JP3049941B2 - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JP3049941B2 JP3049941B2 JP4135652A JP13565292A JP3049941B2 JP 3049941 B2 JP3049941 B2 JP 3049941B2 JP 4135652 A JP4135652 A JP 4135652A JP 13565292 A JP13565292 A JP 13565292A JP 3049941 B2 JP3049941 B2 JP 3049941B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板、ヒートシン
クおよび半導体パッケージ材料等に使用される高熱伝導
性窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関するものであ
り、特に高熱伝導性、高均一性、高表面平滑性等の特性
を有する黒色窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関す
る。
クおよび半導体パッケージ材料等に使用される高熱伝導
性窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関するものであ
り、特に高熱伝導性、高均一性、高表面平滑性等の特性
を有する黒色窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術およびその課題】近年、ＬＳＩの高集積
化、高密度化、高速化、高出力化に伴い、ＬＳＩから発
生る熱量はますます増加している。そのため、従来の熱
伝導率の低いＡｌ2Ｏ3基板に代わる高熱伝導率を持つ基
板が要求されている。これらの中で窒化アルミニウムは
高熱伝導率に加え、高強度、高絶縁性、低誘電率および
シリコンに近い熱膨張性等の優れた特性を有するため、
特に期待されている。しかしながら窒化アルミニウムは
難焼結性であるため、通常焼結助剤を用いる方法により
緻密な窒化アルミニウム焼結体を得る試みがなされてい
る。従来は、例えば特開昭６２−１５３１７３号公報
「窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法」に開示
されているように、焼結助剤としては希土類酸化物やア
ルカリ土類金属酸化物が用いられており、希土類酸化物
としては特にＹ2Ｏ3がよく用いられている。また、特開
昭６４−１８９７６号公報「黒色窒化アルミニウム焼結
体」に開示されているように、最近では窒化アルミニウ
ム焼結体の焼きムラ、色ムラあるいはパッケージの遮光
という点から遷移金属化合物の添加も行われている。し
かしながら、いずれの場合も緻密化、均一化および高熱
伝導化を同時に満足できるものではない。即ち、以上述
べた焼結助剤系においては、焼結体の緻密化あるいは高
均一化については優れているが、熱伝導率の限界といっ
た問題点があった。
化、高密度化、高速化、高出力化に伴い、ＬＳＩから発
生る熱量はますます増加している。そのため、従来の熱
伝導率の低いＡｌ2Ｏ3基板に代わる高熱伝導率を持つ基
板が要求されている。これらの中で窒化アルミニウムは
高熱伝導率に加え、高強度、高絶縁性、低誘電率および
シリコンに近い熱膨張性等の優れた特性を有するため、
特に期待されている。しかしながら窒化アルミニウムは
難焼結性であるため、通常焼結助剤を用いる方法により
緻密な窒化アルミニウム焼結体を得る試みがなされてい
る。従来は、例えば特開昭６２−１５３１７３号公報
「窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法」に開示
されているように、焼結助剤としては希土類酸化物やア
ルカリ土類金属酸化物が用いられており、希土類酸化物
としては特にＹ2Ｏ3がよく用いられている。また、特開
昭６４−１８９７６号公報「黒色窒化アルミニウム焼結
体」に開示されているように、最近では窒化アルミニウ
ム焼結体の焼きムラ、色ムラあるいはパッケージの遮光
という点から遷移金属化合物の添加も行われている。し
かしながら、いずれの場合も緻密化、均一化および高熱
伝導化を同時に満足できるものではない。即ち、以上述
べた焼結助剤系においては、焼結体の緻密化あるいは高
均一化については優れているが、熱伝導率の限界といっ
た問題点があった。
【０００３】本発明の目的は、このような従来の欠点を
除去して、高熱伝導性、高均一性を有する緻密な窒化ア
ルミニウム焼結体の製造方法を提供することにある。
除去して、高熱伝導性、高均一性を有する緻密な窒化ア
ルミニウム焼結体の製造方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の第１は、窒化ア
ルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を
示す。）で表される希土類タングステン酸塩のうち少な
くとも一種を添加して焼成することを特徴とする窒化ア
ルミニウム焼結体の製造方法である。本発明の第２は、
窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類
元素を示す。）で表される希土類タングステン酸塩のう
ち少なくとも一種と、希土類酸化物のうち少なくとも一
種とを添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニ
ウム焼結体の製造方法である。本発明の第３は、窒化ア
ルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を
示す。）で表される希土類タングステン酸塩のうち少な
くとも一種と、希土類酸化物のうち少なくとも一種と、
酸化タングステンとを添加して焼成することを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
ルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を
示す。）で表される希土類タングステン酸塩のうち少な
くとも一種を添加して焼成することを特徴とする窒化ア
ルミニウム焼結体の製造方法である。本発明の第２は、
窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類
元素を示す。）で表される希土類タングステン酸塩のう
ち少なくとも一種と、希土類酸化物のうち少なくとも一
種とを添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニ
ウム焼結体の製造方法である。本発明の第３は、窒化ア
ルミニウム粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を
示す。）で表される希土類タングステン酸塩のうち少な
くとも一種と、希土類酸化物のうち少なくとも一種と、
酸化タングステンとを添加して焼成することを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
【０００５】本発明の第４は、窒化アルミニウム粉末
に、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタング
ステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種とを
添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼
結体の製造方法である。本発明の第５は、窒化アルミニ
ウム粉末に、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウ
ムタングステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも
一種と、酸化タングステンとを添加して焼成することを
特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
に、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタング
ステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種とを
添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼
結体の製造方法である。本発明の第５は、窒化アルミニ
ウム粉末に、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウ
ムタングステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも
一種と、酸化タングステンとを添加して焼成することを
特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
【０００６】本発明の第６は、窒化アルミニウム粉末
に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表さ
れる希土類タングステン酸塩のうち少なくとも一種と、
組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタングステ
ン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種とを添加
して焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体
の製造方法である。本発明の第７は、窒化アルミニウム
粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を示す。）で
表される希土類タングステン酸塩のうち少なくとも一種
と、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタング
ステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種と、
酸化タングステンとを添加して焼成することを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表さ
れる希土類タングステン酸塩のうち少なくとも一種と、
組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタングステ
ン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種とを添加
して焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体
の製造方法である。本発明の第７は、窒化アルミニウム
粉末に、組成式Ｒ2ＷＯ6（Ｒは希土類元素を示す。）で
表される希土類タングステン酸塩のうち少なくとも一種
と、組成式Ａｌ4Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタング
ステン酸塩と、希土類酸化物のうち少なくとも一種と、
酸化タングステンとを添加して焼成することを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
【０００７】窒化アルミニウム粉末は、不純物が少なく
平均粒径が１０μｍ以下のものが好ましい。また、添加
するＲ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）、Ａｌ4Ｗ5Ｏ21、希土
類酸化物およびＷＯ3等の粉末も平均粒径１０μｍ以下
の細かいものが好ましい。希土類酸化物およびＷＯ
3は、市販されているものを用いた。Ｒ2ＷＯ6は、希土
類酸化物とＷＯ3を所定比で混合後、空気中１６００℃
で熱処理することにより合成し粉砕して用いた。Ａｌ4
Ｗ5Ｏ21はＡｌ2Ｏ3とＷＯ3を所定比で混合後、空気中、
１１００℃で熱処理することにより合成し粉砕して用い
る。上記Ｒ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）、Ａｌ4Ｗ5Ｏ21、
希土類酸化物およびＷＯ3の添加量は合計で０．１〜１
０重量％が好ましい。焼結は非酸化性雰囲気中で行うこ
とが必要であり、雰囲気としては窒素ガス、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス、一酸化炭素ガス、水素ガス、アンモ
ニアガス等あるいはこれらの混合ガスまたは真空中等が
使用される。特に窒素ガスが好ましい。焼成温度は１７
００℃〜２２００℃が良く、特に１８００℃〜２０００
℃が好ましい。
平均粒径が１０μｍ以下のものが好ましい。また、添加
するＲ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）、Ａｌ4Ｗ5Ｏ21、希土
類酸化物およびＷＯ3等の粉末も平均粒径１０μｍ以下
の細かいものが好ましい。希土類酸化物およびＷＯ
3は、市販されているものを用いた。Ｒ2ＷＯ6は、希土
類酸化物とＷＯ3を所定比で混合後、空気中１６００℃
で熱処理することにより合成し粉砕して用いた。Ａｌ4
Ｗ5Ｏ21はＡｌ2Ｏ3とＷＯ3を所定比で混合後、空気中、
１１００℃で熱処理することにより合成し粉砕して用い
る。上記Ｒ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）、Ａｌ4Ｗ5Ｏ21、
希土類酸化物およびＷＯ3の添加量は合計で０．１〜１
０重量％が好ましい。焼結は非酸化性雰囲気中で行うこ
とが必要であり、雰囲気としては窒素ガス、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス、一酸化炭素ガス、水素ガス、アンモ
ニアガス等あるいはこれらの混合ガスまたは真空中等が
使用される。特に窒素ガスが好ましい。焼成温度は１７
００℃〜２２００℃が良く、特に１８００℃〜２０００
℃が好ましい。
【０００８】
【作用】本発明においては、窒化アルミニウムの焼結助
剤として一般に使用されているＹ2Ｏ3よりも融点の低い
Ｒ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）あるいはＡｌ4Ｗ5Ｏ21を添
加剤として使用することにより窒化アルミニウムの焼結
を促進している。また、これらの化合物はＷＯ3よりも
沸点が高く窒化アルミニウムの焼結温度において沸騰す
ることがなく、緻密で均一な黒色窒化アルミニウムの焼
結を可能としている。さらには、原料粉末混合時の分散
性が向上し、結果として焼結体が均一となったことも推
定される。得られた窒化アルミニウム焼結体をＳＥＭお
よびＸ線回折により調べた結果、粒界の異相は主にＲ3
Ａｌ5Ｏ12、ＲＡｌＯ3、Ｒ4Ａｌ2Ｏ9およびＷであり、
均一に分散して存在していることが明らかになった。こ
のようにして、従来技術では不可能であった、高熱伝導
性、高均一性を有する緻密な黒色窒化アルミニウム焼結
体を提供することが可能となる。
剤として一般に使用されているＹ2Ｏ3よりも融点の低い
Ｒ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）あるいはＡｌ4Ｗ5Ｏ21を添
加剤として使用することにより窒化アルミニウムの焼結
を促進している。また、これらの化合物はＷＯ3よりも
沸点が高く窒化アルミニウムの焼結温度において沸騰す
ることがなく、緻密で均一な黒色窒化アルミニウムの焼
結を可能としている。さらには、原料粉末混合時の分散
性が向上し、結果として焼結体が均一となったことも推
定される。得られた窒化アルミニウム焼結体をＳＥＭお
よびＸ線回折により調べた結果、粒界の異相は主にＲ3
Ａｌ5Ｏ12、ＲＡｌＯ3、Ｒ4Ａｌ2Ｏ9およびＷであり、
均一に分散して存在していることが明らかになった。こ
のようにして、従来技術では不可能であった、高熱伝導
性、高均一性を有する緻密な黒色窒化アルミニウム焼結
体を提供することが可能となる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。以
下の実施例では希土類タングステン酸塩および希土類酸
化物としてＹ2ＷＯ6およびＹ2Ｏ3を使用した場合を示し
たが、他のＲ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）および希土類酸
化物を使用した場合もＹ2ＷＯ6およびＹ2Ｏ3と同等の優
れた特性を示した。
下の実施例では希土類タングステン酸塩および希土類酸
化物としてＹ2ＷＯ6およびＹ2Ｏ3を使用した場合を示し
たが、他のＲ2ＷＯ6（Ｒ：希土類元素）および希土類酸
化物を使用した場合もＹ2ＷＯ6およびＹ2Ｏ3と同等の優
れた特性を示した。
【００１０】実施例１ 平均粒径２μｍの窒化アルミニウム粉末に１重量％のＹ
2ＷＯ6を添加し混合した。次にバインダーを加えてシー
ト成形し、成形体を窒素ガス中で加熱しバインダーを除
去した。その後、この成形体を窒素雰囲気中、１８００
℃で５時間焼成して窒化アルミニウム焼結体を得た。得
られた焼結体は緻密で表面平滑性に優れ、体積抵抗率１
０13Ω・ｃｍ以上の高絶縁性を示した。また、焼結体は
焼きムラ、色ムラ等がない高均一性を示した。この焼結
体についてアルキメデス法による密度の測定とレーザー
フラッシュ法による熱伝導率の測定を行い、その結果を
表１に示した。
2ＷＯ6を添加し混合した。次にバインダーを加えてシー
ト成形し、成形体を窒素ガス中で加熱しバインダーを除
去した。その後、この成形体を窒素雰囲気中、１８００
℃で５時間焼成して窒化アルミニウム焼結体を得た。得
られた焼結体は緻密で表面平滑性に優れ、体積抵抗率１
０13Ω・ｃｍ以上の高絶縁性を示した。また、焼結体は
焼きムラ、色ムラ等がない高均一性を示した。この焼結
体についてアルキメデス法による密度の測定とレーザー
フラッシュ法による熱伝導率の測定を行い、その結果を
表１に示した。
【００１１】実施例２〜６ 実施例１と同様に粉末を混合し、バインダーを除去した
後焼成し、窒化アルミニウム焼結体を得た。得られた焼
結体はいずれも緻密かつ均一で平面平滑性に優れ、高絶
縁性を示した。それぞれについて実施例１と同様に添加
剤の組成、焼成条件と共に密度と熱伝導率の結果を表１
に示した。
後焼成し、窒化アルミニウム焼結体を得た。得られた焼
結体はいずれも緻密かつ均一で平面平滑性に優れ、高絶
縁性を示した。それぞれについて実施例１と同様に添加
剤の組成、焼成条件と共に密度と熱伝導率の結果を表１
に示した。
【００１２】比較例１ 実施例１で用いた窒化アルミニウム粉末にＷＯ3を０．
５重量％添加し、実施例１と同様に１８００℃で５時間
焼成して窒化アルミニウム焼結体を作製した。得られた
焼結体はほとんど緻密化していなかった。密度と熱伝導
率の測定結果は表８に示した。
５重量％添加し、実施例１と同様に１８００℃で５時間
焼成して窒化アルミニウム焼結体を作製した。得られた
焼結体はほとんど緻密化していなかった。密度と熱伝導
率の測定結果は表８に示した。
【００１３】比較例２〜８ 実施例１で用いた窒化アルミニウム粉末にＷＯ3を添加
し、実施例１と同様に焼成して窒化アルミニウム焼結体
を作製した。得られた焼結体はいずれの組成、焼結温度
のものも緻密化していなかった。それぞれについて実施
例１と同様に添加剤の組成、焼成条件と共に密度と熱伝
導率の結果を表８に示した。
し、実施例１と同様に焼成して窒化アルミニウム焼結体
を作製した。得られた焼結体はいずれの組成、焼結温度
のものも緻密化していなかった。それぞれについて実施
例１と同様に添加剤の組成、焼成条件と共に密度と熱伝
導率の結果を表８に示した。
【００１４】実施例７〜４２ 実施例１と同様に粉末を混合、バインダーを除去した後
焼成し、窒化アルミニウム焼結体を得た。得られた焼結
体はいずれも緻密かつ均一で表面平滑性に優れ、高絶縁
性を示した。それぞれについて実施例１と同様に添加剤
の組成、焼成条件と共に密度と熱伝導率の結果を表２〜
７に示した。これらの結果から希土類タングステン酸塩
あるいはアルミニウムタングステン酸塩の添加は他の焼
結助剤および着色剤の有無にかかわらず有効であること
が明らかである。
焼成し、窒化アルミニウム焼結体を得た。得られた焼結
体はいずれも緻密かつ均一で表面平滑性に優れ、高絶縁
性を示した。それぞれについて実施例１と同様に添加剤
の組成、焼成条件と共に密度と熱伝導率の結果を表２〜
７に示した。これらの結果から希土類タングステン酸塩
あるいはアルミニウムタングステン酸塩の添加は他の焼
結助剤および着色剤の有無にかかわらず有効であること
が明らかである。
【００１５】比較例９〜１４ 実施例１で用いた窒化アルミニウム粉末にＷＯ3を０．
５重量％とＹ2Ｏ3を表中の量添加し、実施例１と同様に
表中の焼成条件で焼成して窒化アルミニウム焼結体を作
製した。得られた結果は表８に示したが、いずれの試料
も実施例７〜４２に比較して密度、熱伝導率共にやや低
いことが明らかである。また、これらの試料では、いず
れも焼きムラあるいは色ムラが発生していた。
５重量％とＹ2Ｏ3を表中の量添加し、実施例１と同様に
表中の焼成条件で焼成して窒化アルミニウム焼結体を作
製した。得られた結果は表８に示したが、いずれの試料
も実施例７〜４２に比較して密度、熱伝導率共にやや低
いことが明らかである。また、これらの試料では、いず
れも焼きムラあるいは色ムラが発生していた。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【表２】
【００１８】
【表３】
【００１９】
【表４】
【００２０】
【表５】
【００２１】
【表６】
【００２２】
【表７】
【００２３】
【表８】
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
Ｙ2Ｏ3よりも低融点をもつ希土類タングステン酸塩ある
いはアルミニウムタングステン酸塩を添加剤として使用
することにより、均一性、表面平滑性、高絶縁性に優
れ、高密度かつ高熱伝導性を持つ窒化アルミニウム焼結
体を作製することができる。したがって、この作製方法
による窒化アルミニウム焼結体は、絶縁基板、ヒートシ
ンクおよび半導体パッケージ材料等として有用であり、
その工業的価値は極めて高い。
Ｙ2Ｏ3よりも低融点をもつ希土類タングステン酸塩ある
いはアルミニウムタングステン酸塩を添加剤として使用
することにより、均一性、表面平滑性、高絶縁性に優
れ、高密度かつ高熱伝導性を持つ窒化アルミニウム焼結
体を作製することができる。したがって、この作製方法
による窒化アルミニウム焼結体は、絶縁基板、ヒートシ
ンクおよび半導体パッケージ材料等として有用であり、
その工業的価値は極めて高い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/581 ＣＡ（ＳＴＮ)
Claims (7)
- 【請求項１】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2Ｗ
Ｏ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表される希土類タン
グステン酸塩のうち少なくとも一種を添加して焼成する
ことを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - 【請求項２】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2Ｗ
Ｏ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表される希土類タン
グステン酸塩のうち少なくとも一種と、希土類酸化物の
うち少なくとも一種とを添加して焼成することを特徴と
する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - 【請求項３】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2Ｗ
Ｏ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表される希土類タン
グステン酸塩のうち少なくとも一種と、希土類酸化物の
うち少なくとも一種と、酸化タングステンとを添加して
焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製
造方法。 - 【請求項４】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ａｌ4
Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタングステン酸塩と、
希土類酸化物のうち少なくとも一種とを添加して焼成す
ることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方
法。 - 【請求項５】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ａｌ4
Ｗ5Ｏ21で表されるアルミニウムタングステン酸塩と、
希土類酸化物のうち少なくとも一種と、酸化タングステ
ンとを添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニ
ウム焼結体の製造方法。 - 【請求項６】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2Ｗ
Ｏ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表される希土類タン
グステン酸塩のうち少なくとも一種と、組成式Ａｌ4Ｗ5
Ｏ21で表されるアルミニウムタングステン酸塩と、希土
類酸化物のうち少なくとも一種とを添加して焼成するこ
とを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - 【請求項７】 窒化アルミニウム粉末に、組成式Ｒ2Ｗ
Ｏ6（Ｒは希土類元素を示す。）で表される希土類タン
グステン酸塩のうち少なくとも一種と、組成式Ａｌ4Ｗ5
Ｏ21で表されるアルミニウムタングステン酸塩と、希土
類酸化物のうち少なくとも一種と、酸化タングステンと
を添加して焼成することを特徴とする窒化アルミニウム
焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4135652A JP3049941B2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4135652A JP3049941B2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05306174A JPH05306174A (ja) | 1993-11-19 |
| JP3049941B2 true JP3049941B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=15156800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4135652A Expired - Lifetime JP3049941B2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3049941B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-30 JP JP4135652A patent/JP3049941B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05306174A (ja) | 1993-11-19 |
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