JPS63190761A - 窒化アルミニウム質焼結体 - Google Patents
窒化アルミニウム質焼結体Info
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- JPS63190761A JPS63190761A JP62020779A JP2077987A JPS63190761A JP S63190761 A JPS63190761 A JP S63190761A JP 62020779 A JP62020779 A JP 62020779A JP 2077987 A JP2077987 A JP 2077987A JP S63190761 A JPS63190761 A JP S63190761A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は熱伝導性の高い窒化アルミニウム質焼結体に関
する。
する。
近年、ＬＳＩの発達に伴い、高集積回路、パワートラン
ジスタ、レーザーダイオードなどの発熱量の大きい半導
体素子を実装するために熱伝導率の高い絶縁材料が必要
とされてきている。
ジスタ、レーザーダイオードなどの発熱量の大きい半導
体素子を実装するために熱伝導率の高い絶縁材料が必要
とされてきている。
このような熱伝導率の高いセラミック材料としては、従
来酸化ベリリウム（Ｂｅｄ）系焼結体が用いられてきた
が、その毒性のために使用範囲が限定されている。
来酸化ベリリウム（Ｂｅｄ）系焼結体が用いられてきた
が、その毒性のために使用範囲が限定されている。
そこで、酸化ベリリウムに変わる高熱伝導性基板材料と
して、熱伝導率が高く、しかも安定で、高温強度も高く
、電気絶縁性のよい窒化アルミニウム（ＡｌＮ）が使用
されるようになってきている。
して、熱伝導率が高く、しかも安定で、高温強度も高く
、電気絶縁性のよい窒化アルミニウム（ＡｌＮ）が使用
されるようになってきている。
窒化アルミニウム粉末は難焼結性であって、単味では焼
結し難いため、窒化アルミニウム原料粉末に焼結助剤を
添加して焼結体を製造することが行われており、適当な
焼結助剤としては、周期律表の］Ｉａ族金属（アルカリ
土類金属）もしくは■ａ族金属（Ｙおよび希土類金属）
の化合物、例えば代表的にはＹ２Ｏ３やＣａＯなどを単
独で添加することが提案されている。（特開昭６０−１
２７２６７号公報、特開昭５０−２３４１１号公報） 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし乍ら、Ｙ２Ｏ，単独添加では高熱伝導性を有する
窒化アルミニウム質焼結体は得られるが、原料が高価で
あると同時に焼成温度が約１８００℃以上と高く大量生
産上不利である。一方、ＣａＯ単独添加では原料が安価
であると同時に焼成温度が約１７５０℃以下と低温であ
り大量生産上有利ではあるが熱伝導率が低いと言う問題
がある。
結し難いため、窒化アルミニウム原料粉末に焼結助剤を
添加して焼結体を製造することが行われており、適当な
焼結助剤としては、周期律表の］Ｉａ族金属（アルカリ
土類金属）もしくは■ａ族金属（Ｙおよび希土類金属）
の化合物、例えば代表的にはＹ２Ｏ３やＣａＯなどを単
独で添加することが提案されている。（特開昭６０−１
２７２６７号公報、特開昭５０−２３４１１号公報） 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし乍ら、Ｙ２Ｏ，単独添加では高熱伝導性を有する
窒化アルミニウム質焼結体は得られるが、原料が高価で
あると同時に焼成温度が約１８００℃以上と高く大量生
産上不利である。一方、ＣａＯ単独添加では原料が安価
であると同時に焼成温度が約１７５０℃以下と低温であ
り大量生産上有利ではあるが熱伝導率が低いと言う問題
がある。
そこで、本発明者は上記問題点に鑑み鋭意研究の結果、
ＡｌＮを主体としこれに焼結体としてＣａ化合物及びＹ
化合物となるような焼結助剤を一定量複合添加し、焼成
して得られた焼結体であってこの焼結体中の酸素量及び
Ｓｉ量が一定量以下である焼結体は熱伝導率が高くかつ
相対密度が充分であると共に低温焼成が可能であること
を知見した。
ＡｌＮを主体としこれに焼結体としてＣａ化合物及びＹ
化合物となるような焼結助剤を一定量複合添加し、焼成
して得られた焼結体であってこの焼結体中の酸素量及び
Ｓｉ量が一定量以下である焼結体は熱伝導率が高くかつ
相対密度が充分であると共に低温焼成が可能であること
を知見した。
〔発明の目的〕
本発明においては低温焼成が可能で比較的熱伝導率が高
く充分な相対密度を有する大量生産に適した窒化アルミ
ニウム質焼結体を提供することを目的とする。
く充分な相対密度を有する大量生産に適した窒化アルミ
ニウム質焼結体を提供することを目的とする。
本発明によればＡｌＮを主体としＣａ化合物及びＹ化合
物を含有する焼結体であって、前記化合物がＣａＯとし
て０．１〜４重量％、Ｙ２Ｏ３として０．２〜１０重量
％含み、ＣａＯ及びＹ２Ｏ３として結合する酸素量を焼
結体の全酸素量から差し引いた残りの酸素量が３重量％
以下であり、且つＳｔ含有量が０．７重量％以下である
熱伝導率が９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、相対密度が９０％以上
であることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体を提
供する。
物を含有する焼結体であって、前記化合物がＣａＯとし
て０．１〜４重量％、Ｙ２Ｏ３として０．２〜１０重量
％含み、ＣａＯ及びＹ２Ｏ３として結合する酸素量を焼
結体の全酸素量から差し引いた残りの酸素量が３重量％
以下であり、且つＳｔ含有量が０．７重量％以下である
熱伝導率が９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、相対密度が９０％以上
であることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体を提
供する。
即ち、先ず、焼結体中のＹ化合物及びＣａ化合物の含有
割合はＹ２Ｏ３として０．２〜１０重景％、ＣａＯとし
て０．１〜４重量％の範囲でなければならず、好ましく
はＹ２Ｏ３として０．２〜１０重量％、ＣａＯとして０
．１〜２．７重量％、より好ましくはＹ２Ｏ３として０
．３〜６．８重量％、ＣａＯとして０．１５〜２．５重
量％が適切である。
割合はＹ２Ｏ３として０．２〜１０重景％、ＣａＯとし
て０．１〜４重量％の範囲でなければならず、好ましく
はＹ２Ｏ３として０．２〜１０重量％、ＣａＯとして０
．１〜２．７重量％、より好ましくはＹ２Ｏ３として０
．３〜６．８重量％、ＣａＯとして０．１５〜２．５重
量％が適切である。
Ｙ２Ｏ，とＣａＯとの量比としては第１図に示す如き、
各魚倉−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ａを結ぶ線分の範囲内で９０
Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られ、各点Ａ−Ｆ
−Ｇ−Ｈ−１−Ｊ−Ａを結ぶ線分の範囲内で１００
Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られ、更に、各点に
−Ｚ−門−Ｎ−０−Ｐ−Ｑ−Ｒ−５−Ｋを結ぶ範囲内で
１２０ Ｗ／ｍ ” Ｋ以上の熱伝導率が得られる。
各魚倉−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ａを結ぶ線分の範囲内で９０
Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られ、各点Ａ−Ｆ
−Ｇ−Ｈ−１−Ｊ−Ａを結ぶ線分の範囲内で１００
Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られ、更に、各点に
−Ｚ−門−Ｎ−０−Ｐ−Ｑ−Ｒ−５−Ｋを結ぶ範囲内で
１２０ Ｗ／ｍ ” Ｋ以上の熱伝導率が得られる。
前記各点におけるＣａＯ及びＹ２Ｏ３の値について第１
表に示す。
表に示す。
第 １ 表
また、焼成温度についてはＣａＯの量が少なくなり、Ｙ
２Ｏ３の量が多くなるにつれて焼結温度が高くなる傾向
にある。さらに、Ｙ２Ｏ，又はＣａＯとして結合する酸
素量を焼結体全体の酸素量から差し引いた残りの酸素量
が３重量％以下であり、且つＳｔの含有量が０．７重量
％以下でなければならない。これら酸素又はＳｉは窒化
アルミニウム原料粉末中に陽イオン不純物として既に存
在していたり、混合粉砕中に混入するものであり、これ
らの混入量はＹ化合物とＣａ化合物との複合添加系の窒
化アルミニウム質焼結体とした場合、上記範囲内となる
ように調整しなければ高い熱伝導率が得られない。
２Ｏ３の量が多くなるにつれて焼結温度が高くなる傾向
にある。さらに、Ｙ２Ｏ，又はＣａＯとして結合する酸
素量を焼結体全体の酸素量から差し引いた残りの酸素量
が３重量％以下であり、且つＳｔの含有量が０．７重量
％以下でなければならない。これら酸素又はＳｉは窒化
アルミニウム原料粉末中に陽イオン不純物として既に存
在していたり、混合粉砕中に混入するものであり、これ
らの混入量はＹ化合物とＣａ化合物との複合添加系の窒
化アルミニウム質焼結体とした場合、上記範囲内となる
ように調整しなければ高い熱伝導率が得られない。
平均粒系０．５〜３μｍで、Ｓｉ含有量０．８重量％以
下、０．含有量３．１重量％以下のＡｌＮ粉末に第２表
の試料番号１〜１５．２４〜２５及び点Ａ、Ｉ、Ｈ，Ｇ
、ＣについてはＣａＣｔとＹ２Ｏ，を第２表の試料番号
１６〜２３についてはＣａＣＯ３とＹ２Ｏ３を各々添加
配合し、これをボールミルでメタノール中で充分湿式混
合した。
下、０．含有量３．１重量％以下のＡｌＮ粉末に第２表
の試料番号１〜１５．２４〜２５及び点Ａ、Ｉ、Ｈ，Ｇ
、ＣについてはＣａＣｔとＹ２Ｏ，を第２表の試料番号
１６〜２３についてはＣａＣＯ３とＹ２Ｏ３を各々添加
配合し、これをボールミルでメタノール中で充分湿式混
合した。
これにパラフィンワックスとステアリン酸及び若干量の
バインダーを加えて混合したものを成形圧１０００Ｋｇ
／ｃｍ’でプレス成形した。成形体は焼結体としては第
２表に示す組成比となるように調整されている。次に得
られた成形体を常法により３００℃、２時間真空中で脱
バインダ処理後、窒素中で第２表に示す焼成温度及び時
間にて焼結させた。得られた各試料において絶対密度を
アルキメデス法により測定し、これより相対密度を算定
し、さらに熱伝導率をレーザーフラッシ工法で測定した
。これらの結果を第２表に示す。
バインダーを加えて混合したものを成形圧１０００Ｋｇ
／ｃｍ’でプレス成形した。成形体は焼結体としては第
２表に示す組成比となるように調整されている。次に得
られた成形体を常法により３００℃、２時間真空中で脱
バインダ処理後、窒素中で第２表に示す焼成温度及び時
間にて焼結させた。得られた各試料において絶対密度を
アルキメデス法により測定し、これより相対密度を算定
し、さらに熱伝導率をレーザーフラッシ工法で測定した
。これらの結果を第２表に示す。
第２表から明らかなように本発明の試料番号１〜２５及
び魚倉、Ｉ、）ｌ、Ｇ、Ｃは各々換算ＣａＯｉｉが０．
１〜４重量％の範囲内、換算Ｙ、０．量が０．２〜１０
重量％の範囲内、残りの酸素量が３重量％以下及びＳｉ
含有量が０．７重量％以下であり、焼成温度も１８００
℃以下であっても相対密度の９５％以上にまで焼結し換
算ＣａＯと換算Ｙ２０．との重量比で図面上にプロット
すると、各点Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ａを結ぶ線分の範囲
内で９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率が得られ、各点Ａ−
Ｆ−Ｇ−Ｈ−１−Ｊ−Ａを結ぶ線分の範囲内で１００Ｗ
／ｍ ” Ｋ以上の熱伝導率が得られ、さらに各点に−
Ｌ−Ｍ−Ｎ−０−Ｐ−Ｑ−Ｒ−５−Ｋを結ぶ線分の範囲
内で１２０Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られてい
る。前記各点は第１表にその値を示している。
び魚倉、Ｉ、）ｌ、Ｇ、Ｃは各々換算ＣａＯｉｉが０．
１〜４重量％の範囲内、換算Ｙ、０．量が０．２〜１０
重量％の範囲内、残りの酸素量が３重量％以下及びＳｉ
含有量が０．７重量％以下であり、焼成温度も１８００
℃以下であっても相対密度の９５％以上にまで焼結し換
算ＣａＯと換算Ｙ２０．との重量比で図面上にプロット
すると、各点Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ａを結ぶ線分の範囲
内で９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率が得られ、各点Ａ−
Ｆ−Ｇ−Ｈ−１−Ｊ−Ａを結ぶ線分の範囲内で１００Ｗ
／ｍ ” Ｋ以上の熱伝導率が得られ、さらに各点に−
Ｌ−Ｍ−Ｎ−０−Ｐ−Ｑ−Ｒ−５−Ｋを結ぶ線分の範囲
内で１２０Ｗ／ｍ ’ Ｋ以上の熱伝導率が得られてい
る。前記各点は第１表にその値を示している。
〔比較例〕
上記と同様のＡｌＮ粉末にＣａＣｚとＹ２Ｏ，を添加配
合し、これをボールミルでメタノール中で充分湿式混合
した。これにバラファインワックスとステアリン酸およ
び若干量のバインダーを加えて混合したものを成形圧１
０００Ｋｇ／ａｍ’でプレス成形した。成形体は焼結体
として第３表の組成比となるように調整される。得られ
た各試料も第３表に示す条件で焼成し、前記実施例と同
様に絶対密度、相対密度及び熱伝導率を測定した。
合し、これをボールミルでメタノール中で充分湿式混合
した。これにバラファインワックスとステアリン酸およ
び若干量のバインダーを加えて混合したものを成形圧１
０００Ｋｇ／ａｍ’でプレス成形した。成形体は焼結体
として第３表の組成比となるように調整される。得られ
た各試料も第３表に示す条件で焼成し、前記実施例と同
様に絶対密度、相対密度及び熱伝導率を測定した。
第３表から理解されるように、換算Ｙ２Ｏ３が０．０重
量％となる（Ｙが含有されていない）組成を有する試料
番号２６及び２７は焼成温度が１７５０℃以下と低くて
も熱伝導率８０ Ｗ／ｍ ’ Ｋ以下と低くなっている
。
量％となる（Ｙが含有されていない）組成を有する試料
番号２６及び２７は焼成温度が１７５０℃以下と低くて
も熱伝導率８０ Ｗ／ｍ ’ Ｋ以下と低くなっている
。
換算ＣａＯが０．０重量％となる（Ｃａが含有されてい
ない）組成を有する試料番号２８及び２９は焼成温度が
１８６０℃と高くなっている。換算ＣａＯ及び換算ＹＺ
Ｏ：ｌの含有量が規制範囲外の試料番号３０〜３３は熱
伝導率が低くなっている。また残りの酸素量及び５ｉｉ
ｉが規制範囲外の試料番号３４〜４１も熱伝導率が劣化
している。
ない）組成を有する試料番号２８及び２９は焼成温度が
１８６０℃と高くなっている。換算ＣａＯ及び換算ＹＺ
Ｏ：ｌの含有量が規制範囲外の試料番号３０〜３３は熱
伝導率が低くなっている。また残りの酸素量及び５ｉｉ
ｉが規制範囲外の試料番号３４〜４１も熱伝導率が劣化
している。
上述の如く、換算ＣａＯ及び換算Ｙ２０．としてＣａ及
びＹが規程範囲内で含有し、且つ残りの酸素量及びＳｉ
量が一定量以下含有している窒化アルミニウム質焼結体
は熱伝導率が９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上と高く充分緻密化して
おり、熱放散性を必要とする半導体素子実装基板等の高
熱伝導性基板に有効である。
びＹが規程範囲内で含有し、且つ残りの酸素量及びＳｉ
量が一定量以下含有している窒化アルミニウム質焼結体
は熱伝導率が９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上と高く充分緻密化して
おり、熱放散性を必要とする半導体素子実装基板等の高
熱伝導性基板に有効である。
図面は第１表及び第２表に示す各試料の換算ＣａＯと換
算Ｙｚ（ｈとの含有量をプロットし、熱伝導率と線分で
示した説明図である。
算Ｙｚ（ｈとの含有量をプロットし、熱伝導率と線分で
示した説明図である。
Claims (1)
- ＡｌＮを主体としＣａ化合物及びＹ化合物を含有する焼
結体であって、前記化合物がＣａＯとして０．１〜４重
量％、Ｙ＿２Ｏ＿３として０．２〜１０重量％含み、Ｃ
ａＯ及びＹ＿２Ｏ＿３として結合する酸素量を焼結体の
全酸素量から差し引いた残りの酸素量が３重量％以下で
あり、且つＳｉ含有量が０．７重量％以下である熱伝導
率が９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、相対密度が９０％以上である
ことを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020779A JPS63190761A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 窒化アルミニウム質焼結体 |
| US07/150,080 US5077245A (en) | 1987-01-30 | 1988-01-29 | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
| US07/770,336 US5154863A (en) | 1985-10-31 | 1991-10-03 | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6174614B1 (en) | 1997-10-30 | 2001-01-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Sintered aluminum nitride body and metallized substrate prepared therefrom |
| US6271163B1 (en) | 1998-07-22 | 2001-08-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
| US6403510B1 (en) | 1999-08-25 | 2002-06-11 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314850A (en) * | 1985-10-31 | 1994-05-24 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride sintered body and production thereof |
| US5242872A (en) * | 1986-07-18 | 1993-09-07 | Tokuyama Soda Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride sintered body |
| US5264388A (en) * | 1988-05-16 | 1993-11-23 | Sumitomo Electric Industries, Inc. | Sintered body of aluminum nitride |
| US5219803A (en) * | 1988-05-16 | 1993-06-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Sintered body of aluminum nitride |
| US5250478A (en) * | 1988-07-28 | 1993-10-05 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride sintered body and process for preparation thereof |
| US5760532A (en) * | 1991-12-26 | 1998-06-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered ceramic body for a spark plug |
| EP0626359B1 (en) * | 1993-05-21 | 2001-07-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body and method for manufacturing the same |
| US5424261A (en) * | 1993-12-22 | 1995-06-13 | The Carborundum Company | Low temperature sintering route for aluminum nitride ceramics |
| US5773377A (en) * | 1993-12-22 | 1998-06-30 | Crystalline Materials Corporation | Low temperature sintered, resistive aluminum nitride ceramics |
| US5541145A (en) * | 1993-12-22 | 1996-07-30 | The Carborundum Company/Ibm Corporation | Low temperature sintering route for aluminum nitride ceramics |
| US5677253A (en) * | 1995-03-30 | 1997-10-14 | Kyocera Corporation | Wafer holding member |
| EP0754661B1 (en) * | 1995-07-19 | 1999-03-10 | Tokuyama Corporation | Aluminium nitride junction structure |
| JP3481778B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2003-12-22 | 京セラ株式会社 | 窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法 |
| EP0970932A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramic base material |
| JP3228924B2 (ja) * | 2000-01-21 | 2001-11-12 | イビデン株式会社 | 半導体製造・検査装置用セラミックヒータ |
| US7741402B2 (en) * | 2007-03-21 | 2010-06-22 | Rohm And Haas Company | Thickener composition and method for thickening aqueous systems |
| JP2009081223A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャック部材 |
| US20140066287A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | CMC Laboratories, Inc. | Low Cost Manufacture of High Reflectivity Aluminum Nitride Substrates |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117160A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS61201668A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-06 | 住友電気工業株式会社 | 高熱伝導窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
| JPS61209959A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-18 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS6241766A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-23 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
| JPS6252180A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62105960A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-16 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62108775A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62138363A (ja) * | 1985-12-07 | 1987-06-22 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62153172A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-08 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62256773A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | 松下電器産業株式会社 | 炭化物と複合酸化物からなる複合焼結体の製造方法 |
| JPS6325278A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-02 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1131195B (de) * | 1959-06-24 | 1962-06-14 | Union Carbide Corp | Vorrichtung zur Herstellung von Aluminiumnitrid |
| GB2127709A (en) * | 1982-10-06 | 1984-04-18 | Univ Edinburgh | Manufacture of aluminium nitride |
| DE3247985C2 (de) * | 1982-12-24 | 1992-04-16 | W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau | Keramischer Träger |
| JPS6071575A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-23 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
| JPS6077176A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS60127208A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-06 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| JPS60151280A (ja) * | 1984-01-19 | 1985-08-09 | 日本電気株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS60151281A (ja) * | 1984-01-19 | 1985-08-09 | 日本電気株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体 |
| US4698320A (en) * | 1984-06-26 | 1987-10-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body |
| JPS6121978A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-30 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| US4672046A (en) * | 1984-10-15 | 1987-06-09 | Tdk Corporation | Sintered aluminum nitride body |
| JPH068220B2 (ja) * | 1984-12-17 | 1994-02-02 | ティーディーケイ株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS61200605A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-05 | 電気化学工業株式会社 | セラミツク高熱伝導体及びその製法 |
| JPS61205670A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS61227967A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-11 | 電気化学工業株式会社 | 高熱伝導性セラミツクス及びその製造法 |
| JPS61261270A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-19 | 日本電気株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS6217076A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-26 | 電気化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム粉末組成物 |
| US4719187A (en) * | 1985-10-10 | 1988-01-12 | Corning Glass Works | Dense sintered bodies of nitride materials |
| JPS62105961A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-16 | 新日本化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造法 |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62020779A patent/JPS63190761A/ja active Pending
-
1988
- 1988-01-29 US US07/150,080 patent/US5077245A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117160A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS61201668A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-06 | 住友電気工業株式会社 | 高熱伝導窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
| JPS61209959A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-18 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS6241766A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-23 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
| JPS6252180A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62105960A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-16 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62108775A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62138363A (ja) * | 1985-12-07 | 1987-06-22 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム組成物 |
| JPS62153172A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-08 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS62256773A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | 松下電器産業株式会社 | 炭化物と複合酸化物からなる複合焼結体の製造方法 |
| JPS6325278A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-02 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6174614B1 (en) | 1997-10-30 | 2001-01-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Sintered aluminum nitride body and metallized substrate prepared therefrom |
| US6271163B1 (en) | 1998-07-22 | 2001-08-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
| US6428741B2 (en) | 1998-07-22 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
| US6403510B1 (en) | 1999-08-25 | 2002-06-11 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5077245A (en) | 1991-12-31 |
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