JPH09183663A - プラスチックフィルムにSiO2系セラミックスを被覆する方法 - Google Patents
プラスチックフィルムにSiO2系セラミックスを被覆する方法Info
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- JPH09183663A JPH09183663A JP7341601A JP34160195A JPH09183663A JP H09183663 A JPH09183663 A JP H09183663A JP 7341601 A JP7341601 A JP 7341601A JP 34160195 A JP34160195 A JP 34160195A JP H09183663 A JPH09183663 A JP H09183663A
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Abstract
クスを被覆する方法を改良すること。 【解決手段】 プラスチックフィルムの少なくとも片面
に特定のポリシラザン又はその変性物を塗布した後、該
ポリシラザンをセラミックス化することにより該プラス
チックフィルムにSiO2 系セラミックスを被覆する方
法であって、前記ポリシラザン又はその変性物を塗布す
る前又は塗布した後に前記ポリシラザン又はその変性物
にアミン化合物及び/又は酸化合物を接触させることを
特徴とするプラスチックフィルムにSiO2 系セラミッ
クスを被覆する方法。
Description
ルムにポリシラザン由来のSiO2 系セラミックスを被
覆する方法に関する。
をプラスチックフィルム表面に被覆することにより、透
明性を損なうことなくプラスチックフィルムにガスバリ
ヤ性、硬さ、耐熱性を付与する表面被覆方法が開発され
ている。例えば、本出願人による特開平7−22386
7号公報に、特定のポリシラザンを含むコーティング組
成物を塗布し、熱処理した後、水蒸気雰囲気にさらす工
程及び/又は酸触媒若しくは塩基触媒含有水溶液に浸漬
する工程を施すことにより、150℃以下という低温で
プラスチックフィルムにSiO2 系セラミックスを被覆
する方法が開示されている。同じく本出願人による特願
平6−236881号明細書に、基板上にポリシラザン
の膜を形成した後、珪酸エステル水溶液を接触させるこ
とにより、常温でもSiO2 系セラミックスを被覆でき
る方法が開示されている。
ス被覆フィルムの工業生産を目的とした方法として、本
出願人による特願平7−76306号明細書に、被覆さ
れる長尺フィルムを搬送しながらポリシラザンのセラミ
ックス化処理を施すことを特徴とするSiO2 系セラミ
ックス被覆フィルムの製造方法が開示されている。同様
に、同じく本出願人による特願平7−59259号明細
書には、長尺プラスチックフィルムの少なくとも片面に
ポリシラザンの塗膜を形成した後、該塗膜を有するフィ
ルムをセパレータシートと共に巻き取り、この巻取体に
セラミックス化処理を施すことを特徴とするSiO2 系
セラミックス被覆フィルムの製造方法が開示されてい
る。
06号明細書の方法では、セラミックス化工程にかかる
時間がポリシラザン塗布工程に比べて相当に長いため、
特に長尺のSiO2 系セラミックス被覆フィルムをポリ
シラザン塗布工程からセラミックス化工程にかけて一貫
して効率的に連続処理することが困難である。また、上
記特願平7−59259号明細書の方法では、プラスチ
ックフィルムを巻取体のままバッチでセラミックス化す
るため、セパレータシートを要するなど、必要な装置が
複雑となる。
セラミックス化(シリカ転化)をさらに迅速化、低温化
且つ容易化することによって、セラミックス化工程にか
かる時間を短縮しポリシラザン塗布工程後に連続的に長
尺フィルムをセラミックス化工程へ搬送してセラミック
ス化処理をすること、高温に必要な装置を不要にするこ
と、その他装置を簡素化、さらには不要にすることを実
現することにある。
の及びその他の目的は、 (1)プラスチックフィルムの少なくとも片面に下記一
般式(I):
れ独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロ
アルキル基、アリール基、またはこれらの基以外でケイ
素に直結する基が炭素である基、アルキルシリル基、ア
ルキルアミノ基、アルコキシ基を表わすが、但し、
R1 、R2 及びR3 の少なくとも1つは水素原子であ
る)で表わされる構造単位からなる主骨格を有する数平
均分子量100〜5万のポリシラザン又はその変性物を
塗布した後、該ポリシラザンをセラミックス化すること
により該プラスチックフィルムにSiO2 系セラミック
スを被覆する方法であって、前記ポリシラザン又はその
変性物を塗布する前又は塗布した後に前記ポリシラザン
又はその変性物にアミン化合物及び/又は酸化合物を接
触させることを特徴とするプラスチックフィルムにSi
O2 系セラミックスを被覆する方法によって達成され
る。
る。 (2)前記接触が、前記ポリシラザン又はその変性物を
塗布する前に前記ポリシラザン又はその変性物に前記ア
ミン化合物及び/又は酸化合物を添加することにより行
われ、そして塗布後の前記ポリシラザン又はその変性物
を水蒸気雰囲気に暴露することによりセラミックス化が
行われることを特徴とする、(1)項に記載の方法。 (3)前記接触が、前記ポリシラザン又はその変性物を
塗布した後に、前記ポリシラザン又はその変性物を、前
記アミン化合物及び/又は酸化合物を含む水溶液から発
生させた蒸気に暴露することにより行われることを特徴
とする、(1)項に記載の方法。 (4)前記接触が、前記ポリシラザン又はその変性物を
塗布した後に、前記ポリシラザン又はその変性物を、前
記アミン化合物及び/又は酸化合物及び/又は水をそれ
ぞれ独立に気化して発生させた蒸気に暴露することによ
り行われることを特徴とする、(1)項に記載の方法。
その変性物を塗布した後に、前記ポリシラザン又はその
変性物を、前記アミン化合物及び/又は酸化合物を含む
水溶液に浸漬することにより行われることを特徴とす
る、(1)項に記載の方法。 (6)前記暴露又は浸漬後、さらに前記ポリシラザン又
はその変性物を水、酸水溶液又はアルカリ水溶液に浸漬
することを特徴とする、(3)項、(4)項又は(5)
項に記載の方法。
リシラザン又はその変性物を大気中に放置することを特
徴とする、(3)項、(4)項又は(5)項に記載の方
法。 (8)前記プラスチックフィルムが長尺フィルムであ
り、前記ポリシラザン又はその変性物を塗布する工程か
ら前記ポリシラザン又はその変性物をセラミックス化す
る工程にかけて前記長尺フィルムを搬送しながら連続処
理することを特徴とする、(1)〜(7)項のいずれか
一項に記載の方法。
記載の方法で製造されたSiO2 被覆プラスチックフィ
ルム。 (10)SiO2 被膜が窒素を原子百分率で0.005
〜5%含有することを特徴とする、(9)項に記載のS
iO2 被覆プラスチックフィルム。 (11)さらにアミンを含有することを特徴とする、
(10)項に記載のSiO2 被覆プラスチックフィル
ム。
ポリシラザン又はその変性物を塗布する前又は塗布した
後に該ポリシラザン又はその変性物にアミン化合物及び
/又は酸化合物を接触させることによって、より迅速且
つ低温でポリシラザンがセラミックス化する。これによ
り、長尺のSiO2 系セラミックス被覆フィルムをポリ
シラザン塗布工程からセラミックス化工程にかけて一貫
した連続工程によって製造することができる、高温に必
要な装置が不要になる、その他装置が簡素化される、
等、SiO2 系セラミックス被覆フィルムの生産効率が
改善される。
発明で用いるポリシラザンは、分子内に少なくともSi
−H結合又はN−H結合を有するポリシラザンであれば
よく、ポリシラザン単独は勿論のこと、ポリシラザンと
他のポリマーとの共重合体やポリシラザンと他の化合物
との混合物でも利用できる。用いるポリシラザンには、
鎖状、環状又は架橋構造を有するもの、あるいは分子内
にこれら複数の構造を同時に有するものがあり、これら
単独でもあるいは混合物でも利用できる。
のようなものがあるが、これらに限定されるものではな
い。得られる膜の硬度や緻密性の点からはペルヒドロポ
リシラザンが好ましく、可撓性の点ではオルガノポリシ
ラザンが好ましい。これらポリシラザンの選択は、当業
者であれば用途に合わせて適宜行うことができる。
水素原子を有するものは、ペルヒドロポリシラザンであ
り、その製造法は、例えば特公昭63−16325号公
報、D. Seyferth らCommunication of Am. Cer. Soc.,
C-13, January 1983. に報告されている。これらの方法
で得られるものは、種々の構造を有するポリマーの混合
物であるが、基本的には分子内に鎖状部分と環状部分を
含み、
ロポリシラザンの構造の一例を以下に示す。
R3 にメチル基を有するポリシラザンの製造方法は、D.
Seyferth らPolym. Prepr., Am. Chem. Soc., Div. Po
lym.Chem., 25, 10(1984)に報告されている。この方
法により得られるポリシラザンは、繰り返し単位が−
(SiH2 NCH3 )−の鎖状ポリマーと環状ポリマー
であり、いずれも架橋構造をもたない。一般式(I)で
R1 及びR3 に水素原子、R2 に有機基を有するポリオ
ルガノ(ヒドロ)シラザンの製造法は、D. Seyferth ら
Polym. Prepr., Am. Chem. Soc., Div. Polym. Chem.,
25, 10(1984)、特開昭61−89230号公報、同6
2−156135号公報に報告されている。これらの方
法により得られるポリシラザンには、−(R2 SiHN
H)−を繰り返し単位として、主として重合度が3〜5
の環状構造を有するものや(R3 SiHNH)X 〔(R
2 SiH)1.5 N〕1-X (0.4<x<1)の化学式で
示される分子内に鎖状構造と環状構造を同時に有するも
のがある。
R3 に有機基を有するポリシラザン、またR1 及びR2
に有機基、R3 に水素原子を有するものは、−(R1 R
2 SiNR3 )−を繰り返し単位として、主に重合度が
3〜5の環状構造を有している。用いるポリシラザン
は、上記一般式(I)で表わされる単位からなる主骨格
を有するが、一般式(I)で表わされる単位は、上記に
も明らかなように環状化することがあり、その場合には
その環状部分が末端基となり、このような環状化がされ
ない場合には、主骨格の末端はR1 、R2 、R3 と同様
の基又は水素であることができる。
は、D. Seyferth らCommunication ofAm. Cer. Soc., C
-132, July 1984. が報告されている様な分子内に架橋
構造を有するものもある。一例を下記に示す。
告されている様なR1 SiX3 (X:ハロゲン)のアン
モニア分解によって得られる架橋構造を有するポリシラ
ザン(R1 Si(NH)X )、あるいはR1 SiX3 及
びR2 2SiX2 の共アンモニア分解によって得られる下
記の構造を有するポリシラザンも出発材料として用いる
ことができる。
下記の構造(式中、側鎖の金属原子であるMは架橋をな
していてもよい)のように金属原子を含むポリメタロシ
ラザンも出発材料として用いることができる。
に報告されているような繰り返し単位が〔(SiH2 )
n (NH)m 〕及び〔(SiH2 )r O〕(これら式
中、n、m、rはそれぞれ1、2又は3である)で表さ
れるポリシロキサザン、特開平2−84437号公報に
報告されているようなポリシラザンにボロン化合物を反
応させて製造する耐熱性に優れたポリボロシラザン、特
開昭63−81122号、同63−191832号、特
開平2−77427号公報に報告されているようなポリ
シラザンとメタルアルコキシドとを反応させて製造する
ポリメタロシラザン、特開平1−138108号、同1
−138107号、同1−203429号、同1−20
3430号、同4−63833号、同3−320167
号公報に報告されているような分子量を増加させたり
(上記公報の前4者)、耐加水分解性を向上させた(後
2者)、無機シラザン高重合体や改質ポリシラザン、特
開平2−175726号、同5−86200号、同5−
331293号、同3−31326号公報に報告されて
いるようなポリシラザンに有機成分を導入した厚膜化に
有利な共重合ポリシラザン、特開平5−238827
号、同6−122852号、同6−299188号、同
6−306329号、同6−240208号、同7−1
96986号公報に報告されているようなポリシラザン
にセラミックス化を促進するための触媒化合物を付加又
は添加したプラスチックやアルミニウムなどの金属への
施工が可能で、より低温でセラミックス化する低温セラ
ミックス化ポリシラザンなども同様に使用できる。
ミックス化ポリシラザンを使用することができる。例え
ば、本願出願人による特開平5−238827号公報に
記載されているケイ素アルコキシド付加ポリシラザンが
挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式
(I)で表されるポリシラザンと、下記一般式(II): Si(OR4 )4 (II) (式中、R4 は、同一でも異なっていてもよく、水素原
子、炭素原子数1〜20個を有するアルキル基またはア
リール基を表し、少なくとも1個のR4 は上記アルキル
基またはアリール基である)で表されるケイ素アルコキ
シドを加熱反応させて得られる、アルコキシド由来ケイ
素/ポリシラザン由来ケイ素原子比が0.001〜3の
範囲内かつ数平均分子量が約200〜50万のケイ素ア
ルコキシド付加ポリシラザンである。上記R4 は、炭素
原子数1〜10個を有するアルキル基がより好ましく、
また炭素原子数1〜4個を有するアルキル基が最も好ま
しい。また、アルコキシド由来ケイ素/ポリシラザン由
来ケイ素原子比は0.05〜2.5の範囲内にあること
が好ましい。ケイ素アルコキシド付加ポリシラザンの調
製については、上記特開平5−238827号公報を参
照されたい。
として、本出願人による特開平6−122852号公報
に記載されているグリシドール付加ポリシラザンが挙げ
られる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で
表されるポリシラザンとグリシドールを反応させて得ら
れる、グリシドール/ポリシラザン重量比が0.001
〜2の範囲内かつ数平均分子量が約200〜50万のグ
リシドール付加ポリシラザンである。グリシドール/ポ
リシラザン重量比は0.01〜1であることが好まし
く、さらには0.05〜0.5であることがより好まし
い。グリシドール付加ポリシラザンの調製については、
上記特開平6−122852号公報を参照されたい。
として、本願出願人による特開平6−240208号公
報に記載されているアルコール付加ポリシラザンが挙げ
られる。この変性ポリシラザンは、前記一般式(I)で
表されるポリシラザンとアルコールを反応させて得られ
る、アルコール/ポリシラザン重量比が0.001〜2
の範囲内かつ数平均分子量が約100〜50万のアルコ
ール付加ポリシラザンである。上記アルコールは、沸点
110℃以上のアルコール、例えばブタノール、ヘキサ
ノール、オクタノール、ノナノール、メトキシエタノー
ル、エトキシエタノール、フルフリルアルコールである
ことが好ましい。また、アルコール/ポリシラザン重量
比は0.01〜1であることが好ましく、さらには0.
05〜0.5であることがより好ましい。アルコール付
加ポリシラザンの調製については、上記特開平6−24
0208号公報を参照されたい。
の例として、本願出願人による特開平6−299118
号公報に記載されている金属カルボン酸塩付加ポリシラ
ザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般
式(I)で表されるポリシラザンと、ニッケル、チタ
ン、白金、ロジウム、コバルト、鉄、ルテニウム、オス
ミウム、パラジウム、イリジウム、アルミニウムの群か
ら選択される少なくとも1種の金属を含む金属カルボン
酸塩を反応させて得られる、金属カルボン酸塩/ポリシ
ラザン重量比が0.000001〜2の範囲内かつ数平
均分子量が約200〜50万の金属カルボン酸塩付加ポ
リシラザンである。上記金属カルボン酸塩は、式(RC
OO)n M〔式中、Rは炭素原子数1〜22個の脂肪族
基又は脂環式基であり、Mは上記金属群から選択される
少なくとも1種の金属を表し、そしてnは金属Mの原子
価である〕で表される化合物である。上記金属カルボン
酸塩は無水物であっても水和物であってもよい。また、
金属カルボン酸塩/ポリシラザン重量比は好ましくは
0.001〜1、より好ましくは0.01〜0.5であ
る。金属カルボン酸塩付加ポリシラザンの調製について
は、上記特開平6−299118号公報を参照された
い。
別の例として、本願出願人による特開平6−30632
9号公報に記載されているアセチルアセトナト錯体付加
ポリシラザンが挙げられる。この変性ポリシラザンは、
前記一般式(I)で表されるポリシラザンと、金属とし
てニッケル、白金、パラジウム又はアルミニウムを含む
アセチルアセトナト錯体を反応させて得られる、アセチ
ルアセトナト錯体/ポリシラザン重量比が0.0000
01〜2の範囲内かつ数平均分子量が約200〜50万
のアセチルアセトナト錯体付加ポリシラザンである。上
記の金属を含むアセチルアセトナト錯体は、アセチルア
セトン(2,4−ペンタジオン)から酸解離により生じ
た陰イオンacac- が金属原子に配位した錯体であ
り、一般に式(CH3 COCHCOCH3 )n M〔式
中、Mはn価の金属を表す〕で表される。アセチルアセ
トナト錯体/ポリシラザン重量比は、好ましくは0.0
01〜1、より好ましくは0.01〜0.5である。ア
セチルアセトナト錯体付加ポリシラザンの調製について
は、上記特開平6−306329号公報を参照された
い。
の例として、本願出願人による特開平7−196986
号公報に記載されている金属微粒子添加ポリシラザンが
挙げられる。この変性ポリシラザンは、前記一般式
(I)で表されるポリシラザンを主成分とするコーティ
ング溶液に、Au、Ag、Pd、Niをはじめとする金
属の微粒子を添加して得られる変性ポリシラザンであ
る。好ましい金属はAgである。金属微粒子の粒径は
0.5μmより小さいことが好ましく、0.1μm以下
がより好ましく、さらには0.05μmより小さいこと
が好ましい。特に、粒径0.005〜0.01μmの独
立分散超微粒子を高沸点アルコールに分散させたものが
好ましい。金属微粒子の添加量は、ポリシラザン100
重量部に対して0.01〜10重量部、好ましくは0.
05〜5重量部である。金属微粒子添加ポリシラザンの
調製については、上記特開平7−196986号公報を
参照されたい。
ラザン又はその変性物をプラスチックフィルムの少なく
とも片面に塗布し、ポリシラザンの膜を形成させる工程
を含む。このポリシラザンの膜形成は、通常はポリシラ
ザンを溶剤に溶解させてコーティング用組成物を調製す
ることによって行われる。
化水素、芳香族炭化水素の炭化水素溶剤、ハロゲン化メ
タン、ハロゲン化エタン、ハロゲン化ベンゼン等のハロ
ゲン化炭化水素、脂肪族エーテル、脂環式エーテル等の
エーテル類を使用することができる。好ましい溶剤は、
塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、ブロモホル
ム、塩化エチレン、塩化エチリデン、トリクロロエタ
ン、テトラクロロエタン等のハロゲン化炭化水素、エチ
ルエーテル、イソプロピルエーテル、エチルブチルエー
テル、ブチルエーテル、1,2−ジオキシエタン、ジオ
キサン、ジメチルジオキサン、テトラヒドロフラン、テ
トラヒドロピラン等のエーテル類、ペンタンヘキサン、
イソヘキサン、メチルペンタン、ヘプタン、イソヘプタ
ン、オクタン、イソオクタン、シクロペンタン、メチル
シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサ
ン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、
エチルシクロヘキサン、シクロヘキセン、p−メンタ
ン、リモネン、デカリン、テトラリン、フェニルシクロ
ヘキサン、シクロヘキサン、ノナン、デカン、n−ヘキ
サン、ペンタン、ジメチルジエトキシシラン、メチルト
リエトキシシラン、等の炭化水素等である。これらの溶
剤を使用する場合、低温セラミックス化ポリシラザンの
溶解度や溶剤の蒸発速度を調節するために、2種類以上
の溶剤を混合してもよい。
ング方法により作業性がよくなるように選択され、また
用いる低温セラミックス化ポリシラザンの平均分子量、
分子量分布、その構造によって異なるので、適宜、自由
に混合することができる。好ましくは固形分濃度で1〜
50重量%の範囲で混合することができる。
いて、必要に応じて適当な充填剤及び/又は増量剤を加
えることができる。充填剤の例としてはシリカ、アルミ
ナ、ジルコニア、マイカを始めとする酸化物系無機物あ
るいは炭化珪素、窒化珪素等の非酸化物系無機物の微粉
等が挙げられる。また用途によってはアルミニウム、亜
鉛、銅等の金属粉末の添加も可能である。さらに充填剤
の例を詳しく述べれば、シリカゾル、ジルコニアゾル、
アルミナゾル、チタニアゾル等のゾル:ケイ砂、石英、
ノバキュライト、ケイ藻土等のシリカ系:合成無定形シ
リカ:カオリナイト、雲母、滑石、ウオラストナイト、
アスベスト、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム等
のケイ酸塩:ガラス粉末、ガラス球、中空ガラス球、ガ
ラスフレーク、泡ガラス球等のガラス体:窒化ホウ素、
炭化ホウ素、窒化アルミニウム、炭化アルミニウム、窒
化ケイ素、炭化ケイ素、ホウ化チタン、窒化チタン、炭
化チタン等の非酸化物系無機物:炭酸カルシウム:酸化
亜鉛、アルミナ、マグネシア、酸化チタン、酸化ベリリ
ウム等の金属酸化物:硫酸バリウム、二硫化モリブデ
ン、二硫化タングステン、弗化炭素その他無機物:アル
ミニウム、ブロンズ、鉛、ステンレススチール、亜鉛等
の金属粉末:カーボンブラック、コークス、黒鉛、熱分
解炭素、中空カーボン球等のカーボン体等があげられ
る。好ましい充填剤は、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化ア
ルミニウム、酸化ジルコニウムなどの酸化物系無機物の
超微粒子及びシリカゾルである。
む。)、粒状、鱗片状等種々の形状のものを単独又は2
種以上混合して用いることができる。又、これら充填剤
の粒子の大きさは1回に適用可能な膜厚よりも小さいこ
とが望ましい。また充填剤の添加量は低温セラミックス
化ポリシラザン1重量部に対し、0.05重量部〜10
重量部の範囲であり、特に好ましい添加量は0.2重量
部〜3重量部の範囲てある。
各種顔料、レベリング剤、消泡剤、帯電防止剤、紫外線
吸収剤、pH調整剤、分散剤、表面改質剤、可塑剤、乾燥
促進剤、流れ止め剤を加えてもよい。紫外線吸収剤とし
ては酸化亜鉛、酸化チタン、等が好ましい。
は、種々のプラスチック材料が包含される。耐熱性、耐
溶剤性の観点から好ましい材料として、ポリエチレンテ
レフタレート(PET)、ポリイミド(PI;例えば、
商品名カプトンで市販されているピロメリット酸無水物
とジアミノジフェニルエーテルとの重縮合生成物)、ポ
リカーボネート(PC)、二軸延伸ポリプロピレン(O
PP)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリエ
チレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン
(PES)、ポリエーテルイミド(PEI)、ポリエー
テルエーテルケトン(PEEK)、ポリアリレート(P
AR)、ポリスチレン、ポリアミド(ナイロン(商
標))、ポリアミドイミド、ポリ塩化ビニル、ポリエス
テル系樹脂(例、ロンザ社製、ISARYL(登録商
標))、アクリル系樹脂、ポリノルボルネン系樹脂(日
本合成ゴム株式会社製、ARTON(登録商標))、ゼ
オネックス(日本ゼオン株式会社製、登録商標)、セル
ロースアセテート、等の人造樹脂フィルムなどのフィル
ム状物もしくはシート状物又はこれらの複合フィルム状
物もしくは複合シート状物、二軸延伸パラ系アラミドフ
ィルム、ノルボルネン系ポリオレフィンフィルム、支持
体付き極薄フィルム、等が挙げられる。プラスチックフ
ィルムの面積や厚さには特に制限はなく、用途に応じた
任意の面積及び厚さのフィルムを使用することができ
る。さらにまた、これらのフィルム又はシートを2種以
上積層した複層フィルムであってもよい。
放電処理、シランカップリング剤の塗布、等の前処理を
施すこともできる。本発明によると、上記のようなコー
ティング用組成物を上記のようなプラスチックフィルム
の少なくとも片面に塗布することによってポリシラザン
の膜を形成する。塗布方法は、通常実施されているプラ
スチックフィルムへの塗布方法、すなわち浸漬塗布、ロ
ール塗布、バー塗布、ウェブ塗布(グラビア、キス、キ
スメイヤバー、ダイ、フレキソ、等)、刷毛塗り、スプ
レー塗布、回転塗布、流し塗り等が用いられる。好まし
い適用方法はグラビア(リバース)塗布法である。
O2 系セラミックスを被覆する方法は、前記のようなポ
リシラザン又はその変性物を塗布する前又は塗布した後
に、前記ポリシラザン又はその変性物にアミン化合物及
び/又は酸化合物を接触させる工程を含む。ここで用い
られるアミン化合物には、例えば下記一般式(III) で表
されるアミン化合物の他、ピリジン類やDBU、DBN
なども含まれ、また酸化合物には有機酸や無機酸が含ま
れる。
(III) で表されるものが挙げられる。 R4 R5 R6 N (III) 式中、R4 〜R6 は、それぞれ水素原子、アルキル基、
アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキ
ルシリル基、アルキルアミノ基又はアルコキシ基を表
す。アミン化合物の具体例として、メチルアミン、ジメ
チルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジプロ
ピルアミン、トリプロピルアミン、ブチルアミン、ジブ
チルアミン、トリブチルアミン、ペンチルアミン、ジペ
ンチルアミン、トリペンチルアミン、ヘキシルアミン、
ジヘキシルアミン、トリヘキシルアミン、ヘプチルアミ
ン、ジヘプチルアミン、トリヘプチルアミン、オクチル
アミン、ジオクチルアミン、トリオクチルアミン、フェ
ニルアミン、ジフェニルアミン、トリフェニルアミン、
等が挙げられる。なお、これらアミン化合物に含まれる
炭化水素鎖は、直鎖であっても分枝鎖であってもよい。
特に好ましいアミン化合物は、トリエチルアミン、トリ
ペンチルアミン、トリブチルアミン、トリヘキシルアミ
ン、トリヘプチルアミン及びトリオクチルアミンであ
る。
−ピコリン、β−ピコリン、γ−ピコリン、ピペリジ
ン、ルチジン、ピリミジン、ピリダジン、等が挙げられ
る。さらに、DBU(1,8−ジアザビシクロ〔5.
4.0〕−7−ウンデセン)、DBN(1,5−ジアザ
ビシクロ〔4.3.0〕−5−ノネン)、等も使用する
ことができる。一方、酸化合物の具体例としては、酢
酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、マレイン酸、ステア
リン酸、等の有機酸、塩酸、硝酸、硫酸、過酸化水素、
等の無機酸、等が挙げられる。特に好ましい酸化合物
は、プロピオン酸、塩酸及び過酸化水素である。
なポリシラザン又はその変性物を塗布する前に、上記の
ようなアミン化合物及び/又は酸化合物を添加すること
によってポリシラザンとアミン化合物及び/又は酸化合
物とを接触させることができる。アミン化合物のポリシ
ラザンに対する添加量は、ポリシラザン重量に対して1
ppm以上であればよく、好ましくは100ppm〜1
00%である。尚、塩基性度(水溶液中でのpKb値)
及び沸点が高いアミン化合物ほど、セラミックス化を促
進する傾向がある。また、酸化合物のポリシラザンに対
する添加量は、ポリシラザン重量に対して0.1ppm
以上であればよく、好ましくは10ppm〜10%であ
る。この態様において特に好ましいアミン化合物はトリ
ペンチルアミンであり、また酸化合物はプロピオン酸で
ある。
ポリシラザン又はその変性物を水蒸気雰囲気に暴露する
ことによりポリシラザン又はその変性物をセラミックス
化させる。この接触には、一般に加湿炉やスチームが用
いられる。具体的には、塗布中に溶剤乾燥ゾーンにスチ
ームを導入し、その中(温度50〜100℃、相対湿度
50〜100%RH)を通過させる方法や、別に設けた
加湿炉(温度50〜100℃、相対湿度50〜100%
RH)の中を滞留時間10〜60分で通過させる方法
や、塗布後の溶剤乾燥時に通過したスチームを導入した
溶剤乾燥ゾーン(温度50〜100℃、相対湿度50〜
100%RH)を滞留時間10〜60分で再度通過させ
る方法が考えられる。低温の場合には、単に水蒸気を含
む容器内で処理しても、また大気中で処理することもで
きる。水蒸気と接触させる温度範囲は室温(約20℃)
からプラスチックフィルム基材の耐熱温度までの範囲と
することができる。また、接触における湿度範囲は約
0.1%RH〜100%RHとすることができる。
なポリシラザン又はその変性物を塗布した後に、上記の
ようなアミン化合物及び/又は酸化合物を含む水溶液か
ら発生させた蒸気に暴露することによってポリシラザン
とアミン化合物及び/又は酸化合物とを接触させること
ができる。アミン化合物は水に可溶であるものが好まし
く、その水溶液中濃度は100ppm以上の範囲で任意
に選択することができる。また、酸化合物の水溶液中濃
度は、0.1ppm以上であればよく、好ましくは10
ppm〜10%である。この態様において特に好ましい
アミン化合物はトリエチルアミンである。蒸気を発生さ
せるための温度は室温で十分であるが、0℃〜水溶液沸
点の範囲で任意に選択することができる。尚、この第二
の態様の別法として、アミン化合物及び/又は酸化合物
を含む水溶液ではなく、アミン化合物及び/又は酸化合
物及び/又は水をそれぞれ独立に気化させて、それ又は
それらの蒸気をポリシラザン被膜表面に接触させてもよ
い。
気発生装置で発生させたアミン化合物の蒸気をキャリヤ
ガス(例、窒素ガス)で運搬して乾燥ゾーンへ導入する
ことができる。もちろん、酸化合物を同様にして乾燥ゾ
ーンへ導入することは可能であるが、一般には付帯設備
に耐酸腐食処理を施す必要がでてくる。アミン化合物蒸
気の発生方法としては、上記したようなアミン化合物の
水溶液中に窒素ガスなどの不活性なキャリヤガスを吹き
込んでバブリングさせる方法が有利である。蒸気発生装
置は常温で維持してもよいし、また所望により40℃程
度に加熱することもできる。このように発生させた蒸気
は、キャリヤガスによって溶剤乾燥ゾーンへ運搬し、好
ましくは複数本の噴霧ノズルを介してポリシラザン塗膜
へ吹き付けることができる。噴霧のための圧力は、噴霧
ノズルの出口径などにもよるが、一般には蒸気発生装置
内の圧力が約9.8×104 〜約2.0×105 Pa
(約1〜約2kgf/cm2 )になるように該装置内へ
のキャリヤガスの吹き込み圧力を調節すればよい。この
ように別の蒸気発生装置でアミン化合物蒸気を発生させ
てこれを乾燥ゾーンで噴霧する方式を採用することによ
り、アミン化合物蒸気及び水蒸気を安定に供給すること
ができる。さらに、窒素ガスなどの不活性ガスを使用し
てもポリシラザン塗膜の硬化に悪影響はなく、また、こ
のような不活性ガス雰囲気下ではアミン化合物による爆
発の危険性が減少するので安全対策面からも有利であ
る。
なポリシラザン又はその変性物を塗布した後に、上記の
ようなアミン化合物及び/又は酸化合物を含む水溶液に
浸漬することによってポリシラザンとアミン化合物及び
/又は酸化合物とを接触させることができる。アミン化
合物は水に可溶であるものが好ましく、その水溶液中濃
度は100ppm〜溶解度限界までの範囲で任意に選択
することができる。また、酸化合物の水溶液中濃度は、
0.1ppm以上であればよく、好ましくは10ppm
〜10%である。この態様において特に好ましいアミン
化合物はブチルアミンであり、また酸化合物は過酸化水
素水である。
応じて、処理後のポリシラザン塗布フィルムに水蒸気
雰囲気への暴露、水中への浸漬、酸化合物水溶液中
への浸漬、アルカリ化合物水溶液中への浸漬又は大
気中での放置、のいずれかの処理又はこれらの組合せを
施すことが好ましい。の水蒸気雰囲気への暴露は、上
記第一態様において記載した方法を採用すればよい。
又はの酸化合物又アルカリ化合物水溶液への浸漬は、
上記第三態様において記載した方法を採用すればよい。
但し、酸化合物には上記酸化合物の他、リン酸、等の無
機酸類;氷酢酸、酢酸、プロピオン酸、カプロン酸のよ
うな低級モノカルボン酸又はその無水物、シュウ酸、フ
マル酸、マレイン酸、コハク酸のような低級ジカルボン
酸又はその無水物、トリクロロ酢酸、等の有機酸類;過
塩素酸、塩酸、硝酸、硫酸、スルホン酸、パラトルエン
スルホン酸、三フッ化ホウ素及びその電子供与体との錯
体、等;SnCl4 、ZnCl2 、FeCl3 、AlC
l3 、SbCl3 、TiCl4 等のルイス酸及びその錯
体、等が含まれる。また、アルカリ化合物には上記アミ
ン化合物の他、水酸化ナトリウム、塩化アンモニウム、
水酸化カリウム、水酸化リチウム、ピリジン、アンモニ
ア、等が含まれる。
三態様の処理後のフィルムをセパレータシートと共に巻
き取ってロール体にすることが好ましい。このセパレー
タシートは、巻き取られたフィルム同士が接触しないよ
うにするためのシート状物であって、ポリシラザン塗布
フィルムの全面又は一部(例えば、塗布フィルムの両端
に各1本ずつ)に適用される不織布、サイドテープ、エ
ンボスフィルム、等を含む。サイドテープとしては、厚
さ12〜100μm、幅10〜30mm程度のものが好
ましく、また様々な材質の市販品を使用することができ
る。市販品の具体例として、片面又は両面にマット加工
が施されたPETフィルム〔東レ製ルミラーX−42〜
45、パナック製ルミマット〕、発泡PETフィルム
〔東洋紡績製クリスパー〕、Alを張り合わせた又は蒸
着させたPETフィルム〔パナック製アルペットフィル
ム〕、等が挙げられる。また、エンボスフィルムとはフ
ィルム両面にエンボス加工されたフィルムであって、フ
ィルム厚75〜150μm、エンボス(突起部)の高さ
1〜10mmのものを使用することが好ましい。さら
に、塗布幅よりも広いフィルム幅を有するエンボスフィ
ルムを使用することが好ましい。このようなエンボスフ
ィルムの市販品として、フィルム両面にエンボス加工さ
れたポリイミドフィルム〔大日化成工業製706410
H12又は706420H12〕が挙げられる。このセ
パレータシートを用いたポリシラザン塗布フィルムの巻
き取り方法については、本出願人による特願平7−59
259号明細書を参照されたい。放置処理条件は、室温
近傍(約10℃)〜60℃、好ましくは約25℃、相対
湿度10〜90%RH、好ましくは50〜70%RHに
おいて3〜24時間とすることが好ましい。いずれの方
法においても、ポリシラザン塗膜に紫外線を照射するこ
とによって塗膜のセラミックス化を加速することができ
る。
化合物及び/又は酸化合物含有水溶液から発生した蒸気
との接触処理、或いはアミン化合物及び/又は酸化合物
含有水溶液中での浸漬処理によって、ポリシラザン又は
その変性物に含まれるSi−N、Si−H、N−H結合
等は消失し、Si−O結合を主体とする強靱なセラミッ
クス膜がプラスチックフィルム表面に形成される。尚、
このSiO2 膜はポリシラザンに由来するため窒素を原
子百分率で0.005〜5%含有する。この窒素含有量
が5%よりも多い場合には膜のセラミックス化が不十分
となり所期の効果(例えばガスバリヤ性や耐磨耗性)が
得られない。一方、窒素含有量を0.005%よりも少
なくすることは困難である。また、アミン化合物を使用
した場合、SiO2 膜中にアミン化合物が含まれる場合
がある。これは、アミン化合物の種類やセラミックス化
の条件によって制御でき、アミンをまったく含まないS
iO2 膜を製造することは容易に可能である。
は、好ましくは50Å〜5μm、より好ましくは100
Å〜2μmの範囲である。膜厚が5μmよりも厚いと熱
処理時に割れが入ることが多く、更に可撓性が悪くな
り、折り曲げなどによる割れや剥離も生じ易くなる。反
対に、膜厚が50Åよりも薄いと所期の効果、例えば所
望のガスバリヤ性や耐磨耗性が得られない。この膜厚
は、コーティング用組成物の濃度を変更すること及び/
又はコーティング条件によって制御することができる。
すなわち、膜厚を増加したい場合にはコーティング用組
成物の固形分濃度を高くする(溶剤濃度を低くする)こ
とができ、またロールのメッシュを細かくすること、さ
らにコーティング用組成物を複数回適用することによっ
て膜厚をさらに増加させることもできる。
り行われている機能性フィラーの添加や、各種層を積層
させることが可能である。例えば、紫外線吸収機能を付
与するために紫外線吸収機能をもつZnO、TiO2 、
等の金属酸化物微粒子を添加したり、導電性を付与する
ために導電性微粒子を添加したり、屈曲性を付与するた
めに可撓性のある中間層を積層させる、等が可能であ
る。
クス化工程にかかる時間は従来に比べ著しく短縮される
ので、長尺のSiO2 被覆フィルムの生産効率が向上す
る。また、ウェブコートの場合、塗布工程とセラミック
ス化工程とを同時に行うことが可能である。さらに、よ
り低温で、又は大気中に放置するだけでセラミックス化
させることができるため、装置が簡素化される。
が、これらの実施例が本発明を限定するものではないこ
とを理解されたい。
カルスターラー、ジュワーコンデンサーを装着した。反
応器内部を脱酸素した乾燥窒素で置換した後、四つ口フ
ラスコに脱気した乾燥ピリジン490mlを入れ、これ
を氷冷した。次いで、ジクロロシラン51.9gを加え
ると、白色固体状のアダクト(SiCl 2 ・2C6 H5
N)が生成した。反応混合物を氷冷し、攪拌しながら水
酸化ナトリウム管及び活性炭管を通して精製したアンモ
ニア51.0gを吹き込んだ後、100℃で加熱した。
反応終了後、反応混合物を遠心分離し、乾燥ピリジンを
用いて洗浄した後、さらに乾燥窒素雰囲気下で濾過して
濾液850mlを得た。濾液5mlから溶媒を減圧除去
すると、樹脂状固体ペルヒドロポリシラザン0.102
gが得られた。
点降下法(溶媒:乾燥ベンゼン)で測定したところ11
20であった。赤外吸収(IR)スペクトル(溶媒:乾
燥o−キシレン;ペルヒドロポリシラザン濃度10.2
g/l)は、波数(cm-1)3390及び1180のN
−Hに基づく吸収、2170のSi−Hに基づく吸収、
1040〜800のSi−N−Siに基づく吸収を示し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながら酢酸を5重量%になるよ
うに室温で徐々に添加した。この溶液を、厚さ75μ
m、幅60cm、総延長300mのポリエチレンテレフ
タレート(PET)フィルム基材を2m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、スチームを導入した溶剤乾燥
ゾーン(温度80℃、相対湿度70%RH、内部搬送距
離10m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポ
リシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾー
ンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度95
℃、相対湿度80%RHに維持された内部搬送距離60
mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送することによって、
ポリシラザン塗膜を30分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらプロピオン酸を5重量%
になるように室温で徐々に添加した。この溶液を、厚さ
75μm、幅60cm、総延長300mのポリエーテル
スルホン(PES)フィルム基材を2m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、スチームを導入した溶剤乾燥
ゾーン(温度80℃、相対湿度70%RH、内部搬送距
離10m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポ
リシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾー
ンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度95
℃、相対湿度80%RHに維持された内部搬送距離60
mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送することによって、
ポリシラザン塗膜を30分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらステアリン酸を5重量%
になるように室温で徐々に添加した。この溶液を、厚さ
75μm、幅60cm、総延長300mのポリアリレー
ト(PAr)フィルム基材を2m/分で搬送しながらグ
ラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片面に
塗布した。塗布後、スチームを導入した溶剤乾燥ゾーン
(温度80℃、相対湿度70%RH、内部搬送距離10
m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポリシラ
ザン塗膜を乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾーンを通
過したポリシラザン塗布フィルムを、温度95℃、相対
湿度80%RHに維持された内部搬送距離60mの加湿
炉内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラ
ザン塗膜を30分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらトリメチルアミンを25
重量%になるように室温で徐々に添加した。この溶液
を、厚さ80μm、幅60cm、総延長300mのトリ
アセテート(TAC)フィルム基材を2m/分で搬送し
ながらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)
で片面に塗布した。塗布後、スチームを導入した溶剤乾
燥ゾーン(温度80℃、相対湿度70%RH、内部搬送
距離10m)を上記搬送速度で通過させることにより、
ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾ
ーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを一旦巻き取
り、その後巻き出しながら再度上記乾燥ゾーンを搬送速
度1m/分で通過させることによって、ポリシラザン塗
膜を10分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらトリペンチルアミンを2
5重量%になるように室温で徐々に添加した。この溶液
を、厚さ75μm、幅60cm、総延長300mのPE
Tフィルム基材を2m/分で搬送しながらグラビア(リ
バース)コート法(ロール#80)で片面に塗布した。
塗布後、スチームを導入した溶剤乾燥ゾーン(温度80
℃、相対湿度70%RH、内部搬送距離10m)を上記
搬送速度で通過させることにより、ポリシラザン塗膜を
乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾーンを通過したポリ
シラザン塗布フィルムを一旦巻き取り、その後巻き出し
ながら再度上記乾燥ゾーンを搬送速度1m/分で通過さ
せることによって、ポリシラザン塗膜を10分間水蒸気
雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらn−オクチルアミンを2
5重量%になるように室温で徐々に添加した。この溶液
を、厚さ75μm、幅60cm、総延長300mのPE
Sフィルム基材を2m/分で搬送しながらグラビア(リ
バース)コート法(ロール#80)で片面に塗布した。
塗布後、スチームを導入した溶剤乾燥ゾーン(温度80
℃、相対湿度70%RH、内部搬送距離10m)を上記
搬送速度で通過させることにより、ポリシラザン塗膜を
乾燥した(滞留時間5分)。乾燥ゾーンを通過したポリ
シラザン塗布フィルムを一旦巻き取り、その後巻き出し
ながら再度上記乾燥ゾーンを搬送速度1m/分で通過さ
せることによって、ポリシラザン塗膜を10分間水蒸気
雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらプロピオン酸を1重量
%、ジ−n−ブチルアミンを10重量%になるようにそ
れぞれ室温で徐々に添加した。この溶液を、厚さ75μ
m、幅60cm、総延長300mのPESフィルム基材
を2m/分で搬送しながらグラビア(リバース)コート
法(ロール#80)で片面に塗布した。塗布後、スチー
ムを導入した溶剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度7
0%RH、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過
させることにより、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留
時間5分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フ
ィルムを一旦巻き取り、その後巻き出しながら再度上記
乾燥ゾーンを搬送速度1m/分で通過させることによっ
て、ポリシラザン塗膜を10分間水蒸気雰囲気に暴露し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPETフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で30%過酸化水素水を4
0℃に加熱して過酸化水素蒸気を発生させた溶剤乾燥ゾ
ーン(温度25℃、相対湿度60%RH、内部搬送距離
5m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポリシ
ラザン塗膜を乾燥すると共に過酸化水素蒸気に暴露した
(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザン
塗布フィルムを、温度95℃、相対湿度80%RHに維
持された内部搬送距離25mの加湿炉内を上記搬送速度
で搬送することによって、ポリシラザン塗膜を5分間水
蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で10%塩酸水溶液を室温
のまま塩化水素蒸気を発生させた溶剤乾燥ゾーン(温度
80℃、相対湿度40%RH、内部搬送距離5m)を上
記搬送速度で通過させることにより、ポリシラザン塗膜
を乾燥すると共に塩化水素蒸気に暴露した(滞留時間1
分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルム
を、温度95℃、相対湿度80%RHに維持された内部
搬送距離25mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送するこ
とによって、ポリシラザン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に
暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPArフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で10%酢酸水溶液を室温
のまま酢酸蒸気を発生させた溶剤乾燥ゾーン(温度80
℃、相対湿度40%RH、内部搬送距離5m)を上記搬
送速度で通過させることにより、ポリシラザン塗膜を乾
燥すると共に酢酸蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
95℃、相対湿度80%RHに維持された内部搬送距離
25mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送することによっ
て、ポリシラザン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に暴露し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で5%メチルアミン水溶液
を室温のままメチルアミン蒸気を発生させた溶剤乾燥ゾ
ーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部搬送距離
5m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポリシ
ラザン塗膜を乾燥すると共にメチルアミン蒸気に暴露し
た(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザ
ン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿度80%RHに
維持された内部搬送距離25mの加湿炉内を上記搬送速
度で搬送することによって、ポリシラザン塗膜を5分間
水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿
度80%RHに維持された内部搬送距離25mの加湿炉
内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザ
ン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度90℃、内部搬
送距離25mの蒸留水浴内を上記搬送速度で搬送するこ
とによって、ポリシラザン塗膜を5分間蒸留水に浸漬し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度90℃、内部搬
送距離25mの1%硫酸水溶液浴内を上記搬送速度で搬
送することによって、ポリシラザン塗膜を5分間1%硫
酸水溶液に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度90℃、内部搬
送距離25mの1%リン酸水溶液浴内を上記搬送速度で
搬送することによって、ポリシラザン塗膜を5分間1%
リン酸水溶液に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度90℃、内部搬
送距離25mの0.1%水酸化ナトリウム水溶液浴内を
上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザン塗
膜を5分間0.1%水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度90℃、内部搬
送距離25mの0.1%塩化アンモニウム水溶液浴内を
上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザン塗
膜を5分間0.1%塩化アンモニウム水溶液に浸漬し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水
溶液を室温のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、通気性のあるセパレ
ータシート(不織布又はサイドテープ)をフィルム全面
又は端部に適用してこれを一緒に挟み込みながらロール
に巻き取った。その後、そのロール体を25℃、50%
RHの大気中に24時間放置した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ80μm、幅60cm、総延長
300mのTACフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で5%トリブチルアミン水
溶液を室温のままトリブチルアミン蒸気を発生させた溶
剤乾燥ゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部
搬送距離5m)を上記搬送速度で通過させることによ
り、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共にトリブチルアミ
ン蒸気に暴露した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過
したポリシラザン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿
度80%RHに維持された内部搬送距離25mの加湿炉
内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザ
ン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPETフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。塗布後、内部で5%酢酸/5%トリエチ
ルアミン水溶液を室温のまま酢酸/トリエチルアミン蒸
気を発生させた溶剤乾燥ゾーン(温度25℃、相対湿度
60%RH、内部搬送距離5m)を上記搬送速度で通過
させることにより、ポリシラザン塗膜を乾燥すると共に
酢酸/トリエチルアミン蒸気に暴露した(滞留時間1
分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルム
を、温度95℃、相対湿度80%RHに維持された内部
搬送距離25mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送するこ
とによって、ポリシラザン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に
暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液に攪拌しながらプロピオン酸パラジウム
を1重量%になるように室温で徐々に添加した。この溶
液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長300mのP
ESフィルム基材を5m/分で搬送しながらグラビア
(リバース)コート法(ロール#80)で片面に塗布し
た。塗布後、内部で3%トリエチルアミン水溶液を室温
のままトリエチルアミン蒸気を発生させた溶剤乾燥ゾー
ン(温度80℃、相対湿度40%RH、内部搬送距離5
m)を上記搬送速度で通過させることにより、ポリシラ
ザン塗膜を乾燥すると共にトリエチルアミン蒸気に暴露
した(滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラ
ザン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿度80%RH
に維持された内部搬送距離15mの加湿炉内を上記搬送
速度で搬送することによって、ポリシラザン塗膜を3分
間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPArフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの30%過酸化水素水浴
内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザ
ン塗膜を15分間30%過酸化水素水に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ80μm、幅60cm、総延長
300mのTACフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの5%酢酸水溶液浴内を
上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラザン塗
膜を15分間5%酢酸水溶液に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPETフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの5%プロピオン酸水溶
液浴内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシ
ラザン塗膜を15分間5%プロピオン酸水溶液に浸漬し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの5%カプロン酸水溶液
浴内を上記搬送速度で搬送することによって、ポリシラ
ザン塗膜を15分間5%カプロン酸水溶液に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
25℃、内部搬送距離150mの5%トリメチルアミン
水溶液浴内を上記搬送速度で搬送することにより、ポリ
シラザン塗膜を15分間5%トリメチルアミン水溶液に
浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
25℃、内部搬送距離50mの3%n−ブチルアミン水
溶液浴内を上記搬送速度で搬送することにより、ポリシ
ラザン塗膜を5分間3%n−ブチルアミン水溶液に浸漬
した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの5%オクチルアミン水
溶液浴内を上記搬送速度で搬送することにより、ポリシ
ラザン塗膜を15分間5%オクチルアミン水溶液に浸漬
した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を10m/分で搬送しな
がらグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で
片面に塗布した。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(熱風温度8
0℃、内部搬送距離10m)を上記搬送速度で通過させ
て、ポリシラザン塗膜を乾燥した(滞留時間1分)。乾
燥ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度
50℃、内部搬送距離150mの1%酢酸/3%n−ペ
ンチルアミン水溶液浴内を上記搬送速度で搬送すること
により、ポリシラザン塗膜を15分間1%酢酸/3%n
−ペンチルアミン水溶液に浸漬した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPESフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。この実施例では、別の蒸気発生装置にお
いてアミン化合物を蒸気化し、これを窒素ガスで溶剤乾
燥ゾーンへ運搬してノズルから噴霧する方式を採用し
た。メチルアミン5%水溶液を入れた容器に窒素ガスを
液中に吹き込んでバブリングさせた。このとき、容器の
内圧が約1.5×105 Pa(1.5kgf/cm 2 )
となるような流量で窒素ガスを吹き込んだ。この容器の
気相からメチルアミン蒸気及び水蒸気を含む窒素ガスを
取り出し、管路を介して溶剤乾燥ゾーンへ運搬した。管
路は途中で4本に分離されており、溶剤乾燥ゾーンの入
口から約3mの地点でフィルム搬送方向に対して直角方
向に約40cm間隔で配置した4本のノズルに結合され
ているものとした。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(内部搬送
距離5m)を上記搬送速度で通過させる際に、入口から
3mのゾーン(温度80℃、相対湿度40%RH、0.
6分)で塗膜を部分乾燥させ、残り2mのゾーン(室
温、0.4分)で塗膜面上20mmの高さに配置された
4本のノズルからメチルアミン蒸気を窒素ガスと共に吹
き付けた。この乾燥ゾーンにおけるメチルアミン濃度は
平均で約1%であった。(全滞留時間1分)。乾燥ゾー
ンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度95
℃、相対湿度80%RHに維持された内部搬送距離25
mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送することによって、
ポリシラザン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPETフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。この実施例では、実施例30と同様、別
の蒸気発生装置において蒸気化されたアミン化合物を窒
素ガスで溶剤乾燥ゾーンへ運搬してノズルから噴霧する
方式を採用した。トリエチルアミン3%水溶液を入れた
容器に窒素ガスを液中に吹き込んでバブリングさせた。
このとき、容器の内圧が約1.5×105 Pa(1.5
kgf/cm2 )となるような流量で窒素ガスを吹き込
んだ。この容器の気相からトリエチルアミン蒸気及び水
蒸気を含む窒素ガスを取り出し、管路を介して溶剤乾燥
ゾーンへ運搬した。管路は途中で4本に分離されてお
り、溶剤乾燥ゾーンの入口から約3mの地点でフィルム
搬送方向に対して直角方向に約40cm間隔で配置した
4本のノズルに結合されているものとした。塗布後、溶
剤乾燥ゾーン(内部搬送距離5m)を上記搬送速度で通
過させる際に、入口から3mのゾーン(室温、0.6
分)で塗膜を部分乾燥させ、残り2mのゾーン(室温、
0.4分)で塗膜面上20mmの高さに配置された4本
のノズルからトリエチルアミン蒸気を窒素ガスと共に吹
き付けた。この乾燥ゾーンにおけるトリエチルアミン濃
度は平均で約1%であった。(全滞留時間1分)。乾燥
ゾーンを通過したポリシラザン塗布フィルムを、温度9
5℃、相対湿度80%RHに維持された内部搬送距離2
5mの加湿炉内を上記搬送速度で搬送することによっ
て、ポリシラザン塗膜を5分間水蒸気雰囲気に暴露し
た。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ80μm、幅60cm、総延長
300mのTACフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。この実施例では、実施例30と同様、別
の蒸気発生装置において蒸気化されたアミン化合物を窒
素ガスで溶剤乾燥ゾーンへ運搬してノズルから噴霧する
方式を採用した。トリブチルアミン5%水溶液を入れた
容器に窒素ガスを液中に吹き込んでバブリングさせた。
このとき、容器の内圧が約1.5×105 Pa(1.5
kgf/cm2 )となるような流量で窒素ガスを吹き込
んだ。この容器の気相からトリブチルアミン蒸気及び水
蒸気を含む窒素ガスを取り出し、管路を介して溶剤乾燥
ゾーンへ運搬した。管路は途中で4本に分離されてお
り、溶剤乾燥ゾーンの入口から約3mの地点でフィルム
搬送方向に対して直角方向に約40cm間隔で配置した
4本のノズルに結合されているものとした。塗布後、溶
剤乾燥ゾーン(内部搬送距離5m)を上記搬送速度で通
過させる際に、入口から3mのゾーン(温度80℃、相
対湿度40%RH、0.6分)で塗膜を部分乾燥させ、
残り2mのゾーン(室温、0.4分)で塗膜面上20m
mの高さに配置された4本のノズルからトリブチルアミ
ン蒸気を窒素ガスと共に吹き付けた。この乾燥ゾーンに
おけるトリブチルアミン濃度は平均で約1%であった。
(全滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過したポリシラザ
ン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿度80%RHに
維持された内部搬送距離25mの加湿炉内を上記搬送速
度で搬送することによって、ポリシラザン塗膜を5分間
水蒸気雰囲気に暴露した。
ンに溶解して濃度12重量%のポリシラザン溶液を調製
した。この溶液を、厚さ75μm、幅60cm、総延長
300mのPETフィルム基材を5m/分で搬送しなが
らグラビア(リバース)コート法(ロール#80)で片
面に塗布した。この実施例では、実施例30と同様、別
の蒸気発生装置において蒸気化されたアミン化合物を窒
素ガスで溶剤乾燥ゾーンへ運搬してノズルから噴霧する
方式を採用した。トリエチルアミン単体を入れた容器と
蒸留水を入れた容器とにそれぞれ独立に窒素ガスを液中
に吹き込んでバブリングさせた。このとき、容器の内圧
が約1.5×105 Pa(1.5kgf/cm2 )とな
るような流量で窒素ガスを吹き込んだ。これら二つの容
器の気相からトリエチルアミン蒸気を含む窒素ガス及び
水蒸気を含む窒素ガスを取り出し、これらを管路を介し
て途中で合流させてから溶剤乾燥ゾーンへ運搬した。管
路はその後4本に分離されており、溶剤乾燥ゾーンの入
口から約3mの地点でフィルム搬送方向に対して直角方
向に約40cm間隔で配置した4本のノズルに結合され
ているものとした。塗布後、溶剤乾燥ゾーン(内部搬送
距離5m)を上記搬送速度で通過させる際に、入口から
3mのゾーン(室温、0.6分)で塗膜を部分乾燥さ
せ、残り2mのゾーン(室温、0.4分)で塗膜面上2
0mmの高さに配置された4本のノズルからトリエチル
アミン蒸気を窒素ガスと共に吹き付けた。この乾燥ゾー
ンにおけるトリエチルアミン濃度は平均で約1%であっ
た。(全滞留時間1分)。乾燥ゾーンを通過したポリシ
ラザン塗布フィルムを、温度95℃、相対湿度80%R
Hに維持された内部搬送距離25mの加湿炉内を上記搬
送速度で搬送することによって、ポリシラザン塗膜を5
分間水蒸気雰囲気に暴露した。
分光法におけるSi−H振動(N−H振動)ピークの消
失と、Si−O振動ピークの出現により、すべて実質的
にシリカへ転化したことを確認した。また、これらセラ
ミック被膜の膜厚は、分光法により可視領域のスペクト
ル中の干渉を生じたピークを用いて計算したところ、す
べて0.6μmであることがわかった。
について評価した。参考までに、用いたプラスチックフ
ィルム基材自体の特性についても(5)密着性を除いて
測定した。 (1)酸素透過率(単位:cc/m2 /24時間/at
m) モコン製測定器を用いて25℃、65%RHで測定し
た。 (2)水蒸気透過率(単位:g/m2 /24時間) モコン製測定器を用いて40℃で測定した。 (3)光透過率 ヘイズメーターを用いて可視光平均透過率を測定した。 (4)耐擦傷性 スチールウール#000番、荷重250g、100回転
(60rpm)の条件で試験し、目視で傷の数を観察
し、A〜Eの等級付けをした。評価A:傷なし、評価
B:傷2本以下、評価C:傷3〜5本、評価D:傷6〜
10本、評価E:傷11本以上。 (5)密着性 碁盤目テープ剥離試験で評価した。
にポリシラザン又はその変性物を塗布する前又は塗布し
た後に該ポリシラザン又はその変性物にアミン化合物及
び/又は酸化合物を接触させることによって、より迅速
且つ低温でポリシラザンがセラミックス化する。これに
より、長尺のSiO2 被覆プラスチックフィルムの生産
効率が向上する。また、ウェブコートの場合、塗布工程
とセラミックス化工程とを同時に行うことが可能であ
る。さらに、より低温で、又は大気中に放置するだけで
セラミックス化させることができるため、製造装置が簡
素化される。また、ポリシラザン塗布後にこれにアミン
蒸気を接触させる方法において、アミン化合物蒸気を別
の容器で発生させ、これを不活性ガスで運搬してポリシ
ラザン塗膜へ噴霧する方法を採用することにより、アミ
ン化合物蒸気を安定且つ安全に供給することができる。
Claims (2)
- 【請求項1】 プラスチックフィルムの少なくとも片面
に下記一般式(I): 【化1】 (式中、R1 、R2 及びR3 は、それぞれ独立に水素原
子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、ア
リール基、またはこれらの基以外でケイ素に直結する基
が炭素である基、アルキルシリル基、アルキルアミノ
基、アルコキシ基を表わすが、但し、R1 、R2 及びR
3 の少なくとも1つは水素原子である)で表わされる構
造単位からなる主骨格を有する数平均分子量100〜5
万のポリシラザン又はその変性物を塗布した後、該ポリ
シラザンをセラミックス化することにより該プラスチッ
クフィルムにSiO2 系セラミックスを被覆する方法で
あって、前記ポリシラザン又はその変性物を塗布する前
又は塗布した後に前記ポリシラザン又はその変性物にア
ミン化合物及び/又は酸化合物を接触させることを特徴
とするプラスチックフィルムにSiO2 系セラミックス
を被覆する方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の方法で製造されたSi
O2 被覆プラスチックフィルム。
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JP28177795 | 1995-10-30 | ||
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