JP2561570Y2 - 高真空排気装置 - Google Patents
高真空排気装置Info
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- JP2561570Y2 JP2561570Y2 JP6925991U JP6925991U JP2561570Y2 JP 2561570 Y2 JP2561570 Y2 JP 2561570Y2 JP 6925991 U JP6925991 U JP 6925991U JP 6925991 U JP6925991 U JP 6925991U JP 2561570 Y2 JP2561570 Y2 JP 2561570Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、気体吸着性に優れる高
真空排気装置に関するものである。
真空排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の高真空排気装置として、ゲツター
材などの粉粒状体物質を常温又は３００〜４５０℃程度
にまで加熱して使用するものが知られている。この種の
粉粒状体物質は、通常所定の形状に焼結加工し、有形化
させて使用され、これによつて真空配管内への粉粒状体
物質の飛散を防止している。そして、この焼結加工に際
しては、ヒータを付属させると共に、可及的に通気性を
付与し、気体吸着性を高めるように考慮している。
材などの粉粒状体物質を常温又は３００〜４５０℃程度
にまで加熱して使用するものが知られている。この種の
粉粒状体物質は、通常所定の形状に焼結加工し、有形化
させて使用され、これによつて真空配管内への粉粒状体
物質の飛散を防止している。そして、この焼結加工に際
しては、ヒータを付属させると共に、可及的に通気性を
付与し、気体吸着性を高めるように考慮している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の高真空排気装置にあつては、焼結加工によつ
て粉粒状体物質に有形性を与え、かつ、専用のヒータを
付属させていた。しかして、焼結材に対する通気性の付
与及び形状の任意性には加工上から一定の限度があると
共に、一次的には極表面にしか気体が吸着されず、個々
の粉粒状体物質が本来具有する気体吸着能力を充分に発
揮させることができなかつた。その結果、従来の高真空
排気装置にあつては、構造が複雑で製造に手数を有する
のみならず、所定の真空排気能力を確保するために高真
空排気装置が大形化せざるを得ず高価なものとなつてい
た。
うな従来の高真空排気装置にあつては、焼結加工によつ
て粉粒状体物質に有形性を与え、かつ、専用のヒータを
付属させていた。しかして、焼結材に対する通気性の付
与及び形状の任意性には加工上から一定の限度があると
共に、一次的には極表面にしか気体が吸着されず、個々
の粉粒状体物質が本来具有する気体吸着能力を充分に発
揮させることができなかつた。その結果、従来の高真空
排気装置にあつては、構造が複雑で製造に手数を有する
のみならず、所定の真空排気能力を確保するために高真
空排気装置が大形化せざるを得ず高価なものとなつてい
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は、このような従
来の技術的課題に鑑みてなされたもので、その構成は、
金網状部材によつて対向２側面部を形成し、この対向２
側面部間に、気体吸着性を良好に有する粉粒状体物質を
粉粒状体のままで保持させると共に、細管内に発熱線を
通したパイプヒータを収容する高真空排気装置である。
来の技術的課題に鑑みてなされたもので、その構成は、
金網状部材によつて対向２側面部を形成し、この対向２
側面部間に、気体吸着性を良好に有する粉粒状体物質を
粉粒状体のままで保持させると共に、細管内に発熱線を
通したパイプヒータを収容する高真空排気装置である。
【０００５】
【作用】このような構成の高真空排気装置は、金網状部
材を真空容器側に位置させて気密に取り付ける。先ず、
粗引き用ポンプ等によつて真空容器を可及的に真空状態
にすると共に、パイプヒータを電源に接続する。
材を真空容器側に位置させて気密に取り付ける。先ず、
粗引き用ポンプ等によつて真空容器を可及的に真空状態
にすると共に、パイプヒータを電源に接続する。
【０００６】これにより、金網状部材の対向２側面部間
の粉粒状体物質が昇温し、粉粒状体物質に吸着している
気体が放出又は粉粒状体物質内へ拡散されるので、粉粒
状体物質が活性化又は再活性化する。活性化又は再活性
化した粉粒状体物質は、加熱状態又は常温において気体
吸着性を良好に有する物質であるから、粗引き用ポンプ
等によつて真空引き後に真空容器内に残存するわずかの
気体を良好に吸着する。しかして、この高真空排気装置
によつて、水素、一酸化炭素等の吸着排気がなされる。
の粉粒状体物質が昇温し、粉粒状体物質に吸着している
気体が放出又は粉粒状体物質内へ拡散されるので、粉粒
状体物質が活性化又は再活性化する。活性化又は再活性
化した粉粒状体物質は、加熱状態又は常温において気体
吸着性を良好に有する物質であるから、粗引き用ポンプ
等によつて真空引き後に真空容器内に残存するわずかの
気体を良好に吸着する。しかして、この高真空排気装置
によつて、水素、一酸化炭素等の吸着排気がなされる。
【０００７】粉粒状体物質は、金網状部材の対向２側面
部間に粉粒状体のままで保持されて多量の空隙を有する
ので、対向２側面部の間隔を比較的大きく設定した場合
であつても粉粒状体物質が本来有する気体吸着性能が良
好に発揮され、粉粒状体物質の表層のみならず深層内部
にまで気体が良好に吸着される。このようにして、真空
容器内を高度の真空状態となすことができる。また、対
向２側面部を有する金網状部材が粉粒状体物質を保持し
ているので、粉粒状体が真空容器内に飛散することが良
好に防止される。
部間に粉粒状体のままで保持されて多量の空隙を有する
ので、対向２側面部の間隔を比較的大きく設定した場合
であつても粉粒状体物質が本来有する気体吸着性能が良
好に発揮され、粉粒状体物質の表層のみならず深層内部
にまで気体が良好に吸着される。このようにして、真空
容器内を高度の真空状態となすことができる。また、対
向２側面部を有する金網状部材が粉粒状体物質を保持し
ているので、粉粒状体が真空容器内に飛散することが良
好に防止される。
【０００８】
【実施例】以下、本考案の実施例について図面を参照し
て説明する。図１〜図５は本考案の第１実施例を示す。
図１，図２中において符号１は金網状部材を示し、平板
状をなす金網状部材１を偏平をなすように中央部を折り
曲げて対向２側面部１ａ，１ｂを形成させ、長手方向に
延在する一側縁はステンレス鋼製の線状部材１ｃをろう
付け、又は金網状部材１と一緒に折り曲げて閉塞する。
金網状部材１は、後記する粉粒状体物質３を保持する容
器としての機能を有し、ステンレス、タングステン等の
線材を編んで形成され、粉粒状体物質３を通過させ得な
い大きさの無数の通孔を有する。
て説明する。図１〜図５は本考案の第１実施例を示す。
図１，図２中において符号１は金網状部材を示し、平板
状をなす金網状部材１を偏平をなすように中央部を折り
曲げて対向２側面部１ａ，１ｂを形成させ、長手方向に
延在する一側縁はステンレス鋼製の線状部材１ｃをろう
付け、又は金網状部材１と一緒に折り曲げて閉塞する。
金網状部材１は、後記する粉粒状体物質３を保持する容
器としての機能を有し、ステンレス、タングステン等の
線材を編んで形成され、粉粒状体物質３を通過させ得な
い大きさの無数の通孔を有する。
【０００９】この金網状部材１は、一端開口からパイプ
ヒータ４を挿入し、一端開口をビス止めする締具５によ
つて締付けて閉塞する。パイプヒータ４は、図３，図４
に示すように外部に露出するリード線４ａ、無機絶縁物
（ＭｇＯ）４ｂにて包んだリード線４ａを収容するアダ
プター４ｅ及び発熱体シース４ｆからなる。発熱体シー
ス４ｆは、アダプター４ｅ内でリード線４ａに接続する
発熱線４ｃ，４ｄを無機絶縁物（ＭｇＯ）４ｂにて保持
した状態で細管４ｇ内に収容して構成される。細管４ｇ
はステンレス鋼製であり、その外径Ｄは１．５〜５．０
ｍｍ程度である。また、発熱線４ｃ，４ｄの線径ｄは
０．２〜１ｍｍ程度である。このようなパイプヒータ４
の発熱体シース４ｆは、適度の可撓性を有し、金網状部
材１内を均一に加熱するのに適する任意の形に折り曲げ
て金網状部材１内に入れてある。
ヒータ４を挿入し、一端開口をビス止めする締具５によ
つて締付けて閉塞する。パイプヒータ４は、図３，図４
に示すように外部に露出するリード線４ａ、無機絶縁物
（ＭｇＯ）４ｂにて包んだリード線４ａを収容するアダ
プター４ｅ及び発熱体シース４ｆからなる。発熱体シー
ス４ｆは、アダプター４ｅ内でリード線４ａに接続する
発熱線４ｃ，４ｄを無機絶縁物（ＭｇＯ）４ｂにて保持
した状態で細管４ｇ内に収容して構成される。細管４ｇ
はステンレス鋼製であり、その外径Ｄは１．５〜５．０
ｍｍ程度である。また、発熱線４ｃ，４ｄの線径ｄは
０．２〜１ｍｍ程度である。このようなパイプヒータ４
の発熱体シース４ｆは、適度の可撓性を有し、金網状部
材１内を均一に加熱するのに適する任意の形に折り曲げ
て金網状部材１内に入れてある。
【００１０】更に、パイプヒータ４を挿入した金網状部
材１の他端開口から、粉粒状体物質３を粉粒状体のまま
で入れる。粉粒状体物質３は、加熱状態又は常温にて気
体吸着性を良好に有する物質であり、具体的にはゲツタ
ー材（水素貯蔵合金を含む）、活性炭等である。粉粒状
体物質３を収容させた金網状部材１の他端開口は、ビス
止めする締具６によつて締付けて閉塞する。
材１の他端開口から、粉粒状体物質３を粉粒状体のまま
で入れる。粉粒状体物質３は、加熱状態又は常温にて気
体吸着性を良好に有する物質であり、具体的にはゲツタ
ー材（水素貯蔵合金を含む）、活性炭等である。粉粒状
体物質３を収容させた金網状部材１の他端開口は、ビス
止めする締具６によつて締付けて閉塞する。
【００１１】粉粒状体物質３及びパイプヒータ４を収容
した金網状部材１は、この実施例にあつては一対組み合
わせて使用される。すなわち、金網状部材１の一端開口
を閉塞する締具５同士を一対の連結部材７によつて連結
し、各連結部材７に通したボルト８によつて蓋部材１０
に固着する。１０ａは、蓋部材１０の凹所であり、８ａ
はボルト８に外装したスペーサである。
した金網状部材１は、この実施例にあつては一対組み合
わせて使用される。すなわち、金網状部材１の一端開口
を閉塞する締具５同士を一対の連結部材７によつて連結
し、各連結部材７に通したボルト８によつて蓋部材１０
に固着する。１０ａは、蓋部材１０の凹所であり、８ａ
はボルト８に外装したスペーサである。
【００１２】パイプヒータ４の発熱体シース４ｆは、締
具５、連結部材７及び蓋部材１０の凹所１０ａを順次に
挿通させ、アダプター４ｅを蓋部材１０の外部に配置し
て発熱線４ｃ，４ｄに接続するリード線４ａが図外のス
イツチを介して電源に接続している。発熱体シース４ｆ
と蓋部材１０との間は、ろう付けによつて気密に封止す
る。１８は、粉粒状体物質３の温度を検出する熱電対で
ある。
具５、連結部材７及び蓋部材１０の凹所１０ａを順次に
挿通させ、アダプター４ｅを蓋部材１０の外部に配置し
て発熱線４ｃ，４ｄに接続するリード線４ａが図外のス
イツチを介して電源に接続している。発熱体シース４ｆ
と蓋部材１０との間は、ろう付けによつて気密に封止す
る。１８は、粉粒状体物質３の温度を検出する熱電対で
ある。
【００１３】このような構成の高真空排気装置は、筒状
容器１１の開口１１ａから挿入し、開口１１ａ周縁のフ
ランジ部１１ｂに複数個のボルト１２によつて蓋部材１
０を気密に取付ける。１３はメタルパツキンである。そ
して、筒状容器１１の端部のフランジ部１１ｃが図５に
示す真空容器１５に気密に結合される。このようにし
て、非蒸発型の高真空排気装置１４が真空容器１５に組
み込まれる。
容器１１の開口１１ａから挿入し、開口１１ａ周縁のフ
ランジ部１１ｂに複数個のボルト１２によつて蓋部材１
０を気密に取付ける。１３はメタルパツキンである。そ
して、筒状容器１１の端部のフランジ部１１ｃが図５に
示す真空容器１５に気密に結合される。このようにし
て、非蒸発型の高真空排気装置１４が真空容器１５に組
み込まれる。
【００１４】次に作用について説明する。図５に示す真
空容器１５には、通常、粗引き用ポンプ１６及びターボ
分子ポンプ等の真空ポンプ１７が高真空排気装置１４と
共に接続されている。先ず、粗引き用ポンプ１６及びタ
ーボ分子ポンプ１７によつて真空容器１５内を可及的に
真空状態にすると共に、電源からの電流をパイプヒータ
４の発熱線４ｃ，４ｄに供給し、内部に保持させた粉粒
状体物質３を加熱し、粉粒状体物質３に吸着している気
体を放出又は粉粒状体物質３内へ拡散させ、粉粒状体物
質３を活性化させる。この温度は、通常４００℃程度で
ある。
空容器１５には、通常、粗引き用ポンプ１６及びターボ
分子ポンプ等の真空ポンプ１７が高真空排気装置１４と
共に接続されている。先ず、粗引き用ポンプ１６及びタ
ーボ分子ポンプ１７によつて真空容器１５内を可及的に
真空状態にすると共に、電源からの電流をパイプヒータ
４の発熱線４ｃ，４ｄに供給し、内部に保持させた粉粒
状体物質３を加熱し、粉粒状体物質３に吸着している気
体を放出又は粉粒状体物質３内へ拡散させ、粉粒状体物
質３を活性化させる。この温度は、通常４００℃程度で
ある。
【００１５】活性化した粉粒状体物質３は、加熱状態又
は常温において気体吸着性を良好に有する物質であるか
ら、粗引き用ポンプ１６及びターボ分子ポンプ１７によ
つて真空引き後に真空容器１５内に残存するわずかの気
体が良好に吸着される。粉粒状体物質３が、加熱状態に
おいて気体吸着性を良好に有する物質である場合の加熱
温度は、通常、３００℃程度である。しかして、この高
真空排気装置１４によつて、水素、一酸化炭素等（但
し、不活性ガス及びメタンを除く。）の吸着排気がなさ
れる。
は常温において気体吸着性を良好に有する物質であるか
ら、粗引き用ポンプ１６及びターボ分子ポンプ１７によ
つて真空引き後に真空容器１５内に残存するわずかの気
体が良好に吸着される。粉粒状体物質３が、加熱状態に
おいて気体吸着性を良好に有する物質である場合の加熱
温度は、通常、３００℃程度である。しかして、この高
真空排気装置１４によつて、水素、一酸化炭素等（但
し、不活性ガス及びメタンを除く。）の吸着排気がなさ
れる。
【００１６】粉粒状体物質３は、金網状部材１の対向２
側面部１ａ，１ｂ間に粉粒状体のままで保持され、多量
の空隙を有するので、対向２側面部１ａ，１ｂの間隔を
比較的大きく設定した場合であつても、粉粒状体物質３
が本来有する気体吸着性能が良好に発揮され、粉粒状体
物質３の表層のみならず深層内部にまで気体が良好に吸
着される。
側面部１ａ，１ｂ間に粉粒状体のままで保持され、多量
の空隙を有するので、対向２側面部１ａ，１ｂの間隔を
比較的大きく設定した場合であつても、粉粒状体物質３
が本来有する気体吸着性能が良好に発揮され、粉粒状体
物質３の表層のみならず深層内部にまで気体が良好に吸
着される。
【００１７】このようにして、真空容器１５内を高真空
状態となすことができる。また、対向２側面部１ａ，１
ｂを形成する金網状部材１の無数の通孔は、粉粒状体物
質３を通過させ得ない大きさを有するので、粉粒状体が
真空容器１５内に飛散することが良好に防止される。
状態となすことができる。また、対向２側面部１ａ，１
ｂを形成する金網状部材１の無数の通孔は、粉粒状体物
質３を通過させ得ない大きさを有するので、粉粒状体が
真空容器１５内に飛散することが良好に防止される。
【００１８】次いで、真空容器１５の使用が終了したな
ら、粉粒状体物質３の再活性化処理を行う。つまり、電
源からの電流をパイプヒータ４の発熱線４ｃ，４ｄに供
給し、粉粒状体物質３を前述の活性化処理よりも若干低
い温度にて再度加熱し、粉粒状体物質３が吸着した気体
を放出又は内部拡散させ、粉粒状体物質３を再活性化さ
せる。再活性化処理の終了した高真空排気装置１４は、
再使用に供される。
ら、粉粒状体物質３の再活性化処理を行う。つまり、電
源からの電流をパイプヒータ４の発熱線４ｃ，４ｄに供
給し、粉粒状体物質３を前述の活性化処理よりも若干低
い温度にて再度加熱し、粉粒状体物質３が吸着した気体
を放出又は内部拡散させ、粉粒状体物質３を再活性化さ
せる。再活性化処理の終了した高真空排気装置１４は、
再使用に供される。
【００１９】
【考案の効果】以上の説明によつて理解されるように、
本考案によれば、下記の効果が得られる。 （１）粉粒状体物質を粉粒状体のままで保持できるの
で、粉粒状体物質を焼結するなどして有形化させるもの
と比較して、多量の空隙を確保でき、気体の吸着性能が
著しく向上する。
本考案によれば、下記の効果が得られる。 （１）粉粒状体物質を粉粒状体のままで保持できるの
で、粉粒状体物質を焼結するなどして有形化させるもの
と比較して、多量の空隙を確保でき、気体の吸着性能が
著しく向上する。
【００２０】（２）金網状部材及びパイプヒータは適度
の可撓性を有するので、内部に粉粒状体物質を粉粒状体
のままで保持する金網状部材に各種の形状を与えること
が可能である。その結果、真空容器の形状及び大きさに
応じて気体の吸着性能が良好な形状及び大きさを金網状
部材に自由に与えることができることとも相まつて、コ
ンパクトな構造にて気体の吸着性能を向上させることが
できる。更に、パイプヒータを、金網状部材の形状又は
粉粒状体物質の量に応じて変形加工できるので、粉粒状
体物質の加熱効果が良好である。 （３）金網状部材内の粉粒状体をなす粉粒状体物質の間
にパイプヒータを収容して製造されるので、製造が容易
である。
の可撓性を有するので、内部に粉粒状体物質を粉粒状体
のままで保持する金網状部材に各種の形状を与えること
が可能である。その結果、真空容器の形状及び大きさに
応じて気体の吸着性能が良好な形状及び大きさを金網状
部材に自由に与えることができることとも相まつて、コ
ンパクトな構造にて気体の吸着性能を向上させることが
できる。更に、パイプヒータを、金網状部材の形状又は
粉粒状体物質の量に応じて変形加工できるので、粉粒状
体物質の加熱効果が良好である。 （３）金網状部材内の粉粒状体をなす粉粒状体物質の間
にパイプヒータを収容して製造されるので、製造が容易
である。
【図１】 本考案の１実施例に係る高真空排気装を一部
切開して示す平面図。
切開して示す平面図。
【図２】 同じく側面図。
【図３】 同じくパイプヒータを一部切開して示す図。
【図４】 図３のＩＶ−ＩＶ線断面図。
【図５】 同じく高真空排気装置を備える真空容器を示
す概略図。
す概略図。
１：金網状部材、１ａ，１ｂ：対向２側面部、３：粉粒
状体物質、４：パイプヒータ、４ａ：リード線、４ｂ：
無機絶縁物、４ｃ，４ｄ：発熱線、４ｇ：細管、５、
６：締具、７：連結部材、１０：蓋部材、１１：筒状容
器、１４：高真空排気装置、１５：真空容器。
状体物質、４：パイプヒータ、４ａ：リード線、４ｂ：
無機絶縁物、４ｃ，４ｄ：発熱線、４ｇ：細管、５、
６：締具、７：連結部材、１０：蓋部材、１１：筒状容
器、１４：高真空排気装置、１５：真空容器。
Claims (1)
- 【請求項１】 金網状部材によつて対向２側面部を形成
し、この対向２側面部間に、気体吸着性を良好に有する
粉粒状体物質を粉粒状体のままで保持させると共に、細
管内に発熱線を通したパイプヒータを収容することを特
徴とする高真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6925991U JP2561570Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 高真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6925991U JP2561570Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 高真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0514571U JPH0514571U (ja) | 1993-02-26 |
| JP2561570Y2 true JP2561570Y2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=13397535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6925991U Expired - Lifetime JP2561570Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 高真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561570Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2750248B1 (fr) * | 1996-06-19 | 1998-08-28 | Org Europeene De Rech | Dispositif de pompage par getter non evaporable et procede de mise en oeuvre de ce getter |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP6925991U patent/JP2561570Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514571U (ja) | 1993-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |