JPH10208489A - 高電圧発生装置 - Google Patents

高電圧発生装置

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JPH10208489A
JPH10208489A JP854297A JP854297A JPH10208489A JP H10208489 A JPH10208489 A JP H10208489A JP 854297 A JP854297 A JP 854297A JP 854297 A JP854297 A JP 854297A JP H10208489 A JPH10208489 A JP H10208489A
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雅章 三原
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    • H02M3/07Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 負荷の大きさに応じて昇圧能力を変化させる
ことのできる高電圧発生装置を提供する。 【解決手段】 電源電圧を昇圧することにより高電圧を
生成し、負荷9に供給するチャージポンプ1と、チャー
ジポンプ1起動の時間を計測し所定時間後に信号S/H
を出力するタイマ11と、信号S/Hを入力することに
よってチャージポンプ1の出力電圧をディジタル変換
し、4ビットのバイナリデータを出力するA−D変換器
13と、電源ノードとNチャネルMOSトランジスタN
T1のドレイン間に並列に接続されゲートにはA−D変
換器13から出力されるディジタル値が入力される4つ
のPチャネルMOSトランジスタPT1〜PT4を含む
電流制限回路15とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特にチャージポンプ技術を利用して高電圧を発生
させる高電圧発生装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図11は、従来の高電圧発生装置の構成
を示す図である。図11に示されるように、この高電圧
発生装置は、負荷9に接続され、チャージポンプ1と、
オシレータ3と、チャージポンプ制御回路5と、検出回
路7とを備える。
【0003】ここで、チャージポンプ1は、オシレータ
3から発生するクロックパルスφ,/φを受けて高電圧
VPPを発生させる。具体的には、たとえば、クロック
パルス/φがハイ(H)レベルのときに、ノードN0か
らノードN1、ノードN2からノードN3、ノードN4
からノードN5へ電流が流れ、ノードN(2m)がノー
ドN(2m+1)より約しきい値電圧分高い電位にな
る。
【0004】次に、クロックパルス/φがロー(L)レ
ベルに下がると、ノードN0からノードN5は、キャパ
シタンスカップリングにより下がろうとするが、左側か
ら電流が供給されて、前にクロックパルス/φがLレベ
ルであったときより電位が上がる。すなわちこのとき、
クロックパルスφはHレベルになり、ノードN1からノ
ードN2、ノードN3からノードN4へ電流が供給され
る。
【0005】そして、クロックパルスφがLレベルに戻
ると、再びノードN0からノードN1、ノードN2から
ノードN3、ノードN4からノードN5へ電流が供給さ
れ、それぞれノードN1,N3,N5の電位が前のサイ
クルより上昇する。このようにして、左から右へ電流が
流れ、容量C1,C2,…などのカップリング比をα、
クロックの振幅をVoscとし、しきい値電圧をVTN
すると、1段当りおよそαVosc−VTN上昇すること
になる。
【0006】また、検出回路7は、チャージポンプ1の
出力電圧VPPを検出する。具体的には、出力電圧VP
Pを抵抗R1と抵抗R2で抵抗分割し、中間ノードの電
位をVdevとする。そして、比較器71で電位Vde
vと基準電圧Vrefとを比較し、電位Vdev>基準
電圧VrefのときHレベルの検出信号Vdetを出力
し電位Vdev<基準電圧VrefのときLレベルの検
出信号Vdetを出力する。
【0007】なお、ここでチャージポンプ1の出力電圧
VPPの所望値は、(R1+R2)・Vref/R2で
ある。
【0008】次に、チャージポンプ制御回路5は、検出
回路7からのHレベルの検出信号を受けてオシレータ3
を停止状態にし、検出回路7からのLレベルの検出信号
を受けてオシレータ3を動作状態にする。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】たとえばフラッシュメ
モリにおいては、チャージポンプで発生した高電圧を直
接メモリセルに印加するモードがある。ここで高電圧を
印加するメモリセルの数は書込パターンや消去パターン
によって変化する。したがって、チャージポンプの負荷
がパターンによって異なる。ここで、チャージポンプの
性能はあらゆる動作モードの中で負荷が最も重くなる場
合に対して十分なパフォーマンスが得られるように決定
しなければならない。
【0010】しかしながら、上記のように動作モードに
よっては負荷が非常に軽くなる場合がある。この場合オ
ーバーパワーとなり、リップル現象が顕著になるという
問題が起きる。
【0011】本発明は、このような問題を解消するため
になされたもので、負荷の大きさに応じて昇圧能力を変
化させることができる高電圧発生装置を提供することを
目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る高電圧発
生装置は、電源電圧を昇圧することにより高電圧を生成
し、負荷に供給する高電圧生成手段と、負荷の大きさを
見積もる負荷見積り手段と、負荷見積り手段によって見
積もられた負荷の大きさに応じて高電圧生成手段の昇圧
能力を制御する昇圧能力制御手段とを備える。
【0013】請求項2に係る高電圧発生装置は、請求項
1に記載の高電圧発生装置であって、負荷見積り手段
は、高電圧生成手段が起動した後で予め設定された所定
時間経過後にサンプル信号を出力するタイマと、サンプ
ル信号を受取ったときの高電圧生成手段の出力電圧の大
きさを検知する電圧検知手段とを含む。
【0014】請求項3に係る高電圧発生装置は、請求項
1に記載の高電圧発生装置であって、負荷見積り手段
は、高電圧生成手段の出力電圧の大きさを検出する出力
電圧検出手段と、高電圧生成手段が起動した後出力電圧
検出手段で予め設定された所定電圧に到達したことが検
出されるまでの時間を測るカウント手段とを含む。
【0015】請求項4に係る高電圧発生装置は、請求項
1から請求項3のいずれかに記載の高電圧発生装置であ
って、昇圧能力制御手段は、電源から高電圧生成手段に
供給される電流の大きさを変化させる。
【0016】請求項5に係る高電圧発生装置は、請求項
4に記載の高電圧発生装置であって、昇圧能力制御手段
は、電源と高電圧生成手段が電源から電源電圧を受ける
ためのノードとの間に並列に接続され、負荷見積り手段
によって制御される複数のトランジスタを含む。
【0017】請求項6に係る高電圧発生装置は、請求項
1から請求項3のいずれかに記載の高電圧発生装置であ
って、昇圧能力制御手段は、高電圧生成手段から出力さ
れる電流の大きさを変化させる。
【0018】請求項7に係る高電圧発生装置は、請求項
6に記載の高電圧発生装置であって、昇圧能力制御手段
は、接地ノードと高電圧生成手段が接地ノードから接地
電圧を受けるノードとの間に並列に接続され、負荷見積
り手段によって制御される複数のトランジスタを含む。
【0019】請求項8に係る高電圧発生装置は、電源電
圧を昇圧することにより高電圧を生成し、負荷に供給す
る高電圧生成手段と、高電圧生成手段の出力電圧の大き
さを検出する出力電圧検出手段と、出力電圧検出手段に
よって検出された出力電圧の大きさに応じて高電圧生成
手段の昇圧能力を制御する昇圧能力制御手段とを備え
る。
【0020】請求項9に係る高電圧発生装置は、請求項
8に記載の高電圧発生装置であって、昇圧能力制御手段
は、電源から高電圧生成手段に供給される電流の大きさ
を変化させる。
【0021】請求項10に係る高電圧発生装置は、請求
項8に記載の高電圧発生装置であって、昇圧能力制御手
段は、高電圧生成手段から出力される電流の大きさを変
化させる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一
または相当部分を示す。
【0023】[実施の形態1]図1は、本発明の実施の
形態1に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。図
1に示されるように、この高電圧発生装置は、負荷9に
接続され、チャージポンプ1と、オシレータ3と、チャ
ージポンプ制御回路5と、検出回路7と、タイマ11
と、A−D変換器13と、電流制限回路15とを備え
る。
【0024】ここで、チャージポンプ1と、オシレータ
3、チャージポンプ制御回路5、検出回路7の構成は上
記従来の高電圧発生装置のものと同様である。
【0025】タイマ11は、チャージポンプ制御回路5
に入力されるチャージポンプ活性化信号Start/S
topに同期して動作し、チャージポンプの動作開始後
予め設定された所定時間を計測する。
【0026】また、A−D変換器13は、タイマ11か
ら出力されるサンプルホールド信号S/Hを受取ってチ
ャージポンプ1の出力ノードN6から出力電圧を入力
し、その大きさをディジタル信号に変換する。図2は、
このA−D変換器13の特性を示す図である。図2に示
されるように、たとえば、アナログ入力として5.0V
が入力されたとき、A−D変換器13は4ビットのディ
ジタル値(0100)を出力する。
【0027】また、電流制限回路15は、電源ノードと
チャージポンプ1の初段のNチャネルMOSトランジス
タNT1のドレインとの間に並列接続されたPチャネル
MOSトランジスタPT1〜PT4を含む。そして、そ
れぞれのPチャネルMOSトランジスタPT1〜PT4
のゲートには、A−D変換器13からの4ビットの出力
信号(ディジタル値)Vcc/GNDの各ビットに対応
した電圧が供給される。
【0028】次に、本発明の実施の形態1に係る高電圧
発生装置の動作を図3を参照しつつ説明する。
【0029】ハイレベルのチャージポンプ活性化信号S
tart/Stopがチャージポンプ制御回路5に入力
することによって、チャージポンプ1はポンプ動作を開
始し、それと同時にタイマ11が時間の計測を開始す
る。
【0030】そして、図3に示されるように予め定めら
れた一定時間経過後にタイマ11はサンプルホールド信
号S/HをA−D変換器13に出力する。A−D変換器
13はこのサンプルホールド信号S/Hを受けて、チャ
ージポンプ1の出力ノードN6より出力電圧VPPをサ
ンプリングし、その電位に応じたバイナリデータを決定
する。なお、決定後は、A−D変換器13の出力データ
が保持される。
【0031】ここで、外部接続される負荷9が大きいと
チャージポンプ1の出力電圧VPPの立上がりが緩やか
なので、図3に示されるように、チャージポンプ1の動
作開始後一定時間が経過したときに到達する出力電圧の
レベルは低いものとなる。したがってこの場合は、小さ
なディジタル値が出力される。
【0032】一方、外部接続される負荷9が小さいと、
チャージポンプ1の出力電圧VPPの立上がりが急なの
で、チャージポンプ1の動作開始後一定時間経過後に出
力電圧が到達するレベルは高いものとなる。したがっ
て、この場合は大きなディジタル値が出力される。
【0033】このようにして、チャージポンプ1の動作
開始時は、A−D変換器13から(0000)のディジ
タル値が出力されるため電流制限回路15に含まれるP
チャネルMOSトランジスタPT1〜PT4はすべてオ
ンし、チャージポンプ1へ電源ノードより最大の電流が
供給される。しかし、その後A−D変換器13で外部接
続された負荷9が小さいと見積もられれば、出力される
ディジタル値が大きいため、オンするPチャネルMOS
トランジスタPT1〜PT4の数が少ないものとされチ
ャージポンプ1へ供給される電流の大きさが小さくな
る。これによりチャージポンプ1の昇圧能力が減少され
る。
【0034】一方、負荷9が大きいと見積もられた場合
には、出力されるディジタル値が小さいため、オンする
PチャネルMOSトランジスタPT1〜PT4の数は多
くなり、チャージポンプ1へ供給される電流の大きさが
大きくなる。これによりチャージポンプ1の昇圧能力が
高められる。
【0035】以上より、外部に接続された負荷9の大き
さに応じてチャージポンプ1の昇圧能力が調整されるた
め、リップルが抑制される。
【0036】[実施の形態2]図4は、本発明の実施の
形態2に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。
【0037】図4に示されるように、本実施の形態2に
係る高電圧発生装置は、上記実施の形態1に係る高電圧
発生装置と同様な構成を有するが、外部接続される負荷
9の大きさを見積る手段として、チャージポンプ1の出
力ノードN6に接続される検出回路17と、検出回路1
7に接続されチャージポンプ活性化信号Start/S
topと同期して動作し、チャージポンプ1の動作開始
後の時間をカウントするカウンタ19とを備える点で相
違する。
【0038】ここで、検出回路17の構成は、検出回路
7と同様であるが設定される基準電圧は、所望の出力電
圧より低いものとされる。
【0039】以下において、本発明の実施の形態2に係
る高電圧発生装置の動作を図5を参照しつつ説明する。
【0040】ハイレベルのチャージポンプ活性化信号S
tart/Stopによってチャージポンプ1はその動
作を開始し、それと同時に検出回路17がチャージポン
プ1の出力電圧の計測を開始する。また、同時にカウン
タ19もチャージポンプ1の動作開始後の時間をカウン
トする。
【0041】ここで、検出回路17は、チャージポンプ
1の出力電圧が予め決められた設定電圧Vcに到達した
とき、ハイレベルの信号Catchをカウンタ19に出
力する。この信号を受けてカウンタ19は時間の計測を
終了し、その値を保持する。図5に示されるように、外
部に接続される負荷9が小さいと、チャージポンプ1の
出力電圧が設定電圧Vcに到達するまでの時間が短いの
で、カウンタ19は信号Catchにより早く止まり、
保持した値は小さいものとなる。これにより、カウンタ
19から電流制限回路15へ出力される4ビットのディ
ジタル値は小さくその値はインバータで反転されるた
め、オンするPチャネルMOSトランジスタPT1〜P
T4の数は少なくなりチャージポンプ1に供給される電
流の大きさは小さくなる。したがって、負荷9が小さい
ときはチャージポンプ1の昇圧能力が低減される。
【0042】一方、負荷9が大きいと、チャージポンプ
1の出力電圧が設定電圧Vcに到達するまでの時間が長
いのでカウンタ19は信号Catchにより遅く止ま
り、保持する値は大きなものとなる。これにより、カウ
ンタ19から電流制限回路15へ出力される4ビットの
ディジタル値は大きくその値はインバータで反転される
ため、オンするPチャネルMOSトランジスタPT1〜
PT4の数は多くなりチャージポンプ1に供給される電
流の大きさは大きくなる。したがって、負荷9が大きい
ときはチャージポンプ1の昇圧能力が増大される。
【0043】以上より、本実施の形態2に係る高電圧発
生装置によっても外部に接続された負荷9の大きさに応
じてチャージポンプ1の昇圧能力が調整され、リップル
が抑制される。
【0044】[実施の形態3]図6は、本発明の実施の
形態3に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。
【0045】図6に示されるように、本実施の形態3に
係る高電圧発生装置は、上記実施の形態1に係る高電圧
発生装置と同様な構成を有するが、電流制限回路15の
代わりにクリップ回路21が備えられる点で相違する。
【0046】このクリップ回路21は、接地ノードとチ
ャージポンプ1の出力ノードN6との間に並列に接続さ
れた4つのNチャネルMOSトランジスタNT11〜N
T14を含む。
【0047】次に、本実施の形態3に係る高電圧発生装
置の動作を説明する。ハイレベルのチャージポンプ活性
化信号Start/Stopがチャージポンプ制御回路
5へ入力すると、オシレータ3が活性化しチャージポン
プ1が動作を開始する。ここで、タイマ11は、ハイレ
ベルのチャージポンプ活性化信号Start/Stop
を受取って動作を開始し、予め設定された所定時間経過
後にサンプルホールド信号S/Hを出力する。
【0048】ここで、A−D変換器13は、タイマ11
から出力されるサンプルホールド信号S/Hを受取って
チャージポンプ1の出力ノードN6から出力電圧を入力
し、その大きさをディジタル信号に変換する。このディ
ジタル信号は4ビットのバイナリデータであって、各ビ
ットに対応する信号(Vcc/GND)がそれぞれ4つ
のNチャネルMOSトランジスタNT11〜NT14の
ゲートに入力する。
【0049】したがって、チャージポンプ1の出力ノー
ドN6からのリーク電流量はオン状態になるこのNチャ
ネルMOSトランジスタNT11〜NT14の数により
可変とされる。
【0050】たとえば、A−D変換器13は、負荷9が
小さいとき大きなディジタル値を出力し、クリップ回路
21に含まれるNチャネルMOSトランジスタNT11
〜NT14がより多くオン状態となる。このため、チャ
ージポンプ1から出力される電流がクリップ回路21で
より多くリークされ、チャージポンプ1の昇圧能力が低
減される。
【0051】また、逆に負荷9が大きいとき、A−D変
換器13は小さなディジタル値を出力するため、クリッ
プ回路21に含まれるNチャネルMOSトランジスタN
T11〜NT14の数は少なく、チャージポンプ1の昇
圧能力が増大される。
【0052】このような動作により、チャージポンプ1
の駆動力は変化せずとも、出力電流量が変わるため見か
け上チャージポンプ1の昇圧能力が増減され、リップル
が抑制される。
【0053】[実施の形態4]図7は、本発明の実施の
形態4に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。
【0054】図7に示されるように、本実施の形態4に
係る高電圧発生装置は、上記実施の形態3に係る高電圧
発生装置と同様な構成を有するが、負荷9の大きさを見
積る手段として、タイマ11およびA−D変換器13の
代わりに、上記実施の形態2で説明したカウンタ19お
よび検出回路17を備える点で相違する。
【0055】この実施の形態4に係る高電圧発生装置
は、負荷9が小さいときには、図5に示されるように、
検出回路17は信号Catchを早くカウンタ19に出
力するため、カウンタ19はチャージポンプ1動作開始
後早く止まり、計測時間に対応する小さなディジタル値
を出力する。このため、クリップ回路21に含まれるN
チャネルMOSトランジスタNT11〜NT14は、よ
り多くオン状態となりチャージポンプ1の出力電流量が
減少される。したがって、この場合には見かけ上チャー
ジポンプ1の昇圧能力が低減される。
【0056】また逆に、負荷9が大きいときには、カウ
ンタ19は大きなディジタル値を出力するため、Nチャ
ネルMOSトランジスタNT11〜NT14は、より多
くオン状態となり、見かけ上チャージポンプ1の昇圧能
力が増大される。
【0057】以上により、本実施の形態4に係る高電圧
発生装置においても、負荷9の大きさに応じてチャージ
ポンプ1の昇圧能力を調整するため、リップルを抑制す
ることができる。
【0058】[実施の形態5]図8は、本発明の実施の
形態5に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。
【0059】図8に示されるように、本実施の形態5に
係る高電圧発生装置は、オシレータ3と、チャージポン
プ1と、チャージポンプ1の出力電圧をそれぞれ基準電
圧Vref1,Vref2を比較する検出回路23,2
5と、チャージポンプ1に電流を供給する電流制限回路
29と、電流制限回路29を制御するフィルタ回路27
とを備える。
【0060】ここで、検出回路23,25は、それぞ
れ、従来の高電圧発生装置の検出回路7と同様の構成を
有するが、基準電圧Vref1は基準電圧Vref2よ
り小さい電圧とされる。
【0061】また、電流制限回路29は、ソースが電源
ノードに接続されたPチャネルMOSトランジスタPT
6を含む。
【0062】次に、フィルタ回路27の構成および動作
を図9を参照して説明する。図9に示されるように、フ
ィルタ回路27は信号/Vdet1を反転させるインバ
ータ273と、信号Tとインバータ273の出力信号を
入力するAND回路271と、信号Tと信号/Vdet
2を入力するAND回路272と、AND回路271の
出力信号を反転させるインバータ274と、インバータ
274の出力信号/UPをゲートに受けソースには電源
ノードが接続されるPチャネルMOSトランジスタPT
5と、AND回路272の出力信号DOWNをゲートに
受けソースには接地ノードが接続されるNチャネルMO
SトランジスタNT15と、抵抗Rと、容量Cとを含
む。
【0063】このフィルタ回路27において、信号/U
Pが活性状態(ローレベル)になると、PチャネルMO
SトランジスタPT5がオンし、ノードN1を充電す
る。
【0064】一方、信号DOWNが活性状態(ハイレベ
ル)になると、NチャネルMOSトランジスタNT15
がオンし、ノードN1を放電する。ここで、信号/UP
と信号DOWNはクロック信号Tがハイレベルのとき生
成されるパルス信号である。したがって、クロック信号
Tを活性化するたびに信号/Vdet1と信号/Vde
t2の状態とによりノードN1を充電したり放電したり
する。つまり、信号/Vdet1と信号/Vdet2と
の活性頻度に応じてノードN1の電圧レベルがアナログ
的に変動する。
【0065】具体的には、クロック信号Tがハイレベル
のとき、信号/UPと信号/Vdet1、信号DOWN
と信号/Vdet2の論理値はそれぞれ一致し、クロッ
ク信号Tがローレベルのとき信号/UPはハイレベル、
信号DOWNはローレベルとなる。したがって、クロッ
ク信号TがローレベルのときPチャネルMOSトランジ
スタPT5およびNチャネルMOSトランジスタNT1
5はともにオフする一方、クロック信号Tがハイレベル
であって、信号/Vdet1の活性頻度が多い場合は、
ノードN1の電位を上昇し、信号/Vdet2の活性頻
度が多い場合にはノードN1の電位が下降する。
【0066】また、信号/UPと信号DOWNが同時に
活性化した場合は、ノードN1の電位は一定に保たれる
ようにPチャネルMOSトランジスタPT5とNチャネ
ルMOSトランジスタNT15のサイズが決められる。
【0067】次に、本発明の実施の形態5に係る高電圧
発生装置の動作を説明する。フィルタ回路27には、オ
シレータ3から出力されるクロック信号φが入力され
る。また、検出回路23の出力信号Vdet1は、チャ
ージポンプ1の出力電圧VPP>(R1+R2)・Vr
ef1/R2のときハイレベルになる。一方、検出回路
25の出力信号Vdet2は出力電圧VPP>(R1+
R2)・Vref2/R2のときハイレベルになる。
【0068】ここで、チャージポンプ1の出力電圧VP
Pが(R1+R2)・Vref1/R2より低く信号V
det1,Vdet2がともにローレベルのとき、フィ
ルタ回路27に含まれるNチャネルMOSトランジスタ
NT15はオンし、ノードN1の電位Vcontが下が
る。これにより、電流制限回路29に含まれるPチャネ
ルMOSトランジスタPT6がオンする。
【0069】また、チャージポンプ1の出力電圧VPP
が(R1+R2)・Vref1/R2より大きく(R1
+R2)・Vref2/R2より小さければ信号Vde
t1がハイレベル、信号Vdet2がローレベルとな
り、フィルタ回路27によりノードN1の電位Vcon
tは一定レベルに保持される。この場合には、ノードN
1の電位Vcontが一定レベルとされるため、チャー
ジポンプ1に供給される電流量は一定とされ、チャージ
ポンプ1の昇圧能力は一定に保たれる。
【0070】次に、チャージポンプ1の出力電圧VPP
が、(R1+R2)・Vref2/R2より高く信号V
det1,Vdet2がともにハイレベルのとき、フィ
ルタ回路27に含まれるPチャネルMOSトランジスタ
PT5がオンするため、ノードN1の電位Vcontが
上昇する。これにより、PチャネルMOSトランジスタ
PT6を通してチャージポンプ1に供給される電流量は
減少する。したがって、この場合はチャージポンプ1の
昇圧能力が低減される。
【0071】以上より、チャージポンプ1の出力電圧V
PPのレベルを一定にするよう昇圧能力が調整され、リ
ップルが抑制される。
【0072】[実施の形態6]図10は、本発明の実施
の形態6に係る高電圧発生装置の構成を示す図である。
【0073】図10に示されるように、本実施の形態6
に係る高電圧発生装置は、上記実施の形態5に係る高電
圧発生装置と同様な構成を有するが、電流制限回路29
の代わりにクリップ回路31が備えられる点で相違す
る。
【0074】このクリップ回路31は、ソースが接地ノ
ードに、ドレインがチャージポンプ1の出力ノードに、
ゲートがフィルタ回路27に含まれるノードN1に接続
されるNチャネルMOSトランジスタNT16を含む。
【0075】以下に、本実施の形態6に係る高電圧発生
装置の動作を説明する。チャージポンプ1の出力電圧V
PPが(R1+R2)・Vref1/R2より低いとき
は、検出回路23,25からそれぞれ出力される信号V
det1,Vdet2がともにローレベルとなり、フィ
ルタ回路27に含まれるNチャネルMOSトランジスタ
NT15がオンするため、ノードN1の電位Vcont
が下がる。
【0076】これにより、クリップ回路31に含まれる
NチャネルMOSトランジスタNT16を介してリーク
する電流量は減少する。
【0077】また、チャージポンプ1の出力電圧VPP
が(R1+R2)・Vref1/R2より高く(R1+
R2)・Vref2/R2より低いときは、信号Vde
t1がハイレベル、信号Vdet2がローレベルとな
り、ノードN1の電位Vcontは一定レベルに保持さ
れる。この場合には、クリップ回路31での電流リーク
量が一定に保たれる。
【0078】一方、チャージポンプ1の出力電圧VPP
が(R1+R2)・Vref2/R2より高いときは、
信号Vdet1,Vdet2がともにハイレベルとな
り、フィルタ回路27に含まれるPチャネルMOSトラ
ンジスタPT5がオンするため、ノードN1の電位Vc
ontが上昇する。これにより、クリップ回路31に含
まれるNチャネルMOSトランジスタNT16を介して
リークする電流量が増加する。
【0079】したがってこの場合には、チャージポンプ
1の昇圧能力が低減される。以上のように、チャージポ
ンプ1の出力電圧VPPが一定となるようクリップ回路
31での電流リーク量を調整することによって、リップ
ルが抑制される。
【0080】
【発明の効果】請求項1に係る高電圧発生装置によれ
ば、負荷の大きさに応じて高電圧生成手段の昇圧能力が
制御されるため、リップルを抑制することができる。
【0081】請求項2に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段における起動の所定時間経過後の出力電
圧の大きさを検知する電圧検知手段を含むため、外部接
続された負荷の大きさを見積もることができ、負荷の大
きさに応じて昇圧能力を制御することができる。
【0082】請求項3に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段において起動後の出力電圧が所定電圧に
到達したことが検出されるまでの時間を測るカウント手
段を含むため、外部接続された負荷の大きさを見積もる
ことができ、負荷の大きさに応じて昇圧能力を制御する
ことができる。
【0083】請求項4に係る高電圧発生装置によれば、
昇圧能力制御手段が高電圧生成手段に供給する電流の大
きさを変化させるため、高電圧生成手段の昇圧能力を変
化させることができる。
【0084】請求項5に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段に供給される電流量をディジタル的に変
化させることができる。
【0085】請求項6に係る高電圧発生装置によれば、
昇圧能力制御手段は高電圧生成手段から出力される電流
の大きさを変化させるため、高電圧生成手段の昇圧能力
を変化させることができる。
【0086】請求項7に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段から出力される電流量をディジタル的に
変化させることができる。
【0087】請求項8に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段の昇圧能力がその出力電圧の大きさに応
じて制御されるため、リップルが抑制される。
【0088】請求項9に係る高電圧発生装置によれば、
高電圧生成手段はその出力電圧の大きさに応じて電流が
供給されるため、高電圧生成手段の昇圧能力がアナログ
的に制御される。
【0089】請求項10に係る高電圧発生装置によれ
ば、高電圧生成手段はその出力電圧の大きさに応じて出
力電流の大きさが変化されるため、高電圧生成手段の昇
圧能力がアナログ的に制御される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る高電圧発生装置
の全体構成を示す図である。
【図2】 図1に示されるA−D変換器の特性を示す図
である。
【図3】 図1に示されるA−D変換器の動作を説明す
るための図である。
【図4】 本発明の実施の形態2に係る高電圧発生装置
の全体構成を示す図である。
【図5】 図4に示されるカウンタの動作を説明するた
めの図である。
【図6】 本発明の実施の形態3に係る高電圧発生装置
の全体構成を示す図である。
【図7】 本発明の実施の形態4に係る高電圧発生装置
の全体構成を示す図である。
【図8】 本発明の実施の形態5に係る高電圧発生装置
の全体構成を示す図である。
【図9】 図8に示されるフィルタ回路の構成を示す回
路図である。
【図10】 本発明の実施の形態6に係る高電圧発生装
置の全体構成を示す図である。
【図11】 従来の高電圧発生装置の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 チャージポンプ、3 オシレータ、11 タイマ、
13 A−D変換器、15,29 電流制限回路、1
7,23,25 検出回路、19 カウンタ、21,3
1 クリップ回路、27 フィルタ回路。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電源電圧を昇圧することにより高電圧を
    生成し、負荷に供給する高電圧生成手段と、 前記負荷の大きさを見積もる負荷見積り手段と、 前記負荷見積り手段によって見積もられた前記負荷の大
    きさに応じて前記高電圧生成手段の昇圧能力を制御する
    昇圧能力制御手段とを備える高電圧発生装置。
  2. 【請求項2】 前記負荷見積り手段は、 前記高電圧生成手段が起動した後で予め設定された所定
    時間経過後にサンプル信号を出力するタイマと、 前記サンプル信号を受取ったときの前記高電圧生成手段
    の出力電圧の大きさを検知する電圧検知手段とを含む、
    請求項1に記載の高電圧発生装置。
  3. 【請求項3】 前記負荷見積り手段は、 前記高電圧生成手段の出力電圧の大きさを検出する出力
    電圧検出手段と、 前記高電圧生成手段が起動した後前記出力電圧検出手段
    で予め設定された所定電圧に到達したことが検出される
    までの時間を測るカウント手段とを含む、請求項1に記
    載の高電圧発生装置。
  4. 【請求項4】 前記昇圧能力制御手段は、電源から前記
    高電圧生成手段に供給される電流の大きさを変化させ
    る、請求項1から請求項3のいずれかに記載の高電圧発
    生装置。
  5. 【請求項5】 前記昇圧能力制御手段は、前記電源と前
    記高電圧生成手段が前記電源から前記電源電圧を受ける
    ためのノードとの間に並列に接続され、前記負荷見積り
    手段によって制御される複数のトランジスタを含む、請
    求項4に記載の高電圧発生装置。
  6. 【請求項6】 前記昇圧能力制御手段は、前記高電圧生
    成手段から出力される電流の大きさを変化させる、請求
    項1から請求項3のいずれかに記載の高電圧発生装置。
  7. 【請求項7】 前記昇圧能力制御手段は、接地ノードと
    前記高電圧生成手段が前記接地ノードから接地電圧を受
    けるノードとの間に並列に接続され、前記負荷見積り手
    段によって制御される複数のトランジスタを含む、請求
    項6に記載の高電圧発生装置。
  8. 【請求項8】 電源電圧を昇圧することにより高電圧を
    生成し、負荷に供給する高電圧生成手段と、 前記高電圧生成手段の出力電圧の大きさを検出する出力
    電圧検出手段と、 前記出力電圧検出手段によって検出された出力電圧の大
    きさに応じて前記高電圧生成手段の昇圧能力を制御する
    昇圧能力制御手段とを備える高電圧発生装置。
  9. 【請求項9】 前記昇圧能力制御手段は、電源から前記
    高電圧生成手段に供給される電流の大きさを変化させ
    る、請求項8に記載の高電圧発生装置。
  10. 【請求項10】 前記昇圧能力制御手段は、前記高電圧
    生成手段から出力される電流の大きさを変化させる、請
    求項8に記載の高電圧発生装置。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734717B2 (en) 2001-12-29 2004-05-11 Hynix Semiconductor Inc. Charge pump circuit
US6788577B2 (en) 2001-12-28 2004-09-07 Renesas Technology Corp. Nonvolatile semiconductor memory
JP2006236511A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Toshiba Corp 半導体集積回路装置
KR100769781B1 (ko) * 2005-08-25 2007-10-24 주식회사 하이닉스반도체 비휘발성 메모리 장치의 스텝-업 전압 발생 회로
US7295058B2 (en) 2004-04-12 2007-11-13 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generating circuit preserving charge pumping efficiency
US7362164B2 (en) 2005-09-12 2008-04-22 Hynix Semiconductor Inc. Semiconductor integrated circuit and method of controlling internal voltage of the same
JP2009146467A (ja) * 2007-12-11 2009-07-02 Toshiba Corp 半導体集積回路装置
JP2011014197A (ja) * 2009-07-02 2011-01-20 Renesas Electronics Corp 半導体装置
KR101013891B1 (ko) * 2002-05-28 2011-02-15 소니 주식회사 전압 변화 제어 회로 및 방법
JP2014102831A (ja) * 2012-11-16 2014-06-05 Freescale Semiconductor Inc アナログ−デジタル変換器を使用した不揮発性メモリのロバストな起動

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6781439B2 (en) * 1998-07-30 2004-08-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Memory device pump circuit with two booster circuits
US6166960A (en) * 1999-09-24 2000-12-26 Microchip Technology, Incorporated Method, system and apparatus for determining that a programming voltage level is sufficient for reliably programming an eeprom
DE19962523A1 (de) * 1999-12-23 2001-08-02 Texas Instruments Deutschland Gleichspannungswandler und Verfahren zum Betreiben eines Gleichspannungswandlers
KR100387266B1 (ko) * 1999-12-28 2003-06-11 주식회사 하이닉스반도체 전압제어회로
DE10017920A1 (de) * 2000-04-11 2001-10-25 Infineon Technologies Ag Ladungspumpenanordnung
US6917239B2 (en) * 2000-10-24 2005-07-12 Fujitsu Limited Level shift circuit and semiconductor device
DE10106390A1 (de) * 2001-02-12 2002-09-12 Infineon Technologies Ag Ladungspumpenanordnung zur Messung, Steuerung oder Regelung der Ausgangssignale einer Ladungspumpe
DE10107658A1 (de) * 2001-02-19 2002-05-23 Infineon Technologies Ag Ladungspumpenanordnung zur Erzeugung positiver und negativer Ausgangsspannungen
US6424570B1 (en) * 2001-06-26 2002-07-23 Advanced Micro Devices, Inc. Modulated charge pump with uses an analog to digital converter to compensate for supply voltage variations
JP3687597B2 (ja) * 2001-11-30 2005-08-24 ソニー株式会社 表示装置および携帯端末装置
US6957372B2 (en) 2002-08-26 2005-10-18 International Business Machines Corporation Repair of address-specific leakage
WO2004030191A1 (ja) * 2002-09-27 2004-04-08 Hitachi, Ltd. 半導体集積回路装置
KR100568587B1 (ko) * 2003-11-24 2006-04-07 삼성전자주식회사 승압전압 안정화장치 및 방법, 이를 갖는 승압전압생성장치 및 방법
US7649402B1 (en) * 2003-12-23 2010-01-19 Tien-Min Chen Feedback-controlled body-bias voltage source
US7692477B1 (en) * 2003-12-23 2010-04-06 Tien-Min Chen Precise control component for a substrate potential regulation circuit
KR100821570B1 (ko) * 2005-11-29 2008-04-14 주식회사 하이닉스반도체 고전압 발생 장치
DE102006036546A1 (de) * 2006-08-04 2008-02-21 Qimonda Flash Gmbh & Co. Kg Kapazitätsladestrombegrenzungseinrichtung, Ladungspumpenanordnung, Verfahren zum Begrenzen eines Ladestromes an einer Ladungspumpe und Verfahren zum Begrenzen des Ladestromes an einen Kondensator
US8270189B2 (en) * 2007-05-31 2012-09-18 International Rectifier Corporation Charge circuit for optimizing gate voltage for improved efficiency
US9013229B2 (en) * 2013-07-15 2015-04-21 Texas Instruments Incorporated Charge pump circuit
GB201506579D0 (en) 2015-04-17 2015-06-03 Dialog Semiconductor Uk Ltd Charge pump
US10476382B2 (en) 2016-03-03 2019-11-12 The Regents Of The University Of Michigan Energy harvester
US9800143B2 (en) * 2016-03-03 2017-10-24 The Regents Of The University Of Michigan Moving-sum charge pump
US10826388B2 (en) * 2018-12-11 2020-11-03 Texas Instruments Incorporated Charge pump circuits

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61124227A (ja) * 1984-11-19 1986-06-12 日産自動車株式会社 負荷状態判別装置
IT1258242B (it) * 1991-11-07 1996-02-22 Samsung Electronics Co Ltd Dispositivo di memoria a semiconduttore includente circuiteria di pompaggio della tensione di alimentazione
JPH05325580A (ja) * 1992-05-28 1993-12-10 Mitsubishi Electric Corp 不揮発性メモリ
US5337013A (en) * 1992-06-10 1994-08-09 Ford Motor Company Method and apparatus for monitoring the operation of electrical loads in an automotive vehicle
JP3025398B2 (ja) * 1993-08-13 2000-03-27 旭化成マイクロシステム株式会社 高電圧スイッチング回路
US5526253A (en) * 1993-09-22 1996-06-11 Advanced Micro Devices, Inc. Low power voltage boost circuit with regulated output
JP3090833B2 (ja) * 1993-12-28 2000-09-25 株式会社東芝 半導体記憶装置
US5553295A (en) * 1994-03-23 1996-09-03 Intel Corporation Method and apparatus for regulating the output voltage of negative charge pumps
US5563779A (en) * 1994-12-05 1996-10-08 Motorola, Inc. Method and apparatus for a regulated supply on an integrated circuit
US5684682A (en) * 1995-07-19 1997-11-04 Motorola, Inc. Method and apparatus for selectable DC to DC conversion
US5760637A (en) * 1995-12-11 1998-06-02 Sipex Corporation Programmable charge pump

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6788577B2 (en) 2001-12-28 2004-09-07 Renesas Technology Corp. Nonvolatile semiconductor memory
US6734717B2 (en) 2001-12-29 2004-05-11 Hynix Semiconductor Inc. Charge pump circuit
KR101013891B1 (ko) * 2002-05-28 2011-02-15 소니 주식회사 전압 변화 제어 회로 및 방법
US7573319B2 (en) 2004-04-12 2009-08-11 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generating circuit preserving charge pumping efficiency
US7295058B2 (en) 2004-04-12 2007-11-13 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generating circuit preserving charge pumping efficiency
US7573320B2 (en) 2004-04-12 2009-08-11 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generating circuit preserving charge pumping efficiency
US7511562B2 (en) 2004-04-12 2009-03-31 Samsung Electronics Co., Ltd. High voltage generating circuit preserving charge pumping efficiency
JP2006236511A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Toshiba Corp 半導体集積回路装置
KR100769781B1 (ko) * 2005-08-25 2007-10-24 주식회사 하이닉스반도체 비휘발성 메모리 장치의 스텝-업 전압 발생 회로
US7385852B2 (en) 2005-08-25 2008-06-10 Hynix Semiconductor Inc. Circuit for generating step-up voltage in non-volatile memory device
US7583134B2 (en) 2005-09-12 2009-09-01 Hynix Semiconductor Inc. Semiconductor integrated circuit and method of controlling internal voltage of the same
US7362164B2 (en) 2005-09-12 2008-04-22 Hynix Semiconductor Inc. Semiconductor integrated circuit and method of controlling internal voltage of the same
JP2009146467A (ja) * 2007-12-11 2009-07-02 Toshiba Corp 半導体集積回路装置
JP2011014197A (ja) * 2009-07-02 2011-01-20 Renesas Electronics Corp 半導体装置
JP2014102831A (ja) * 2012-11-16 2014-06-05 Freescale Semiconductor Inc アナログ−デジタル変換器を使用した不揮発性メモリのロバストな起動

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