JPH07267739A - 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法Info
- Publication number
- JPH07267739A JPH07267739A JP6058925A JP5892594A JPH07267739A JP H07267739 A JPH07267739 A JP H07267739A JP 6058925 A JP6058925 A JP 6058925A JP 5892594 A JP5892594 A JP 5892594A JP H07267739 A JPH07267739 A JP H07267739A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- green sheet
- weight
- parts
- binder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反り及び寸法バラツキが少ない焼成基板が得
られる窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法を提
供する。 【構成】 窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、分散剤、
バインダー、潤滑剤及び有機溶剤を混合してスラリーと
した後、このスラリーを噴霧乾燥して顆粒状粉末とし、
次いでこの顆粒状粉末をプレス成型してシート化する窒
化アルミニウムグリーンシートの製造方法であって、窒
化アルミニウム粉末１００重量部に対してバインダーを
２〜６重量部含有し、潤滑剤として酸化ポリエチレンワ
ックスを２〜６重量部含有することを特徴としている。
られる窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法を提
供する。 【構成】 窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、分散剤、
バインダー、潤滑剤及び有機溶剤を混合してスラリーと
した後、このスラリーを噴霧乾燥して顆粒状粉末とし、
次いでこの顆粒状粉末をプレス成型してシート化する窒
化アルミニウムグリーンシートの製造方法であって、窒
化アルミニウム粉末１００重量部に対してバインダーを
２〜６重量部含有し、潤滑剤として酸化ポリエチレンワ
ックスを２〜６重量部含有することを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子機器等に使用され
る、熱伝導性に優れる窒化アルミニウム基板の製造に好
適な窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法に関す
る。
る、熱伝導性に優れる窒化アルミニウム基板の製造に好
適な窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ等に代表されるような半導体素子の
高集積化や大電力化が進み、これに伴って放熱性の良い
電気絶縁材料が要求されるようになった。これに応えて
各種の高熱伝導性セラミックス基板が提案され、中でも
窒化アルミニウム基板の実用化が進んでいる。
高集積化や大電力化が進み、これに伴って放熱性の良い
電気絶縁材料が要求されるようになった。これに応えて
各種の高熱伝導性セラミックス基板が提案され、中でも
窒化アルミニウム基板の実用化が進んでいる。
【０００３】従来からセラミックス基板は主として原料
のセラミックス粉末にバインダー（有機樹脂）等を混合
した後、成形してグリーンシートとし、次いで焼成して
製造される。窒化アルミニウムグリーンシートを作製す
る方法としては、特開昭６３−５５１６４号に示されて
いるようにドクターブレード法が一般的であり、原料粉
末、バインダー及び溶剤等を混合してスラリーとし、こ
のスラリーをキャスティングして窒化アルミニウムグリ
ーンシートが製造される。
のセラミックス粉末にバインダー（有機樹脂）等を混合
した後、成形してグリーンシートとし、次いで焼成して
製造される。窒化アルミニウムグリーンシートを作製す
る方法としては、特開昭６３−５５１６４号に示されて
いるようにドクターブレード法が一般的であり、原料粉
末、バインダー及び溶剤等を混合してスラリーとし、こ
のスラリーをキャスティングして窒化アルミニウムグリ
ーンシートが製造される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のドクターブレー
ド法による窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法
により得られたグリーンシートでは、そのグリーンシー
トを用いて、得られる焼成基板の反り及び寸法バラツキ
が大きいという欠点があった。
ド法による窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法
により得られたグリーンシートでは、そのグリーンシー
トを用いて、得られる焼成基板の反り及び寸法バラツキ
が大きいという欠点があった。
【０００５】上記の事情に鑑み、本発明は、反り及び寸
法バラツキが少ない焼成基板が得られる窒化アルミニウ
ムグリーンシートの製造方法を提供することを目的とし
ている。
法バラツキが少ない焼成基板が得られる窒化アルミニウ
ムグリーンシートの製造方法を提供することを目的とし
ている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の窒化アルミニウ
ムグリーンシートの製造方法は、窒化アルミニウム粉
末、焼結助剤、分散剤、バインダー、潤滑剤及び有機溶
剤を混合してスラリーとした後、このスラリーを噴霧乾
燥して顆粒状粉末とし、次いでこの顆粒状粉末をプレス
成型してシート化する窒化アルミニウムグリーンシート
の製造方法であって、窒化アルミニウム粉末１００重量
部に対してバインダーを２〜６重量部含有し、潤滑剤と
して酸化ポリエチレンワックスを２〜６重量部含有する
ことを特徴としている。
ムグリーンシートの製造方法は、窒化アルミニウム粉
末、焼結助剤、分散剤、バインダー、潤滑剤及び有機溶
剤を混合してスラリーとした後、このスラリーを噴霧乾
燥して顆粒状粉末とし、次いでこの顆粒状粉末をプレス
成型してシート化する窒化アルミニウムグリーンシート
の製造方法であって、窒化アルミニウム粉末１００重量
部に対してバインダーを２〜６重量部含有し、潤滑剤と
して酸化ポリエチレンワックスを２〜６重量部含有する
ことを特徴としている。
【０００７】また、バインダーとしてポリビニールブチ
ラールを使用するとよい。本発明の特徴である顆粒状粉
末をプレス成型してシート化する方法によれば、バイン
ダー量をドクターブレード法の場合に比べ少量にするこ
とができるので、反り及び寸法バラツキが小さい焼成基
板を得ることが可能となる。そして、本発明では、潤滑
剤として酸化ポリエチレンワックスを適量だけ使用する
ようにしているので、バインダー量が少なくて、かつ、
グリーンシートの強度が十分にあるグリーンシートが得
られるようになる。
ラールを使用するとよい。本発明の特徴である顆粒状粉
末をプレス成型してシート化する方法によれば、バイン
ダー量をドクターブレード法の場合に比べ少量にするこ
とができるので、反り及び寸法バラツキが小さい焼成基
板を得ることが可能となる。そして、本発明では、潤滑
剤として酸化ポリエチレンワックスを適量だけ使用する
ようにしているので、バインダー量が少なくて、かつ、
グリーンシートの強度が十分にあるグリーンシートが得
られるようになる。
【０００８】本発明の顆粒状粉末は窒化アルミニウム粉
末に例えばＹ2 Ｏ3 、ＣａＯ等の焼結助剤、魚油、界面
活性剤等の分散剤、ポリビニールブチラール、アクリル
系化合物等のバインダー、酸化ポリエチレンワックスよ
りなる潤滑剤及び有機溶剤を均一に混合してスラリーと
した後、このスラリーを噴霧乾燥して製造される。そし
て、バインダーの含有量は窒化アルミニウム粉末１００
重量部に対して２〜６重量部に制限される。２重量部未
満の場合、得られるグリーンシートの強度が弱く、グリ
ーンシートを取り扱う際に、グリーンシートが壊れてし
まうというハンドリング性の問題が生じる。また、６重
量部を越えて添加すると、脱バインダー性が悪くなり、
脱バインダー後の残留カーボンが増大し、高品質の焼成
基板が得られないという問題が生じる。
末に例えばＹ2 Ｏ3 、ＣａＯ等の焼結助剤、魚油、界面
活性剤等の分散剤、ポリビニールブチラール、アクリル
系化合物等のバインダー、酸化ポリエチレンワックスよ
りなる潤滑剤及び有機溶剤を均一に混合してスラリーと
した後、このスラリーを噴霧乾燥して製造される。そし
て、バインダーの含有量は窒化アルミニウム粉末１００
重量部に対して２〜６重量部に制限される。２重量部未
満の場合、得られるグリーンシートの強度が弱く、グリ
ーンシートを取り扱う際に、グリーンシートが壊れてし
まうというハンドリング性の問題が生じる。また、６重
量部を越えて添加すると、脱バインダー性が悪くなり、
脱バインダー後の残留カーボンが増大し、高品質の焼成
基板が得られないという問題が生じる。
【０００９】顆粒状粉末中に潤滑剤がない場合には、プ
レス成型時に、金型内部での顆粒状粉末の滑りが悪く、
存在する空隙に顆粒状粉末が均一に充填されず、従って
均一な組成のグリーンシートが得られないので、本発明
では顆粒状粉末中に潤滑剤を含有させている。そして、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックスを使用すること
により、他の潤滑剤（例えばステアリン酸やオレイン酸
等）を使用した場合に比べ、均一な組成の、強度の強い
グリーンシートが得らるようになる。本発明では、潤滑
剤である酸化ポリエチレンワックスの含有量は窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対して２〜６重量部に制限
される。２重量部未満の場合は、上記に示した潤滑剤を
添加しない場合と同様に、十分な潤滑効果が得られず、
均一な組成のグリーンシートが得られず、粗密が生じる
という問題がある。また、６重量部を越えて添加する
と、混合してスラリーとする際の、チクソ性が強く粘度
の高いものとなり、その結果、噴霧乾燥の際に、ノズル
の詰まりが生じたり、顆粒状粉末の粒径及び形状がコン
トロールできないという問題が生じる。
レス成型時に、金型内部での顆粒状粉末の滑りが悪く、
存在する空隙に顆粒状粉末が均一に充填されず、従って
均一な組成のグリーンシートが得られないので、本発明
では顆粒状粉末中に潤滑剤を含有させている。そして、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックスを使用すること
により、他の潤滑剤（例えばステアリン酸やオレイン酸
等）を使用した場合に比べ、均一な組成の、強度の強い
グリーンシートが得らるようになる。本発明では、潤滑
剤である酸化ポリエチレンワックスの含有量は窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対して２〜６重量部に制限
される。２重量部未満の場合は、上記に示した潤滑剤を
添加しない場合と同様に、十分な潤滑効果が得られず、
均一な組成のグリーンシートが得られず、粗密が生じる
という問題がある。また、６重量部を越えて添加する
と、混合してスラリーとする際の、チクソ性が強く粘度
の高いものとなり、その結果、噴霧乾燥の際に、ノズル
の詰まりが生じたり、顆粒状粉末の粒径及び形状がコン
トロールできないという問題が生じる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて
説明する。 （実施例１〜実施例５）窒化アルミニウム粉末９７重量
部に対し焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散
剤としてアニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商
品名：マリアリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダ
ーとしてポリビニールブチラールを表１に示す重量部、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックス（共栄社油脂化
学工業（株）製、商品名：フローノンSA-300H ）を表１
に示す重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００重量
部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを得
た。なお、前記の酸化ポリエチレンワックスは、ワック
ス分が１０重量％のトルエン溶液であり、酸化ポリエチ
レンワックスの量はワックス分のみの量として配合し
た。次に、得られたスラリーをスプレードライヤーで噴
霧乾燥して顆粒状粉末を得た。次に得られた顆粒状粉末
を成型型に充填し、プレス成型して、７５ｍｍ×７５ｍ
ｍ×０．６３５ｍｍの成型体（グリーンシート）及び４
０ｍｍ×６ｍｍ×１．０ｍｍの成型体（グリーンシー
ト）を成型した。なお成型圧力は前記の成型体１枚に対
しそれぞれ２トンの圧力を加えて行った。
説明する。 （実施例１〜実施例５）窒化アルミニウム粉末９７重量
部に対し焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散
剤としてアニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商
品名：マリアリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダ
ーとしてポリビニールブチラールを表１に示す重量部、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックス（共栄社油脂化
学工業（株）製、商品名：フローノンSA-300H ）を表１
に示す重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００重量
部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを得
た。なお、前記の酸化ポリエチレンワックスは、ワック
ス分が１０重量％のトルエン溶液であり、酸化ポリエチ
レンワックスの量はワックス分のみの量として配合し
た。次に、得られたスラリーをスプレードライヤーで噴
霧乾燥して顆粒状粉末を得た。次に得られた顆粒状粉末
を成型型に充填し、プレス成型して、７５ｍｍ×７５ｍ
ｍ×０．６３５ｍｍの成型体（グリーンシート）及び４
０ｍｍ×６ｍｍ×１．０ｍｍの成型体（グリーンシー
ト）を成型した。なお成型圧力は前記の成型体１枚に対
しそれぞれ２トンの圧力を加えて行った。
【００１１】得られた４０ｍｍ×６ｍｍ×１．０ｍｍの
グリーンシートについて３点曲げ試験によりグリーンシ
ートの強度を測定した。その結果を表２に示す。
グリーンシートについて３点曲げ試験によりグリーンシ
ートの強度を測定した。その結果を表２に示す。
【００１２】次に、７５ｍｍ×７５ｍｍ×０．６３５ｍ
ｍのグリーンシートを大気中５５０℃で３時間保持して
脱バインダー処理を行なった。次いで脱バインダー処理
後の試料を窒素中１８００℃で４時間焼成して焼成基板
を得た。焼成はグリーンシートを１０枚重ねて焼成する
方法で行い、得られた焼成基板のそり及び寸法バラツキ
を測定し、その結果を表２に示した。なお、寸法バラツ
キの測定方法は、各焼成基板毎にたて方向、よこ方向各
３点、計６点の寸法を測定し、得られた６個の数値から
その基板についての平均寸法（平均値）と標準偏差を算
出する。重ねて焼成した１０枚について得られた前記の
平均寸法と標準偏差をさらに平均して、その実施例（１
０枚の平均）についての平均寸法及び標準偏差とする。
そして、この標準偏差（１０枚の平均）の平均寸法（１
０枚の平均）に対する１００分率を算出して寸法バラツ
キ（％）とした。標準偏差はいわゆるσn-1 の値を使用
した。 （比較例１〜比較例７）窒化アルミニウム粉末９７重量
部に対し焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散
剤としてアニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商
品名：マリアリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダ
ーとしてポリビニールブチラールを表１に示す重量部、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックス（共栄社油脂化
学工業（株）製、商品名：フローノンSA-300H ）、ポリ
エチレングリコール、ステアリン酸またはオレイン酸を
表１に示す重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００
重量部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを
得た。そして、以降は実施例１と同様の方法で、７５ｍ
ｍ×７５ｍｍ×０．６３５ｍｍの成型体（グリーンシー
ト）及び４０ｍｍ×６ｍｍ×１．０ｍｍの成型体（グリ
ーンシート）を成型した。但し、比較例１及び比較例３
〜比較例７では表２に示す製造時の問題点があり、満足
なグリーンシートまたは焼成基板が得られなかった。ま
た、比較例２については、得られたグリーンシートを実
施例１と同様に脱バインダー処理を行なったところ、脱
バインダー後の残留カーボンが多いことが確認されたの
で、その後の焼成は行わなかった。 （比較例８）窒化アルミニウム粉末９７重量部に対し焼
結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散剤としてア
ニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商品名：マリ
アリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダーとしてア
クリル系樹脂（共栄社油脂化学工業（株）製、品番：KC
7700B ）１８重量部、可塑剤としてジオクチルフタレー
トを５重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００重量
部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを得
た。このスラリーを用い、ドクターブレード法でシート
状に成型し、次いで乾燥して、厚み０．６３５ｍｍのグ
リーンシートを得た。なお、乾燥は自然乾燥３０分、次
いで４０℃で３０分、次いで６０℃で６０分の条件で行
った。得られたグリーンシートを用いて実施例１と同様
にして、脱バインダー処理及び焼成を行い焼成基板を得
た。得られた焼成基板のそり及び寸法バラツキを実施例
１と同様にして測定し、その結果を表２に示した。
ｍのグリーンシートを大気中５５０℃で３時間保持して
脱バインダー処理を行なった。次いで脱バインダー処理
後の試料を窒素中１８００℃で４時間焼成して焼成基板
を得た。焼成はグリーンシートを１０枚重ねて焼成する
方法で行い、得られた焼成基板のそり及び寸法バラツキ
を測定し、その結果を表２に示した。なお、寸法バラツ
キの測定方法は、各焼成基板毎にたて方向、よこ方向各
３点、計６点の寸法を測定し、得られた６個の数値から
その基板についての平均寸法（平均値）と標準偏差を算
出する。重ねて焼成した１０枚について得られた前記の
平均寸法と標準偏差をさらに平均して、その実施例（１
０枚の平均）についての平均寸法及び標準偏差とする。
そして、この標準偏差（１０枚の平均）の平均寸法（１
０枚の平均）に対する１００分率を算出して寸法バラツ
キ（％）とした。標準偏差はいわゆるσn-1 の値を使用
した。 （比較例１〜比較例７）窒化アルミニウム粉末９７重量
部に対し焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散
剤としてアニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商
品名：マリアリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダ
ーとしてポリビニールブチラールを表１に示す重量部、
潤滑剤として酸化ポリエチレンワックス（共栄社油脂化
学工業（株）製、商品名：フローノンSA-300H ）、ポリ
エチレングリコール、ステアリン酸またはオレイン酸を
表１に示す重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００
重量部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを
得た。そして、以降は実施例１と同様の方法で、７５ｍ
ｍ×７５ｍｍ×０．６３５ｍｍの成型体（グリーンシー
ト）及び４０ｍｍ×６ｍｍ×１．０ｍｍの成型体（グリ
ーンシート）を成型した。但し、比較例１及び比較例３
〜比較例７では表２に示す製造時の問題点があり、満足
なグリーンシートまたは焼成基板が得られなかった。ま
た、比較例２については、得られたグリーンシートを実
施例１と同様に脱バインダー処理を行なったところ、脱
バインダー後の残留カーボンが多いことが確認されたの
で、その後の焼成は行わなかった。 （比較例８）窒化アルミニウム粉末９７重量部に対し焼
結助剤としてＹ2 Ｏ3 粉末を３重量部、分散剤としてア
ニオン系界面活性剤（日本油脂（株）製、商品名：マリ
アリムAKM-0531）を１．５重量部、バインダーとしてア
クリル系樹脂（共栄社油脂化学工業（株）製、品番：KC
7700B ）１８重量部、可塑剤としてジオクチルフタレー
トを５重量部及び有機溶剤としてトルエンを１００重量
部加え、ポットミルで２４時間混合してスラリーを得
た。このスラリーを用い、ドクターブレード法でシート
状に成型し、次いで乾燥して、厚み０．６３５ｍｍのグ
リーンシートを得た。なお、乾燥は自然乾燥３０分、次
いで４０℃で３０分、次いで６０℃で６０分の条件で行
った。得られたグリーンシートを用いて実施例１と同様
にして、脱バインダー処理及び焼成を行い焼成基板を得
た。得られた焼成基板のそり及び寸法バラツキを実施例
１と同様にして測定し、その結果を表２に示した。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】表２から明らかなように、実施例１〜５で
得られたグリーンシートの強度は十分であって、かつ、
反り及び寸法バラツキが少ない焼成基板が得られること
が確認された。
得られたグリーンシートの強度は十分であって、かつ、
反り及び寸法バラツキが少ない焼成基板が得られること
が確認された。
【００１６】
【発明の効果】本発明に係る窒化アルミニウムグリーン
シートの製造方法は上記のように構成されているので、
強度が十分なグリーンシートが得られ、かつ、得られた
グリーンシートを焼成することにより、反り及び寸法バ
ラツキが少ない焼成基板を製造することが可能になる。
シートの製造方法は上記のように構成されているので、
強度が十分なグリーンシートが得られ、かつ、得られた
グリーンシートを焼成することにより、反り及び寸法バ
ラツキが少ない焼成基板を製造することが可能になる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０４Ｂ 35/581 Ｃ０４Ｂ 35/58 １０４ Ｑ (72)発明者 余田 浩好 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、分散
剤、バインダー、潤滑剤及び有機溶剤を混合してスラリ
ーとした後、このスラリーを噴霧乾燥して顆粒状粉末と
し、次いでこの顆粒状粉末をプレス成型してシート化す
る窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法であっ
て、窒化アルミニウム粉末１００重量部に対してバイン
ダーを２〜６重量部含有し、潤滑剤として酸化ポリエチ
レンワックスを２〜６重量部含有することを特徴とする
窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法。 - 【請求項２】 バインダーがポリビニールブチラールで
あることを特徴とする請求項１記載の窒化アルミニウム
グリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058925A JPH07267739A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6058925A JPH07267739A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07267739A true JPH07267739A (ja) | 1995-10-17 |
Family
ID=13098415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6058925A Withdrawn JPH07267739A (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07267739A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013035573A1 (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-14 | 花王株式会社 | 塩基性セラミックス含有スラリー組成物 |
| WO2013035608A1 (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-14 | 株式会社村田製作所 | セラミックグリーンシートおよび積層セラミック電子部品 |
| JP2014510690A (ja) * | 2011-03-11 | 2014-05-01 | セラムテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | セラミックコアを備えたコイルボディ |
-
1994
- 1994-03-29 JP JP6058925A patent/JPH07267739A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014510690A (ja) * | 2011-03-11 | 2014-05-01 | セラムテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | セラミックコアを備えたコイルボディ |
| WO2013035573A1 (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-14 | 花王株式会社 | 塩基性セラミックス含有スラリー組成物 |
| WO2013035608A1 (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-14 | 株式会社村田製作所 | セラミックグリーンシートおよび積層セラミック電子部品 |
| JP2013056783A (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-28 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4502983A (en) | Composite silicon carbide sintered shapes and its manufacture | |
| DE112015001562T5 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates | |
| JP2001114569A (ja) | セラミックスラリー組成物、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| CN110372392A (zh) | 一种陶瓷基板的烧结方法 | |
| JP3404813B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
| CN116425528B (zh) | 一种电介质陶瓷材料及其制备的片式多层陶瓷电容器 | |
| JPH07267739A (ja) | 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法 | |
| JP4859267B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体とその製造方法 | |
| JP2786719B2 (ja) | 希土類酸化物燒結体の製造方法 | |
| JP3145519B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体 | |
| JP2577378B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP3617345B2 (ja) | 酸化物系セラミック焼結体の製造方法 | |
| JPH0453831B2 (ja) | ||
| JPS6128629B2 (ja) | ||
| CN114716242B (zh) | 一种x8r型多层陶瓷电容器瓷料及其制备方法 | |
| JPH03197367A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS62123070A (ja) | 窒化ボロン系焼結体の製造方法 | |
| JP4868641B2 (ja) | 窒化アルミニウム基板の製造方法 | |
| JP2011190123A (ja) | セラミック電子部品およびセラミック原料粉体の製造方法 | |
| JPH0717928B2 (ja) | 多孔質Ｃｕ合金焼結体の製造方法 | |
| KR20050082801A (ko) | 내환원성 유전체 조성물의 제조방법 | |
| JP3183930B2 (ja) | 窒化アルミニウム基板の製造方法 | |
| KR910009891B1 (ko) | 초전도체 세라믹 소결체의 제조방법 | |
| JPH082967A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP2706319B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010605 |