JPS61200605A - セラミツク高熱伝導体及びその製法 - Google Patents
セラミツク高熱伝導体及びその製法Info
- Publication number
- JPS61200605A JPS61200605A JP60040823A JP4082385A JPS61200605A JP S61200605 A JPS61200605 A JP S61200605A JP 60040823 A JP60040823 A JP 60040823A JP 4082385 A JP4082385 A JP 4082385A JP S61200605 A JPS61200605 A JP S61200605A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- group
- thermal conductivity
- nitride powder
- ceramic high
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は窒化アルミニウム系セラミック高熱伝導体及び
その製法、更に詳しくは周期律表第ｉａ族と第■入族の
元素を含有する複合窒化物を窒化アルミニウムの焼結助
剤とした成形焼結体からなり、しかも窒化アルミニウム
の本来の熱＠導性を具備したセラミック高熱伝導体及び
その＠法に関する。
その製法、更に詳しくは周期律表第ｉａ族と第■入族の
元素を含有する複合窒化物を窒化アルミニウムの焼結助
剤とした成形焼結体からなり、しかも窒化アルミニウム
の本来の熱＠導性を具備したセラミック高熱伝導体及び
その＠法に関する。
近年、電子部品の小型化即ち軽薄短小化に伴ない優れ良
熱伝導性をもつ絶縁基板材料の要求が頬〈なってきてい
る。一般に熱伝導性の良い基板に回路を作製し九場合、
塔載された素子から発生する熱は効率的に放熱されるの
で、電子部品の小型化、高出力化が可能となる。
熱伝導性をもつ絶縁基板材料の要求が頬〈なってきてい
る。一般に熱伝導性の良い基板に回路を作製し九場合、
塔載された素子から発生する熱は効率的に放熱されるの
で、電子部品の小型化、高出力化が可能となる。
従来、絶縁放熱用セラミック基板として酸化ベリリウム
が用いられているが、毒性の点で問題があり現在その利
用範囲は限定されている。
が用いられているが、毒性の点で問題があり現在その利
用範囲は限定されている。
その代替として酸化アルミニウム、ボロンナイトライド
或いは炭化ケイ素、窒化アルミニウム焼結体などが提案
されている。しかし酸化アルミニウムは熱伝導性が患＜
、電子部品の軽薄短小化には不適当である。特に放熱を
問題とする電子部品等の分野には使用できない。ボロン
ナイトライドは熱伝導性が優れているが、高価でるるこ
と及びメタライズが離しいなどの理由からその用途が制
限されている。これらのセラミック材料の中で炭化ケイ
素は、最も優れた熱伝導性をもつが、絶縁性が極端に低
いため前記のものと同様に用途が限られ、又ホットプレ
ス成型のため価格が高いという問題がめつ九。これらに
対し、窒化アルミニウムは本来瘤焼結性の材料であるが
、良好な焼結助剤さえ見付けることができれば゛酸化ア
ルミニウムと同様の常圧焼結で基板を製造することが可
能となり、安価で且つ機械的強度にすぐれ、さらにその
熱伝導性は酸化アルミニウムの３倍以上でおることから
基板材料として利用される可能性は大である。
或いは炭化ケイ素、窒化アルミニウム焼結体などが提案
されている。しかし酸化アルミニウムは熱伝導性が患＜
、電子部品の軽薄短小化には不適当である。特に放熱を
問題とする電子部品等の分野には使用できない。ボロン
ナイトライドは熱伝導性が優れているが、高価でるるこ
と及びメタライズが離しいなどの理由からその用途が制
限されている。これらのセラミック材料の中で炭化ケイ
素は、最も優れた熱伝導性をもつが、絶縁性が極端に低
いため前記のものと同様に用途が限られ、又ホットプレ
ス成型のため価格が高いという問題がめつ九。これらに
対し、窒化アルミニウムは本来瘤焼結性の材料であるが
、良好な焼結助剤さえ見付けることができれば゛酸化ア
ルミニウムと同様の常圧焼結で基板を製造することが可
能となり、安価で且つ機械的強度にすぐれ、さらにその
熱伝導性は酸化アルミニウムの３倍以上でおることから
基板材料として利用される可能性は大である。
窒化アルミニウムの焼結助剤としては、例えば、周期律
表第１１ｉａ族元素の酸化物或いは第ＩＩａ族元素の酸
化物などを焼結助剤として用いることが提案されている
。（特開昭５７−５６３８４号、特開昭５４−１００４
１０号）これらはいずれも酸化物を助剤としているので
、得られた窒化アルミニウムの焼結体の熱伝導率は高嵩
７０ ｗ／ｍＫ程度で、窒化アルミニウムの理論熱伝導
率３００ ｗ／ｍｋ に対してはほど遠い値のもので
おる。（特開５７−５６３８４号）これを改善するため
酸化ぺＩＪ １７ウム或いは炭化ケイ素と複合させるな
ど種々の試みがめるが、これらは熱伝導性は良いがホッ
トプレス成形しなければならず実用的ではなく、また酸
化べ１７１Ｊウムは毒性の点から使用材料が得られない
のができないという現状でめる。（特開昭５７−１８１
３５６号）本発明の目的はこれまで利用されている酸化
物系の焼結助剤を用いずに、非酸化物特に複合窒化物を
焼結助剤として用い高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
を得ることでおる。一般的にイオン結合性の強い酸化物
は緻密化などの効果はめるが、熱伝導率を向上させる目
的には不適当でおる。
表第１１ｉａ族元素の酸化物或いは第ＩＩａ族元素の酸
化物などを焼結助剤として用いることが提案されている
。（特開昭５７−５６３８４号、特開昭５４−１００４
１０号）これらはいずれも酸化物を助剤としているので
、得られた窒化アルミニウムの焼結体の熱伝導率は高嵩
７０ ｗ／ｍＫ程度で、窒化アルミニウムの理論熱伝導
率３００ ｗ／ｍｋ に対してはほど遠い値のもので
おる。（特開５７−５６３８４号）これを改善するため
酸化ぺＩＪ １７ウム或いは炭化ケイ素と複合させるな
ど種々の試みがめるが、これらは熱伝導性は良いがホッ
トプレス成形しなければならず実用的ではなく、また酸
化べ１７１Ｊウムは毒性の点から使用材料が得られない
のができないという現状でめる。（特開昭５７−１８１
３５６号）本発明の目的はこれまで利用されている酸化
物系の焼結助剤を用いずに、非酸化物特に複合窒化物を
焼結助剤として用い高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
を得ることでおる。一般的にイオン結合性の強い酸化物
は緻密化などの効果はめるが、熱伝導率を向上させる目
的には不適当でおる。
一方窒化物は反対に共有結合性がつよく熱伝導性にすぐ
れているため、窒化アルミニウム或いはボロンナイトラ
イドなどの材料が現に注目されている。本発明はか＼る
点に着目し、熱伝導性の良い窒化物を焼結助剤に用いる
べく研究を行った結果本発明に到達したものである。
れているため、窒化アルミニウム或いはボロンナイトラ
イドなどの材料が現に注目されている。本発明はか＼る
点に着目し、熱伝導性の良い窒化物を焼結助剤に用いる
べく研究を行った結果本発明に到達したものである。
本発明は窒化アルミニウム粉末に対し、周期律光の第■
＆族元累と第■３＝族元素を含有する複合窒化物粉末を
０．５〜１５１ｊＬｉ１％配合した成形物の焼結体から
なる電化アルミニウム系セラミック高熱伝導体（第１発
明）であり、また窒化アルミニウム粉末に対し、周期律
表第１１ａｇと第■友族の元素を含有する複合窒化物粉
末を℃で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム系
セラミック高熱伝導体の製法（第２発明）である。
＆族元累と第■３＝族元素を含有する複合窒化物粉末を
０．５〜１５１ｊＬｉ１％配合した成形物の焼結体から
なる電化アルミニウム系セラミック高熱伝導体（第１発
明）であり、また窒化アルミニウム粉末に対し、周期律
表第１１ａｇと第■友族の元素を含有する複合窒化物粉
末を℃で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム系
セラミック高熱伝導体の製法（第２発明）である。
以下さらに本発明の詳細な説明する。
本発明に用いられる窒化物として周期律表の第ＩＩａ族
元素例えはＣａ 、 ＭＷ ＃ Ｓｒなどと周期律＃Ｉ
！第［ｌｂ族元素例えばＢ、ＡｊＬ／３ビからなる複合
窒化物を用いるが、入手出来ない場合は後記方法で合成
し、得られた複合窒化＠ｔ−焼結助剤とする。これらを
窒化アルミニウム粉末に配合成形した恢、その成形体を
非酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃で常
圧または加圧焼結する。温度を前記のＬうに限定した理
由はこの範囲外では所望のものが得られないからである
。
元素例えはＣａ 、 ＭＷ ＃ Ｓｒなどと周期律＃Ｉ
！第［ｌｂ族元素例えばＢ、ＡｊＬ／３ビからなる複合
窒化物を用いるが、入手出来ない場合は後記方法で合成
し、得られた複合窒化＠ｔ−焼結助剤とする。これらを
窒化アルミニウム粉末に配合成形した恢、その成形体を
非酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃で常
圧または加圧焼結する。温度を前記のＬうに限定した理
由はこの範囲外では所望のものが得られないからである
。
複合窒化物の合成は周期律表第Ｕ ａ族の金属又は水素
化物と周期律六ｍ ＩＩＩ ｂ族の窒化物或いは金属を
所定量配合した後、債素或いはアンモニアガス等の不活
性ガス雰囲気下、温度６００〜１２５０℃で反応させれ
ばよい。
化物と周期律六ｍ ＩＩＩ ｂ族の窒化物或いは金属を
所定量配合した後、債素或いはアンモニアガス等の不活
性ガス雰囲気下、温度６００〜１２５０℃で反応させれ
ばよい。
さらに説明すると、周期律表第１ｉｔ族元素の水素化物
例えばＣａＨｌ 又は金属例えばＭｇと周期律表第■
【親族元素の窒化物とを鼠化させる。例えはｃａＨ，或
いはＭｇとＡｔＮ或いはＢＮとをそれぞれモル比で３対
２０割合で混会し、温度１０００℃、Ｎ、中２時間反応
を行なうことにより得ることが出来る。カルシウムの窒
化物例えばＣａ、Ｎ１は比較的不安定な化合物のため■
Ｌ族窒化物の量を前記割合より若干多くして合成を行な
うことが好ましい。出来た複合窒化物の固定はＸ線回折
で行えばよい。なおＣａ−ＡＮ系、ＭＰ−ＡＩ！系。
例えばＣａＨｌ 又は金属例えばＭｇと周期律表第■
【親族元素の窒化物とを鼠化させる。例えはｃａＨ，或
いはＭｇとＡｔＮ或いはＢＮとをそれぞれモル比で３対
２０割合で混会し、温度１０００℃、Ｎ、中２時間反応
を行なうことにより得ることが出来る。カルシウムの窒
化物例えばＣａ、Ｎ１は比較的不安定な化合物のため■
Ｌ族窒化物の量を前記割合より若干多くして合成を行な
うことが好ましい。出来た複合窒化物の固定はＸ線回折
で行えばよい。なおＣａ−ＡＮ系、ＭＰ−ＡＩ！系。
Ｂ系はＡＳＴＭカードがないため同定はできないが、新
規なピークにより確認できる。また複合窒化物は空気中
長時間おくと加水分解を受けるなど不安定であり、Ｎｔ
シール等不活性ガス雰囲気下に保存することが好ま
しい。又これらの粉砕等の処理を行なう場合も不活性ガ
ス雰囲気下または有機溶剤中で実施するなど処理雰囲気
に注意が必要である。
規なピークにより確認できる。また複合窒化物は空気中
長時間おくと加水分解を受けるなど不安定であり、Ｎｔ
シール等不活性ガス雰囲気下に保存することが好ま
しい。又これらの粉砕等の処理を行なう場合も不活性ガ
ス雰囲気下または有機溶剤中で実施するなど処理雰囲気
に注意が必要である。
得られた反応物の粒度は一般的に粗いため、そのま＼焼
結助剤として用いることはできない。
結助剤として用いることはできない。
従ってあらかじめ粉砕し窒化アルミニウム粉末と混合す
るか、或いは窒化アルミニウム粉末と混合し一緒に混合
粉砕する。
るか、或いは窒化アルミニウム粉末と混合し一緒に混合
粉砕する。
窒化アルミニウムに添加する複合窒化物の量は望化アル
ミニウムに対し、０．Ｃｓ〜１５重量％好ましくは１．
０〜５重量％である。０．５重量％未満では緻密化が進
まず、１５重ｔチをこえると焼結体中にクラックが入り
やすいなどの問題がある。
ミニウムに対し、０．Ｃｓ〜１５重量％好ましくは１．
０〜５重量％である。０．５重量％未満では緻密化が進
まず、１５重ｔチをこえると焼結体中にクラックが入り
やすいなどの問題がある。
窒化アルミニウム粉末としては平均粒径が１０μｍ以下
であること、最大粒径１０μｍ工す小さく平均粒径２〜
３μ以下の細かい粒子であることが望ましい。又、窒化
アルミニウムの市販品には酸素或いは金属不純物が含ま
れるが、通冨入手可能な粉末を用いることができる。
であること、最大粒径１０μｍ工す小さく平均粒径２〜
３μ以下の細かい粒子であることが望ましい。又、窒化
アルミニウムの市販品には酸素或いは金属不純物が含ま
れるが、通冨入手可能な粉末を用いることができる。
成型体を得るには前記混合物を作ってからパラフィン等
の有機粘結剤を配合してプレス成形などを行なうか、或
いはクロロ、セン、トリクレン、ＭＥＫ、アルコールな
どの有機溶剤中で有機粘結剤、分散剤、湿潤剤、可塑剤
などの添加剤を同時に配合しボールミル等で湿式粉砕混
合しスラリーとした後、ドクターブレード等の装置によ
りグリーンシートとする方法がめるが、これに限られる
ものではなく、その他公知の手段を川伝ることができる
。
の有機粘結剤を配合してプレス成形などを行なうか、或
いはクロロ、セン、トリクレン、ＭＥＫ、アルコールな
どの有機溶剤中で有機粘結剤、分散剤、湿潤剤、可塑剤
などの添加剤を同時に配合しボールミル等で湿式粉砕混
合しスラリーとした後、ドクターブレード等の装置によ
りグリーンシートとする方法がめるが、これに限られる
ものではなく、その他公知の手段を川伝ることができる
。
焼結は常圧′或いは加圧いずれの方法でも可能で、非酸
化性ガス雰囲気例えば室索、アルゴン雰囲気下、温度１
８００〜２０００℃の範囲で実施される。なお焼結温度
は１７００〜１９００℃が良り好ましく、焼結時間は３
０分〜１８０分好ましくは６０分〜１２０分である。
化性ガス雰囲気例えば室索、アルゴン雰囲気下、温度１
８００〜２０００℃の範囲で実施される。なお焼結温度
は１７００〜１９００℃が良り好ましく、焼結時間は３
０分〜１８０分好ましくは６０分〜１２０分である。
髪化アルミニウムの熱伝導性はそれに含まれる酸素によ
るＡＬＳＩＯＮ、ＡＬＯＮ等低熱伝導性物質の形成のた
めと言われているが、本発明において複合窒化物の効果
の理由は定かではないが、窒化物がより安定な酸化物に
転移する際、窒化アルミニウム中に含まれる酸素を奪い
前記低熱伝導性物質の形成を押えるためと考えられる。
るＡＬＳＩＯＮ、ＡＬＯＮ等低熱伝導性物質の形成のた
めと言われているが、本発明において複合窒化物の効果
の理由は定かではないが、窒化物がより安定な酸化物に
転移する際、窒化アルミニウム中に含まれる酸素を奪い
前記低熱伝導性物質の形成を押えるためと考えられる。
以下本発明の実施例をめげてさらに具体的に説明する。
実施例１
粒度１００メツシユ以下のカルシウムの水素化物と粒度
３２５メツシユ以下の市販窒化アルミニウム粉末或いは
ボロンナイトライド粉末をモル比で３：２．．０５に配
合した後、石英管反応器中窒素雰囲気下温度１，０００
℃２時間反応させた。
３２５メツシユ以下の市販窒化アルミニウム粉末或いは
ボロンナイトライド粉末をモル比で３：２．．０５に配
合した後、石英管反応器中窒素雰囲気下温度１，０００
℃２時間反応させた。
得られた複合窒化物には酸化カルシウム、酸化アルミニ
ウムなどの酸化物及び窒化アルミニウムのないことがＸ
線回折で確認された。これをライカイキ機で粉砕した後
、この複合窒化物（ｃａ＝Ａ１． Ｎ４ ＋ Ｃａｂ
ｇ、 Ｎ４ ）と市販の平均粒径２ｐｍの窒化アルミニ
ウム（２％の酸素を含む）を第１弐に示すｉ合で配合し
たものにポリビニシフ２チラールを６重量部（ブタノー
ルに溶解）添加し、５０圏φ厚み３． Ｏｔｍの円板を
作成した。
ウムなどの酸化物及び窒化アルミニウムのないことがＸ
線回折で確認された。これをライカイキ機で粉砕した後
、この複合窒化物（ｃａ＝Ａ１． Ｎ４ ＋ Ｃａｂ
ｇ、 Ｎ４ ）と市販の平均粒径２ｐｍの窒化アルミニ
ウム（２％の酸素を含む）を第１弐に示すｉ合で配合し
たものにポリビニシフ２チラールを６重量部（ブタノー
ルに溶解）添加し、５０圏φ厚み３． Ｏｔｍの円板を
作成した。
この円板試料を窒素ガス中温度５００℃、３時間加熱処
理し、前記有機物を除去した後、窒素中第１衣に示す条
件で焼結した。得られた成型体の密度、熱伝導率を測定
した結果を第１表に示す。同、熱伝導率測定は理学１１
Ｌ機製レーザーフラッシュ装置により行った。
理し、前記有機物を除去した後、窒素中第１衣に示す条
件で焼結した。得られた成型体の密度、熱伝導率を測定
した結果を第１表に示す。同、熱伝導率測定は理学１１
Ｌ機製レーザーフラッシュ装置により行った。
実施例２
粒度１００メツシユ以下のマグネシウム金属と粒度３２
５メツシユ以下の市販ボロンナイト２イド或いＦｉ窒化
アルミニウムを粉末状でモル比３：２．０５に配合した
後、窒素雰囲気下実施ｆｌＪ １の実験部１と一様に行
った。生成した複合窒化物には酸化物ピークのないこと
をＸ？Ｍ回折にて確認した。生成した複合酸化物（Ｍｆ
ｓ Ｂｓ Ｎ４ ａＭｆｓＡｊ！Ｎ４）と窒化アルミニ
ウム粉末を第２表に示す割合で配合し、この配合物１０
０重量部に対しブタノール／トリクレン１／３（Ｉｆ比
）の混合溶剤を７．０重量部添加し更に可塑剤としてブ
チルフタロイルブチルグリコール２重量部、分散剤とし
てトリオレイン緻グリセリン１重量部、粘結付与剤とし
てポリビニルブチラール４重量部を加え、ボールミル中
で４８時間粉粉砕音し粘度１．０万ｅｐ８のスラリーを
作った。しかる後、ドクターブレード装置にかけ厚み１
ＩＩＩＩの巾１５０■のグリーンシートを作成し、グリ
ーンシートから５ｏｘｓｏ形状のシートを打抜いた。
５メツシユ以下の市販ボロンナイト２イド或いＦｉ窒化
アルミニウムを粉末状でモル比３：２．０５に配合した
後、窒素雰囲気下実施ｆｌＪ １の実験部１と一様に行
った。生成した複合窒化物には酸化物ピークのないこと
をＸ？Ｍ回折にて確認した。生成した複合酸化物（Ｍｆ
ｓ Ｂｓ Ｎ４ ａＭｆｓＡｊ！Ｎ４）と窒化アルミニ
ウム粉末を第２表に示す割合で配合し、この配合物１０
０重量部に対しブタノール／トリクレン１／３（Ｉｆ比
）の混合溶剤を７．０重量部添加し更に可塑剤としてブ
チルフタロイルブチルグリコール２重量部、分散剤とし
てトリオレイン緻グリセリン１重量部、粘結付与剤とし
てポリビニルブチラール４重量部を加え、ボールミル中
で４８時間粉粉砕音し粘度１．０万ｅｐ８のスラリーを
作った。しかる後、ドクターブレード装置にかけ厚み１
ＩＩＩＩの巾１５０■のグリーンシートを作成し、グリ
ーンシートから５ｏｘｓｏ形状のシートを打抜いた。
打抜いたシートを三枚積層した後４５０℃２時間窒素雰
曲気下で加熱し有機物を除去した後、温度１８００℃、
窒素ガス中で常圧焼結した。得られた焼結体の密度及び
熱伝導率を測定した。
曲気下で加熱し有機物を除去した後、温度１８００℃、
窒素ガス中で常圧焼結した。得られた焼結体の密度及び
熱伝導率を測定した。
その結果を第２表に示す。
比較例
第２表の実、＠ＮＩＩＬ３２〜４伽に示す条件で行った
以外は実施例１の実１ＫＦｍｌと同様に行つ九。
以外は実施例１の実１ＫＦｍｌと同様に行つ九。
その結果も第２表に示す。
（１） ｆｅｒＬい複合窒化物を助剤とすることによ
り、従来到達できなかった１ ００ ｗ／ｍｋの熱伝導
率を常圧鋳結で作成できる。
り、従来到達できなかった１ ００ ｗ／ｍｋの熱伝導
率を常圧鋳結で作成できる。
（２）常圧焼結により高熱伝導率のＡｔＮ基板ができる
ので量産によりコストを安く製造できる。
ので量産によりコストを安く製造できる。
特許出願人 電気化学工業株式会社
手続補正書
昭和６０年 ４月 １日
特許庁長官 志 賀 学 殿
ｌ事件の表示
昭和６０年特許願第４０８２３号
２発明の名称
セラミック高熱伝導体及びその製法
３補正をする者
事件との関係 特許出願人
住 所 東京都千代田区有楽町１丁目４番１号５−２
）同第２頁第１行「第■ａ族」を「第ｍｂ族」と訂正す
る。
）同第２頁第１行「第■ａ族」を「第ｍｂ族」と訂正す
る。
５−３）同第５頁において、第７行、ｉ１２行の「第１
ＩＪａ族」をＩ、１ｌＩｌｂ族」と訂正する。
ＩＪａ族」をＩ、１ｌＩｌｂ族」と訂正する。
５−４）同第６頁第１６行「第■ａ族」を「第１１１ｂ
族」と訂正する。
族」と訂正する。
５−５）同第１１頁第１８行「三枚積層した後４５０°
Ｃ２時間」を「三枚積層し、これを温度４５０℃、２時
間、」と訂正する。
Ｃ２時間」を「三枚積層し、これを温度４５０℃、２時
間、」と訂正する。
特許請求の範囲
「（１）窒化アルミニウム粉末に対し、周期律表の第１
Ｉａ族元素と第■ｂ族元素とを含有する複合窒化物粉末
を０．５〜１５重量％配合した成形物の焼結体からなる
窒化アルミニウム系セラミック高熱伝導体。
Ｉａ族元素と第■ｂ族元素とを含有する複合窒化物粉末
を０．５〜１５重量％配合した成形物の焼結体からなる
窒化アルミニウム系セラミック高熱伝導体。
（２） 窒化アルミニウム粉末に対し、周期律表の第
、ＩＩａ族元素と第ｍｂ族元素とを含有する複合窒化物
粉末を０．５〜１５重量％配合した後成形し、その成形
物を非酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃
で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム系セラミ
ック高温熱伝導体の製法。」
、ＩＩａ族元素と第ｍｂ族元素とを含有する複合窒化物
粉末を０．５〜１５重量％配合した後成形し、その成形
物を非酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃
で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム系セラミ
ック高温熱伝導体の製法。」
Claims (2)
- （１）窒化アルミニウム粉末に対し、周期律表の第IIａ
族元素と第IIIａ族元素とを含有する複合窒化物粉末を
０．５〜１５重量％配合した成形物の焼結体からなる窒
化アルミニウム系セラミック高熱伝導体。 - （２）窒化アルミニウム粉末に対し、周期律表の第IIａ
族元素と第IIIａ族元素とを含有する複合窒化物粉末を
０．５〜１５重量％配合した後成形し、その成形物を非
酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃で焼結
することを特徴とする窒化アルミニウム系セラミック高
温熱伝導体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040823A JPS61200605A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | セラミツク高熱伝導体及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040823A JPS61200605A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | セラミツク高熱伝導体及びその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200605A true JPS61200605A (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=12591380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60040823A Pending JPS61200605A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | セラミツク高熱伝導体及びその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61200605A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205670A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| US5077245A (en) * | 1987-01-30 | 1991-12-31 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
| US5124284A (en) * | 1989-06-07 | 1992-06-23 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride sintered body |
| US5154863A (en) * | 1985-10-31 | 1992-10-13 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP60040823A patent/JPS61200605A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205670A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
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