JPS60127208A - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents

窒化アルミニウム粉末の製造方法

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JPS60127208A
JPS60127208A JP23507583A JP23507583A JPS60127208A JP S60127208 A JPS60127208 A JP S60127208A JP 23507583 A JP23507583 A JP 23507583A JP 23507583 A JP23507583 A JP 23507583A JP S60127208 A JPS60127208 A JP S60127208A
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JP
Japan
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powder
aluminum nitride
mixed powder
nitride powder
aluminum
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JP23507583A
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English (en)
Inventor
Katsutoshi Yoneya
勝利 米屋
Hiroshi Inoue
寛 井上
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
    • C01B21/0722—Preparation by direct nitridation of aluminium

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は窒化アルミニウム粉末の製造方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
窒化アルミニウム（ＡｌＮ　）粉末を合成する方法とし
ては（１）　ｌＬｌの直接窒化法、　（２）　Ｌ１２０
３−Ｃ系の還元窒化法、（３）気相合成法などがある。
本発明は（１）の方法においてあらかじめＡｌＮを添加
し、窒化における発熱反応を有効に利用し。
ＡＪＮを簡易的に合成する方法に関するものである。
通常Ａｌ粉末にＡ／Ｎ粉末を添加しこれを７００〜１０
００℃で合成する方法が知られているが、この場合容器
としてはカーボンを使用するのが通例である。そのため
窒化反応が進む際、急激な発熱反応により２０００℃近
く温度が上昇するので、Ｃが何らかの形でガス状になり
ＬｌＨの粉末を汚染することがしばしば生じ友。これは
ＡｎＮの表面にしみ込み、黒灰色の層を形成するもので
あった。
この原因を究明すべく種々実験、考察を行ないその対策
を検討した。その結果、Ｃ蒸気はＡ７原料が活性である
ことに起因し、これにとシ込み易く、最終的には、　Ａ
−１はＡＪＮに変換してＣとして残存するものであるこ
とが判明した。
〔発明の目的） 本発明は炭素（Ｃ）によシ汚染する事なく、良質な窒化
アルミニウム粉末を得る事の出来る製造方法を提供する
事を目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は第１図の断面概要図に示す如く窒化アルミニウ
ム（ＡｌＮ　）とアルミニウム（Ａｌ）との混金粉末（
１）を窒化合成する窒化アルミニウム粉末の製造方法に
おいて、前記混合粉末上に窒化アルミニウム粉末ｉ　（
２）を設ける事を特徴とする窒化アルミニウム粉末の製
造方法である。
なお本発明方法に用いる混合粉末の配合比は凝集を生じ
る事なく均一に反応させる為に、　ｌＬｌを２０〜８０
重量％、さらには４０〜６０重量％とする事が好ましく
、１ＬｌＮ粉末、　ｆｉ、ｌ粉末共に１０μｍ以下。
さらには５μｍ以下とする事が好ましい。
又窒化合成は均一な反応上６００〜１１００℃、好まし
くは７００〜９００℃の焼成温度とし、　Ｎ２　ｒ　Ｎ
２−Ｎ２等の窒素気流中で行なわれる。
さらに混合粉末上に設けられる窒化アルミニウム粉末層
の厚さは製造されるＡｌＮ粉末の黒灰色化を防止する為
に２ｗ以上であればよく、実用上は収率等を考慮し２〜
８ｆｉ程度とする事が好ましい。
なお第１図中（３）は容器を、（４）は反応管を。
（５）は発熱体をそれぞれ示す。
〔発明の実施例〕
平均粒径２．５μｍのへｌＮ粉末と２．２μｍのＡ、ｌ
粉末をそれぞれ２００ｖづつ用意しこれを混合液５０９
カーボン容器（５０Ｘ２０Ｘ１００の内側寸法ボート）
Ｋ入れ、その上に約５關の１ｙｌＮ粉末層をおおった。
これを窒素ガス６００　ｔ、ｌｈ流通しつつ７００′Ｃ
Ｋ加熱１時間保持した後冷却した。比較例として同じ様
に採取装着したものでＡ、ｌＮ粉末をおおわないものに
ついても行なった。本発明方法によるものは表面が明白
な灰白色を呈したのに反し、　ＬｌＮ粉を用いないもの
は表面が７Ｉｌｌｌｌ＋に及んで黒灰色を呈し発明の効
果が十分部められた。
その他の組成原料及び条件について同様な結果がみとめ
られた。
尚、原料としてはｋｌ！Ｎ−１Ｌｌ系に少量の添加物が
含まれていても何ら本発明に支障をきたすものではなか
った。
〔発明の効果〕
以上の結果から明らかな如く本発明方法を用いる事によ
り、ＡｌＮ粉末、　Ａｌ粉末の窒化反応時に製造される
ＩｙｌＮ粉末が炭素（Ｃ）により汚染されて黒灰色化す
る事なく、優れた窒化アルミニウム粉末を得る事ができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明方法を用いた装置例を示す断面概要図。 １・・・混合粉末 ２・・・Ａ／Ｎ粉末層 代理人　弁理士　則近憲佑　（他１名）第１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 窒化アルミニウムとアルミニウムとの混合粉末を窒化合
    成する窒化アルミニウム粉末の製造方法において、前記
    混合粉末上に窒化アルミニウム粉末層を設ける事を特徴
    とする窒化アルミニウム粉末の製造方法。
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