JP2786719B2 - 希土類酸化物燒結体の製造方法 - Google Patents

希土類酸化物燒結体の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) るつぼ、ターゲット剤等の耐食、耐熱材料として有用
な高密度希土類酸化物焼結体の製造方法に関する。
(従来の技術) 希土類酸化物の高密度焼結体を製造する方法として
は、従来希土類酸化物が一般に有が高いため、サブミク
ロンの微粉を使用したり、水素雰囲気下高温で焼結して
いた。
(発明が解決しようとする課題) 然しながら、従来法では、微粉製造にコストが掛かる
こと、装置の構造上、材質上に問題があること、焼結助
剤として使用されているAl2O3,SiO2,BeO等は最終的には
不純物として混入すること、さらには緻密化が不十分で
あること等の不利、欠点があった。
本発明の目的はこれらの課題を解決した高密度希土類
酸化物焼結体を安価に製造する方法を提供しようとする
ものである。
(課題を解決するための手段) 発明者等は、ほう素(B)が希土類酸化物の有効な焼
結助剤であり、微量のBの添加により容易に緻密化する
ことを見出し、その添加量、焼成条件を詳細に検討し
て、本発名を完成させた。
本発明は、希土類酸化物100重量部に対し、B2O3また
は酸化雰囲気下の加熱によりB2O3となるB化合物をとし
て0.001〜0.05重量部添加し、成形した後、これを1,400
〜1,800℃の温度で焼結することを特徴とする希土類酸
化物焼結体の製造方法を要旨とする。
以下、本発明を詳細に説明する。
先ず、本発明が適応される希土類酸化物としては、Y
を含むLa,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gc,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Ybお
よびLuから選択される一種以上の希土類元素からなる酸
化物で、具体的にはY2O3,Dy2O3,Eu2O3,Ed2O3,Tb4O7,Er2
O3およびこれらの混合物が例示される。
本発明の製造方法を工程順に説明すると、原料希土類
酸化物の平均粒径は1〜20μm、好ましくは2〜10μm
がよい。1μm未満ではほう素の添加効果が見られず、
20μmを越えると緻密化が不充分となる。
本発明の最大の特徴は、焼結助剤としてB化合物、中
でもB2O3が好適であることを見出したことで、B2O3の他
酸化雰囲気下加熱によってB2O3となるH3BO3,BN,金属B
も使用されるが、取扱い性、コストの点からH3BO3が好
適である。酸化雰囲気としては、酸素および酸素を含有
する混合ガスが使用されるが、中でも空気が好ましい。
この他に通常セラミックス焼結体の製造に使用される公
知のバインダーや潤滑剤を添加することも任意である。
B2O2の添加量は希土類酸化物100重量部に対してBとし
て0.001〜0.5重量部、好ましくは0.005〜0.1重量部が良
い。0.001重量部未満では焼結助剤としての効果がな
く、0.5重量部を越えても密度の増加は見られない。こ
れら原料の混合は一般的なブレンダー、ミキサーで処理
すれば良い。成形は公知の方法例えば金型成形やスリッ
プキャストなどを用いることができる。焼結は空気中で
温度は1,400〜1,800℃、好ましくは1,600〜1,750℃が適
当である。1,400℃未満では緻密化が充分でなく、1,800
℃を越えてもその効果は見られない。
以上の製造方法によれば、容易に相対密度90%以上の
極めて緻密な希土類酸化物焼結体を得ることができる。
以下、本発明の具体的な実施態様を実施例を挙げて説
明するが、本発明はこれらによって限定されるものでは
ない。
(実施例1) 平均粒径4.5μmのY2O3粉末100重量部にH3BO3をBと
して0.05重量部を添加し、水を加えて撹拌混合した後、
濾別した。ケーキを乾燥したこの破砕物を金型プレスに
より1Ton/cm2の成形圧で成形し、15mmφ×5mmtの成形体
を得た。次いでこれを1,700℃で3時間焼結した。得ら
れた焼結体の密度は4.82g/cm3(相対密度95.8%)であ
った。
(実施例2) 平均粒径3.2μmのDy2O3粉末100重量部にH3BO3をBと
して0.01重量部を添加し、実施例1と同様に成形し、1,
600℃で5時間焼結した。得られた焼結体の密度は、7.6
6g/cm3(相対密度93.1%)であった。
(実施例3) 平均粒径2.4μmのEu2O3粉末100重量部にBNをBとし
て0.1重量部添加し、実施例1と同様に成形し、1,720℃
で5時間焼結した。得られた焼結体の密度は、7.20g/cm
3(相対密度97.0%)であった。
(比較例1) H3BO3を無添加とした以外は実施例1と同様にして焼
結体を得た。密度は4.32g/cm3(相対密度85.9%)で、
緻密化は不十分であった。
(比較例2) H3BO3を無添加とした以外は、実施例2と同様にして
焼結体を得た。密度は7.01g/cm3(相対密度85.2%)
で、緻密化は不十分であった。
(発明の効果) B化合物特にB2O3を希土類酸化物に添加して焼結する
ことにより容易に緻密化することができ、耐熱、耐食材
料として有用なるつぼ、ターゲット材等を経済的に製造
することができ、工業上その利用価値は極めて高い。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】希土類酸化物100重量部に対して、酸化ほ
    う素(B2O3)または酸化雰囲気下の加熱によりB2O3とな
    るほう素化合物をほう素(B)として0.001〜0.5重量部
    添加し成形した後、これを1,400〜1,800℃で焼結するこ
    とを特徴とする希土類酸化物焼結体の製造方法。
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