JPS6121978A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6121978A JPS6121978A JP59140628A JP14062884A JPS6121978A JP S6121978 A JPS6121978 A JP S6121978A JP 59140628 A JP59140628 A JP 59140628A JP 14062884 A JP14062884 A JP 14062884A JP S6121978 A JPS6121978 A JP S6121978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- powder
- sintering
- nitride powder
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高密度で高純度な窒化アルミニウム焼結体の製
造方法に関するものである。詳しくは窒化アルミニウム
粉末の成形体或いは該窒化アルミニウム粉末と焼結助剤
との混合粉末の成形体を２〜１００気圧の窒素ガス雰囲
気下、１７００〜２４００℃の温度で焼結することを特
徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する
。
造方法に関するものである。詳しくは窒化アルミニウム
粉末の成形体或いは該窒化アルミニウム粉末と焼結助剤
との混合粉末の成形体を２〜１００気圧の窒素ガス雰囲
気下、１７００〜２４００℃の温度で焼結することを特
徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する
。
窒化アルミニウム焼結体は高い熱伝導性、耐食性、高強
度などの特性を有しており、又高純度なものは高い透光
性ヲ有するため各種機能材料として耗目されているセラ
ミックスである。
度などの特性を有しており、又高純度なものは高い透光
性ヲ有するため各種機能材料として耗目されているセラ
ミックスである。
しかし従来窒化アルミニウム焼結体の原料となる窒化ア
ルミニウム粉末は詐焼結性のため、高密度な焼結体ケ得
るためには比較的多量の焼結助剤を添加したり、機械的
圧力を加えつつ高温で焼成するいわゆるホットプレス法
などの手段Ｉ：依らねばならなかった。１萎的に最も有
利な方法としては窒化アルミニウム粉末あるいはそれ（
＝適当な焼結助剤を添加した粉末の成形体？大気圧の窒
素ガス圧下で焼結するいわゆる常圧焼結法が挙げられる
が、この方法で高密度な焼結体を得るためには原料粉末
の件状や助剤の選択、焼成温度など、非常に限られた条
件下での製造が要求される。本発明者等は窒化アルミニ
ウム粉末の焼結法Ｃ二ういて鋭意研究した結果、窒化ア
ルミニウム粉末、あるいはそれに適当な助剤を添加した
粉末の成形体を窒素ガス加圧下で焼結することによって
２従来にない優れた熱伝導率を有する窒化アルミニウム
焼結体が安定して得られ、しかも、原料となる窒化アル
ミニウム粉末によっては、得られる窒化アルミニウム焼
結体の透光性が向上することを見い出し、本発明を完成
するに至った。
ルミニウム粉末は詐焼結性のため、高密度な焼結体ケ得
るためには比較的多量の焼結助剤を添加したり、機械的
圧力を加えつつ高温で焼成するいわゆるホットプレス法
などの手段Ｉ：依らねばならなかった。１萎的に最も有
利な方法としては窒化アルミニウム粉末あるいはそれ（
＝適当な焼結助剤を添加した粉末の成形体？大気圧の窒
素ガス圧下で焼結するいわゆる常圧焼結法が挙げられる
が、この方法で高密度な焼結体を得るためには原料粉末
の件状や助剤の選択、焼成温度など、非常に限られた条
件下での製造が要求される。本発明者等は窒化アルミニ
ウム粉末の焼結法Ｃ二ういて鋭意研究した結果、窒化ア
ルミニウム粉末、あるいはそれに適当な助剤を添加した
粉末の成形体を窒素ガス加圧下で焼結することによって
２従来にない優れた熱伝導率を有する窒化アルミニウム
焼結体が安定して得られ、しかも、原料となる窒化アル
ミニウム粉末によっては、得られる窒化アルミニウム焼
結体の透光性が向上することを見い出し、本発明を完成
するに至った。
即ち、本発明は窒化アルミニウム粉末の成形体或いは該
窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体
を２〜１ｏｏ気圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４
００Ｃの温度で焼結する窒化アルミニウム焼結体の製造
方法を提供する。
窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体
を２〜１ｏｏ気圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４
００Ｃの温度で焼結する窒化アルミニウム焼結体の製造
方法を提供する。
本発明の窒化アルミニウム粉末はその製法の如何によら
ずｂζかなるものでも採用するこ゛とができる。一般に
は、金属アルミニウムを窒素中で窒化した後粉砕処理を
したもの、アルミナの還元窒化法によるもの、金属アル
ミニウムを窒素中でアーク放電して作ったもの、ＡｌＩ
Ｃｌ３とＮＨ３との気相反応によるもの、（ＮＨ４）３
Ａ＃６やＡＩＩＣＩＩ ３・ＮＨ３などの熱分解によっ
て得られる粉末などが採用できる。本発明の方法により
、ち密な窒化アルミニウム焼結体を得る場合は、原料の
窒化アルミニウム粉末の平均粒子径（遠心式粒度分布測
定装置、例えば堀場製作所製のＣＡＰＡ５００などで測
定した凝集粒子の平均粒径な言う）が５μｍ以下である
ことが好ましい。
ずｂζかなるものでも採用するこ゛とができる。一般に
は、金属アルミニウムを窒素中で窒化した後粉砕処理を
したもの、アルミナの還元窒化法によるもの、金属アル
ミニウムを窒素中でアーク放電して作ったもの、ＡｌＩ
Ｃｌ３とＮＨ３との気相反応によるもの、（ＮＨ４）３
Ａ＃６やＡＩＩＣＩＩ ３・ＮＨ３などの熱分解によっ
て得られる粉末などが採用できる。本発明の方法により
、ち密な窒化アルミニウム焼結体を得る場合は、原料の
窒化アルミニウム粉末の平均粒子径（遠心式粒度分布測
定装置、例えば堀場製作所製のＣＡＰＡ５００などで測
定した凝集粒子の平均粒径な言う）が５μｍ以下である
ことが好ましい。
好適には３μｍ以下、最も好適には２μｍ以下の粉末が
採用される。特に３μｍ以下の粒子を７０容量％以上含
む粉末が好適である。また、高熱伝導性の窒化アルミニ
ウム焼結体を得る場合はＡＩＨの含有量（ＭＮ粉末の窒
素の含有量から計算される）は９０重量％以上の窒化ア
ルミニウム粉末が好適に採用され、更には９４重量％以
上、また高い透光性含有する焼結体を得るためには９７
重門形以上の粉末を用いることが好ましい。
採用される。特に３μｍ以下の粒子を７０容量％以上含
む粉末が好適である。また、高熱伝導性の窒化アルミニ
ウム焼結体を得る場合はＡＩＨの含有量（ＭＮ粉末の窒
素の含有量から計算される）は９０重量％以上の窒化ア
ルミニウム粉末が好適に採用され、更には９４重量％以
上、また高い透光性含有する焼結体を得るためには９７
重門形以上の粉末を用いることが好ましい。
本発明に於いて好適に使用される窒化アルミニウム粉末
としては、°平均粒子径が２μｍ以下の粉末で、３μｍ
以下の粒子を７０容量％以上含み、酸素含有量が３．０
ｉｉ％以下、且つ窒化アルミニウム組成をＭＮとすると
き含有する陽イオン不純物が０．５重量％以下である窒
化アルミニウム粉末である。このような窒化アルミニウ
ム粉末は熱伝導率の向上が大きいために本発明で好適に
使用される。就中、平均粒子径が２μｍ以下の粉末で、
３μｍ以下の粒子を７０容禁％以上含み、酸素含有量が
１，５重量％以下、且つ窒化アルミニウム組成なＭＮと
するとき含有する陽イオン不純物が０．３重量％以下で
ある窒化アルミニウム粉末を用いた場合には、得られる
窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の向上と共（＝透光
性が改善されるために、本発明では特に好適に使用され
る。
としては、°平均粒子径が２μｍ以下の粉末で、３μｍ
以下の粒子を７０容量％以上含み、酸素含有量が３．０
ｉｉ％以下、且つ窒化アルミニウム組成をＭＮとすると
き含有する陽イオン不純物が０．５重量％以下である窒
化アルミニウム粉末である。このような窒化アルミニウ
ム粉末は熱伝導率の向上が大きいために本発明で好適に
使用される。就中、平均粒子径が２μｍ以下の粉末で、
３μｍ以下の粒子を７０容禁％以上含み、酸素含有量が
１，５重量％以下、且つ窒化アルミニウム組成なＭＮと
するとき含有する陽イオン不純物が０．３重量％以下で
ある窒化アルミニウム粉末を用いた場合には、得られる
窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の向上と共（＝透光
性が改善されるために、本発明では特に好適に使用され
る。
前記窒化アルミニウム粉末は単独で或いはこれに焼結助
剤を混合した後成形して窒素ガス加圧下の焼結に供する
。ここで、焼結助剤の添加は必らずしも窒化アルミニウ
ム粉末Ｃ二添加する必要はなく、予め窒化アルミニウム
粉末の製造時Ｃ二焼結助剤が含まれるように該粉末の製
造原料中に混合して得た窒化アルミニウム粉末ケ使用し
てもよい。焼結剤としては窒化アルミニウム粉末の焼結
剤として公知のものが何ら制限なく採用される。本発明
に於いて好適に用いられる焼結助剤としてはアルカリ土
類金属、ランタン族金属およびイツトリウムよりなる群
から選ばれる少くとも１種の金属又は金属化合物が挙げ
られる。該アルカリ土類金属は特に限定されスヘリリウ
ム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム及びバ
リウムが使用出来る。上記金属成分のうちベリリウム及
びマグネシウムは上記の他のアルカリ土類金屑成分に比
べると焼結体に透光性をイリ与する目的の場合に性能が
劣ることがある。従って透光性付与目的の場合は工業的
にはカルシウム、ストロンチウム及ヒバリウムを使用す
るのが好適である。また上記ランタン族金属は特に限定
されず使用出来る。例えばランタン（Ｌａ）、セリウム
（Ｃｅ） 、プラセオジム（Ｐｒ） 、ネオジム（Ｎａ
） ＊プロメジウム（Ｐｍ）、サマリウム（・Ｓｍ）、
ニーｏピウム（Ｅｕ）。
剤を混合した後成形して窒素ガス加圧下の焼結に供する
。ここで、焼結助剤の添加は必らずしも窒化アルミニウ
ム粉末Ｃ二添加する必要はなく、予め窒化アルミニウム
粉末の製造時Ｃ二焼結助剤が含まれるように該粉末の製
造原料中に混合して得た窒化アルミニウム粉末ケ使用し
てもよい。焼結剤としては窒化アルミニウム粉末の焼結
剤として公知のものが何ら制限なく採用される。本発明
に於いて好適に用いられる焼結助剤としてはアルカリ土
類金属、ランタン族金属およびイツトリウムよりなる群
から選ばれる少くとも１種の金属又は金属化合物が挙げ
られる。該アルカリ土類金属は特に限定されスヘリリウ
ム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム及びバ
リウムが使用出来る。上記金属成分のうちベリリウム及
びマグネシウムは上記の他のアルカリ土類金屑成分に比
べると焼結体に透光性をイリ与する目的の場合に性能が
劣ることがある。従って透光性付与目的の場合は工業的
にはカルシウム、ストロンチウム及ヒバリウムを使用す
るのが好適である。また上記ランタン族金属は特に限定
されず使用出来る。例えばランタン（Ｌａ）、セリウム
（Ｃｅ） 、プラセオジム（Ｐｒ） 、ネオジム（Ｎａ
） ＊プロメジウム（Ｐｍ）、サマリウム（・Ｓｍ）、
ニーｏピウム（Ｅｕ）。
ガドリニウム（Ｇａ）、テルビウム（’１’ｂ） 、ジ
スプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ） 、エルビ
ウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、インテルビクム（Ｙ
ｂ）、ルチチウム（Ｌｕ）が好適に使用出来る。
スプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ） 、エルビ
ウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、インテルビクム（Ｙ
ｂ）、ルチチウム（Ｌｕ）が好適に使用出来る。
特に工業的にはランタン、セリウム、ネオジム等が好適
に使用される。
に使用される。
本発明で使用される焼結助剤の窒化アルミニウム粉末へ
の混合量は特に限定されないが、通常は、酸化物に換算
して０．０・２〜５．０重量％含まれるように混合する
ことが好ましい。
の混合量は特に限定されないが、通常は、酸化物に換算
して０．０・２〜５．０重量％含まれるように混合する
ことが好ましい。
本発明における前記窒化アルミニウム粉末またはその原
料粉末と焼結助剤との混合は特に限定されず、乾式混合
であっても湿式混合であってもよい。特（二好適な実施
態様は湿式混合すなわち液体分散縁体を使用する湿式状
態での混合である。該液体分散媒体は特に限定されず、
一般に使用される水、アルコール類、炭化水素類または
これらの混合物が好適に使用される。特に工業的に最も
好適に採用されるのは、メタノール、エタノール、ブタ
ノールなどの炭素原子数４以下の低級アルコール類であ
る。
料粉末と焼結助剤との混合は特に限定されず、乾式混合
であっても湿式混合であってもよい。特（二好適な実施
態様は湿式混合すなわち液体分散縁体を使用する湿式状
態での混合である。該液体分散媒体は特に限定されず、
一般に使用される水、アルコール類、炭化水素類または
これらの混合物が好適に使用される。特に工業的に最も
好適に採用されるのは、メタノール、エタノール、ブタ
ノールなどの炭素原子数４以下の低級アルコール類であ
る。
また、前記原料の混合に使用する湿式混合装置としては
、特に限定されず公知のものが使用されるが、特に純度
の高い窒化アルミニウム粉末又はその原料粉末の混合に
使用する場合には、材質に基因する不純物成分を生じな
いものを選ぶのが好ましい。例えば、材質としては窒化
アルミニウム自身あるいはポリエチレン、ポリウレタン
、ナイロンなどのプラスチック材料あるいはこれらで被
覆された材質などを選定すればよい。
、特に限定されず公知のものが使用されるが、特に純度
の高い窒化アルミニウム粉末又はその原料粉末の混合に
使用する場合には、材質に基因する不純物成分を生じな
いものを選ぶのが好ましい。例えば、材質としては窒化
アルミニウム自身あるいはポリエチレン、ポリウレタン
、ナイロンなどのプラスチック材料あるいはこれらで被
覆された材質などを選定すればよい。
本発明における焼結の具体的な態様としては、前記窒化
アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を添加した混
合粉末を適当な成形手段例えば乾式プレス法、ラバープ
レス、押出し法、射出法、ドクターブレードシート成形
法などによって目的の形状に成形した後これを適当なる
つぼ、サヤ材などの上に設置して窒素加圧子高温で焼結
する方法が最も一般的に採用される。また別の態様とし
て前記窒化アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を
添加した混合粉末に５０〜５００υの機械的圧力を印加
しつつガス加圧下で焼結する方法も採用することができ
る。
アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を添加した混
合粉末を適当な成形手段例えば乾式プレス法、ラバープ
レス、押出し法、射出法、ドクターブレードシート成形
法などによって目的の形状に成形した後これを適当なる
つぼ、サヤ材などの上に設置して窒素加圧子高温で焼結
する方法が最も一般的に採用される。また別の態様とし
て前記窒化アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を
添加した混合粉末に５０〜５００υの機械的圧力を印加
しつつガス加圧下で焼結する方法も採用することができ
る。
本発明で採用される窒素ガス圧力は２〜１００気圧の範
囲である。２気圧以下即ち大気圧程度あるいは減圧下の
焼結ではしばしば高温でのＭＮの熱分解によって窒化ア
ルミニウム焼結体の熱伝導率の向上が難しい場合が生じ
る。また１００気圧以上のガス圧は効果のそれほどの改
良をもたらさず、装置的な困難性も伴うので好ましくな
い。また本発明においてこの窒素ガス雰囲気は主体が窒
素ガスであればよく、一部にアルゴンやヘリウムなどの
ガスを含んでも問題はない。
囲である。２気圧以下即ち大気圧程度あるいは減圧下の
焼結ではしばしば高温でのＭＮの熱分解によって窒化ア
ルミニウム焼結体の熱伝導率の向上が難しい場合が生じ
る。また１００気圧以上のガス圧は効果のそれほどの改
良をもたらさず、装置的な困難性も伴うので好ましくな
い。また本発明においてこの窒素ガス雰囲気は主体が窒
素ガスであればよく、一部にアルゴンやヘリウムなどの
ガスを含んでも問題はない。
本発明の焼ｉは１７００〜２４００℃好ましくは１８０
０〜２３００℃の温度範囲で実施される。１７００℃以
下の温度では窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の向上
が困難な場合があり、２４００℃以上の温度ではＡＪＮ
の熱分解が大きくなって好ましくない。焼結温度の選択
は窒化アルミニウム粉末の粒度、添加助剤の有無。
０〜２３００℃の温度範囲で実施される。１７００℃以
下の温度では窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の向上
が困難な場合があり、２４００℃以上の温度ではＡＪＮ
の熱分解が大きくなって好ましくない。焼結温度の選択
は窒化アルミニウム粉末の粒度、添加助剤の有無。
窒素ガス圧力により適宜決定すればよい。
後述する実施例で明らかなように本発明の窒素ガス加圧
下での焼結は、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率およ
び透光性の改良に著るしい効果を与える。これは、高温
での焼結の際に加圧窒素ガスがＭＮＯ熱分解を抑制する
ために焼結が加速され、かつ最終的に焼結体中の気孔が
大幅に除去されることによるものと考えられる。
下での焼結は、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率およ
び透光性の改良に著るしい効果を与える。これは、高温
での焼結の際に加圧窒素ガスがＭＮＯ熱分解を抑制する
ために焼結が加速され、かつ最終的に焼結体中の気孔が
大幅に除去されることによるものと考えられる。
本発明の加圧室木下における焼結方法は常圧焼結法と同
様、複雑な形状の製品を大量に製造することが可能なた
め、その工業的価値は極めて太きい。以下実施例シーよ
って本発明を具体的に例示するが本発明はこれらの実施
例に限定されるものではない。
様、複雑な形状の製品を大量に製造することが可能なた
め、その工業的価値は極めて太きい。以下実施例シーよ
って本発明を具体的に例示するが本発明はこれらの実施
例に限定されるものではない。
実施例１゜
平均粒子径が１．３１μｍで、３μｍ以下が９０容量％
を占め、且つ表１に示す組成の窒化アルミニウム粉末に
Ｃ′ａ（ＮＯ３）２・４Ｈ２０をＣａＯ換算で０．５ｗ
ｔ％添加し；エタノール中で均一に混合した。粉末を乾
燥後１５０ ｏ製の圧力でラバープレスした円板状試料
を９．８贅の窒素ガス加圧下、２１００℃で３時間焼結
した。得られた焼結体は密度３．２６ｔ／ａｄで透光性
のものであった。厚さ２．５咽の焼結体の熱伝導兆ヲレ
ーザーフラッシュ法により測定したところ１２２ｗ／ｍ
Ｋであった。またこの焼結体を０．５蘭の厚みに研削、
研磨した試料の光透過率を測定したところ０．８μｍの
波長の光の直線透過率が１０炎、全透過率が８８９６で
あった。
を占め、且つ表１に示す組成の窒化アルミニウム粉末に
Ｃ′ａ（ＮＯ３）２・４Ｈ２０をＣａＯ換算で０．５ｗ
ｔ％添加し；エタノール中で均一に混合した。粉末を乾
燥後１５０ ｏ製の圧力でラバープレスした円板状試料
を９．８贅の窒素ガス加圧下、２１００℃で３時間焼結
した。得られた焼結体は密度３．２６ｔ／ａｄで透光性
のものであった。厚さ２．５咽の焼結体の熱伝導兆ヲレ
ーザーフラッシュ法により測定したところ１２２ｗ／ｍ
Ｋであった。またこの焼結体を０．５蘭の厚みに研削、
研磨した試料の光透過率を測定したところ０．８μｍの
波長の光の直線透過率が１０炎、全透過率が８８９６で
あった。
実施例２゜
実施例１と同じ窒化アルミニウム粉末に種々の助剤？酸
化物換算で０．５ｖｒｔ％添加した粉末を実施例１と同
様の操作によりラバープレスし、種々の条件で焼結した
結果を表２に示す。表２の中で崖４，５は比較例である
。
化物換算で０．５ｖｒｔ％添加した粉末を実施例１と同
様の操作によりラバープレスし、種々の条件で焼結した
結果を表２に示す。表２の中で崖４，５は比較例である
。
第１表 ＡＩＩＩＮ粉末分析値
／ｕＮ含有量 ９７．８５６
元 素 含有量
鬼 ＜５ （ＰＰＭ）
Ｃｒ ２１（！Ｉ）
Ｓｉ １２５（〃）
ｚｎ ９（／／）
Ｆｅ ２０（＃Ｉ
Ｃｕ ＜５（＃）
Ｍｎ ５（＃）
Ｎｉ ２７（／Ｆ）
Ｔｉ ＜５（７Ｆ）
Ｃｏ ＜５（＃）
ＩＪ ６４．８ （ｗｔ％）Ｎ
３３．４ （＃ ） Ｑ １．１ （１、） ＣＯ，１１（＃ １ 実施例３゜ 実施例１に用いたものと同じ窒化アルミニウム粉末に助
剤を添加せずそのまま２００驚の機械的圧力を一軸で加
えなからＮ２加圧下で焼結した結果を表３に示す。
３３．４ （＃ ） Ｑ １．１ （１、） ＣＯ，１１（＃ １ 実施例３゜ 実施例１に用いたものと同じ窒化アルミニウム粉末に助
剤を添加せずそのまま２００驚の機械的圧力を一軸で加
えなからＮ２加圧下で焼結した結果を表３に示す。
なお表３の中の４３．４は比較例である。
実施例４゜
平均粒子径が１．８μｍ、３μｍ以下の粒子が７５容ｆ
ｋｇ６以上で主な不純物としてＦｅＯ，０７％。
ｋｇ６以上で主な不純物としてＦｅＯ，０７％。
Ｓｉ Ｏ，０３，Ｔｉ Ｏ，０８％を含み酸素含有量が
２、１ ｗｔ９６である窒化アルミニウム粉末（ＡＪＮ
含有量９４．８ ｗｔ％ ）にＣａＣＯ３をＣａＯ換算
で２．Ｏｖｔ％、バインダーとしてポリビニルブチラー
ルを３．５ｗｔ９６添加してエタノール中で均一に混合
した。
２、１ ｗｔ９６である窒化アルミニウム粉末（ＡＪＮ
含有量９４．８ ｗｔ％ ）にＣａＣＯ３をＣａＯ換算
で２．Ｏｖｔ％、バインダーとしてポリビニルブチラー
ルを３．５ｗｔ９６添加してエタノール中で均一に混合
した。
粉末を乾燥ＩＩ ５００Ｍの圧力でラバープレスして円
板状の成形体を作成した。この成形体を９、８ ＹＩの
窒素ガス圧下、２１５０℃の温度で３時間焼結した。得
“られた焼結体は密度３．２５ｆ／ｃ１１で熱伝導率を
測定したところ９３ ｗ／ｍｋであった。
板状の成形体を作成した。この成形体を９、８ ＹＩの
窒素ガス圧下、２１５０℃の温度で３時間焼結した。得
“られた焼結体は密度３．２５ｆ／ｃ１１で熱伝導率を
測定したところ９３ ｗ／ｍｋであった。
比較のために上記と全く同じ条件で作成した円板状成形
体を１気圧アＮ２中−１９５０℃で３時間焼結した焼結
体の密度は３．２０ｆ／ｃｄで熱伝導率は５３ ｗ／ｈ
＋にであった。
体を１気圧アＮ２中−１９５０℃で３時間焼結した焼結
体の密度は３．２０ｆ／ｃｄで熱伝導率は５３ ｗ／ｈ
＋にであった。
Claims (1)
- 窒化アルミニウム粉末の成形体或いは該窒化アルミニウ
ム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体を２〜１００気
圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４００℃の温度で
焼結することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140628A JPS6121978A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140628A JPS6121978A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6121978A true JPS6121978A (ja) | 1986-01-30 |
Family
ID=15273114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59140628A Pending JPS6121978A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6121978A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6369764A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-29 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムの焼結体及びその製造方法 |
| US4847221A (en) * | 1987-01-13 | 1989-07-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | AlN sintered body having high thermal conductivity and a method of fabricating the same |
| US5077245A (en) * | 1987-01-30 | 1991-12-31 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
| US5124284A (en) * | 1989-06-07 | 1992-06-23 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride sintered body |
| US5154863A (en) * | 1985-10-31 | 1992-10-13 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP59140628A patent/JPS6121978A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5154863A (en) * | 1985-10-31 | 1992-10-13 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
| JPS6369764A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-29 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムの焼結体及びその製造方法 |
| US4847221A (en) * | 1987-01-13 | 1989-07-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | AlN sintered body having high thermal conductivity and a method of fabricating the same |
| US5077245A (en) * | 1987-01-30 | 1991-12-31 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof |
| US5124284A (en) * | 1989-06-07 | 1992-06-23 | Kyocera Corporation | Aluminum nitride sintered body |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3969125A (en) | Heat resistive and reinforced composite material | |
| JPH0244787B2 (ja) | ||
| US4351787A (en) | Process for sintering reaction bonded silicon nitride | |
| US5063183A (en) | Sinterable aluminum nitride composition, sintered body from this composition and process for producing the sintered body | |
| JPH0475190B2 (ja) | ||
| US5077245A (en) | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof | |
| US4950435A (en) | Process for producing aluminum nitride sintered body | |
| KR960016070B1 (ko) | 질화알루미늄 소결체 및 그 제조방법 | |
| US5154863A (en) | Aluminum nitride-based sintered body and process for the production thereof | |
| JPS5849510B2 (ja) | チツカアルミニウムシヨウケツタイノ セイゾウホウホウ | |
| JPS6241766A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 | |
| US5055432A (en) | Process for preparing a nitridable silicon-containing material having at least one densification aid including alumina, and the material resulting therefrom | |
| JPS6121978A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| US5166106A (en) | Silicon-containing material having at least one densification aid including alumina | |
| JPS63260868A (ja) | 窒化アリミニウムの焼結体およびその製法 | |
| JPH0517190B2 (ja) | ||
| JP2535139B2 (ja) | 放熱基板 | |
| JPH0224789B2 (ja) | ||
| JPH04923B2 (ja) | ||
| JPS6131360A (ja) | 複合焼結体の製造方法 | |
| JP2772580B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 | |
| JPH0146472B2 (ja) | ||
| JPH0733286B2 (ja) | 炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0788256B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP2876521B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |