JPH03199057A - サーマルプリントヘッド - Google Patents
サーマルプリントヘッドInfo
- Publication number
- JPH03199057A JPH03199057A JP34071689A JP34071689A JPH03199057A JP H03199057 A JPH03199057 A JP H03199057A JP 34071689 A JP34071689 A JP 34071689A JP 34071689 A JP34071689 A JP 34071689A JP H03199057 A JPH03199057 A JP H03199057A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- common electrode
- print head
- thermal print
- layer
- exothermic resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
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- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、サーマルプリンタに用いられるサーマルプリ
ントヘッドに関する。
ントヘッドに関する。
〈従来の技術〉
従来のサーマルプリントヘットは、第３図に示すように
発熱抵抗体は部分グレーズガラス上に設けら札 共通電
極は個別電極と同様のエツチング方法により一体加工さ
れており、発熱抵抗体面とリボンまたは紙の間にエアギ
ャップができていた。
発熱抵抗体は部分グレーズガラス上に設けら札 共通電
極は個別電極と同様のエツチング方法により一体加工さ
れており、発熱抵抗体面とリボンまたは紙の間にエアギ
ャップができていた。
〈発明が解決しようとする課題〉
従来のサーマルプリントヘッドは、高速スピードでの印
字品質及び耐久性の問題点として、実印字耐久性試験時
にエアギャップ断差部へのストレス集中により、共通電
極側の電極層剥がれによりヘッドチップが破壊しやすか
った。これは、印字品質での濃度バランス不良を解消す
るため、電極層膜厚を厚くして、電極のリード抵抗値を
下げた場合特に電極層剥がれが発生しやすかった。本発
明は、このような従来の問題点を解決し、長寿命な発熱
抵抗体を有する高品位なサーマルプリントヘッドを提供
することにある。
字品質及び耐久性の問題点として、実印字耐久性試験時
にエアギャップ断差部へのストレス集中により、共通電
極側の電極層剥がれによりヘッドチップが破壊しやすか
った。これは、印字品質での濃度バランス不良を解消す
るため、電極層膜厚を厚くして、電極のリード抵抗値を
下げた場合特に電極層剥がれが発生しやすかった。本発
明は、このような従来の問題点を解決し、長寿命な発熱
抵抗体を有する高品位なサーマルプリントヘッドを提供
することにある。
〈課題を解決するための手段〉
本発明のサーマルプリントヘッドは、 セラミック、も
しくは耐熱性絶縁性を有する基板上に部分グレーズガラ
スを配し、薄膜形成された多数個の発熱抵抗体素子を設
けて成るサーマルプリントヘッドに於て、前記発熱抵抗
体は部分グレーズガラス上に設けらへ 共通電極の一部
がテーパ加工されていることを特徴とする。
しくは耐熱性絶縁性を有する基板上に部分グレーズガラ
スを配し、薄膜形成された多数個の発熱抵抗体素子を設
けて成るサーマルプリントヘッドに於て、前記発熱抵抗
体は部分グレーズガラス上に設けらへ 共通電極の一部
がテーパ加工されていることを特徴とする。
更に、共通電極及び個別電極の一部がテーパ加工されて
いることを特徴とする。
いることを特徴とする。
〈実施例〉
以下に図示した実施例について説明する。
第１図及び第２図にに本発明に於けるサーマルプリント
ヘッドの発熱抵抗体部の一例の形状を示す。
ヘッドの発熱抵抗体部の一例の形状を示す。
図に於て、王は耐熱性絶縁性基板、２は耐熱性部分グレ
ーズガラス、３は発熱抵抗体層、４は個別電極、５は共
通電極、６は保護膜層、７は共通電極テーパ加工部であ
る。 耐熱性絶縁性基板上に、発熱抵抗体層及び電極
層をスパッタリングにより膜付は後、フォトリソ方法に
よりパターンを形成し、更に第２図６に示す共通電極側
テーパ加工部以外をレジストでマスキングしフォトリソ
方法によりパターンを形成後、エツチングによりテーパ
加工する。この共通電極層を有する発熱抵抗体層を複数
個ライン状に配列して感熱記録ヘッドを構成したもので
ある。 発熱抵抗体に放て、共通電極テーパ加工部の
テーパ角度は約３０″〜４５゜である。
ーズガラス、３は発熱抵抗体層、４は個別電極、５は共
通電極、６は保護膜層、７は共通電極テーパ加工部であ
る。 耐熱性絶縁性基板上に、発熱抵抗体層及び電極
層をスパッタリングにより膜付は後、フォトリソ方法に
よりパターンを形成し、更に第２図６に示す共通電極側
テーパ加工部以外をレジストでマスキングしフォトリソ
方法によりパターンを形成後、エツチングによりテーパ
加工する。この共通電極層を有する発熱抵抗体層を複数
個ライン状に配列して感熱記録ヘッドを構成したもので
ある。 発熱抵抗体に放て、共通電極テーパ加工部の
テーパ角度は約３０″〜４５゜である。
第３図に本発明によるサーマルプリントヘッドの他の実
施例２である。基本構成は第１図及び第２図と共通であ
る。耐熱性絶縁性基板上に、発熱抵抗体層及び１ｉ極層
をスパッタリングにより膜付は後、フォトリソ方法によ
り複数の発熱抵抗体パターンを形成し、更に絶縁性耐熱
性保護層を形成する。硬度４０〜６０のゴム上に貼り付
けられたラッピングフィルムを固定し前記サーマルヘッ
ドを取り付は角度工０〜２°になるように固定し、前記
サーマルヘッド側に押し付は圧１ ｋｇ以上の圧力を加
えラッピングフィルムで研磨しテーパ部を形成する。
施例２である。基本構成は第１図及び第２図と共通であ
る。耐熱性絶縁性基板上に、発熱抵抗体層及び１ｉ極層
をスパッタリングにより膜付は後、フォトリソ方法によ
り複数の発熱抵抗体パターンを形成し、更に絶縁性耐熱
性保護層を形成する。硬度４０〜６０のゴム上に貼り付
けられたラッピングフィルムを固定し前記サーマルヘッ
ドを取り付は角度工０〜２°になるように固定し、前記
サーマルヘッド側に押し付は圧１ ｋｇ以上の圧力を加
えラッピングフィルムで研磨しテーパ部を形成する。
第４図は本発明によるサーマルプリントヘッドの他の実
施例３である。８は個別電極テーパ加工部である。第１
図及び第２図と共通部分は同一符号を用いた。耐熱性絶
縁性基板上に、発熱抵抗体層及び電極層をスパッタリン
グにより膜付は後フォトリソ方法により複数の発熱抵抗
体パターンを形成する。更に、一対の電極４（個別電極
）、５（共通電極）の一部パターン第２図６及び第３図
７に示すテーパ加工部以外をレジストでマスキングしフ
ォトリソ方法によりパターンを形成後、エツチングによ
りテーパ加工する。テーパ角度は約３０″〜４５°であ
る。
施例３である。８は個別電極テーパ加工部である。第１
図及び第２図と共通部分は同一符号を用いた。耐熱性絶
縁性基板上に、発熱抵抗体層及び電極層をスパッタリン
グにより膜付は後フォトリソ方法により複数の発熱抵抗
体パターンを形成する。更に、一対の電極４（個別電極
）、５（共通電極）の一部パターン第２図６及び第３図
７に示すテーパ加工部以外をレジストでマスキングしフ
ォトリソ方法によりパターンを形成後、エツチングによ
りテーパ加工する。テーパ角度は約３０″〜４５°であ
る。
（比較例）
第５図に従来構造によるサーマルプリントヘッドの一例
の形状を示す。第１図及び第２図と共通部分は同一符号
を用いた。図に於て、共通電極は個別電極と同様のフォ
トリソ方法により一体加工されており、発熱抵抗体面と
リボンまたは紙の間のエアギャップ量が大きくなってい
た。
の形状を示す。第１図及び第２図と共通部分は同一符号
を用いた。図に於て、共通電極は個別電極と同様のフォ
トリソ方法により一体加工されており、発熱抵抗体面と
リボンまたは紙の間のエアギャップ量が大きくなってい
た。
以上の実施例１． ２． ３及び比較例１について実印
字耐久性、印字品質、作業性の比較をし表１のような結
果を得た。
字耐久性、印字品質、作業性の比較をし表１のような結
果を得た。
表
部へのストレスの分散により、印字耐久中に電極層剥が
れが無くなり、高速スピードに於ける実印字耐久性が大
幅に向上される。
れが無くなり、高速スピードに於ける実印字耐久性が大
幅に向上される。
（２）発熱抵抗体層と電極体層断差部（エアギャップ）
の解消により、エネルギー効率も改善され更にラフ紙へ
の転写性が向上される。
の解消により、エネルギー効率も改善され更にラフ紙へ
の転写性が向上される。
以上、本発明はサーマルプリントヘッドの品質の向上に
寄与するものである。
寄与するものである。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によるサーマルプリントヘ
ッドを用いることにより以下の点が改善される。
ッドを用いることにより以下の点が改善される。
（１）共通電極及び個別電極部の一部をテーパ加工する
ことにより、発熱抵抗体層と電極体層断差
ことにより、発熱抵抗体層と電極体層断差
第１図及び第３図、第４図は本発明によるサーマルプリ
ントヘッドの側断面図。 第２図は本発明によるサーマルプリントヘッドの平面図
。 第５図は従来構成によるサーマルプリントヘッドの側断
面図。 耐熱性絶縁性基板 耐熱性部分グレーズガラス層 発熱抵抗体層 共通電極層 個別電極層 保護膜層 共通電極テーパ加工部 個別電極テーパ加工部 第２図 以上 出願人セイコーエブソン株式会社 代理人弁理土鈴木喜三部（他１名） 第３図
ントヘッドの側断面図。 第２図は本発明によるサーマルプリントヘッドの平面図
。 第５図は従来構成によるサーマルプリントヘッドの側断
面図。 耐熱性絶縁性基板 耐熱性部分グレーズガラス層 発熱抵抗体層 共通電極層 個別電極層 保護膜層 共通電極テーパ加工部 個別電極テーパ加工部 第２図 以上 出願人セイコーエブソン株式会社 代理人弁理土鈴木喜三部（他１名） 第３図
Claims (2)
- （１）セラミック、もしくは耐熱性絶縁性を有する基板
上に部分グレーズガラスを配し、薄膜形成された多数個
の発熱抵抗体素子を設けて成るサーマルプリントヘッド
に於て、前記発熱抵抗体は部分グレーズガラス上に設け
られ、共通電極の一部がテーパ加工されていることを特
徴とするサーマルプリントヘッド。 - （２）共通電極及び個別電極の一部がテーパ加工されて
いることを特徴とする請求項１記載のサーマルプリント
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34071689A JPH03199057A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | サーマルプリントヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34071689A JPH03199057A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | サーマルプリントヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199057A true JPH03199057A (ja) | 1991-08-30 |
Family
ID=18339631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34071689A Pending JPH03199057A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | サーマルプリントヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03199057A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6777778B2 (en) * | 2001-06-20 | 2004-08-17 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film resistor and method for manufacturing the same |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP34071689A patent/JPH03199057A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6777778B2 (en) * | 2001-06-20 | 2004-08-17 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film resistor and method for manufacturing the same |
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