JPH09512088A - 断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイス及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイス。このデバイスは、ガス不透過性材、好ましくはアルミニウムで形成された上部開放容器（１１；２１）と、該容器の底部に載置された第１ペレット（１３；２３）と、第１ペレットを完全に覆うように前記容器の上部内に収容されたｄ２ペレット（１５；２４）とから成る。第１ペレットは、Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材の粉末から得られ、第２ペレットは、随意選択として貴金属の酸化物及び乾燥材の圧縮を防止する物質を含有した乾燥材の粉末から得られる。本出願は、又、真空維持デバイスを製造する方法を開示する。この方法によれば、Ｂａ−Ｌｉ合金の前記第１ペレットは、前記容器内でＢａ−Ｌｉ合金の粉末を圧縮することによって形成することができる。最後に、該容器の上縁を半径方向内方へ折り曲げて、ペレットを容器内に所定位置に保持する。

Description

【発明の詳細な説明】 断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイス及びその製造方法技術分野 本発明は、断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイス及びその製造方 法に関し、特に、排気された断熱ジャケット内にいろいろな種類の断熱材の存在 下で真空を維持するのに使用するのに適するデバイス、及び、その製造方法に関 する。技術背景 このようなジャケットの用途の代表的な例は、極低温流体を入れるためのジュ アー瓶、極低温流体を搬送するためのパイプ、冷蔵庫の断熱パネル等である。 断熱の目的でグラスウール、コロイドシリカ、パーライトフォームの形とした 有機ポリマー（例えば、連続気泡フォーム型の剛性ポリウレタン）又は積層材の 形とした有機ポリマー等の断熱材を収容した排気ジャケットを用いることは周知 である。 又、このようなジャケット内にその製造中に創生された真空は、いろいろな減 少の結果として時間の経過とともに劣化することが知られている。例えば、使用 される断熱材から、あるいは、ジャケット自体の壁を形成している素材からＣＯ 、ＣＯ₂、Ｏ₂、Ｈ₂、Ｈ₂Ｏ、Ｎ₂等のガス及び蒸気又は有機蒸気が放出されるこ とがある。そのようなガスは、通常、ジャケットの壁の溶接部から吸収によって ジャケット内に侵入するが、特に、ジャケット壁がプラスチック製である場合は 、大気中のガスがジャケット壁を透過してジャケット侵入する。 このような不都合は、それらのガスを固定するのに適する１種類又は複数種類 の材料を採用することによって実際上回避される。そのような材料は、通常、物 理的収着材と化学的収着材に分類される。 物理的収着材は、物理的吸着の原理に従って、即ち、ガスを余り高くない吸着 力により表面に固着させることによって作動する。この範躊に入るものとしては 、ゼオライト、モリキュラーシーブ、活性炭等がある。しかしながら、これらの 物理的吸着材は、温度が上昇すると、一旦吸着したガスを放出することがあるの で、可逆収着性であるという欠点がある。したが、物理的収着材は、断熱の目的 に完全には適さない。 断熱の目的に用いるのに好ましいのは、ガスを化学反応により不可逆的に執着 し固定する化学型の収着材であり、例えば、水蒸気を収着する乾燥材や、ＣＯ、 ＣＯ₂、Ｏ₂、Ｎ₂等のガス又は水蒸気を収着するためのゲッター材がこの範躊に 入る。 このような解決法は、当該技術において周知であり、本出願人の国際出願ＷＯ ９３／２５８４３を含め、いろいろな先行特許又は特許願に開示されている。 上記国際出願ＷＯ９３／２５８４３は、酸化バリウム、酸化ストロンチウム、 燐酸化物及びそれらの混合物の中から選ばれた乾燥材と、バリウム／リチウム合 金、特に総体的に式ＢａＬｉ₄で表される合金で形成されたゲッター材との組合 せを用いる方法を開示している。このゲッター材は、それだけで、上述したすべ てのガス及び蒸気を収着することが可能であるあるが、水蒸気に対する高い親和 性を有するので、ゲッター材に接触する上記ガスの混合物から水蒸気を完全に除 去し、その他のガス種に対するゲッター材の収着能力を保持するために乾燥材が 組合わされる。随意選択として、この国際出願の教示によれば、ジャケット内に 、微量Ｈ₂をＨ₂Ｏに変換して乾燥材に吸着させる機能を有する貴金属の酸化物、 好ましくはパラジウム酸化物を導入することも可能である。 この国際出願ＷＯ９３／２５８４３には又、その発明に係る各材料を多孔質隔 膜によって互いに分離して容器の内部に収容し、それによって、真空を維持する のに用いることができるデバイスを形成することができる可能性も示唆されてい る。 しかしながら、この出願は、そのようなデバイスを製造し、用いることに随伴 する実用上の問題を考慮に入れておらず、そのような問題の解決策を提示してい ない。上記国際出願ＷＯ９３／２５８４３の乾燥材及びゲッター材は、実際、室 温でもガス及び蒸気に対して高い反応性を示すので、使用する時まで周囲環境か ら隔離する必要がある。この国際出願の記載によれば、そのガス収着材は、ジャ ケットの各製造工程中不活性状態に置かれており、ジャケットが５Ｐａ未満の残 留圧力にまで排気された後、１５０°Ｃ以下の温度で熱処理されることにより活 性化される。しかしながら、この活性化熱処理は、ジャケット壁にとっては、そ れがプラスチック製である場合は、有害である場合があり、更には、ジャケット 内に収容されている物質（収着材等）からガスを放出させる原因となることがあ る。 本出願人の米国特許第５，１９１，９８０号は、使用時点まで収着材を周囲環 境から防護する手段が機械的なタイプであるデバイスを開示している。このデバ イスは、容器として形成され、その内部に収容されたゲッター材は塩化ビニル樹 脂のような熱収縮性材のフィルムによって気密状態に密封する。この場合、ゲッ ター材は、熱収縮性材のフィルムを収縮させ破断させる１５０°Ｃ未満の温度で 熱処理されることにより、既に閉鎖されているジャケットの内部雰囲気に露呈さ れる。しかしながら、フィルムを破断させるのに必要とされ熱処理が、やはり、 ジャケットの素材にとって有害である場合がある。発明の開示 本発明の目的は、ジャケットの内部の真空を安定化させる方法であって、従来 技術の上述した欠点によって影響されない方法を提供することである。 より具体的にいえば、断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイスであ って、使用のためにジャケット内に導入された後、活性化のための熱処理を必要 とせず、数分間空気に露出させてもほとんど有意の変化を蒙ることがない真空維 持デバイス（以下、単に「デバイス」とも称する）を提供することである。従っ て、本発明の真空維持デバイスは、断熱ジャケットの製造方法を大幅に簡略化す る。 本発明の他の目的は、上記真空維持デバイスを製造する方法を提供することで ある。 上記目的を達成するために、本発明は、 ガス不透過性材で形成された上部開放容器と、 該容器の下部内に収容された、Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材の粉末から得られた ペレットと、 該ゲッター材のペレットを完全に覆うように前記容器の上部内に収容された、 乾燥材の粉末から得られたペレットと、 から成る真空維持デバイスを提供する。この乾燥材には、貴金属の酸化物、及び その乾燥材が圧縮されるのを防止する物質を包含させることもできる。 本発明によれば、Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材の粉末からペレットを形成するこ とにより、ばらの粉末を用いる場合に比べて、ガスがゲッター材粒子の表面に接 触するアクセス速度を遅らせることができる。その結果、粉末の場合に比べてガ スの収着速度を遅らせる。従って、真空維持デバイス自体が包装されているパッ ケージをデバイスの使用前に空気に露呈させてもよいので、ジャケットの排気工 程の前にデバイスをそのパッケージから取り出してジャケット内へ導入すること ができる。これに対して、従来技術のデバイスの場合は、排気されたジャケット を閉鎖した後、又はジャケットの排気工程中に、収着材を真空下で露出させなけ ればならなかった。しかも、本発明により上述のように遅らされたアクセス速度 であっても、ジャケット内に流入したガスを完全に収着するのには十分過ぎるほ どの速度である。 本発明のゲッター材は、上述したように、Ｂａ−Ｌｉ合金であり、式ＢａＬｉ₄ で表される合金が特に好ましい。 ゲッター材のペレットは、粉末から形成される。粉末の粒度は、１μｍ〜１ｍ ｍ、好ましくは５０〜７５０μｍの間とすることができる。この範囲の粉末粒度 より大きいと、得られるペレットの比表面積が小さくなり過ぎるという欠点があ り、反対に、この範囲の粉末粒度より小さいと、粉末の圧縮度が高くなり、ガス の収着速度を実用に適さないほど低い速度にしてしまう。 ペレットの形成段階において採用される圧力は、使用される粉末の粒度に応じ て決められるが、少くとも得られるペレットに十分な機械的安定性を付与するの に必要な圧力とし、ガスの収着速度の過度の低下を回避するために、得られるペ レットの内部の多孔質を喪失させるほど高くしてはならない。上述した範囲の粒 度の粉末を用いることにより、ペレットを形成するために用いられる圧力の最適 値は、約３０〜１０００ｂａｒ（バール）、好ましくは１５０〜６００ｂａｒの 範囲で変更することができる。 本発明に用いられる乾燥材は、ストロンチウム、燐及びバリウムの酸化物の中 から選択された酸化物であるが、特にバリウムの酸化物が好ましい。 乾燥材も、１０〜１０００μｍの範囲の粒度の粉末から得られるペレットの形 で用いられる。乾燥材のペレットを形成するために用いられる圧力は、約１００ 〜１０００ｂａｒの範囲とする。この範囲の圧力で形成することにより、圧縮ペ レットが得られるが、このペレットは、水蒸気以外のガスは透過させるので、そ れらのガスに対するＢａ−Ｌｉ合金の十分な収着速度を保証する。 この乾燥材に、銀、オスミウム、イリジウム、ルテニウム、ロジウム及びパラ ジウムの酸化物の中から選択された貴金属の酸化物を添加することが好ましい。 これらの酸化物の中で特に好ましいのは、パラジウムの酸化物である。この成分 （貴金属の酸化物）の機能は、上記国際出願ＷＯ９３／２５８４３に記載されて いるように、ジャケット内に存在する微量水素を水に変換することであり、変換 された水は乾燥材によって収着される。乾燥材と貴金属の酸化物との重量比は、 ５０００：１から１０：１の間、好ましくは１０００：１から１００：１の間と することができる。貴金属の酸化物は、ばらの粉末として存在させてもよく、あ るいは、何らかの支持体によって支持された形で存在させてもよい。支持された 形の貴金属の酸化物は、例えば本出願人のＰＣＴ／ＩＴ ９４／０００１６に記 載されている。 更に、乾燥材が水蒸気を収着することの結果として圧縮するのを防止する機能 を有する粉末状の第３の物質を乾燥材粉末に添加することが好ましい。そのよう な目的の第３の物質としては、例えばアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ゼオライト又は活 性炭がある。ゼオライト又は活性炭は、水蒸気や有機成分の蒸気等の蒸気を収着 することができ、ジャケット内に排気された雰囲気を維持する働きをするので、 好適である。乾燥材とその圧縮を防止する物質との重量比は、約１００：１から １０：１の間とすることができる。 随意選択として貴金属の酸化物及び乾燥材の圧縮を防止する物質を含有した乾 燥材のペレットは、単に、粉末の混合物を圧縮することによって得られるが、好 ましい実施形態では、例えば金属ワイヤ又はポリエチレン等のポリマー材で形成 されたスクリーン、ガーゼ又は織布のようなガスを容易に透過する素材で作られ た２つのディスクの間に乾燥材を挟むことによって乾燥材のペレットを形成し使 用する。これらのディスクは、ペレットの形成中、あるいは、ペレットの形成後 その真空維持デバイスが使用されているとき、水を吸収して膨潤したことにより ペレットから離脱した断片を保持する目的を有する。ペレットの形成に当っては 、一方のディスクをプレス内に装填し、次いで、粉末の混合物及び他方のディス クを順次に装填し、全体を上述した圧力で圧縮することによって両方のディスク を形成されたペレットの円形の両面に簡単に固定することができ、かくして、ネ ット状の２つのディスクがペレットの両面に埋込まれる。 ガス収着材のための容器は、ガスに対して不透過性の任意の材料で形成するこ とができるが、この目的に適する材料は、例えば、金属、又は、プラスチックシ ートに金属を被覆した複合材、又は、プラスチックと金属の積層材である。ステ ンレス鋼やアルミニウム等の金属は、加工が容易であるという点で好ましい。特 に好ましいのは、軽量で、シート状に加工するのが容易であり、冷間引抜き加工 が可能なアルミニウムである。アルミニウム製の容器の場合その肉厚は、約０． １〜０．３ｍｍの範囲とするのが適当である。ガス収着材のための容器は、Ｂａ −Ｌｉ合金（ゲッター材）のペレットが乾燥材のペレットで完全に覆われるよう な条件を創生することができる任意の形状とすることができる。慣性デバイスに おいては、容器の上縁がペレットを確実に保持するように半径方向内方へ折り曲 げられている。 本発明のデバイスは、約１５分間空気に露呈されても、その上述した特徴の故 に、その性能を損なうほどに劣化することがない。 本発明の上記及びその他の目的並びに特徴、及びそれらを達成する態様は、以 下に添付図を参照して述べる本発明の実施形態の説明から一層明かになろう。図面の簡単な説明 図１は、本発明の一実施形態によるデバイスの一部断面で示された透視図であ る。 図２は、本発明の別の実施形態によるデバイスの断面図である。 図３は、例１の試験結果を示すグラフであり、デバイスを空気に露出する前と １５分間空気に露出した後における合金１ｇ当りの窒素収着量Ｑ（単位：ｃｃ． ｔｏｒｒ）の関数として窒素収着速度Ｇ（単位：ｃｃ／ｓ）を示す。好ましい実施形態の説明 図１を参照して説明すると、本発明の一実施形態による真空維持デバイス１０ は、容器１１と、容器１１の下部内に収容されたＢａ−Ｌｉ合金（ゲッター材） １４のペレット１３と、容器１１の上部内に収容された、乾燥材１６（例えば、 ＢａＯ）と貴金属の酸化物１７（例えば、ＰｄＯ）と乾燥材１６の圧縮を防止す るための物質１８とから形成されたペレット１５から成る。ペレット１５は、ポ リマー材製ネット１９によって包被され、更に、ペレット１３，１５を所望位置 に保持するために容器１１の上縁１２が半径方向内方へ折り曲げられている。 図２は、ゲッター材のペレットと乾燥材のペレットの直径を異にする本発明の 別の実施形態による真空維持デバイス２０を断面図で示す。この実施形態の真空 維持デバイス２０では、その容器２１の底部にＢａ−Ｌｉ合金（ゲッター材）の ペレット２３を収容する凹所２２が形成されている。Ｂａ−Ｌｉ合金のペレット ２３が凹所２２内に収容された後、乾燥材と貴金属の酸化物とアルミナを一緒に 圧縮することによって得られたペレット２４が容器２１の上部に装填される。ペ レット２４は、ポリマー材製ネット２５の２つのディスクの間に挟持される。更 に、ペレット２３，２４を所望位置に保持するために容器２１の上縁２６が半径 方向内方へ折り曲げられている。 本発明の真空維持デバイスの寸法を決定するに当っては、そのデバイスを用い る断熱ジャケットのサイズと、ジャケットの壁の素材と、ジャケット内に収容さ れる断熱材の種類を考慮に入れなければならない。冷蔵庫の断熱パネルのような 代表的な応用例においては、貴金属の酸化物及び乾燥材の圧縮防止物質を含む乾 燥材のペレットの重量を約１〜５ｇの範囲とし、Ｂａ−Ｌｉ合金のペレットの重 量は、一般的に、約０．２〜１．５ｇの範囲とすることができる。 本発明は、その第２側面として、上述した本発明の真空維持デバイスを製造す る方法を提供する。本発明の真空維持デバイス方法は、 ２つのペレットを合わせた合計高さ（厚さ）より高い、上部が開放した圧縮粉 末のための容器を形成する工程と、 該容器の底部にＢａ−Ｌｉ合金粉末のペレットを載せる工程と、 該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットが乾燥材のペレットによって完全に覆われる ように、乾燥材のペレットを前記容器内へ該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットの上 に導入する工程と、 前記容器内に収容された前記両ペレットを所定位置に保持するために該容器の 上縁を変形させる工程と、 から成る。上記乾燥材には随意選択として貴金属の酸化物を添加することができ る。 上記容器の素材は、冷間引抜き加工が可能な任意の材料であってよいが、上述 したように、容器の素材として好ましい材料は、軽量で、冷間引抜きによって容 易に成形することができ、ガスに対して不透過性のものである。容器の形状は、 本発明のデバイスの作動にとって決定的な重要性を有するものではないが、一般 には、円形のベースを有するものとし、図１に示されるような単純な円筒形であ ってもよく、図２に示されるように、径の異なる２つの同心円筒形から成るもの であってもよく、あるいは、更に別の形状とすることもできる。 Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材のペレットは、別途に形成して容器に導入すること ができるが、好ましい実施形態では、適量の粉末Ｂａ−Ｌｉ合金を容器の下部に 導入し、その粉末を約３０〜１０００ｂａｒ、好ましくは１５０〜６００ｂａｒ の範囲の圧力を加えることによって圧縮することにより、ペレットを容器の下部 内に直接形成する。この方法が可能であることは、図２に示されている。即ち、 図２では、ゲッター材のペレット２３は、デバイスの別個の部分として示されて いない。 乾燥材のペレットは、先に述べたように、別途に形成した後、容器の上部内に 導入する。 先に述べたように、乾燥材のペレットは、水を吸収して膨潤したことによりペ レットの断片が遊離するのを防止するための、ポリエチレン等のポリマー材で形 成されたネットガーゼ又は織布のディスクの間に挟持することが好ましい。 真空維持デバイス製造方法の最後の工程において、容器の上縁を図１及びに示 されるように半径方向内方へ折り曲げることなどにより変形させ、上記２つのペ レットを所望の形態に保持する保持部材を形成する。 本発明の目的及び利点は、以下の例から一層明らかになろう。例１ 厚さ０．２ｍｍのアルミニウムシートのディスクを冷間引抜き加工で成形する ことによってゲッター材及び乾燥材の両ペレットを収容するための容器を形成し た。この容器は、高さ４ｍｍ、内径２０ｍｍの、図１に示されるような円筒形で あり、この容器の底部に、５０〜７５０μｍの粒度を有する、総体式ＢａＬｉ₄ で表される合金の０．５ｇの粉末を導入した。この粉末を容器の直径と同じ直径 のピストンによって５００ｂａｒの圧力で押圧し、容器の底部上に圧縮した。圧 縮された粉末の高さ（厚さ）は約１ｍｍであった。 ０．１ｇのアルミナの支持体上に２ｇのＢａｏ（粒度１００〜３００μｍ）と ５ｍｇのＰｄｏを８００ｂａｒの圧力で圧縮することによって粉末混合物のペレ ットを別途に形成した。このペレットポリエチレン織布の２つのディスクの間に 形成した。容器の内径に等しい直径と約２ｍｍの高さ（厚さ）を有するこのペレ ットを、既にＢａＬｉ₄のペレットが挿入されている容器内に挿入した。最後に 、上記両ペレットを容器内の所望位置に保持するために容器の上縁を半径方向内 方へ折り曲げた。 このようにして形成したデバイスをガス収着量を測定するための測定チャンバ ー内に入れ、空気に露出する前と１５分間空気に露出した後の合金１ｇ当りのガ ス（窒素）収着量Ｑ（ｃｃ．ｔｏｒｒ）の関数としてガス（窒素）収着速度Ｇ（ ｃｃ／ｓ）を測定した。この測定は、１回分８００ｃｃの窒素をその１回毎に測 定チャンバー内の圧力が０．２７ｍｂａｒになるまでバッチ式に順次に測定チャ ンバー内へ導入し、窒素がデバイスに収着されることによる測定チャンバー内の 圧力減少を記録した。ガス収着量の測定は、まず、形成されたままの状態で測定 チャンバー内に挿入されたデバイスについて実施し、その測定を中断してデバイ スを測定チャンバーから取り出し、１５分間空気に露出した後再び測定チャンバ ー内へ導入してガス収着量の測定を行った。図３のグラフは、空気に露出される 前のガス収着量曲線１と、１５分間空気に露出した後のガス収着量曲線２を示す 。 図３から分かるように、本発明のデバイスは、１５分間空気に露出された後で も、約１ｃｃ／ｓの窒素収着速度を維持する。代表的な応用例では、本発明のデ バイスは、冷蔵庫の断熱パネルに用いることができる。連続気泡フォーム型の剛 性ポリウレタンで形成され、アルミニウム／ポリエチレン積層材のハウジングを 有する５０×５０×３ｃｍのパネル（ガスの透過はポリエチレンとの溶接部だけ で起る）の場合、約１０^-4．ｃｃ／ｓのガス透過率を示した。このパネルは、そ の内部圧力が約０．１ｍｂａｒを越えるまでその断熱特性を維持する。従って、 このデバイスは、約１０^-3ｃｃ／ｓにおいてより高いガス収着速度を有していれ ばよい。従って、本発明のデバイスは、空気に露出されたとき、従来のパネルの ガス流入速度より１０００倍も高いガス収着速度を有する。

【手続補正書】 【提出日】１９９７年４月２５日 【補正内容】 本出願の請求の範囲の記載を以下の通り補正する。 『 請求の範囲 １．ガス不透過性材で形成された上部間放容器（１１；２１）と、 該容器の下部内に収容された、Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材（１４）の粉末から 約３０〜１０００ｂａｒの圧力で圧縮されて形成された第１ペレット（１３；２ ３）と、 該第１ペレットを完全に覆うように前記容器の上部内に収容された、乾燥材（１ ６）の粉末から形成された第２ペレット（１５；２４）と、 から成る真空維持デバイス。 ２．前記乾燥材（１６）の第２ペレット（１５；２４）は、銀、オスミウ ム、イリジウム、ルテニウム、ロジウム及びパラジウムの酸化物の中から選択さ れた貴金属（１７）の酸化物を包含しており、該乾燥材（１６）と貴金属の酸化 物（１７）との重量比は、５０００：１から１０：１の間であることを特徴とす る請求の範囲第１項に記載の真空維持デバイス。 ３．前記乾燥材の第２ペレット（１５；２４）は、該乾燥材（１６）の粉 末の圧縮を防止する物質の粉末を包含していることを特徴とする請求の範囲第２ 項に記載の真空維持デバイス。 ４．前記第２ペレット（１５；２４）は、金属材又はポリマー材のネット 、ガーゼ又は織布（１９；２５）のディスクの間に挟持されていることを特徴と する請求の範囲第１、２又は３項に記載の真空維持デバイス。 ５．真空維持デバイスを製造する方法であって、 ペレットの合計高さより高い、上部が開放した圧縮粉末のための容器を形成す る工程と、 該容器の底部に、Ｂａ−Ｌｉ合金粉末を約３０〜１０００ｂａｒの圧力で圧縮 して形成されたペレットを載せる工程と、 該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットが乾燥材のペレットによって完全に覆われる ように、随意選択として貴金属の酸化物及び乾燥材の圧縮を防止する物質を含有 した乾燥材のペレットを前記容器内へ該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットの上に導 入する工程と、 前記容器内に収容された前記両ペレットを所定位置に保持するために該容器の 上縁を変形させる工程と、 から成る真空維持デバイス製造方法。』

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ガス不透過性材で形成された上部開放容器（１１；２１）と、 該容器の下部内に収容された、Ｂａ−Ｌｉ合金ゲッター材（１４）の粉末から 約３０〜１０００ｂａｒの圧力で圧縮されて形成された第１ペレット（１３；２ ３）と、 該第１ペレットを完全に覆うように前記容器の上部内に収容された、乾燥材（１ ６）の粉末から形成された第２ペレット（１５；２４）と、 から成る真空維持デバイス。 ２．前記ゲッター材（１４）は、１〜１０００μｍの粒度を有することを特 徴とする請求の範囲第１項に記載の真空維持デバイス。 ３．前記第１ペレット（１３；２３）は、１５０〜６００ｂａｒの圧力で圧 縮されたＢａ−Ｌｉ合金の粉末で形成されていることを特徴とする請求の範囲第 １項に記載の真空維持デバイス。 ４．前記ゲッター材（１４）は、総体式ＢａＬｉ₄で表される合金であるこ とを特徴とする請求の範囲第１項に記載の真空維持デバイス。 ５．前記乾燥材（１６）は、酸化バリウム、酸化ストロンチウム及び燐酸化 物の中から選ばれたものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の真空 維持デバイス。 ６．前記乾燥材（１６）は、１０〜１０００μｍの粒度を有することを特徴 とする請求の範囲第１項に記載の真空維持デバイス。 ７．前記乾燥材（１６）は、酸化バリウムであることを特徴とする請求の範 囲第５項に記載の真空維持デバイス。 ８．前記乾燥材（１６）の第２ペレット（１５；２４）は、銀、オスミウム 、イリジウム、ルテニウム、ロジウム及びパラジウムの酸化物の中から選択され た貴金属（１７）の酸化物を包含しており、該乾燥材（１６）と貴金属の酸化物 （１７）との重量比は、５０００：１から１０：１の間であることを特徴とする 請求の範囲第１項に記載の真空維持デバイス。 ９．前記乾燥材（１６）と貴金属の酸化物（１７）との重量比は、１０００ ：１から１００：１の間であることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の真空 維持デバイス。 １０．前記乾燥材の第２ペレット（１５；２４）は、該乾燥材（１６）の粉末 の圧縮を防止する物質の粉末を包含していることを特徴とする請求の範囲第８項 に記載の真空維持デバイス。 １１．前記第２ペレット（１５；２４）は、金属材又はポリマー材のネットガ ーゼ又は織布（１９；２５）のディスクの間に挟持されていることを特徴とする 請求の範囲第１、８又は１０項に記載の真空維持デバイス。 １２．前記容器（１１；２１）は、ガスに対して不透過性である、金属、又は 、プラスチックシートに金属を被覆した複合材、又は、プラスチックと金属の積 層材で形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の真空維持デバ イス。 １３．前記容器（１１；２１）は、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍの厚さを有するア ルミニウムで形成されていることを特徴とする請求の範囲第１２項に記載の真空 維持デバイス。 １４．真空維持デバイスを製造する方法であって、 ペレットの合計高さより高い、上部が開放した圧縮粉末のための容器を形成す る工程と、 該容器の底部に、Ｂａ−Ｌｉ合金粉末を約３０〜１０００ｂａｒの圧力で圧縮 して形成されたペレットを載せる工程と、 該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットが乾燥材のペレットによって完全に覆われる ように、随意選択として貴金属の酸化物及び乾燥材の圧縮を防止する物質を含有 した乾燥材のペレットを前記容器内へ該Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットの上に導 入する工程と、 前記容器内に収容された前記両ペレットを所定位置に保持するために該容器の 上縁を変形させる工程と、 から成る真空維持デバイス製造方法。 １５．前記Ｂａ−Ｌｉ合金粉末のペレットは、該を約Ｂａ−Ｌｉ合金粉末を該 容器内で圧縮することによって形成することを特徴とする請求の範囲第１４項に 記載の真空維持デバイス製造方法。 １６．前記Ｂａ−Ｌｉ合金粉末の圧縮は、１５０〜６００ｂａｒの圧力で行う ことを特徴とする請求の範囲第１４又は１５項に記載の真空維持デバイス製造方 法。