JPS63237964A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、サーマルヘッドの６方法に関し、特に耐久性
及び印字品質が改善されたサーマルヘッドの製造方法に
関する。

〈従来の技術〉 従来、感熱プリンタ用のサーマルヘッドは、アルミナ等
からなるセラミック基板上にガラス材等からなるグレー
ズ層を設け、スパッタリング或いは真空蒸着といったＵ
膜形成手段によって電極膜と発熱体とを各々成膜した後
、電極膜をフォトエツチングにて所定のパターンに形成
し、更に二酸化硅素等からなる保護膜を形成することに
より製造していた。

しかるに、このように製造すると特に電極膜と発熱体と
の境界部分に段差が生じ、その表面に保護膜を形成して
も段差が解消されない。そのため、インクリボンや印字
されるべき用紙との密着性が劣化し熱伝導効率が低下す
ることにより、消費電力の増大成いは保護膜や電極膜の
摩耗剥離等が考えられる。

そこで、特開昭６１−５３０６１号公報には平面型のサ
ーマルヘッドに於て、基板状にスパッタリング等により
電極膜を形成する段階で、発熱体の上方にシャッタを設
け、基板の主面に対して垂直方向上方より電極膜を形成
する材料を投射することによりシャッタに覆われた発熱
体部分の縁部から中央部にかけて電極膜の膜厚が漸減す
るようにし、前記した段差が生じることを回避するよう
なサーマルヘッドの製造方法が開示されている。

しかるに、このような製造方法は所謂端面型のサーマル
ヘッドに応用することが困難であると共に、平面型のサ
ーマルヘッドを製造する場合に於ても工数が増加するこ
とにより作業が煩雑になりがちであった。

〈発明が解決しようとする問題点〉 このような従来技術の問題点に鑑み、本発明の主な目的
は耐久性及び印字品質が改善されたサーマルヘッドの製
造方法を提供することにある。

く問題点を解決するための手段〉 このような目的は、基板にグレーズ層を形成する過程と
、前記グレーズ層の表面に発熱体を形成する過程と、前
記発熱体の端部に電極膜を形成する過程と、前記発熱体
及び前記電極膜゛の表面に保護膜を形成する過程とを有
するサーマルヘッドの製造方法で必って、前記電極膜を
形成する過程が、該電極膜を形成する材料を前記グレー
ズ層及び前記発熱体端部に直線的に投射する薄膜形成手
段により行われ、前記電極膜形成材料を投射する方向が
、前記発熱体のなす面に垂直な方向に対して傾斜してい
ることを特徴とするサーマルヘッドの製造方法を提供す
ることにより達成される。

〈作用〉 このようにすれば、電極膜が発熱体の端部から中央部に
向けて漸減するような膜厚となるため、インクリボン或
いは印字用紙と発熱体との密着性が改善される。また、
発熱体端部に於て段差がないことによりサーマルヘッド
の耐久性が改善される。

〈実施例〉 第１図は、本発明に基づく製造方法によるサーマルヘッ
ドの第１の実施例を適用した感熱プリンタ機溝を示す。

プラテン１に支持された印刷用紙２に対して、感熱転写
インクリボン３を介して、平板状のサーマルヘッド４を
、その本体４ａの主面８と端面９との間の傾斜面１０に
設けられた発熱部を紙面に対向するようにして摺接させ
る。そして同時にサーマルヘッド４を一方向に送り、発
熱部を所定のパターンにて選択的に発熱させ、インクリ
ボン３から感熱転写インクを印刷用紙２に転写して所要
の印字を行うようにしている。このサーマルヘッド４は
、発熱部が本体４ａの前記した傾斜面１０に設けられて
いるため、接触面積が小さくなり、感熱転写インクリボ
ン３と印刷用紙２との密着が良くなる。しかも、ヘッド
搬送も良好となっている。

第２図は、サーマルヘッド４の詳細な構造を示す。例え
ばアルミナ等のセラミック材料からなる基板７の主面８
と端面９との間に傾斜面１０が、主面８に対して例えば
３０’の角度をなすように形成されている。この傾斜面
１０の幅ｔ′は０゜２ｍであって、その表面に１０〜６
０μｍの膜厚になるようにガラスグレーズ層１１が設け
られている。ガラスグレーズ層１１の表面の発熱部をな
すべき部分には、５ｉ０２等からなるアンダーコート膜
１２がイオンブレーティングにより形成されている。ア
ンダーコート膜１２の表面にはスパッタリングによりＴ
ａ２Ｎからなる発熱抵抗体１３が約５００人の厚さで形
成されている。発熱抵抗体１３の端部には主面８側及び
端面９側へ向けて延出するＣｒ−Ａｕからなる電極膜１
４．１５が、蒸着等により所定のパターンにて形成され
ている。更に電極膜１４．１５の表面には、耐摩耗及び
酸化防止のためのＳｉＯ及びＴａ２０５の２層からなる
保護膜１６がイオンブレーティングにより形成されてい
る。

ここで、電極膜１４．１５を形成する際に、第１図の矢
印に示された方向即ちグレーズ層１１の主面８側表面に
垂直な方向に対して傾斜した方向より蒸着等が行われる
。そのため、電極ｒｖＡ１４．１５の膜厚が、発熱抵抗
体１３の端部から中心部分に向けて漸減している。従っ
てサーマルヘッド４の発熱部にて電極膜１４．１５と発
熱抵抗体１３との境界部分に段差が生じることがない。

この蒸着等は、ヘッド４を回転させることにより、端面
９側表面に垂直な方向に対して傾斜した方向からも行わ
れている。

第３図は、本発明の第２の実施例を示す第２図に対応す
る図であり、第１の実施例に対応する部分には同一の符
号を付してその説明を省略する。

本実施例は第１の実施例に類似しているが、第１の実施
例に於いては電極膜が１層であるのに対して本実施例で
は電極膜２４．２５が第１の層２４ａ、２５ａと第２の
１ｆｆ１２４ｂ、２５ｂの２層からなる。

第１の層２４ａ、２５ａはｃｒ或いはＮｉ−０ｒをガラ
スグレーズ層１１の表面に垂直な方向よリスバッタリン
グ或いは真空蒸着等の薄膜形成手段により１０００〜２
０００人の膜厚で成膜している。また、第２の層２４ｂ
、２５ｂはＡｕ或いはＡ１を第１の実施例と同様にグレ
ーズ層１１の表面に垂直な方向に対して傾斜した方向よ
りスパッタリング或いは真空蒸着することにより１〜２
μｍの膜厚から、発熱抵抗体１３の端部より中心部分に
向けて漸減するように成膜している。そして、第１（７
）Ｊ１２４ａ、２５ａ及び第２（７）Ｓ２４ｂ、２５ｂ
を成膜後フォトエツチングにて所望のパターンに形成し
ている。

本実施例によれば、第１の層が設けられていることによ
り第１の実施例に比較して電極膜の膜質が向上している
ため、電極の抵抗が増大することがない。

尚、本発明は上記実施例に限定されず様々な応用が可能
であることは云うまでもなく、例えば、本実施例では傾
斜面が平面状であったが、傾斜面が曲面をなしているも
のや、部分的に突起等が形成されたものでおっても良い
。また、傾斜方向からのスパッタリングはいずれか一方
の面のみでも良い。

〈発明の効果〉 このように本発明によれば、サーマルヘッドの発熱部分
に於ける段差が解消され、応力が部分的に集中すること
がなくなり、またリボン或いは用紙との密着性が改善さ
れることにより耐久性が向上し印字品質が向上すると共
に消費電力が削減されるためその効果は極めて大でおる
。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に基づく製造方法によるサーマルヘッド
の第１の実施例の使用要領を示す模式図おる。 第２図は第１図のサーマルヘッドを詳細に示す断面図で
おる。 第３図は本発明に基づく製造方法によるサーマルヘッド
の第２の実施例を示す第２図に対応した図である。 １・・・プラテン　　　　２・・・印刷用紙３・・・感
熱転写インクリボン ４・・・サーマルヘッド　４ａ・・・本体７・・・基板
　　　　　　８・・・主面９・・・端面　　　　　　１
０・・・傾斜面１１・・・ガラスグレーズ層 １２・・・アンダーコート膜 １３・・・発熱抵抗体　　１４．１５・・・電極膜１６
・・・保護膜　　　　１７・・・傾斜面２４．２５・・
・電極膜　２４ａ、２５ａ・・・第１の層２４ｂ、２５
ｂ・・・第２の層

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板にグレーズ層を形成する過程と、前記グレー
   ズ層の表面に発熱体を形成する過程と、前記発熱体の端
   部に電極膜を形成する過程と、前記発熱体及び前記電極
   膜の表面に保護膜を形成する過程とを有するサーマルヘ
   ッドの製造方法であって、 前記電極膜を形成する過程が、該電極膜を形成する材料
   を前記グレーズ層及び前記発熱体端部に直線的に投射す
   る薄膜形成手段により行われ、前記電極膜形成材料を投
   射する方向が、前記発熱体のなす面に垂直な方向に対し
   て傾斜していることを特徴とするサーマルヘッドの製造
   方法。
2. （２）前記薄膜形成手段が、スパッタリングであること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のサーマルヘ
   ッドの製造方法。
3. （３）前記薄膜形成手段が、真空蒸着であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項に記載のサーマルヘッドの
   製造方法。