JPS63297069A - 熱印字ヘッドの製造方法 - Google Patents
熱印字ヘッドの製造方法Info
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- JPS63297069A JPS63297069A JP13660087A JP13660087A JPS63297069A JP S63297069 A JPS63297069 A JP S63297069A JP 13660087 A JP13660087 A JP 13660087A JP 13660087 A JP13660087 A JP 13660087A JP S63297069 A JPS63297069 A JP S63297069A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、プリンタ等に使用される熱印字ヘッドに関す
る。
る。
（従来の技術）
従来の薄膜型の熱印字ヘッドは、第３図のように、基［
２０の上にグレーズ層２１、抵抗体２２、導体２３、耐
酸化層２４および耐摩耗Ｈ２５を順次積層してなるのが
一般的である。
２０の上にグレーズ層２１、抵抗体２２、導体２３、耐
酸化層２４および耐摩耗Ｈ２５を順次積層してなるのが
一般的である。
（発明が解決しようとする問題点）
かかる熱印字ヘッドでは、抵抗体２２上の導体２３の一
部をエツチング等で除去して発熱体部２６を形成するた
め、発熱体部２６の表面２６ａは、その両側部分よりも
凹形にへこむことになる。
部をエツチング等で除去して発熱体部２６を形成するた
め、発熱体部２６の表面２６ａは、その両側部分よりも
凹形にへこむことになる。
そのため、発熱体部２６の紙当たりが悪くなり、鮮明な
印字が行なわれないという問題がある。
印字が行なわれないという問題がある。
これに対し、第４図のように、グレーズ層２１の曲率を
大きくするグレーズ曲率アップ方式（ＳＰＧ方式）や、
第５図のように、グレーズ層２１ａの上に更に小幅なグ
レーズ層２１ｂを設けるダブルグレーズ方式（ＷＰＧ方
式）が提案されている。
大きくするグレーズ曲率アップ方式（ＳＰＧ方式）や、
第５図のように、グレーズ層２１ａの上に更に小幅なグ
レーズ層２１ｂを設けるダブルグレーズ方式（ＷＰＧ方
式）が提案されている。
これらの方式による熱印字ヘッドでは、発熱体部２６の
表面２６ａは、第３図のものに比べて上方に凸状に突出
したものとなるが、グレーズ層２１自体の形成が困難で
あるばかりか、グレーズ層２１上の所定位置に精確に発
熱体部を形成する必要があり、グレーズ層に対する発熱
体部の位置ずれを極めて小幅に抑えなければならなず、
製造工程の負担が大きい。
表面２６ａは、第３図のものに比べて上方に凸状に突出
したものとなるが、グレーズ層２１自体の形成が困難で
あるばかりか、グレーズ層２１上の所定位置に精確に発
熱体部を形成する必要があり、グレーズ層に対する発熱
体部の位置ずれを極めて小幅に抑えなければならなず、
製造工程の負担が大きい。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みて、紙当たりが良
く、鮮明な印字が行なわれるとともに、製作が容易な熱
印字ヘッドを提供することを目的とする。
く、鮮明な印字が行なわれるとともに、製作が容易な熱
印字ヘッドを提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の目的を達成するために、基板上の発熱
抵抗体上に耐酸化層および耐摩耗層を順次積層してなる
熱印字ヘッドにおいて、前記耐酸化層の発熱抵抗体との
対応部分をその両端部分よりも肉厚とした。
抵抗体上に耐酸化層および耐摩耗層を順次積層してなる
熱印字ヘッドにおいて、前記耐酸化層の発熱抵抗体との
対応部分をその両端部分よりも肉厚とした。
（実施例）
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例に係る熱印字ヘッドの断面図
である。この実施例の熱印字ヘッドは、基板ｌ上に、上
側に凸状に湾曲するグレーズ層２、抵抗体３、導体４、
耐酸化層５および耐摩耗層６を順次積層してなるもので
ある。導体４の各部のうち、グレーズ層２上に位置する
部分を除去してその下側の抵抗体３を露出させることに
より、発熱体部７が形成されている。
である。この実施例の熱印字ヘッドは、基板ｌ上に、上
側に凸状に湾曲するグレーズ層２、抵抗体３、導体４、
耐酸化層５および耐摩耗層６を順次積層してなるもので
ある。導体４の各部のうち、グレーズ層２上に位置する
部分を除去してその下側の抵抗体３を露出させることに
より、発熱体部７が形成されている。
ここで、耐酸化層５はＳｔｏｗ等の透明の膜体であって
、この耐酸化層５の抵抗体３との対応部分５ａは、その
両端部分５ｂ、５ｂよりら肉厚となっていて、発熱体部
７の表面７ａを外側上方へ突出させている。
、この耐酸化層５の抵抗体３との対応部分５ａは、その
両端部分５ｂ、５ｂよりら肉厚となっていて、発熱体部
７の表面７ａを外側上方へ突出させている。
第２図（ａ）および（ｂ）は、上記構成の熱印字ヘッド
の製造過程を示す断面図である。次に、これらの図に基
づいて、該熱印字ヘッドの製造方法を説明する。
の製造過程を示す断面図である。次に、これらの図に基
づいて、該熱印字ヘッドの製造方法を説明する。
まず、基板ｌの上にグレーズ層２、抵抗体３、導体４お
よび耐酸化層５が従来と同様の方法で順次形成される。
よび耐酸化層５が従来と同様の方法で順次形成される。
したがって、この段階では、第２図（ａ）のように、導
体４の除去部によって、耐酸化Ｒ５の表面に凹部９が形
成されることになる。
体４の除去部によって、耐酸化Ｒ５の表面に凹部９が形
成されることになる。
次に、上記耐酸化層５の各部のうち、導体４の除去部に
対応する凹部９のみをフォトレジストで覆い、その他の
部分の耐酸化層をハーフエツチングにより途中まで除去
する。これにより、第２図（ｂ）の交叉斜線で示す部分
ＩＯが除去されて、耐酸化層°５の抵抗体３との対応部
分５ａが、その両側部分５ｂ、５ｂよりも肉厚となる。
対応する凹部９のみをフォトレジストで覆い、その他の
部分の耐酸化層をハーフエツチングにより途中まで除去
する。これにより、第２図（ｂ）の交叉斜線で示す部分
ＩＯが除去されて、耐酸化層°５の抵抗体３との対応部
分５ａが、その両側部分５ｂ、５ｂよりも肉厚となる。
すなわち、耐酸化層５の発熱体部７は外側上方へ突出す
る。
る。
その後、第１図のように、耐酸化層５の上に耐摩耗層６
が形成されたとき、その耐摩耗層６は耐酸化層５の表面
に沿うものとなるので、耐摩耗層６の発熱部７も外側上
方に突出することになる。
が形成されたとき、その耐摩耗層６は耐酸化層５の表面
に沿うものとなるので、耐摩耗層６の発熱部７も外側上
方に突出することになる。
なお、第２図（ａ）の耐酸化層５を形成するとき、まず
スパッタリングにより下層部を形成し、その上にＣＶＤ
により上層部を形成するという２段階形成方式をとり、
上層部のみをエツチング除去するようにすれば、下層部
と上層部のエツチングレイトがかなり異なるので、ハー
フエツチングの制御が容易になる。
スパッタリングにより下層部を形成し、その上にＣＶＤ
により上層部を形成するという２段階形成方式をとり、
上層部のみをエツチング除去するようにすれば、下層部
と上層部のエツチングレイトがかなり異なるので、ハー
フエツチングの制御が容易になる。
また、耐酸化層５のエツチングの際、該耐酸化層５は透
明であるので、耐酸化層５を通して抵抗体３を透視する
ことができ、そのため、発熱体部７に対するエツチング
を位置ずれなく精確に行なうことができ、発熱体部の位
置ずれをマスクアライメントの精度まで抑えることがで
きる。
明であるので、耐酸化層５を通して抵抗体３を透視する
ことができ、そのため、発熱体部７に対するエツチング
を位置ずれなく精確に行なうことができ、発熱体部の位
置ずれをマスクアライメントの精度まで抑えることがで
きる。
（効果）
以上説明した本発明によれば、発熱体部の表面が外側に
突出するので、紙当たりが良く、鮮明な印字が行なわれ
る。
突出するので、紙当たりが良く、鮮明な印字が行なわれ
る。
また、かかる発熱体部は、抵抗体上の耐酸化層の肉厚調
整により得られるので、グレーズ層自体の改良で得られ
る従来の構成に比べ、製作が容易である。
整により得られるので、グレーズ層自体の改良で得られ
る従来の構成に比べ、製作が容易である。
第１図は本発明の一実施例に係る熱印字ヘッドの断面図
、第２図（ａ）および（ｂ）は熱印字ヘッドの製造過程
を示す断面図、第３図、第４図および第５図は従来例の
断面図である。 ｌ・・・基板、３・・・抵抗体、４・・・導体、５・・
・耐酸化層、５ａ・・・対応部分、５ｂ・・・両側部分
、６・・・耐摩耗層、７・・・発熱体部、７ａ・・・表
面。
、第２図（ａ）および（ｂ）は熱印字ヘッドの製造過程
を示す断面図、第３図、第４図および第５図は従来例の
断面図である。 ｌ・・・基板、３・・・抵抗体、４・・・導体、５・・
・耐酸化層、５ａ・・・対応部分、５ｂ・・・両側部分
、６・・・耐摩耗層、７・・・発熱体部、７ａ・・・表
面。
Claims (1)
- （１）基板上の発熱抵抗体上に耐酸化層および耐摩耗層
が順次積層されてなる熱印字ヘッドにおいて、 前記耐酸化層の発熱抵抗体との対応部分をその両側部分
よりも肉厚としたことを特徴とする熱印字ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62136600A JPH068051B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 熱印字ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62136600A JPH068051B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 熱印字ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63297069A true JPS63297069A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH068051B2 JPH068051B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15179090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62136600A Expired - Fee Related JPH068051B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 熱印字ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068051B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55128477A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Preparing method for heat-sensitive head |
| JPS5865678A (ja) * | 1981-10-15 | 1983-04-19 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツド |
| JPS5869076A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-25 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツド |
| JPS5887075A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS5887076A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS6295245A (ja) * | 1985-10-22 | 1987-05-01 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP62136600A patent/JPH068051B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55128477A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Preparing method for heat-sensitive head |
| JPS5865678A (ja) * | 1981-10-15 | 1983-04-19 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツド |
| JPS5869076A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-25 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツド |
| JPS5887075A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS5887076A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS6295245A (ja) * | 1985-10-22 | 1987-05-01 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH068051B2 (ja) | 1994-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |