JPS634492A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS634492A
JPS634492A JP61146687A JP14668786A JPS634492A JP S634492 A JPS634492 A JP S634492A JP 61146687 A JP61146687 A JP 61146687A JP 14668786 A JP14668786 A JP 14668786A JP S634492 A JPS634492 A JP S634492A
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wiring
circuit
fuse
laser
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JP61146687A
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Kazutoshi Hirayama
平山 和俊
Hideyuki Ozaki
尾崎 英之
Kazuyasu Fujishima
一康 藤島
Hideto Hidaka
秀人 日高
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体記憶装置、とりわけダイナミックラ
ンダムアクセスメモリに関し、特に通常の読出し、書き
込み動作、所謂ノーマルベージモードの機能の他に、ス
タティックカラムモード。
高速ページモード、ニブルモード等の各種の書き込み、
読み出し動作モードを2種類以上備え、その中から一つ
を選択することにより、同一チップで種々の機能のもの
をつくり分けできるものにおける、その動作モードの切
り換えに関するものである。
〔従来の技術〕
近年、ダイナミックランダムアクセスメモリ(以下DR
AMと称す)においては、ノーマルベみ出し動作モード
のものが市場に提供されている。
これの実現方法として半導体メーカでは同一のメモリチ
ップ上に複数種類の動作モードを可能とする回路を設計
し、その動作を一種類だけ選択した後製品化することに
より、別チップにてこれらのD RA Mを実現した場
合の設計効率上あるいは量産効率上の問題を回避してい
る。
そしてこの動作モード選択は従来主に製造プロセス中の
アルミ等による配線工程マスクを変更して動作モードの
選択を行ったり、あるいはまた、組み立て工程中の特定
パッドへのワイヤリングによりその選択を行うことによ
りチップのつくり分けを実現するようにしていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかるに、この半導体記憶装置における従来の動作モー
ドの選択方法では製造プロセス中による切り替えは、動
作モードの数だけマスクが必要となったり、また、この
製造プロセス中での切替えでは急な客先要求への応対の
遅れ、市場の急激な変動による特定モード品の在庫の増
加等を招くという問題があった。特に、最近の半導体記
憶装置においては、そのパンケージの多様化による、パ
ッド配置の切り換えの必要も生じ、配線工程マスクによ
る切り替えは、パンケージとの組み合せにより、マスク
枚数の大幅な増加を招くものとなる。
また、ワイヤリング工程での変更によれば市場動向に対
し迅速に対応可能であるが、この方法ではポンディング
パッドがチップ上に不可欠であり、動作モード数の増加
に伴い、チップレイアウト上その面積が増大するという
欠点がある。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、配線工程マスクの大幅な枚数増やチップ面
積増を招くことなく迅速に複数の読出し書込み動作モー
ドの選択を行える半導体記憶装置を得ることを目的とす
る。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る半導体記憶装置は、動作モードの切り替
えをワイヤリング切り替えに加え、レーザトリマ装置あ
るいは電気回路によるヒユーズ切断によっても切り替え
可能としたものである。
〔作用〕
この発明においては、動作モードの切り替えはヒユーズ
の切断によってもなされるから、配線工程マスクの種類
およびポンディングパッドの面積をいたずらに増加させ
ることなくチップのつくり分けを迅速に行える。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図はこの発明の一実施例による半導体記憶装置の動
作モード選択回路を示すロジック図である。図において
、11はワイヤリングされるポンディングパッド、12
はワイヤリングされない時の電位を保証するプルアップ
抵抗、13及び14はトランジスタ等で実現されるイン
バータ回路、15は電源線に接続された端子、16はそ
のレベルの高低により動作モード制御回路を切り替える
ノード、17はトランジスタ等で実現されるNORロジ
ック回路、18はレーザで遮断されるヒユーズ、19は
トランスファゲートである。
また第2図は電気ヒユーズによる動作モード切り替えお
よびワイヤリングによる選択を可能とした、本発明の他
の実施例を示す。図において、20は電流により遮断さ
れるヒユーズ、22は抵抗である。
また第3図は1チツプで複数の動作モードをつくり分け
しうる半導体記憶装置のブロック構成を示し、図におい
て、30はメモリセルアレイであり、これには8分割さ
れたメモリセルアレイ30a 〜30 h %センスア
ンプ30i、30j、行デコーダ30k、列デコーダ3
02が含まれる。゛また、31はRASバフファノア3
はCASバッファ、32はアドレスバッファ、34はプ
リアンプ、35はデータ人カバソファ、36はメインア
ンプである。
また37.38,39.40はそれぞれニブル回路、ス
タティックコラム回路、ノーマルページ回路、高速ペー
ジ回路であり、これらの動作モード制御回路により第4
図(al、 (bl、 (C1に示されるような動作モ
ードが実現される。但し高速ページモードについてはそ
の図示を省略している。41は動作モード選択回路であ
り、その中には第1図に示す回路が4つ含まれている。
42〜45は動作モード選択回路41の出力により導通
ずるトランスファゲートである。
また第5図はポンディングパッドへのワイヤリングの様
子を示し、図中、50は第3図に示すチップ51を収容
しているパッケージ、52はチップ51のボンディング
パッド、53はピン、54ハヒン53と接続されている
端子、55はワイヤである。
次に動作について第1図を用いて説明する。本実施例で
はポンディングパッド11へのGNDレベルのワイヤリ
ング、またはレーザヒユーズ18の遮断により、NOR
ロジック回路17の出カッ−)’16をGNDレベルに
固定することにより、ノード16に接続される内部回路
が固定されて、特定の動作モードを実現することができ
る。
即ち、ワイヤリングもヒユーズ遮断も行われていない状
態ではプルアップ抵抗12によりインバータ13の入力
が電源端子15レベルに固定されており、またインバー
タ140入力も電源端子15レベルに固定されているの
で、NOR回路17の2人力は共にロウレベルとなり、
ノード16はハイレベルとなる。
ここで、ボンディングパッド11がG N Dレベルに
ワイヤリングされたとするとインバータ13人力はロウ
となり、NOR回路17の一方の入力がハイとなるので
、ノード16はロウレベルとなる。
またワイヤリングに代えてヒユーズ18をレーザカット
することによってもノード16をロウレベルとすること
ができる。即ち、ヒユーズ18を切断することにより切
断前にハイレベルであったインバータ入力をロウレベル
にでき、これによりNOR回路17の他方の入力がハイ
レベルとなるのでノード16はロウレベルとなる。
このようにトランスファゲート42〜45のうちの1つ
につながっているノード16を、パッド11をGNDレ
ベルにワイヤリングするかあるいはヒユーズ18をレー
ザカットすることによりロウレベルにできるので、ニブ
ル回路37.スタティックコラム回路38.ノーマルペ
ージ回路39゜高速ページ回路40のうちのいずれか一
つに対応するトランスファゲートのみがオンするように
、レーザカットあるいはワイヤリングを行うことにより
単一のチップにより4種類のDRAMをつくり分けるこ
とができ、かっこのつくり分けをレーザカットによって
もワイヤリングによっても行えるので、ワイヤリングで
しかつくり分けできない従来のものに比しパッドの専有
面積が減少し、なおかつ市場動向への迅速な対応が可能
である。
なお上記実施例ではレーザによるヒユーズを用いタカ、
第2図の実施例ではトランジスタ23のゲート端子24
にハイレベルを印加してヒユーズ20を遮断するように
しており、この構成によっても上記実施例と全く同一の
効果が得られるものである。
また、上記実施例では4種類の動作モードとして、ニブ
ルモード、スタティックコラムモード。
ノーマルページモード、高速ページモードを例にとって
説明したが、これ以外の動作モードであってもよく、ま
た今後出現するであろう新たな動作モードについても適
用できることは言うまでもない。また動作モードの種類
も4種類に限定されるものではなく、複数種類であれば
よい。
また半導体チップの構成も上記実施例に限定されるもの
ではなく、1チツプで2種類以上の動作モードが実現で
きるような周辺回路を内蔵していればどの様な構成でも
かまわない。
また上記実施例では第1図の動作モード選択回路が動作
モードに対応して4個右含まれている場合のみを示した
が、少なくとも2個含まれていればよく、このとき2個
の動作モード選択回路の出力をデコード等すればよい。
また−船釣には2fi種類(nは正整数)の動作モード
に対し少なくともn個含まれていればよい。
また上記実施例では全ての動作モードについてヒユーズ
及びワイヤリングにより切替可能としたものを示したが
、その全てについてワイヤリング切り替えと併用する必
要性は全くなく、ヒユーズだけで動作モードを切り替え
るようにする事も勿論可能である。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明に係る半導体記憶装置て、レイ
アウト面積が非常に小さくて済むヒユーズ遮断による選
択と、市場動向への迅速な対応が可能なワイヤリングに
よる選択とを両者共に可能としたので、数種類の動作モ
ードを選択し得るチップについて、ポンディングパッド
をモードの数だけ持つ必要がなく、かつ市場への迅速な
対応を犠牲にしない動作モード切り替え方式のものが得
られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による半導体記憶装置の動
作モード選択回路を示す回路図、第2図は、この発明の
他の実施例による半導体記憶装置の動作モード選択回路
を示す回路図、第3図は第1図あるいは第2図の動作モ
ード選択回路を有する半導体記憶装置を示すブロック図
、第4図は第3図の半導体記憶装置の動作モードを示す
図であり、第4図(a)はページモードを示す図、第4
図(blはスタティックコラムモードを示す図、第4図
(C)はニブルモードを示す図である。第5図はワイヤ
リングを示す図である。 図において、11はワイヤリング用ボンディングパソド
、12はプルアップ用抵抗、13.14はインバータ回
路、15はt源端子、16はノード、17はNOR回路
、18はレーザにより遮断されるヒユーズ、19はトラ
ンスファゲート、20は電流により遮断されるヒユーズ
、23はトランジスタ、22は抵抗、41は動作モード
選択回路、30はメモリセル、31はRASバッファ、
32はアドレスバッファ、33はCASバッファノア4
はプリアンプ、35はデータ入カバソファ、36はメイ
ンアンプ、37はニブル回路、38はスタティックコラ
ム回路、39はノーマルページ回路、40は高速ページ
回路、42〜45はトランスファゲート、51はチップ
、52はポンディングパッド、54は端子、53はワイ
ヤである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)メモリチップ上に設けられ、スタティックカラム
    モード、高速ページモード、ニブルモード等、2種類以
    上の種々の読み出し、書き込み動作モードを実現するた
    めの、上記動作モードの夫々に対応して設けられた複数
    の動作モード制御回路と、 上記メモリチップ上に設けられ、レーザートリマ装置又
    は電気回路により切断されるヒューズを有し上記動作モ
    ード制御回路の中から一種類を選択するための動作モー
    ド選択回路とを備えたことを特徴とする半導体記憶装置
  2. (2)上記動作モードの選択は、ワイヤリングによって
    も可能であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の半導体記憶装置。
JP61146687A 1986-06-23 1986-06-23 半導体記憶装置 Pending JPS634492A (ja)

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US07/034,094 US4833650A (en) 1986-06-23 1987-04-02 Semiconductor memory device including programmable mode selection circuitry
KR1019870003516A KR920006011B1 (ko) 1986-06-23 1987-04-13 반도체기억장치의 동작모드선택회로
DE19873716518 DE3716518A1 (de) 1986-06-23 1987-05-18 Halbleiterspeichervorrichtung
FR8708731A FR2600453B1 (fr) 1986-06-23 1987-06-22 Dispositif de memoire a semi-conducteurs

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473597A (en) * 1987-09-16 1989-03-17 Hitachi Ltd Semiconductor memory device
JPH0281619A (ja) * 1988-09-19 1990-03-22 Toray Ind Inc 熱可塑性樹脂フィルムのキャスト方法
JPH02139791A (ja) * 1988-04-23 1990-05-29 Samsung Electron Co Ltd メモリ動作モード選択回路
JPH02228333A (ja) * 1989-03-01 1990-09-11 Toray Ind Inc 熱可塑性フィルムの表面処理方法
JPH02238921A (ja) * 1989-03-13 1990-09-21 Toray Ind Inc 磁気記録媒体用二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960003526B1 (ko) 1992-10-02 1996-03-14 삼성전자주식회사 반도체 메모리장치
US5528551A (en) * 1987-05-21 1996-06-18 Texas Instruments Inc Read/write memory with plural memory cell write capability at a selected row address
US4987325A (en) * 1988-07-13 1991-01-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Mode selecting circuit for semiconductor memory device
US5083293A (en) * 1989-01-12 1992-01-21 General Instrument Corporation Prevention of alteration of data stored in secure integrated circuit chip memory
US5217917A (en) * 1990-03-20 1993-06-08 Hitachi, Ltd. Semiconductor memory device with improved substrate arrangement to permit forming a plurality of different types of random access memory, and a testing method therefor
US5113511A (en) * 1989-06-02 1992-05-12 Atari Corporation System for dynamically providing predicted high/slow speed accessing memory to a processing unit based on instructions
DE58908287D1 (de) * 1989-06-30 1994-10-06 Siemens Ag Integrierte Schaltungsanordnung.
US4970418A (en) * 1989-09-26 1990-11-13 Apple Computer, Inc. Programmable memory state machine for providing variable clocking to a multimode memory
IL96808A (en) * 1990-04-18 1996-03-31 Rambus Inc Introductory / Origin Circuit Agreed Using High-Performance Brokerage
US5780918A (en) * 1990-05-22 1998-07-14 Seiko Epson Corporation Semiconductor integrated circuit device having a programmable adjusting element in the form of a fuse mounted on a margin of the device and a method of manufacturing the same
EP1050820A3 (en) * 1990-12-25 2001-06-06 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha A semiconductor memory device with a large storage capacity memory and a fast speed memory
US5587964A (en) * 1991-06-28 1996-12-24 Digital Equipment Corporation Page mode and nibble mode DRAM
JP2856988B2 (ja) * 1992-08-21 1999-02-10 株式会社東芝 半導体集積回路
US6279116B1 (en) 1992-10-02 2001-08-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Synchronous dynamic random access memory devices that utilize clock masking signals to control internal clock signal generation
US5355344A (en) * 1992-11-13 1994-10-11 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Structure for using a portion of an integrated circuit die
JP2888081B2 (ja) * 1993-03-04 1999-05-10 日本電気株式会社 半導体記憶装置
JP3344494B2 (ja) * 1993-03-23 2002-11-11 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション ページモードを有するシングルクロックメモリ
US5418756A (en) * 1993-09-30 1995-05-23 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Edge transition detection disable circuit to alter memory device operating characteristics
US5457659A (en) * 1994-07-19 1995-10-10 Micron Technology, Inc. Programmable dynamic random access memory (DRAM)
JP3526100B2 (ja) * 1995-03-06 2004-05-10 株式会社ルネサステクノロジ モード設定回路
JPH08321173A (ja) * 1995-05-23 1996-12-03 Mitsubishi Electric Corp 半導体メモリ
US5657293A (en) * 1995-08-23 1997-08-12 Micron Technology, Inc. Integrated circuit memory with back end mode disable
JP2786152B2 (ja) * 1996-04-25 1998-08-13 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 半導体集積回路装置
US6608792B2 (en) * 2000-11-09 2003-08-19 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for storing data in an integrated circuit
DE10056590A1 (de) * 2000-11-15 2002-05-23 Philips Corp Intellectual Pty Schaltungsanordnung
US7299327B2 (en) * 2005-02-18 2007-11-20 International Business Machines Corporation Content-on-demand memory key with positive access evidence feature
JP2019134693A (ja) * 2018-02-05 2019-08-15 株式会社マキタ ヘッジトリマ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2948159C2 (de) * 1979-11-29 1983-10-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Integrierter Speicherbaustein mit wählbaren Betriebsfunktionen
JPS5685934A (en) * 1979-12-14 1981-07-13 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Control signal generating circuit
US4446534A (en) * 1980-12-08 1984-05-01 National Semiconductor Corporation Programmable fuse circuit
JPS5956284A (ja) * 1982-09-24 1984-03-31 Hitachi Micro Comput Eng Ltd 半導体記憶装置
US4586167A (en) * 1983-01-24 1986-04-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device
JPS59135695A (ja) * 1983-01-24 1984-08-03 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
DE3318123A1 (de) * 1983-05-18 1984-11-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schaltungsanordnung mit einem datenspeicher und einer ansteuereinheit zum auslesen, schreiben und loeschen des speichers
US4590388A (en) * 1984-04-23 1986-05-20 At&T Bell Laboratories CMOS spare decoder circuit
US4685084A (en) * 1985-06-07 1987-08-04 Intel Corporation Apparatus for selecting alternate addressing mode and read-only memory
JPS62139198A (ja) * 1985-12-11 1987-06-22 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473597A (en) * 1987-09-16 1989-03-17 Hitachi Ltd Semiconductor memory device
JPH02139791A (ja) * 1988-04-23 1990-05-29 Samsung Electron Co Ltd メモリ動作モード選択回路
JPH0281619A (ja) * 1988-09-19 1990-03-22 Toray Ind Inc 熱可塑性樹脂フィルムのキャスト方法
JPH0533891B2 (ja) * 1988-09-19 1993-05-20 Toray Industries
JPH02228333A (ja) * 1989-03-01 1990-09-11 Toray Ind Inc 熱可塑性フィルムの表面処理方法
JPH02238921A (ja) * 1989-03-13 1990-09-21 Toray Ind Inc 磁気記録媒体用二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法

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