JP2000343738A - サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JP2000343738A JP2000343738A JP15573999A JP15573999A JP2000343738A JP 2000343738 A JP2000343738 A JP 2000343738A JP 15573999 A JP15573999 A JP 15573999A JP 15573999 A JP15573999 A JP 15573999A JP 2000343738 A JP2000343738 A JP 2000343738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective layer
- film
- protective
- thickness
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録効率の良いサーマルヘッドを容易に製造
する。 【解決手段】 部分グレーズ２３の上に、抵抗膜２４
と、電極２６，２７とを設けて、発熱素子２０を構成す
る。発熱素子２０の上に、保護膜２８を形成する。保護
膜２８を、硬度の低い第１の保護層３１と、第１の保護
層３１よりも硬度の高い第２の保護層３２とから構成す
る。保護膜２８の形成工程において、第１の保護層３１
を形成した後に、その表面を研磨する。研磨により第１
保護層３１の外面を平滑にし、電極２６，２７による段
差を無くす。研磨の容易な第１保護層３１で段差を無く
すから、加工が容易になる。発熱素子２０の上の保護層
膜２８が薄くなり、記録紙の熱伝達性が向上する。第２
保護層３２により、耐久性が保持される。
する。 【解決手段】 部分グレーズ２３の上に、抵抗膜２４
と、電極２６，２７とを設けて、発熱素子２０を構成す
る。発熱素子２０の上に、保護膜２８を形成する。保護
膜２８を、硬度の低い第１の保護層３１と、第１の保護
層３１よりも硬度の高い第２の保護層３２とから構成す
る。保護膜２８の形成工程において、第１の保護層３１
を形成した後に、その表面を研磨する。研磨により第１
保護層３１の外面を平滑にし、電極２６，２７による段
差を無くす。研磨の容易な第１保護層３１で段差を無く
すから、加工が容易になる。発熱素子２０の上の保護層
膜２８が薄くなり、記録紙の熱伝達性が向上する。第２
保護層３２により、耐久性が保持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録材料を加熱さ
せて熱記録を行うサーマルヘッド及びサーマルヘッドの
製造方法に関するものである。
せて熱記録を行うサーマルヘッド及びサーマルヘッドの
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】支持体上に、感熱発色層を形成した感熱
記録紙（以下、記録紙という）を用いて、画像を記録す
る感熱プリンタが知られている。このプリンタでは、サ
ーマルヘッドを記録紙に押しつけて、感熱発色層を加熱
して発色させることで画像を記録している。
記録紙（以下、記録紙という）を用いて、画像を記録す
る感熱プリンタが知られている。このプリンタでは、サ
ーマルヘッドを記録紙に押しつけて、感熱発色層を加熱
して発色させることで画像を記録している。
【０００３】サーマルヘッドは、多数の発熱素子を配列
した発熱素子アレイを有している。図４に示すように、
発熱素子アレイ５１は、基板５２をベースとして構成さ
れる。基板５２の上には、蓄熱体であるグレーズ層５３
が形成される。このグレーズ層５３の一部は、記録紙５
５との接触圧力を上げるため、シリンドリカルに突出さ
れており、この部分を部分グレーズ５４と呼ぶ。グレー
ズ層５３には、抵抗膜５６と、これに接続された一対の
電極５７，５８とが設けられる。この一対の電極５７，
５８に挟まれた抵抗膜５６の部分が発熱素子５９とな
る。発熱素子５９は、その上にガラス製の保護膜６１が
形成されることにより保護される。
した発熱素子アレイを有している。図４に示すように、
発熱素子アレイ５１は、基板５２をベースとして構成さ
れる。基板５２の上には、蓄熱体であるグレーズ層５３
が形成される。このグレーズ層５３の一部は、記録紙５
５との接触圧力を上げるため、シリンドリカルに突出さ
れており、この部分を部分グレーズ５４と呼ぶ。グレー
ズ層５３には、抵抗膜５６と、これに接続された一対の
電極５７，５８とが設けられる。この一対の電極５７，
５８に挟まれた抵抗膜５６の部分が発熱素子５９とな
る。発熱素子５９は、その上にガラス製の保護膜６１が
形成されることにより保護される。
【０００４】保護膜６１は、成膜時に、抵抗膜５６と電
極５７，５８との段差６２に起因して、その表面に表面
段差６３が形成される。この表面段差６３があると、記
録紙５５と接触した場合、その段差６３近くで隙間がで
きるため、保護膜６１と記録紙５５との接触面積が低下
する。このため、一定の接触面積が確保できるように、
発熱素子５９の搬送方向のサイズを大きくして、表面段
差６３の影響を受けないようにしている。しかし、発熱
素子５９のサイズを大きくすると、熱が分散するので、
エネルギーロスが大きくなり、記録効率が低下する。
極５７，５８との段差６２に起因して、その表面に表面
段差６３が形成される。この表面段差６３があると、記
録紙５５と接触した場合、その段差６３近くで隙間がで
きるため、保護膜６１と記録紙５５との接触面積が低下
する。このため、一定の接触面積が確保できるように、
発熱素子５９の搬送方向のサイズを大きくして、表面段
差６３の影響を受けないようにしている。しかし、発熱
素子５９のサイズを大きくすると、熱が分散するので、
エネルギーロスが大きくなり、記録効率が低下する。
【０００５】サーマルヘッドの記録効率を上げる方法と
しては、発熱素子とアルミナ基板との間に低熱拡散率の
物質を厚く設けることにより蓄熱層を形成する方法や、
電極段差の解消、ヘッドの記録紙への押圧力の増加など
によりヘッドタッチを改善する方法や、保護膜の熱効率
を改善する方法等がある。
しては、発熱素子とアルミナ基板との間に低熱拡散率の
物質を厚く設けることにより蓄熱層を形成する方法や、
電極段差の解消、ヘッドの記録紙への押圧力の増加など
によりヘッドタッチを改善する方法や、保護膜の熱効率
を改善する方法等がある。
【０００６】例えば、特開平５−３１８７９４号公報で
は、発熱素子上の保護膜の熱拡散率を電極上の保護膜よ
りも大きくし、更に発熱素子上の保護膜の厚さを電極上
のそれよりも薄くして、記録効率を上げている。また、
特開平５−１６２３５３号公報では、保護膜を研磨して
表面段差を少なくして、記録効率を上げている。
は、発熱素子上の保護膜の熱拡散率を電極上の保護膜よ
りも大きくし、更に発熱素子上の保護膜の厚さを電極上
のそれよりも薄くして、記録効率を上げている。また、
特開平５−１６２３５３号公報では、保護膜を研磨して
表面段差を少なくして、記録効率を上げている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、発熱素
子の保護膜だけを薄くすると、抵抗膜と電極とによる段
差が大きくなり、これに起因して記録紙への発熱素子の
接触面積が小さくなり、エネルギーロスが生じる。ま
た、電極段差が大きくなることで、記録紙の表面粗さが
大きくなり、記録面の光沢の低下、ヘッド汚れなどが発
生する。
子の保護膜だけを薄くすると、抵抗膜と電極とによる段
差が大きくなり、これに起因して記録紙への発熱素子の
接触面積が小さくなり、エネルギーロスが生じる。ま
た、電極段差が大きくなることで、記録紙の表面粗さが
大きくなり、記録面の光沢の低下、ヘッド汚れなどが発
生する。
【０００８】また、保護膜を研磨して表面段差を少なく
する方法では、耐磨耗性を考慮して、保護膜を硬くする
と、研磨効率が低下する。したがって、段差を無くすた
めに、硬度の高い保護膜を数μｍ程度研磨することは実
用的でない。また、研磨性を良くするために、硬度を下
げると、耐久性が低下するという問題がある。
する方法では、耐磨耗性を考慮して、保護膜を硬くする
と、研磨効率が低下する。したがって、段差を無くすた
めに、硬度の高い保護膜を数μｍ程度研磨することは実
用的でない。また、研磨性を良くするために、硬度を下
げると、耐久性が低下するという問題がある。
【０００９】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、製造が容易であり、しかも記録効率が良く耐久性
に優れたサーマルヘッド及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。
あり、製造が容易であり、しかも記録効率が良く耐久性
に優れたサーマルヘッド及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載のサーマルヘッドでは、基板から突出
して形成された突条からなる部分グレーズと、この部分
グレーズに形成された抵抗膜と、前記抵抗膜上に部分的
に形成した電極と、前記抵抗膜及び前記電極を覆う保護
膜とを備え、前記電極で挟まれた前記抵抗膜からなる発
熱素子により、記録材料に熱記録を行うサーマルヘッド
において、前記保護膜を、硬度の低い第一の保護層と、
この第一の保護層を覆い第一の保護層よりも硬度の高い
第二の保護層とから構成するとともに、前記発熱素子上
の前記保護膜の膜厚を、前記部分グレーズの裾の近傍に
形成された前記保護膜の膜厚よりも薄くしたことを特徴
とするものである。
に、請求項１記載のサーマルヘッドでは、基板から突出
して形成された突条からなる部分グレーズと、この部分
グレーズに形成された抵抗膜と、前記抵抗膜上に部分的
に形成した電極と、前記抵抗膜及び前記電極を覆う保護
膜とを備え、前記電極で挟まれた前記抵抗膜からなる発
熱素子により、記録材料に熱記録を行うサーマルヘッド
において、前記保護膜を、硬度の低い第一の保護層と、
この第一の保護層を覆い第一の保護層よりも硬度の高い
第二の保護層とから構成するとともに、前記発熱素子上
の前記保護膜の膜厚を、前記部分グレーズの裾の近傍に
形成された前記保護膜の膜厚よりも薄くしたことを特徴
とするものである。
【００１１】また、請求項２記載のサーマルヘッドは、
前記第一の保護層が、前記抵抗膜と前記電極とによる段
差をなくした平滑外面を有することを特徴とするもので
ある。
前記第一の保護層が、前記抵抗膜と前記電極とによる段
差をなくした平滑外面を有することを特徴とするもので
ある。
【００１２】また、前記保護膜の膜厚は、前記部分グレ
ーズの裾の近傍に形成された膜厚の１／２以下であるこ
とが好ましい。
ーズの裾の近傍に形成された膜厚の１／２以下であるこ
とが好ましい。
【００１３】また、前記保護膜の硬度については、前記
第一の保護層のビッカース硬度を１０００Ｈｖ以下と
し、かつ、前記第二の保護層のビッカース硬度を１５０
０Ｈｖ以上にすることが好ましい。
第一の保護層のビッカース硬度を１０００Ｈｖ以下と
し、かつ、前記第二の保護層のビッカース硬度を１５０
０Ｈｖ以上にすることが好ましい。
【００１４】また、請求項５記載のサーマルヘッドの製
造方法は、基板から突出して形成された突条からなる部
分グレーズと、この部分グレーズ上に形成された抵抗膜
と、抵抗膜上に部分的に形成した電極と、前記抵抗膜及
び電極を覆う保護膜とを備え、電極で挟まれた抵抗膜か
らなる発熱素子により、記録材料に熱記録を行うサーマ
ルヘッドの製造方法において、前記発熱素子が形成され
た部分グレーズに、硬度が低い第一の保護層を形成する
工程と、前記第一の保護層の表面を研磨して前記抵抗膜
と前記電極とによる段差をなくした平滑外面を形成する
研磨工程と、研磨された第一の保護層上に、硬度が高い
第二の保護層を形成する工程とを備えたことを特徴とす
るものである。
造方法は、基板から突出して形成された突条からなる部
分グレーズと、この部分グレーズ上に形成された抵抗膜
と、抵抗膜上に部分的に形成した電極と、前記抵抗膜及
び電極を覆う保護膜とを備え、電極で挟まれた抵抗膜か
らなる発熱素子により、記録材料に熱記録を行うサーマ
ルヘッドの製造方法において、前記発熱素子が形成され
た部分グレーズに、硬度が低い第一の保護層を形成する
工程と、前記第一の保護層の表面を研磨して前記抵抗膜
と前記電極とによる段差をなくした平滑外面を形成する
研磨工程と、研磨された第一の保護層上に、硬度が高い
第二の保護層を形成する工程とを備えたことを特徴とす
るものである。
【００１５】なお、上記サーマルヘッドの製造方法で
は、前記発熱素子上の前記保護膜の膜厚が、前記部分グ
レーズの裾の近傍に形成された前記保護膜の膜厚の１／
２以下になるように、前記第一の保護層の表面を研磨す
ることが好ましい。
は、前記発熱素子上の前記保護膜の膜厚が、前記部分グ
レーズの裾の近傍に形成された前記保護膜の膜厚の１／
２以下になるように、前記第一の保護層の表面を研磨す
ることが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】図２に示す感熱プリンタ１１は、
熱記録を行うサーマルヘッド１２と，サーマルヘッド１
２と対向する位置に配置されたプラテンローラ１３と，
記録紙１６をニップして搬送する搬送ローラ対１４とを
有している。記録紙１６には、支持体上に感熱発色層が
形成されている。
熱記録を行うサーマルヘッド１２と，サーマルヘッド１
２と対向する位置に配置されたプラテンローラ１３と，
記録紙１６をニップして搬送する搬送ローラ対１４とを
有している。記録紙１６には、支持体上に感熱発色層が
形成されている。
【００１７】記録時には、シフト機構１７によってサー
マルヘッド１２が記録紙１６に押し当てられる。押し当
てられた記録紙１６は、プラテンローラ１３によって支
持される。この状態で、記録紙１６が搬送ローラ対１４
によって引っ張られながら熱記録が行われる。サーマル
ヘッド１２には、そのヘッド本体１９に、発熱素子アレ
イ１８が設けられている。
マルヘッド１２が記録紙１６に押し当てられる。押し当
てられた記録紙１６は、プラテンローラ１３によって支
持される。この状態で、記録紙１６が搬送ローラ対１４
によって引っ張られながら熱記録が行われる。サーマル
ヘッド１２には、そのヘッド本体１９に、発熱素子アレ
イ１８が設けられている。
【００１８】発熱素子アレイ１８は、図１に示す発熱素
子２０を、主走査方向に多数個配列したものである。ア
ルミナ基板２１の上には、平坦なグレーズ層２２と、こ
のグレーズ層２２の一部をシリンドリカル状突条（円柱
の部分周面状突条）に形成した、部分グレーズ２３とが
形成される。部分グレーズ２３とその周囲の平坦なグレ
ーズ層２２との表面には、抵抗膜２４が形成され、この
抵抗膜２４の上に、一対の電極２６，２７が形成され
る。この電極２６，２７のそれぞれの一端で挟まれた抵
抗膜２４の一部が発熱素子２０となる。さらに、これら
の抵抗膜２４と電極２６，２７とを覆うように、保護膜
２８が形成されている。
子２０を、主走査方向に多数個配列したものである。ア
ルミナ基板２１の上には、平坦なグレーズ層２２と、こ
のグレーズ層２２の一部をシリンドリカル状突条（円柱
の部分周面状突条）に形成した、部分グレーズ２３とが
形成される。部分グレーズ２３とその周囲の平坦なグレ
ーズ層２２との表面には、抵抗膜２４が形成され、この
抵抗膜２４の上に、一対の電極２６，２７が形成され
る。この電極２６，２７のそれぞれの一端で挟まれた抵
抗膜２４の一部が発熱素子２０となる。さらに、これら
の抵抗膜２４と電極２６，２７とを覆うように、保護膜
２８が形成されている。
【００１９】グレーズ層２２は、アルミナ基板２１にガ
ラスペーストを塗布した後加熱して溶融させ、これを冷
却して形成される。また、部分グレーズ２３は、冷却に
より固化した平坦なグレーズ層２２に対してエッチング
を行った後に、再度加熱溶融して、シリンドリカル状突
条として形成される。グレーズ層２２の厚みは３５μｍ
であり、部分グレーズ２３の最大厚みは３５μｍである
が、これらは用いる記録媒体や記録方式によってその厚
みが適宜選択される。なお、平坦なグレーズ層２２の厚
みは２０〜２００μｍであればよい。
ラスペーストを塗布した後加熱して溶融させ、これを冷
却して形成される。また、部分グレーズ２３は、冷却に
より固化した平坦なグレーズ層２２に対してエッチング
を行った後に、再度加熱溶融して、シリンドリカル状突
条として形成される。グレーズ層２２の厚みは３５μｍ
であり、部分グレーズ２３の最大厚みは３５μｍである
が、これらは用いる記録媒体や記録方式によってその厚
みが適宜選択される。なお、平坦なグレーズ層２２の厚
みは２０〜２００μｍであればよい。
【００２０】抵抗膜２４は、抵抗体薄膜から構成されて
おり、スパッタリング法や蒸着法等により形成される。
この材質としては、Ｎｉ−Ｃｒ，Ｔａ2 Ｎ，Ｔａ−Ｓｉ
Ｏ2，Ｔａ−Ｓｉ，Ｔａ−Ｓｉ−Ｃ，Ｃｒ−Ｓｉ−Ｏ，
ＺｒＮ，Ｔａ−ＳｉＣ，ｐｏｌｙ−Ｓｉその他公知のも
のが用いられる。
おり、スパッタリング法や蒸着法等により形成される。
この材質としては、Ｎｉ−Ｃｒ，Ｔａ2 Ｎ，Ｔａ−Ｓｉ
Ｏ2，Ｔａ−Ｓｉ，Ｔａ−Ｓｉ−Ｃ，Ｃｒ−Ｓｉ−Ｏ，
ＺｒＮ，Ｔａ−ＳｉＣ，ｐｏｌｙ−Ｓｉその他公知のも
のが用いられる。
【００２１】電極２６，２７としては、Ａｌ，Ａｕ等が
用いられ、スパッタリング法や蒸着法などにより形成さ
れる。この電極２６．２７の厚みは、約１μｍ程度であ
る。この厚みが抵抗膜２４と電極２６，２７との段差３
３となる。
用いられ、スパッタリング法や蒸着法などにより形成さ
れる。この電極２６．２７の厚みは、約１μｍ程度であ
る。この厚みが抵抗膜２４と電極２６，２７との段差３
３となる。
【００２２】保護膜２８は、異なる硬度を持つ第一の保
護層３１及び第二の保護層３２の２層からなる。第一の
保護層３１は、その材料として酸化タンタル，酸化珪素
等が使用され、ビッカース硬度を約１０００Ｈｖ以下に
している。他方、第二の保護層３２は、その材料として
窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等が使用され、ビッカ
ース硬度を約１５００Ｈｖ以上にしている。各保護層３
１，３２は、スパッタリング法、ＣＶＤ法等により形成
され、保護膜２８全体の厚さとしては最大１０μｍ程度
になる。
護層３１及び第二の保護層３２の２層からなる。第一の
保護層３１は、その材料として酸化タンタル，酸化珪素
等が使用され、ビッカース硬度を約１０００Ｈｖ以下に
している。他方、第二の保護層３２は、その材料として
窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等が使用され、ビッカ
ース硬度を約１５００Ｈｖ以上にしている。各保護層３
１，３２は、スパッタリング法、ＣＶＤ法等により形成
され、保護膜２８全体の厚さとしては最大１０μｍ程度
になる。
【００２３】また、保護膜２８の表面からは、後に説明
するように第一の保護層３１により、段差３３に起因す
る表面段差が取り除かれており、保護膜２８の表面は平
面で形成されている。このため、記録紙１６との接触面
積を十分にとることができるので、発熱素子２０の搬送
方向のサイズを短くしている。これにより、発熱素子２
０の搬送方向の熱分布が集中するので、エネルギーロス
がなくなり、記録効率が向上する。また、硬度が高い第
二の保護層３２を外側に形成することにより、耐久性が
向上する。
するように第一の保護層３１により、段差３３に起因す
る表面段差が取り除かれており、保護膜２８の表面は平
面で形成されている。このため、記録紙１６との接触面
積を十分にとることができるので、発熱素子２０の搬送
方向のサイズを短くしている。これにより、発熱素子２
０の搬送方向の熱分布が集中するので、エネルギーロス
がなくなり、記録効率が向上する。また、硬度が高い第
二の保護層３２を外側に形成することにより、耐久性が
向上する。
【００２４】また、保護膜２８は、発熱素子２０上の膜
厚Ｔ１と、部分グレーズ２３の裾の近傍の膜厚Ｔ２とが
異なるように形成されている。この膜厚Ｔ１と膜厚Ｔ２
との関係は、膜厚Ｔ１が膜厚Ｔ２の１／２以下、すなわ
ち、２つの膜厚比が２Ｔ１＜Ｔ２となっている。膜厚Ｔ
１を薄く形成することにより、記録紙１６への熱伝導性
が上がり、記録効率が向上する。また、膜厚Ｔ２を厚く
形成することにより、部分グレーズ２３の蓄熱効果を上
げている。
厚Ｔ１と、部分グレーズ２３の裾の近傍の膜厚Ｔ２とが
異なるように形成されている。この膜厚Ｔ１と膜厚Ｔ２
との関係は、膜厚Ｔ１が膜厚Ｔ２の１／２以下、すなわ
ち、２つの膜厚比が２Ｔ１＜Ｔ２となっている。膜厚Ｔ
１を薄く形成することにより、記録紙１６への熱伝導性
が上がり、記録効率が向上する。また、膜厚Ｔ２を厚く
形成することにより、部分グレーズ２３の蓄熱効果を上
げている。
【００２５】次に、上記サーマルヘッドの製造工程につ
いて、図３に基づいて説明する。サーマルヘッド１２の
製造工程において、まず、図３（Ａ）に示すように、ア
ルミナ基板２１上に、グレーズ層２２及び部分グレーズ
層２３が形成される。次に、抵抗膜２４が形成されて、
この上に一対の電極２６，２７が接続され、発熱素子２
０が形成される。
いて、図３に基づいて説明する。サーマルヘッド１２の
製造工程において、まず、図３（Ａ）に示すように、ア
ルミナ基板２１上に、グレーズ層２２及び部分グレーズ
層２３が形成される。次に、抵抗膜２４が形成されて、
この上に一対の電極２６，２７が接続され、発熱素子２
０が形成される。
【００２６】次に、図３（Ｂ）に示すように、第一の保
護層３１が形成される。第一の保護層３１が固化する
と、その表面には、段差３３に起因する表面段差４１が
形成される。図３（Ｃ）に示すように、この第一の保護
層３１が固化した後、研磨テープ４２によって、第一の
保護層３１の表面の研磨が行われる。この研磨は、ま
ず、表面段差４１がなくなるまで行われる。さらに、保
護膜２８の膜厚比が２Ｔ１＜Ｔ２となるように、発熱素
子２０上に形成された部分について集中的に研磨が行わ
れる。図３（Ｄ）に示すように、研磨が終了すると、第
一の保護層３１の表面から表面段差４３が取り除かれ、
その表面が平滑化される。なお、この研磨方法として
は、この他、砥石を使用する方法や、ブラスト（砥粒）
を使用する方法などがあり、これらを選択的に用いた
り、組み合わせて用いてもよい。
護層３１が形成される。第一の保護層３１が固化する
と、その表面には、段差３３に起因する表面段差４１が
形成される。図３（Ｃ）に示すように、この第一の保護
層３１が固化した後、研磨テープ４２によって、第一の
保護層３１の表面の研磨が行われる。この研磨は、ま
ず、表面段差４１がなくなるまで行われる。さらに、保
護膜２８の膜厚比が２Ｔ１＜Ｔ２となるように、発熱素
子２０上に形成された部分について集中的に研磨が行わ
れる。図３（Ｄ）に示すように、研磨が終了すると、第
一の保護層３１の表面から表面段差４３が取り除かれ、
その表面が平滑化される。なお、この研磨方法として
は、この他、砥石を使用する方法や、ブラスト（砥粒）
を使用する方法などがあり、これらを選択的に用いた
り、組み合わせて用いてもよい。
【００２７】第一の保護層３１の研磨が終了すると、図
３（Ｅ）に示すように、その上に第二の保護層３２が形
成される。第二の保護層３２は、研磨された第一の保護
層３１の上に形成されるので、その表面に表面段差が生
じることはない。完成したサーマルヘッド１２は、プリ
ンタ１１に用いられる。
３（Ｅ）に示すように、その上に第二の保護層３２が形
成される。第二の保護層３２は、研磨された第一の保護
層３１の上に形成されるので、その表面に表面段差が生
じることはない。完成したサーマルヘッド１２は、プリ
ンタ１１に用いられる。
【００２８】上記実施形態においては、発熱素子を、部
分グレーズの頂上に配置した例で説明しているが、例え
ば、発熱素子を搬送方向上流側にオフセットして配置し
てもよい。こうすることで、プリント時における記録紙
とサーマルヘッドとの接触角度に合わせて、発熱素子を
配置することができる。さらに、記録紙と接触する保護
膜の表面を平面とした例で説明しているが、曲面にして
もよい。保護層は２層としたが、３層以上にしてもよ
い。
分グレーズの頂上に配置した例で説明しているが、例え
ば、発熱素子を搬送方向上流側にオフセットして配置し
てもよい。こうすることで、プリント時における記録紙
とサーマルヘッドとの接触角度に合わせて、発熱素子を
配置することができる。さらに、記録紙と接触する保護
膜の表面を平面とした例で説明しているが、曲面にして
もよい。保護層は２層としたが、３層以上にしてもよ
い。
【００２９】また、第一の保護層のビッカース硬度を約
１０００Ｈｖ以下とし、第二の保護層３２のビッカース
硬度を約１５００Ｈｖ以上のものとして説明している
が、このビッカース硬度については、研磨方法等に応じ
て、適宜選択される。
１０００Ｈｖ以下とし、第二の保護層３２のビッカース
硬度を約１５００Ｈｖ以上のものとして説明している
が、このビッカース硬度については、研磨方法等に応じ
て、適宜選択される。
【００３０】また、保護膜の厚みを最大約１０μｍ程度
として説明したが、保護膜を形成する素材の熱伝導率等
に応じて、適宜選択される。また、発熱素子上に形成さ
れた保護膜の厚みを、部分グレーズの裾の近傍に形成さ
れた保護膜の厚みの１／２以下とした例で説明している
が、この膜厚比についても、保護膜を形成する素材の熱
伝導率等に応じて、適宜選択される。また、保護膜の厚
みの調整については、スパッタリング法の場合には、成
膜時間を調整することにより行ってもよい。
として説明したが、保護膜を形成する素材の熱伝導率等
に応じて、適宜選択される。また、発熱素子上に形成さ
れた保護膜の厚みを、部分グレーズの裾の近傍に形成さ
れた保護膜の厚みの１／２以下とした例で説明している
が、この膜厚比についても、保護膜を形成する素材の熱
伝導率等に応じて、適宜選択される。また、保護膜の厚
みの調整については、スパッタリング法の場合には、成
膜時間を調整することにより行ってもよい。
【００３１】なお、第一の保護層を研磨した後、そのま
ま第二の保護層を形成しているが、第一の保護層を研磨
した後に, 第一の保護層について表面処理等をして、そ
の硬度を上げてから、第２の保護層を形成してもよい。
これにより、耐久性をさらに向上させることができる。
ま第二の保護層を形成しているが、第一の保護層を研磨
した後に, 第一の保護層について表面処理等をして、そ
の硬度を上げてから、第２の保護層を形成してもよい。
これにより、耐久性をさらに向上させることができる。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のサ
ーマルヘッドは、発熱素子を保護する保護膜を、硬度の
低い第一の保護層と、第一の保護層を覆い第一の保護層
よりも硬度の高い第二の保護層とから構成するととも
に、発熱素子上に形成される保護膜の厚みを、部分グレ
ーズの裾の近傍に形成された保護膜の厚みよりも薄くし
たから、耐久性を向上させることができるとともに、記
録効率を上げることができる。しかも、硬度の低い第一
の保護層により、電極段差を取り除いたり、製造を容易
にすることができる。また、電極段差による表面段差が
なくなるので、記録紙に走行キズがつきにくくなる。こ
のため、記録紙の光沢を維持しながらプリントを行うこ
とができる。
ーマルヘッドは、発熱素子を保護する保護膜を、硬度の
低い第一の保護層と、第一の保護層を覆い第一の保護層
よりも硬度の高い第二の保護層とから構成するととも
に、発熱素子上に形成される保護膜の厚みを、部分グレ
ーズの裾の近傍に形成された保護膜の厚みよりも薄くし
たから、耐久性を向上させることができるとともに、記
録効率を上げることができる。しかも、硬度の低い第一
の保護層により、電極段差を取り除いたり、製造を容易
にすることができる。また、電極段差による表面段差が
なくなるので、記録紙に走行キズがつきにくくなる。こ
のため、記録紙の光沢を維持しながらプリントを行うこ
とができる。
【００３３】また、本発明のサーマルヘッドの製造方法
は、発熱素子を形成した後に、硬度の低い第一の保護層
を形成し、この第一の保護層の表面を研磨してから、第
一の保護層よりも硬い第二の保護層を形成するようにし
たから、研磨性を向上することができる。これにより、
保護膜の表面段差の解消や、その膜厚を薄くする加工が
容易になる。しかも、硬度の高い第２の保護層により、
耐久性を維持することができる。このように、耐久性が
高く、かつ、記録効率の良いサーマルヘッドを容易に製
造することができる。
は、発熱素子を形成した後に、硬度の低い第一の保護層
を形成し、この第一の保護層の表面を研磨してから、第
一の保護層よりも硬い第二の保護層を形成するようにし
たから、研磨性を向上することができる。これにより、
保護膜の表面段差の解消や、その膜厚を薄くする加工が
容易になる。しかも、硬度の高い第２の保護層により、
耐久性を維持することができる。このように、耐久性が
高く、かつ、記録効率の良いサーマルヘッドを容易に製
造することができる。
【図１】保護膜を２つの層から構成した本発明のサーマ
ルヘッドの要部を示す断面図である。
ルヘッドの要部を示す断面図である。
【図２】図１のサーマルヘッドが取り付けられた感熱プ
リンタの概略図である。
リンタの概略図である。
【図３】図１のサーマルヘッドの製造工程を示す説明図
である。
である。
【図４】従来のサーマルヘッドの要部を示す断面図であ
る。
る。
【符号の説明】 １２ サーマルヘッド １８ 発熱素子アレイ ２０ 発熱素子 ２１ 基板 ２２ グレーズ層 ２３ 部分グレーズ ２４ 抵抗膜 ２６，２７ 電極 ２８ 保護膜 ３１ 第一の保護層 ３２ 第二の保護層 Ｔ１，Ｔ２ 膜厚
Claims (6)
- 【請求項１】 基板から突出して形成された突条からな
る部分グレーズと、この部分グレーズに形成された抵抗
膜と、前記抵抗膜上に部分的に形成した電極と、前記抵
抗膜及び前記電極を覆う保護膜とを備え、前記電極で挟
まれた前記抵抗膜からなる発熱素子により、記録材料に
熱記録を行うサーマルヘッドにおいて、 前記保護膜を、硬度の低い第一の保護層と、この第一の
保護層を覆い第一の保護層よりも硬度の高い第二の保護
層とから構成するとともに、前記発熱素子上の前記保護
膜の膜厚が、前記部分グレーズの裾の近傍に形成された
前記保護膜の膜厚よりも薄いことを特徴とするサーマル
ヘッド。 - 【請求項２】 前記第一の保護層は、前記抵抗膜と前記
電極とによる段差をなくした平滑外面を有することを特
徴とする請求項１記載のサーマルヘッド。 - 【請求項３】 前記発熱素子上の前記保護膜の膜厚が、
前記部分グレーズの裾の近傍に形成された前記保護膜の
膜厚の１／２以下であることを特徴とする請求項１又は
２記載のサーマルヘッド。 - 【請求項４】 前記第一の保護層のビッカース硬度が１
０００Ｈｖ以下であり、かつ、前記第二の保護層のビッ
カース硬度が１５００Ｈｖ以上であることを特徴とする
請求項１〜３いずれか１つ記載のサーマルヘッド。 - 【請求項５】 基板から突出して形成された突条からな
る部分グレーズと、この部分グレーズ上に形成された抵
抗膜と、抵抗膜上に部分的に形成した電極と、前記抵抗
膜及び電極を覆う保護膜とを備え、電極で挟まれた抵抗
膜からなる発熱素子により、記録材料に熱記録を行うサ
ーマルヘッドの製造方法において、 前記発熱素子が形成された部分グレーズに、硬度が低い
第一の保護層を形成する工程と、前記第一の保護層の表
面を研磨して前記抵抗膜と前記電極とによる段差をなく
した平滑外面を形成する研磨工程と、研磨された第一の
保護層上に、硬度が高い第二の保護層を形成する工程と
を備えたことを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記発熱素子上の前記保護膜の膜厚が、
前記部分グレーズの裾の近傍に形成された前記保護膜の
膜厚の１／２以下になるように、前記第一の保護層の表
面を研磨することを特徴とする請求項５記載のサーマル
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15573999A JP2000343738A (ja) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15573999A JP2000343738A (ja) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000343738A true JP2000343738A (ja) | 2000-12-12 |
Family
ID=15612391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15573999A Pending JP2000343738A (ja) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000343738A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132227A1 (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-14 | Rohm Co., Ltd. | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| CN104512121A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-15 | 山东华菱电子股份有限公司 | 一种自动去除积碳的热敏打印头及制作方法 |
| CN104527231A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-22 | 山东华菱电子股份有限公司 | 自动去除积碳的热敏打印头及制作方法 |
| JP2020151903A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
-
1999
- 1999-06-02 JP JP15573999A patent/JP2000343738A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132227A1 (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-14 | Rohm Co., Ltd. | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| EP1897692A1 (en) * | 2005-06-07 | 2008-03-12 | Rohm Co., Ltd. | Thermal print head and method for manufacturing same |
| EP1897692A4 (en) * | 2005-06-07 | 2010-01-27 | Rohm Co Ltd | HEAT PRESSURE HEAD AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
| US7876343B2 (en) | 2005-06-07 | 2011-01-25 | Rohm Co., Ltd. | Thermal print head and method for manufacturing same |
| CN104512121A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-15 | 山东华菱电子股份有限公司 | 一种自动去除积碳的热敏打印头及制作方法 |
| CN104527231A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-22 | 山东华菱电子股份有限公司 | 自动去除积碳的热敏打印头及制作方法 |
| JP2020151903A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
| JP7245684B2 (ja) | 2019-03-19 | 2023-03-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6688951B2 (en) | Thermal head lapping apparatus | |
| US7876343B2 (en) | Thermal print head and method for manufacturing same | |
| JP2000343738A (ja) | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 | |
| WO2008015958A1 (fr) | Tête d'impression thermique | |
| JP3421255B2 (ja) | 感熱記録システム | |
| JPH0246390B2 (ja) | ||
| JP3784366B2 (ja) | 印画紙表面の平滑化方法 | |
| JPS62255161A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS63153165A (ja) | 端部型サ−マルヘツド | |
| JP2546120Y2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2589164B2 (ja) | サーマルヘッドの基板構造 | |
| JP2531696B2 (ja) | サ−マルヘツド | |
| JP3199009U (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2669881B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS63237964A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPH0880628A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2000343739A (ja) | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 | |
| JPS6072750A (ja) | 感熱記録ヘツド | |
| JPH07329330A (ja) | サーマルプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JPH05212888A (ja) | サーマルヘツドおよびその製造方法 | |
| JP2001105643A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH05162353A (ja) | 薄膜サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH06218973A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2002002006A (ja) | 厚膜型サーマルプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JP3313953B2 (ja) | サーマルヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040812 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060714 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060719 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061206 |