JPS6351155A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツドの製造方法Info
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- JPS6351155A JPS6351155A JP61195778A JP19577886A JPS6351155A JP S6351155 A JPS6351155 A JP S6351155A JP 61195778 A JP61195778 A JP 61195778A JP 19577886 A JP19577886 A JP 19577886A JP S6351155 A JPS6351155 A JP S6351155A
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- Japan
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- heat generating
- film
- thermal head
- generating part
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、感熱プリンタ用ヘッドに関し、特に発熱部が
凸状をなすサーマルヘッドの製造方法に関する。
凸状をなすサーマルヘッドの製造方法に関する。
〈従来の技術〉
従来、感熱プリンタ用ナーマルヘッドとしては、第１図
に示すように、熱絶縁用のグレーズ層２を有する基板１
と、発熱用の抵抗体膜３と、前記抵抗体膜を選択的に通
電加熱するためにマトリックス状に配列された電極膜４
と、前記抵抗体膜３或いは電極１１Ｊ４の酸化を防止し
、表面がリボン或いは印字紙に周接することによる摩耗
を防止する保護膜５を有するものが知られている。
に示すように、熱絶縁用のグレーズ層２を有する基板１
と、発熱用の抵抗体膜３と、前記抵抗体膜を選択的に通
電加熱するためにマトリックス状に配列された電極膜４
と、前記抵抗体膜３或いは電極１１Ｊ４の酸化を防止し
、表面がリボン或いは印字紙に周接することによる摩耗
を防止する保護膜５を有するものが知られている。
しかるに、発熱部７は、電極膜４をエツチングにより除
去することにより露出した抵抗体膜３の部分に形成され
、同部分が電極膜４より下層におるため、発熱部７とリ
ボン或いは印字紙との接触が悪く、熱損失が大きくなり
、特に粗い紙に印字を行おうとするときに、印字濃度が
不十分となったり、十分な印字濃度を得るために大きな
印字電力が必要となる等の問題があった。
去することにより露出した抵抗体膜３の部分に形成され
、同部分が電極膜４より下層におるため、発熱部７とリ
ボン或いは印字紙との接触が悪く、熱損失が大きくなり
、特に粗い紙に印字を行おうとするときに、印字濃度が
不十分となったり、十分な印字濃度を得るために大きな
印字電力が必要となる等の問題があった。
また、発熱部７を電極膜４より上部にする方法として、
基板１或いはグレーズ層２を部分的に突出形成加工して
、この凸部上に発熱部を設けてなるサーマルヘッドの製
作も試みられている。しかしながら、この場合、基板１
或いはグレーズ層２の加工が面倒であったり、発熱部を
設ける時の位置精度が良くないという問題があった。
基板１或いはグレーズ層２を部分的に突出形成加工して
、この凸部上に発熱部を設けてなるサーマルヘッドの製
作も試みられている。しかしながら、この場合、基板１
或いはグレーズ層２の加工が面倒であったり、発熱部を
設ける時の位置精度が良くないという問題があった。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このような従来技術の欠点に鑑み、本発明の主な目的は
、発熱部が凸状をなすにも拘らず、製造が容易であって
、発熱部の位置精度を高めることのでき、しかも発熱効
率の優れた感熱プリンタ用サーマルヘッドを提供するこ
とにおる。
、発熱部が凸状をなすにも拘らず、製造が容易であって
、発熱部の位置精度を高めることのでき、しかも発熱効
率の優れた感熱プリンタ用サーマルヘッドを提供するこ
とにおる。
〈問題点を解決するための手段〉
このような目的は、本発明によれば、基板と、グレーズ
層と、発熱抵抗体膜と、電極膜と、保護膜とを有する感
熱プリンタ用サーマルヘッドの製造方法に於て、前記グ
レーズ層と、前記発熱抵抗体膜の発熱部との間に、前記
電極膜より厚い凸部を、蒸着マスクにより選択的に形成
する過程を有することを特徴とするサーマルヘッドの製
造方法を提供することにより達成される。
層と、発熱抵抗体膜と、電極膜と、保護膜とを有する感
熱プリンタ用サーマルヘッドの製造方法に於て、前記グ
レーズ層と、前記発熱抵抗体膜の発熱部との間に、前記
電極膜より厚い凸部を、蒸着マスクにより選択的に形成
する過程を有することを特徴とするサーマルヘッドの製
造方法を提供することにより達成される。
〈作用〉
蒸着マスクにより凸部を形成することにより、発熱部が
凸状となるため、発熱部が電極膜より上部となり、リボ
ン或いは印字紙と発熱部の接触が良くなることから、サ
ーマルヘッドの熱効率を大幅に改善することができる。
凸状となるため、発熱部が電極膜より上部となり、リボ
ン或いは印字紙と発熱部の接触が良くなることから、サ
ーマルヘッドの熱効率を大幅に改善することができる。
〈実施例〉
第２図は、本発明に基づくサーマルヘッドの一実施例の
要部を示す断面図でおる。このサーマルヘッドを製造す
るに際して、先ず、アルミナなどの材料からなる絶縁材
基板１上にガラスなどからなるグレーズ層２を公知のよ
うにして形成する。、次に、蒸着マスクを用い、Ｓ！０
２、ＳＩＣ，Ａｌ２Ｏ３等をイオンブレーティングする
ことにより、発熱部７をなす領域にのみ選択的に凸部６
を形成する。更にその上から、スパッタリングにより、
Ｔａ２Ｎなどからなる発熱抵抗体膜３及び０ｒ−Ａｕ膜
などからなる電極膜４を被着し、フォトエツチングによ
りＣｒ−Ａｕ１などからなる電極膜４を所要のパターン
にて除去し、所要の発熱部７を形成する。更に、この表
面に、Ｓ ｉ ０２、ＳＩＣ，Ａｆ２０３ 、Ｔａ２
ｏ５．ＳＩＣ，Ｓ！３Ｎ４等を、イオンブレーティング
により被着して保護膜５とする。
要部を示す断面図でおる。このサーマルヘッドを製造す
るに際して、先ず、アルミナなどの材料からなる絶縁材
基板１上にガラスなどからなるグレーズ層２を公知のよ
うにして形成する。、次に、蒸着マスクを用い、Ｓ！０
２、ＳＩＣ，Ａｌ２Ｏ３等をイオンブレーティングする
ことにより、発熱部７をなす領域にのみ選択的に凸部６
を形成する。更にその上から、スパッタリングにより、
Ｔａ２Ｎなどからなる発熱抵抗体膜３及び０ｒ−Ａｕ膜
などからなる電極膜４を被着し、フォトエツチングによ
りＣｒ−Ａｕ１などからなる電極膜４を所要のパターン
にて除去し、所要の発熱部７を形成する。更に、この表
面に、Ｓ ｉ ０２、ＳＩＣ，Ａｆ２０３ 、Ｔａ２
ｏ５．ＳＩＣ，Ｓ！３Ｎ４等を、イオンブレーティング
により被着して保護膜５とする。
凸部６は、電極膜４より厚く（好ましくは５μｍ以上）
成膜することにより、発熱部７のリボン或いは印字紙と
の接触が良くなり、サーマルヘッドの熱効率が改善され
、印字品位が向上する。
成膜することにより、発熱部７のリボン或いは印字紙と
の接触が良くなり、サーマルヘッドの熱効率が改善され
、印字品位が向上する。
第３図は、第２図に示したものに類似する実施例を示す
もので、対応する部分には同一の符号を付しその詳しい
説明を省略する。本実施例に於いては、グレーズ層２の
表面に、エツチング保護膜８が成膜され、該エツチング
保護膜の表面に前記と同様な凸部６が設けられている。
もので、対応する部分には同一の符号を付しその詳しい
説明を省略する。本実施例に於いては、グレーズ層２の
表面に、エツチング保護膜８が成膜され、該エツチング
保護膜の表面に前記と同様な凸部６が設けられている。
このエツチング保護膜８は、凸部６と同様な材料からな
るものであって良く、製造時に発熱抵抗体膜３をフッ酸
等によりエツチングする際に、グレーズ層２までがエツ
チングされるのを防止し、また、グレーズ層２の酸素が
、発熱抵抗体膜３に向けて拡散し、これを劣化させるの
を防止する動きがある。
るものであって良く、製造時に発熱抵抗体膜３をフッ酸
等によりエツチングする際に、グレーズ層２までがエツ
チングされるのを防止し、また、グレーズ層２の酸素が
、発熱抵抗体膜３に向けて拡散し、これを劣化させるの
を防止する動きがある。
〈発明の効果〉
蒸着マスクを用いて選択的に成膜することは比較的容易
であり、本発明によれば、低コストにてしかも容易に一
す−マルヘッドの熱効率を向−ヒさせ、発熱部とリボン
或いは印字紙との接触性を改善することができ、その効
果は極めて大である。
であり、本発明によれば、低コストにてしかも容易に一
す−マルヘッドの熱効率を向−ヒさせ、発熱部とリボン
或いは印字紙との接触性を改善することができ、その効
果は極めて大である。
第１図は、従来形式のサーマルヘッドを示す断面図であ
る。 第２図は、本発明に基づくサーマルヘッドを示す断面図
である。 第３図は、本発明に基づくサーマルヘッドの異なる実施
例を示す断面図である。
る。 第２図は、本発明に基づくサーマルヘッドを示す断面図
である。 第３図は、本発明に基づくサーマルヘッドの異なる実施
例を示す断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板と、グレーズ層と、発熱抵抗体膜と、電極膜と、保
護膜とを有する感熱プリンタ用サーマルヘッドの製造方
法に於て、 前記グレーズ層と、前記発熱抵抗体膜の発熱部との間に
、前記電極膜より厚い凸部を、蒸着マスクにより選択的
に形成する過程を有することを特徴とするサーマルヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61195778A JPS6351155A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61195778A JPS6351155A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6351155A true JPS6351155A (ja) | 1988-03-04 |
Family
ID=16346807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61195778A Pending JPS6351155A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6351155A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022026A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH05147248A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-06-15 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5358249A (en) * | 1976-11-08 | 1978-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thermal head and its manufacture |
| JPS5850945B2 (ja) * | 1975-06-17 | 1983-11-14 | ハリマタイカレンガ カブシキガイシヤ | 高炉樋振動成形用耐火材 |
-
1986
- 1986-08-21 JP JP61195778A patent/JPS6351155A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850945B2 (ja) * | 1975-06-17 | 1983-11-14 | ハリマタイカレンガ カブシキガイシヤ | 高炉樋振動成形用耐火材 |
| JPS5358249A (en) * | 1976-11-08 | 1978-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thermal head and its manufacture |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022026A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH05147248A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-06-15 | Alps Electric Co Ltd | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
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