JPS5887076A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS5887076A JPS5887076A JP56184660A JP18466081A JPS5887076A JP S5887076 A JPS5887076 A JP S5887076A JP 56184660 A JP56184660 A JP 56184660A JP 18466081 A JP18466081 A JP 18466081A JP S5887076 A JPS5887076 A JP S5887076A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photo
- layer
- thermal head
- sputtering
- nitride film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明に、リーーマルヘッドの製造方法に関する。
本発明の目的は、発熱部の凹を平坦もしくけ、凸にする
ことにより、高性能サーマルヘッド？ 容易に製造する
ところにある。
ことにより、高性能サーマルヘッド？ 容易に製造する
ところにある。
本発明の他の目的は、制頼セ１σ）尚いサーマルヘッド
を得るところＣＣある。
を得るところＣＣある。
近年、パーソナルコンピューター等の急激の進歩により
、埃在はＯＡ化社会と壕でいわ′ｔ′１６程になった。
、埃在はＯＡ化社会と壕でいわ′ｔ′１６程になった。
この様なぜシ器の一部ＶＣ用いら才する記録磯゛構も種
々のものがとりい第１らｔＬ、様々の商品開開が行なわ
わている。これらの記録方式の中で、特に感熱記録方式
が小型が可能、安価であるという点から、実用化が行な
われでいるが、まだ現状のものは、改良すべき点が残婆
！′１ている。改良すべき項目は、印字エネルー４’−
、印字品質、剛久性等であり、これらの改良すべき項目
の原因は、発熱抵抗体から感熱紙−＼の熱伝導効率であ
る。従来のサーマルヘッドの１苦造（ｌ−ｊ第１図の様
な構造であり、この構造では、発熱部がＩｆｆ極の厚み
分たけ凹になり、この四部か感熱紙との接剤ｌ・悪くし
７ていた。
々のものがとりい第１らｔＬ、様々の商品開開が行なわ
わている。これらの記録方式の中で、特に感熱記録方式
が小型が可能、安価であるという点から、実用化が行な
われでいるが、まだ現状のものは、改良すべき点が残婆
！′１ている。改良すべき項目は、印字エネルー４’−
、印字品質、剛久性等であり、これらの改良すべき項目
の原因は、発熱抵抗体から感熱紙−＼の熱伝導効率であ
る。従来のサーマルヘッドの１苦造（ｌ−ｊ第１図の様
な構造であり、この構造では、発熱部がＩｆｆ極の厚み
分たけ凹になり、この四部か感熱紙との接剤ｌ・悪くし
７ていた。
本発明に於いでｄ５容易にこの凹部を乃″〈せるもので
あわ、発ん、１５曲以外σ）保禰層ゲエツヂングするこ
とにより、発熱部上を・平坦もしくは凸にするものであ
る。
あわ、発ん、１５曲以外σ）保禰層ゲエツヂングするこ
とにより、発熱部上を・平坦もしくは凸にするものであ
る。
以下、本発明について詳しく実ｊＡ１例１及び図で説明
する。
する。
実施例１゜
部分ブレ二ズアルミナ基板上に、窒化メンタル膜をスパ
ッタし、その上部Ｏｒ −０１１−（Ｅ ｒを蒸着した
。その後ホトエツチング方法により発熱抵抗体及び電極
パターンを形成し７、耐酸化層として８ ｉ ０２ 、
耐摩耗層として’Ｉ’ ａ２０Ｂをスパッタにより付着
き辻、第２図−（ａ）の構造にした。この構造の上部に
杓度、ホトエツチングにより、発熱部上のみホトレジス
トをのせ、第２１Ｍ−（ｂ）の様にした。次ＶＣ、プラ
ズマエツチング装置によりＴａ２０３Ｍをプラズマエッ
チし、第２図−ＦＣ）の購、ｚにし、し・・シストハク
ｌ Ｌで第２図−（ａ）の如き完ｈ”ｌＫさせ飢 実施例２゜ グレーズアルミナ基鈑上’ＪＣ−Ｎ化タンタル膜をスパ
ッタリンクＶこより付着させ、そσ）−Ｌ１信（ＫＡ套
を蒸漸しｆｃｏその後、ホトエツチング方法により、ｂ
ｌ）なる発熱抵抗体パターンと電極パターンを形成せＬ
２め、耐酸化層として５ｉ０２ケスバツタし第３図−（
ａ）の溶造と（７た３１次に丙°度、ホトエツチングに
より、第６図−（ｂｌの様に発熱＋ｌ（’ｈ上にホトレ
ジストをのせた。第６図−（ｃ）の構造に−「るＶＣＩ
ｔよ、湿式のエツチングで、５ｉ０２を除去した。エツ
チング後、レジストをハタＩＩＬ−ｒ第６図−（ｄ、）
の掘進にし、更ＶＣその上郡ＶＣ耐摩耗層としてＴａ２
０５をスパッタして完成はせた。
ッタし、その上部Ｏｒ −０１１−（Ｅ ｒを蒸着した
。その後ホトエツチング方法により発熱抵抗体及び電極
パターンを形成し７、耐酸化層として８ ｉ ０２ 、
耐摩耗層として’Ｉ’ ａ２０Ｂをスパッタにより付着
き辻、第２図−（ａ）の構造にした。この構造の上部に
杓度、ホトエツチングにより、発熱部上のみホトレジス
トをのせ、第２１Ｍ−（ｂ）の様にした。次ＶＣ、プラ
ズマエツチング装置によりＴａ２０３Ｍをプラズマエッ
チし、第２図−ＦＣ）の購、ｚにし、し・・シストハク
ｌ Ｌで第２図−（ａ）の如き完ｈ”ｌＫさせ飢 実施例２゜ グレーズアルミナ基鈑上’ＪＣ−Ｎ化タンタル膜をスパ
ッタリンクＶこより付着させ、そσ）−Ｌ１信（ＫＡ套
を蒸漸しｆｃｏその後、ホトエツチング方法により、ｂ
ｌ）なる発熱抵抗体パターンと電極パターンを形成せＬ
２め、耐酸化層として５ｉ０２ケスバツタし第３図−（
ａ）の溶造と（７た３１次に丙°度、ホトエツチングに
より、第６図−（ｂｌの様に発熱＋ｌ（’ｈ上にホトレ
ジストをのせた。第６図−（ｃ）の構造に−「るＶＣＩ
ｔよ、湿式のエツチングで、５ｉ０２を除去した。エツ
チング後、レジストをハタＩＩＬ−ｒ第６図−（ｄ、）
の掘進にし、更ＶＣその上郡ＶＣ耐摩耗層としてＴａ２
０５をスパッタして完成はせた。
以上、実施例に示すが如き本発明は、高性でＩ目す−マ
ルヘッドを容易に製造できるものであり、発熱部の四部
をなくすことにより、感熱紙への熱電導効率を向上尽せ
るものである。小型プリンターｒｔｃ搭載しての実測値
の印字護鵬の変化は、従来、２、６ ｍ Ｊた゛つｋも
のが、本発明のヘッドでは１．９ｍＪで、同程度の一厩
？得ら力だ。この様に印字エネルギーを低くできたとい
うことは、発熱部の劣化全さ一士たげ、電池寿命を長ぐ
するｔ−Ｘがわが総合的な１ぎ軸性も高１６ものである
１、捷π、印字品質も感熱紙との接触がよくｈるため同
上する。
ルヘッドを容易に製造できるものであり、発熱部の四部
をなくすことにより、感熱紙への熱電導効率を向上尽せ
るものである。小型プリンターｒｔｃ搭載しての実測値
の印字護鵬の変化は、従来、２、６ ｍ Ｊた゛つｋも
のが、本発明のヘッドでは１．９ｍＪで、同程度の一厩
？得ら力だ。この様に印字エネルギーを低くできたとい
うことは、発熱部の劣化全さ一士たげ、電池寿命を長ぐ
するｔ−Ｘがわが総合的な１ぎ軸性も高１６ものである
１、捷π、印字品質も感熱紙との接触がよくｈるため同
上する。
本実施例に於いては、市椿材ＩＶｆがＯｒ、Ｃｕ。
ＡＱＬ乃≧ｉ己載してな（八が、その他Ａｕ、Ｗ、Ｎｉ
。
。
Ｍｏでもよく、組合すも限定されない。捷た保誇膜も、
８１０Ｈ、Ｔａ２０５１ｙか記載してないが、ＳｉＯ，
Ａμｉｏ３．Ｓｉ３Ｎ４でも良く、組合せも限定しない
。
８１０Ｈ、Ｔａ２０５１ｙか記載してないが、ＳｉＯ，
Ａμｉｏ３．Ｓｉ３Ｎ４でも良く、組合せも限定しない
。
第１図１１、従来のサーマルヘッドの断面＠造園である
。。 第２図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ａ）は、本実施例１の断ｉ
η１附造園である。 第３１ｆｆｉ （ａ） （ｂ）（ｃ）（ａ）（ｅ）は、
本実施例２の断Ｔｆｒｉ 構％’ｉ図である、 １・・・・・・耐摩耗層（Ｔａ２０Ｂ）２・・・・・・
＋Ｔｈ酸化層（ＥＩｉＯａ）６・・・・・・リード電極
（Ｏｒ、Ｏｕ、ＡΩ・）４・・・・・・発熱抵抗体（Ｔ
ａｇＮ）５・・・・グレーズ ６・・・・・・ホトレジスト 以上 出願人 １Ｈ州梢器株式会社 株式会社諏訪梢工舎 代理人 弁理士 最上 務 ５− 第１図 第２図 。７．・２ （ｅ） 第３図
。。 第２図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ａ）は、本実施例１の断ｉ
η１附造園である。 第３１ｆｆｉ （ａ） （ｂ）（ｃ）（ａ）（ｅ）は、
本実施例２の断Ｔｆｒｉ 構％’ｉ図である、 １・・・・・・耐摩耗層（Ｔａ２０Ｂ）２・・・・・・
＋Ｔｈ酸化層（ＥＩｉＯａ）６・・・・・・リード電極
（Ｏｒ、Ｏｕ、ＡΩ・）４・・・・・・発熱抵抗体（Ｔ
ａｇＮ）５・・・・グレーズ ６・・・・・・ホトレジスト 以上 出願人 １Ｈ州梢器株式会社 株式会社諏訪梢工舎 代理人 弁理士 最上 務 ５− 第１図 第２図 。７．・２ （ｅ） 第３図
Claims (1)
- サーマルヘッド（で於いて、発熱抵抗体部を含む間の四
部を平坦もしくは、凸にすることを％徴とするザーマル
ー・ラドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56184660A JPS5887076A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56184660A JPS5887076A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887076A true JPS5887076A (ja) | 1983-05-24 |
Family
ID=16157115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56184660A Pending JPS5887076A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887076A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63297069A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Rohm Co Ltd | 熱印字ヘッドの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55128477A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Preparing method for heat-sensitive head |
| JPS5759637B2 (ja) * | 1972-12-21 | 1982-12-15 | Matsushita Electric Works Ltd |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP56184660A patent/JPS5887076A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5759637B2 (ja) * | 1972-12-21 | 1982-12-15 | Matsushita Electric Works Ltd | |
| JPS55128477A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Preparing method for heat-sensitive head |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63297069A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Rohm Co Ltd | 熱印字ヘッドの製造方法 |
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