KR100210110B1 - 절연 쟈켓내에서의 진공 유지 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 개방된 상부 부분을 갖추고, 가스에 대해 비투과성인 재료, 바람직하게는 알루미늄으로 제조된 콘테이너(11, 21)를 포함하고, 상기 콘테이너의 하부 부분에서 제1펠릿(13, 23)과 콘테이너의 상부 부분(11, 21)에 위치된 제1펠릿(13, 23)이 완전히 덮혀지도록 된 제2펠릿(15, 24)을 더 포함하며, 제1펠릿은 Ba-Li게터 합금의 분말로부터 수득되고, 그리고 제2펠릿(15, 24)은 건조 재료의 분말로부터 수득되는데, 선택적으로 또한 귀금속 산화물 및 건조기의 밀집성을 피할 수 있는 재료를 포함하고, 그리고 본 발명은 진공 유리 장치 제조 방법에 있어서, Ba-Li 합금의 제1펠릿은 상기 콘테이너에서 상기 합금 분말을 압축함에 의해 국부적으로 수득될 수 있으며, 콘테이너의 상부 에지는 최종적으로 내면으로 만곡되어 있으며, 이에 따라 펠릿이 그들의 위치를 유지하도록 된다.

Description

절연 쟈켓내에서의 진공 유지 장치 및 그 제조 방법

이들 쟈켓을 사용하는 전형적인 실시예는 저온 유체 저장용 듀어르(duwar), 전송용 배관, 또는 냉각용 절연 패널이다.

본 발명을 사용할 경우 유리 올, 콜로이드 형태의 실리카, 또는 펄라이트(perlite) 또는 발포체(예컨데, 개방 셀 고정 폴리우레탄) 형태의 유기 절연체 또는 다중층과 같은 절연 재료를 구비하는 열 절연 배기 쟈켓용으로 사용되는 것을 공지되어 있다.

또한 더 공지되어 있는 것은, 이들을 사용하는 동안 이들 쟈켓에서 생성된 진공은 다양한 타입의 현상의 결과로서 시간에 따라 퇴화되는 경향이 있다는 것이다. 예를 들어, 사용되는 절연 재료로부터 또는 쟈켓 벽 그 자체를 형성하는 재료로부터 CO, CO₂, O₂, H₂, H₂O, N₂또는 유기물 증기와 같은 가스와 증기가 배출된다. 상기 가스는 일반적으로 벽의 용접 면적에서 흡수에 의해 자켓에 유입되고, 플라스틱으로 제조된 벽일 경우에는 동일한 벽을 통한 가스는 일반적으로 특히 대기 가스일 경우에 투과된다.

이러한 단점은 실제적으로 상기 가스를 고정시키는데 적당한 하나 또는 그 이상의 재료의 흡수에 의해 명백해진다. 이들 재료는 일반적으로 물리 화학 흡수체로 구별된다.

첫 번째 것은 매우 비실체적인 인력으로 인한 물리적 흡수 원리에 따라, 즉, 표면상에 가스를 고정시킴에 의해 작용한다. 이 카테고리는 다른 것들 중에서 제올라이트, 분자체, 활성 탄소로 구성된다. 그러나, 이들 물리적 흡수기는 그들이 온도가 증가함에 따라 동일 가스를 배출하면서 가스가 가역 흡수되는 단점을 보여주고 있다. 이에 따라 물리적 흡수기는 열절연 목적으로 충분히 적절하지 않다.

이 목적에 있어서, 바람직한 것은 수증기에 대해서는 건조 재료 또는 CO, CO₂, O₂, N₂수증기 등과 같은 가스의 경우에는 게터 재료와 같은 화학 반응에 따라 비가역적으로 가스를 흡수하고 고정하는 화학적 타입의 흡수 재료이다.

이 해결책은 본 출원인의 이름으로 출원된 국제 출원 93/25843과 같은 특허 출원 또는 몇몇의 종래의 특허의 대상이었다.

여기에는, 바륨 산화물, 스트론튬 산화물, 인 산화물, 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 건조제, 및 특히 전체 식 BaLI₄의 합금의 형태로 된 바륨 및 리튬으로 구성된 조합물을 사용하는 방법이 기술되어 있다. 상기 게터 재료만으로도 이미 기술한 바와 같이 모든 가스와 수증기를 흡수하는 능력을 가질 수 있다. 이 재료는 수증기와의 큰 친화성을 보여주고 있다. 이에 의해 건조기가 게터 재료와 접촉하게되는 가스 혼합물로부터 수증기를 완전히 제거하도록 부가되어, 이에 따라 다른 가스종에 대해 게터 재료의 흡수능력을 유지한다. 선택적으로, 상기 기술에 따르면, 미량의 H₂를 건조기에 의해 고정되는 H₂O로 전환되는 작용을 하는 귀금속 산화물, 바람직하게는 백금 산화물을 쟈켓에 도입하는 것이 가능하다.

동일 출원 WO 93/25843에는 일반적인 내용으로 이 출원의 재료는 다공성 격벽의 수단에 의해 서로로부터 분리되어 콘테이너의 내면에 위치되어 진공 유지를 위해 사용될 수 있는 장치를 형성하는 가능성이 기술되어 있다.

그러나, 상기 출원은 예비시에 이러한 장치를 사용하여 부딪히게 되는 실제문제는 고려하지 않았으며, 그리고 이들 문제의 해결책은 제시되어 있지 않다. 상기 언급된 국제 출원의 건조 및 게터 재료는 사실상 이미 실온에 있는 가스 및 진공에 대한 높은 반응성을 나타내어, 이에 따라 이들이 사용되는 시간까지 환경으로부터의 보호를 필요로 한다. 상기 국제 출원에 따르면 가스 흡수 재료는 쟈켓의 다양한 제조 단계 동안 비활성적 상태로 존재하고, 그리고 쟈켓이 5Pa 이하의 잔류압력에서 배기될 때 150°이하의 온도에서 열처리 수단에 의해 활성화된다. 그러나, 활성화 열처리는 이들이 플라스틱 재료로 제조될 때는 쟈켓 벽과 어울리지 않는 결과를 낳는다. 나아가 열처리는 상기 쟈켓에 있는 재료로부터 배출되는 가스에 대해 그 자체가 향상된다.

본 출원인에게 양도된 US 특허 5,191,980에는 사용 시간까지의 흡수 재료의 보호물이 기계적 타입인 장치가 기술되어 있다. 이 장치는 염화 비닐 수지와 같은 열 수축 재료의 필름에 의해 용접 밀봉된 게터 재료를 그 내면에 갖춘 콘테이너로서 형성된다. 이 경우에 있어서의 상기 게터 재료는 상기 열 수축 필름의 수축 및 파괴를 야기하는 150°이하의 온도에서 열 처리 수단에 의해, 이미 차단되어 있을 때 쟈켓의 내부 대기에 노출된다. 그러나, 또한, 이 경우에 파괴부를 막으로 덮는데 필요한 열 처리는 쟈켓을 형성하는 재료와 어울릴 수 없다.

본 발명은 절연 쟈켓내에서의 진공 유지 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

특히, 본 발명은 다양한 종류의 절연 재료가 존재할 때 열 절연 배출 쟈켓내에서 진공을 유지하는데 사용하기에 적당한 장치, 뿐만 아니라 상기 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

본 발명의 따른 장치의 상세한 구조와 이들의 조작 특징을 더 용이하게 이해할 수 있도록, 본 발명을 제한하지 않은 실시예의 첨부된 도면을 참조로 설명하였다.

제1도는 본 발명에 따라 가능한 장치의 도면을 도시한 개략도이다.

제2도는 본 발명에 따른 가능한 다른 실시예에 따른 장치의 단면도이다.

제3도는 실시예 1의 시험 결과를 그래프 형태로 도시한 것으로, 이 그래프에서는 15분 동안 장치를 공기에 노출시키기 전에 그리고 후에 cc/s의 질소의 흡수 속도의 값(G)과 cc, torr로 흡수된 질소의 양(Q)의 작용을 도시하였다.

제1도를 참조로 하면, 본 발명에 따른 진공을 유지하기 위한 장치(10)는 펠릿(13)이 Ba-Li 합금(14)의 펠릿의 상부와 펠릿(15)이 건조 재료(16), 예컨데 BaO, 귀금속(17)의 산화물 및 건조기의 압축을 피하기에 유용한 재료(18)로 된 상부 부분으로 이루어진 콘테이너(11)로 구성된다. 펠릿(15)은 중합체 재료의 네트(19)에 가두어진다. 콘테이너(11)의 상부 에지(12)는 내부에서 만곡되어 펠릿을 바람직한 위치에서 유지되도록 한다.

제2도는 상기 게터 재료의 2개의 펠릿과 건조기가 다른 지금을 갖는, 본 발명에 따른 장치의 다른 실시예를 도시하였다. 상기 도면에는 그것의 바닥에 리세스(22)가 있는 콘테이너(21)로 구성되는 것으로 도시되어 있다. 리세스(22)는 Ba-Li 합금의 펠릿(23)을 에워싸고 건조기와 함께 압축됨에 의해 수득된 펠릿(24), 귀금속 산화물, 및 알루미나는 콘테이너(21)의 상부 부분에 배치된다. 펠릿(24)은 종합 재료 네트(25)의 2개의 디스크 사이에서 고정된다. 또한 이 경우에 있어서, 콘테이너(21)의 상부 에지(26)은 펠릿을 제위치에서 유지하도록 내면을 향해 만곡된다.

진공을 유지하기 위한 장치의 크기에 있어서, 장치 그 자체가 사용되는 쟈켓의 크기는 쟈켓을 형성하는 벽 뿐만 아니라 그 안에 포함된 절연 재료를 고려하여야만 한다. 냉각용 절연 패널과 같은 전형적인 전형적으로 사용할 경우, 귀금속 산화물 및 밀집되는 것을 방지하기 위한 재료의 무게는 약 1 내지 5g이며, 한편 Ba-Li 합금의 펠릿은 일반적으로 약 0.2 내지 1.5g의 중량을 가질 수도 있다.

두 번째 경우는 본 말명은 본 발명에 따른 진공을 유지하는 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.

본 발명의 방법은

- 상부 면에서 개방되어 있고 그리고 서로와 관련하여 부가된 양쪽의 펠릿의 높이보다 더 높은 압축된 분말용 콘테이너를 형성하는 단계.

- 상기 콘테이너의 바닥에 Ba-Li 합금 분말의 펠릿을 위치시키는 단계.

- Ba-Li 합금 펠릿이 건조 재료의 펠릿으로 완전히 커버되도록 하는 방법으로 Ba-Li 합금 펠릿 위에 귀금속 산화물이 선택적으로 부가되는 건조 재료의 펠릿을 콘테이너에 도입하는 단계.

- 내부 포함된 펠릿을 그들의 위치에서 유지하도록 콘테이너의 상부 에지에서 변형하는 단계로 구성된다.

콘테이너에서 사용되는 재료는 어떤 재료라도 냉간 인발될 수 있다. 상술한 바와 같이, 이 목적을 위해 바람직한 재료는 가벼우며, 냉간 인발에 의해 용이하게 형성될 수 있고, 그리고 가스에 대해 비투과성인 알루미늄이다.

상기 콘테이너는 제1도에 도시된 바와 같이, 단면이 단순한 원통형이 될 수도 있거나, 또는 제2도에 도시된 바와 같이 2개의 공축의 원통형이 될 수 있고, 또는 다른 유사한 형태를 갖는다.

Ba-Li 게터 합금 펠릿은 분리되어 예비되고 그리고 컨테이너로 도입된다. 그러나 바람직한 실시에에 있어서, 상기 펠릿은 분말 합금이 적합한 양을 도입하고, 그리고 30 내지 1000바아, 바람직하게는 150 내지 600바아의 범위의 압력을 적용함에 의해 이것을 압축함에 의해 콘테이너의 하부 부분내에 국부적으로 형성된다. 이 가능성은 게터 재료의 펠릿(23)이 장치의 분리 부분으로서 도시되어 있지 않은 제2도에 도시되어 있다.

이미 기술된 바와 같은 건조 재료의 펠릿은 상기 콘테이너의 상부 부분내에 분리되어 대신 예비되어 도입된다.

상술한 바와 같이, 건조 재료의 펠릿이 물 흡수 결과에 따라 가능한한 팽창함에이어 펠릿 분획이 배출되는 것을 방지할 목적을 갖는 폴리에틸렌과 같은 재료의 섬유, 쇠그물 또는 네트의 2개의 디스크 사이에서 바람직하게 유지된다.

처리의 마지막 단계에 있어서, 상기 콘테이너의 상부 에지는 제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이 내면으로 만곡되는 것과 같은 단계에 의해 변형되어 2개의 펠릿을 바람직하게 배치하도록 유지하는 유지 부재를 형성한다.

이에 따라 본 발명의 목적은 종래 기술이 단점에 의해 영향을 받지 않는 쟈켓 내면에서의 진공을 안정화하는 방법을 제공하는 것이다.

특히 본 발명의 목적은 사용을 위해 쟈켓에 유입되는 열 활성화를 필요로 하지 않고, 그리고 감지될 수 있는 변경없이 수분 동안 공기에 노출될 수 있어서 열절연 쟈켓의 제조 방법을 크게 단순화시키는 열 절연 쟈켓내에서의 진공을 유지하는 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 진공 유지 장치를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

이들 및 다른 목적은 첫 번째로는 다음과 같은 진공 유지 장치에 관한 본 발명에 따라 달성된다.

- 가스 비투과성 재료로 구성된 상부 개방 콘테이너.

- Ba-Li 게터 합금이 분말로부터 수득된 콘테이너의 하부 부분에 있는 펠릿(pellet).

- 게터 재료의 펠릿을 완전히 커버하도록 콘테이너의 상부 부분에 위치된, 건조기가 채워지는 것을 방지하는 재료 및 귀금속 산화물을 가능한한 구비하는 건조 재료의 분발로부터 얻어진 펠릿.

Ba-Li 게터 합금의 분말로부터의 펠릿의 형성은 느슨한 분말의 경우와 관련하여 재료 입자의 표면에 가스가 허용되는 접근 속도를 감소시킨다. 이것은 분말과 관련하여 가스의 흡수 속도를 감소시킨다.

잔류물 속도는 이것을 조작하는 동안 쟈켓에 유입되는 가스를 완전히 흡수하기에 충분한 것 이상이다. 이것은 장치 그 자체가 사용전에 취해지는 팩키지에 공기가 통하도록 개방한다. 이에 따라 상기 장치는 배기 공정전에 쟈켓내에 도입될 수 있다. 이와 대조적으로 종래 기술의 장치는 배기되는 쟈켓을 차단한 후에 또는 배기하는 동안 흡수 재료가 노출되어야만 한다는 것을 필요로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 게터 재료는 Ba-Li 합금이다. 특히 바람직한 것은 일반식 BaLi₄에 대응하는 합금이다.

게터 재료의 펠릿은 대응 재료의 분말로부터 출발하여 제조된다. 이들 분말의 입자 크기는 1

내지 1

및 바람직하게는 50 내지 750

로 구성될 수도 있다. 상기 펠릿 재료의 특정 표면이 초과되어 감소되는 단점은 입자 크기를 더 크게 하는 한편, 작은 입자 크기는 분말의 조밀성은 실제 사용할 때는 매우 낮은 값으로 가스의 흡수 속도를 감소시킨다.

펠릿 제조 단계에서 채용되는 압력은 분말의 입자 크기에 따라 좌우되고, 그리고 상기 가스 흡수 속도의 초과되는 감소를 피하기 위해 펠릿의 내부 다공성을 흡장하도록 높지 않은, 충분한 기계적 안정성을 펠릿에 부여하도록 요구된 압력을 최소한으로 유지하여야만 한다. 분말을 상술한 범위이 입자 크기로 사용함에 의해 펠릿을 제조하는데 사용되는 압력의 최적치는 약 30 내지 1000바아이고, 그리고 바람직하게는 150 내지 600바아이다.

본 발명에 따른 건조기는 스트론튬, 인 및 특히 바람직하게는 바륨의 산화물중에서 선택된 산화물이다.

또한, 건조 재료는 10 내지 1000

의 입자 크기를 갖는 분말로부터 수득된 펠릿의 형태로 사용된다. 펠릿을 제조하는데 사용되는 압력은 약 100 내지 1000바아이다. 압력 범위를 조정함에 의해, 상기 조밀한 펠릿은 Ba-Li 합금의 펠릿에 의해 이들 가스의 충분한 흡수 속도를 보장하도록 수증기와는 다른 가스의 전도성을 갖추도록 수득된다.

상기 건조 재료에 귀금속 산화물이 부가되는 것이 바람직한데, 이것은 은, 오스뮴, 이리듐, 루테늄, 로디윰 또는 팔라듐의 산화물 중에서 선택된다. 이 산화물 중 바람직한 것은 팔라듐 산화물이다. 이 성분의 작용은 본 발명에 인용된 특허 출원 WO 93/25843에서 기술된 바와 같이 쟈켓내에 있는 수소 잔존물은 건조기에 의해 흡수되는 물로 전환한다는 것이다. 건조기와 귀금속 산화물의 중량비는 5000:1 및 10:1 및 바람직하게는 1000:1 내지 100:1 내에서 변경될 수도 있다. 귀금속 산화물은 느슨한 분말의 형태 또는 지지된 형태로 존재할 수도 있다. 지지형태의 귀금속 산화물의 제조 방법은 본 출원인의 이름으로 된 특허 출원 PCT/IT94/00016에 기술되어 있다.

바람직하게는, H₂O 증기가 흡수되는 결과에 따라 발생하는, 건조기가 조밀하게되는 것을 방지할 목적으로 건조기 분말에 제3재료가 분말로 부가되는 것이다. 이러한 제3재료는 예컨대, 알루미나(Al₂O₃), 지올라이트 또는 활성화 탄소가 될 수도 있다. 자올라이트 또는 활성화 탄소를 사용하여 이들 재료가 수증기 또는 유기 성분의 증기와 같은 증기를 흡수하기에 편리하도록 하여 이에 따라 쟈켓내에서 배기된 대기를 유지하도록 한다. 이것의 조밀성을 방지하는 건조기와 재료의 중량비는 100:1 내지 10:1 사이에서 변경될 수도 있다.

또한, 귀금속 산화물과 조밀성을 방지하도록 하는 재료를 선택적으로 포함하는 건조 재료의 펠릿은 단지 분말 혼합물을 압축함에 의해 수득된다. 그러나, 바람직한 실시예에 있어서, 건조 재료의 펠릿은 예컨대 스크린, 쇠그물 또는 금속 와이어로 제조된 섬유와 같은 가스를 용이하게 통과되도록 하는 재료 또는 폴리에틸렌과 같은 중합 재료로 된 2개의 디스크 사이에 동일물을 구비함에 의해 제조되어 사용된다. 이들 디스크는 물 흡수에 의해 야기된 팽창 부분으로 인해, 장치가 조작될 때 이것을 형성하는 동안 또는 연속적인 단계 동안 펠릿으로부터 분리될 수 있는 가능한 부분을 유지할 목적을 갖는다. 양쪽 디스크는 제1디스크, 분말의 혼합물 및 제2디스크를 순서에 따라 압축하도록 도입하고, 그리고 상술한 압력에서 전체를 압축함에 의해 제조하는 동안 펠릿의 원형 표면 양쪽상에 간단히 고정될 수 있다. 그물 형태로 된 2개의 디스크는 펠릿의 2개 표면상에서 장착된다.

가스 흡수 재료에 대한 콘테이너는 가스가 불투과성이라면 어떠한 재료로도 제조될 수 있다. 적합한 재료로는 예컨데 금속 또는 금속으로 피복된 플라스틱 시트의 형태로 된 합성 재료 또는 플라스틱/금속 다중층일 수도 있다. 이들의 작업 용이성으로 인해 스테인레스 강 또는 알루미늄과 같은 금속이 바람직하다. 특히 바람직한 것은 시트에서 용이하게 형성가능하고, 그리고 냉간 인발될 수 있는 가벼운 알루미늄이다. 알루미늄으로 된 적합한 콘테이너의 두께는 약 0.1 내지 0.3

로 구성될 수도 있다. 상기 콘테이너는 Ba-Li 합금 펠릿이 건조 재료 펠릿으로 완전히 커버되게 하는 조건을 달성하도록 하는 임의의 형태가 될 수도 있다. 최종의 장치에 있어서, 콘테이너의 상부 에지는 상기 펠릿의 안정한 보유를 보장하도록 보유된다.

이러한 특징의 결과에 따라, 본 발명의 장치는 그 성능에 손상을 입히는 정도로 결하되지 않고, 15분 동안 노출될 수 있다.

본 발명의 목적 및 장점은 본 발명의 범위를 제한하지 않고 단지 설명을 목적으로 다음의 실시예로부터 당해 기술 분야의 술련자들에게 더 명백해질 것이다.

[실시예]

게터 및 건조 재료의 펠릿용 콘테이너는 0.2

의 두께를 갖는 알루미늄 시트의 디스크를 냉간 인발하여 형성함에 의해 예비된다. 원통형의 콘테이너는 제1도와 같이 4

높고, 내부 지금이 20

로 수득하였다. 입자 크기가 50 내지 750

이고, 전체 일반식이 BaLi₄인 0.5g의 합금의 분말은 상술한 바에 따라 예비된 콘테이너의 바닥에 위치된다. 상기 분말은 500바아의 압력에서 콘테이너의 동일 지금의 피스톤에 의해 콘테이너의 바닥상에서 압축된다. 압축 분말은 콘테이너내에서 높이가 약 1

에 이르게 된다. 분말의 혼합물의 펠릿은 800바아에서 압축함에 의해 분리되어 제조되고, 그리고 100 내지 300

의 입자 크기를 갖는 2g의 BaO 및 0.1g의 지지체상에 5mg의 PdO로 형성된다. 이 펠릿은 폴리에틸렌 섬유의 2개 디스크 사이에서 준비된다. 콘테이너의 내부 지름과 동일하고, 그리고 약 2

높은 지름을 갖는 수득된 펠릿은 BaLi₄의 펠릿이 이미 존재하는 콘테이너 그 자체내에 삽입된다. 최종적으로 상부 에지는 펠릿을 제위치에 유지하기 위해 내면으로 약간 만곡된다.

준비하고자 하는 장치는 가스가 흡수되는 속도가 흡수된 가스(Q)가 15분 동안 공기에 노출되기 전에 그리고 후에 흡수 가스(Q)의 양의 작용으로서 측정되는 가스 흡수를 측정하기 위한 챔버내에 위치된다. 이 측정은 챔버내에서 연속하여 도입되는 질소의 베치에 의해 수행되는데, 각각은 장치의 흡수로 인해 챔버내에서 압력 감소가 기록되도록 질소의 각 베치에서 챔버내의 압력이 0.27mb에 이를 때까지 800㏄의 용적을 갖는다. 이 측정은 초기에 준비하고자 하는 장치상에서 고려된다. 이것이 중단되고, 이 장치는 15분 동안 공기에 노출되고 그리고 다시 측정 챔버에 도입된다. 제3도의 그래프는 공기에 대한 노출이 있기 전에(곡선1) 및 노출 후에(곡선2) 흡수 곡선을 도시하고 있다.

제3도에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 장치는 15분 동안 공기에 노출될 때, 약 1cc/s의 질소 흡수 속도를 유지한다. 전형적으로 사용하는 경우에 있어서, 이러한 장치는 냉각기의 열 절연을 위한 패널에서 사용될 수 있다. 투과가 폴리에스틸렌상의 용접 부위에서 예외적으로 발생하는 알루미늄/폴리에틸렌 다중층의 하우징을 갖춘 개방 셀이 있는 강 폴리우레탄으로 제조된 50×50×3㎤의 크기를 갖는 패널은 약 10^-4mbar, cc/s의 투과성을 도시하고 있다. 이와 같은 패널은 내부 압력이 약 0.1mbar의 값을 초과할 때까지 이것의 절연 특징을 유지한다. 이에 따라, 장치가 약 10^-3cc/s에서 더 높은 흡수 속도를 갖는다. 이에 따라, 공기에 노출될 때, 본 발명의 장치는 전형적인 패널에서의 가스 유입 속도보다 1000배 더 높은 흡수속도가 제공된다.

쟈켓에 유입되는 가스의 열 활성화를 필요로 하지 않고, 그리고 수분 동안 공기에 노출될 수 있어서 열 절연 쟈켓의 제조 방법을 크게 단순시킨다.

Claims (5)

1. 개방된 상부를 갖추고 있고, 가스에 대해 비투과성인 재료로 제조되어 있는 콘테이너(11, 21)를 포함하고 있는 진공 유지 장치에 있어서, 30 내지 1000바아의 압력에서 압축된 Ba-Li 게터 합금(14)의 분말로 형성되어 상기 콘테이너(11, 21)의 하부에 배치된 제1펠릿(13, 23), 및 건조 재료(16)의 분말로 형성되어 상기 콘테이너(11, 21)의 상부에 배치된 제2펠릿(15, 24)을 더 포함하고 있으며, 상기 게터 재료로 이루어진 제1펠릿(13, 23)은 상기 제2펠릿(15, 24)에 의해 완전히 덮혀져 있는 것을 특징으로 하는 진공 유지 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 건조 재료(16)로 이루어진 상기 제2펠릿(15, 24)은 은, 오스듐, 이리듐, 루테늄, 로듐 또는 팔라듐으로 이루어진 산화물 중에서 선택된 귀금속 산화물(17)을 포함하는데, 상기 건조 재료(16)와 상기 귀금속 산화물(17)간의 중량비가 5000:1 내지 10:1의 범위로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 유지 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 건조 재료로 이루어진 제2펠릿(15, 24)은 상기 건조 재료(16)의 분말이 압축되는 것을 방지하기 위한 분말 재료(18)를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 유지 장치.
4. 제1항, 제2항, 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 건조 재료(16)로 이루어진 제2펠릿(15, 24)은 금속 또는 중합체 재료로 제조된 네트, 쇠그물 또는 섬유(19, 25)로 이루어진 2개의 디스크 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 진공 유지 장치.
5. 진공 유지 장치의 제조 방법에 있어서, a) 펠릿의 전체 높이 보다 더 높은 높이의 상부가 개방되어 있는 압축 분말용 콘테이너를 형성하는 단계, b) Ba-Li 합금 분말로 이루어진 펠릿을 30 내지 1000바아의 압력에서 압축하여 상기 콘테이너의 바닥에 배치시키는 단계, c) 상기 Ba-Li 합금 분말로 이루어진 펠릿이 건조 재료의 펠릿으로 완전히 덮여지도록 귀금속 산화물과 압축을 방지하기 위한 재료가 선택적으로 부가되어 있는 상기 건조 재료로 이루어진 펠릿을 상기 콘테이너내의 상기 Ba-Li 합금 분말로 이루어진 펠릿 위로 두입하는 단계, 및 d) 상기 콘테이너의 내부에에 포함되너 있는 상기 Ba-Li 합금 분말로 이루어진 펠릿과 상기 건조 재료로 이루어진 펠릿을 그 각각의 위치에 고정시키도록 상기 콘테이너의 상부 에지를 변형시키는 단계를 포함하고 있는 방법.

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