JPS5860677A - 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 - Google Patents
高靭性窒化珪素焼結体の製造法Info
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- JPS5860677A JPS5860677A JP56155453A JP15545381A JPS5860677A JP S5860677 A JPS5860677 A JP S5860677A JP 56155453 A JP56155453 A JP 56155453A JP 15545381 A JP15545381 A JP 15545381A JP S5860677 A JPS5860677 A JP S5860677A
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- Japan
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- sintering
- sintered body
- powder
- silicon nitride
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
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- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発ＢＡは繊維構造を有し、高強度で高槻性な窒化珪素
焼結体の製造方法に関するものである。
焼結体の製造方法に関するものである。
窒化珪素焼結体は機械的強度、耐熱性、耐腐食性などの
諸物件に優れているために、例えばガスタービン部品の
ような高温構造材料としての用途がある。しかし、−刃
車化珪素は共有結合性が高いために、焼結性に乏しく高
密度かつ高強度の焼結体を得ることは困難である。従来
窒化珪素粉末の製法には、金属珪素を窒化焼結させる反
応焼結法、窒化珪素粉末に焼結助剤を添加して焼結する
常圧焼結法、ホットプレス法がある。しかしこれらの方
法には次の第１９に示すような長所、短所がある。
諸物件に優れているために、例えばガスタービン部品の
ような高温構造材料としての用途がある。しかし、−刃
車化珪素は共有結合性が高いために、焼結性に乏しく高
密度かつ高強度の焼結体を得ることは困難である。従来
窒化珪素粉末の製法には、金属珪素を窒化焼結させる反
応焼結法、窒化珪素粉末に焼結助剤を添加して焼結する
常圧焼結法、ホットプレス法がある。しかしこれらの方
法には次の第１９に示すような長所、短所がある。
第 １ 宍
これらのいずれの方法もそれぞれ一長一難があｐｌ例え
ば、ガスタービン、エンジン部品郷の複雑形状の耐熱高
温部材を製作するには未だ充分な方法とは言えない。し
かし常圧焼結法又はホットプレス法には上記のような優
れた長所があ〕、この長Ｗｒをそのまま生かしつつ短所
を解決する方法を見い出せば耐熱高温部材用として最適
なものとなるはずである。そこで従来より種々方法が考
え出されており、その１つに窒化珪素粉末に脳化チタン
、窒化タンタルから選ばれるｌ攬又は２′！Ｍ以上を０
．１〜４０重量％添加して焼結する方法があル（特鮨昭
５４−１２３１１３）。しかしながらこの方法もホット
プレスしなければ緻密化せず、ホットプレスすると上述
のような短所が伴なう。
ば、ガスタービン、エンジン部品郷の複雑形状の耐熱高
温部材を製作するには未だ充分な方法とは言えない。し
かし常圧焼結法又はホットプレス法には上記のような優
れた長所があ〕、この長Ｗｒをそのまま生かしつつ短所
を解決する方法を見い出せば耐熱高温部材用として最適
なものとなるはずである。そこで従来より種々方法が考
え出されており、その１つに窒化珪素粉末に脳化チタン
、窒化タンタルから選ばれるｌ攬又は２′！Ｍ以上を０
．１〜４０重量％添加して焼結する方法があル（特鮨昭
５４−１２３１１３）。しかしながらこの方法もホット
プレスしなければ緻密化せず、ホットプレスすると上述
のような短所が伴なう。
本発明者郷は窒化珪素を形成しうる原料から反応焼結法
を適用して焼結体を得るに当って、添加される焼結助剤
につき、種々検討を行なった。その結果、金属珪素粉末
に窒化チタンと、稀土類元素の酸化物を始めとする成る
楡の酸化物をそれぞれ一定の割合で添加したものを反応
焼結して得られる焼結体１書焼結すると、高温下におい
ても強度の劣化が起らず、耐熱＾温部材として極めて優
れていることを見い出した。
を適用して焼結体を得るに当って、添加される焼結助剤
につき、種々検討を行なった。その結果、金属珪素粉末
に窒化チタンと、稀土類元素の酸化物を始めとする成る
楡の酸化物をそれぞれ一定の割合で添加したものを反応
焼結して得られる焼結体１書焼結すると、高温下におい
ても強度の劣化が起らず、耐熱＾温部材として極めて優
れていることを見い出した。
すなわち本発明は最大粒径２５μｍ以下の金属珪素粉末
９７〜５７′Ｍｉｉｓと、最大粒径２０μｍ以下のＴＩ
Ｎ粉末若しくは反応焼結中にＴｉＮになり得るチタン成
分粉末をＴＩＮ換算で１−１５重量嘩と、Ａ ＩＮ、Ａ
１ｍ Ｏｓ 、８ ｌへ、稀土類元素の酸化物のなか
から選ばれた１株また１１２種以上２〜２８ 重量−と
を混合成形し、窒素ガスまたｉｊ、ｇ７ｊｉ木を含む混
合ガスの非酸化性雰囲気にて反応焼結し、次に則雰囲気
にて１６００〜２２００°Ｃの温度で再焼結することを
％徴とする高靭性窒化珪素焼結体の製造法を要旨とする
ものである。
９７〜５７′Ｍｉｉｓと、最大粒径２０μｍ以下のＴＩ
Ｎ粉末若しくは反応焼結中にＴｉＮになり得るチタン成
分粉末をＴＩＮ換算で１−１５重量嘩と、Ａ ＩＮ、Ａ
１ｍ Ｏｓ 、８ ｌへ、稀土類元素の酸化物のなか
から選ばれた１株また１１２種以上２〜２８ 重量−と
を混合成形し、窒素ガスまたｉｊ、ｇ７ｊｉ木を含む混
合ガスの非酸化性雰囲気にて反応焼結し、次に則雰囲気
にて１６００〜２２００°Ｃの温度で再焼結することを
％徴とする高靭性窒化珪素焼結体の製造法を要旨とする
ものである。
以下に本発明の詳細な説明するに、本発明では出発原料
として全島珪素粉末を用いそれに焼結助剤を絵加し、ま
ず反応焼結法によシ焼給体を得る。
として全島珪素粉末を用いそれに焼結助剤を絵加し、ま
ず反応焼結法によシ焼給体を得る。
紡述の従来法のように出発原料として窒化珪素を用いな
い理由は次の通りである。
い理由は次の通りである。
（１） ８１ ｍ Ｎ４粉末を成形して焼結させる場合
と、本発明のように反応焼結体を再焼結させる場合とで
は餞者の方が焼結前の密度が高いので、焼結助剤量を減
らして緻密化させる事ができる。
と、本発明のように反応焼結体を再焼結させる場合とで
は餞者の方が焼結前の密度が高いので、焼結助剤量を減
らして緻密化させる事ができる。
（２）従来法ではＴｉＮ’ｔ８１．Ｎ、焼結体中に均一
に分散させることが重要であるが、この点において８１
、Ｎ、粉末とＴｉＮ粉末ｔ−混合して成形し焼結するよ
りも、Ｓ１粉末ｔ−ＴＩＮ 粉末と混合して成形し反
応焼結及び再焼結を行なつ九方が格段に優れているから
である。
に分散させることが重要であるが、この点において８１
、Ｎ、粉末とＴｉＮ粉末ｔ−混合して成形し焼結するよ
りも、Ｓ１粉末ｔ−ＴＩＮ 粉末と混合して成形し反
応焼結及び再焼結を行なつ九方が格段に優れているから
である。
出発原料の金属珪素粉末にはＴｉＮ粉末と、ＡＩＮ。
Ａ Ｉｔ Ｏｓ 、Ｓ ｉＯ霊、稀土類元素の酸化物の
なかから選ばれ７’ｊｌｌｉ又は２ｆＩＩ以上の焼結助
剤を添加する。
なかから選ばれ７’ｊｌｌｉ又は２ｆＩＩ以上の焼結助
剤を添加する。
これらのうちＴＩＮは、焼結体の粒子を微細化し、かつ
粒子のアスペクト比（繊維長さ／［径）を高めて靭性を
増し、′を次窒化珪素の粒子間に均一に分散し、粒界相
の低融点ガラス的性質を抑制して高温強度を為める役割
をする。そのためＴｉＮ粉末そのものでなくても、反応
焼結中にＴＩＮになり得る金属Ｔｌ、或いは水素化チタ
ン郷のチタン成分の粉末を添加しても良い。ところがＴ
ｉＮ粉末のみを添加し皮だけでは、従来法と同様にホッ
トプレスしないと緻密化しないので、焼結助剤を更に添
加し彦ければならない。添加するものは上述のＴＩＮ
の添加効果を損うものであってはならず、本発明者等の
種々の実験からＡ Ｉ Ｎ−Ａ １ ｔ Ｏｓ 、Ｓ
ｌｏｔ、稀土類元素の酸化物に限られることが判った。
粒子のアスペクト比（繊維長さ／［径）を高めて靭性を
増し、′を次窒化珪素の粒子間に均一に分散し、粒界相
の低融点ガラス的性質を抑制して高温強度を為める役割
をする。そのためＴｉＮ粉末そのものでなくても、反応
焼結中にＴＩＮになり得る金属Ｔｌ、或いは水素化チタ
ン郷のチタン成分の粉末を添加しても良い。ところがＴ
ｉＮ粉末のみを添加し皮だけでは、従来法と同様にホッ
トプレスしないと緻密化しないので、焼結助剤を更に添
加し彦ければならない。添加するものは上述のＴＩＮ
の添加効果を損うものであってはならず、本発明者等の
種々の実験からＡ Ｉ Ｎ−Ａ １ ｔ Ｏｓ 、Ｓ
ｌｏｔ、稀土類元素の酸化物に限られることが判った。
本発明では金属珪素粉末は最大粒径２５μｍ以下である
ことが心壁である。その理自は反応焼結彼の焼結体中の
最大気孔径Ｆｉ原料す禾の最大粒径に依存し、これが２
５μｍよりも大きくなると、再焼結後も大きな気孔が残
り、得られる最終焼結体の致命的欠陥となるからである
。またＴｉＮ粉末は最大粒径２０μｍ以下であることが
心壁で、粒径が２０μｍを超えると均一に分散せずＴＩ
Ｎを添加する効果が充分発揮されない。また上述の各原
料の１比は金属珪素粉末が９７〜５７３１ｍ１ｌ、Ｔｉ
Ｎ粉末若しくは反応焼結中にＴｉＮになシ得るチタン成
分粉末が１−１５重量％、ＡＩＮ、 Ａ１１ｏ１、ｓｉ
ｏい稀土類元素の酸化物のなかから選ばれた１株または
２株以上の焼結助剤が２〜２８１ｉ１ｉ％であることが
心壁である。ＴＩＮ等が１重量−よりも少ないと高温強
度及び靭性の改善の効果がみられず、１５重量Ｓｔ−超
えると室温強度が低下する。ＡＩＮ等の焼結助剤量が２
重量嘩よυも少ないと再焼結時の焼結性が悪くなるばか
りでなく焼結体の組織が強度のある繊維状に変化し離〈
なシ、２８重童ｑ６を超えると再焼結での焼結性は向上
するが得られる焼結体の高温下での強度劣化が激しくな
る。
ことが心壁である。その理自は反応焼結彼の焼結体中の
最大気孔径Ｆｉ原料す禾の最大粒径に依存し、これが２
５μｍよりも大きくなると、再焼結後も大きな気孔が残
り、得られる最終焼結体の致命的欠陥となるからである
。またＴｉＮ粉末は最大粒径２０μｍ以下であることが
心壁で、粒径が２０μｍを超えると均一に分散せずＴＩ
Ｎを添加する効果が充分発揮されない。また上述の各原
料の１比は金属珪素粉末が９７〜５７３１ｍ１ｌ、Ｔｉ
Ｎ粉末若しくは反応焼結中にＴｉＮになシ得るチタン成
分粉末が１−１５重量％、ＡＩＮ、 Ａ１１ｏ１、ｓｉ
ｏい稀土類元素の酸化物のなかから選ばれた１株または
２株以上の焼結助剤が２〜２８１ｉ１ｉ％であることが
心壁である。ＴＩＮ等が１重量−よりも少ないと高温強
度及び靭性の改善の効果がみられず、１５重量Ｓｔ−超
えると室温強度が低下する。ＡＩＮ等の焼結助剤量が２
重量嘩よυも少ないと再焼結時の焼結性が悪くなるばか
りでなく焼結体の組織が強度のある繊維状に変化し離〈
なシ、２８重童ｑ６を超えると再焼結での焼結性は向上
するが得られる焼結体の高温下での強度劣化が激しくな
る。
以上の原料をボールミル郷で混合粉砕し、混合物を所望
の形状に成形し、これｔ−まずｆｆｌ素ガスま九は窒素
と、アンモニア、不活性ガス、水素郷の混合ガスの非酸
化性雰囲気にて温［１２００〜１４５０＠Ｃで窒化反応
させ、反応焼結させる。この際温度が１２００°Ｃよ−
りも低いと未反ろの金属珪素が残留し、１４５０＠Ｃよ
りも高いと反応して生成する窒化Ｉ！−のβ相の割合が
多くなり、この結果として再焼結で得られる焼結体の粒
子が粗大となシ、かつ粒子のアスペクト比が低くなる。
の形状に成形し、これｔ−まずｆｆｌ素ガスま九は窒素
と、アンモニア、不活性ガス、水素郷の混合ガスの非酸
化性雰囲気にて温［１２００〜１４５０＠Ｃで窒化反応
させ、反応焼結させる。この際温度が１２００°Ｃよ−
りも低いと未反ろの金属珪素が残留し、１４５０＠Ｃよ
りも高いと反応して生成する窒化Ｉ！−のβ相の割合が
多くなり、この結果として再焼結で得られる焼結体の粒
子が粗大となシ、かつ粒子のアスペクト比が低くなる。
また、この窒化反応における雰囲気の圧力は１気圧以上
であっても構わない。次にこの反応焼結体を緻密化させ
、また繊維状組織をもたせるために再焼結する心壁があ
る。再焼結は窒素ガスｔたは窒素と不活性ガスのような
非酸化性雰囲気にて１６００〜２２００°Ｃの温度で行
なう。１６００°Ｃ以下の温度では、焼結助剤を加えて
も内部組織が繊維状とならず強度の向上がみられない。
であっても構わない。次にこの反応焼結体を緻密化させ
、また繊維状組織をもたせるために再焼結する心壁があ
る。再焼結は窒素ガスｔたは窒素と不活性ガスのような
非酸化性雰囲気にて１６００〜２２００°Ｃの温度で行
なう。１６００°Ｃ以下の温度では、焼結助剤を加えて
も内部組織が繊維状とならず強度の向上がみられない。
また２２０００Ｃ１−超えると工業的でないし得られる
焼結体の特性も向上しないので無駄である。再焼結時の
圧力は１〜３０００気圧で行なうことが好ましく、１気
圧よりも低い圧力であると、１８５０°Ｃ以上で焼結す
る時に窒化珪素が揮発分解し易くなるので、それを阻止
するためには１気圧以上であると良い。また３０００気
圧よシも高い圧力では装置面、安全面から工業的には適
さない。５００〜３０００気圧で再焼結する場合には、
焼結前の焼結体が開気孔のない場合には、そのまｔ再焼
結を行なっても差し支えないが、開気孔のある場合には
そのまま焼結すると緻密化が阻害される恐れがあるので
、シリカ系のガラス轡で嵌■を完全に債って焼結するの
が良い。を九ｌ〜約５００気圧で再焼結する場合には、
開気孔があっても表面を榎わずに焼結しても良い、なお
この再焼結工程社上述の反応焼結工程に連続して行なっ
ても良いし別々に行なっても良い。
焼結体の特性も向上しないので無駄である。再焼結時の
圧力は１〜３０００気圧で行なうことが好ましく、１気
圧よりも低い圧力であると、１８５０°Ｃ以上で焼結す
る時に窒化珪素が揮発分解し易くなるので、それを阻止
するためには１気圧以上であると良い。また３０００気
圧よシも高い圧力では装置面、安全面から工業的には適
さない。５００〜３０００気圧で再焼結する場合には、
焼結前の焼結体が開気孔のない場合には、そのまｔ再焼
結を行なっても差し支えないが、開気孔のある場合には
そのまま焼結すると緻密化が阻害される恐れがあるので
、シリカ系のガラス轡で嵌■を完全に債って焼結するの
が良い。を九ｌ〜約５００気圧で再焼結する場合には、
開気孔があっても表面を榎わずに焼結しても良い、なお
この再焼結工程社上述の反応焼結工程に連続して行なっ
ても良いし別々に行なっても良い。
以上のように本発明方法は、金属珪素粉末にＴｉＮ粉末
と、ＡＩＮ勢の焼結助剤を添加混合して反応焼結し、更
に再焼結することを特徴とするものである。その為Ｔｉ
Ｎ粉末とＡＩＮの相乗作用により、＾強ｆＡ靭性でしか
４ｈ＊雑形状の窒化珪素焼結体を製造することができ、
製造した焼結体はガスタービン部品、ディーゼルエンジ
ン部品、切削工具として使用することができる。
と、ＡＩＮ勢の焼結助剤を添加混合して反応焼結し、更
に再焼結することを特徴とするものである。その為Ｔｉ
Ｎ粉末とＡＩＮの相乗作用により、＾強ｆＡ靭性でしか
４ｈ＊雑形状の窒化珪素焼結体を製造することができ、
製造した焼結体はガスタービン部品、ディーゼルエンジ
ン部品、切削工具として使用することができる。
次に本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発
狗はその要旨を超え表い限り以下の実施例に駆足される
ことはない。
狗はその要旨を超え表い限り以下の実施例に駆足される
ことはない。
実施例１
平均粒径１μｍ、最大粒径１０μｍの８１粉末に平均粒
径２μｍ１最大粒径１０μｍのＴｉＮ粉末と第２嵌の試
料番号１〜１６に記載の平均粒径０．１〜５μｍ の焼
結助剤を添加して混合し、成形後窒素雰囲気にて１４５
０°Ｃまでの温度で反応焼結し、さらに窒素雰囲気にて
１６００〜２２００°Ｃの高温下で再焼結し、得られた
焼結体の各種瞼性値ｔ−測定した。結果を第２表に示す
。なお曲げ強度はＪＩＳＢ４１０４により４ Ｘ ８
Ｘ ２５ｍｍ（スパン２０ｍｍ ）の試験片で３点曲げ
で測定し、破壊靭性値（ＫＩＣ）は同様の試料にダイヤ
モンドホイールで０．５ｍｍの切り欠きを入れたノツチ
ドビーム法で＃ｊ定し友。
径２μｍ１最大粒径１０μｍのＴｉＮ粉末と第２嵌の試
料番号１〜１６に記載の平均粒径０．１〜５μｍ の焼
結助剤を添加して混合し、成形後窒素雰囲気にて１４５
０°Ｃまでの温度で反応焼結し、さらに窒素雰囲気にて
１６００〜２２００°Ｃの高温下で再焼結し、得られた
焼結体の各種瞼性値ｔ−測定した。結果を第２表に示す
。なお曲げ強度はＪＩＳＢ４１０４により４ Ｘ ８
Ｘ ２５ｍｍ（スパン２０ｍｍ ）の試験片で３点曲げ
で測定し、破壊靭性値（ＫＩＣ）は同様の試料にダイヤ
モンドホイールで０．５ｍｍの切り欠きを入れたノツチ
ドビーム法で＃ｊ定し友。
なお第２表の試料番号１ｓｔｉ平均粒稙５μｍ１最大粒
径５０μｍの８１粉末に平均粒径２μｍ１最大粒径１０
μｍのＴｉＮ粉末と平均粒径０．５μｍの右０．粉末を
添加し、試料番号１６＃ｉ平均粒径１μｍ１ 最大粒径
ｌＯμｍＬ：Ｄ８１粉末に平均粒径５μｍＳ最大粒径５
０μｍのＴｉＮ粉末と平均粒径０．５μｍのＹ、 ０．
粉末を添加したもので、以降の操作は試料番号ｌ〜１４
と同様である。
径５０μｍの８１粉末に平均粒径２μｍ１最大粒径１０
μｍのＴｉＮ粉末と平均粒径０．５μｍの右０．粉末を
添加し、試料番号１６＃ｉ平均粒径１μｍ１ 最大粒径
ｌＯμｍＬ：Ｄ８１粉末に平均粒径５μｍＳ最大粒径５
０μｍのＴｉＮ粉末と平均粒径０．５μｍのＹ、 ０．
粉末を添加したもので、以降の操作は試料番号ｌ〜１４
と同様である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、最大粒径２５μｍの以下の全綱珪素粉末９７〜５７
重量−と、最大粒径２０μｍ以下のＴｉＮ粉末若しくは
反応焼結中にＴＩＮになり得るチタン成分粉末ｔ−ＴＩ
Ｎ換算で１〜１５重量−と、ＡＩＮ 、 Ａｆｔ Ｏｓ
、８１０、、稀土類元素の酸化物のなかから選ばれ九１
穐ま喪は２種以上２〜２８Ｉｌ量−とを混合成形し、窒
素ガスまたは窒素を含む混合ガスの非酸化性雰囲気にて
反応焼結し、次に同雰囲気にて１６００〜２２００°Ｃ
の温度で再焼結することｔ−％輩とする高靭性窒化珪素
焼結体の製造法。 ２、再焼結が、１〜３０００気圧の圧力で行なわれる特
許請求の範囲第１項記載の高靭性窒化珪素焼結体の製造
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56155453A JPS5860677A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 |
| US06/428,507 US4440707A (en) | 1981-09-30 | 1982-09-29 | Process for producing silicon nitride sintered products having high toughness |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56155453A JPS5860677A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860677A true JPS5860677A (ja) | 1983-04-11 |
| JPS6152111B2 JPS6152111B2 (ja) | 1986-11-12 |
Family
ID=15606370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56155453A Granted JPS5860677A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4440707A (ja) |
| JP (1) | JPS5860677A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0113660A2 (en) * | 1983-01-10 | 1984-07-18 | NGK Spark Plug Co. Ltd. | Nitride based cutting tool |
| JPS6283377A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-16 | 日本特殊陶業株式会社 | 複合焼結体の製造法 |
| JPS63233077A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-09-28 | 日立金属株式会社 | 窒化珪素基複合焼結体 |
| JP2007231645A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Shin Caterpillar Mitsubishi Ltd | 旋回型作業機の吊り装置 |
| CN113184812A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-07-30 | 福建臻璟新材料科技有限公司 | 一种氮化硅掺杂改性纳米氮化铝复合粉体及其制备方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4521358A (en) * | 1982-08-12 | 1985-06-04 | Agency Of Industrial Science & Technology | Process for the production of silicon nitride sintered bodies |
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