JPH1068903A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
- Publication number
- JPH1068903A JPH1068903A JP8245779A JP24577996A JPH1068903A JP H1068903 A JPH1068903 A JP H1068903A JP 8245779 A JP8245779 A JP 8245779A JP 24577996 A JP24577996 A JP 24577996A JP H1068903 A JPH1068903 A JP H1068903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- scanning optical
- optical device
- diffractive
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 217
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 79
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Lenses (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
な印字に適したコンパクトな走査光学装置を得ること。 【解決手段】 半導体レーザーより成る光源手段1から
放射した光束を偏向素子5で偏向させ、該偏向された光
束を屈折部6aと回折部6bとを有する走査光学素子6
を介し被走査面8上に結像させて、該被走査面上を走査
する走査光学装置であって、該走査光学装置の温度変動
に伴う主走査方向の倍率変化及びピント変化が、該走査
光学素子の屈折部と回折部とのパワー変化と、該半導体
レーザーの波長変動により補正されるようにしているこ
と。
Description
し、特に半導体レーザーより成る光源手段から放射した
光束を偏向素子で偏向させ、fθ特性を有した走査光学
素子(結像素子)を介して被走査面上を光走査して画像
情報を記録するようにした、例えば電子写真プロセスを
有するレーザービームプリンター(LBP)やデジタル
複写機等の装置に好適な走査光学装置に関するものであ
る。
ジタル複写機等に用いられる走査光学装置においては画
像信号に応じて光源手段から光変調され放射した光束
を、例えば回転多面鏡(ポリゴンミラー)より成る光偏
向器により周期的に偏向させ、fθ特性を有する走査光
学素子(結像素子)によって感光性の記録媒体(感光ド
ラム)面上にスポット状に集束させ、その面上を光走査
して画像記録を行っている。
BP)等に用いられる走査光学装置としては、該LBP
の低価格化、コンパクト化に伴い、環境変動に強く、し
かも高精細な印字に適した装置の要求が高まっている。
部概略図である。
散光束はコリメーターレンズ22により略平行光束とさ
れ、絞り23によって該光束(光量)を制限して副走査
方向にのみ所定の屈折力を有するシリンドリカルレンズ
24に入射している。シリンドリカルレンズ24に入射
した平行光束のうち主走査断面内においてはそのまま平
行光束の状態で射出する。又副走査断面内においては集
束して回転多面鏡(ポリゴンミラー)から成る光偏向器
25の偏向面(反射面)25aにほぼ線像として結像し
ている。
された光束をfθ特性を有する走査光学素子(fθレン
ズ)26を介して被走査面としての感光ドラム面28上
に導光し、該光偏向器25を矢印A方向に回転させるこ
とによって、該感光ドラム面28上を矢印B方向に光走
査している。これにより記録媒体である感光ドラム面2
8上に画像記録を行なっている。
学装置における走査光学素子(fθレンズ)は低価格及
びコンパクト化の要求から、プラスチック材料より成る
プラスチックレンズを使用したものが主流となってい
る。しかしながらプラスチックレンズは使用環境の変化
(温度変化)に伴い屈折率が変化するという性質をもつ
ため、該プラスチックレンズを用いた走査光学装置では
環境変動による主走査方向の倍率変化やピント変化が生
じる。
学装置の比較例の主走査方向の要部断面図(主走査断面
図)であり、表−1にその比較例における光学配置とf
θレンズの非球面係数を示す。図10はこの走査光学装
置の主走査方向の像面湾曲、歪曲収差そして像高ずれを
示した説明図であり、実線は常温での特性、点線は25
℃昇温が生じた場合の特性を示している。尚、図9にお
いて図11に示した要素と同一要素には同符番を付して
いる。
び倍率は共に変化が大きく、特に高精細な印字を行う為
の走査光学装置では、この環境変動(温度変化)による
ピント変化や倍率変化は問題となっている。
主走査方向の倍率変化及びピント変化を走査光学素子の
屈折部と回折部とのパワー変化と、半導体レーザーの波
長変動により補正することにより、環境変動(温度変
化)に強く、しかも高精細な印字に適したコンパクトな
走査光学装置の提供を目的とする。
なう主走査方向のピント変化を光学素子の1面に付加し
た回折部のパワー変化と、半導体レーザーの波長変動に
より補正することにより、環境変動(温度変化)に強
く、しかも高精細な印字に適したコンパクトな走査光学
装置の提供を目的とする。
は、 (1) 半導体レーザーより成る光源手段から放射した光束
を偏向素子で偏向させ、該偏向された光束を屈折部と回
折部とを有する走査光学素子を介し被走査面上に結像さ
せて、該被走査面上を走査する走査光学装置であって、
該走査光学装置の温度変動に伴う主走査方向の倍率変化
及びピント変化が、該走査光学素子の屈折部と回折部と
のパワー変化と、該半導体レーザーの波長変動により補
正されるようにしていることを特徴としている。
折部とのパワーを各々φL,φDとしたとき 1.0≦ φL/φD ≦2.6 ・・・・・・(1) なる条件を満足することや、(1-2) 前記屈折部は単レン
ズより成り、前記回折部は回折光学素子より成り、該単
レンズの両レンズ面のうち少なくとも一方のレンズ面に
該回折光学素子が付加されていることや、(1-3) 前記屈
折部の単レンズの材質はプラスチック材料より成ること
や、(1-4) 前記屈折部の単レンズは主走査方向の両レン
ズ面が非球面形状より成ることや、(1-5) 前記屈折部の
単レンズは主走査方向と副走査方向とで異なる屈折力を
有していることや、(1-6) 前記回折部の回折光学素子は
階段状の回折格子から成るバイナリー光学素子であるこ
とや、(1-7) 前記回折部の回折光学素子は鋸歯状の回折
格子から成るフレネル状の光学素子であることや、(1-
8) 前記走査光学素子の屈折部と回折部とのパワー比が
軸上から軸外に向かい一定であること、等を特徴として
いる。
放射した光束を屈折部と回折部とを有するアナモフィッ
ク光学素子を介して偏向素子の偏向面において主走査方
向に長手の線状に結像させ、該偏向素子で偏向された光
束を走査光学素子を介し被走査面上に結像させて、該被
走査面上を走査する走査光学装置であって、該走査光学
装置の温度変動に伴う主走査方向のピント変化が、該ア
ナモフィック光学素子の回折部のパワー変化と、該半導
体レーザーの波長変動により補正されるようにしている
ことを特徴としている。
ンズより成り、前記回折部は回折光学素子より成り、該
シリンドリカルレンズの両レンズ面のうち少なくとも一
方のレンズ面に該回折光学素子が付加されていること
や、(2-2) 前記走査光学素子は単レンズより成り、該単
レンズの材質はプラスチック材料より成ることや、(2-
3) 前記単レンズは主走査方向の両レンズ面が非球面形
状より成ることや、(2-4) 前記単レンズは主走査方向と
副走査方向とで異なる屈折力を有していることや、(2-
5) 前記回折部の回折光学素子は階段状の回折格子から
成るバイナリー光学素子であることや、(2-6) 前記回折
部の回折光学素子は鋸歯状の回折格子から成るフレネル
状の光学素子であること、等を特徴としている。
放射した光束を屈折部と回折部とを有する変換光学素子
により略平行光束に変換し、該変換された平行光束を偏
向素子で偏向させ、該偏向素子で偏向された光束を走査
光学素子を介し被走査面上に結像させて、該被走査面上
を走査する走査光学装置であって、該走査光学装置の温
度変動に伴う主走査方向のピント変化が、該変換光学素
子の回折部のパワー変化と、該半導体レーザーの波長変
動により補正されるようにしていることを特徴としてい
る。
るコリメーターレンズより成り、前記回折部は回折光学
素子より成り、該コリメーターレンズの両レンズ面のう
ち少なくとも一方のレンズ面に該回折光学素子が付加さ
れていることや、(3-2) 前記走査光学素子は単レンズよ
り成り、該単レンズの材質はプラスチック材料より成る
ことや、(3-3) 前記単レンズは主走査方向の両レンズ面
が非球面形状より成ることや、(3-4) 前記単レンズは主
走査方向と副走査方向とで異なる屈折力を有しているこ
とや、(3-5) 前記回折部の回折光学素子は階段状の回折
格子から成るバイナリー光学素子であることや、(3-6)
前記回折部の回折光学素子は鋸歯状の回折格子から成る
フレネル状の光学素子であること、等を特徴としてい
る。
査方向の要部断面図(主走査断面図)である。
半導体レーザーより成っている。2はコリメーターレン
ズであり、光源手段1から放射された発散光束(光ビー
ム)を平行光束に変換している。3は開口絞りであり、
通過光束(光量)を制限している。4はシリンドリカル
レンズ(シリンダーレンズ)であり、副走査方向にのみ
所定の屈折力を有しており、開口絞り3を通過した光束
を副走査断面内で後述する光偏向器5の偏向面5aにほ
ぼ線像として結像させている。
ー(回転多面鏡)より成る光偏向器であり、モーター等
の駆動手段(不図示)により図中矢印A方向に一定速度
で回転している。
り、屈折部6aと回折部6bとを有している。屈折部6
aはプラスチック材料より成る単レンズ(fθレンズ)
より成り、該単レンズ6aの主走査方向の両レンズ面は
非球面形状より成っている。又単レンズ6aは主走査方
向と副走査方向とで異なる屈折力を有している。回折部
6bは回折光学素子より成り、例えばフォトエッチング
による階段状の回折格子からなるバイナリー回折光学素
子や、表面切削による鋸歯状の回折格子からなるフレネ
ル状の回折光学素子等より成っている。本実施形態では
単レンズ6aの両レンズ面のうち少なくとも一方(被走
査面側)のレンズ面に該回折光学素子6bを付加してお
り、又屈折部6aと回折部6bとのパワー(屈折力)比
を軸上から軸外に向かい一定となるように構成してい
る。走査光学素子6は光偏向器5によって偏向された画
像情報に基づく光束を被走査面である感光ドラム面8上
に結像させ、かつ光偏向器5の偏向面の面倒れを補正し
ている。
放射した発散光束はコリメーターレンズ2により略平行
光束に変換され、開口絞り3によって該光束(光量)を
制限してシリンドリカルレンズ4に入射している。シリ
ンドリカルレンズ4に入射した光束のうち主走査断面に
おいてはそのままの状態で射出する。又副走査断面にお
いては集束して光偏向器5の偏向面5aにほぼ線像(主
走査方向に長手の線像)として結像している。そして光
偏向器5の偏向面5aで偏向された光束は走査光学素子
6を介して感光ドラム面8上に導光され、該光偏向器5
を矢印A方向に回転させることによって該感光ドラム面
8上を矢印B方向に光走査している。これにより記録媒
体である感光ドラム面8上に画像記録を行なっている。
する単レンズ(fθレンズ)6aと該単レンズ6aの被
走査面8側のレンズ面に付加された回折光学素子6bの
形状はそれぞれ、 単レンズ...主走査方向が10次までの関数で表わ
せる非球面形状、単レンズ6aと光軸との交点を原点と
し、光軸方向をx軸、主走査面内において光軸と直交す
る軸をy軸、副走査面内において光軸と直交する軸をz
軸としたとき、
wで表わされる回折面 w= C2Y2+C4Y4+C6Y6+C8Y8 なる式で表わされるものである。
温した場合を考える。この昇温により走査光学素子6の
屈折部6aの屈折率nはdn/dt変化し、これに伴う
パワー(屈折力)変化dφI は、 dφI =φL /(n−1)×dn/dt n :屈折部6aの屈折率 φL :屈折部6aのパワー となる。
波長λもdλ/dt変化し、これに伴う屈折部6aと回
折部6bとのパワー(屈折力)変化dφL ,dφD はそ
れぞれ、 dφL =−φL /(170×νL )×dλ/dt dφD =−φD /(170×νD )×dλ/dt νL :屈折部6aのアッベ数 νD :回折部6bのアッベ数 φL :屈折部6aのパワー φD :回折部6bのパワー となる。
ピント変化を抑えるためには、以下の式を満足させる必
要がある。
例えば以下のように定義する。
D)) dλ/dt=0 ( 1.2E-4/(n-1) + 1.5E-3 /νL )φL = 4.34E-4φ
D ここで屈折部6aの屈折率、アッベ数の取り得る値を考
慮すると、 1.0≦ φL/φD ≦2.6 ・・・・・・(1) φL:屈折部6aのパワー φD:回折部6bのパワー となり、環境変動(昇温)による主走査方向における倍
率変化やピント変化を、半導体レーザー1の波長変化に
より補正するために必要な走査光学素子6の屈折部6a
と回折部6bとのパワー比を導くことができる。
屈折部6aのパワーと回折部6bのパワーとの比に関す
るものであり、条件式(1)を外れると走査光学装置の
環境変動に伴なう主走査方向の倍率変化やピント変化を
補正することが難しくなってくるので良くない。
θレンズ6aの非球面係数及び回折光学素子(BOE)
6bの位相項を示す。
bとのパワー比を φL/φD=1.369 とし条件式(1)を満足させている。図2は本実施形態
における昇温前後の主走査方向の像面湾曲、歪曲収差
(fθ特性)そして像高ずれ等を示した説明図であり、
実線は常温での特性、点線は25℃昇温が生じたときの
特性を示している。同図から昇温前後の主走査方向のピ
ント変化、倍率変化が殆どないことが解る(尚同図では
昇温前後の差が微小なため昇温前後のグラフが重なって
いる)。
光学素子6をレンズより成る屈折部6aと回折光学素子
より成る回折部6bとから構成し、該屈折部6aと回折
部6bとのパワー比を上記の条件式(1)を満足させる
ように適当な値に設定することにより、走査光学装置の
温度変動に伴なう主走査方向の倍率変化やピント変化
を、該屈折部6aと回折部6bとのパワー変化と、半導
体レーザー1の波長変動により補正している。これによ
り本実施形態では環境変動に強く、しかも高精細な印字
に適した走査光学装置をコンパクトで、かつ安価に得て
いる。
要部断面図(主走査断面図)である。同図において図1
に示した要素と同一要素には同符番を付している。
なる点は、走査光学素子36の屈折部(fθレンズ)3
6aの材質を実施形態1に比べて屈折率の高いプラスチ
ック材料より構成した点と、これに伴い走査光学素子3
6の屈折部36aと回折部(回折光学素子)36bとの
パワー比を異ならせた点である。その他の構成及び光学
的作用は前述の実施形態1と略同様であり、これにより
同様な効果を得ている。
θレンズ36aの非球面係数及び回折光学素子(BO
E)36bの位相項を示す。
部36bとのパワー比を φL/φD=2.038 とし条件式(1)を満足させている。図4は本実施形態
における昇温前後の主走査方向の像面湾曲、歪曲収差
(fθ特性)そして像高ずれ等を示した説明図であり、
実線は常温での特性、点線は25℃昇温が生じたときの
特性を示している。同図から昇温前後の主走査方向のピ
ント変化、倍率変化が殆どないことが解る。
部(fθレンズ)36aの材質を実施形態1に比べて屈
折率の高い材料で構成しても、該屈折部36aと回折部
36bとのパワー比を前記の条件式(1)を満足させる
ように適当な値に設定することにより、実施形態1と同
様に走査光学装置の温度変動に伴なう主走査方向の倍率
変化やピント変化を、該屈折部36aと回折部36bと
のパワー変化と、半導体レーザー1の波長変動により補
正することができる。又本実施形態においては屈折率の
高い材料を用いて屈折部(fθレンズ)36aを構成し
ている為、該屈折部36aの中心肉厚を薄くすることが
でき、これにより更なる低価格化を図ることができる。
要部断面図(主走査断面図)である。同図において図1
に示した要素と同一要素には同符番を付している。
なる点は、走査光学素子56の屈折部(fθレンズ)5
6aの材質を実施形態1に比べて屈折率の低いプラスチ
ック材料より構成した点と、これに伴い走査光学素子5
6の屈折部56aと回折部(回折光学素子)56bとの
パワー比を異ならせた点である。その他の構成及び光学
的作用は前述の実施形態1と略同様であり、これにより
同様な効果を得ている。
θレンズ56aの非球面係数及び回折光学素子(BO
E)56bの位相項を示す。
部56bとのパワー比を φL/φD=1.052 とし条件式(1)を満足させている。図6は本実施形態
における昇温前後の主走査方向の像面湾曲、歪曲収差
(fθ特性)そして像高ずれ等を示した説明図であり、
実線は常温での特性、点線は25℃昇温が生じたときの
特性を示している。同図から昇温前後の主走査方向のピ
ント変化、倍率変化が殆どないことが解る。
部(fθレンズ)56aの材質を実施形態1に比べて屈
折率の低い材料で構成しても、該屈折部56aと回折部
56bとのパワー比を前記の条件式(1)を満足させる
ように適当な値に設定することにより、実施形態1と同
様に走査光学装置の温度変動に伴なう主走査方向の倍率
変化やピント変化を、該屈折部56aと回折部56bと
のパワー変化と、半導体レーザー1の波長変動により補
正することができる。
要部断面図(主走査断面図)である。同図において図1
に示した要素と同一要素には同符番を付している。
なる点は、回折部としての回折光学素子74bを面倒れ
補正の為のシリンドリカルレンズ74aの1面に付加し
て構成したことである。その他の構成及び光学的作用は
前述の実施形態1と略同様である。
のアナモフィック光学素子であり、屈折部74aと回折
部74bとを有しており、該屈折部74aはシリンドリ
カルレンズ(平凸レンズ)より成り、該回折部74bは
前述した階段状の回折格子から成るバイナリー光学素子
や鋸歯状の回折格子から成るフレネル状の光学素子等の
回折光学素子より成り、該シリンドリカルレンズ74a
の光偏向器5側のレンズ面に該回折光学素子74bを付
加している。76はfθ特性を有する走査光学素子であ
り、プラスチック材料より成る単レンズ(fθレンズ)
より成り、該単レンズ76の主走査方向の両レンズ面を
非球面形状より形成している。又単レンズ76は主走査
方向と副走査方向とで異なる屈折力を有しており、光偏
向器5によって偏向された画像情報に基づく光束を被走
査面である感光ドラム面8上に結像させ、かつ光偏向器
5の偏向面の面倒れを補正している。
放射した発散光束はコリメーターレンズ2により略平行
光束に変換され、開口絞り3によって該光束(光量)を
制限して屈折部(シリンドリカルレンズ)74aと回折
部(回折光学素子)74bとから成るアナモフィック光
学素子74に入射している。アナモフィック光学素子7
4に入射した光束のうち主走査断面においてはそのまま
の状態で射出する。又副走査断面においては集束して光
偏向器5の偏向面5aにほぼ線像(主走査方向に長手の
線像)として結像している。そして光偏向器5の偏向面
5aで偏向された光束は主走査方向と副走査方向とで互
いに異なる屈折力を有するfθレンズ76を介して感光
ドラム面8上に導光され、該光偏向器5を矢印A方向に
回転させることによって該感光ドラム面8上を矢印B方
向に光走査している。これにより記録媒体である感光ド
ラム面8上に画像記録を行なっている。
θレンズ76の非球面係数及び回折光学素子(BOE)
74bの位相項を示す。
湾曲、歪曲収差(fθ特性)そして像高ずれ等を示した
説明図であり、実線は常温での特性、点線は25℃昇温
が生じたときの特性を示している。同図から昇温前後の
主走査方向のピント変化が殆どないことが解る。
ンドリカルレンズ74aの1面に回折部としての回折光
学素子74bを付加することにより、走査光学装置の温
度変動に伴なう主走査方向のピント変化を、該回折部7
4bのパワー変化と、半導体レーザー1の波長変動によ
り補正している。又本実施形態においてはfθレンズ
(走査光学素子)ではなくシリンドリカルレンズの1面
に回折光学素子を付加させたことにより、前述の実施形
態1〜3と比較してより容易な構成で効果を実現させる
ことができる。
る。本実施形態において前述の実施形態4と異なる点
は、回折部としての回折光学素子をコリメーターレンズ
の1面に付加して構成したことである。その他の構成及
び光学的作用は前述の実施形態4と略同様であり、これ
により同様な効果を得ている。
メーターレンズと、回折部としての回折光学素子とより
変換光学素子を構成し、該コリメーターレンズの両レン
ズ面のうち一方のレンズ面に回折光学素子を付加するこ
とにより、前述の実施形態4と同様に走査光学装置の温
度変動に伴なう主走査方向のピント変化を、該回折部の
パワー変化と半導体レーザーの波長変動により補正して
いる。
光学系を構成する複数の光学素子のうち1つの光学素子
の1面に付加したが、これに限定することはなく、該回
折光学素子を光路内に独立させて配置しても本発明は前
述の各実施形態と同様な効果を得ることができる。
の温度変動に伴なう主走査方向の倍率変化及びピント変
化を走査光学素子の屈折部と回折部とのパワー変化と、
半導体レーザーの波長変動により補正することにより、
環境変動(温度変化)に強く、しかも高精細な印字に適
したコンパクトな走査光学装置を達成することができ
る。
置の温度変動に伴なう主走査方向のピント変化を光学素
子の1面に付加した回折部のパワー変化と、半導体レー
ザーの波長変動により補正することにより、環境変動
(温度変化)に強く、しかも高精細な印字に適したコン
パクトな走査光学装置を達成することができる。
図
査方向の像面湾曲、歪曲収差、像高ずれを示す図
図
査方向の像面湾曲、歪曲収差、像高ずれを示す図
図
査方向の像面湾曲、歪曲収差、像高ずれを示す図
図
査方向の像面湾曲、歪曲収差、像高ずれを示す図
図
走査方向の像面湾曲、歪曲収差、像高ずれを示す図
Claims (23)
- 【請求項1】 半導体レーザーより成る光源手段から放
射した光束を偏向素子で偏向させ、該偏向された光束を
屈折部と回折部とを有する走査光学素子を介し被走査面
上に結像させて、該被走査面上を走査する走査光学装置
であって、 該走査光学装置の温度変動に伴う主走査方向の倍率変化
及びピント変化が、該走査光学素子の屈折部と回折部と
のパワー変化と、該半導体レーザーの波長変動により補
正されるようにしていることを特徴とする走査光学装
置。 - 【請求項2】 前記走査光学素子の屈折部と回折部との
パワーを各々φL,φDとしたとき 1.0≦ φL/φD ≦2.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の走
査光学装置。 - 【請求項3】 前記屈折部は単レンズより成り、前記回
折部は回折光学素子より成り、該単レンズの両レンズ面
のうち少なくとも一方のレンズ面に該回折光学素子が付
加されていることを特徴とする請求項1記載の走査光学
装置。 - 【請求項4】 前記屈折部の単レンズの材質はプラスチ
ック材料より成ることを特徴とする請求項3記載の走査
光学装置。 - 【請求項5】 前記屈折部の単レンズは主走査方向の両
レンズ面が非球面形状より成ることを特徴とする請求項
3記載の走査光学装置。 - 【請求項6】 前記屈折部の単レンズは主走査方向と副
走査方向とで異なる屈折力を有していることを特徴とす
る請求項3記載の走査光学装置。 - 【請求項7】 前記回折部の回折光学素子は階段状の回
折格子から成るバイナリー光学素子であることを特徴と
する請求項3記載の走査光学装置。 - 【請求項8】 前記回折部の回折光学素子は鋸歯状の回
折格子から成るフレネル状の光学素子であることを特徴
とする請求項3記載の走査光学装置。 - 【請求項9】 前記走査光学素子の屈折部と回折部との
パワー比が軸上から軸外に向かい一定であることを特徴
とする請求項1記載の走査光学装置。 - 【請求項10】 半導体レーザーより成る光源手段から
放射した光束を屈折部と回折部とを有するアナモフィッ
ク光学素子を介して偏向素子の偏向面において主走査方
向に長手の線状に結像させ、該偏向素子で偏向された光
束を走査光学素子を介し被走査面上に結像させて、該被
走査面上を走査する走査光学装置であって、 該走査光学装置の温度変動に伴う主走査方向のピント変
化が、該アナモフィック光学素子の回折部のパワー変化
と、該半導体レーザーの波長変動により補正されるよう
にしていることを特徴とする走査光学装置。 - 【請求項11】 前記屈折部はシリンドリカルレンズよ
り成り、前記回折部は回折光学素子より成り、該シリン
ドリカルレンズの両レンズ面のうち少なくとも一方のレ
ンズ面に該回折光学素子が付加されていることを特徴と
する請求項10記載の走査光学装置。 - 【請求項12】 前記走査光学素子は単レンズより成
り、該単レンズの材質はプラスチック材料より成ること
を特徴とする請求項10記載の走査光学装置。 - 【請求項13】 前記単レンズは主走査方向の両レンズ
面が非球面形状より成ることを特徴とする請求項12記
載の走査光学装置。 - 【請求項14】 前記単レンズは主走査方向と副走査方
向とで異なる屈折力を有していることを特徴とする請求
項12記載の走査光学装置。 - 【請求項15】 前記回折部の回折光学素子は階段状の
回折格子から成るバイナリー光学素子であることを特徴
とする請求項11記載の走査光学装置。 - 【請求項16】 前記回折部の回折光学素子は鋸歯状の
回折格子から成るフレネル状の光学素子であることを特
徴とする請求項11記載の走査光学装置。 - 【請求項17】 半導体レーザーより成る光源手段から
放射した光束を屈折部と回折部とを有する変換光学素子
により略平行光束に変換し、該変換された平行光束を偏
向素子で偏向させ、該偏向素子で偏向された光束を走査
光学素子を介し被走査面上に結像させて、該被走査面上
を走査する走査光学装置であって、 該走査光学装置の温度変動に伴う主走査方向のピント変
化が、該変換光学素子の回折部のパワー変化と、該半導
体レーザーの波長変動により補正されるようにしている
ことを特徴とする走査光学装置。 - 【請求項18】 前記屈折部は正の屈折力を有するコリ
メーターレンズより成り、前記回折部は回折光学素子よ
り成り、該コリメーターレンズの両レンズ面のうち少な
くとも一方のレンズ面に該回折光学素子が付加されてい
ることを特徴とする請求項17記載の走査光学装置。 - 【請求項19】 前記走査光学素子は単レンズより成
り、該単レンズの材質はプラスチック材料より成ること
を特徴とする請求項17記載の走査光学装置。 - 【請求項20】 前記単レンズは主走査方向の両レンズ
面が非球面形状より成ることを特徴とする請求項19記
載の走査光学装置。 - 【請求項21】 前記単レンズは主走査方向と副走査方
向とで異なる屈折力を有していることを特徴とする請求
項19記載の走査光学装置。 - 【請求項22】 前記回折部の回折光学素子は階段状の
回折格子から成るバイナリー光学素子であることを特徴
とする請求項18記載の走査光学装置。 - 【請求項23】 前記回折部の回折光学素子は鋸歯状の
回折格子から成るフレネル状の光学素子であることを特
徴とする請求項18記載の走査光学装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24577996A JP3432085B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 走査光学装置 |
US08/918,129 US6094286A (en) | 1996-08-28 | 1997-08-27 | Scanning optical apparatus |
EP97114861A EP0827004B1 (en) | 1996-08-28 | 1997-08-27 | Corrected scanning optical apparatus |
DE69737848T DE69737848T2 (de) | 1996-08-28 | 1997-08-27 | Korrigiertes optisches Abtastgerät |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24577996A JP3432085B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 走査光学装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003087690A Division JP2003337295A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 走査光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1068903A true JPH1068903A (ja) | 1998-03-10 |
JP3432085B2 JP3432085B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=17138703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24577996A Expired - Fee Related JP3432085B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 走査光学装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6094286A (ja) |
EP (1) | EP0827004B1 (ja) |
JP (1) | JP3432085B2 (ja) |
DE (1) | DE69737848T2 (ja) |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000017691A1 (fr) * | 1998-09-17 | 2000-03-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lentille de couplage et module laser à semiconducteur |
US6067106A (en) * | 1997-04-16 | 2000-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus |
US6101020A (en) * | 1998-12-08 | 2000-08-08 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Optical scanner |
JP2000292718A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-10-20 | Canon Inc | 走査光学装置及びカラー画像形成装置 |
US6215574B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical device and multi-beam scanning optical device |
JP2001194610A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-19 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US6295163B1 (en) | 1998-05-25 | 2001-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and scanning optical apparatus using the same |
JP2001324691A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US6366386B1 (en) | 1999-06-17 | 2002-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical device and image forming apparatus using the same |
US6400486B1 (en) | 1999-09-02 | 2002-06-04 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system having diffractive lens surface |
US6404530B1 (en) | 1999-10-28 | 2002-06-11 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system |
US6424446B2 (en) | 1999-05-28 | 2002-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanner and image forming apparatus |
US6639704B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus, and image forming apparatus using the same |
WO2005026805A1 (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 単レンズ素子、光源装置および走査光学装置 |
JP2006098737A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
US7039257B2 (en) | 2001-02-19 | 2006-05-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus and image forming apparatus using the same |
US7126625B2 (en) | 2003-08-27 | 2006-10-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning device and image forming apparatus using the same |
JP2008033036A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
US7397590B2 (en) | 2004-12-16 | 2008-07-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus employing this apparatus |
JP2008209803A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
US8355037B2 (en) | 2010-03-16 | 2013-01-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element used in optical scanning apparatus and optical scanning apparatus using same |
US11860504B2 (en) | 2019-12-26 | 2024-01-02 | Fujifilm Corporation | Optical scanning device |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6038053A (en) * | 1998-02-04 | 2000-03-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Color image forming apparatus |
JPH11326804A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-11-26 | Canon Inc | カラー画像形成装置及び走査光学装置 |
JP4438025B2 (ja) * | 1998-06-23 | 2010-03-24 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置 |
US6201626B1 (en) | 1998-06-23 | 2001-03-13 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system |
JP3684094B2 (ja) * | 1999-01-19 | 2005-08-17 | ペンタックス株式会社 | 走査光学系 |
US6469818B1 (en) | 1999-10-06 | 2002-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-beam scanning optical apparatus and image forming apparatus using it |
JP2001125027A (ja) | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Canon Inc | 走査光学装置とそれを用いたカラー画像形成装置 |
EP1122579B1 (en) * | 2000-01-28 | 2007-10-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical device and image forming apparatus |
JP4564620B2 (ja) | 2000-02-01 | 2010-10-20 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置 |
JP4617004B2 (ja) | 2001-01-29 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置 |
JP4717285B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2011-07-06 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US20030174374A1 (en) * | 2001-12-11 | 2003-09-18 | Pentax Corporation | Scanning optical system |
KR100453040B1 (ko) * | 2002-02-01 | 2004-10-15 | 삼성전자주식회사 | 콜리메이팅 렌즈, 콜리메이팅 시스템 및 이를 채용한 화상표시장치 |
JP2004070107A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US7034859B2 (en) * | 2002-08-08 | 2006-04-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning device and image forming apparatus using the same |
KR100461300B1 (ko) * | 2002-10-21 | 2004-12-16 | 삼성전자주식회사 | 온도보정된 콜리메이팅 렌즈 및 이를 이용한 광주사장치 |
JP4378082B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2009-12-02 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置 |
JP2005258392A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-09-22 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
JP4222296B2 (ja) * | 2004-11-22 | 2009-02-12 | 住友電気工業株式会社 | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
US7253937B2 (en) * | 2005-10-20 | 2007-08-07 | Ricoh Company, Ltd. | Multi-beam optical scanning device and image forming apparatus |
JP4898203B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2012-03-14 | キヤノン株式会社 | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
KR20080103801A (ko) * | 2007-05-25 | 2008-11-28 | 삼성전자주식회사 | 광주사유닛 및 이를 채용한 전자사진방식 화상형성장치 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03125111A (ja) * | 1989-10-10 | 1991-05-28 | Topcon Corp | ビームスキャナー |
US5212501A (en) * | 1991-04-30 | 1993-05-18 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Image recording apparatus with a laser optical unit |
JPH0560997A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
US5208701A (en) * | 1991-12-24 | 1993-05-04 | Xerox Corporation | Wobble correction lens with binary diffractive optic surface and refractive cylindrical surface |
JPH06118346A (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-28 | Minolta Camera Co Ltd | レーザビーム光源装置及びレーザビーム走査光学系 |
JP3571736B2 (ja) * | 1993-05-14 | 2004-09-29 | 日立プリンティングソリューションズ株式会社 | ホログラム走査光学系 |
US5486694A (en) * | 1994-12-02 | 1996-01-23 | Xerox Corporation | Wobble correction and focusing optical element with refractive toroidal surface and binary diffractive optical surface |
US5838480A (en) * | 1996-04-29 | 1998-11-17 | The University Of Rochester | Optical scanning system with diffractive optics |
-
1996
- 1996-08-28 JP JP24577996A patent/JP3432085B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-08-27 US US08/918,129 patent/US6094286A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-27 DE DE69737848T patent/DE69737848T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-27 EP EP97114861A patent/EP0827004B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6067106A (en) * | 1997-04-16 | 2000-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus |
US6724534B2 (en) | 1998-05-25 | 2004-04-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and scanning optical apparatus using the same |
US6295163B1 (en) | 1998-05-25 | 2001-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and scanning optical apparatus using the same |
US6215574B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical device and multi-beam scanning optical device |
US6504975B1 (en) | 1998-09-17 | 2003-01-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Coupling lens and semiconductor laser module |
WO2000017691A1 (fr) * | 1998-09-17 | 2000-03-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lentille de couplage et module laser à semiconducteur |
US6101020A (en) * | 1998-12-08 | 2000-08-08 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Optical scanner |
JP2000292718A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-10-20 | Canon Inc | 走査光学装置及びカラー画像形成装置 |
US6424446B2 (en) | 1999-05-28 | 2002-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanner and image forming apparatus |
US6366386B1 (en) | 1999-06-17 | 2002-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical device and image forming apparatus using the same |
US6400486B1 (en) | 1999-09-02 | 2002-06-04 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system having diffractive lens surface |
US6404530B1 (en) | 1999-10-28 | 2002-06-11 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system |
JP2001194610A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-19 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
JP4750259B2 (ja) * | 1999-10-29 | 2011-08-17 | キヤノン株式会社 | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US6639704B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus, and image forming apparatus using the same |
JP2001324691A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US7039257B2 (en) | 2001-02-19 | 2006-05-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus and image forming apparatus using the same |
US7126625B2 (en) | 2003-08-27 | 2006-10-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning device and image forming apparatus using the same |
WO2005026805A1 (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 単レンズ素子、光源装置および走査光学装置 |
US7256942B2 (en) | 2003-09-09 | 2007-08-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Single lens element, light source device and scanning optical device |
JP2006098737A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
US7397590B2 (en) | 2004-12-16 | 2008-07-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus employing this apparatus |
US7554709B2 (en) | 2004-12-16 | 2009-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus employing this apparatus |
JP2008033036A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2008209803A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
US8355037B2 (en) | 2010-03-16 | 2013-01-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element used in optical scanning apparatus and optical scanning apparatus using same |
US11860504B2 (en) | 2019-12-26 | 2024-01-02 | Fujifilm Corporation | Optical scanning device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0827004B1 (en) | 2007-06-27 |
EP0827004A2 (en) | 1998-03-04 |
US6094286A (en) | 2000-07-25 |
DE69737848T2 (de) | 2008-03-06 |
DE69737848D1 (de) | 2007-08-09 |
EP0827004A3 (en) | 1998-09-16 |
JP3432085B2 (ja) | 2003-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3432085B2 (ja) | 走査光学装置 | |
US6067106A (en) | Scanning optical apparatus | |
EP0853253A2 (en) | Optical scanning apparatus | |
JP3397638B2 (ja) | 光走査光学系及びそれを用いた画像形成装置 | |
JP3559711B2 (ja) | 走査光学装置及びマルチビーム走査光学装置 | |
JP2003337295A (ja) | 走査光学装置 | |
JP5269169B2 (ja) | 走査光学装置及びそれを有するレーザービームプリンタ | |
US5966232A (en) | Scanning optical system | |
US5818621A (en) | Scanning optical system | |
JP2005338865A (ja) | 走査光学装置及びそれを有するレーザービームプリンタ | |
JP3559710B2 (ja) | 回折光学素子及びそれを用いた走査光学装置 | |
JP2000075229A (ja) | 走査光学系 | |
JP3969857B2 (ja) | 結像素子アレイ | |
JP3320239B2 (ja) | 走査光学装置 | |
JPH05127077A (ja) | シリンドリカルレンズ系 | |
JPH10260371A (ja) | 走査光学装置 | |
JP2000002848A (ja) | 走査光学装置 | |
JPH0968664A (ja) | 光ビーム走査用光学系 | |
JPH09281422A (ja) | 走査光学装置 | |
JP4652506B2 (ja) | 走査光学装置 | |
JP3367247B2 (ja) | fθレンズ系 | |
JP3984998B2 (ja) | 光走査光学系及びそれを用いた画像形成装置 | |
JPH1144854A (ja) | 光走査光学装置 | |
JPH116954A (ja) | 線像結像レンズおよび光走査装置 | |
JPS6353512A (ja) | 面倒れ補正走査光学系 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120523 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120523 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130523 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140523 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |