JPH09506828A - ディスク形状物品のためのグリッパー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ディスク形状物品（シリコンウエハ）を掴みあげることができるように、本発明は、集合体の主本体に対して径方向内方並びに外方に移動するように案内されるように設けられた複数のグリップ指（２）を備えたグリッパー集合体を提供する。これらグリップ指（２）は、ばねにより径方向内方に付勢されている。主本体（１）内には、ばねの付勢力に抗して全てのグリップ指（２）を同時に径方向外方に移動させる円錐体（２１）を備えた指拡張装置（２０）が装着されている。この指拡張装置（２０）が引かれると、指（２）のうちの少なくとも幾つかはディスク形状物品の外周端に対して残るようになる。さらに、指拡張装置（２０）が引かれると、残っている指も、対応するばねの付勢力により、外周端に対して残るようになる。指拡張装置（２０）内の円錐体（２１）は、主本体の内部に装着され、ガイド棒（８）により指（２）に接続されたガイド部材（１２）を介して、指（２）を駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】 ディスク形状物品のためのグリッパー 本発明は、ベース本体と、このベース本体に対して調節可能な複数のグリップ 爪と、これらグリップ爪を付勢する弾性手段とを備えた、少なくとも不正確な円 形外周面を有するディスク形状物品のためのグリッパーに関する。 実用上、ディスク形状物品を、これの上面と下面とに接触しないで把持する問 題が度々生じ、このために、ディスク形状物品は外周面（外エッジ）にてのみ把 持されて支持される。この問題は、例えば、シリコンウエハがグリッパーにより 支持されたときに、面に接触してはならいウエハの取扱いで生じる。 上述した形式のグリッパーは、ＤＥ−Ａ−３ ９１５ ０３８により既知であ る。このＤＥ−Ａ−３ ９１５ ０３８において、ディスク形状物品のエッジに 作用し、互いに所定角度を有する移動路に沿って、流体モータを使用して調節可 能な支持アームが設けられている。この場合、支持アームは、ピストンーシリン ダーユニットにより互いに接離可能に動かされる。そして、ピストンーシリンダ ーユニットには、シリンダーに作用し、これらシリンダーを初期位置（グリッパ ーのフインガーが互いに近接した位置）に戻すように付勢するように設計された コイル圧縮ばねが設けられている。 また、ＵＳ−Ａ ０４ ２２７ ８５１には、回り継手の グリップ爪を備えたマニュピレータが開示されている。このＵＳ−Ａ ０４ ２ ２７ ８５１で知られたマニュピレータでは、チューブ状の支持体に回り継手を 介して装着されたグリップ爪は、トーションばねにより付勢されている。そして 、チューブ状の本体内でグリップ爪を駆動するために、圧力媒体が供給されたと きに、グリッパーの傾斜面に作用してグリッパーを広げるフローティング・ピス トンが設けられている。 本発明の目的は、上述した問題が解決されて、簡単で信頼性のある構造の上記 形式のグリッパーを創造することである。 この目的は、ベース本体に対してグリップ爪が径方向内方並びに外方に移動す るように案内され、また拡張手段が弾性手段の作用に抗して外方にグリップ爪を 移動させるように設けられていることを特徴とするグリッパーにより本発明で達 成される。 本発明に係わるグリッパーにおいて、グリップ爪は、拡張手段を駆動すること により外方に移動され、この結果、グリップ爪は、把持されるディスク形状物品 の外周面近くの待機位置に位置される。この後、拡張手段の作用が解除され、こ の結果、グリップ爪は、ばね手段により径方向内方に付勢されているので、径方 向内方に移動してディスク形状物品の外周面と当接する。ディスク形状物品が、 例えば、前述したようなウエハの場合のように正確な円形外周面を持っていない 場合には、拡張手段の作用が解除され続けるのに従って、外周面にまだ接触して いないグリップ爪は、ばね手段の機能により、ウエハの外周面に、同様に作用す るようになり、この 結果、物品は全ての回収で信頼性が良く支持される。 本発明に係わるグリッパーの１つの簡単な構成において、グリップ爪は、ベー ス本体に挿入されたガイドスリーブ内のガイド棒を介して、移動するように案内 される装着体に取着されている。この結果、爪の正確な案内が可能である。グリ ッパーと、この爪との部品はこれらにより果たされる機能に関連して選定され得 る。 本発明において、ガイド棒の部品の場合、ベース本体の外に位置する部分は保 護ベローズ中に収容されていることが好ましい。 好ましい一実施の形態において、グリップ爪は、自由端に径方向に突出したフ ランジを有するピンを具備し、これらフランジは、外方から内方に傾斜して上に 向いた上境界面を有する。楔形状の断面を有する径方向に突出したフランジ（肩 ）は、これらフランジ（肩）を備えた爪を物品の外周面に押圧し、かくして、ベ ース上に平坦に載置されたディスク形状物品を把持する。 ディスク形状物品は、上述したフランジがピンに設けられた突出リングであれ ば、本発明に係わるグリッパーにより強固に支持される。ここで、リングは、２ つの円錐面により境界で分かれていることが望ましい。この実施例において、物 品は、ばね手段が非常に大きくなくても、平面に垂直に信頼性良く支持される。 かくして、物品（ウエハ）は、グリップ爪の作用のもとで損傷されるであろう危 険は避けられる。 本発明に係わるグリッパーのグリップ爪の正確な案内は、 ベース本体のガイド溝内で案内され拡張手段により駆動されるガイド体が、ガイ ド棒の内端に装着されたガイド体が設けられるのであれば、改良される。 グリップ爪の同時の拡張（ベース本体に対するグリップ爪の径方向外方への移 動）のための簡単な構成は、拡張手段が、グリップ爪の移動方向に垂直にベース 本体内を移動可能で、ガイド棒もしくはガイド本体の径方向内端と相互作用する 円錐形の拡張体を備えていれば、増長される。 本発明に係わるグリッパーの摩擦力を最小にするために、拡張体の円錐凸面は 、ガイド棒もしくはガイド体の径方向内端に回転可能に支持されたローラと当接 するように設けられ得る。 本発明に係わるグリッパーの設計に関する最大の拡張位置は、外方に最大に調 節されるグリップ爪に対応した拡張体の最終位置がベース本体に当接する前傾斜 端により決定されるように、容易に規定され得る。 拡張手段の拡張体を駆動するために、駆動磁石等の種々の駆動モータが設けら れ得る。しかし、本発明の好ましい実施の形態において、拡張体は、ベース本体 内に一体的に設けられた流体圧モータに駆動されるようになっている。この流体 圧モータは、好ましくは空気圧シリンダーを有する。 また、本発明は、ベース本体内に一体的に設けられた流体圧モータにより駆動 される拡張体にまで広げている。舌状の突出部が、本発明に係わるグリッパーが ベース本体の爪を上方に向くようにアラインメントされたときに、爪により支持 されるディスク形状物品のための載置部として使用されている。 本発明に係わるグリッパーの一実施の形態において、グリップ爪を付勢する弾 性手段は、ガイド棒の回りに配設され、一端がガイドスリーブの内端と当接し、 他端が外方に向いたガイド体の面と当接した圧縮コイルばねとして設けられてい る。この方法で、爪は、互いに独立して径方向内方に付勢されている。しかし、 幾つかの個々の圧縮コイルばねの代わりに、ガイド棒の内端でガイド体の回りで 爪を径方向内方に同様に付勢するように作用する。ゴムバンドもしくは環状コイ ルばねからなるリング形状の弾性部材を使用することが可能である。 本発明の他の詳述及び態様は、添付図面を参照した本発明の実施の形態の以下 の説明で明らかになる。 図１は、図１の左半分では爪が径方向内方にシフトされ、また右側では図１に 示す爪は拡張手段により径方向外方に押圧されている、軸に沿って断面したグリ ッパーを示す。 図２は、上部を取除いた本発明に係わるグリッパーの上面図である。 図３は、グリップ爪の変形例を詳細に示す図である。 図示された本発明に係わるグリッパーはベース本体１を有する。この本体は、 図示する実施の形態では丸い外形を有し、これの６つのグリップ爪２は、図示す る実施の形態ではベース本体１に対して内方並びに外方に径方向に移動され得る 。 前記ベース本体１は、ほぼ円筒状の周壁３と、カバー部分 ４と、ベース板５とを有する。このベース本体１のこれら部分は、ねじ６により 互いに接続されている。ベース板５は、周壁３と一体的に形成され得る。 前記ベース本体１の壁３中には、ガイドスリーブ７が挿入され、また、このス リーブ中で、径方向にアラインメントされたガイド棒８が移動するように案内さ れる。これらガイド棒８の外端には支持片９が設けられ、この支持片には、径方 向に突出したフランジ（肩）１１を備えたピン１０が夫々設けられている。これ らピン１０は、ディスク形状物品を把持するように機能するグリップ爪２の一部 を構成している。壁３の外に位置しているガイド爪８の部分は、図１に示すよう に、長さが可変のベローズ６０により覆われている。 前記ピン１０は、図３に示すように、フランジ４０上で２つの円錐面４０′， ４０″により境をなしたリング４０を備えた物を有しても良い。この例では、支 持片９に設けられる突出部３０が省略できる。 前記ガイド棒８の径方向内端には、ガイド体１２が装着されており、このガイ ド体は、軸１４に対して、ガイド溝１３内で径方向移動可能となっている。これ らガイド体１２のためのガイド溝１３は、ほぼ径方向に延びておりベース本体１ のベース板５とモールド成型された２つの壁１５，１６により形成されている。 また、このベース板５は、周壁３と共に内方に延出して一体的に形成されている 。グリップ爪が図示しないばね（例えば、ガイド棒８を囲むように配置された圧 縮コイルばね、もしくはガイド体１２の外面１７に設けられ た環状コイルばねまたはコム弾性バンド）により押圧された図１で左側に示す待 機位置からグリップ爪２を径方向外方に押すために拡張手段２０が設けられてい る。 図示するこの実施の形態の前記拡張手段２０は、円錐凸面２２を備えた拡張体 ２１を有する。この凸面は、ガイド体１２に回転可能に支持されたローラ１８を 介して、ガイド体１２に、かくして、グリップ爪２に作用する。この拡張体２１ を駆動するために、ベース本体１のカバー部分４の円筒状の突出部内には、流体 モータ２４、好ましくは、空気圧シリンダーが収容されている。そして、このシ リンダーのピストン棒２５は拡張体２１に結合されている。 前記ピン１０のための支持片９には、径方向内方に突出した舌状の突出部３０ が設けられている。これら突出部３０は、ベース本体１のベース板５がベース本 体１をターンさせることにより上方に向かう場合に、ディスク形状物品のための 載置部として使用される。 本発明に係わるグリッパーを使用して、水平面上に載置された平坦な物品、例 えば、シリコンウエハが支持される（掴まれる）場合、最初に、空気圧シリンダ ー２４が駆動されて、拡張体２１がベース板５の内面に当接するまで、この拡張 体２１を下方に押圧する。この結果、グリップ爪２は、これらの径方向最側位置 にもたらされる。この時点で、グリッパーは、手もしくは自動移動装置（ロボッ ト）により、グリップ爪２のピン１０が掴まれる物品の外周面近くに位置する位 置に移動される。このすぐ後に、拡張体２１は上方に移動され、 この結果、少なくとも１つの弾性手段により付勢されているピン１０は、ディス ク形状物品５０の外周面と当接する。把持ピン１０の自由端に設けられたフラン ジ１１は、上方に傾斜して延びた（円錐面の形状）上境界面１１′を有し、この 結果、ディスク形状物品はピン１０が内方に移動したときに、少し上に移動する ので、ディスク形状物品５０は水平に維持して把持される。尚、この物品の上方 の移動は、ピン１０が物品の外周面に当接すると、この物品は傾斜面１１′上を 上方に摺動するためである。 ディスク形状物品がシリコンウエハの場合、この物品は完全な円形ではないが 、グリップ爪２の幾つかは物品の外周面に対して同じようには当接しない。しか し、さらに拡張体２１が上昇されると、まだ当接していないグリップ爪２は、グ リップ爪２を付勢している少なくとも１つのばね手段により、物品に同様に当接 するようになる。ディスク形状物品の正確な中心合わせの支持は、このようなグ リップ爪２が徐々に作用することにより果たされる。 本発明の概要は以下の通りである。 ディスク形状物品（シリコンウエハ）を把持するために、ベース本体に対して 径方向内方並びに外方に移動するように案内されるグリップ爪を有するグリッパ ーである。これらグリップ爪２は、ばね手段により径方向内方に付勢されている 。ベース本体１内には、全てのグリップ爪２をばね手段の付勢力に抗して径方向 外方に一緒に移動させるすることができる円錐状の拡張体２１を有する拡張手段 ２０が設けられている。 この拡張手段２０を戻すように移動させることにより、グリップ爪２のうちの少 なくとも幾つかは、ディスク形状物品の外周面に適用される。そして、この拡張 手段２０が後方に移動され続けるのに従って、残りのグリップ爪は、夫々に作用 しているばね手段の作用によりディスク形状物品の外周面に適用されるようにな る。拡張手段２０の拡張体２１は、ベース本体内に設けられ、ガイド棒８を介し てグリップ爪２に結合されたガイド体１２を介してグリップ爪２に作用する。 １つの実用的な例が図３並びに図４に示されている。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年１１月８日 【補正内容】 明細書 ディスク形状物品のためのグリッパー 本発明は、ベース本体と、このベース本体に対して径方向内方並びに外方に移 動するように案内され、ディスク形状物品の外周面と当接され得る複数のグリッ プ爪と、これらグリップ爪を径方向内方に付勢する弾性手段と、この弾性手段の 付勢力に抗してグリップ爪を外方に移動させるための拡張手段とを備え、グリッ プ爪は、ベース本体に挿入されたガイドスリーブ内で移動するように案内される ガイド棒に装着された装着体に取着されている、少なくとも不正確な円形外周面 を有するディスク形状物品のためのグリッパーに関する。この形式のグリッパー は、ＵＳ−Ａ−４５３ ７５７により公知である。 実用上、ディスク形状物品を、これの上面と下面とに接触しないで把持する問 題が度々生じ、このために、ディスク形状物品は外周面（外エッジ）にてのみ把 持されて支持される。この問題は、例えば、シリコンウエハがグリッパーにより 支持されたときに、面に接触してはならいウエハの取扱いで生じる。 ＤＥ−Ａ−３ ９１５ ０３８により既知のグリッパーにおいて、ディスク形 状物品のエッジに作用し、互いに所定角度を有する移動路に沿って、流体モータ を使用して調節可能な支持アームが設けられている。この場合、支持アームは、 ピストンーシリンダーユニットにより互いに接離可能に動かされる。そして、ピ ストンーシリンダーユニットには、シリンダーに作用し、これらシリンダーを初 期位置（グリッパーのフインガーが互いに近接した位置）に戻すように付勢する ように設計されたコイル圧縮ばねが設けられている。 ＵＳ−Ａ−４５３ ７５７において、拡張手段は、ベース本体内で回動可能な 部分により構成されており、この部分は、外周に形成されてベース本体内に位置 するガイドローラと相互作用する溝により回動している間に、ベース本体に対し て上下に移動可能である。そしてグリップ爪を駆動するために、円筒部分がベー ス本体と反対方向にターンされたときにグリップ爪がベース本体に対して径方向 に調節され得るように他の溝が形成されている。 互いに直交するようにアラインメントされた前記２つの動きの組合わせは（径 方向の調節と上下方向）、この方法で、グリップ爪が、把持のときにウエハの底 に対して擦れることが防止されているので、ＵＳ−Ａ−４５３ ７５７のグリッ パーにおいては非常に重要である。 弾性リングを拡張するための装置は、ＤＥ−Ｕ−９２ ０４ ４５７．３によ り公知である。この装置において、円錐拡張手段により、拡張指のための装着体 は、弾性リングを拡張するためにばねの付勢力に抗して径方向外方に調節され得 る。この方法で他の部分に拡張された弾性リングを配置するために、拡張指から リングを離す他の指が設けられている。 ＩＢＭ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ Ｂ ｕｌｌｅｔｉｎ Ｖｏｌ ２７，Ｎｏ． ７Ｂ （Ｄｅｃｅｍｂｅｒ １９ ８４）から、３つのグリッブ部材を備えた、ディスク形状物品のための装着体が 知られている。各グリップ部材は、溝付きローラを支持しており、ディスク形状 物品が装着体により支持されたときには、ディスク形状物品は、これのエッジが ローラの溝中に係合している。また、ＵＳ−Ａ ０４ ２２７ ８５１には、回 り継手のグリップ爪を備えたマニュピレータが開示されている。このＵＳ−Ａ ０４ ２２７ ８５１で知られたマニュピレータでは、チューブ状の支持体に回 り継手を介して装着されたグリップ爪は、トーションばねにより付勢されている 。そして、チューブ状の本体内でグリップ爪を駆動するために、圧力媒体が供給 されたときに、グリッパーの傾斜面に作用してグリッパーを広げるフローティン グ・ピストンが設けられている。 本発明の目的は、上述した問題が解決されて、簡単で信頼性のある構造の上記 形式のグリッパーを創造することである。 この目的は、本発明に係われば、前記ベース本体内のガイド溝中で案内され、 拡張手段と対応するガイド体が前記ガイド棒の内端に装着されており、また、前 記拡張手段は、グリップ爪の移動方向に直交する方向にベース本体内で移動可能 であり、ガイド体と相互作用する円錐拡張体を有し、そして、前記グリップ爪を 付勢する弾性手段は、ガイド棒の回りに配設され、一端がガイドスリーブの内端 と当接し、他端が外方に向いたガイド体の面と当接した圧縮コイルばねを有する ことを特徴とするグリッパーにより達成される。 本発明に係わるグリッパーにおいて、グリップ爪は、拡張手段を駆動することに より外方に移動され、この結果、グリップ爪は、把持されるディスク形状物品の 外周面近くの待機位置に位置される。この後、拡張手段の作用が解除され、この 結果、グリップ爪は、ばね手段により径方向内方に付勢されているので、径方向 内方に移動してディスク形状物品の外周面と当接する。ディスク形状物品が、例 えば、前述したようなウエハの場合のように正確な円形外周面を持っていない場 合には、拡張手段の作用が解除され続けるのに従って、外周面にまだ接触してい ないグリップ爪は、ばね手段の機能により、ウエハの外周面に、同様に作用する ようになり、この結果、物品は全ての回収で信頼性が良く支持される。 グリップ爪は、ベース本体内に挿入されたガイドスリーブ中のガイド棒を介し て移動さるように案内される装着体に取着されているので、爪の正確な案内が可 能である。 グリップ爪の同時の拡張（ベース本体に対するグリップ爪の径方向外方への移 動）のための簡単な構成は、拡張手段が、グリップ爪の移動方向に垂直にベース 本体内を移動可能で、ガイド棒もしくはガイド本体の径方向内端と相互作用する 円錐形の拡張体を備えていれば、増長される。 本発明において、ガイド棒の部品の場合、ベース本体の外に位置する部分は保 護ベローズ中に収容されていることが好ましい。 好ましい一実施の形態において、グリップ爪は、自由端に径方向に突出したフ ランジを有するピンを具備し、これらフ ランジは、外方から内方に傾斜して上に向いた上境界面を有する。楔形状の断面 を有する径方向に突出したフランジは、これらフランジを備えた爪を物品の外周 面に押圧し、かくして、ベース上に平坦に載置されたディスク形状物品を把持す る。 ディスク形状物品は、上述したフランジがピンに設けられた突出リングであれ ば、本発明に係わるグリッパーにより強固に支持される。ここで、リングは、２ つの円錐面により境界で分かれていることが望ましい。この実施例において、物 品は、ばね手段が非常に大きくなくても、平面に垂直に信頼性良く支持される。 かくして、物品（ウエハ）は、グリップ爪の作用のもとで損傷されるであろう危 険は避けられる。 本発明に係わるグリッパーの摩擦力を最小にするために、拡張体の円錐凸面は 、ガイド棒もしくはガイド体の径方向内端に回転可能に支持されたローラと当接 するように設けられ得る。 本発明に係わるグリッパーの設計に関する最大の拡張位置は、外方に最大に調 節されるグリップ爪に対応した拡張体の最終位置がベース本体に当接する前傾斜 端により決定されるように、容易に規定され得る。 拡張手段の拡張体を駆動するために、駆動磁石等の種々の駆動モータが設けら れ得る。しかし、本発明の好ましい実施の形態において、拡張体は、ベース本体 内に一体的に設けられた流体圧モータに駆動されるようになっている。この流体 圧モータは、好ましくは空気圧シリンダーを有する。 また、本発明は、ベース本体内に一体的に設けられた流体圧モータにより駆動 される拡張体にまで広げている。 本発明の一実施の形態は、径方向内方に向かい、ピンのフランジの上方に所定 間隔を有して設けられた舌状の突出部がグリップ爪の支持片に設けられているこ とを特徴とする。 この舌状の突出部は、本発明に係わるグリッパーがベース本体の爪を上方に向 くようにアラインメントされたときに、爪により支持されるディスク形状物品の ための載置部として使用されている。 本発明に係わるグリッパーの一実施の形態において、グリップ爪を付勢する弾 性手段は、ガイド棒の回りに配設され、一端がガイドスリーブの内端と当接し、 他端が外方に向いたガイド体の面と当接した圧縮コイルばねとして設けられてい る。この方法で、爪は、互いに独立して径方向内方に付勢されている。しかし、 幾つかの個々の圧縮コイルばねの代わりに、ガイド棒の内端でガイド体の回りで 爪を径方向内方に同様に付勢するように作用する。ゴムバンドもしくは環状コイ ルばねからなるリング形状の弾性部材を使用することが可能である。 本発明の他の詳述及び態様は、添付図面を参照した本発明の実施の形態の以下 の説明で明らかになる。 図１は、図１の左半分では爪が径方向内方にシフトされ、また右側では図１に 示す爪は拡張手段により径方向外方に押圧されている、軸に沿って断面したグリ ッパーを示す。 図２は、上部を取除いた本発明に係わるグリッパーの上面 図である。 図３は、グリップ爪の変形例を詳細に示す図である。 図示された本発明に係わるグリッパーはベース本体１を有する。この本体は、 図示する実施の形態では丸い外形を有し、これの６つのグリップ爪２は、図示す る実施の形態ではベース本体１に対して内方並びに外方に径方向に移動され得る 。 前記ベース本体１は、ほぼ円筒状の周壁３と、カバー部分 請求の範囲 １．ベース本体（１）と、このベース本体（１）に対して径方向内方並びに外 方に移動するように案内され、ディスク形状物品の外周面と当接され得る複数の グリップ爪（２）と、これらグリップ爪を径方向内方に付勢する弾性手段と、こ の弾性手段の付勢力に抗してグリップ爪（２）を外方に移動させるための拡張手 段（２０）とを備え、グリップ爪（２）は、ベース本体（１）に挿入されたガイ ドスリーブ（７）内で移動するように案内されるガイド棒（８）に装着された装 着体（１）に取着されている、少なくとも不正確な円形外周面を有するディスク 形状物品のためのグリッパーにおいて、前記ベース本体（１）内のガイド溝（１ ３）中で案内され、拡張手段（２０）と対応するガイド体（１２）が前記ガイド 棒（８）の内端に装着されており、また、前記拡張手段（２０）は、グリップ爪 （２）の移動方向に直交する方向にベース本体（１）内で移動可能でありガイド 体（１２）と相互作用する円錐拡張体（２１）を有し、そして、前記グリップ爪 （２）を付勢する弾性手段は、ガイド棒（８）の回りに配設され、一端がガイド スリーブ（７）の内端と当接し、他端が外方に向いたガイド体（１２）の面（１ ７）と当接した圧縮コイルばねを有することを特徴とするグリッパー。 ２．前記ベース本体（１）の外に位置するガイド棒（８）の部分は、保護ベロ ーズ（６０）内に収容されていることを特徴とする請求項１のグリッパー。 ３．前記グリップ爪（２）は、自由端に径方向に突出したフランジ（１１）を 備えたピン（１０）を有し、各フランジ（１１）は、外方から内方に向かって上 方に傾斜した上境界面（１１′）を有することを特徴とする請求項１もしくは２ のグリッパー。 ４．前記ピン（１０）のフランジ（１１）上方には突出リング（４０）が設け られていることを特徴とする請求項３のグリッパー。 ５．前記突出リング（４０）は、２つの円錐面（４９′，４０″）により境を なしていることを特徴とする請求項４のグリッパー。 ６．前記拡張体（２１）の円錐凸面（２２）は、ガイド棒（８）もしくはガイ ド体（１２）の径方向内端に回転可能に支持されたローラ（１８）と接触される ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１のグリッパー。 ７．外方に最大に調節されたグリップ爪（２）に対応した拡張体（２１）の端 部は、ベース本体（１，５）と当接した前傾斜端により設定されていることを特 徴とする請求項１ないし８のいずれか１のグリッパー。 ８．前記拡張体（２１）は、ベース本体（１）内に一体的に設けられた流体圧 モータ（２４）により駆動されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか １のグリッパー。 ９．グリップ爪（２）の支持片（９）には、径方向内方に向かい、ピン（１０ ）のフランジ（１１）の上方に所定間隔を有して設けられた舌状の突出部（３０ ）が設けられている ことを特徴とする請求項３ないし８のいずれか１のグリッパー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ベース本体（１）と、このベース本体に対して調節可能な複数のグリップ 爪（２）と、これらグリップ爪（２）を付勢する弾性手段とを備えた、少なくと も不正確な円形外周面を有するディスク形状物品のためのグリッパーにおいて、 前記グリップ爪（２）はベース本体（１）に対して径方向内方並びに外方に移動 するようにベース本体（１）案内されており、また、拡張手段（２０）が、前記 弾性手段の付勢力に抗してグリップ爪（２）を外方に移動させるように設けられ ていることを特徴とするグリッパー。 ２．前記グリップ爪（２）は、ベース本体（１）内に挿入されたガイドスリー ブ（７）内を通るガイド棒８を介して移動するように案内される装着体（９）に 取着されていることを特徴とする請求項１のグリッパー。 ３．前記ベース本体（１）の外に位置するガイド棒（８）の部分は、保護ベロ ーズ（６０）内に収容されていることを特徴とする請求項２のグリッパー。 ４．前記グリップ爪（２）は、自由端に径方向に突出したフランジ（１１）を 備えたピン（１０）を有し、各フランジ（１１）は、外方から内方に向かって上 方に傾斜した上境界面（１１′）を有することを特徴とする請求項１ないし３の いずれか１のグリッパー。 ５．前記ピン（１０）のフランジ（１１）上方には突出リング（４０）が設け られていることを特徴とする請求項４の グリッパー。 ６．前記突出リング（４０）は、２つの円錐面（４９′，４０″）により境を なしていることを特徴とする請求項５のグリッパー。 ７．ベース本体（１）中のガイド溝（１３）内で案内され、拡張手段（２０） に対向したガイド体（１２）は、夫々ガイド棒（８）の内端に装着されているこ とを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１のグリッパー。 ８．前記拡張手段（２０）は、グリップ爪（２）の移動方向に対して直交する 方向にベース本体（１）内で移動可能で、ガイド棒（８）もしくはガイド体（１ ２）の径方向内端と相互作用が可能な円錐拡張体（２１）を有することを特徴と する請求項１ないし７のいずれか１のグリッパー。 ９．前記拡張体（２１）の円錐凸面（２２）は、ガイド棒（８）もしくはガイ ド体（１２）の径方向内端に回転可能に支持されたローラ（１８）と接触される ことを特徴とする請求項８のグリッパー。 １０．外方に最大に調節されたグリップ爪（２）に対応した拡張体（２１）の 端部は、ベース本体（１，５）と当接した前傾斜端により設定されていることを 特徴とする請求項８もしくは９のグリッパー。 １１．前記拡張体（２１）は、ベース本体（１）内に一体的に設けられた流体 圧モータ（２４）により駆動されることを特徴とする請求項８ないし１０のいず れか１のグリッパー。 １２．グリップ爪（２）のピン（１０）のためのガイド棒 ８の外端に設けられた支持片（９）には、径方向内方に向かい、ピン（１０）の フランジ（１１）の上方に所定間隔を有して設けられた舌状の突出部（３０）が 設けられていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１のグリッパー 。 １３．前記グリップ爪（２）を付勢する弾性手段は、ガイド棒（８）の回りに 配設され、一端がガイドスリーブ（７）の内端と当接し、他端が外方に向いたガ イド体（１２）の面（１７）と当接した圧縮コイルばねであることを特徴とする 請求項１ないし１２のいずれか１のグリッパー。