JPS6295245A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS6295245A JPS6295245A JP23677985A JP23677985A JPS6295245A JP S6295245 A JPS6295245 A JP S6295245A JP 23677985 A JP23677985 A JP 23677985A JP 23677985 A JP23677985 A JP 23677985A JP S6295245 A JPS6295245 A JP S6295245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- protective layer
- thermal head
- protective
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はサーマルプリンタに用いられるサーマルヘッド
に関する。
に関する。
サーマルプリンタに塔載するサーマルヘッドは、例えば
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線上に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。
複数個の発熱抵抗体素子を同一基板上に直線上に配列し
、情報に従ってこの発熱抵抗体素子を通電加熱させて、
感熱記録紙に発色記録させ、あるいはインクリボンを介
して、普通紙に転写記録するために用いられる。
第2図、第3図は、従来のこのサーマルヘッドの一般構
造例を示すものである。絶縁性基板1上には断面が半円
弧状のガラスからなるグレーズ層2が形成されており、
このグレーズ層2の上にTa、 N等からなる発熱抵抗
体層3が形成されている。この発熱抵抗体層3の上には
、さらにこの発熱抵抗体層3に対して給電するための給
電体層4が形成されていて、この給電体層4のグレーズ
層2の頂面部はエツチング等の手段により分断されてい
る。
造例を示すものである。絶縁性基板1上には断面が半円
弧状のガラスからなるグレーズ層2が形成されており、
このグレーズ層2の上にTa、 N等からなる発熱抵抗
体層3が形成されている。この発熱抵抗体層3の上には
、さらにこの発熱抵抗体層3に対して給電するための給
電体層4が形成されていて、この給電体層4のグレーズ
層2の頂面部はエツチング等の手段により分断されてい
る。
給電体層4は例えばアルミニウム等からなるもので、こ
の分断部4aの両側間に電圧を与えるさ、グレーズ層2
の頂面部に位置する発熱抵抗体層3に電流が流れて発熱
する。この発熱抵抗体層3および給電体層4の上には、
これらの保護層7が形成されている。この保護層7は発
熱抵抗体N43を酸化による劣化から保護する5in2
などからなる耐酸化層5と感熱記録紙(図示せず)等と
の接触による摩耗から発熱抵抗体層3および給電体層4
を保護するTa、 O,等からなる耐摩耗層6とからな
っている。このサーマルヘッドは中央の分断部4aで分
断された複数の給電体層4の一方が共通’を極ライン4
bに接続され、他方が個別電極ライン4cに接続されて
いる。この個別電極ライン4cに情報に応じて選択的に
電圧が印加されるとグレーズ層2の頂面部の発熱抵抗体
層3が発熱し、この熱が耐酸化層5および耐摩耗層6を
伝わって保護層7の表面の発熱部3aが発熱して、感熱
記録紙、インクリボン等に発色エネルギーが与えられる
こととなる。なお、保護層7は端子部以外のヘッド面の
すべてを覆うように設けられている。
の分断部4aの両側間に電圧を与えるさ、グレーズ層2
の頂面部に位置する発熱抵抗体層3に電流が流れて発熱
する。この発熱抵抗体層3および給電体層4の上には、
これらの保護層7が形成されている。この保護層7は発
熱抵抗体N43を酸化による劣化から保護する5in2
などからなる耐酸化層5と感熱記録紙(図示せず)等と
の接触による摩耗から発熱抵抗体層3および給電体層4
を保護するTa、 O,等からなる耐摩耗層6とからな
っている。このサーマルヘッドは中央の分断部4aで分
断された複数の給電体層4の一方が共通’を極ライン4
bに接続され、他方が個別電極ライン4cに接続されて
いる。この個別電極ライン4cに情報に応じて選択的に
電圧が印加されるとグレーズ層2の頂面部の発熱抵抗体
層3が発熱し、この熱が耐酸化層5および耐摩耗層6を
伝わって保護層7の表面の発熱部3aが発熱して、感熱
記録紙、インクリボン等に発色エネルギーが与えられる
こととなる。なお、保護層7は端子部以外のヘッド面の
すべてを覆うように設けられている。
この従来のサーマルヘッドは給電体層4にグレーズ層2
の頂面部に位置する分断部4aを設け、この上にスパッ
タリング等の手段により耐酸化層5および耐摩耗層6が
形成され最終工程で分割してサーマルヘッドチップとな
る。
の頂面部に位置する分断部4aを設け、この上にスパッ
タリング等の手段により耐酸化層5および耐摩耗層6が
形成され最終工程で分割してサーマルヘッドチップとな
る。
しかし、上述のヘッド構造においては発熱抵抗体層3を
はさんで給電体#4が分断しているため分断部3aは凹
を生じることになり、印字に際して感熱記録媒体に対し
て発熱抵抗体層3は空隙を生じるから、効率よく熱の伝
導が行えず印字濃度かうすいものとなりやすい。そのた
め印加エネルギーを増大させて、印字濃度を高くしなけ
ればならず、熱歪の増大をともなってサーマルヘッドの
寿命が短かくなる欠点があった。また分断部4aがある
ため、給電体層4のエツジ部に印字の際に集中荷重が働
き機械的に保護層7のクラックやハクリを生じて発熱抵
抗体層3の酸化等による抵抗値の増加で印字不能になる
などの欠点がありた。
はさんで給電体#4が分断しているため分断部3aは凹
を生じることになり、印字に際して感熱記録媒体に対し
て発熱抵抗体層3は空隙を生じるから、効率よく熱の伝
導が行えず印字濃度かうすいものとなりやすい。そのた
め印加エネルギーを増大させて、印字濃度を高くしなけ
ればならず、熱歪の増大をともなってサーマルヘッドの
寿命が短かくなる欠点があった。また分断部4aがある
ため、給電体層4のエツジ部に印字の際に集中荷重が働
き機械的に保護層7のクラックやハクリを生じて発熱抵
抗体層3の酸化等による抵抗値の増加で印字不能になる
などの欠点がありた。
本発明は前記従来技術の間頌点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とする所は高印字品質で寿命の長いサー
マルヘッドを提供するこさにある。
あり、その目的とする所は高印字品質で寿命の長いサー
マルヘッドを提供するこさにある。
かかる目的を達成するために本発明のサーマルヘッドは
絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、そのグレーズ層上
に発熱抵抗体層を配置し、その発熱抵抗体層に電力を供
給する給電体層と、その給電体層および前記発熱抵抗体
層上に形成された保護層とを備えたサーマルヘッドにお
いて%第1の保護層を耐エツチング性を有する材料で形
成し、第2の保護層を耐酸化性とエツチング性を有する
絶縁物、半導体、抵抗体材料で形成し、第3の保護層を
耐摩耗性を有する金属の高酸化物または高窒化物または
高炭化物の材料で形成し、前記第2の保護層にフォトエ
ツチング加工を施こし、発熱抵抗体層上において第2の
保護層が平担もしくは凸状にしたことを特徴としたもの
である。
絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、そのグレーズ層上
に発熱抵抗体層を配置し、その発熱抵抗体層に電力を供
給する給電体層と、その給電体層および前記発熱抵抗体
層上に形成された保護層とを備えたサーマルヘッドにお
いて%第1の保護層を耐エツチング性を有する材料で形
成し、第2の保護層を耐酸化性とエツチング性を有する
絶縁物、半導体、抵抗体材料で形成し、第3の保護層を
耐摩耗性を有する金属の高酸化物または高窒化物または
高炭化物の材料で形成し、前記第2の保護層にフォトエ
ツチング加工を施こし、発熱抵抗体層上において第2の
保護層が平担もしくは凸状にしたことを特徴としたもの
である。
以下図に示した一実施例を用いて、本発明を説明する。
第1図は本発明によるサーマルヘッドの断面を示すもの
である。本発明のサーマルヘッドは絶縁性基板1上に略
半円弧状の部分グレーズ層2を形成し、その上にTa、
Nからなる発熱抵抗体層3およびMからなる給電体層
4を積層し、フォトリソ技術により発熱抵抗体層3が略
部分グレーズ層2の略頂面部に位置するように給電体層
4を分断して形成する。更にその上にスパッタリング法
により第1の保護層5を耐エツチング性のよい例えばT
a、01等の材料で形成し、その上に第2の保護層6を
耐酸化性とエツチング性を有する例えばSi又は5in
2等の材料で形成し、その上に第3の保護層7を耐摩耗
性を有する例えばTa、O,、Si、N、、SiC,等
の材料で形成し、その第2の保護層6をフォトリソ技術
により発熱抵抗体層3上の凹部をマスキングして沸硝酸
により図中破線で示した第2の保護層63部を除去する
。これにより発熱抵抗体層3上の凹ii逆iこ凸状化さ
せることができる。なお、この凸部の突出量は第2の保
護層6の蒸着膜厚とエツチング量によって任意にコント
ロールできる。この状態における第2の保護層6は電気
伝導性を持った抵抗体模および半導体膜であっても絶縁
性の第1および第3の保護層で包含されるためサーマル
ヘッドとして機能させることができるので、第2の保護
層の耐酸化性、エツチング性を満足する材料の選択範囲
が広いものとできる。
である。本発明のサーマルヘッドは絶縁性基板1上に略
半円弧状の部分グレーズ層2を形成し、その上にTa、
Nからなる発熱抵抗体層3およびMからなる給電体層
4を積層し、フォトリソ技術により発熱抵抗体層3が略
部分グレーズ層2の略頂面部に位置するように給電体層
4を分断して形成する。更にその上にスパッタリング法
により第1の保護層5を耐エツチング性のよい例えばT
a、01等の材料で形成し、その上に第2の保護層6を
耐酸化性とエツチング性を有する例えばSi又は5in
2等の材料で形成し、その上に第3の保護層7を耐摩耗
性を有する例えばTa、O,、Si、N、、SiC,等
の材料で形成し、その第2の保護層6をフォトリソ技術
により発熱抵抗体層3上の凹部をマスキングして沸硝酸
により図中破線で示した第2の保護層63部を除去する
。これにより発熱抵抗体層3上の凹ii逆iこ凸状化さ
せることができる。なお、この凸部の突出量は第2の保
護層6の蒸着膜厚とエツチング量によって任意にコント
ロールできる。この状態における第2の保護層6は電気
伝導性を持った抵抗体模および半導体膜であっても絶縁
性の第1および第3の保護層で包含されるためサーマル
ヘッドとして機能させることができるので、第2の保護
層の耐酸化性、エツチング性を満足する材料の選択範囲
が広いものとできる。
上述のように給電体層4の分断によって生じた凹部を平
担化又は凸状化することは簡単に加工でき、感熱記録媒
体(図示せず)との圧接性が著しく改善されるため熱伝
導性が増して低電力で印字発色濃度の高いものとなる。
担化又は凸状化することは簡単に加工でき、感熱記録媒
体(図示せず)との圧接性が著しく改善されるため熱伝
導性が増して低電力で印字発色濃度の高いものとなる。
また感熱記録媒体との摺接において、従来保護層7上の
凹部のエツジに圧接荷重が集中することにより生じてい
た給電体層4上の保護層5の剥離が凹部がなくなったこ
とにより解消される。また本発明は第1の保護層5を耐
エツチング性の良好なTa、O,などからなる材料を用
い第2の保護7#6に耐酸化性、エツチング性の良好な
Sin、などからなる材料を用い、第3の保護層7に耐
摩耗性の良好なTa、O,などからなる材料を用いるた
め摩耗による寿命の低下は問題とならない。
凹部のエツジに圧接荷重が集中することにより生じてい
た給電体層4上の保護層5の剥離が凹部がなくなったこ
とにより解消される。また本発明は第1の保護層5を耐
エツチング性の良好なTa、O,などからなる材料を用
い第2の保護7#6に耐酸化性、エツチング性の良好な
Sin、などからなる材料を用い、第3の保護層7に耐
摩耗性の良好なTa、O,などからなる材料を用いるた
め摩耗による寿命の低下は問題とならない。
以上述べたように、本発明のサーマルヘッドは第2の保
護層にエツチング性のある材料を用い、発熱抵抗体層上
を選択的にエツチング加工して凹を解消し、平担化又は
凸化させた後、耐摩耗層を被覆することにより発熱中心
が最も感熱記録媒体に摺接させることができ、熱伝導性
の向上により低電力で濃度の高い印字ができるようにな
る。また発熱抵抗体層上の凹部が解消されて密着強度が
比較的弱い給電体層上の保護層が感熱記録媒体と強く摺
接しなくなるため、機械的損傷を受けにくいバラツキの
少ないものとできる等のすぐれた効果を提供する。
護層にエツチング性のある材料を用い、発熱抵抗体層上
を選択的にエツチング加工して凹を解消し、平担化又は
凸化させた後、耐摩耗層を被覆することにより発熱中心
が最も感熱記録媒体に摺接させることができ、熱伝導性
の向上により低電力で濃度の高い印字ができるようにな
る。また発熱抵抗体層上の凹部が解消されて密着強度が
比較的弱い給電体層上の保護層が感熱記録媒体と強く摺
接しなくなるため、機械的損傷を受けにくいバラツキの
少ないものとできる等のすぐれた効果を提供する。
第1図は本発明のサーマルヘッドの構造断面図、第2、
第3図は従来のサーマルヘッドの構造断面図である。 1・・・絶縁性基板 2・・・部分グレーズ層 3・・・発熱抵抗体層 4・・・給電体層 5・・・第1の保護層 6・・・第2の保護層 7・・・第3の保護層 特許出願人 アルプス電気株式会社 峯 1 図 141ヒ李1k・トタ三1ト第1〔 2、告t4rり“レース−1 3、イー−1ブト4賃(Xイ;1竺〕1し4、 k4シ
′ツ七、イイーA喬 5、$1 のイ丼、しl〔層 6 多2か偲護層 7 療30件!f4
第3図は従来のサーマルヘッドの構造断面図である。 1・・・絶縁性基板 2・・・部分グレーズ層 3・・・発熱抵抗体層 4・・・給電体層 5・・・第1の保護層 6・・・第2の保護層 7・・・第3の保護層 特許出願人 アルプス電気株式会社 峯 1 図 141ヒ李1k・トタ三1ト第1〔 2、告t4rり“レース−1 3、イー−1ブト4賃(Xイ;1竺〕1し4、 k4シ
′ツ七、イイーA喬 5、$1 のイ丼、しl〔層 6 多2か偲護層 7 療30件!f4
Claims (3)
- (1)絶縁性基板上にグレーズ層を形成し、そのグレー
ズ層上に複数個の発熱抵抗体層を直線的に配置し、その
発熱抵抗体層に電力を供給する給電体層と、その給電体
層および前記発熱抵抗体層上に形成された保護層とを備
えたサーマルヘッドにおいて、第1の保護層を耐エッチ
ング性を有する材料で形成し、第3の保護層を耐摩耗性
を有する材料で形成したことを特徴とするサーマルヘッ
ド。 - (2)前記第2の保護層は、フォトリソ技術により発熱
抵抗体層上において平担もしくは凸状となるようにエッ
チングされていることを特徴とする特許請求の範囲第(
1)項記載のサーマルヘッド。 - (3)前記第1および第3の保護層は高酸化物または高
窒化物または高炭化物からなる材料で形成され第2の保
護層は沸硝酸でエッチングが可能な絶縁物または半導体
または抵抗体材料で形成されていることを特徴とする第
1項記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23677985A JPS6295245A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23677985A JPS6295245A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | サ−マルヘツド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6295245A true JPS6295245A (ja) | 1987-05-01 |
JPH0528183B2 JPH0528183B2 (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17005669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23677985A Granted JPS6295245A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6295245A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63297069A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Rohm Co Ltd | 熱印字ヘッドの製造方法 |
EP0891868A3 (en) * | 1997-07-17 | 1999-07-28 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head |
WO2008105307A1 (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-04 | Rohm Co., Ltd. | サーマルプリントヘッド |
JPWO2013080915A1 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-04-27 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
-
1985
- 1985-10-22 JP JP23677985A patent/JPS6295245A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63297069A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Rohm Co Ltd | 熱印字ヘッドの製造方法 |
EP0891868A3 (en) * | 1997-07-17 | 1999-07-28 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head |
WO2008105307A1 (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-04 | Rohm Co., Ltd. | サーマルプリントヘッド |
US7969459B2 (en) | 2007-02-26 | 2011-06-28 | Rohm Co., Ltd. | Thermal print head |
JPWO2013080915A1 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-04-27 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
US9238376B2 (en) | 2011-11-28 | 2016-01-19 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer equipped with the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0528183B2 (ja) | 1993-04-23 |
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