JPS5953234B2 - 高強度窒化けい素焼結体の製造法 - Google Patents
高強度窒化けい素焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS5953234B2 JPS5953234B2 JP53054835A JP5483578A JPS5953234B2 JP S5953234 B2 JPS5953234 B2 JP S5953234B2 JP 53054835 A JP53054835 A JP 53054835A JP 5483578 A JP5483578 A JP 5483578A JP S5953234 B2 JPS5953234 B2 JP S5953234B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strength
- silicon nitride
- sintered body
- present
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は窒化けい素(813N4)を主成分とする高強
度窒化けい素焼給体の製造法に関する。
度窒化けい素焼給体の製造法に関する。
詳しくは窒化けい素に酸化アルミニウム
(Al203)および酸化イツトリウム(Y2O3)を
添加して高強度化された焼結体を製造する方法の改良に
関するものである。
添加して高強度化された焼結体を製造する方法の改良に
関するものである。
Si3N4を主成分とする焼結体は、耐熱性、高温での
高強度、および低い熱膨張係数の緒特性をもつことから
自動車用エンジン部品、ガスタービン部品、切削工具、
原子炉構造材料などに使用されている。
高強度、および低い熱膨張係数の緒特性をもつことから
自動車用エンジン部品、ガスタービン部品、切削工具、
原子炉構造材料などに使用されている。
そして従来より高強度化、高密度化するためSi3N4
の焼結助剤としてY2O3−A1□03、MgO,Al
203−MgO系の化合物が試みられている。
の焼結助剤としてY2O3−A1□03、MgO,Al
203−MgO系の化合物が試みられている。
ところがこれらの焼結助剤を添加してもなを焼結体の強
度が充分でなかった。
度が充分でなかった。
ところで本発明者らは、上記従来品に対しなを一層の強
度を増加させることができないかについて鋭意検討した
結果、Al2O3、Y2O3及びTiの3成分を焼結助
剤として特定量添加すれば良いことを見出し本発明を完
成した。
度を増加させることができないかについて鋭意検討した
結果、Al2O3、Y2O3及びTiの3成分を焼結助
剤として特定量添加すれば良いことを見出し本発明を完
成した。
すなわち本発明の目的は、A1゜03、Y2O3及びT
iの3成分を有する新規な高強度窒化けい素焼給体を製
造する方法を提供することにあり、その要旨はα相を7
0%以上含む5i3N490〜98重量%と、Al2O
3、Y2O3およびTiとを重量基準で次の0式、■式
を満足するように配合し、 1気圧以上の非酸化性雰囲気中1600〜1850℃で
焼結することを特徴とする高強度窒化けい素焼給体の製
造法にある。
iの3成分を有する新規な高強度窒化けい素焼給体を製
造する方法を提供することにあり、その要旨はα相を7
0%以上含む5i3N490〜98重量%と、Al2O
3、Y2O3およびTiとを重量基準で次の0式、■式
を満足するように配合し、 1気圧以上の非酸化性雰囲気中1600〜1850℃で
焼結することを特徴とする高強度窒化けい素焼給体の製
造法にある。
以下に本発明の詳細な説明するに、本発明ではα相を7
0%以上含むSi3N4が無機質原料の90〜98重量
%を占めていることが必要である。
0%以上含むSi3N4が無機質原料の90〜98重量
%を占めていることが必要である。
Si3N4としてはα型およびβ型の2種類あるがα型
が多い方が焼結性が良好で、β型は焼結性が悪いため使
用できない。
が多い方が焼結性が良好で、β型は焼結性が悪いため使
用できない。
α型は少なくとも70%含むことが必要であり、好まし
くは80%以上、特に好ましくは90%以上含んでいる
と最も焼結性がよく、最終的に目的とする高強度焼結体
が得られる。
くは80%以上、特に好ましくは90%以上含んでいる
と最も焼結性がよく、最終的に目的とする高強度焼結体
が得られる。
またSi3N4の無機質原料中に占める割合が90重量
%未満であると、焼結体の高温時の劣化が激しくなり、
また98重量%より多くなると焼結困難になる。
%未満であると、焼結体の高温時の劣化が激しくなり、
また98重量%より多くなると焼結困難になる。
焼結助剤として本発明では、A1□03、Y2O3およ
びTiの3成分を使用する。
びTiの3成分を使用する。
無機質原料中にこれら焼結助剤が占める割合は10〜2
重量%であり、焼結助剤中の3成分は前記0式および0
式を満足する必要がある。
重量%であり、焼結助剤中の3成分は前記0式および0
式を満足する必要がある。
〜2.0であるとよく、更に好ましくは0.75〜1.
25であると最も焼結性がよく従って強度も最大となる
。
25であると最も焼結性がよく従って強度も最大となる
。
また0、25〜4.0の範囲外であるとその理由は明ら
かではないが焼結性が悪くなる。
かではないが焼結性が悪くなる。
0.5よりも小さくなると、窒化チタンが析出して焼結
性が悪化し、引いては強度低下を起こす。
性が悪化し、引いては強度低下を起こす。
0.98よりも大きいと所望の強度の焼結体が得られな
い。
い。
Al2O3としてはα型でもγ型でも使用でき、Y2O
3は最初からこのものでなくても、焼結するとY2O3
になるイツトリウムの塩類でも使用でき、このような場
合も本発明に含まれる。
3は最初からこのものでなくても、焼結するとY2O3
になるイツトリウムの塩類でも使用でき、このような場
合も本発明に含まれる。
本発明では焼結助剤として金属チタン(Ti)又は水素
化チタン(TiH2)を添加することを大きな特徴とし
ている。
化チタン(TiH2)を添加することを大きな特徴とし
ている。
TiH2を添加した場合には、焼結中にTiに変化し、
結果的にはTiを添加した場合と同じとなる。
結果的にはTiを添加した場合と同じとなる。
以上の本発明原料より高強度窒化けい素焼給体を製造す
るには、まずSi3N4粉末、A1□03粉末、Y2O
3粉末、Ti粉末を所定の組成比に選び混合して調製す
る。
るには、まずSi3N4粉末、A1□03粉末、Y2O
3粉末、Ti粉末を所定の組成比に選び混合して調製す
る。
次いでこの混合物に必要に応じて粘結剤を加え、プレス
し所定の成形体を得、しかる後この成形体を1気圧以上
の非酸化性雰囲気、例えばN2ガス、Ar力゛ス中、1
600〜1850℃、好ましくは1700〜1850℃
で加圧しながら焼結する。
し所定の成形体を得、しかる後この成形体を1気圧以上
の非酸化性雰囲気、例えばN2ガス、Ar力゛ス中、1
600〜1850℃、好ましくは1700〜1850℃
で加圧しながら焼結する。
焼結は通常黒鉛型による一軸ホットプレス、または熱間
静水圧プ°レスで行われる。
静水圧プ°レスで行われる。
その圧力は一般に高い程良好な焼結体が得られるが、普
通黒鉛型では200〜400kg/cm2、熱間静水圧
プレスでは2000kg/cm2が普通である。
通黒鉛型では200〜400kg/cm2、熱間静水圧
プレスでは2000kg/cm2が普通である。
このようにして焼結するとA1203−Y2O3−Ti
系の非晶質の結合相を有する新規な窒化けい素焼給体が
得られる。
系の非晶質の結合相を有する新規な窒化けい素焼給体が
得られる。
該新規焼結体の組成を詳しく述べると、α型からβ型に
移行した5i3N490〜98重量%、残りがA120
3−Y2O3−Ti系の非晶質相であり、この非晶質中
の3成分は前記0式および0式を満足している。
移行した5i3N490〜98重量%、残りがA120
3−Y2O3−Ti系の非晶質相であり、この非晶質中
の3成分は前記0式および0式を満足している。
以上の本発明方法により製造された新規な高強度窒化け
い素焼給体は、1300℃以下における強度において従
来の窒化けい素焼給体より優れている。
い素焼給体は、1300℃以下における強度において従
来の窒化けい素焼給体より優れている。
そのためこの焼結体は衝撃や疲労等の応力集中が問題と
なる構造体の材料に適する。
なる構造体の材料に適する。
その理由はTiの反応性が良好なため、A1□03−¥
203−Ti系からなるガラス質がSi3N4粒子の周
囲を取り巻いているだけでなく、一部はSi3N4粒子
と反応し、その結果粒子−粒子界の境界強度が大きくな
っているからではないかと考えられる。
203−Ti系からなるガラス質がSi3N4粒子の周
囲を取り巻いているだけでなく、一部はSi3N4粒子
と反応し、その結果粒子−粒子界の境界強度が大きくな
っているからではないかと考えられる。
また焼結後Si3N4粒子の周りに生成して、焼結体の
強度に悪影響を及は゛すSiO2薄膜をTiが次式のよ
うに還元し、SiO2薄膜を消し去りSi3N4に転化
するのも原因の一つと考えられる。
強度に悪影響を及は゛すSiO2薄膜をTiが次式のよ
うに還元し、SiO2薄膜を消し去りSi3N4に転化
するのも原因の一つと考えられる。
5in2+ Ti−+TiO2+5i
3Si + 2N2→Si3N4
以下に本発明を実施例によって更に詳細に説明するが、
本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例により限
定されるものではない。
本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例により限
定されるものではない。
実施例および比較例
純度99%平均粒径1μのα相90%のSi3N4粉末
94重量%に、純度99.97%平均粒径0.2μのA
l2O3粉末、純度99.99%平均粒径0.8μのY
2O3粉末および純度99%平均粒径2μのTiH2粉
末をTiに換算して表1に示すように所定量配合して5
種類の混合粉末を調整した。
94重量%に、純度99.97%平均粒径0.2μのA
l2O3粉末、純度99.99%平均粒径0.8μのY
2O3粉末および純度99%平均粒径2μのTiH2粉
末をTiに換算して表1に示すように所定量配合して5
種類の混合粉末を調整した。
次いで該混合粉末を予め窒化はう素を塗布した黒鉛型中
に入れ、温度1800℃、圧力350kg/cm2で3
0分間加圧焼結し、焼結体の密度、機械的強度の測定お
よびX線による構成物質の同定を行なった。
に入れ、温度1800℃、圧力350kg/cm2で3
0分間加圧焼結し、焼結体の密度、機械的強度の測定お
よびX線による構成物質の同定を行なった。
結果を表1に示す。
表1で判るように本発明による実施例1〜3は室温での
抗折強度及びアイゾツト値が比較例1又は2よりも格段
に高いが、これは比較例1が前記の如くβ−8i3N4
表面に脆性のSiO2層を含み、比較例2がTiNを含
むのに対し本発明品はβ−8i3N4の表面のSiO2
層がTiにより還元されSiとなり更に周囲の窒素と反
応して窒化けい素となっているためと思われる。
抗折強度及びアイゾツト値が比較例1又は2よりも格段
に高いが、これは比較例1が前記の如くβ−8i3N4
表面に脆性のSiO2層を含み、比較例2がTiNを含
むのに対し本発明品はβ−8i3N4の表面のSiO2
層がTiにより還元されSiとなり更に周囲の窒素と反
応して窒化けい素となっているためと思われる。
次にこれらの試料で室温から1300℃迄の抗折力を測
定し横軸に測定温度、縦軸に抗折強度をとると第1図の
如くになった。
定し横軸に測定温度、縦軸に抗折強度をとると第1図の
如くになった。
これにより本発明による実施例1〜3は1300℃迄の
抗折力が比較例1及び2よりも大であった。
抗折力が比較例1及び2よりも大であった。
第1図は実施例および比較例で製造した窒化けい素焼給
体の3点抗折強度と温度の関係を示すグラフである。
体の3点抗折強度と温度の関係を示すグラフである。
Claims (1)
- 1 α相を70%以上含む513N490〜98重量%
と、A1□03、Y2O3およびTiを重量基準で、下
式を満足するように配合して1気圧以上の非酸化性雰囲
気中1600〜1850℃で焼結することを特徴とする
高強度窒化けい素焼給体の製造法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP53054835A JPS5953234B2 (ja) | 1978-05-08 | 1978-05-08 | 高強度窒化けい素焼結体の製造法 |
US06/035,970 US4216021A (en) | 1978-05-08 | 1979-05-04 | High strength silicon nitride sintered material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP53054835A JPS5953234B2 (ja) | 1978-05-08 | 1978-05-08 | 高強度窒化けい素焼結体の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS54154417A JPS54154417A (en) | 1979-12-05 |
JPS5953234B2 true JPS5953234B2 (ja) | 1984-12-24 |
Family
ID=12981683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53054835A Expired JPS5953234B2 (ja) | 1978-05-08 | 1978-05-08 | 高強度窒化けい素焼結体の製造法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4216021A (ja) |
JP (1) | JPS5953234B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6275427U (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5747706A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-18 | Toshio Hirai | Lump of silicon nitride containing ti and its manufacture |
EP0100380B1 (en) * | 1981-02-05 | 1987-06-16 | Sumitomo Electric Industries Limited | Method for plastic deformation of non-ferrous metals |
DE3484318D1 (de) * | 1983-01-10 | 1991-05-02 | Ngk Spark Plug Co | Schneidwerkzeug auf nitridbasis. |
GB2256651B (en) * | 1986-07-15 | 1993-06-30 | Norton Co | Improved rolling contact bearing,material for bearing surfaces,and processes therefor |
JPH0774103B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1995-08-09 | 日本碍子株式会社 | 高硬度窒化珪素焼結体 |
DE4126509C2 (de) * | 1991-08-08 | 1997-01-09 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung einer Siliziumnitridkeramik |
US5908796A (en) * | 1998-05-01 | 1999-06-01 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Dense silicon nitride ceramic having fine grained titanium carbide |
GB0504899D0 (en) * | 2005-03-09 | 2005-04-13 | Guest John Int Ltd | Improvements in or relating to tube couplings |
CN115849918A (zh) * | 2021-09-27 | 2023-03-28 | 赛默肯(苏州)电子新材料有限公司 | 氮化硅陶瓷材料、基板及其原料组合物、制备方法和应用 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4097293A (en) * | 1969-04-30 | 1978-06-27 | Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. | Method for manufacturing heat-resistant reinforced composite materials |
US4025351A (en) * | 1972-10-24 | 1977-05-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Sintered silicon nitride base ceramic and said ceramic |
JPS5245724B2 (ja) * | 1973-04-12 | 1977-11-18 | ||
US4145224A (en) * | 1974-11-22 | 1979-03-20 | Gte Sylvania Incorporated | Method for enhancing the crystallization rate of high purity amorphous Si3 N4 powder, powders produced thereby and products therefrom |
JPS5238500A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-25 | Toshiba Corp | Production of alpha-silicon nitride powder |
US4043381A (en) * | 1976-08-09 | 1977-08-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Self-destructive core mold materials for metal alloys |
US4102698A (en) * | 1976-11-23 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | Silicon nitride compositions in the Si3 N4 -Y2 O3 -SiO2 system |
-
1978
- 1978-05-08 JP JP53054835A patent/JPS5953234B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-05-04 US US06/035,970 patent/US4216021A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6275427U (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS54154417A (en) | 1979-12-05 |
US4216021A (en) | 1980-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000034172A (ja) | 高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
US4332755A (en) | Sintered silicon carbide - aluminum nitride articles and method of making such articles | |
JPS5860677A (ja) | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 | |
JPS5953234B2 (ja) | 高強度窒化けい素焼結体の製造法 | |
CA1139791A (en) | Sintered silicon carbide-aluminum nitride articles and method of making such articles | |
JP2871410B2 (ja) | 高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
JP3100892B2 (ja) | 高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
JP2774761B2 (ja) | 高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
JPS5919903B2 (ja) | SiC系焼結体のホツトプレス製造方法 | |
JP2005119934A (ja) | 窒化ケイ素多孔体及びその製造方法 | |
JPS5891072A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造法 | |
JPS62875B2 (ja) | ||
JPH0224789B2 (ja) | ||
JPS5860675A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
JP2892246B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
JP2658944B2 (ja) | 窒化珪素−窒化チタン系複合セラミックス及びその製造方法 | |
JPH0559073B2 (ja) | ||
JPS5855110B2 (ja) | 超硬耐熱セラミックスの製造方法 | |
JPS5874571A (ja) | 窒化ケイ素貿焼結体の製造法 | |
JP2746760B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体およびその製造方法 | |
JPS63277572A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JPH0559074B2 (ja) | ||
JPS5969477A (ja) | サイアロン基セラミツク焼結材料の製造法 | |
JPH0524926A (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体の製造方法 | |
JPH0840774A (ja) | 窒化珪素質焼結体 |