JPS59185015A - 磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体にガートバンドを形成できる磁気
ヘッドに係シ、特に磁気ディスク用の記録再生装置に用
いるのに好適な前記磁気ヘッドに関する。

〔発明の背景〕

円板状の記録媒体の周方向に沿って記録トラックを形成
する磁気ディスク装置の場合、トラック間隔を狭めて記
録密度を高めると、再生時に隣接トラックのクロストー
クが問題となる。

このような目的のために、従来の記録再生用磁気ヘッド
は、例えば第１図、第２図に示す構造のものが用いられ
ていた。この磁気ヘッドは３つのへラドコア１０，１１
．１２からなっている。第１のへラドコア具は作動ギャ
ップ１４およびコイル巻線用窓１５を有し、フェライト
で構成された磁気コア部１３とセラミック等の非磁性材
料から成るＬ字状の部材１６とからなる。同様にして、
第２．第３のへラドコア１１．１２はフェライトで構成
された磁気コア部１７．１８とＬ字状の非磁性材料２３
．２４とからなり、それぞれ作動ギャップ１９．２０お
よびコイル巻線用窓２１゜２２が形成されている。これ
らのへラドコア１０゜１１．１２は、同一のブロックか
ら所定幅で切シ出されたものが用いられており、第２図
のごとく接合され一体化されている。中央のへラドコア
１０が記録再生用で、その両側のへッドコア１１および
１２が消去用となっている。

このように構成することにより、第２図に示す磁気ヘッ
ドの記録媒体対向面の記録再生用ギャップエ４によ多形
成される記録トラックのちょうど側部を一対の消去用ギ
ャップ１９．２０が走査することになる。従って、この
記録トラックの両側がほぼ完全に無信号状態のガードノ
くンドになるので、トラック間隔を狭めても、再生時に
、隣接するトラックからクロストークを生じるよう々こ
とがほとんど力くなる。

ところが上述したような構造の磁気ヘッドでは、ブロッ
クから切断した後、各ヘッドコア１曳。

１１．１２を重ねて接合させねばならない。この際、特
に各ギャップ１４，１９．２０の位置合せが非常にむず
かしい作業となる。捷た、トラック幅が３０μｍ以下に
なるとヘッドコアの機械的強度が弱くなシ、加工が困難
となる。

さらに、最近では記録波長も短かくするために、高保磁
力の記録媒体が使用されるように々す、これに十分記録
可能な磁気ヘッドとしては、現状の７エライトでは不十
分となってきた。高飽和磁束密度で高透磁率の磁性材料
となると、金属磁性材料に限られてくる。しかし、周知
のように・くルりの金属磁性材料は渦電流損失によシ高
周波領域の良好外特性が得られないという欠点がある。

これを解決するために、薄膜形成技術により形成した多
層構造の金属磁性体膜を用いた磁気ヘッドが提案されて
いるが、第１図、第２図の構造でこれを実現することは
至難のわざである。

〔発明の目的〕

本発明は前述の種々の問題点を解決し、記録再生用ギャ
ップと一対の消去用ギャップとを具備し、その製造が非
常に簡単でかつ精度の良い磁気ヘッドならびにその製造
方法を提供するものである。

しかも、高保磁力の記録媒体にも十分記録可能で、２０
μｍ以下のトラック幅を簡単に製造できる構造の磁気ヘ
ッドならびにその製造方法を提供するものである。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するため、本発明の磁気ヘッドは、非磁
性部材上に形成された磁性体によシ磁気回路が構成され
る第１のコアを有する記録再生用ヘッド、および他の非
磁性部材上に形成された磁性体によシそれぞれ磁気回路
が構成される第２ならびに第３のコアを有し該記録再生
用ヘッドによシ磁気記録媒体に形成された磁気記録部分
のトラック幅の両側縁部を該第２ならびに第３のコアを
用いて消去して始値の記録トラック幅を残すように配置
された一体構造の消去用ヘッドを具備し、且つ該記録再
生用ヘッドと該消去用ヘッドが磁気記録媒体走行方向に
連結・結合され一体化されてなるものである。

さらに、これを具体化して述べると、まず、前記記録再
生用ヘッドとしては、はぼＶ字状の断面形状を有し、磁
気回路を構成する一対の金属磁性体膜が非磁性ギャップ
材を介してその突起部Ｖ？−おいて互いに突き合わせて
前記第１のコアを形成してなシ、該Ｖ字状の形状の断面
部分が磁気記録媒体対抗面に露出し、該一対の金属磁性
体膜の該突起部の先端は互に平行で且つ磁気記録媒体走
行方向にほぼ直角な平面であシ、該平面と該磁気記録媒
体対抗面との交線で示される該平面の幅はトラック幅に
対応し、且つ該金属磁性体膜は該Ｖ字状記消去用ヘッド
としては、突起部の先端が平面をなすＶ字状の断面形状
を有する２個の非磁性部材の該Ｖ字部両側面にそれぞれ
形成された各一対の磁気回路構成用金属磁性体膜が非磁
性ギャップ材を介して該磁性部材先端の平面部に隣接す
る部分にてそれぞれ突き合わせて前記第２．第３のコア
を形成して々す、該■字部両側面の金属磁性体膜断面が
磁気記録媒体対抗面に露出し、該各一対の金属磁性体膜
の突き合わせ部は互に平行で且つ磁気記録媒体走行方向
にほぼ直角な平面であシ、且つ該第２．第３のコア間に
挟在する該非磁性部材先端を構成する平面と該磁気記録
媒体対抗面との交線で示される該平面の幅が前記トラッ
ク幅以下であるように構成してなるものを挙けることが
できる。このような記録再生用ヘッドと消去用ヘツドを
、磁気記録媒体走行方向に直列に連結・結合して、一体
化し、巻線を設けることによシ、本発明の典型的な磁気
ヘッドを得ることができる。

上述した本発明の磁気ヘッドは、１）２個の非磁性体ブ
ロックのギャップ形成側の面にそれぞれ少なくとも１個
のコイル巻線用溝を形成する工程、１１）前記非磁性体
ブロックのギャップ形成側の面に前記コイル巻線用溝に
直角に複数の突起部を残すように平行に溝を形成する工
程、ｔｉｔ）工程１１）を終了した前記非磁性体ブロッ
クのギャップ形成側の面の少なくとも前記溝面上に金属
磁性体を被着せしめる工程、１ｖ）前記金属磁性体が表
面に被着されている前記溝に非磁性材を充填する工程、
■）前記一方の非磁性体ブロックの前記非磁性充填材な
らびに磁性体の不要部を除去し、所要のトラック幅を有
するギャップ形成面を露呈せしめる工程、ｖｌ）■程１
１１）を終了した前記もう一方の非磁性体ブロックの非
磁性充填材ならびに磁性体の不要部を除去し、所要の非
磁性体部とその両側部に一対の金属磁性体を有するギャ
ップ形成面を露呈せしめる工程、ｖｉｉ）■程Ｖ）およ
び工程Ｖ１）を終了したブロックをそれぞれ中央部で切
断して、それぞれ一対のコアブロックとする工程、ｖｌ
ｌｌ）工程ｖ１１）を終了した前記各一対のブロックの
少なくとも一方のギャップ形成側の面にそれぞれ所要の
厚さの非磁性層を形成する工程、１×）工程ｖｉｉｉ　
）を終了した前記各一対のブロックのギャップ形成面を
それぞれ相対碕せしめ、互いに接合する工程、およびＸ
）接合されｆＣ２組のブロックを所定の位置に接合一体
化する工程、×１）前記接合されたブロックを所定の位
置にて切断し、少なくとも１個の磁気へラドコアを得る
工程を有する製造方法によシ容易に製造することができ
る。

本発明においては、前述のように、前記第１のコア部は
対向する２個の非磁性保護部材の突起部に形成された略
Ｖ字状の金属磁性体を非磁性ギャップ材を介して突き合
せ接合されてなる。トラック幅は前記突き合せ面を研摩
することによってＶ字状の金属磁性体膜の先端部を所要
の幅に規定できる。この場合、非磁性保護部材の突起部
が現われない範囲で任意に選ぶことができる。このよう
にして、第１のへラドコアは記録再生用の磁気ヘッドと
なる。

次に、第２ならびに第３のへラドコアは第１のヘッドコ
アと同様の方法で製造され、ギャップ突き合せ面を形成
する研摩の工程において、非磁性保護部材の突起部が現
われるまで研摩することによって第２のコアと第３のコ
アに分離される。この時の非磁性保護部材の突起部が露
出する幅を前記第１のへラドコアのトラック幅に等しい
か、それよシ狭くすることによって所要の記録トラック
幅を規定することができる。すなわち、非磁性保護部材
の露出部の両側部に第２のコアと第３のコアからなる消
去用磁気ヘッドが形成され、第１のへラドコアで記録さ
れる記録トラックのちょうど両側部を一対の消去用ヘッ
ドが走査されることになる。従って、この記録トラック
の両側がほぼ完全な無信号状態のガートバンドになる。

また、金属磁性体膜の被着厚さがほぼガートバンドの幅
になるので、金属磁性体膜の厚さを変えることによハガ
ードバンドの幅を自由に選択できる。したがって、第１
図、第２図に示す従来のものよシ狭い幅のガートバンド
とすることもできる。

上記のような構造の第１の記録再生用へラドコアと第２
．第３の消去用磁気ヘッドは直列に接合一体化されて一
個の磁気ヘッドを構成する。

このように１本発明によれば、金属磁性体膜の膜厚によ
って任意にトラック幅が規定でき、従来のバルク材によ
って構成された磁気ヘッドに比べ、狭トラツク幅ものが
容易に得られ、高密度記録用の磁気ヘッドに好適である
。捷た、ガートバンド幅も狭くするのに好都合である。

本発明において用いる金属磁性体は、第１のコアと、第
２．第３のコアと同一の材料を用いてもよく異なった材
料を用いることも容易にできる。

本発明の磁気ヘッド構造において、ギャップ近傍の金属
磁性体膜を保護するために金属磁性体膜を被着後、非磁
性保護材を形成するとよい。保護材はガラスを充填して
もよ＜　、ｋｔ２０ｓ　、　Ｓ　ｉ０２等の耐摩耗性材
料を形成してもよく、前記耐摩耗性保護材とガラスの２
層以上の構造にすることができる。この場合ガラスは２
個のコア半休を接合するための接合材とすることができ
る。

本発明の磁気へラドコア部を構成する金属磁性体膜は従
来のフェライトよシも飽和磁束密度Ｂｓが高く、且つ磁
歪がＯ付近の高透磁率材料であれば何でもよいが、代表
的なものとしては、ｐｅ−ｈｔ−ｓｉ合金（いわゆるセ
ンダスト系合金）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（いわゆるパーマロ
イ系合金）、等の多結晶金属磁性材料、あるいは非晶質
磁性合金材料を挙げることができる。これらの磁性材料
はスパッタリングあるいは蒸着等の薄膜形成技術によっ
て被着される。一方、非磁性部材は前記磁性体膜を保護
するために設けられたもので、耐摩耗性に優れた、非磁
性フェライト、セラミックあるいはガラス等が用いられ
る。

々お、本発明の磁気ヘッドの記録再生用ヘッド部分の詳
細は、昭和５８年２月に特許出願した「磁気ヘッドおよ
びその製造方法」の明細書に示されている。

その他、本発明の磁気ヘッドならびにその製造方法にお
いて、本明細書に記載してないことについては、従来の
技術上の知見を用いてよい。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の磁気ヘッドの構造およびその製造方法に
ついて実施例によって詳しく説明する。

第３図、第４図は本発明の一実施例における磁気ヘッド
の構造を示す斜視図と平面図である。

３０は記録再生用の第１のコツトコア３１と、これと直
列に接合された消去用の第２、第３のヘッドコア３２と
からなる磁気ヘッドである。３３゜３３′はそれぞれの
へラドコアの非磁性保護部材でセラミック、非磁性フエ
ライＩｆるいはガラス等のバルク材からなシ、それぞれ
のコア半休の対向部が突起を形成している。この突起部
の両側面に高飽和磁束密度の金属磁性体からなるｐｅ−
ｈｔ−ｓｉ、Ｎ　１−Ｊｅの結晶質合金もしくは非晶質
合金３４．３４’および３５．３５’が被着され、それ
ぞれ、はぼ磁歪零近傍の組成を有するものである。ここ
で、一対の金属磁性体３４と３４′および３５と３５′
の突き合せ部はトラック部および作動ギャップを形成す
るために研摩され、所要のトラック幅１１　（例えば第
１のコア３３では３０μｍ）を得る。また、消去用へラ
ドコア３２においては磁性体膜を被着した後、非磁性保
護部材３３．３３’が露出するまで研摩し、露出幅ｔ２
は記録トラック幅となり、４≧ｔ２とする。この研摩に
よって、一対の消去用ヘッドコアが分離され、ちょうど
ｔｘＯ幅で記録されたトラック幅の両級部を消去して所
要の記録トラック幅が残されるように構成する。消去用
へラドコアの幅’３　＋　ｚ４は磁性体膜の厚みに相轟
し、第１のへラドコアと同時に作製したものでは約１５
μｍとなる。したがって、トラック幅方向の記録密度を
高めるためには被着厚みを薄くすれば任意にガートバン
ド幅を選ぶことができる。

なお、ギャップ近傍は狭トラツクにするために、ｊ）　
ＡｔｚＣｈを約１０μｍ被着し、さらに、ガラス３７を
溶融充填した。ここで、ガラスは２個のコ４１はそれぞ
れのコイル巻線用窓である。記録再生用の第１のへラド
コア３１と消去用の第２、第３のヘッドコア３２を直列
に４２で接合して磁気ディスク用の磁気ヘッドを得る。

本発明によって得られた磁気ヘッドは、従来のフェライ
トバルクヘッドに比べ、 （１）任意の狭トラツクヘッドが容易に得られる。

（２）高飽和磁束密（ＢＳ　）の大きい材料を用いるこ
とができるため高保磁力（Ｈｃ）記録媒体に十分適用で
き、高密度化が可能である。

（３）記録トラックに対して任意に消去幅をかえること
ができ、磁性体膜の膜厚を制御することによってトラッ
ク幅方向の記録密度を高めることができる。

（４）一対の消去ヘッドが一体になっているため実質記
録トラック幅の精度が高く、かつ、容易に形成できる。

（５）　　記録再生へラドコアと消去ヘッドコアの一体
化が簡単であるため量産性が高い。

等の利点がある。

次に、本発明の前記磁気ヘッードの製造方法の一例を以
下に説明する。

本発明の製造方法の各工程の説明図を、第５図（イ）〜
（す）に示す。以下、第５図（イ）、第５図（ロ）等に
対応する工程を工程（イ）、工程（ロ）等とする。

１）第５図（イ）は非磁性のＺｎフェライトよりなるブ
ロックリを２個用意する。一方は記録再生用の磁気ヘッ
ドを得るだめのものであシ、もう、一方は消去用磁気ヘ
ッドを得るためのものである。それぞれ同様な製造プロ
セスで加工される。

ここでは、一方のみの工程を示し、途中工程において、
もう一方の加工工程を含めて説明する。

非磁性ブロック５０　テ８　＝　１５　ｍｍ、ｂ　＝　
６　ｍｍ、Ｃ＝１．２　ｒａｎとした。ａはコア厚み方
向で複数個のへラドコアが切シ出される。ｂはコア高さ
で、２．５喘のコア高さを示すものが２個取れるように
なっておシ、一対のコアブロックとなる。Ｃは一対のコ
アを形成するコア幅の１７２の寸法となっている。５１
はギャップ突き合せ面で、ギャップ深さｄを残してａＣ
面に平行にコイル巻線用の窓となる溝５２を形成する。

該コイル巻線用溝５２の深さｈは０．３５■とした。

１１）工程（ロ）は前記（イ）の工程で得られたコイル
巻線用溝に直角に複数の突起部５３を平行に同一間隔に
形成するための溝５４を高速ダイサ等によって加工され
る。該溝５４の深さＨは前記コイル巻線用溝の深さｈよ
シ深くする。ここでは、Ｈ＝　６　ｗｎとした。突起部
の角度θはできる限シ鋭角の方が好ましいが、機械加工
による場合、あまシ鋭角にすると突起部に欠けを生じ、
鈍角にした場合、コア厚みを薄くする必要がある時に後
の工程で形成される磁性体膜がコイル巻線溝よシ浅くな
ってしまうため磁気回路が形成できなくなるため好まし
くない。したがって、突起部の角度θは１０〜１５°が
好ましい。

１１１）工程（ハ）は前記（ロ）の工程で得られた溝部
を含めギャップ突き合せ面全面に金属磁性体膜５５をス
パッタリングによって堆積させる工程である。

金属磁性体はｒｅ−ｈｔ−ｓｉ合金（センダスト）、Ｎ
１−）ｉ’ｅ合金（パーマロイ）等で代表される結晶質
合金であシ、非晶質合金はＣｏ−Ｆｅ−８ｉ−Ｂ系で代
表される周知のメタル−メタロイド系合金や、Ｃｏ−Ｔ
ｉ、　Ｃｏ−Ｍｏ−Ｚｒ、　Ｃｏ−Ｎｂ　−Ｚｒ、ｃｏ
−Ｗ−２ｒ等の周知のメタル−メタル系合金等が用いら
れる。堆積法は他に真空蒸着、イオンブレーティング、
化学蒸着あるいはメッキ法等でも可能であるが、限られ
た金属しかできないことや組成変動が大きい等の難点が
あり、スパッタリング法が適している。また、スパッタ
リング法は付着強度が高く、溝部にも廻シ込みがよいと
いう利点があシ本発明法に適している。堆積する金属磁
性体の膜厚は突起部の両側品積されたものが利用できる
ので所要のトラック幅よシ薄くて済むためスパッタリン
グ時間を短縮することができる。本実施例においては、
例えば２８μｍのトラック幅を得るのに、磁性体膜の厚
さは１５μｍとした。磁性体膜は必要ならば、非磁性物
質を交互に積層した多層膜としてもよい。

次に、前記金属磁性体膜の堆積後、保護膜として、Ａｔ
２０ｓ　、　Ｓ　ｉｏｚ等の非磁性材５６を堆積するこ
とが好ましい。該保護膜は金属磁性体膜５５の保獲とへ
ラドコアに完成した時にギャップ近傍部の絞シ込み部の
耐摩耗性を確保するために有効である。

＋Ｖ）工程に）は工程（ハ）で得られた金属磁性膜と保
護膜が成形された上に少なくとも残シの溝部が埋まる程
度に非磁性材５７を充填する工程である。

非磁性材５７はガラス、セラミックス系の無機接着材あ
るいは硬質の樹脂が用いられる。安定性面からガラスが
適している。ガラス材は金属磁性体膜５５が結晶質合金
であれば作業温度が８００Ｃ以下の広い範囲で選ぶこと
が可能である。一方非晶質合金の場合は少なくとも結晶
化温度以下のものが選ばれ、一般に作業温度が５００Ｃ
以下の低融点ガラスにする必要がある。

ナオ、工程に）を省略して工程（ハ）において非磁性膜
５６で溝を埋めてもよく、工程（ハ）において非磁性膜
５６の代シにガラス５７のみで溝を埋めることもできる
。

■）工程（ホ）は工程に）で得られたブロックを２個用
意し、一方のブロックを加工する工程である。

この一方のブロックの非磁性材５６．５７および金属磁
性体膜５５の不要部を除去し、所要のトラック幅ｔ１の
金属磁性体膜からなる作動ギャップ形成面を露呈させる
工程である。このブロックからは記録再生用のへラドコ
アが作られる。除去法は研削および研摩によって行なわ
れ、ギャップ突き合せ面を得るため、最終仕上げは鏡面
研摩面とする。図１−１：工程（ホ）によって得られた
一部の拡大図を示し、鏡面研摩は前記トラック幅１．が
得られるまで行なう。次に、ブロック５０は中央部点線
６０で切断し、一対のコアブロック５８．５９を得る。

コアブロック５８．５９はギャップ突き合せ面に非磁性
ギャップ膜を形成した後見いにトラック幅が一致するよ
うに突き合せて接合される。

ｖ＋）工程（へ）は工程に）で得られたもう一方のブロ
ックを加工する工程である。該ブロック５０’の非磁性
材５６．５７および金属磁性体膜５５の不要部を除去し
、非磁性部材からなる突起部５３が露呈するに至らしめ
る。図Ｂは工程（へ）によって得られた一部の拡大図を
示す。ここで、突起部の５３が露呈される長さｔ２は記
録トラック幅に相当し、前記トラック幅ｔ１に対して少
なくとも１．≧４　とする。このように加工したブロッ
クは非磁性突起部５３の両側面に金属磁性体膜５５が分
離された構造となシ、同一非磁性基板上に２つのへラド
コアが形成される。　　゛このブロックからは消去用の
ヘッドコアが作られる。そのトラック幅はそれぞれｔ３
　＊　７４で形成された金属磁性体膜の厚さに一致する
。加工方法は工程（ホ）と同様にして行なわれ、最後に
ブロック５０’は中央部点線６３で切断し、−１対のコ
アブロック６１．６２を得る。コアブロック６１．６２
はギャップ突き合せ面に非磁性ギャップ膜を形成した後
、互いにトラック幅が一致するように突き合せて接合さ
れる。

Ｖ＋＋　＞工程（ト）は工程（ホ）で得られた一方のコ
アブロック５８．５９を突き合せて加圧、加熱しながら
接合一体化する工程である。この場合、接合は溝に充填
されている非磁性材５７がガラスならばお互いのガラス
によって行なわれ、Ａｔ２ｏ３のような高融点材を用い
た場合には別途コイル巻線窓の一部、および後部接合部
に切シ欠き溝を設けて樹脂によって行なわれる。次に、
コイル巻線窓のないコアブロック５９側を点線６４で切
断し、次のブロックとの接合面とする。

／ｉｉｉ　）工程（イ）は工程（へ）で得られたもう一
方のコアブロック６１．６２を突き合せて加圧、加熱し
ながら工程（ホ）と同様にして接合一体化する。次に、
コイル巻線窓のないコアブロック６２側を点線６５、で
切断し、前のブロックとの接合面とする。

×）工程（史は工程（ト）と工程（イ）で得られた接合
ブロック６６と６７を接合部６８で接合する。なお、ｈ
パ 接合面６８にはグラスをスパッタリングによって形成し
加熱圧着することによって寸法精度のよい接合ができる
。次に、トラック幅を中心にして点線で示す所要のコア
厚みＴＫなるように切断して、記録再生用の第１のへラ
ドコアと側部に一対の第２、第３の消去用ヘッドコアを
有する一体化した磁気ヘッドを複数個得る工程である。

６９．６９’はそれぞれコイル巻線用窓である。

第６図は工程（す）で得られた磁気ヘッドの記録媒体対
向面を示す。そして、記録再生用ギャップ７０と一対の
消去用ギャップ７１．７２とは互いに平行に配置され、
上記記録再生用ギャップ７０で形成される記録トラック
１１の両側縁部近傍を上記一対の消去用ギャップ７１．
７２がｔ２の実質記録トラック幅を残してｔ３゜ｔ４の
幅で消去される。すなわち、両消去用ギャップ７１．７
２の間隔ｔ２は記録再生用ギャップ７０の幅１１に等し
いか或いは若干小さくなされている。

このように構成することによって、第７図に示すように
、記録再生用ギャップ７０によって形成された記録トラ
ック７３のちょうど両側部を一対の消去ギャップ７１．
７２が走査する。従って、この記録トラック７３の両側
が無信号状態となり、実質記録トラック７４が形成され
る。

第８図は本発明の磁気へラドコア磁性体部を取シ出した
斜視図である。７５は記録再生用で第１の磁気コア部を
示す。７６．７７は消去用で第２および第３の磁気コア
を示す。７６．７７はコイル巻線窓の部分で連結してい
るが、加工法によって分離することもできる。以上述べ
た磁気ヘッドにそれぞれコイルを巻装することによって
本発明の磁気ヘッドが得られる。

次に本発明の他の実施例ｒ第９図、第１０図に示す。特
に消去ヘッドの構造およびその製造方法を示す。第９図
（イ）〜（ハ）はその製造工程における磁気コアブロッ
ク半休の記録媒体対向面の平面図でらる。主な製造工程
は第５図の実施例に準じ、特に異なる部分は第９図（イ
）に示される工程においての非磁性ブロック５０′に形
成された突起部５３の形状である。すなわち、突起部５
３の先端を実質記録トラック幅ｔ２になるように残して
両端を溝を形成しておく。その後、第９図（ロ）に示さ
れる工程において、所要の厚みの金属磁性体膜５５を充
填する。

次に第９図（ハ）に示される工程において、不要の非磁
性材５６．５７および金属磁性体膜５５を除去すると、
前記突起部５３の先端部の幅ｔ・ち露呈し、その両側部
に金属磁性体膜５５が幅ｔ３゜ｔ４として露呈される。

すなわち、幅ｔ２は精度よく形成することができ、記録
再生へラドコアの記録幅ｔ１に対して一対の消去ヘッド
のトラック幅ｔ３　、ｔ４でその側縁部を消去すること
によってｔ２の記録トラック幅が得られる。

第１Ｏ図はこのようにして完成された消去用へラドコア
の記録媒体対向面の平面図を示す。それぞれの記号説明
は前記ヘッドコアと対応するものである。

なお、上記第９図（イ）、（ロ）に示す工程を用いて製
造されたヘッドコアの構造を記録再生ヘッドに適用する
ためには前記突起部５３の先端部をギャップと平行部を
持たないような形状にするのが好ましい。

また、磁気ヘッドを示す各図面において、コイルの図示
を省略しであるが、コイルは装着するものとする。

〔発明の効果〕

以上説明したごとく本発明の磁気ヘッドは、高飽和磁束
密度の磁性体で磁気コアを形成できるので高保磁力の記
録媒体にも十分に記録可能で記録の高密度化が可能であ
り、任意のトラック幅の狭トラツクヘッドが容易に得ら
れ、また消去ヘッドの磁性体膜の膜厚制御により記録ト
ラックに対して任意に消去幅を変えることができるので
トラック幅方向の記録密度を高めることができ、さらに
一対の消去ヘッドが一体になって構成されているため精
度の高い実質記録トラック幅のものを容易に製造でき、
さらにまた記録再生用ヘッドと消去用ヘッドの一体化が
簡単であるため量産性が高い、等の大きな利点を有する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は従来の磁気ヘッドの斜視図および上面
図、第３図、第４図は本発明の一実施例における磁気ヘ
ッドの斜視図および上面図、第５図（イ）〜（す）は本
発明の一実施例における磁気ヘッドの製造方法の各工程
の説明図、第６図は第５図に示す磁気ヘッド製造方法に
よって得られた磁気ヘッドの記録媒体対向面を示す平面
図、第７図は本発明の磁気ヘッドによって形成される記
録トラックを示す概略説明図、第８図は本発明の一実施
例における磁気ヘッドの磁性体部を取シ出した磁気コア
部斜視図、第９図（イ）〜（ハ）は本発明の他の実施例
における磁気ヘッドの製造方法の各工程を示す断面図、
第１０図は第９図に示す方法によって得られた磁気ヘッ
ドの記録媒体対向面を示す平面図である。 ３１・・・記録再生用の第１のへラドコア、３２・・・
消去用の第２、第３のヘッドコア、３３．３３’・・・
突起部を有する非磁性部材、３４．３４’　、３５゜３
５′・・・金属磁性体膜、３６・・・非磁性保護膜、３
７・・・非磁性充填材、３８・・・記録再生用作動ギャ
ップ、３９．３９’・・・消去用作動ギャップ、４ｏ。 ４１・・・コイル巻線窓、５０・・・非磁性体ブロック
、５２・・・コイル巻線用溝、５３・・・非磁性体突起
部、５４・・・溝、５５・・・金属磁性体膜、５６・・
・非磁性珠芽　１　図 Ｉｉ ×４　口 第　５　図 烹　５　図 （ヤ＼） 第　５　図 （ト） ４ （＋） 菖 χ　５　図 （す） 兜　δ　ロ χ　９［２１１ （４） ρつ 第　１０　　（２） 第１頁の続き ０発　明　者　斎藤法利 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発　明　者　工藤實弘 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非磁性部材上に形成された磁性体によシ磁気回路が
   構成される第１のコアを有する記録再生用ヘッド、およ
   び他の非磁性部材上に形成された磁性体によシそれぞれ
   磁気回路が構成される第２ならびに第３のコアを有し該
   記録再生用ヘッドによシ磁気記録媒体に形成された磁気
   記録部分のトラック幅の両側縁部を該第２ならびに第３
   のコアを用いて消去して所望の記録トラック幅を残すよ
   うに配置された一体構造の消去用ヘッドを具備し、且つ
   該記録再生用ヘッドと該消去用ヘッドが磁気記録媒体走
   行方向に連結・結合され一体化されてなることを特徴と
   する磁気ヘッド。 ２、前記配録再生用ヘッドは、はぼＶ字状の断面形状を
   有し、磁気回路を構成する一対の金属磁性体膜が非磁性
   ギャップ材を介してその突起部において互いに突き合わ
   せて前記第１のコアを形成してなシ、該Ｖ字状の形状の
   断面部分が磁気記録媒体対抗面に露出し、該一対の金属
   磁性体膜の該突起部の先端は互に平行で且つ磁気記録媒
   体走行方向にほぼ直角な平面であり、該平面と該磁気記
   録媒体対抗面との交線で示される該平面の幅はトラック
   幅に対応し、且つ該金属磁性体膜は該７字状に対応する
   形状の突起部を有する非磁性部材上に形成されてなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド
   。 ３、前記消去用ヘッドは、突起部の先端が平面をなすＶ
   字状の断面形状を有する２ｆ固の非磁性部材の該■字部
   両側面にそれぞれ形成された各一対の磁気回路構成用金
   属磁性体膜が非磁性ギャップ材を介して該磁性部材先端
   の平面部に隣接する部分にてそれぞれ突き合わせて前記
   第２゜第３のコアを形成してなり、該■字部両側面の金
   属磁性体膜断面が磁気記録媒体対抗面に露出し、該各一
   対の金属磁性体膜の突き合わせ部は互に平行で且つ磁気
   記録媒体走行方向にほぼ直角な平面であシ、且つ該第２
   ．第３のコア間に挟在する該非磁性部材先端を構成する
   平面と該磁気記録媒体対抗面との交線で示される該平面
   の幅が前記トラック幅以下であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項もしくは第２項記載の磁気ヘッド。 ４、前記記録再生用ヘッドおよび／もしくは前記消去用
   ヘッドにおける前記金属磁性体膜の上面に非磁性保護材
   を形成してなることを特徴とする特許請求の範囲第２項
   もしくは第３項記載の磁気ヘッド。 ５、前記記録再生用ヘッドおよび／もしくは前記消去用
   ヘッドにおける前記金属磁性体膜が高透磁率多結晶合金
   もしくは高透磁率非晶質合金からなることを特徴とする
   特許請求の範囲第２項乃至第４項のいずれかの項に記載
   の磁気ヘッド。 ６．１）２個の非磁性体ブロックのギャップ形成側の面
   にそれぞれ少なくとも１個のコイル巻線用溝を形成する
   工程、１１）前記非磁性体ブロックのギャップ形成側の
   而に前記コイル巻線用溝形成する工程、１ｉｉ）工程１
   １）を終了した前記非磁性体ブロックのギャップ形成側
   の面の少なくとも前記溝面上に金属磁性体を被着せしめ
   る工程、１■）前記金属磁性体が表面に被着されている
   前記溝に非磁性材を充填する工程、■）前記一方の非磁
   性体ブロックの前記非磁性充填材ならびに磁性体の不要
   部を除去し、所要のトラック幅を有するギャップ形成面
   を露呈せしめる工程、ｖｌ）■程１１１）を終了した前
   記もう一方の非磁性体ブロックの非磁性充填材ならびに
   磁性体の不要部を除去し、所要の非磁性体部とその両側
   部に一対の金属磁性体を有するギャップ形成面を露呈せ
   しめる工程、ｖｉｉ）工８Ｖ）および工程Ｖ＋）を終了
   したブロックをそれぞれ中央部で切断して、それぞれ一
   対のコアブロックとする工程、Ｖｌｌｌ）工程■１１）
   を終了した前記各一対のブロックの少なくとも一方のギ
   ャップ形成側の面にそれぞれ所要の厚さの非磁性層を形
   成する工程、１ｘ）工程ｖｉｉｉ　）を終了した前記各
   一対のブロックのギャップ形成面をそれぞれ相対時せし
   め、互いに接合する工程、および×）接合された２組の
   ブロックを所定の位置に接合一体化する工程、×１）前
   記接合されたブロックを所定の位置にて切断し、少なく
   とも１個の磁気へラドコアを得る工程を有することを特
   徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ７、前記工程＋Ｖ）において金属磁性体を被着した上に
   第１の非磁性保護膜を被した後、さらに、溝部を埋める
   ように第２の非磁性材を充填することを特徴とする特許
   請求の範囲第６項記載の磁気ヘッドの製造方法。