전동하면서 용수철편(13b)의 경사면에 따라 이동하기 때문에 용수철편(13b)이 휘어지고, 판용수철(13)은 용수철편(13b)의 탄성력에 의해 회로소자(1)의 방향으로 이동하여 상기 회로소자(1)를 가압한다. 이 과정에서, 판용수철(13)은 콘택트프로브(4)의 코일용수철(4d)의 저항력을 받지만, 체부(締付)완료시에 콘택트프로브(4)로부터 받는 저항력보다 판용수철(13)이 작용하는 회로소자(1)로의 하중이 높게 되도록 설정함으로써 판용수철(13)이 휘어지면서 회로소자(1)를 탄성적으로 가압할 수 있다. 또한, 판용수철(13)이 휘어지는 경우의 휘는 양에 따라 회로소자(1) 두께의 불균형이 있는 정도는 흡수할 수 있다.

샤프트(16)의 회전종단에는, 스토퍼(16d)가 프레임(11)의 회전규제홀(11d)의 종단에 접한다. 이 경우에는, 도 8의 (c)에서 보는 바와 같이, 구체(18)가 용수철편(13b)의 끝에 도달하여 용수철편(13b)이 최대로 휘어진 상태로 된다. 이로써, 판용수철(13)은 가압블록(20)을 통하여 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 최대탄성력으로 가압한다(도 1의 좌측). 이 때문에, 도전성접촉자(4b)를 통하여 회로소자(1)와 테스트보드(3)가 도통하여 회로소자(1)의 검사를 수행할 수 있다.

또한, 이 이동종단에는, 구체(18)가 프레임(11)의 종단측의 크랙구(11f)로 들어가기 때문에 종단에 도달한 것을 크릭감으로 확인할 수 있다.

이와 같은 동작에서 판용수철(13)의 총하중(PI)은, 코일용수철(4d)을 포함한 콘택트프로브(4)의 총하중(PC)에 대하여, PI>PC로 되도록 설정된다. 따라서, 이 PI를 회로소자(1)의 두께공차하한치의 크기로 설정함으로써 회로소자(1)가 공차하한 값으로 되는 경우에도 판용수철(13)의 휘어짐이 증가할 뿐, PI>PC의 관계를 유지할 수 있다. 이로써, 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 확실히 가압할 수 있다.

회로소자(1)의 가압해제는, 핸들(17)을 역회전하여 샤프트(16)를 동일방향으로 회전시켜 수행할 수 있다. 샤프트(16)의 역회전에서는, 구체(18)가 상술한 것과 반대방향으로 용수철편(13b)을 이동시키기 때문에, 용수철편(13b)의 휘어짐이 증가한다. 또한, 판용수철(13)은 인장용수철(19)에 의해 끌어올려지기 때문에 초기상태(도 1의 우측)로 복귀한다.

이와 같은 실시예에서는, 샤프트(16)의 정역회전에 의해 판용수철(13)의 회로소자(1)에의 가압 및 그 해제를 수행할 수 있기 때문에 조작성이 향상되는 것과 함께, 판용수철(13)이 회로소자(1)를 일정한 하중으로 가압하기 때문에 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다. 또한, 가압해제의 경우에는, 샤프트(16)의 역회전으로 판용수철(13)의 탄성력이 감소하기 때문에 안전하게 다룰 수 있다.

도 6은, 본 실시예에서 지축(9)과 프레임(11)의 취부암(11a)과의 관계를 보여준다. 취부암(11a)에는, 기축(9)이 삽입되는 대략 U자형의 취부구(11g)가 형성되어 있다. 또한, 지축(9)의 일부분에는, 지름방향과 교차하는 방향의 평행면(9h)이 형성되는 것과 함께 취부구(11g)에도 평행면(11h)이 형성되어 있다.

이와 같은 구조에 의해, 도 6(a)에서 보는 바와 같이, 지축(9) 및 취부구(11g)에 형성된 평행면(9h, 11h)이 향하는 방향 이외에는, 취부암(11a)이 지축(9)으로부터 떨어질 수 없다. 따라서, 프레임(11)을 베이스(8)에 확실히 설치할 수 있어 프레임(11)을 안정적으로 회전시킬 수 있다. 또한, 지축(9)에서의 취부암(11a)( 프레임)의 착탈은, 도 6(b)에서 보는 바와 같이, 평행면(9h, 11h)이 향하는 상태에서 취부암(11a)을 지축(9)으로부터 제거할 수 있다. 이로써, 베이스(8)의 프레임(11)의 탈착을 간단히 수행할 수 있다.

또한, 지축(9)과 취부암(11a)의 관계는 이것에 한정되지 않고 지축(9)을 원형단면으로 하는 통상의 축체로 하거나, 취부암(11a)의 취부구(11h)을 원형으로 하는 통상의 구(溝)로 할 수도 있다.

[실시예 2]

도 9 내지 13은, 본 발명의 실시예 2의 검사용소켓(30)을 보여준다. 도 9에서, 좌측은 회로소자(1)의 가압 전의 상태이고, 우측은 회로소자(1)의 가압상태이다.

본 실시예의 검사용소켓(30)에는 간격조정기구(31)가 형성되어 있다. 간격조정기구(31)는 판용수철(13)과 회로소자(1)의 간격조정을 수행함으로써 회로소자(1)에 작용하는 판용수철(13)의 하중을 조정하는 것으로, 프레임(11)과 샤프트(16)의 플랜지부(16b) 사이에 끼워지도록 배치한다.

간격조정기구(31)는 중첩된 제1 조정판(32) 및 제2 조정판(33)과, 간격조정을 수행하기 위한 조정봉(adjust rod, 34)을 구비하고 있다. 제1 조정판(32)은 프레임(11)측(상측)에 위치하여 프레임(11)의 하면에 접촉하는 한편, 제2 조정판(33)은 샤프트(16)의 플랜지부(16b)측(하측)에 위치하여 플랜지부(16b)의 상면에 접촉한다. 조정봉(34)은 프레임(11)과 평행한 수평상태로 제1 조정판(32)에 설치되어 있다.

도 12에서 보는 바와 같이, 제1 조정판(32)은 조정봉(34)이 나합하는 탭부(32a)가 형성되어 있다. 또한, 제1 조정판(32)에는, 샤프트(16)의 축부(16a)가 유삽(遊揷)되는 장공(32b)이 형성되어 있다. 장공(32b)이 조정봉(34)의 길이방향에 따라 연장됨으로써, 조정봉(34)을 회전조작하는 경우에 제1조정판(32)은 샤프트(16)의 축부(16a)와 직교하는 수평방향으로 이동할 수 있다.

제2 조정판(33)에는, 샤프트(16)의 축부(16a)가 관통하는 원형의 축공(33a)이 형성되어 있다. 축공(33a)은 샤프트(16)의 축부(16a)의 외측지름과 동일한 크기 또는 약간 큰 지름으로 되어있고, 축부(16a)가 회전가능하도록 관통하여 있다. 이와 같은 샤프트(16)의 축부(16a)가 관통함으로써, 제2조정판(33)은 수평방향으로의 이동이 구속되고, 축부(16a)의 축방향에 따라 상하방향으로만 이동할 수 있다.

제2 조정판(33)에는, 실시예 1에서의 크랙홀(11e, 11f)과 동일한 크랙홀(33e, 33f)이 형성되어 있다. 이에 대하여, 샤프트(16)의 플랜지부(16b)에는, 도 9에서 보는 바와 같이, 원주상의 동일간격위치에 놓인 복수의 구체(18)가 삽입되어 있다. 구체(18)는 일부분이 플랜지부(16b)의 상방으로 약간 돌출되어 있고, 돌출된 부분이 제2조정판(33)의 하면과 접촉하고 있다. 이로써, 구체(18)가 크릭홀(33e, 33f)에 끼워질 수 있기 때문에, 실시예 1과 마찬가지로, 크랙감에 따라 샤프트(16)의 회전개시점 및 종료점을 확인할 수 있다.

제1 조정판(32) 및 제2 조정판(33)에서 중첩면은, 모두 경사면(32c, 33c)으로 되어있다. 이들 경사면(32c, 33c)은, 제1 조정판(32)의 장공(32b)이 연장하는 방향에 따라 형성되어 있다. 또한, 경사면(32c, 33c)은, 경사각도는 거의 동일하지 만 경사방향이 반전되어 중첩되어 있다. 이와 같이 경사방향이 반전한 상태로 경사면(32c, 33c)이 중첩됨으로써, 일방의 조정판(제1조정판(32))이 이동하면 타방의 조정판(제2조정판(33))도 상하방향으로 이동할 수 있다.

또한, 제1 조정판(32) 및 제2 조정판(33)은, 평면에서 볼 때 직사각형의 외형으로 형성됨과 함께, 프레임(11)에는 이들 조정판(32, 33)의 측면이 접한 절기부(11g)가 형성되어 있다(도 11 참조). 절기부(11g)는, 조정판(32, 33)의 측면이 접촉하면서 접동하는 것으로, 측면이 절기부(11g)와 접촉함으로써 조정판(32, 33)은 회전이 구속된 상태로 되고, 제1 조정판(32)은 수평방향으로의 직선이동, 제2 조정판(33)은 상하방향으로의 이동만이 수행되도록 된다.

본 실시예에서, 조정봉(34)을 한 방향으로 회전시켜 제1 조정판(32)을 직선방향으로 추진시키면, 도 13에서 보는 바와 같이 제1 조정판(32)이 슬라이드된다. 이러한 슬라이드로 연속이동하고, 그 경사면(33c)이 제1 조정판(32)의 경사면(32c)과 중첩되어 있는 제2 조정판(33)은 경사면(32c, 33c)의 경사각도에 따라 판용수철(13)방향으로 이동(아래로 이동)한다. 이러한 이동에 따라, 플랜지부(16b)가 제2조정판(33)과 접촉하고 있는 샤프트(16)가 동일방향으로 이동하기 때문에, 플랜지부(16b)의 구체(18)가 접촉하고 있는 용수철편(13b)이 휘어지고, 판용수철(13)이 눌려져 회로소자(1) 방향으로 이동한다. 이로써, 판용수철(13)과 회로소자(1)의 간격을 조정할 수 있다. 한편, 조정봉(34)을 반대방향으로 회전시키는 경우에는, 제2 조정판(33)이 판용수철(13)과 멀어지는 방향으로 이동(윗방향)하기 때문에, 판용수철(13)이 회로소자(1)과 멀어지는 방향으로 이동하여 반대방향으로의 간격조정을 마찬가지로 수행할 수 있다.

본 실시예에서도, 실시예 1과 마찬가지로, 판용수철(13)에 용수철편(13b)이 형성되고, 조작부재(12)를 구성하는 샤프트(16)의 정방향으로의 회전에 의한 구체(18)의 이동에 따라 용수철편(13b)이 휘어지기 때문에, 판용수철(13)이 가압블록(20)을 통하여 탄성적으로 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압한다. 이 때문에, 실시예 1과 마찬가지로, 회로소자(1)의 전기적 검사를 수행할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 간격조정기구(31)에 의해 판용수철(13)과 회로소자(1)의 간격을 조정할 수 있기 때문에, 두께가 다른 회로소자(1)에 대하여 적합하게 수행할 수 있다. 또한, 동일한 두께의 회로소자(1)에 대해서는, 판용수철(13)의 휘어진 양을 변경할 수 있기 때문에 판용수철(13)에 따른 체부하중을 조정할 수 있다. 따라서, 회로소자(1)와 접촉하는 콘택트프로브(4)의 도전성접촉자(4b)의 본래수를 변경하는 것도 가능하다.

또한, 간격조정기구(31)는 경사면(32c, 33c)이 연속하고, 연속한 경사면(32c, 33c)이 중첩된 제1 및 제2 조정판(32, 33)의 슬라이드에 따라 판용수철(13)과 회로소자(1)의 간격조정을 수행하기 때문에, 무단계로의 조정이 가능하여 미세한 간격조정을 수행할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 제1 및 제2 조정판(32, 33)을 프레임(11)의 절기부(11g)와 접촉시켜 수행되지만, 이것에 한정되지 않고 직선형의 가이드구와 가이드구로 계합한 가이드돌기 또는 프레임(11)의 측면내측 등에 따라 수행될 수도 있다.

[실시예 3]

도 14 내지 17은, 본 발명의 실시예 3에서의 검사용소켓(40)을 보여준다. 이 실시예에서도, 판용수철(13)에 용수철편(13b)이 형성되고, 조작부재(12)를 구성하는 샤프트(42)의 회전에 의한 구체(18)의 이동에 따라 용수철편(13b)이 휘어지는 구조로 되어 있다. 또한, 간격조정기구(31)가 형성됨으로써, 프레임(11)과 판용수철(13)의 간격조정이 가능하다.

본 실시예에서는, 정역방향으로 회전하는 샤프트(42)에 회전판(41)이 설치되어 있다. 회전판(41)은 도 16에서 보는 바와 같이, 원형판에 따라 형성되고, 그 중심부분에는 원의 양측을 평행으로 자른 비원형형상의 축공(41a)이 관통한다. 이 축공(41a)에는 샤프트(42)가 관통하고, 이 관통에 의해 회전판(41)이 샤프트(42)에 장착된다. 또한, 샤프트(42)의 상단부분에는 샤프트(42)를 회전시키기 위한 핸들(17)이 나사(44)로 고정되어 있다(도 14 참조).

샤프트(42)는 도 15에 보인 바와 같이, 회전판(41)의 축공(41a)에 상응하는 비원형의 외형으로 형성된 제1 축부(42a)와, 원형의 외형으로 형성되어 제1축부(42a)의 하측에 연속적으로 형성된 제2축부(42b)와, 제2축부(42b)의 하단에 약간 크게 형성된 하단부(42c)로 형성되어 있다. 따라서, 제1축부(42a)가 회전판(41)의 축공(41a)을 관통함으로써, 샤프트(42)와 일체로 회전하도록 회전판(41)이 샤프트(42)에 장착되어 있다. 또한, 회전판(42)은 제1축부(42a)와 제2축부(42b)의 차이부분에서 접함으로써, 샤프트(42)로부터의 빠짐이 방지된다.

회전판(41)에는, 판두께방향으로 관통하는 관통홀(41b)이 원주상에 복수개(3개)로 동일간격으로 형성되어 있다. 도 14에서 보는 바와 같이, 각 관통홀(41b)에 는, 판용수철(13)의 용수철편(13b)에 따라 이동하는 구체(18)가 세팅된다. 따라서, 샤프트(42)의 회전에 따라 회전판(41)이 회전하는 경우, 구체(18)가 용수철편(13b)을 휘게 할 수 있고, 판용수철(13)이 가압블록(20)을 통하여 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 탄성적으로 가압하도록 되어 있다. 또한, 간격조정기구(31)의 제2 조정판(33)에는, 도 12(b)에서 보는 바와 같이, 구체(18)가 빠짐으로써 크릭감을 발생시키는 크릭홀(33e, 33f)이 형성된다.

이와 같이, 본 실시예에서는, 회전판(41)이 실시예 1 및 2에서 플랜지부(16b)와 마찬가지로 작용하고, 플랜지부(16b)에 상응하는 회전판(41)을 샤프트(41)로부터 분리하는 구조로 되어 있다. 이와 같이 샤프트(42)와 회전판(41)을 분리한 구조에서는, 샤프트(42)의 외형이 간단하기 때문에 가공이 용이하다는 이점이 있다.

샤프트(42)의 제2축부(42b)에는, 압축용수철(43)이 외삽되어 있다. 도 14 및 17에서 보는 바와 같이, 압축용수철(43)의 하단은 하단부(42c)에 따라 끼워지고, 상단은 판용수철(13)로 눌러지도록 끼워진다.

압축용수철(43)은 하단부(42c)와 판용수철(13)에 의해 압축상태로 샤프트(42)에 외삽되어 있고, 이에 따라 판용수철(13)이 회로소자(1)로부터 멀어지는 방향(상방향)으로 부세된다. 따라서, 압축용수철(43)은 판용수철(13)을 회로소자(1)로부터 이격시키는 이격부세부재로서 작용하는 것이다.

이와 같은 구조에서도, 샤프트(42)를 정방향으로 회전시켜 구체(18)가 용수철편(13b)을 휘도록 하기 때문에, 판용수철(13)이 가압블록(20)을 통하여 회로소자 (1)를 탄성적으로 콘택트프로브(4)로 가압하여 회로소자(1)의 전기적검사를 수행한다. 한편, 샤프트(42)를 정방향으로 회전시키지 않은 상태에서는, 압축용수철(43)의 용수철힘에 의하여 판용수철(13)이 회로소자(1)와 이격한 상태로 되기 때문에, 판용수철(13)이 부주의하게 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압하지 않아 조작실수를 방지할 수 있다.

또한, 이격부세부재로서의 압축용수철(43)이 샤프트(42)의 하단부(42c)와 판용수철(13)에 끼워진 상태로 장착되어 있기 때문에, 샤프트(42)로부터 떨어지지 않고 이격작용을 안정적으로 수행할 수 있다.

[실시예 4]

도 18 내지 23은, 본 발명의 실시예 4에서의 검사용소켓(50)을 보여준다. 도 18에 있어서, 좌측은 회로소자(1)의 가압 전의 상태이고, 우측은 회로소자(1)의 가압상태이다.

본 실시예에서는, 도 20 내지 22에서 보는 바와 같이, 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압하는 기구를 모듈(51)로 하여, 이 모듈(51)을 프레임(11)에 대하여 착탈자재로 하는 것이다. 모듈(51)은, 조작부재(12) 및 판용수철(13)을 맞붙도록 구성되어 있다.

모듈(51)의 조작부재(12)는, 샤프트(53)와, 부시(bush, 54)와, 샤프트(53) 상단부에 장착된 핸들(17)을 구비한다.

샤프트(53)는 축부(53a)와, 축부(53a)로부터 직교방향으로 연장된 플랜지부(53b)가 일체로 형성된 형상으로 되어있다. 축부(53a)의 상단부에는 핸들(17)이 나 사(44)로 고정되어 있고, 핸들(17)을 정역방향으로 회전조작함에 따라 샤프트(53)가 동일방향으로 회전한다. 축부(53a)의 하단부는 판용수철(13)의 축홀(13a)에 삽입된다.

플랜지부(53b)에는, 계합부로서 복수(3개)의 구체(18)가 원주상에 동일간격으로 배치된다. 또한, 구체(19)를 배치하기 위하여, 구체(18)가 관입되는 관입홀(53c)이 플랜지부(53b)의 원주상에 동일간격위치로 3개 형성되어 있다. 구체(18)는, 각 관입홀(53c)로부터 일부가 상방으로 돌출되어 관입홀(53c)에 관입하도록 되어 있다.

부시(54)는, 상측부시부(54a) 및 하측부시부(54b)로 이루어진 단부구조로 되어 있다. 도 23은, 부시(54)를 보여주는 것으로, 그 중앙부에는 샤프트(53)의 축부가 회전가능하도록 관통하는 축공(54c)이 형성되어 있다. 상측부시부(54a) 및 하측부시부(54b)는, 도 20에서 보는 바와 같이, 원을 평행하게 자른 비원형의 외형으로 형성되어 있고, 하측부시부(54b)는 상측부시부(45a)보다 큰 면적의 플랜지형으로 형성되어 있다. 상측부시부(54a)는, 프레임(11)에 형성된 부시홀(11h)에 압입된다. 이 때문에, 부시홀(11h)은 상측부시부(54a)의 외형에 상응하는 비원형의 형상으로 형성된다.

상측부시부(54a)가 프레임(11)의 부시홀(11h)에 압입한 상태에서는, 부시(54)가 회전정지상태로 된다. 이 경우, 하측부시부(54b)는 프레임(11)의 하측면에 접한다. 또한, 부시(54)는 샤프트(53)의 플랜지부(53b)에 상면에서 접하고, 또한 샤프트(53)의 축부(53a)에 핸들(17)이 고정되어 있다. 이와 같은 구조에서는, 핸들 (17)과 부시(54)에 따라 프레임(11)을 끼우기 위하여 샤프트(53)가 프레임(11)으로부터 돌출되지 않도록 되어 있다.

또한, 부시(54)의 하면에는 도 23에 보인 바와 같이, 각 구체(18)가 이동하는 가이드구(54d)가 원호형으로 형성되어 있다. 가이드구(54d)는, 구체(18)의 이동범위를 규제하는 것으로, 구체(18)의 이동시단(샤프트(53)의 회전개시점) 및 이동종단(샤프트(53)의 회전종료점)과의 대응위치에는 크릭홀(54e, 54f)이 형성되어 있다.

판용수철(13)은, 인장용수철(19)를 통하여 부시(54)의 단부에 연결되어 있다. 따라서, 판용수철(13)은 회로소자(1)로부터 멀어지는 상방향으로 올려지도록 부시(54)에 장착되어 있다. 판용수철(3)의 하면에는, 가압블록(20)이 나사(55)를 통하여 고정되어 있다(도 22 참조). 또한, 판용수철(13)로부터 경사형으로 세워진 용수철편(13b)에는, 대응하는 구체(18)가 전동가능하도록 접촉하고 있다. 이와 같은 구조에서는, 샤프트(53), 부시(54), 핸들(17) 및 가압블록(20)을 가진 판용수철(13)이 상호 맞붙여지기 때문에, 모듈(51)로 할 수 있다.

이와 같은 모듈(51)은, 판용수철(13) 및 부시(54)가 맞붙어진 상태의 샤프트(53)와 핸들(17)을 분리한 상태이고, 프레임(11)의 하측으로부터 샤프트(53)를 삽입하여 부시(54)의 상측부시부(54a)를 프레임(11)의 부시홀(11h)에 압입한다. 그 다음, 프레임(11)으로부터 상부로 돌출된 축부(53a)에 핸들(17)을 나사(44)로 고정함으로써, 모듈(51)을 프레임(11)으로의 장착을 수행할 수 있다. 한편, 핸들(17)을 샤프트(53)의 축부(53a)로부터 제거한 후 프레임(11)으로부터 샤프트(53)를 빼냄으 로써, 모듈(51)을 프레임(11)으로부터 제거할 수 있다.

프레임(11)은, 베이스(8)의 종류에 따라 설계되는 것으로, 모듈(51)이 프레임(11)에 대하여 착탈자재로 되어 있기 때문에 회로소자(1)의 두께와 크기, 또는 콘택트프로브(4)의 도전성접촉자(4b)의 본래 갯수와 하중 등에 따라 모듈(51)을 선택하여 검사에 이용할 수 있다. 이 때문에, 범용성있는 검사소켓(50)으로 이용할 수 있다.

[실시예 5]

도 24 내지 28은, 본 발명의 실시예 5에서의 검사용소켓(60)을 보여준다.

본 실시예에서도, 판용수철(13)에 용수철편(13b)이 형성되어 있고, 조작부재(12)를 구성하는 샤프트(42)의 회전에 의한 구체(18)의 이동에 따라 용수철편(13b)이 휘어지는 구조로 되어 있다. 따라서, 상기 실시예 3과 마찬가지로, 간격조정기구(31)가 형성되어 있어, 프레임(11)과 판용수철(13)의 간격조정이 가능하게 되어 있다.

또한, 상기 실시예 3과 마찬가지로, 정역방향으로 회전하는 샤프트(42)에 회전판(41)이 장착되어 있다.

또한, 샤프트(42)의 상단부분에는, 도 24에서 보는 바와 같이, 샤프트(42)를 회전시키기 위한 핸들(62)이 샤프트(42)에 대한 회전을 구속하여 취부되고, 고정나사(64)로 고정되어 있다.

본 실시예에서 프레임(11), 샤프트(42), 간격조정기구(31), 회전판(41), 구체(18), 판나사(13) 및 압축나사(43) 관계의 구성 및 기능은, 모두 상기 실시예 3 과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

또한, 샤프트(42)의 회전에 의해 회전판(41)이 회전하는 경우, 구체(18)가 용수철편(13b)을 휘게 할 수 있어, 판용수철(13)이 가압블록(20)을 통하여 모두 도시하지 않은 회로소자를 콘택트프로브에 탄성적으로 가압하도록 되어 있다.

본 실시예에서는, 회전판(41)의 상면에 상부가 돌출한 구체(18)와 제2 조정판(33)의 사이에 배치되고 샤프트(42)가 삽입되어 통과함으로써 샤프트(42)의 둘레에서 회전자재로 되는 회전플레이트(65)와, 회전플레이트(65)와 제2 조정판(33)의 사이에 배치된 접동부재(66)가 구비되어 있는 점이, 제1특징적인 구조이다.

도 26은, 본 실시예에서 구체(18)를 포함한 조작부계합부의 요부확대단면도이다.

회전플레이트(65) 및 접동부재(66)가 없는 경우, 핸들(62)을 파지하여 샤프트(42)를, 예컨대 정방향 즉 도 26의 A방향으로 회전시키는 경우, 회전하지 않는 제2 조정판(33)의 하면과 구체(18)의 상부가 접촉하고, 그 접촉면에서 구체(18)의 회전을 방해하는 마찰력이 발생한다. 그 결과, 그 마찰력 부분에만 핸들(62)의 조작력이 증대한다.

그러나, 회전플레이트(65) 및 접동부재(66)가 있는 본 실시예에서는, 구체(18)의 상부가 접하는 회전플레이트(65)가 구체(18)의 회전으로 인한 마찰력에 의해 샤프트(42) 및 회전판(41)과는 반대인 B방향으로 회전한다. 이 경우, 회전플레이트(65) 상면이 접동부재(66)의 하면에 접하여 접동한다. 이 접동부재(66)에는, 불소수지계와셔(washer), 윤활제가 함유된 드라이베어링, 또는 스러스트(thrust)베 어링 등의 마찰저항부재를 이용함으로써, 상기 접동마찰을 감소시킬 수 있다. 이로써, 핸들(62)의 조작력을 보다 감소시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에서 간격조정기구(31)를 생략한 변형형태로 할 수 있음은 말할나위 없다. 즉 이 경우는, 접동부재(66)가 직접 프레임(11)과 회전플레이트(65) 사이에 배치된다.

또한, 회전판(41)은 상기 실시예 1 또는 2와 같이 샤프트(42)와 일체로 형성된 원형플랜지일 수도 있다.

또한, 구체(18)를 대신하여 굴림대를 사용할 수도 있다.

또한, 도 24는 본 실시예의 검사용소켓(60)의 폐쇄상태를 보여주는 종단면도, 도 25는 그 폐쇄상태의 평면도, 도 27은 그 개방상태를 보여주는 종단면도, 도 28은 그 개방상태의 평면도이다.

본 실시예에서, 프레임(11)의 취부암(11a), 검사용소켓(60)의 폐쇄상태를 잠그기 위한 베이스(8)의 훅부(8c), 훅부(8c)와 계합하는 록암(14) 자체 등의 구조는, 상기 실시예 2, 3과 동일하다. 다만, 검사용소켓(60)의 폐쇄상태에서, 조여진 위치인 핸들(62)에 대하여 간섭하도록 록암(14)에 일체화된 레버(61) 상단에 돌기부(61a)가 형성되어 있는 점이 제2 특징적인 구조이다.

본 실시예의 핸들(62)은, 도 24 및 25에서 보는 바와 같이, 원통체의 중앙부를 거의 평행하게 남기고 양측상방부가 단부(段付)형으로 절개된 회피부(62b)와 나머지 중앙부의 손잡이로 이루어진다. 핸들(62)의 샤프트(42)에의 취부구조는, 핸들(62)의 비원형의 홀과 샤프트(42)단부가 감합하여 회전을 구속하여 취부되고, 나사 (64)로 고정되어 있다.

이와 같은 실시예에서, 검사용소켓(60)이 폐쇄상태이고, 핸들(62)의 손잡이부(62a)를 쥐는 위치로 회전시킨 상태에서는, 도 24 및 25에 보는 바와 같이, 레버(61)의 돌기부(61a)가 핸들(62)의 손잡이부(62a)의 단면에 접하도록 간섭함으로써, 레버(61)가 고정되어 있는 록암(14)을 개방할 수 없다. 따라서, 이 상태에서는 검사용소켓(60)을 개방하지 않으므로 검사대상물인 회로소자를 취출하는 것이 불가능하다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 핸들(62)의 손잡이부(62a)가 쥐어진 위치에 있는 검사용소켓(60)의 개방과 같은 오동작을 방지하는 것을 확보할 수 있다.

한편, 검사용소켓(60)의 개방상태의 방향에 핸들(62)의 손잡이부(62a)를 회전시키는 개방위치에서는, 도 27 및 28에 보는 바와 같이, 레버(61)의 돌기부(61a)는 핸들(62)의 회피부(62b)의 상방에 위치한 핸들(62)의 손잡이부(62a)와도 간섭없이, 록암(14)을 개방한 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 이 상태에서 검사용소켓(60)을 개방하여 검사대상물인 회로소자를 취출하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시예에서 돌기부(61a)를 레버(61)에 대응하여 간섭하도록 핸들(62)의 측면에 돌출시켜 형성한 변형형태로도 할 수 있다. 즉 이 경우, 레버(61)는 돌기부(61a)가 제거된 거의 수직면형상일 수도 있고, 이 수직면이 핸들(62)측의 돌기부와 간섭하도록 구성할 수도 있다. 또한, 검사용소켓(60)을 개방상태로 하는 방향으로 핸들(61)을 회전시킴으로써, 상기 돌출부가 레버(61)의 수직면으로부터 이반하여 상기 돌기부의 간섭을 용이하게 해제할 수 있다.

또한, 록암(14)과 레버(61)는 일체로 형성될 수도 있다.

[기타 실시예]

도 29 내지 31은 기타 실시예를 보여준다. 도 29의 형태에서는, 샤프트(16)의 플랜지부(16b)에 판용수철(13)방향으로 돌출한 돌기(61)가 형성되어 있다. 돌기(61)는 플랜지부(16b)의 원주방향에 따라 동일간격으로 형성되어 있고, 판용수철(13)에 세워진 형태로 형성된 용수철편(13b)과 반대로 접하고 있다. 돌기(61)는, 샤프트(16)를 정역방향으로 회전시킴에 따라 용수철편(13b)을 접동하는 것이고, 이 접동에 의해 용수철편(13b)을 휘어지게 할 수 있어, 판용수철(13)로 회로소자(1)를 가압할 수 있다.

도 30은, 판용수철(13)이 복수로 중첩된 형태를 보여준다. 판용수철(13)을 복수로 중첩시킴으로써, 회로소자(1)를 가압하는 하중을 증대시킬 수 있다. 이 때문에 용수철힘이 증가하여, 형상과 중량이 큰 판용수철을 이용할 필요가 없고 작은 공간내에서 배치할 수 있다.

도 31은, 판용수철(13)을 회로소자(1)와 이격방향으로 부세한 이격부세부재의 다른 형태를 보여준다. 도 31의 (a)는, 프레임(11)에 압축용수철(63)을 장착하고, 압축용수철(63)에 의한 판용수철(13)을 상술한 방향으로 부세한 구조로 되어 있다. 또한, 도 31의 (b)는, 판용수철(13)의 단부를 슬릿형으로 형성하고, 이 형성부분을 프레임(11)에 직접 계지시킴으로써 부세를 수행하도록 되어 있다.

본 발명은 이상의 실시예에 한정되지 않고 다양한 변형이 가능하다. 예컨대, 프레임(11)을 베이스(8)로 회전가능하도록 지지하는 지축(9)으로는, 원기둥의 외형 형상일 수도 있다. 또한, 본 발명은 회로소자(1)를 콘택트프로브(4)에 가압하는 이외의 검사에 이용할 수도 있다.

청구항 제1항의 발명에 따르면, 압체의 탄성력에 따라 검사대상물을 검사장치의 검사면으로 가압하기 때문에 균일한 가압이 가능하여 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다. 또한, 조작부재의 역회전에 의해 압체의 탄성력이 감소하기 때문에 완만한 제거를 수행할 수 있다.

청구항 제2항의 발명에 따르면, 샤프트의 소정각도범위 내의 정역회전에 의해 판용수철의 검사대상물로의 가압 및 그 해제를 수행할 수 있기 때문에 조작성이 향상되고, 게다가 판용수철이 일정 하중으로 검사대상물을 가압하기 때문에 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구항 제3항의 발명에 따르면, 샤프트의 소정각도범위 내의 정역회전에 따라 검사대상물로의 가압 및 그 해제를 수행할 수 있기 때문에 조작성이 향상될 뿐만 아니라 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다. 또한, 조작부재 및 판용수철에 의해 형성된 모듈이 프레임에 대하여 착탈자재로 되어 있기 때문에 범용성있는 검사용소켓으로 될 수 있다.

청구범위 제4항의 발명에 따르면, 청구항 제2항 및 제3항의 발명의 효과를 가진 것에 더하여, 판용수철이 부주의하게 검사대상물을 가압하지 않기 때문에 검사실수를 방지할 수 있다.

청구범위 제5항의 발명에 따르면, 청구범위 제2항 내지 제4항의 발명의 효과 에 더하여, 판용수철과 검사대상물과의 간격조정을 수행할 수 있기 때문에 검사대상물의 두께와 크기에 대응할 수 있어 범용성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제6항의 발명에 따르면, 청구범위 제2항 내지 제5항의 발명의 효과에 더하여, 판용수철의 검사대상물로의 가압력이 균등하기 때문에, 검사대상물이 균등하게 검사면에 가압되어 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

청구범위 제7항의 발명에 따르면, 청구범위 제5항의 발명의 효과에 더하여, 판용수철과 검사대상물과의 간격조정을 일방의 조정판의 이동에 의해 수행되기 때문에 간단하게 조정할 수 있는 것과 함께, 연속하는 경사면에 의한 간격조정을 수행하기 때문에 무단계의 조정을 할 수 있어 미세한 조정이 가능하다.

청구범위 제8항의 발명에 따르면, 청구범위 제2항 및 제3항의 발명의 효과에 더하여, 프레임을 베이스에 간단히 탈착할 수 있다.

청구범위 제9항의 발명에 따르면, 청구범위 제2항 내지 제8항의 발명의 효과에 더하여, 회전플레이트가 구체의 접동저항을 감소시키는 것과 함께, 마찰감소부재로 이루어진 접동부재에 의해 회전플레이트와의 접동저항이 감소됨으로써 조작부의 회전조작력이 한층 감소된다.

청구범위 제10항의 발명에 따르면, 청구범위 제2항 내지 제5항의 발명의 효과에 더하여, 검사용소켓의 폐쇄상태에서 핸들 및 레버에 형성된 돌기부의 상호 간섭에 의해 검사용소켓의 개방과 같은 오작동을 방지하는 것을 확보할 수 있다.

청구범위 제11항의 발명에 따르면, 청구범위 제1항 내지 제8항의 발명의 효과에 더하여, 콘택트프로브를 통하여 회로소자와 테스트보드가 전기적으로 접속되 기 때문에 회로소자에 대하여 신뢰성있는 검사를 수행할 수 있다.

Claims (11)

1. 삭제
2. 검사장치의 검사면에 대하여 검사대상물을 가압하는 소켓에 있어서,

   검사대상물을 세팅하기 위한 개구부를 포함하고 검사면에 장착된 베이스에 착탈 자재로 장착되어 상기 개구부를 개폐하는 프레임과,

   소정각도범위 내로 정역회전가능하도록 프레임에 장착된 샤프트를 포함하고 검사대상물 방향으로 돌출된 계합부가 형성된 조작부재와,

   상기 샤프트의 회전방향에 따라 경사형으로 세워지며 상기 계합부가 반대로 되어서 접동하는 용수철편을 포함하고 검사대상물에 대한 접리방향으로 이동하도록 샤프트에 장착된 판용수철을 구비하고,

   상기 샤프트의 정방향 회전에 의해 상기 계합부가 상기 용수철편을 접동하고, 이 접동에 따라서 용수철편이 휘어서 상기 판용수철이 상기 검사대상물의 방향으로 이동해서 검사대상물을 상기 검사면에 가압하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
3. 삭제
4. 제2항에 있어서, 검사대상물에서 멀어지는 방향으로 상기 판용수철을 부세하는 격리 부세부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용소켓.
5. 제2항에 있어서, 상기 검사대상물과 판용수철과의 간격조정을 행하는 간격조정 기구가 샤프트와 프레임과의 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용소켓.
6. 제2항에 있어서, 복수쌍의 상기 계합부 및 용수철편이 샤프트의 회전 방향에 따라 동일간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 검사용소켓.
7. 제5항에 있어서, 상기 간격조정기구는 상호 접동하도록 중첩하여 프레임과의 상호 회전이 구속되는 상태에서 샤프트가 삽입하여 통과하며, 상기 프레임과 샤프트의 사이에 배치된 적어도 2개의 조정판을 포함하며 일방의 조정판이 샤프트와 교차하는 방향으로 이동가능하도록 되어 있어 상기 샤프트와 직교하는 방향에 따라 경사진 경사면이 조정판의 중첩면에 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
8. 제2항에 있어서, 상기 프레임을 장착하기 위한 지축이 베이스에 형성되고, 지축이 삽입가능한 U자형의 취부구를 포함한 취부암이 프레임에 형성되며, 상기 지축 및 취부구에 평행면이 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
9. 제5항에 있어서, 상기 계합부와 프레임 또는 간격조정기구 사이에 배치되고 샤프트가 삽입되어 통과함으로써 샤프트의 둘레에서 회전자재로 되는 회전플레이트와,

   회전플레이트와 프레임 또는 간격조정기구 사이에 배치된 접동부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
10. 제2항에 있어서, 상기 프레임에 회전 가능하도록 장착되어 프레임이 베이스의 개구부를 폐쇄한 상태를 유지하는 록암과, 상기 샤프트의 상단에 고정된 핸들에 상기 프레임의 닫힌상태로 상호 간섭하는 돌기부가 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
11. 제2항에 있어서, 상기 검사대상물은 패턴이 형성된 회로소자이고, 상기 검사장치는 전극부가 형성된 테스트보드와, 전극부에 대응하는 침상의 복수의 도전성접촉자가 하우징에 정렬형으로 수용된 것으로, 상기 도전성접촉자의 축방향단부가 하우징의 외부에 돌출하도록 코일용수철에 의해 부세하며 상기 테스트보드에 장착된 콘택트프로브를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.

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