JPH11240930A - 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Info

Publication number
JPH11240930A
JPH11240930A JP10329330A JP32933098A JPH11240930A JP H11240930 A JPH11240930 A JP H11240930A JP 10329330 A JP10329330 A JP 10329330A JP 32933098 A JP32933098 A JP 32933098A JP H11240930 A JPH11240930 A JP H11240930A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
epoxy resin
group
acid
resin composition
photocurable resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10329330A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3247091B2 (ja
Inventor
Kuniaki Sato
邦明 佐藤
Hiroaki Hirakura
裕昭 平倉
Toshihiko Ito
敏彦 伊藤
Takao Hirayama
隆雄 平山
Toshizumi Yoshino
利純 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP32933098A priority Critical patent/JP3247091B2/ja
Publication of JPH11240930A publication Critical patent/JPH11240930A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3247091B2 publication Critical patent/JP3247091B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気
特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができ、プリン
ト配線板、高密度多層板及び半導体パッケージ等の製造
に好適に用いられる光硬化性樹脂組成物及びこの光硬化
性樹脂組成物の層を支持体に積層してなる優れた耐熱
性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気絶縁性を有する
硬化膜が得られる感光性エレメントを提供する。 【解決手段】 酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂
(A)、エラストマー(B)、光重合開始剤(C)、希
釈剤(D)及び硬化剤(E)を必須成分とすることを特
徴とする光硬化性樹脂組成物、200〜220℃領域に
おける動的粘弾性測定で、組成物の硬化皮膜の弾性率が
1〜100MPaであることを特徴とする光硬化性樹脂組
成物並びにこれらの光硬化性樹脂組成物の層を支持体に
積層してなる感光性エレメント。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光硬化性樹脂組成
物に関し、更に詳しくは、プリント配線板ソルダーレジ
スト、高密度多層板層間絶縁膜、半導体パッケージ用ソ
ルダーレジスト等の電子材料分野において、像形成性、
耐熱性、密着性、機械特性、耐薬品性、電気特性等に優
れた永久マスクレジストとして用いられる光硬化性樹脂
組成物に関する。本発明は、またこの光硬化性樹脂組成
物を用いた感光性エレメントに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、プリント配線板製造における永久
マスクレジストは、熱あるいは紫外線硬化型レジストイ
ンキをスクリーン印刷する方法で作製されてきた。近
年、電子デバイスの高集積化に伴い、プリント配線板に
おいて配線パターン、絶縁パターンの高精細化が必要と
されるようになってきたが、従来のスクリーン印刷によ
るレジスト形成法では、印刷時に滲み、ダレ等が発生す
るため、高精細なレジスト像を形成するのが困難であ
る。そこで、フォトリソグラフィーによるレジスト像形
成法が開発されるに至った。具体的には、ドライフィル
ム型の感光性レジストを基材上に熱圧着、あるいは液状
の感光性レジストを基材上にカーテン、スプレー塗布
し、紫外線などの活性光線をネガマスクを介して照射
し、現像することによりレジスト像形成を行うものであ
る。ドライフィルム型の感光性レジストの場合、基材へ
の熱圧着時に空気を巻き込み気泡を生じやすく、そのた
め密着性の低下あるいはレジスト像の乱れを生じ、レジ
スト性能の低下が懸念される。
【0003】一方、液状の感光性レジストには、溶剤現
像型とアルカリ現像型があるが、作業環境保全、地球環
境保全の点からアルカリ現像型が主流になっている。こ
のようなものとして特開昭61−243869号公報、
特開平1−141904号公報に示されるものが知られ
ており、塗膜の耐熱性、耐薬品性、電気特性を向上させ
る目的で、更に紫外線露光や加熱を行い、架橋反応を促
進させている。
【0004】しかし、従来の液状感光性レジストは、実
用特性上の耐湿熱性、耐熱性の点でまだ問題がある。す
なわち、アルカリ現像型の液状感光性レジストは、アル
カリ現像を可能にするために親水性基を有するものが主
成分となっており、このため薬液、水等が浸透しやす
く、レジスト皮膜の実用特性を低下させていると推察さ
れる。
【0005】電子機器の小型化、軽量化、高性能化に伴
い、半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化さ
れ、量産化が進んでいる。例えば、BGA(ボールグリ
ッドアレイ)、CSP(チップサイズパッケージ)等の
半導体パッケージにおいて、高信頼性の点から特に耐湿
熱性ともいうべき耐PCT性(耐プレッシャークッカー
テスト性)が必要である。しかし、このような厳しい条
件下において、従来の液状感光性レジストは、数時間〜
十数時間程度しかもたないのが現状である。更に、実装
方法が、挿入実装から表面実装に変わることにより実装
時にパッケージにかかる温度が高くなる傾向がある。具
体的には表面実装の場合、予めクリームはんだを必要部
分に印刷し、全体を赤外線で加熱し、はんだをリフロー
して固定するので、パッケージ内外部の到達温度は22
0〜240℃と著しく高くなり、従来の液状感光性レジ
ストでは、熱衝撃で塗膜にクラックが発生したり、基板
や封止材から剥離してしまうという、いわゆる耐リフロ
ー性低下の問題があり、その改良が求められている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、耐熱性、耐
湿熱性、密着性、機械特性、電気特性に優れた高性能な
硬化膜を得ることができ、プリント配線板、高密度多層
板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられる光
硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明
はまた、この光硬化性樹脂組成物の層を支持体に積層し
てなる優れた耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電
気絶縁性を有する硬化膜が得られる感光性エレメントを
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、酸変性ビニル
基含有エポキシ樹脂(A)、エラストマー(B)、光重
合開始剤(C)、希釈剤(D)及び硬化剤(E)を必須
成分とすることを特徴とする光硬化性樹脂組成物を提供
するものである。本発明また、200〜220℃領域に
おける動的粘弾性測定で、組成物の硬化皮膜の弾性率が
1〜100MPaであることを特徴とする光硬化性樹脂組
成物を提供するものである。本発明はまた、上記の光硬
化性樹脂組成物の層を支持体に積層してなる感光性エレ
メントを提供するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明で用いられる酸変性ビニル
基含有エポキシ樹脂としては、エポキシ樹脂をビニル基
含有モノカルボン酸で変性した樹脂が用いられるが、好
ましくは一般式(I)で示されるノボラック型エポキシ
樹脂、一般式(II)で示されるビスフェノールΑ型エポ
キシ樹脂若しくはビスフェノールF型エポキシ樹脂及び
一般式(III)で示されるサリチルアルデヒド型エポキ
シ樹脂からなる群から選択される少なくとも1種類のエ
ポキシ樹脂(a)とビニル基含有モノカルボン酸(b)
とを反応させて得られる樹脂が用いられる。
【0009】
【化3】 (式中、Xは水素原子又はグリシジル基(ただし、水素
原子/グリシジル基(モル比)は、0/100〜30/
70)、Rは水素原子又はメチル基であり、nは1以上
の整数であり、好ましくは2〜100の整数である)
【0010】本発明の光硬化性樹脂組成物において、酸
変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)は、紫外線や熱に
より橋架け反応(硬化反応)が進行することで、硬化収
縮して樹脂内部に歪み(内部応力)が加わり、可とう性
や接着性が低下するという問題がある。そこで、柔軟性
を持つエラストマー(B)を添加することで、硬化膜の
応力を緩和し、硬化塗膜の改質を行った。本発明におい
ては、酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)にエラス
トマー(B)を併用し、ポリマーアロイ化することで、
硬化膜の硬化収縮、可とう性が改質され、リフロー時の
温度とされる200〜220℃の温度領域における動的
粘弾性測定で、弾性率が1〜100MPaと低減でき、
封止材とのせん断接着性を改良することができる。すな
わち、弾性率が1MPa未満であると機械強度が低下
し、100MPaを超えるとせん断接着力が低下する。
【0011】本発明に用いられる酸変性ビニル基含有エ
ポキシ樹脂(A)は、前記エポキシ樹脂(a)とビニル
基含有モノカルボン酸(b)との反応生成物(A′)の
ほかに、該反応生成物(A′)に飽和若しくは不飽和基
含有多塩基酸無水物(c)を反応させることにより得ら
れる反応生成物(A″)も用いられる。これらの反応生
成物において、具体的には、最初の反応で、エポキシ樹
脂(a)のエポキシ基とビニル基含有モノカルボン酸
(b)のカルボキシル基との付加反応により水酸基が形
成され、次の反応で生成した水酸基(エポキシ樹脂
(a)中にある元来ある水酸基も含む)と飽和若しくは
不飽和基含有多塩基酸無水物(c)の酸無水物基とが半
エステル反応しているものと推察される。
【0012】一般式(I)で示されるノボラック型エポ
キシ樹脂は、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂があり、公知の方法
でフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹
脂にエピクロルヒドリンを反応させることで得られる。
【0013】また、一般式(II)で示される、Xがグリ
シジル基
【化4】 であるビスフェノールΑ型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルF型エポキシ樹脂は、例えば、一般式(IV)で示され
るビスフェノールΑ型エポキシ樹脂、ビスフェノールF
型エポキシ樹脂の水酸基とエピクロルヒドリンを反応さ
せることにより得ることができる。水酸基とエピクロル
ヒドリンとの反応を促進するためには、反応温度50〜
120℃でアルカリ金属水酸化物存在下、ジメチルホル
ムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシ
ド等の極性有機溶剤中で反応を行うのが好ましい。反応
温度が50℃未満では反応が遅くなり、反応温度が12
0℃では副反応が多く生じてしまい好ましくない。
【0014】
【化5】 (Rは、水素原子又はメチル基、nは1以上の整数であ
る)
【0015】一般式(III)で示されるサリチルアルデ
ヒド型エポキシ樹脂としては、具体的にはFΑE−25
00、EPPN−501H、EPPN−502H(以
上、日本化薬(株)製、商品名)等が挙げられる。
【0016】本発明におけるビニル基含有モノカルボン
酸(b)としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸の
二量体、メタクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、β
−スチリルアクリル酸、桂皮酸、クロトン酸、α−シア
ノ桂皮酸等が挙げられ、また、水酸基含有アクリレート
と飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物との反応生成物で
ある半エステル化合物、ビニル基含有モノグリシジルエ
ーテル若しくはビニル基含有モノグリシジルエステルと
飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物との反応生成物であ
る半エステル化合物が挙げられる。これら半エステル化
合物は、水酸基含有アクリレート、ビニル基含有モノグ
リシジルエーテル若しくはビニル基含有モノグリシジル
エステルと飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物とを等モ
ル比で反応させることで得られる。これらビニル基含有
モノカルボン酸(b)は、単独、又は二種類以上併用し
て用いることができる。
【0017】ビニル基含有モノカルボン酸(b)の一例
である上記半エステル化合物の合成に用いられる水酸基
含有アクリレート、ビニル基含有モノグリシジルエーテ
ル、ビニル基含有モノグリシジルエステルとしては、例
えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチ
ルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、
ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチル
アクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ポリ
エチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレング
リコールモノメタクリレート、トリメチロールプロパン
ジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレ
ート、ペンタエリスルトールトリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールペン
タメタクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジ
ルメタクリレート等が挙げられる。
【0018】上記半エステル化合物の合成に用いられる
飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物としては、例えば、
無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタ
ル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル
酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチル
ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸等が挙げら
れる。
【0019】本発明におけるエポキシ樹脂(a)とビニ
ル基含有モノカルボン酸(b)との反応において、エポ
キシ樹脂(a)のエポキシ基1当量に対して、ビニル基
含有モノカルボン酸(b)が0.8〜1.05当量とな
る比率で反応させることが好ましく、更に好ましくは
0.9〜1.0当量である。
【0020】エポキシ樹脂(a)とビニル基含有モノカ
ルボン酸(b)は有機溶剤に溶かして反応させられ、有
機溶剤としては、例えば、エチルメチルケトン、シクロ
ヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラ
メチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカ
ルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレング
リコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート等のエステル類、オクタ
ン、デカンなどの脂肪族炭化水素類、石油エーテル、石
油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油
系溶剤等が挙げられる。
【0021】更に、反応を促進させるために触媒を用い
るのが好ましい。用いられる触媒としては、例えば、ト
リエチルアミン、ベンジルメチルアミン、メチルトリエ
チルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアン
モニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウム
ブロマイド、ベンジルトリメチルメチルアンモニウムア
イオダイド、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。
触媒の使用量は、エポキシ樹脂(a)とビニル基含有モ
ノカルボン酸(b)の合計100重量部に対して、好ま
しくは0.1〜10重量部である。
【0022】また、反応中の重合を防止する目的で、重
合防止剤を使用するのが好ましい。重合禁止剤として
は、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、
ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロ
ガロール等が挙げられ、その使用量は、エポキシ樹脂
(a)とビニル基含有モノカルボン酸(b)の合計10
0重量部に対して、好ましくは0.01〜1重量部であ
る。反応温度は、好ましくは60〜150℃、更に好ま
しくは80〜120℃である。
【0023】必要に応じてビニル基含有モノカルボン酸
(b)と、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテ
トラカルボン酸無水物等の多塩基酸無水物とを併用する
ことができる。
【0024】本発明において、酸変性ビニル基含有エポ
キシ樹脂(A)としては、上述の反応生成物(A′)に
飽和若しくは不飽和基含有多塩基酸無水物(c)を反応
させて得られる樹脂も用いられる。
【0025】飽和若しくは不飽和基含有多塩基酸無水物
(c)としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン
酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチル
テトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フ
タル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒド
ロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無
水イタコン酸等が挙げられる。
【0026】反応生成物(A′)と飽和若しくは不飽和
基含有多塩基酸無水物(c)との反応において、反応生
成物(A′)中の水酸基1当量に対して、飽和若しくは
不飽和基含有多塩基酸無水物(c)を0.1〜1.0当
量反応させることで、酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂
(A)の酸価を調整できる。酸変性ビニル基含有エポキ
シ樹脂(A)の酸価は30〜150mgKOH/gであること
が好ましく、50〜120mgKOH/gであることが更に好
ましい。酸価が30mgKOH/g未満では光硬化性樹脂組成
物の希アルカリ溶液への溶解性が低下し、150mgKOH/
gを超えると硬化膜の電気特性が低下する傾向がある。
反応生成物(A′)と飽和若しくは不飽和基含有多塩基
酸無水物(c)との反応温度は、60〜120℃が好ま
しい。
【0027】また必要に応じて、エポキシ樹脂(a)と
して、例えば、水添ビスフェノールΑ型エポキシ樹脂
を、更に、酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)とし
て、スチレン−無水マレイン酸共重合体のヒドロキシエ
チルアクリレート変性物あるいはスチレン−無水マレイ
ン酸共重合体のヒドロキシエチルアクリレート変性物等
のスチレン−マレイン酸系樹脂を一部併用することもで
きる。
【0028】本発明に用いられるエラストマー(B)と
しては、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラス
トマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラ
ストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラ
ストマー及びシリコーン系エラストマーが挙げられ、こ
れらのエラストマー(B)は、ハードセグメント成分と
ソフトセグメント成分から成り立っており、一般に前者
が耐熱性、強度に、後者が柔軟性、強靭性に寄与してい
る。
【0029】スチレン系エラストマーとしては、スチレ
ン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、スチレ
ン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー、スチレ
ン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマ
ー、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロッ
クコポリマーが挙げられる。スチレン系エラストマーを
構成する成分であるスチレンのほかに、α−メチルスチ
レン、3−メチルスチレン、4−プロピルスチレン、4
−シクロヘキシルスチレン等のスチレン誘導体を用いる
ことができる。具体的には、タフプレン、ソルプレン
T、アサプレンT、タフテック(以上、旭化成工業(株)
製)、エラストマーΑR(アロン化成製)、クレイトン
G、過リフレックス(以上、シェルジャパン製)、JS
R−TR、TSR−SIS、ダイナロン(以上、日本合
成ゴム(株)製)、デンカSTR(電気化学工業(株)
製)、クインタック(日本ゼオン製)、TPE−SBシ
リーズ(住友化学工業(株)製)、ラバロン(三菱化学
(株)製)、セプトン、ハイブラー(以上、クラレ製)、
スミフレックス(住友ベークライト(株)製)、レオスト
マー、アクティマー(以上、理研ビニル工業製)等が挙
げられる。
【0030】オレフィン系エラストマーは、エチレン、
プロピレン、1−ブテン、1−ヘキセン、4−メチル−
ペンテン等の炭素数2〜20のα−オレフィンの共重合
体であり、例えば、エチレン−プロピレン共重合体(E
PR)、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体(EP
DM)等が挙げられ、また、ジシクロペンタジエン、
1,4−ヘキサジエン、シクロオクタジエン、メチレン
ノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ブタジエン、
イソプレン等の炭素数2〜20の非共役ジエンとα−オ
レフィン共重合体が挙げられる。また、ブタジエン−ア
クリロニトリル共重合体にメタクリル酸を共重合したカ
ルボキシ変性NBRが挙げられる。具体的には、エチレ
ン・α−オレフィン共重合体ゴム、エチレン・α−オレ
フィン・非共役ジエン共重合体ゴム、プロピレン・α−
オレフィン共重合体ゴム、ブテン・α−オレフィン共重
合体ゴム等が挙げられる。更に、具体的には、ミラスト
マ(三井石油化学製)、EXΑCT(エクソン化学
製)、ENGΑGE(ダウケミカル製)、水添スチレン
−ブタジエンラバー“DYNABON HSBR”(日
本合成ゴム(株)製)、ブタジエン−アクリロニトリル共
重合体“NBRシリーズ”(日本合成ゴム(株)製)、あ
るいは架橋点を有する両末端カルボキシル基変性ブタジ
エン−アクリロニトリル共重合体の“XERシリーズ”
(日本合成ゴム(株)製)等が挙げられる。
【0031】ウレタンエラストマーは、低分子のグリコ
ールとジイソシアネートからなるハードセグメントと高
分子(長鎖)ジオールとジイソシアネートからなるソフ
トセグメントとの構造単位からなり、高分子(長鎖)ジ
オールとしてポリプロピレングリコール、ポリテトラメ
チレンオキサイド、ポリ(1,4−ブチレンアジペー
ト)、ポリ(エチレン・1,4−ブチレンアジペー
ト)、ポリカプロラクトン、ポリ(1,6−ヘキシレン
カーボネート)、ポリ(1,6−ヘキシレン・ネオペン
チレンアジペート)等が挙げられる。高分子(長鎖)ジ
オールの数平均分子量は、500〜10,000が好ま
しい。エチレングリコールの他に、プロピレングリコー
ル、1,4−ブタンジオール、ビスフェノールΑ等の短
鎖ジオールを用いることができ、短鎖ジオールの数平均
分子量は、48〜500が好ましい。ウレタンエラスト
マーの具体例として、PΑNDEX T−2185、T
−2983N(大日本インキ製)、シラクトランE79
0等が挙げられる。
【0032】ポリエステル系エラストマーとしては、ジ
カルボン酸又はその誘導体及びジオール化合物又はその
誘導体を重縮合して得られるものが挙げられる。ジカル
ボン酸の具体例として、テレフタル酸、イソフタル酸、
ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸及びこ
れらの芳香核の水素原子がメチル基、エチル基、フェニ
ル基等で置換された芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、
セバシン酸、ドデカンジカルボン酸等の炭素数2〜20
の脂肪族ジカルボン酸、及びシクロヘキサンジカルボン
酸などの脂環式ジカルボン酸などが挙げられる。これら
の化合物は単独で又は2種以上用いることができる。ジ
オール化合物の具体例としては、エチレングリコール、
1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、
1,6−ヘキサンジオール、1,10−デカンジオー
ル、1,4−シクロヘキサンジオール等の脂肪族ジオー
ル及び脂環式ジオール、又は、下記一般式(V)で示さ
れる二価フェノールが挙げられる。
【0033】
【化6】 (但し、YはC1〜C10のアルキレン基、C4〜C8のシ
クロアルキレン基、−O−、−S−、−SO2−からな
る群から選択され、又は直接ベンゼン環同志が結合して
おり、R1及びR2はハロゲン又はC1〜C12のアルキル
基であり、l、mは0〜4の整数であり、pは0又は1
である)
【0034】その具体例として、ビスフェノールΑ、ビ
ス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス−(4−
ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、レゾルシ
ン等が挙げられる。これらの化合物は単独で又は2種以
上用いることができる。また、芳香族ポリエステル(例
えば、ポリブチレンテレフタレート)部分をハードセグ
メント成分に、脂肪族ポリエステル(例えば、ポリテト
ラメチレングリコール)部分をソフトセグメント成分に
したマルチブロック共重合体を用いることができる。ハ
ードセグメントとソフトセグメントの種類、比率、分子
量の違いによりさまざまなグレードのものがある。具体
例として、ハイトレル(デュポン−東レ(株)製)、ペル
プレン(東洋紡績(株)製)、エスペル(日立化成工業
(株)製)等が挙げられる。
【0035】ポリアミド系エラストマーは、ハード相に
ポリアミドを、ソフト相にポリエーテルやポリエステル
を用いたポリエーテルブロックアミド型とポリエーテル
エステルブロックアミド型の2種類に大別され、ポリア
ミドとしては、ポリアミド−6、11、12等が用いら
れ、ポリエーテルとしては、ポリオキシエチレン、ポリ
オキシプロピレン、ポリテトラメチレングリコール等が
用いられる。具体的には、UBEポリアミドエラストマ
(宇部興産(株)製)、ダイアミド(ダイセルヒュルス
(株)製)、PEBΑX(東レ(株)製)、グリロンELY
(エムスジャパン(株)製)、ノパミッド(三菱化学(株)
製)、グリラックス(大日本インキ(株)製)等が挙げら
れる。
【0036】アクリル系エラストマーは、アクリル酸エ
ステルを主成分とし、エチルアクリレート、ブチルアク
リレート、メトキシエチルアクリレート、エトキシエチ
ルアクリレート等が用いられ、また、架橋点モノマーと
して、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエ
ーテル等が用いられる。更に、アクリロニトリルやエチ
レンを共重合することもできる。具体的には、アクリロ
ニトリル−ブチルアクリレート共重合体、アクリロニト
リル−ブチルアクリレート−エチルアクリレート共重合
体、アクリロニトリル−ブチルアクリレート−グリシジ
ルメタクリレート共重合体等が挙げられる。
【0037】シリコーン系エラストマーとしては、オル
ガノポリシロキサンを主成分としたもので、ポリジメチ
ルシロキサン系、ポリメチルフェニルシロキサン系、ポ
リジフェニルシロキサン系に分けられる。一部をビニル
基、アルコキシ基等で変性したものもある。具体例とし
て、KEシリーズ(信越化学工業(株)製)、SEシリー
ズ、CYシリーズ、SHシリーズ(以上、東レダウコー
ニングシリコーン(株)製)等が挙げられる。
【0038】また、上記の熱可塑性エラストマー以外
に、ゴム変性したエポキシ樹脂を用いることができる。
ゴム変性したエポキシ樹脂は、例えば、上述のビスフェ
ノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールΑ型エポキシ
樹脂、サリチルアルデヒド型エポキシ樹脂、フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂あるいはクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂の一部又は全部のエポキシ基を両末端
カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴム、
末端アミノ変性シリコーンゴム等で変性することによっ
て得られる。これらのエラストマーの中で、せん断接着
性の点で、両末端カルボキシル基変性ブタジエン−アク
リロニトリル共重合体、水酸基を有するポリエステル系
エラストマーであるエスペル(日立化成工業(株)製、エ
スペル1612、1620)が好ましい。
【0039】エラストマー(B)の配合量は、酸変性ビ
ニル基含有エポキシ樹脂(A)100重量部に対して、
好ましくは2〜30重量部、更に好ましくは4〜20重
量部用いられる。2重量部未満では、硬化膜の高温領域
での弾性率が低くならない傾向があり、50重量部を超
えると未露光部が現像液で溶出しない傾向がある。
【0040】本発明に用いられる光重合開始剤(C)と
しては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン
類、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニ
ルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニル
アセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチ
ル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフ
ォリノ−1−プロパノン、N,N−ジメチルアミノアセ
トフェノン等のアセトフェノン類、2−メチルアントラ
キノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチル
アントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミ
ルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアン
トラキノン類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,
4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサント
ン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキ
サントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジ
ルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、
メチルベンゾフェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェ
ノン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、ミヒラーズケトン、4−ベンゾイル−4′−メチル
ジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、2,
4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド等があり、これらは単独あるいは2種以上を組
合せて用いることができる。
【0041】更に、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エ
チルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソア
ミルエステル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエ
ート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三
級アミン類のような光重合開始助剤を単独あるいは2種
以上を組合せて用いることができる。
【0042】本発明の光硬化性樹脂組成物中に含まれる
光重合開始剤(C)の量は、光硬化性樹脂組成物100
重量部中、好ましくは0.5〜20重量部、更に好まし
くは2〜15重量部用いられる。0.5重量部未満で
は、露光部が現像中に溶出する傾向があり、20重量部
を超えると耐熱性が低下する傾向がある。
【0043】本発明に用いられる希釈剤(D)として
は、例えば、有機溶剤及び/又は光重合性モノマーが使
用できる。有機溶剤としては、例えば、エチルメチルケ
トン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシ
レン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メ
チルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトー
ル、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエー
テル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリ
エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコール
エーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソル
ブアセテート、カルビトールアセテート等のエステル
類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素類、石油エ
ーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフ
サ等の石油系溶剤等が挙げられる。
【0044】また、光重合性モノマーとしては、例え
ば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−
ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキ
シアルキル(メタ)アクリレート類、エチレングリコー
ル、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレン
グリコール等のグリコールのモノ又はジ(メタ)アクリ
レート類、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、
N−メチロール(メタ)アクリルアミド等の(メタ)ア
クリルアミド類、N,N−ジメチルアミノエチル(メ
タ)アクリレート等のアミノアルキル(メタ)アクリレ
ート類、ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、
ペンタエリスリトール、ジトリメチロールプロパン、ジ
ペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソ
シアヌレート等の多価アルコール又はこれらのエチレン
オキサイドあるいはプロピレンオキサイド付加物の多価
(メタ)アクリレート類、フェノキシエチル(メタ)ア
クリレート、ビスフェノールΑのポリエトキシジ(メ
タ)アクリレート等のフェノール類のエチレンオキサイ
ドあるいはプロピレンオキサイド付加物の(メタ)アク
リレート類、グリセリンジグリシジルエーテル、トリメ
チロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシ
ジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの(メ
タ)アクリレート類、及びメラミン(メタ)アクリレー
ト等を挙げることができる。
【0045】本発明の希釈剤(D)は、単独あるいは2
種以上を組み合わせて用いられ、光硬化性樹脂組成物中
に含まれる希釈剤(D)の量は、光硬化性樹脂組成物1
00重量部中、好ましくは5〜80重量部、更に好まし
くは10〜70重量部用いられる。5重量部未満では、
光感度が低く露光部が現像中に溶出する傾向があり、8
0重量部を超えると耐熱性が低下する傾向がある。
【0046】本発明に用いられる硬化剤(E)として
は、それ自体が熱、紫外線等で硬化する化合物、あるい
は本発明の組成物中の光硬化性樹脂成分である酸変性ビ
ニル基含有エポキシ樹脂(A)のカルボキシ基、水酸基
と熱、紫外線等で硬化する化合物が好ましい。硬化剤を
用いることで、最終硬化膜の耐熱性、密着性、耐薬品性
等を向上させることができる。
【0047】硬化剤(E)としては、例えば、熱硬化性
化合物として、エポキシ化合物、メラミン化合物、尿素
化合物、オキサゾリン化合物等を挙げることができる。
エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールΑ型
エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添
ビスフェノールΑ型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノー
ルΑ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビス
フェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹
脂あるいは、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素
環式エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂等が
挙げられる。メラミン化合物としては、例えば、トリア
ミノトリアジン、ヘキサメトキシメラミン、ヘキサブト
キシ化メラミン等が挙げられる。尿素化合物としては、
ジメチロール尿素等が挙げられる。
【0048】本発明の硬化剤(E)は、単独あるいは2
種以上を組み合わせて用いられ、光硬化性樹脂組成物中
に含まれる硬化剤(E)の量は、光硬化性樹脂組成物1
00重量部中、好ましくは2〜50重量部、更に好まし
くは10〜40重量部用いられる。2重量部未満では、
最終硬化塗膜の耐熱性が低くなる傾向があり、50重量
部を超えると現像性が低下する傾向がある。
【0049】本発明の光硬化性樹脂組成物には最終硬化
膜の耐熱性、密着性、耐薬品性等の諸特性を更に向上さ
せる目的でエポキシ樹脂硬化剤を併用することができ
る。
【0050】このようなエポキシ樹脂硬化剤の具体例と
しては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチル
−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチル
イミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニ
ル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等
のイミダゾール誘導体:アセトグアナミン、ベンゾグア
ナミン等のグアナミン類:ジアミノジフェニルメタン、
m−フェニレンジアミン、m−キシレンジアミン、ジア
ミノジフェニルスルフォン、ジシアンジアミド、尿素、
尿素誘導体、メラミン、多塩基ヒドラジド等のポリアミ
ン類:これらの有機酸塩及び/又はエポキシアダクト:
三フッ化ホウ素のアミン錯体:エチルジアミノ−S−ト
リアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2,4
−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジン等のトリア
ジン誘導体類:トリメチルアミン、トリエタノールアミ
ン、N,N−ジメチルオクチルアミン、N−ベンジルジ
メチルアミン、ピリジン、N−メチルモルホリン、ヘキ
サ(N−メチル)メラミン、2,4,6−トリス(ジメ
チルアミノフェノール)、テトラメチルグアニジン、m
−アミノフェノール等の三級アミン類:ポリビニルフェ
ノール、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノ
ボラック、アルキルフェノールノボラック等のポリフェ
ノール類:トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフ
ィン、トリス−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホ
スフィン類:トリ−n−ブチル(2,5−ジヒドロキシ
フェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシルトリ
ブチルホスニウムクロライド等のホスホニウム塩類:ベ
ンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルト
リブチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム
塩類:前記の多塩基酸無水物:ジフェニルヨードニウム
テトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘ
キサフルオロアンチモネート、2,4,6−トリフェニ
ルチオピリリウムヘキサフルオロホスフェート等が挙げ
られる。
【0051】エポキシ樹脂硬化剤は、単独あるいは2種
類以上を組み合わせて用いられ、光硬化性樹脂組成物中
に含まれるエポキシ樹脂硬化剤の量は、光硬化性樹脂組
成物100重量部中、好ましくは0.01〜20重量
部、更に好ましくは0.1〜10重量部用いられる。
【0052】本発明の光硬化性樹脂組成物には、更に、
密着性、塗膜硬度等の諸特性を更に向上させる目的で、
必要に応じて、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、シリ
カ、タルク、焼成カオリン、炭酸マグネシウム、酸化ア
ルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母等の公知の無機
フィラーを、単独あるいは2種類以上を組み合わせて用
いることができる。その使用量は、光硬化性樹脂組成物
100重量部中、好ましくは2〜80重量部、更に好ま
しくは5〜50重量部用いられる。
【0053】本発明の光硬化性樹脂組成物には、必要に
応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グ
リーン、アイオディン・グリーン、ジアゾイエロー、ク
リスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラッ
ク、ナフタレンブラック等の公知の着色剤、ハイドロキ
ノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチ
ルエーテル、カテコール、ピロガロール等の重合禁止
剤、ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤、シリコー
ン系、フッ素系、ビニル樹脂系の消泡剤、シランカップ
リング剤等の公知慣用の各種添加剤を用いることができ
る。更に、臭素化エポキシ化合物、酸変性臭素化エポキ
シ化合物、アンチモン化合物、及びリン系化合物のホス
フェート化合物、芳香族縮合リン酸エステル、含ハロゲ
ン縮合リン酸エステル等の難燃剤を用いることができ
る。
【0054】本発明の光硬化性樹脂組成物は、配合成分
をロールミル、ビーズミル等で均一に混練、混合するこ
とにより得ることができる。
【0055】本発明の光硬化性樹脂組成物は、例えば、
以下のようにして像形成し、硬化塗膜作製に使用され
る。すなわち、銅張り積層板に、スクリーン印刷法、ス
プレー法、ロールコート法、カーテンコート法、静電塗
装法等の方法で10〜200μmの膜厚で塗布し、次に
塗膜を60〜110℃で乾燥させた後、ネガフィルムを
直接接触(あるいは透明なフィルムを介して非接触)さ
せて、活性光(例、紫外線)を好ましくは10〜1,0
00mJ/cm2照射し、その後、未露光部を希アルカリ水溶
液あるいは有機溶剤で溶解除去(現像)する。次に、露
光部分を後露光(紫外線露光)及び/又は後加熱によっ
て十分硬化させて硬化膜を得る。後露光は例えば1〜5
J/cm2が好ましく、後加熱は、100〜200℃で30
分〜12時間が好ましい。
【0056】また、本発明の光硬化性樹脂組成物の層を
支持体に積層して感光性エレメントとすることもでき
る。光硬化性樹脂組成物の層の厚さは10〜100μm
とすることが好ましく、支持体としては好ましくはポリ
エチレンテレフタレート等の厚さ5〜100μmのフィ
ルムが用いられる。光硬化性樹脂組成物の層は好ましく
は支持体フィルム上に光硬化性樹脂組成物の溶液を塗布
乾燥することにより形成される。
【0057】
【実施例】以下、本発明の合成例及び実施例により更に
具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるもので
はない。なお、合成例中、実施例中の部、及び表中の配
合量は重量部を示す。
【0058】合成例1 YDCN704(東都化成(株)製、クレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、一般式(I)において、X=グリシ
ジル基、R=メチル基)220部、アクリル酸72部、
ハイドロキノン1.0部、カルビトールアセテート18
0部を仕込み、90℃に加熱、撹拌して反応混合物を溶
解した。次に60℃に冷却し、塩化ベンジルトリメチル
アンモニウム1部を仕込み、100℃に加熱して、固形
分酸価が1mgKOH/gになるまで反応させた。次にテトラ
ヒドロ無水フタル酸152部とカルビトールアセテート
100部を仕込み、80℃に加熱し、約6時間反応し冷
却し、固形分濃度が60重量%になるようにカルビトー
ルアセテートで希釈して酸変性ビニル基含有エポキシ樹
脂(I)を得た。
【0059】合成例2 EPPN502H(日本化薬(株)製、サリチルアルデヒ
ド型エポキシ樹脂、一般式(III)において、X=グリ
シジル基)330部に、アクリル酸144部、ハイドロ
キノン1.5部、カルビトールアセテート250部を仕
込み、90℃に加熱、撹拌して反応混合物を溶解した。
次に60℃に冷却し、塩化ベンジルトリメチルアンモニ
ウム2部を仕込み、100℃に加熱して、酸価が1mgKO
H/gになるまで反応させた。冷却後、固形分濃度が60
重量%になるようにカルビトールアセテートで希釈して
酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(II)を得た。
【0060】合成例3 EPPN502H(日本化薬(株)製、サリチルアルデヒ
ド型エポキシ樹脂、一般式(III)において、X=グリ
シジル基)330部に、アクリル酸144部、ハイドロ
キノン1.5部、カルビトールアセテート250部を仕
込み、90℃に加熱、撹拌して反応混合物を溶解した。
次に60℃に冷却し、塩化ベンジルトリメチルアンモニ
ウム2部を仕込み、100℃に加熱して、酸価が1mgKO
H/gになるまで反応させた。次にテトラヒドロ無水フタ
ル酸230部とカルビトールアセテート180部を仕込
み、80℃に加熱し、約6時間反応し冷却し、固形分濃
度が60重量%になるようにカルビトールアセテートで
希釈して酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(III)を得
た。
【0061】合成例4 YDF2001(東都化成(株)製、ビスフェノールF型
エポキシ樹脂、一般式(II)において、X=グリシジル
基、R=H)475部、アクリル酸72部、ハイドロキ
ノン0.5部、カルビトールアセテート120部を仕込
み、90℃に加熱、撹拌して反応混合物を溶解した。次
に60℃に冷却し、塩化ベンジルトリメチルアンモニウ
ム2部を仕込み、100℃に加熱して、酸価が1mgKOH/
gになるまで反応させた。次に無水マレイン酸98部と
カルビトールアセテート85部を仕込み、80℃に加熱
し、約6時間反応し冷却し、固形分濃度が60重量%に
なるようにカルビトールアセテートで希釈して酸変性ビ
ニル基含有エポキシ樹脂(IV)を得た。
【0062】実施例1〜6及び比較例1〜4 表1、表2に示す配合組成に従って組成物を配合し、3
本ロールミルで混練し光硬化性樹脂組成物を調製した。
これをスクリーン印刷法により、120メシュのテトロ
ンスクリーンを用いて、約30μmの厚さ(乾燥後)に
なるように銅張り積層板に塗布し、80℃で30分間熱
風循環式乾燥機で乾燥させた。次に、所定のパターンを
有するネガマスクを塗膜に密着させ紫外線露光装置を用
いて、500mJ/cm2露光した。その後、1重量%の炭酸
ナトリウム水溶液あるいはクロロセン溶剤で60秒間、
1.8kgf/cm2の圧力でスプレー現像し、未露光部を溶
解現像した。得られた像を用いて現像性、光感度を評価
し、次に150℃で1時間加熱し試験板を作製した。
【0063】試験板について、後述の密着性、耐溶剤
性、耐酸性、耐アルカリ性、はんだ耐熱性、せん断接着
性の試験を行った。また、基板(銅張り積層板)から剥
がした塗膜について、動的粘弾性を測定した。表3、表
4に評価結果をまとめて示した。なお、試験方法及び評
価方法は以下のとおりである。図1に、実施例1及び比
較例1で作製した塗膜の粘弾性の測定結果を示す。
【0064】[光感度]:80℃で乾燥後、塗膜にステ
ップタブレット21段(ストファー社製)を密着させ積
算露光量500mJ/cm2の紫外線を照射し、1重量%の炭
酸ナトリウム水溶液又はクロロセンで60秒間現像、そ
の後、現像されずに残った塗膜の段数を確認した。 ○:8段以上 △:5〜7段 ×:4段以下 [密着性]:JIS K5400に準じて、試験片に1
mmのごばん目を100個作製してセロハンテープにより
剥離試験を行った。ごばん目の剥離状態を観察し、以下
の基準で評価した。 ○:90/100以上で剥離なし △:50/100以上〜90/100未満で剥離なし ×:0/100〜50/100未満で剥離なし
【0065】[耐溶剤性]:試験片をイソプロピルアル
コールに室温で30分間浸漬し、外観に異常がないかを
確認後、セロハンテープにより剥離試験を行った。 ○:塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×:塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離するもの [耐酸性]:試験片を10重量%塩酸水溶液に室温で3
0分間浸漬し、外観に異常がないかを確認後、セロハン
テープにより剥離試験を行った。 ○:塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×:塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離するもの [耐アルカリ性]:試験片を5重量%水酸化ナトリウム
水溶液に室温で30分間浸漬し、外観に異常がないかを
確認後、セロハンテープにより剥離試験を行った。 ○:塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×:塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離するもの
【0066】[はんだ耐熱性]:試験片にロジン系フラ
ックスあるいは水溶性フラックスを塗布し、260℃の
はんだ槽に10秒間浸漬した。これを1サイクルとし
て、6サイクル繰り返した後、塗膜外観を目視観察し
た。 ○:塗膜外観に異常(剥離、フクレ)がなく、はんだの
もぐりのないもの ×:塗膜外観に異常(剥離、フクレ)があるか、あるい
ははんだのもぐりのあるもの [せん断接着性]:試験片に直径3.6mm、高さ4mmの
円錐形状に封止材(CEL9200日立化成工業(株)
製)をモールドして、吸湿後の接着性を評価した。使用
機器は、ボンドテスタ(DΑGE社製)、測定温度24
5℃。
【0067】[耐熱衝撃性]:試験片を、−55℃/3
0分、125℃/30分を1サイクルとして熱履歴を加
え、1,000サイクル経過後、試験片を目視観察、顕
微鏡観察した。 ○:クラック発生なし ×:クラック発生あり [動的粘弾性]:ソリッドアナライザーRSA II(レ
オメトリックス社製)を用い、振動周波数1Hz(6.2
8rad/秒)で動的粘弾性を測定した。サンプルサイズを
長さ22.5×幅3.0×厚さ0.06mmとし、測定温
度40〜250℃(昇温5℃/min)、引っ張り(strai
n)0.15%、モードをスタティック フォース ト
ラッキング ダイナミック フォースとし、初期スタテ
ィック フォース 15.0gとして行い、220℃に
おける粘弾性を調べた。
【0068】
【表1】
【0069】
【表2】
【0070】
【表3】
【0071】
【表4】
【0072】
【発明の効果】本発明により、耐熱性、耐湿熱性(せん
断接着性)、密着性、機械特性、電気特性に優れた高性
能な硬化膜を得ることができ、プリント配線板、高密度
多層板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられ
る光硬化性樹脂組成物及び感光性エレメントが得られ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1及び比較例1で作製した塗膜の粘弾性
の測定結果を示すグラフ。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 23/14 H05K 3/28 D H05K 3/28 3/46 T 3/46 C08G 59/14 // C08G 59/14 59/16 59/16 H01L 23/14 R (72)発明者 平山 隆雄 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内 (72)発明者 吉野 利純 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂
    (A)、エラストマー(B)、光重合開始剤(C)、希
    釈剤(D)及び硬化剤(E)を必須成分とすることを特
    徴とする光硬化性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)
    が、一般式(I)で示されるノボラック型エポキシ樹
    脂、一般式(II)で示されるビスフェノールΑ型エポキ
    シ樹脂若しくはビスフェノールF型エポキシ樹脂及び一
    般式(III)で示されるサリチルアルデヒド型エポキシ
    樹脂からなる群から選択される少なくとも1種類のエポ
    キシ樹脂(a)とビニル基含有モノカルボン酸(b)と
    を反応させて得られる樹脂である請求項1記載の光硬化
    性樹脂組成物。 【化1】 (式中、Xは水素原子又はグリシジル基(ただし、水素
    原子/グリシジル基(モル比)は、0/100〜30/
    70)、Rは水素原子又はメチル基、nは1以上の整数
    である)
  3. 【請求項3】 酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)
    が、一般式(I)で示されるノボラック型エポキシ樹
    脂、一般式(II)で示されるビスフェノールΑ型エポキ
    シ樹脂若しくはビスフェノールF型エポキシ樹脂及び一
    般式(III)で示されるサリチルアルデヒド型エポキシ
    樹脂からなる群から選択される少なくとも1種類のエポ
    キシ樹脂(a)とビニル基含有モノカルボン酸(b)と
    を反応させて得られる樹脂に、飽和若しくは不飽和基含
    有多塩基酸無水物(c)を反応させて得られる樹脂であ
    る請求項1記載の光硬化性樹脂組成物。 【化2】 (式中、Xは水素原子又はグリシジル基(ただし、水素
    原子/グリシジル基(モル比)は、0/100〜30/
    70)、Rは水素原子又はメチル基、nは1以上の整数
    である)
  4. 【請求項4】 エラストマー(B)が、スチレン系エラ
    ストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラ
    ストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系
    エラストマー、アクリル系エラストマー及びシリコーン
    系エラストマーからなる群から選択される少なくとも1
    種類のエラストマーである請求項1、2又は3記載の光
    硬化性樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 200〜220℃領域における動的粘弾
    性測定で、組成物の硬化皮膜の弾性率が1〜100MPa
    であることを特徴とする光硬化性樹脂組成物。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5何れか記載の光硬化性樹脂
    組成物の層を支持体に積層してなる感光性エレメント。
JP32933098A 1997-11-28 1998-11-19 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント Expired - Lifetime JP3247091B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32933098A JP3247091B2 (ja) 1997-11-28 1998-11-19 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32929497 1997-11-28
JP9-329294 1997-11-28
JP32933098A JP3247091B2 (ja) 1997-11-28 1998-11-19 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001159536A Division JP2002040657A (ja) 1997-11-28 2001-05-28 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP2001281900A Division JP3496668B2 (ja) 1997-11-28 2001-09-17 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11240930A true JPH11240930A (ja) 1999-09-07
JP3247091B2 JP3247091B2 (ja) 2002-01-15

Family

ID=26573146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32933098A Expired - Lifetime JP3247091B2 (ja) 1997-11-28 1998-11-19 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3247091B2 (ja)

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001013679A (ja) * 1999-04-30 2001-01-19 Toagosei Co Ltd レジスト組成物
JP2002060715A (ja) * 2000-07-07 2002-02-26 Natl Starch & Chem Investment Holding Corp アリル基またはビニル基を有するエポキシ樹脂を含有するダイ結合性接着剤
WO2006095494A1 (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Fujifilm Corporation 感光性ソルダーレジスト組成物及び感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
KR100674349B1 (ko) * 2001-09-27 2007-01-24 산에이카가쿠 가부시키가이샤 광·열경화성 수지조성물과 구멍을 막은 프린트배선(기)판의 제조방법 및 구멍을 막은 프린트배선(기)판
WO2007108171A1 (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Fujifilm Corporation 感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
KR100908974B1 (ko) * 2002-07-12 2009-07-22 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 광경화성ㆍ열경화성 수지 조성물 및 그의 경화물
JP2009252896A (ja) * 2008-04-03 2009-10-29 Hitachi Chem Co Ltd プリント配線板用硬化性樹脂組成物
WO2010134314A1 (ja) * 2009-05-18 2010-11-25 太陽インキ製造株式会社 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
WO2011040299A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 富士フイルム株式会社 感光性組成物、感光性ソルダーレジスト組成物及び感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン、その形成方法及びプリント基板
WO2011092950A1 (ja) 2010-01-27 2011-08-04 富士フイルム株式会社 ソルダーレジスト用重合性組成物及びソルダーレジストパターンの形成方法
JP2011215392A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp 感光性組成物、並びに、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
WO2012015076A1 (en) 2010-07-29 2012-02-02 Fujifilm Corporation Polymerizable composition
EP2498130A2 (en) 2011-03-08 2012-09-12 Fujifilm Corporation Curable composition for solid-state imaging device, and photosensitive layer, permanent pattern, wafer-level lens, solid-state imaging device and pattern forming method each using the composition
JP2013080258A (ja) * 2013-01-08 2013-05-02 Taiyo Holdings Co Ltd 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
JP2013083960A (ja) * 2011-09-30 2013-05-09 Taiyo Ink Mfg Ltd 感光性樹脂組成物、その硬化皮膜およびプリント配線板
WO2014024804A1 (ja) * 2012-08-06 2014-02-13 日立化成株式会社 永久マスクレジスト用感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JPWO2012090532A1 (ja) * 2010-12-28 2014-06-05 太陽インキ製造株式会社 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
US9075307B2 (en) 2008-09-04 2015-07-07 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive resin composition for protective film of printed wiring board for semiconductor package
KR20150126351A (ko) 2013-03-07 2015-11-11 히타치가세이가부시끼가이샤 감광성 수지 조성물, 그것을 사용한 드라이 필름, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법
KR20180129868A (ko) 2016-03-31 2018-12-05 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 경화성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판
WO2019044803A1 (ja) * 2017-08-30 2019-03-07 Dic株式会社 エポキシ樹脂改質剤
KR20210150619A (ko) 2013-08-02 2021-12-10 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤 감광성 수지 조성물
TWI785210B (zh) * 2019-02-27 2022-12-01 日商迪愛生股份有限公司 環氧樹脂改質劑
KR20230146063A (ko) 2022-01-19 2023-10-18 가부시끼가이샤 레조낙 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법
WO2023214540A1 (ja) * 2022-05-06 2023-11-09 株式会社レゾナック 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、プリント配線板、及びプリント配線板の製造方法
KR20240024196A (ko) 2021-12-22 2024-02-23 가부시끼가이샤 레조낙 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3496674B2 (ja) * 1997-11-28 2004-02-16 日立化成工業株式会社 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP3496668B2 (ja) * 1997-11-28 2004-02-16 日立化成工業株式会社 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP2007199532A (ja) * 2006-01-27 2007-08-09 Fujifilm Corp パターン形成方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0243551A (ja) * 1988-08-04 1990-02-14 Fuji Photo Film Co Ltd 液状感光性樹脂組成物
JPH03172317A (ja) * 1989-12-01 1991-07-25 Asahi Chem Res Lab Ltd 感光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジストパターン形成方法
JPH03253092A (ja) * 1990-03-02 1991-11-12 Asahi Chem Res Lab Ltd 感光性熱硬化性樹脂組成物及びソルダーレジストパターン形成方法
JPH08139457A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Hitachi Chem Co Ltd 多層配線板の製造方法
JPH09136931A (ja) * 1995-09-14 1997-05-27 Nippon Shokubai Co Ltd ポリマー微粒子分散型ラジカル重合性樹脂組成物
JPH09258442A (ja) * 1996-03-26 1997-10-03 Hitachi Ltd 感光性樹脂組成物
JPH10147762A (ja) * 1996-11-20 1998-06-02 Sumitomo Bakelite Co Ltd 異方導電性接着剤
JPH10195403A (ja) * 1997-01-13 1998-07-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd 異方導電性接着剤

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0243551A (ja) * 1988-08-04 1990-02-14 Fuji Photo Film Co Ltd 液状感光性樹脂組成物
JPH03172317A (ja) * 1989-12-01 1991-07-25 Asahi Chem Res Lab Ltd 感光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジストパターン形成方法
JPH03253092A (ja) * 1990-03-02 1991-11-12 Asahi Chem Res Lab Ltd 感光性熱硬化性樹脂組成物及びソルダーレジストパターン形成方法
JPH08139457A (ja) * 1994-11-10 1996-05-31 Hitachi Chem Co Ltd 多層配線板の製造方法
JPH09136931A (ja) * 1995-09-14 1997-05-27 Nippon Shokubai Co Ltd ポリマー微粒子分散型ラジカル重合性樹脂組成物
JPH09258442A (ja) * 1996-03-26 1997-10-03 Hitachi Ltd 感光性樹脂組成物
JPH10147762A (ja) * 1996-11-20 1998-06-02 Sumitomo Bakelite Co Ltd 異方導電性接着剤
JPH10195403A (ja) * 1997-01-13 1998-07-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd 異方導電性接着剤

Cited By (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001013679A (ja) * 1999-04-30 2001-01-19 Toagosei Co Ltd レジスト組成物
JP2002060715A (ja) * 2000-07-07 2002-02-26 Natl Starch & Chem Investment Holding Corp アリル基またはビニル基を有するエポキシ樹脂を含有するダイ結合性接着剤
JP4541599B2 (ja) * 2000-07-07 2010-09-08 ナショナル スターチ アンド ケミカル インベストメント ホールディング コーポレイション アリル基またはビニル基を有するエポキシ樹脂を含有するダイ結合性接着剤
KR100674349B1 (ko) * 2001-09-27 2007-01-24 산에이카가쿠 가부시키가이샤 광·열경화성 수지조성물과 구멍을 막은 프린트배선(기)판의 제조방법 및 구멍을 막은 프린트배선(기)판
KR100908974B1 (ko) * 2002-07-12 2009-07-22 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 광경화성ㆍ열경화성 수지 조성물 및 그의 경화물
WO2006095494A1 (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Fujifilm Corporation 感光性ソルダーレジスト組成物及び感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
JP5144495B2 (ja) * 2006-03-16 2013-02-13 富士フイルム株式会社 感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
WO2007108171A1 (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Fujifilm Corporation 感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
JP2009252896A (ja) * 2008-04-03 2009-10-29 Hitachi Chem Co Ltd プリント配線板用硬化性樹脂組成物
US9075307B2 (en) 2008-09-04 2015-07-07 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive resin composition for protective film of printed wiring board for semiconductor package
WO2010134314A1 (ja) * 2009-05-18 2010-11-25 太陽インキ製造株式会社 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
JP2010266819A (ja) * 2009-05-18 2010-11-25 Taiyo Ink Mfg Ltd 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
WO2011040299A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 富士フイルム株式会社 感光性組成物、感光性ソルダーレジスト組成物及び感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン、その形成方法及びプリント基板
JP2011095705A (ja) * 2009-09-30 2011-05-12 Fujifilm Corp 感光性組成物、感光性ソルダーレジスト組成物及び感光性ソルダーレジストフィルム、並びに、永久パターン、その形成方法及びプリント基板
WO2011092950A1 (ja) 2010-01-27 2011-08-04 富士フイルム株式会社 ソルダーレジスト用重合性組成物及びソルダーレジストパターンの形成方法
JP2011215392A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp 感光性組成物、並びに、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
WO2012015076A1 (en) 2010-07-29 2012-02-02 Fujifilm Corporation Polymerizable composition
TWI514074B (zh) * 2010-12-28 2015-12-21 Taiyo Ink Mfg Co Ltd A photohardenable resin composition, a dry film and a hardened product thereof, and a printed circuit board using the same
JP5771221B2 (ja) * 2010-12-28 2015-08-26 太陽インキ製造株式会社 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
JPWO2012090532A1 (ja) * 2010-12-28 2014-06-05 太陽インキ製造株式会社 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
JP2015064612A (ja) * 2010-12-28 2015-04-09 太陽インキ製造株式会社 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
EP2498130A2 (en) 2011-03-08 2012-09-12 Fujifilm Corporation Curable composition for solid-state imaging device, and photosensitive layer, permanent pattern, wafer-level lens, solid-state imaging device and pattern forming method each using the composition
JP2013083960A (ja) * 2011-09-30 2013-05-09 Taiyo Ink Mfg Ltd 感光性樹脂組成物、その硬化皮膜およびプリント配線板
JPWO2014024804A1 (ja) * 2012-08-06 2016-07-25 日立化成株式会社 永久マスクレジスト用感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
WO2014024804A1 (ja) * 2012-08-06 2014-02-13 日立化成株式会社 永久マスクレジスト用感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JP2013080258A (ja) * 2013-01-08 2013-05-02 Taiyo Holdings Co Ltd 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板
KR20150126351A (ko) 2013-03-07 2015-11-11 히타치가세이가부시끼가이샤 감광성 수지 조성물, 그것을 사용한 드라이 필름, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법
US10111328B2 (en) 2013-03-07 2018-10-23 Htachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive resin composition, dry film using same, printed wiring board, and method for producing printed wiring board
KR20210150619A (ko) 2013-08-02 2021-12-10 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤 감광성 수지 조성물
KR20180129868A (ko) 2016-03-31 2018-12-05 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 경화성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판
WO2019044803A1 (ja) * 2017-08-30 2019-03-07 Dic株式会社 エポキシ樹脂改質剤
JPWO2019044803A1 (ja) * 2017-08-30 2020-05-28 Dic株式会社 エポキシ樹脂改質剤
TWI785210B (zh) * 2019-02-27 2022-12-01 日商迪愛生股份有限公司 環氧樹脂改質劑
KR20240024196A (ko) 2021-12-22 2024-02-23 가부시끼가이샤 레조낙 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법
KR20230146063A (ko) 2022-01-19 2023-10-18 가부시끼가이샤 레조낙 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 프린트 배선판, 및 프린트 배선판의 제조 방법
WO2023214540A1 (ja) * 2022-05-06 2023-11-09 株式会社レゾナック 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、プリント配線板、及びプリント配線板の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3247091B2 (ja) 2002-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3247091B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
US6692793B2 (en) Photo-cured film, and photosensitive element, printed wiring board and semiconductor package using such film
JP5953644B2 (ja) ポリヒドロキシウレタン化合物及びその製造方法、並びに、硬化性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JP5056088B2 (ja) 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JPH01141904A (ja) 感光性熱硬化性樹脂組成物及びソルダーレジストパターン形成方法
JPH11288087A (ja) 感光性樹脂組成物
JP5223207B2 (ja) 感光性樹脂組成物、これを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
JP3496674B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP4258687B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JP4127010B2 (ja) 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板
TW200417816A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the composition, method for forming resist pattern and printed wiring board
JP4082835B2 (ja) 樹脂組成物及びこれらの硬化物
JP3928620B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JP4082834B2 (ja) 樹脂組成物及びこれらの硬化物
JP3496668B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP4797255B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JP4254699B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP2004138979A (ja) 感光性樹脂組成物
JP2002234932A (ja) アルカリ水溶液可溶性エポキシカルボキシレート化合物及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物
JP3795889B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP2002040657A (ja) 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JP6175828B2 (ja) 液状光硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上で平坦化する方法、プリント配線板の製造方法、及びプリント配線板
JP6175827B2 (ja) 液状光硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上で平坦化する方法、プリント配線板の製造方法、及びプリント配線板
JP5131001B2 (ja) プリント配線板用硬化性樹脂組成物
JP2014186060A (ja) 液状光硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上で平坦化する方法、プリント配線板の製造方法、及びプリント配線板

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102

Year of fee payment: 12

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102

Year of fee payment: 12

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term