JP3183930B2 - 窒化アルミニウム基板の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム基板の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、窒化アルミニウム基板
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、窒化アルミニウム基板を製造する
場合、窒化アルミニウム粉末、バインダ及びイットリア
等の焼結助剤を含むスラリーを用いてグリーンシートが
成形される。グリーンシート上にはタングステンを含む
ペーストを用いて導体回路が形成され、その後、そのグ
リーンシートは窒化アルミニウムの焼結温度付近に加熱
される。これにより、グリーンシートとペーストとが同
時に焼成され、所望の窒化アルミニウム基板が製造され
る。
場合、窒化アルミニウム粉末、バインダ及びイットリア
等の焼結助剤を含むスラリーを用いてグリーンシートが
成形される。グリーンシート上にはタングステンを含む
ペーストを用いて導体回路が形成され、その後、そのグ
リーンシートは窒化アルミニウムの焼結温度付近に加熱
される。これにより、グリーンシートとペーストとが同
時に焼成され、所望の窒化アルミニウム基板が製造され
る。
【０００３】グリーンシートを焼成する際、グリーンシ
ート中にバインダとして残留している遊離炭素の量（残
炭量）が多いと、ペースト中のタングステン（Ｗ）粒子
が炭化して、タングステンカーバイド（ＷＣ，Ｗ2 Ｃ
等）となることが知られている。また、この種の炭化物
はタングステン単体よりも比抵抗が大きいため、その生
成量が多くなると導体回路の抵抗が増大してしまう。
ート中にバインダとして残留している遊離炭素の量（残
炭量）が多いと、ペースト中のタングステン（Ｗ）粒子
が炭化して、タングステンカーバイド（ＷＣ，Ｗ2 Ｃ
等）となることが知られている。また、この種の炭化物
はタングステン単体よりも比抵抗が大きいため、その生
成量が多くなると導体回路の抵抗が増大してしまう。
【０００４】そのため、従来方法では、グリーンシート
を数百℃に加熱し、残留炭素をガス化させること（脱脂
処理）によって、グリーンシート中に含まれる残炭量を
低減させ、上記炭化物の生成を最小限に止めんとしてい
る。
を数百℃に加熱し、残留炭素をガス化させること（脱脂
処理）によって、グリーンシート中に含まれる残炭量を
低減させ、上記炭化物の生成を最小限に止めんとしてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、残炭量の低
減を図るためには、脱脂処理における諸条件（温度、圧
力等）を最適範囲に設定する必要あり、甚だ面倒であっ
た。また、脱脂最適条件を設定できたとしても、残留炭
素を完全になくすことは困難であった。
減を図るためには、脱脂処理における諸条件（温度、圧
力等）を最適範囲に設定する必要あり、甚だ面倒であっ
た。また、脱脂最適条件を設定できたとしても、残留炭
素を完全になくすことは困難であった。
【０００６】また、別の解決策として、ＭｎＯ2 等のよ
うな酸化物を予めグリーンシート中に添加しておく方法
も考えられる。この方法は、グリーンシートの焼成時に
残留炭素と酸化物中の酸素とを反応させ、上記炭化物の
生成を抑制させるというものである。
うな酸化物を予めグリーンシート中に添加しておく方法
も考えられる。この方法は、グリーンシートの焼成時に
残留炭素と酸化物中の酸素とを反応させ、上記炭化物の
生成を抑制させるというものである。
【０００７】しかし、上記方法を適用した場合、還元さ
れた酸化物がグリーンシート中に不純物として残ってし
まうという問題が生じる。従って、酸化物の添加量が多
くなると、窒化アルミニウム基板の有する熱伝導性等の
好適な物性が損なわれる。そのため、添加量には一定の
制約を受け、充分に炭化物の生成を抑制することができ
なかった。
れた酸化物がグリーンシート中に不純物として残ってし
まうという問題が生じる。従って、酸化物の添加量が多
くなると、窒化アルミニウム基板の有する熱伝導性等の
好適な物性が損なわれる。そのため、添加量には一定の
制約を受け、充分に炭化物の生成を抑制することができ
なかった。
【０００８】本発明は上記の事情に鑑みて成されたもの
であり、その目的は、基板の好適な物性を損なうことな
く導体回路中の残炭量を確実に低減させ、それにより導
体回路の低抵抗化を図ることができる窒化アルミニウム
基板の製造方法を提供することにある。
であり、その目的は、基板の好適な物性を損なうことな
く導体回路中の残炭量を確実に低減させ、それにより導
体回路の低抵抗化を図ることができる窒化アルミニウム
基板の製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を
添加したスラリーからグリーンシートを成形し、そのグ
リーンシート表面にタングステンペーストを用いて導体
回路を形成した後、前記グリーンシートとタングステン
ペーストを同時に焼成することにより、窒化アルミニウ
ム基板を製造する方法において、前記窒化アルミニウム
粉末は１．０重量％以上の酸素を含み、焼結助剤の添加
量は３．０重量％以上であり、前記焼成は仮焼成と本焼
成とに区分して行われ、仮焼成時の温度は１３００℃〜
１６００℃であることを特徴としている。
めに、本発明では、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を
添加したスラリーからグリーンシートを成形し、そのグ
リーンシート表面にタングステンペーストを用いて導体
回路を形成した後、前記グリーンシートとタングステン
ペーストを同時に焼成することにより、窒化アルミニウ
ム基板を製造する方法において、前記窒化アルミニウム
粉末は１．０重量％以上の酸素を含み、焼結助剤の添加
量は３．０重量％以上であり、前記焼成は仮焼成と本焼
成とに区分して行われ、仮焼成時の温度は１３００℃〜
１６００℃であることを特徴としている。
【００１０】
【作用】上記組成のグリーンシートを焼成温度付近に昇
温すると、グリーンシート中のアルミニウム（Ａｌ）
と、イットリア（Ｙ）等のような焼結助剤中の陽イオン
と、グリーンシート及び焼結助剤中の酸素（Ｏ）とが互
いに反応し、グリーンシート内に、例えばＡｌ，Ｙ，Ｏ
からなる液相が形成される。また、本発明によると、形
成される液相の量は、通常窒化アルミニウム粒子の焼結
に必要な量よりも多めになる。
温すると、グリーンシート中のアルミニウム（Ａｌ）
と、イットリア（Ｙ）等のような焼結助剤中の陽イオン
と、グリーンシート及び焼結助剤中の酸素（Ｏ）とが互
いに反応し、グリーンシート内に、例えばＡｌ，Ｙ，Ｏ
からなる液相が形成される。また、本発明によると、形
成される液相の量は、通常窒化アルミニウム粒子の焼結
に必要な量よりも多めになる。
【００１１】その際、前記液相成分中の酸素がグリーン
シート中の残留炭素に作用して、残留炭素をガス化（Ｃ
Ｏ，ＣＯ2 ）する。このように、残留炭素がガス化され
た形でグリーンシートの外部に放出されることにより、
グリーンシート中の残炭量の低減が図られる。その結
果、ペースト中のタングステンカーバイドの生成が抑制
され、導体回路の低抵抗化が達成される。
シート中の残留炭素に作用して、残留炭素をガス化（Ｃ
Ｏ，ＣＯ2 ）する。このように、残留炭素がガス化され
た形でグリーンシートの外部に放出されることにより、
グリーンシート中の残炭量の低減が図られる。その結
果、ペースト中のタングステンカーバイドの生成が抑制
され、導体回路の低抵抗化が達成される。
【００１２】また、液相成分はグリーンシート焼結時に
おける窒化アルミニウムの粒成長に伴って外部に滲出し
てしまう。そのため、窒化アルミニウム基板の好適な熱
伝導性が損なわれることがない。
おける窒化アルミニウムの粒成長に伴って外部に滲出し
てしまう。そのため、窒化アルミニウム基板の好適な熱
伝導性が損なわれることがない。
【００１３】ここで、前記窒化アルミニウム粉末の酸素
含有量及び焼結助剤の添加量は、上記の分量以上である
ことが必須である。これらが上記分量未満であると、液
相の生成量が不足してしまい、残留炭素の酸化反応に関
与する酸素量を充分に確保することができない。
含有量及び焼結助剤の添加量は、上記の分量以上である
ことが必須である。これらが上記分量未満であると、液
相の生成量が不足してしまい、残留炭素の酸化反応に関
与する酸素量を充分に確保することができない。
【００１４】以下に本発明の窒化アルミニウム基板の製
造方法について工程順に説明する。グリーンシートを製
造する場合、窒化アルミニウム粉末にはバインダ及び焼
結助剤等が添加され、それらを所定時間混練することに
よりスラリーが製造される。
造方法について工程順に説明する。グリーンシートを製
造する場合、窒化アルミニウム粉末にはバインダ及び焼
結助剤等が添加され、それらを所定時間混練することに
よりスラリーが製造される。
【００１５】窒化アルミニウム粉末の酸素含有量を１．
０重量％以上にする手段としては、例えば、元々の酸素
含有量の高い粉末を使用する方法がある。このような粉
末では、酸素は窒化アルミニウム粒子の表面にてアルミ
ナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）として存在している。また、前記スラ
リーを混合した場合、粉末が壊砕されることによってそ
の表面積が増加し、多くの酸素が吸着されることが知ら
れている。従って、スラリーの混練時間等を適宜調整す
る方法によっても、同様に前記酸素含有量を増加させる
ことが可能である。
０重量％以上にする手段としては、例えば、元々の酸素
含有量の高い粉末を使用する方法がある。このような粉
末では、酸素は窒化アルミニウム粒子の表面にてアルミ
ナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）として存在している。また、前記スラ
リーを混合した場合、粉末が壊砕されることによってそ
の表面積が増加し、多くの酸素が吸着されることが知ら
れている。従って、スラリーの混練時間等を適宜調整す
る方法によっても、同様に前記酸素含有量を増加させる
ことが可能である。
【００１６】前記スラリーはシート成形法等の常法に従
って所定形状のグリーンシートに成形され、その後、そ
のグリーンシートには数百℃の温度下にて脱脂が施され
る。次いで、前記グリーンシートはるつぼ内に装入され
た後、不活性雰囲気の下、所定時間及び所定温度にて焼
成が施される。
って所定形状のグリーンシートに成形され、その後、そ
のグリーンシートには数百℃の温度下にて脱脂が施され
る。次いで、前記グリーンシートはるつぼ内に装入され
た後、不活性雰囲気の下、所定時間及び所定温度にて焼
成が施される。
【００１７】このとき、焼成は仮焼成と本焼成とに区分
して行われることが望ましい。仮焼成時及び本焼成時の
温度は、それぞれ１３００℃〜１６００℃，１７５０℃
〜１９００℃であることが好ましい。また、本焼成の焼
成時間は３０分〜１０時間であることが好ましく、更に
は１時間〜５時間であることが良い。尚、仮焼成及び本
焼成を行う際には、上述のように温度及び時間を設定す
ることに加えて、昇温割合及び降温割合等も好適範囲に
設定することができる。
して行われることが望ましい。仮焼成時及び本焼成時の
温度は、それぞれ１３００℃〜１６００℃，１７５０℃
〜１９００℃であることが好ましい。また、本焼成の焼
成時間は３０分〜１０時間であることが好ましく、更に
は１時間〜５時間であることが良い。尚、仮焼成及び本
焼成を行う際には、上述のように温度及び時間を設定す
ることに加えて、昇温割合及び降温割合等も好適範囲に
設定することができる。
【００１８】仮焼成時の温度が１３００℃未満である
と、グリーンシート内に液相が充分生成されない。一
方、この温度が１６００℃を越えると、グリーンシート
が焼結を開始してしまう。
と、グリーンシート内に液相が充分生成されない。一
方、この温度が１６００℃を越えると、グリーンシート
が焼結を開始してしまう。
【００１９】本焼成時の温度及び時間が前記範囲未満で
あると、グリーンシートを充分に焼結することができな
い。一方、本焼成時の温度及び時間が前記範囲を越える
と、グリーンシートより液相が滲出して、メタライズ強
度を低下させる原因となる。
あると、グリーンシートを充分に焼結することができな
い。一方、本焼成時の温度及び時間が前記範囲を越える
と、グリーンシートより液相が滲出して、メタライズ強
度を低下させる原因となる。
【００２０】尚、本焼成前のグリーンシートの表面には
従来公知のタングステンペーストがスクリーン印刷等の
常法に従って印刷され、その部分に所望の導体回路のパ
ターンが形成される。この場合、予めグリーンシートに
スルーホール形成用孔を透設しておき、印刷によってそ
の孔に上記ペーストを充填することにより、スルーホー
ル内導体回路を形成しても良い。
従来公知のタングステンペーストがスクリーン印刷等の
常法に従って印刷され、その部分に所望の導体回路のパ
ターンが形成される。この場合、予めグリーンシートに
スルーホール形成用孔を透設しておき、印刷によってそ
の孔に上記ペーストを充填することにより、スルーホー
ル内導体回路を形成しても良い。
【００２１】上記の諸工程を経ることにより、タングス
テンからなる導体回路を備えた所望の窒化アルミニウム
基板が製造される。
テンからなる導体回路を備えた所望の窒化アルミニウム
基板が製造される。
【００２２】
【実施例及び比較例】以下、本発明を具体化した一実施
例について図面に基づき詳細に説明する。実施例１で
は、平均粒径が１．８μｍ，酸素含有量が１．５重量％
の窒化アルミニウム粉末（東洋アルミニウム製：商品名
ＵＦグレード）を使用した。この窒化アルミニウム粉末
に対し、アクリル系バインダを１１重量％と、焼結助剤
としてのイットリア粉末を５．０重量％と、適量の分散
剤及び添加剤等とを添加した。そして、この混合物をボ
ールミル等を用いて２４時間混練することにより、高粘
度のスラリーを製造した。このスラリーの状態では、窒
化アルミニウム粉末中の酸素含有量は１．８重量％であ
る。
例について図面に基づき詳細に説明する。実施例１で
は、平均粒径が１．８μｍ，酸素含有量が１．５重量％
の窒化アルミニウム粉末（東洋アルミニウム製：商品名
ＵＦグレード）を使用した。この窒化アルミニウム粉末
に対し、アクリル系バインダを１１重量％と、焼結助剤
としてのイットリア粉末を５．０重量％と、適量の分散
剤及び添加剤等とを添加した。そして、この混合物をボ
ールミル等を用いて２４時間混練することにより、高粘
度のスラリーを製造した。このスラリーの状態では、窒
化アルミニウム粉末中の酸素含有量は１．８重量％であ
る。
【００２３】シート成形法に従って前記スラリーからグ
リーンシートを成形した後、グリーンシートに通常良く
使用されているタングステンペーストをスクリーン印刷
して、その表面に所望の導体回路のパターンを形成し
た。その後、グリーンシートを必要枚数積層し、圧着を
行った。そして、そのグリーンシートを窒素雰囲気で満
たされたるつぼ内に装入し、脱脂処理を行った。図１に
は、脱脂の際の温度プロファイルが示されている。即
ち、グリーンシートが第１の脱脂温度（３５０℃）に達
するまでは０．５℃／分の割合で昇温し、その温度にて
１０時間保持した。その後、第２の脱脂温度（８５０
℃）に達するまでは５℃／分の割合で昇温し、その温度
で１０時間保持した。
リーンシートを成形した後、グリーンシートに通常良く
使用されているタングステンペーストをスクリーン印刷
して、その表面に所望の導体回路のパターンを形成し
た。その後、グリーンシートを必要枚数積層し、圧着を
行った。そして、そのグリーンシートを窒素雰囲気で満
たされたるつぼ内に装入し、脱脂処理を行った。図１に
は、脱脂の際の温度プロファイルが示されている。即
ち、グリーンシートが第１の脱脂温度（３５０℃）に達
するまでは０．５℃／分の割合で昇温し、その温度にて
１０時間保持した。その後、第２の脱脂温度（８５０
℃）に達するまでは５℃／分の割合で昇温し、その温度
で１０時間保持した。
【００２４】次いで、前記グリーンシートを５℃／分の
割合で前記脱脂温度から仮焼成温度（１５５０℃）まで
昇温し、かつその温度にて５時間保持した後、グリーン
シートを常温まで放冷した（図１参照）。
割合で前記脱脂温度から仮焼成温度（１５５０℃）まで
昇温し、かつその温度にて５時間保持した後、グリーン
シートを常温まで放冷した（図１参照）。
【００２５】更に、このようなグリーンシートを再びる
つぼ内に装入し、窒素雰囲気下で所定の本焼成を行っ
た。図２には、本焼成の際の温度プロファイルが示され
ている。即ち、本焼成温度（１８５０℃）に達するまで
は１０℃／分の割合で昇温し、１８５０℃に達した後に
５時間保持した。そして、１５００℃までは１℃／分の
割合で降温し、その温度以降は放冷した。
つぼ内に装入し、窒素雰囲気下で所定の本焼成を行っ
た。図２には、本焼成の際の温度プロファイルが示され
ている。即ち、本焼成温度（１８５０℃）に達するまで
は１０℃／分の割合で昇温し、１８５０℃に達した後に
５時間保持した。そして、１５００℃までは１℃／分の
割合で降温し、その温度以降は放冷した。
【００２６】上記の諸工程を経ることにより、タングス
テンからなる導体回路を備えた所望の窒化アルミニウム
基板を得た。この基板の特性を評価するために、仮焼成
後におけるグリーンシート中の残炭量（％）、基板のシ
ート抵抗値（ｍΩ／□）及び基板の熱伝導率（Ｗ／ｍ
Ｋ）の各項目について測定を行った。その結果を表１に
示す。
テンからなる導体回路を備えた所望の窒化アルミニウム
基板を得た。この基板の特性を評価するために、仮焼成
後におけるグリーンシート中の残炭量（％）、基板のシ
ート抵抗値（ｍΩ／□）及び基板の熱伝導率（Ｗ／ｍ
Ｋ）の各項目について測定を行った。その結果を表１に
示す。
【００２７】実施例２では、スラリー混練後における窒
化アルミニウム粉末中の酸素含有量を２．１重量％、イ
ットリアの添加量を５．０重量％として、グリーンシー
トを成形した。また、実施例３及び実施例４では、前記
粉末中の酸素含有量をそれぞれ２．１重量％，１．８重
量％に、イットリアの添加量をそれぞれ７．０重量％，
３．０重量％として、グリーンシートを成形した。
化アルミニウム粉末中の酸素含有量を２．１重量％、イ
ットリアの添加量を５．０重量％として、グリーンシー
トを成形した。また、実施例３及び実施例４では、前記
粉末中の酸素含有量をそれぞれ２．１重量％，１．８重
量％に、イットリアの添加量をそれぞれ７．０重量％，
３．０重量％として、グリーンシートを成形した。
【００２８】更に、前記各実施例１〜４に対する比較例
１及び比較例２では、前記粉末中の酸素含有量を共に
０．８重量％に、イットリアの添加量をそれぞれ３．０
重量％，１．０重量％として、グリーンシートを成形し
た。尚、各実施例２〜４及び各比較例１，２の各グリー
ンシートから基板を製造するまでの工程については、全
て前記実施例１の工程に従った。
１及び比較例２では、前記粉末中の酸素含有量を共に
０．８重量％に、イットリアの添加量をそれぞれ３．０
重量％，１．０重量％として、グリーンシートを成形し
た。尚、各実施例２〜４及び各比較例１，２の各グリー
ンシートから基板を製造するまでの工程については、全
て前記実施例１の工程に従った。
【００２９】これらについて前記実施例１と同様の測定
を行った結果を表１に共に示す。
を行った結果を表１に共に示す。
【００３０】
【表１】
【００３１】表１から明らかなように、仮焼成後におけ
るグリーンシート中の残炭量（重量％）測定した結果、
実施例１〜実施例４では何れも０．０３重量％以下とい
う極めて低い値を示した。それに比して比較例１，２で
は、０．０８重量％，０．０９重量％と高かった。ま
た、基板のシート抵抗値（ｍΩ／□）を測定したとこ
ろ、全ての実施例について比較例１，２の基板のシート
抵抗より低い値となっていた。
るグリーンシート中の残炭量（重量％）測定した結果、
実施例１〜実施例４では何れも０．０３重量％以下とい
う極めて低い値を示した。それに比して比較例１，２で
は、０．０８重量％，０．０９重量％と高かった。ま
た、基板のシート抵抗値（ｍΩ／□）を測定したとこ
ろ、全ての実施例について比較例１，２の基板のシート
抵抗より低い値となっていた。
【００３２】このように導体回路の低抵抗化が達成され
た主な理由としては、グリーンシート中の残炭量が少な
くなった結果、ペーストにおけるタングステンカーバイ
ドの生成が抑制されたためであると考えられる。更に、
カーバイド化したタングステンが生成した液相の酸素と
反応して、ＷＣ，Ｗ2 Ｃになっていることも考えられ
る。
た主な理由としては、グリーンシート中の残炭量が少な
くなった結果、ペーストにおけるタングステンカーバイ
ドの生成が抑制されたためであると考えられる。更に、
カーバイド化したタングステンが生成した液相の酸素と
反応して、ＷＣ，Ｗ2 Ｃになっていることも考えられ
る。
【００３３】基板の熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）を比較した結
果、各実施例１〜４の基板の熱伝導率の値は、比較例１
の値には若干及ばないものの、充分好適な範囲にあるた
め、特に問題はないことが判明した。これは、液相成分
がグリーンシート焼結時における窒化アルミニウムの粒
成長に伴って外部に滲出された結果、基板の好適な物性
が保持されたものと考えられる。
果、各実施例１〜４の基板の熱伝導率の値は、比較例１
の値には若干及ばないものの、充分好適な範囲にあるた
め、特に問題はないことが判明した。これは、液相成分
がグリーンシート焼結時における窒化アルミニウムの粒
成長に伴って外部に滲出された結果、基板の好適な物性
が保持されたものと考えられる。
【００３４】以上の結果を勘案すると、上記各実施例１
〜４の製造方法が比較例１，２の製造方法に比して優れ
ていることが判る。
〜４の製造方法が比較例１，２の製造方法に比して優れ
ていることが判る。
【００３５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の窒化アル
ミニウム基板の製造方法によれば、タングステンからな
る導体回路を表面に備えた所望の窒化アルミニウム基板
が製造され、基板の好適な物性を損なうことなく導体回
路中の残留炭素量を確実に低減させ、それにより導体回
路の低抵抗化を図ることができるという優れた効果を奏
する。
ミニウム基板の製造方法によれば、タングステンからな
る導体回路を表面に備えた所望の窒化アルミニウム基板
が製造され、基板の好適な物性を損なうことなく導体回
路中の残留炭素量を確実に低減させ、それにより導体回
路の低抵抗化を図ることができるという優れた効果を奏
する。
【図１】本発明の窒化アルミニウム基板の製造方法にお
ける脱脂時・仮焼成時の温度プロファイルを示すグラフ
である。
ける脱脂時・仮焼成時の温度プロファイルを示すグラフ
である。
【図２】本発明の窒化アルミニウム基板の製造方法にお
ける本焼成時の温度プロファイルを示すグラフである。
ける本焼成時の温度プロファイルを示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 1/03 610 H05K 3/46 C04B 35/626
Claims (1)
- 【請求項１】窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添加し
たスラリーからグリーンシートを成形し、そのグリーン
シート表面にタングステンペーストを用いて導体回路を
形成した後、前記グリーンシートとタングステンペース
トを同時に焼成することにより、窒化アルミニウム基板
を製造する方法において、 前記窒化アルミニウム粉末は１．０重量％以上の酸素を
含み、焼結助剤の添加量は３．０重量％以上であり、前
記焼成は仮焼成と本焼成とに区分して行われ、仮焼成時
の温度は１３００℃〜１６００℃であることを特徴とす
る窒化アルミニウム基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02973092A JP3183930B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02973092A JP3183930B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226795A JPH05226795A (ja) | 1993-09-03 |
| JP3183930B2 true JP3183930B2 (ja) | 2001-07-09 |
Family
ID=12284223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02973092A Expired - Lifetime JP3183930B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3183930B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8706305B2 (en) | 2008-02-21 | 2014-04-22 | Canadian Space Agency | Feedback control for shape memory alloy actuators |
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|---|---|---|---|---|
| WO2022210520A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | デンカ株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体、及びその製造方法、回路基板、並びに、積層基板 |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP02973092A patent/JP3183930B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8706305B2 (en) | 2008-02-21 | 2014-04-22 | Canadian Space Agency | Feedback control for shape memory alloy actuators |
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