JPH07170064A - 接着性促進層を有する金属箔 - Google Patents
接着性促進層を有する金属箔Info
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Abstract
性に優れた金属箔を提供する。 【構成】 少なくとも一面に接着性促進層を有する金属
箔であって、接着性促進層が少なくとも1つのシランカ
ップリング剤を含有し、接着性促進層の下に形成されて
いる金属箔のベース表面が表面粗さが加えられないこと
によって特徴づけられる。1つの実施態様において、接
着性促進層は、クロムが存在しないことによって特徴づ
けられる。1つの実施態様において、接着性促進層の下
に形成されている金属箔のベース表面は、ベース表面に
接着された亜鉛層またはクロム層が存在しないことによ
って特徴づけられる。
Description
詳しくは、少なくともその片面を覆う接着性促進層を有
する金属箔に関する。1つの実施態様において、これら
の金属箔は印刷回路板(PCB)の製造に用いられる導
体箔(例えば、銅箔)である。
高分子樹脂基板を有する積層板から形成される電子素子
の構成要素である。導体箔は電子素子中に導体を形成
し、高分子樹脂基板は導体間に絶縁体を形成する。導体
および絶縁体は密着しており、導体と絶縁体との間の接
着により導体および絶縁体で形成される電子素子に性能
および信頼性が与えられる。
加工されたあるいは圧延された銅箔は、高分子基板によ
く接着しない。従来の方法では、銅箔と絶縁高分子基板
との間の接着を達成するために、銅箔の表面を粗くして
いた。
る。電着銅箔は、粗面と共に電鋳され得る。この粗面の
上面には、高表面部分処理を行うことによってさらに粗
さが加えられる。これらの処理は、団塊状あるいは樹枝
状に電界蒸着した銅でも、団塊状あるいは樹枝状に成長
した酸化銅でもよい。圧延された銅箔は、圧延の間ある
いはそれに続く摩耗によって与えられる、機械的粗さを
有することがある。圧延された銅箔はまた、団塊状銅処
理あるいは団塊状酸化銅処理を増進させる表面部分で従
来通りに処理される。
嵌合を形成することにより、高分子との接着を増進させ
る。この機械的嵌合は、液状の接着剤を塗布し硬化した
とき、あるいは樹脂が積層過程で硬化する前に融解し流
れるときに形成される。高分子は粗くなった表面部処理
の周辺に流れ、機械的嵌合を形成する。
るために用いられる表面粗さによって、PCBの製造が
困難になり、PCBの性能が悪くなる。減法(subtract
ive)銅エッチング法においては、樹脂に埋め込まれた
樹枝形あるいは団塊形を除去するための付加的なエッチ
ング時間が必要となる。この付加的なエッチング時間は
製造工程を減速するだけでなく、銅線の側壁の側面エッ
チングによって、ライン損失を大きくするようにする。
表面粗さは高周波数電気信号を減速し、それによってP
CBの電気的性能を劣化させる。粗ベース箔を有するこ
とが必要になると、抗張力および伸張などの良質の積層
体およびPCB性能を生み出すその他の特性が制限され
る。樹枝状あるいは団塊状表面粗さ処理には電解処理の
場合には特殊装置が、酸化処理の場合には特殊薬品が必
要となり、これらの表面粗さ処理は適用が困難である。
箔のクロム処理層を樹脂基板に接着剤で接着させる方法
が開示されている。第1の実施態様では、クロム処理層
は銅箔の粗面あるいはつや消し面に形成される。このク
ロム処理層は、式YRSiX3で表されるシランカップ
リング剤溶液で処理される。ここで、Yは高分子と反応
する官能基、RはYとSiとを結合させる鎖状あるいは
環状炭化水素を含有する結合基、およびXは加水分解可
能な有機基あるいは無機基である。第2の実施態様で
は、まずクロム処理層が銅箔の粗面に形成され、上記の
式で表されるシランカップリング剤に含浸される。いず
れの実施態様でも、処理表面は樹脂基板に接着される。
刷回路の製造に用いられ、粗面あるいはつや消し面上に
亜鉛あるいは亜鉛合金層が形成されている銅箔が開示さ
れている。クロム処理層は亜鉛あるいは亜鉛合金層上に
形成される。このクロム処理層は、式YRSiX3で表
されるシランカップリング剤で処理される。ここで、Y
は高分子と反応する官能基、RはYとSiとを結合させ
る鎖状あるいは環状炭化水素を含有する結合基、および
Xは加水分解可能な有機基あるいは無機基である。
理を施し、加工された銅箔あるいは電解蒸着した銅箔の
剥離強度を改善する技術が開示されている。曇り止め処
理は、クロムあるいはクロムと亜鉛との組み合せを使用
して行われる。次に、処理された箔は、シランカップリ
ング剤ですすがれる。
耐酸化アミノシラン膜を有する処理銅箔シートにより形
成された、銅被覆ガラスエポキシ積層体が開示されてい
る。銅箔は接着を増強するためにその接着面が薬品で処
理され、その結果、結合し、銅箔表面の結晶粒組織の一
部を形成する酸化銅となる。アミノシラン膜は粗い銅表
面を被覆し、有機支持体への酸素の移動および銅箔の酸
化を防ぐ。引例には、酸化の問題が金属にあるならば、
アミノシラン膜は未処理銅箔およびその他のどのような
金属にも塗布し得ることが記載されている。
促進剤を有する金属箔であって、該接着性促進剤は少な
くとも1つのシランカップリング剤を含有し、該接着性
促進層の下に形成される該金属箔のベース表面が、表面
粗さが加えられないことによって特徴付けられる金属箔
に関する。1つの実施態様では、該接着性促進層は、ク
ロムが存在しないことによって特徴付けられる。1つの
実施態様では、該接着性促進層の下に形成される該金属
箔のベース表面は、該ベース表面に付着した亜鉛層もし
くはクロム層が存在しないことによって特徴付けられ
る。
着性促進層を有する金属箔であって、該接着性促進層
が、少なくとも1つのシランカップリング剤を含有し、
クロムが存在しないことによって特徴づけられ、該接着
性促進層の下に形成される該金属箔のベース表面が、表
面粗さが加えられないこと、または該ベース表面に付着
した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことによって
特徴づけられる。
つや消し面と光沢面とを有し、上記接着性促進層が該つ
や消し面上に形成されている。
つや消し面と光沢面とを有し、上記接着性促進層が該光
沢面上に形成されている。
上記一面に上記接着性促進層を形成する前に、該金属箔
の該一面は処理されない。
進層が上記金属箔の両面に形成されている。
電着銅箔である。
錬銅箔である。
上記一面が、標準プロフィル面である。
上記一面が低プロフィル面である。好適な実施態様にお
いては、上記金属箔の上記一面が、超低プロフィル面で
ある。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
基であり、該官能基で置換された炭化水素基の官能置換
基はアミノ、ヒドロキシ、ハロ、メルカプト、アルコキ
シ、アシルまたはエポキシであり、Xは加水分解性基で
あり、nは1、2または3である。
ップリング剤は、N−(2−アミノエチル)−3−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、3−(N−スチリルメ
チル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシ
シラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、ビス
(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピ
ルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキ
シシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキ
シシラン、ビニル−トリス(2−メトキシエトキシ)シ
ラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、N−メチル
アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニルアミ
ノプロピルトリメトキシシラン、3−アセトキシプロピ
ルトリメトキシシラン、N−(3−アクリルオキシ−2
−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、3−アクリルオキシプロピルトリメトキシ
シラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリメトキ
シシラン、4−アミノブチルトリエトキシシラン、(ア
ミノエチルアミノメチル)フェネチルトリメトキシシラ
ン、N−(2−アミノエチル−3−アミノプロピル)ト
リメトキシシラン、N−(2−アミノエチル−3−アミ
ノプロピル)トリス(2−エチルヘキソキシ)シラン、
6−(アミノヘキシルアミノプロピル)トリメトキシシ
ラン、アミノフェニルトリメトキシシラン、3−(1−
アミノプロポキシ)−3,3−ジメチル−1−プロペニ
ルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリス(メ
トキシエトキシエトキシ)シラン、3−アミノプロピル
トリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシ
シラン、ω−アミノウンデシルトリメトキシシラン、3
−[2−N−ベンジルアミノエチルアミノプロピル]ト
リメトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3
−アミノプロピルトリエトキシシラン、8−ブロモオク
チルトリメトキシシラン、ブロモフェニルトリメトキシ
シラン、3−ブロモプロピルトリメトキシシラン、2−
クロロエチルトリエトキシシラン、p−(クロロメチ
ル)フェニルトリメトキシシラン、クロロメチルトリエ
トキシシラン、クロロフェニルトリエトキシシラン、3
−クロロプロピルトリエトキシシラン、3−クロロプロ
ピルトリメトキシシラン、2−(4−クロロスルホニル
フェニル)エチルトリメトキシシラン、3−(シアノエ
トキシ)−3,3−ジメチル−1−プロペニルトリメト
キシシラン、2−シアノエチルトリエトキシシラン、2
−シアノエチルトリメトキシシラン、(シアノメチルフ
ェネチル)トリメトキシシラン、3−シアノプロピルト
リエトキシシラン、3−シクロペンタジエニルプロピル
トリエトキシシラン、(N,N−ジエチル−3−アミノ
プロピル)トリメトキシシラン、ジエチルホスファトエ
チルトリエトキシシラン、(N,N−ジメチル−3−ア
ミノプロピル)トリメトキシシラン、2−(ジフェニル
ホスフィノ)エチルトリエトキシシラン、2−(3,4
−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、3−ヨードプロピルトリメトキシシラン、3−イソ
シアナートプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプ
トプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピ
ルトリメトキシシラン、メタクリルオキシプロペニルト
リメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリ
メトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリス
(メトキシエトキシ)シラン、3−メトキシプロピルト
リメトキシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキ
シシラン、O−4−メチルクマリニル−N−[3−(ト
リエトキシシリル)プロピル]カルバメート、7−オク
タン−1ーエニルトリメトキシシラン、N−フェネチル
−N’−トリエトキシシリルプロピル、N−フェニルア
ミノプロピルトリメトキシシラン、3−(N−スチリル
メチル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキ
シシラン、3−チオシアナートプロピルトリエトキシシ
ラン、N−(3−トリエトキシシリルプロピル)アセチ
ルグリシンアミド、N−(トリエトキシシリルプロピ
ル)ダンシルアミド、N−[3−(トリエトキシシリ
ル)プロピル]−2,4−ジニトロフェニルアミン、ト
リエトキシシリルプロピルエチルカルバメート、N−
[3−(トリエトキシシリル)プロピル]−4,5−ジ
ヒドロイミダゾール、N−トリエトキシシリルプロピル
−oーメントカルバメート、3−(トリエトキシシリル
プロピル)−p−ニトロベンズアミド、N−[3−(ト
リエトキシシリル)プロピル]フタルアミド酸、N−
(トリエトキシシリロプロピル)尿素、1−トリメトキ
シシリル−2−(p,m−クロロメチル)−フェニルエ
タン、2−(トリメトキシシリル)−エチルフェニルス
ルホニルアジド、β−トリメトキシシリルエチル−2−
ピリジン、トリメトキシシリルオクチルトリメチルアン
モニウムブロマイド、トリメトキシシリルプロピルシン
ナメート、N(3−トリメトキシシリルプロピル)−N
−メチル−N,N−ジアリルアンモニウムクロライド、
トリメトキシシリルプロピルジエチレントリアミン、N
−[(3−トリメトキシシリル)プロピル]エチレンジ
アミン三酢酸三ナトリウム塩、トリメトキシシリルプロ
ピルイソチオウロニウムクロライド、N−(3−トリメ
トキシシリルプロピル)ピロール、N−トリメトキシシ
リルプロピルトリ−N−ブチルアンモニウムブロマイ
ド、N−トリメトキシシリルプロピル−N,N,N−ト
リメチルアンモニウムクロライド、ビニルトリエトキシ
シラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリス−t−ブトキシシラン、
ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、ビニル
トリイソプロペノキシシラン、ビニルトリス(t−ブチ
ルペルオキシ)シラン、2−アセトキシエチルトリクロ
ロシラン、3−アクリルオキシプロピルトリクロロシラ
ン、アリルトリクロロシラン、8−ブロモオクチルトリ
クロロシラン、ブロモフェニルトリクロロシラン、3−
ブロモプロピルトリクロロシラン、2−(カルボメトキ
シ)エチルトリクロロシラン、1−クロロエチルトリク
ロロシラン、2−クロロエチルトリクロロシラン、p−
(クロロメチル)フェニルトリクロロシラン、クロロメ
チルトリクロロシラン、クロロフェニルトリクロロシラ
ン、3−クロロプロピルトリクロロシラン、2−(4−
クロロスルホニルフェニル)エチルトリクロロシラン、
(3−シアノブチル)トリクロロシラン、2−シアノエ
チルトリクロロシラン、3−シアノプロピルトリクロロ
シラン、(ジクロロメチル)トリクロロシラン、(ジク
ロロフェニル)トリクロロシラン、6−ヘキサン−1−
エニルトリクロロシラン、3−メタクリルオキシプロピ
ルトリクロロシラン、3−(4−メトキシフェニル)プ
ロピルトリクロロシラン、7−オクタン−1−エニルト
リクロロシラン、3−(N−フタルイミド)プロピルト
リクロロシラン、1−トリクロロシリル−2−(p,m
−クロロメチルフェニル)エタン、4−[2−(トリク
ロロシリル)エチル]シクロヘキセン、2−[2−(ト
リクロロシリル)エチル]ピリジン、4−[2−(トリ
クロロシリル)エチル]ピリジン、3−(トリクロロシ
リル)プロピルクロロフォルメート、およびビニルトリ
クロロシランからなる群から選択される少なくとも1つ
の化合物である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
素または炭化水素基であり、R4およびR5は独立してア
ルキレン基またはアルキリデン基であり、R6、R7およ
びR8は独立して炭化水素基である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
素または炭化水素基であり、R4はアルキレン基または
アルキリデン基であり、R5、R6およびR7は独立して
炭化水素基である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
は炭化水素基であり、R3はアルキレン基またはアルキ
リデン基であり、R4、R5およびR6は独立してヒドロ
カルビル基である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
素または炭化水素基であり、R3およびR5は独立してア
ルキレン基またはアルキリデン基であり、R6、R7およ
びR8は独立して炭化水素基である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
り、R2はアルキレン基またはアルキリデン基であり、
R3、R4およびR5は独立して炭化水素基である。
ップリング剤が以下の式で示される少なくとも1つの化
合物であり、
独立して水素または炭化水素基であり、R4、R6および
R8は独立してアルキレン基またはアルキリデン基であ
り、各R9は独立して炭化水素基であり、Arは芳香族
基であり、Xはハロゲンである。 好適な実施態様にお
いては、上記シランカップリング剤が以下の式で示され
る少なくとも1つの化合物であり、
R7は独立して炭化水素基であり、R4はアルキレン基ま
たはアルキリデン基であり、nは0または1である。
ップリング剤が、アミノプロピルトリメトキシシラン、
テトラエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチル)
−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(N−
スチリルメチル−2−アミノエチルアミン)プロピルト
リメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシシ
ラン、2−(2−アミノエチル−3−アミノプロピル)
トリメトキシシラン、およびN−フェニルアミノプロピ
ルトリメトキシシランからなる群から選択される。
ップリング剤がシランカップリング剤の混合物であっ
て、該混合物は、 (A)3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランお
よびフェニルトリエトキシシラン; (B)N−メチルアミノプロピルトリメトキシシランお
よびクロロプロピルトリメトキシシラン; (C)3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルア
ミノ)プロピルトリメトキシシランおよびN−メチルア
ミノプロピルトリメトキシシラン;または (D)3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランお
よびN−メチルアミノプロピルトリメトキシシランであ
る。
つの金属層が、上記金属箔の上記一面と、上記接着性促
進層との間に設けられ、該金属層中の金属が、インジウ
ム、錫、ニッケル、コバルト、真鍮、青銅、または2個
以上のこれらの金属の混合物からなる群から選択され
る。
つの金属層が、上記金属箔の上記一面と、上記接着性促
進層との間に設けられ、該金属層中の金属が、錫、クロ
ム−亜鉛混合物、ニッケル、モリブデン、アルミニウ
ム、および2個以上のこれらの金属の混合物からなる群
から選択される。
つの第1金属層が上記金属箔の上記一面に接着され、該
第1金属層中の金属が、インジウム、錫、ニッケル、コ
バルト、真鍮および青銅からなる群から選択され、少な
くとも1つの第2金属層が該第1金属層に接着され、該
第2金属層中の金属が、錫、クロム、クロム−亜鉛混合
物、亜鉛、ニッケル、モリブデン、アルミニウム、およ
び2個以上のこれらの金属の混合物からなる群から選択
され、該接着性促進層が、該第2金属層に接着されてい
る。
と、該光沢面上に形成されている接着性促進層とを有す
る銅箔であって、該接着性促進層が少なくとも1つのシ
ランカップリング剤を含有し、該接着性促進層の下に形
成されている該銅箔のベース表面が、表面粗さを加えら
れないことによって特徴づけられる。
と、該光沢面上に形成されている接着性促進層とを有す
る銅箔であって、該接着性促進層が少なくとも1つのシ
ランカップリング剤を含有し、該光沢面のベース表面
が、表面粗さが加えられないこと、および該ベース表面
に付与された亜鉛層が存在しないことによって特徴づけ
られる。
性促進層を有する金属箔であって、該接着性促進層が、
少なくとも1つのシランカップリング剤を含有し、クロ
ムが存在しないことによって特徴づけられ、該シランカ
ップリング剤が3−グリシドキシプロピルトリメトキシ
シラン以外のものであり、該接着性促進層の下に形成さ
れている該金属箔のベース表面が、表面粗さが加えられ
ないこと、または該ベース表面に付着した亜鉛層もしく
はクロム層が存在しないことによって特徴づけられる。
と、該光沢面上に形成されている接着性促進層とを有す
る銅箔であって、該接着性促進層が少なくとも1つのシ
ランカップリング剤を含有し、該シランカップリング剤
が3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン以外の
ものであり、該接着性促進層の下に形成されている該金
属箔のベース表面が、表面粗さが加えられないことによ
って特徴づけられる。
着性促進層を有する電着銅箔であって、該接着性促進層
が少なくとも1つのシランカップリング剤を含有し、ク
ロムが存在しないことによって特徴づけられ、該接着性
促進層の下に形成されている該銅箔のベース表面が、表
面粗さが加えられないこと、または該ベース表面に付着
した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことによって
特徴づけられ、該ベース表面が、該ベース表面に付着し
た少なくとも1つの金属層を有し、該金属層中の金属
が、インジウム、錫、ニッケル、コバルト、真鍮、青銅
または2個以上のこれらの金属の混合物からなる群から
選択され、該接着性促進層が該金属層に付着している。
着性促進層を有する電着銅箔であって、該接着性促進層
が少なくとも1つのシランカップリング剤を含有し、ク
ロムが存在しないことによって特徴づけられ、該接着性
促進層の下に形成されている該銅箔のベース表面が、表
面粗さが加えられないこと、または該ベース表面に付着
した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことによって
特徴づけられ、該ベース表面が、該ベース表面に付着し
た少なくとも1つの金属層を有し、該金属層中の金属
が、錫、クロム−亜鉛混合物、ニッケル、モリブデン、
アルミニウム、および2個以上のこれらの金属の混合物
からなる群から選択され、該接着性促進層が該金属層に
付着している。
着性促進層を有する電着銅箔であって、該接着性促進層
が少なくとも1つのシランカップリング剤を含有し、ク
ロムが存在しないことによって特徴づけられ、該接着性
促進層の下に形成されている該銅箔のベース表面が、表
面粗さが加えられないこと、または該ベース表面に付着
した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことによって
特徴づけられ、該ベース表面が該ベース表面に付着した
少なくとも1つの第1金属層を有し、該第1金属層中の
金属が、インジウム、錫、ニッケル、コバルト、真鍮お
よび青銅からなる群から選択され、少なくとも1つの第
2金属層が該第1金属層に接着され、該第2金属層中の
金属が、錫、クロム、クロム−亜鉛混合物、亜鉛、ニッ
ケル、モリブデン、アルミニウム、および2個以上のこ
れらの金属の混合物からなる群から選択され、該接着性
促進層が、該第2金属層に接着されている。
プロフィル表面と、接着性促進層とを有する電着銅箔で
あって、該接着性促進層が少なくとも1つのシランカッ
プリング剤を含有し、クロムが存在しないことによって
特徴づけられ、該接着性促進層の下に形成されている該
銅箔のベース表面が、表面粗さが加えられないこと、ま
たは該ベース表面に接着された亜鉛層もしくはクロム層
が存在しないことによって特徴づけられる。
非導電性材料層と、該導電性材料層と該非導電性材料層
との間に設けられた接着性促進層とを包含するラミネー
トであって、該接着性促進層が少なくとも1つのシラン
カップリング剤を含有し、クロムが存在しないことによ
って特徴づけられ、該接着性促進層の下に形成されてい
る該導電性材料層のベース表面が、表面粗さが加えられ
ないこと、または該ベース表面に接着された亜鉛層もし
くはクロム層が存在しないことによって特徴づけられ
る。
エッチングされた導電性材料層と、非導電材料層と、該
導電材料層と該非導電性材料層との間に設けられ接着さ
れた接着性促進層とを包含するエッチングされたラミネ
ートであって、該接着性促進層が少なくとも1つのシラ
ンカップリング剤を含有し、クロムが存在しないことに
よって特徴づけられ、該接着性促進層の下に存在する該
導電性材料層のベース表面が、表面粗さが加えられない
こと、または該ベース表面に接着された亜鉛層もしくは
クロム層が存在しないことによって特徴づけられる。
面と第2面とを有するエッチングされた導電材料層と、
非導電性材料の第1層と、非導電性材料の第2層と、第
1接着性促進層と、第2接着性促進層とを包含するエッ
チングされた多層ラミネートであって、該第1接着性促
進層が、該エッチングされた導電材料層の該第1面と、
該非導電材料の第1層との間に設けられ接着され、該第
2接着性促進層が、該エッチングされた導電材料の該第
2面と、該非導電材料の第2層との間に設けられ、該第
1接着性促進層および該第2接着性促進層が、少なくと
も1つのシランカップリング剤を含有し、クロムが存在
しないことによって特徴づけられ、該第1および第2接
着性促進層の下に形成されている該導電性材料層の該1
面および該2面のベース表面が、表面粗さが加えられな
いこと、または該ベース表面に接着された亜鉛層もしく
はクロム層が存在しないことによって特徴づけられる。
は、銅を有する電気的に導電である箔であり、銅ベース
合金箔が特に好ましい。銅箔は、2つの技術のうちの1
つを用いて形成される。加工された銅箔あるいは圧延さ
れた銅箔は、圧延などの工程によって、銅、銅合金のス
トリップあるいは棒の厚さを機械的に減少することによ
って生成される。電着箔は、回転するカソードドラム上
に電解的に銅イオンを蒸着し、次いでカソードから蒸着
したストリップを剥離することによって生成される。電
着銅箔が、特に好ましい。
02インチの間の範囲の公称の厚さを有する。銅箔厚さは
重さで示されることがあり、典型的に本発明の箔は約1/
8 oz/ft2〜約14 oz/ft2 の範囲の重量、あるいは厚さを
有する。特に、有用な銅箔は、1/2、1あるいは2 oz/ft2
の重量を有する。
ム)面および粗面あるいはつや消し(銅蒸着成長前)面
を有する。接着性促進層は、銅箔のいずれか一方の面に
接着し得るが、ある例では両面に接着する。
工)銅箔の片面あるいは両面は、「標準プロフィル
面」、「低プロフィル面」、あるいは「超低プロフィル
面」であり得る。特に好ましい実施態様では、低プロフ
ィル面、あるいは超低プロフィル面を有する箔が使用さ
れる。用語「標準プロフィル面」は、ここでは、約10
ミクロン以下のRtmを有する箔表面を指す。用語「低プ
ロフィル面」は、ここでは、約7ミクロン以下のRtmを
有する箔表面を指す。用語「超低プロフィル面」は、こ
こでは、約4ミクロン以下のRtmを有する箔表面を指
す。Rtmは、5つの連続するサンプリング測定のそれぞ
れからの最大山―谷の垂直測定の平均であり、Rank Tay
lor Hobson, Ltd., Leicester, England が販売する S
urftronic 3 プロフィロメータを使用して測定し得る。
が付着する一面あるいは両面に表面粗さが加えられない
ことによってすべて特徴付けられる。箔の面の、用語
「ベース表面」は、箔の特性を改良しまたは高めおよび
/あるいは表面粗さを増加させるための下記で説明する
種類のような後に続く処理が行われない生の箔表面を指
す。用語「加えられた表面粗さ」は、箔の表面の粗さを
増加させる、箔のベース表面にいかなる行われる処理を
も指す。
って除外される処理には、団塊状あるいは樹枝状に電界
蒸着した銅、および箔のベース表面に団塊状あるいは樹
枝状に成長する酸化銅が含まれる。従って、発明の箔
は、箔のベース表面に与えられる樹枝状銅、団塊状銅、
樹枝状酸化銅、あるいは団塊状酸化銅が存在しないこと
によって特徴付けられる。(ベース表面に自然に発生す
る酸化銅の非樹枝状層、あるいは非団塊状層を有する銅
箔は、本発明の範囲には入らないものとすることに注
意。)1つの実施態様では、圧延の間あるいは標準プロ
フィル表面の粗さを越えて粗さを増加させる後に行われ
る摩耗によって、加工された銅箔に与えられる機械的粗
さは、加えられた表面粗さ処理であると考えられ、従っ
て、発明に従って除外される。1つの実施態様では、標
準プロフィル表面の粗さを越えて粗さを増加させる、電
解蒸着の間に電解蒸着銅箔に与えられる粗さは、加えら
れた表面粗さであると考えられる。1つの実施態様で
は、標準プロフィル表面の粗さを越えて箔の粗さを増加
させる銅箔のベース表面に与えられる粗さは、すべて加
えられた表面粗さ処理であると考えられる。1つの実施
態様では、低プロフィル表面の粗さを越えて箔の粗さを
増加させる銅箔のベース表面に与えられる粗さは、すべ
て加えられた表面粗さ処理であると考えられる。1つの
実施態様では、超低プロフィル表面の粗さを越えて箔の
粗さを増加させる銅箔のベース表面に与えられる粗さ
は、すべて加えられた表面粗さ処理であると考えられ
る。
接着性促進層の下に形成される金属箔のベース表面に付
与される、亜鉛からなる金属層あるいはクロムからなる
金属層が存在しないことによって特徴付けられる。(こ
の限定は、ベース表面に付与される亜鉛とクロムとの混
合物を含む金属層の使用を除外してはいないことに注
意。)1つの実施態様では、接着性促進層が接着する金
属箔の一面あるいは両面のベース表面が、金属箔に接着
性促進層が接着する前に未処理である。用語「未処理」
は、ここでは、箔の特性を改良しまたは高めおよび/あ
るいは表面粗さを増加させるための後に続く処理が行わ
れない、箔のベース表面を指すために用いられている。
1つの実施態様では、未処理箔は自然に発生しベース表
面に接着する酸化銅の非樹枝状層、あるいは酸化銅の非
団塊状層を有する。
する前に、箔特性を改良しまたは高めるために1個以上
の表面処理層で接着性促進層が接着する箔の一面あるい
は両面のベース表面を処理する。付与される接着性促進
層を有さない箔の面は、また、いずれも付与される1つ
以上の処理層を任意に有し得る。これらの表面処理は、
当該分野で公知である。
することを含み、該金属が、インジウム、錫、ニッケ
ル、コバルト、真鍮、青銅、および2個以上のこれらの
金属の混合物からなる群から選択される。この種の金属
層は、バリヤ層と呼ばれることがある。これらのバリヤ
層は、好ましくは約0.01〜約1ミクロンの範囲の厚さを
有し、より好ましくは約0.05〜約0.1ミクロンの範囲の
厚さを有する。
金属が錫、クロム―亜鉛混合物(以下の実施例では「Z
n+Cr」として示される)、ニッケル、モリブデン、
アルミニウム、または2個以上のこれらの金属の混合物
からなる群から選択される。この種の金属膜は、安定剤
層と呼ばれることがある。これらの安定剤層は箔のベー
ス基板に付与され得、あるいはあらかじめ付与されたバ
リヤ層に付与され得る。これらの安定剤層は、好ましく
は約0.005〜約0.05ミクロンの範囲の厚さを有し、より
好ましくは約0.01〜約0.02ミクロンの範囲の厚さを有す
る。
は両面が少なくとも1つのバリヤ層で処理され、次いで
接着性促進層を付与する前に少なくとも処理された面の
片方が少なくとも1つの安定剤層で処理される。次い
で、接着性促進層が安定剤層上に付与される。この実施
態様では、安定剤層は上記の層に加えて、亜鉛層あるい
はクロム層であり得る。
間の接着を増強するために使用される。接着性促進層
は、少なくとも1つのシランカップリング剤を含有す
る。1つの実施態様では、接着性促進層は、混合される
クロムが存在しないことによって特徴付けられる。接着
性促進層は、1つ以上の下記のシランカップリング剤を
箔の少なくとも1面あるいは1つの表面に付与すること
によって形成される。
得る。
基であり、該官能基で置換された炭化水素基の官能置換
基が、アミノ、ヒドロキシ、ハロ、メルカプト、アルコ
キシ、アシルまたはエポキシであり、Xはアルコキシ
(例えば、メトキシ、エトキシなど)あるいはハロゲン
(例えば、塩素)などの加水分解性基であり、nは1、
2または3であり、好ましくはnは3である。上記の式
で表されるシランカップリング剤は、ハロシラン、アミ
ノアルコキシシラン、アミノフェニルシラン、フェニル
シラン、塩素環式シラン、N‐塩素環式シラン、アクリ
ル酸シラン、メルカプトシラン、およびこれらの中の2
種以上の混合物を含む。
得る。
素あるいは炭化水素基であり、R4およびR5は独立して
アルキレン基あるいはアルキリデン基であり、R6、R7
およびR8は独立して炭化水素基である。該炭化水素基
は、好ましくは1個から約10個の炭素原子を有し、よ
り好ましくは1個から約6個の炭素原子を有し、さらに
好ましくは1個から約4個の炭素原子を有する。これら
の炭化水素基は、好ましくはアルキルである。アルキレ
ン基およびアルキリデン基R4およびR5は、好ましくは
1個から約10個の炭素原子を有し、より好ましくは1
個から約6個の炭素原子を有し、さらに好ましくは1個
から約4個の炭素原子を有し、さらに好ましくは1個あ
るいは2個の炭素原子を有する。アルキレン基あるいは
アルキリデン基はメチレン、エチレン、プロピレンなど
であり得る。1つの実施態様では、シランカップリング
剤は以下の式で表される化合物である。
得る。
素あるいは炭化水素基であり、R4はアルキレン基ある
いはアルキリデン基であり、R5、R6およびR7は独立
して炭化水素基である。該炭化水素基は、好ましくは1
個から約10個の炭素原子を有し、より好ましくは1個
から約6個の炭素原子を有し、さらに好ましくは1個か
ら約4個の炭素原子を有する。これらの炭化水素基は、
好ましくはアルキル(例えば、メチル、エチル、プロピ
ルなど)である。アルキレン基およびアルキリデン基
は、好ましくは1個から約10個の炭素原子を有し、よ
り好ましくは1個から約6個の炭素原子を有し、さらに
好ましくは1個から約4個の炭素原子を有する。アルキ
レン基はメチレン、エチレン、プロピレンなどを含む。
1つの実施態様では、シランカップリング剤は以下の式
で表される化合物である。
得る。
いは炭化水素基であり、R3はアルキレン基あるいはア
ルキリデン基であり、R4、R5およびR6は独立して炭
化水素基である。該炭化水素基は、好ましくは1個から
約10個の炭素原子を有し、より好ましくは1個から約
6個の炭素原子を有し、さらに好ましくは1個から約4
個の炭素原子を有する。これらの炭化水素基は、好まし
くはアルキル(例えば、メチル、エチル、プロピルな
ど)である。アルキレン基およびアルキリデン基は、好
ましくは1個から約10個の炭素原子を有し、より好ま
しくは1個から約6個の炭素原子を有し、さらに好まし
くは1個から約4個の炭素原子を有する。アルキレン基
はメチレン、エチレン、プロピレンなどを含む。1つの
実施態様では、この化合物は以下の式で表される。
得る。
素あるいは炭化水素基であり、R3およびR5は独立にア
ルキレン基あるいはアルキリデン基であり、R6、R7お
よびR8は独立して炭化水素基である。該炭化水素基
は、好ましくは1個から約10個の炭素原子を有し、よ
り好ましくは1個から約6個の炭素原子を有し、さらに
好ましくは1個から約4個の炭素原子を有する。これら
の炭化水素基は、好ましくはアルキル(例えば、メチ
ル、エチル、プロピルなど)である。アルキレン基およ
びアルキリデン基は、好ましくは1個から約10個の炭
素原子を有し、より好ましくは1個から約6個の炭素原
子を有し、さらに好ましくは1個から約4個の炭素原子
を有する。アルキレン基はメチレン、エチレン、プロピ
レンなどで有り得る。1つの実施態様では、この化合物
は以下の式で表される。
得る。
あり、R2はアルキレン基あるいはアルキリデン基であ
り、R3、R4およびR5は独立して炭化水素基である。
該炭化水素基は、好ましくは1個から約10個の炭素原
子を有し、より好ましくは1個から約6個の炭素原子を
有し、さらに好ましくは1個から約4個の炭素原子を有
する。これらの炭化水素基は、好ましくはアルキル(例
えば、メチル、エチル、プロピルなど)である。アルキ
レン基およびアルキリデン基は、好ましくは1個から約
10個の炭素原子を有し、より好ましくは1個から約6
個の炭素原子を有し、さらに好ましくは1個から約4個
の炭素原子を有する。これらの基は、好ましくはアルキ
レン(例えば、メチレン、エチレン、プロピレンなど)
である。1つの実施態様では、この化合物は以下の式で
表される。
得る。
独立して水素あるいは炭化水素基であり、R4、R6およ
びR8は独立してアルキレン基あるいはアルキリデン基
であり、各R9は独立して炭化水素基であり、Arは芳
香族基であり、Xはハロゲンである。炭化水素基は、好
ましくは1個から約10個の炭素原子を有し、より好ま
しくは1個から約6個の炭素原子を有し、さらに好まし
くは1個から約4個の炭素原子を有する。これらの炭化
水素基は、好ましくはアルキル(例えば、メチル、エチ
ル、プロピルなど)である。アルキレン基およびアルキ
リデン基は、好ましくは1個から約10個の炭素原子を
有し、より好ましくは1個から約6個の炭素原子を有
し、さらに好ましくは1個から約4個の炭素原子を有す
る。これらの基は、好ましくはアルキレン(例えば、メ
チレン、エチレン、プロピレンなど)である。芳香族基
Arは、単核(例えば、フェニレン)あるいは単核基を
有する多核(例えば、ナフチレン)で有り得、特にフェ
ニレンが好ましい。ハロゲンであるXは、好ましくは塩
素または臭素であり、より好ましくは塩素である。1つ
の実施態様では、この化合物は以下の式で表される。
得る。
R7は独立して炭化水素基であり、R4はアルキレン基ま
たはアルキリデン基であり、またnは0または1であ
る。炭化水素基は好ましくは1から約10個の炭素原
子、より好ましくは1から約6個の炭素原子、さらに好
ましくは1から約4個の炭素原子を含む。これらの炭化
水素基は好ましくはアルキル(例えば、メチル、エチ
ル、プロピルなど)である。アルキレン基およびアルキ
リデン基は、好ましくは1から約10個の炭素原子、よ
り好ましくは1から約6個の炭素原子、さらに好ましく
は1から約4個の炭素原子を含む。この基は好ましくは
アルキレン(例えば、メチレン、エチレン、プロピレン
など)である。1つの実施態様ではこの化合物は以下の
式で示される。
ンである。有用なシランカップリング剤の例としては、
N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメ
トキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノ
エチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシ
エチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、β
−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメト
キシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルト
リクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニル−
トリス(2−メトキシエトキシ)シラン、アミノプロピ
ルトリメトキシシラン、N−メチルアミノプロピルトリ
メトキシシランおよびN−フェニルアミノプロピルトリ
メトキシシランが含まれる。
アセトキシプロピルトリメトキシシラン、N−(3−ア
クリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノ
プロピルトリエトキシシラン、3−アクリルオキシプロ
ピルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、
アリルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエト
キシシラン、(アミノエチルアミノメチル)フェネチル
トリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル−3−ア
ミノプロピル)トリメトキシシラン、N−(2−アミノ
エチル−3−アミノプロピル)トリス(2−エチルヘキ
ソキシ)シラン、6−(アミノヘキシルアミノプロピ
ル)トリメトキシシラン、アミノフェニルトリメトキシ
シラン、3−(1−アミノプロポキシ)−3,3−ジメ
チル−1−プロペニルトリメトキシシラン、3−アミノ
プロピルトリス(メトキシエトキシエトキシ)シラン、
3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、ω−アミノウンデシルトリ
メトキシシラン、3−[2−N−ベンジルアミノエチル
アミノプロピル]トリメトキシシラン、ビス(2−ヒド
ロキシエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラ
ン、8−ブロモオクチルトリメトキシシラン、ブロモフ
ェニルトリメトキシシラン、3−ブロモプロピルトリメ
トキシシラン、2−クロロエチルトリエトキシシラン、
p−(クロロメチル)フェニルトリメトキシシラン、ク
ロロメチルトリエトキシシラン、クロロフェニルトリエ
トキシシラン、3−クロロプロピルトリエトキシシラ
ン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、2−(4
−クロロスルホニルフェニル)エチルトリメトキシシラ
ン、3−(シアノエトキシ)−3,3−ジメチル−1−
プロペニルトリメトキシシラン、2−シアノエチルトリ
エトキシシラン、2−シアノエチルトリメトキシシラ
ン、(シアノメチルフェネチル)トリメトキシシラン、
3−シアノプロピルトリエトキシシラン、3−シクロペ
ンタジエニルプロピルトリエトキシシラン、(N,N−
ジエチル−3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、
ジエチルホスファトエチルトリエトキシシラン、(N,
N−ジメチル−3−アミノプロピル)トリメトキシシラ
ン、2−(ジフェニルホスフィノ)エチルトリエトキシ
シラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチ
ルトリメトキシシラン、3−ヨードプロピルトリメトキ
シシラン、3−イソシアナートプロピルトリエトキシシ
ラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3
−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、メタクリル
オキシプロペニルトリメトキシシラン、3−メタクリル
オキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオ
キシプロピルトリス(メトキシエトキシ)シラン、3−
メトキシプロピルトリメトキシラン、N−メチルアミノ
プロピルトリメトキシシラン、O−4−メチルクマリニ
ル−N−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]カル
バメート、7−オクタン−1ーエニルトリメトキシシラ
ン、N−フェネチル−N’−トリエトキシシリルプロピ
ル、N−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、
3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)
プロピルトリメトキシシラン、3−チオシアナートプロ
ピルトリエトキシシラン、N−(3−トリエトキシシリ
ルプロピル)アセチルグリシンアミド、N−(トリエト
キシシリルプロピル)ダンシルアミド、N−[3−(ト
リエトキシシリル)プロピル]−2,4−ジニトロフェ
ニルアミン、トリエトキシシリルプロピルエチルカルバ
メート、N−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]
−4,5−ジヒドロイミダゾール、N−トリエトキシシ
リルプロピル−oーメントカルバメート、3−(トリエ
トキシシリルプロピル)−p−ニトロベンズアミド、N
−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]フタルアミ
ド酸、N−(トリエトキシシリロプロピル)尿素、1−
トリメトキシシリル−2−(p,m−クロロメチル)−
フェニルエタン、2−(トリメトキシシリル)−エチル
フェニルスルホニルアジド、β−トリメトキシシリルエ
チル−2−ピリジン、トリメトキシシリルオクチルトリ
メチルアンモニウムブロマイド、トリメトキシシリルプ
ロピルシンナメート、N(3−トリメトキシシリルプロ
ピル)−N−メチル−N,N−ジアリルアンモニウムク
ロライド、トリメトキシシリルプロピルジエチレントリ
アミン、N−[(3−トリメトキシシリル)プロピル]
エチレンジアミン三酢酸三ナトリウム塩、トリメトキシ
シリルプロピルイソチオウロニウムクロライド、N−
(3−トリメトキシシリルプロピル)ピロール、N−ト
リメトキシシリルプロピルトリ−N−ブチルアンモニウ
ムブロマイド、およびN−トリメトキシシリルプロピル
−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライドが含
まれる。
ルトリエトキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラ
ン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリス−t−ブ
トキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)
シラン、ビニルトリイソプロペノキシシラン、およびビ
ニルトリス(t−ブチルペルオキシ)シランが含まれ
る。
アセトキシエチルトリクロロシラン、3−アクリルオキ
シプロピルトリクロロシラン、アリルトリクロロシラ
ン、8−ブロモオクチルトリクロロシラン、ブロモフェ
ニルトリクロロシラン、3−ブロモプロピルトリクロロ
シラン、2−(カルボメトキシ)エチルトリクロロシラ
ン、1−クロロエチルトリクロロシラン、2−クロロエ
チルトリクロロシラン、p−(クロロメチル)フェニル
トリクロロシラン、クロロメチルトリクロロシラン、ク
ロロフェニルトリクロロシラン、3−クロロプロピルト
リクロロシラン、2−(4−クロロスルホニルフェニ
ル)エチルトリクロロシラン、(3−シアノブチル)ト
リクロロシラン、2−シアノエチルトリクロロシラン、
3−シアノプロピルトリクロロシラン、(ジクロロメチ
ル)トリクロロシラン、(ジクロロフェニル)トリクロ
ロシラン、6−ヘキサン−1−エニルトリクロロシラ
ン、3−メタクリルオキシプロピルトリクロロシラン、
3−(4−メトキシフェニル)プロピルトリクロロシラ
ン、7−オクタン−1−エニルトリクロロシラン、3−
(N−フタルイミド)プロピルトリクロロシラン、1−
トリクロロシリル−2−(p,m−クロロメチルフェニ
ル)エタン、4−[2−(トリクロロシリル)エチル]
シクロヘキセン、2−[2−(トリクロロシリル)エチ
ル]ピリジン、4−[2−(トリクロロシリル)エチ
ル]ピリジン、3−(トリクロロシリル)プロピルクロ
ロフォルメート、およびビニルトリクロロシランが含ま
れる。
ロピルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ビ
ス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリ
エトキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミ
ノエチルアミン)プロピルトリメトキシシラン、3−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシラン、N−メチルア
ミノプロピルトリメトキシシラン、2−(2−アミノエ
チル−3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、およ
びN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランから
なる群から選択されるものを含む。
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランおよびフ
ェニルトリエトキシシランである。前者の後者に対する
重量比は、好ましくは約1:10から約10:1、より
好ましくは約1:5から約5:1の範囲であり、また1
つの実施態様では重量比は約1:3である。
N−メチルアミノプロピルトリメトキシシランおよびク
ロロプロピルトリメトキシシランである。前者の後者に
対する重量比は、好ましくは約1:10から約10:
1、より好ましくは約1:5から約5:1の範囲であ
り、また1つの実施態様では重量比は約1:1である。
3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)
プロピルトリメトキシシランおよびN−メチルアミノプ
ロピルトリメトキシシランである。前者の後者に対する
重量比は、好ましくは約1:10から約10:1、より
好ましくは約1:5から約5:1の範囲であり、また1
つの実施態様では重量比は約1:1である。
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランおよびN
−メチルアミノプロピルトリメトキシシランである。前
者の後者に対する重量比は、好ましくは約1:10から
約10:1、より好ましくは約1:5から約5:1の範
囲であり、また1つの実施態様では重量比は約1:3で
ある。
剤は3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン以外
のものである。
は、シランカップリング剤のみを箔の表面に塗布するこ
とによって行われる。しかし、一般には、コーティング
は、適切な媒体に溶かしたシランカップリング剤を箔表
面に塗布することによって行われる。詳しくは、シラン
カップリング剤は、水、水とアルコールとの混合液、ま
たは適切な有機溶媒における溶液の形態で、シランカッ
プリング剤のエマルジョンとして、もしくは適切な有機
溶媒にシランカップリング剤を溶かした溶液のエマルジ
ョンとして、箔表面に塗布され得る。シランカップリン
グ剤に対しては従来の有機溶媒を使用し得、これら有機
溶媒としては、例えば、アルコール、エーテル、ケト
ン、およびこれらの脂肪族または芳香族炭化水素との、
またはN,N−ジメチルホルムアミドのようなアミド類
との混合物が含まれる。有用な溶媒は、良好な濡れおよ
び乾燥特性を有するものであり、例えば、水、エタノー
ル、イソプロパノール、およびメチルエチルケトンが含
まれる。シランカップリング剤のエマルジョンは、非イ
オン性分散剤を含む従来の分散剤および表面活性剤を用
いて従来の方法で形成され得る。金属表面をシランカッ
プリング剤のエマルジョンと接触させるのが好都合であ
り得る。このような溶液またはエマルジョンにおけるシ
ランカップリング剤の濃度は、シランカップリング剤の
約100重量%であり得るが、好ましくは約0.1〜約
5重量%、より好ましくは約0.3〜約1重量%の範囲
であり得る。シランカップリング剤によるコーティング
のプロセスは、望ましくは数回繰り返され得る。しか
し、一般には1回のコーティング工程で有用な結果が得
られる。反転ローラコーティング、ドクターブレードコ
ーティング、浸漬、塗装、およびスプレーを含む公知の
塗布方法を用いて、シランカップリング剤を箔表面に塗
布し得る。
は、典型的には約15℃〜約45℃、より好ましくは約
20℃〜約30℃の温度で行われる。シランカップリン
グ剤の箔表面への塗布に続いて、シランカップリング剤
を約60℃〜約170℃、好ましくは約90℃〜約15
0℃の温度に、好ましくは約0.1〜約5分間、より好
ましくは約0.2〜約2分間、加熱して、表面の乾燥を
向上させ得る。箔上のシランカップリング剤の乾燥膜厚
さは、好ましくは約0.002〜約0.1ミクロン、よ
り好ましくは約0.005〜約0.02ミクロンであ
る。
示す。先ず、図1を参照して、本発明の銅箔構造は、つ
や消し面12および光沢面14を有する銅箔10、およ
びつや消し面12のベース表面を覆いこれに接着する接
着性促進層20よりなる。
であるが、図2の箔はまた、箔10の光沢面14のベー
ス表面を覆いこれに接着する接着性促進層22も有する
点で異なる。
光沢面14を有する銅箔10は、つや消し面12のベー
ス表面を覆いこれに接着するバリヤ層16を有する。安
定剤層18がこのバリヤ層16を覆いこれに接着する。
接着性促進層20がこの安定剤層18を覆いこれに接着
する。
であるが、図4に示す構造はまた、光沢面14のベース
表面を覆いこれに接着するバリヤ層15、バリヤ層15
を覆いこれに接着する安定剤層17、および安定剤層1
7を覆いこれに接着する接着性促進層22も有する点で
異なる。
好ましくは、つや消し面の粗さRtmが約2〜約17ミク
ロン、より好ましくは約4〜約10ミクロン、さらに好
ましくは約5〜約7ミクロンである。本発明の1つの実
施態様では、これらの箔は、重量が1平方フィート当り
約1/2オンス、つや消し面のRtmが好ましくは約2〜
約11ミクロン、より好ましくは約4〜約7ミクロンで
ある。1つの実施態様では、これらの箔は、重量が1平
方フィート当り約1オンス、つや消し面のRtmが好まし
くは約2〜約15ミクロン、より好ましくは約5〜約8
ミクロンである。1つの実施態様では、これらの箔は、
重量が1平方フィート当り約2オンス、つや消し面のR
tmが好ましくは約6〜約17ミクロン、より好ましくは
約7〜約10ミクロンである。これらの箔の光沢面のR
tmは、好ましくは約4ミクロンより小さい、より好まし
くは約3ミクロンより小さい、また好ましくは約1.5
〜約3ミクロンの範囲、より好ましくは約2〜約2.5
ミクロンの範囲である。
提示されるものである。特に言及しない限り、以下の実
施例、ならびに明細書および請求の範囲を通じて、すべ
ての部およびパーセントは重量に基づき、すべての温度
は摂氏温度であり、また全ての圧力は大気圧である。
ランを脱イオン水に溶かした0.5重量%の水溶液を調
製する。下記のような粗さ(Rtm)および処理特性(例
えば、無または未処理、安定剤層、バリヤ層の上に安定
剤層)を有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料を、この溶
液に30秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液を該当する面
から除去して風乾する。試料を炉で90±5℃で1分間
加熱し、シラン処理した試料を得る。シラン処理した試
料、およびシラン処理を行わない以外はこれと同一の箔
試料を積層して、二官能性エポキシプリプレグにする。
これら試料に1/4インチ幅で線を刻んで、初期剥離強
度を評価する。結果は以下の通りである。
ル)−3−アミノプロピルトリエトキシシランを脱イオ
ン水に溶かした0.5重量%の水溶液を調製する。下記
のような粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の電
着銅箔試料を、この溶液に30秒間浸漬し、圧搾して余
分な溶液を光沢面から除去して風乾する。試料を炉で9
0±5℃で1分間加熱し、シラン処理した試料を得る。
シラン処理した試料、およびシラン処理を行わない以外
はこれと同一の箔試料を積層して、二官能性エポキシプ
リプレグにする。これら試料に1/4インチ幅で線を刻
んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通りであ
る。
オン水に溶かした0.5重量%の水溶液を調製する。下
記のような粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の
電着銅箔試料を、この溶液に30秒間浸漬し、圧搾して
余分な溶液を片面から除去して風乾する。試料を炉で9
0±5℃で1分間加熱し、シラン処理した試料を得る。
シラン処理した試料、およびシラン処理を行わない以外
はこれと同一の箔試料を積層して、二官能性エポキシプ
リプレグにする。これら試料に1/4インチ幅で線を刻
んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通りであ
る。
オン水に溶かした0.5重量%の水溶液を調製する。下
記のような粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の
電着銅箔試料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧搾して余
分な溶液を片面から除去して風乾する。試料を、炉で9
0±5℃で1分間加熱し、シラン処理した試料を得る。
シラン処理した試料、およびシラン処理を行わない以外
はこれと同一の箔試料を積層して、四官能性エポキシプ
リプレグにする。これら試料に1/4インチ幅で線を刻
んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通りであ
る。
2−アミノエチルアミン)プロピルトリメトキシシラン
を脱イオン水に溶かした0.5重量%の水溶液を調製す
る。下記のような粗さおよび処理特性を有する重量1oz
/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧搾
して余分な溶液を片面から除去して風乾する。試料を、
炉で90±5℃で1分間加熱し、シラン処理した試料を
得る。シラン処理した試料、およびシラン処理を行わな
い以外はこれと同一の箔試料を積層して、二官能性エポ
キシプリプレグにする。これら試料に1/4インチ幅で
線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通
りである。
リメトキシシランを脱イオン水に溶かした0.5重量%
の水溶液を調製する。下記のような粗さおよび処理特性
を有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30
秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液を片面から除去して風
乾する。試料を、炉で90±5℃で1分間加熱し、シラ
ン処理した試料を得る。シラン処理した試料、およびシ
ラン処理を行わない以外はこれと同一の箔試料を積層し
て、二官能性エポキシプリプレグにする。これら試料に
1/4インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度を評価す
る。結果は以下の通りである。
リメトキシシランを脱イオン水に溶かした0.5重量%
水溶液を調製する。下記のような粗さおよび処理特性を
有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒
間浸漬し、圧搾して余分な溶液を片面から除去して風乾
する。試料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱し、シラ
ン処理試料を得る。シラン処理試料、およびシラン処理
を行わない以外はこれと同一の箔試料を、積層して四官
能性エポキシプリプレグにする。試料に1/4インチ幅
で線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の
通りである。
リメトキシシランを脱イオン水に溶かした0.5重量%
水溶液を調製する。下記のような粗さおよび処理特性を
有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒
間浸漬し、圧搾して余分な溶液を艶消し面から除去し
て、風乾する。試料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱
し、シラン処理試料を得る。シラン処理試料、およびシ
ラン処理を行わない以外はこれと同一の箔試料を、積層
して二官能性エポキシプリプレグにする。試料に1/4
インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果
は以下の通りである。
―アミノプロピル)トリメトキシシランを脱イオン水に
溶かした0.5重量%水溶液を調製する。下記のような
粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の電着銅箔試
料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液を
艶消し面から除去して風乾する。試料を、炉で90±5
゜Cで1分間加熱し、シラン処理試料を得る。シラン処
理試料、およびシラン処理を行わない以外はこれと同一
の箔試料を、積層して二官能性エポキシプリプレグにす
る。試料に1/4インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度
を評価する。結果は以下の通りである。
3―アミノプロピル)トリメトキシシランを脱イオン水
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。下記のよう
な粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の電着銅箔
試料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液
を光沢面から除去して風乾する。試料を、炉で90±5
゜Cで1分間加熱し、シラン処理試料を得る。シラン処
理試料、およびシラン処理を行わない以外はこれと同一
の箔試料を、積層して四官能性エポキシプリプレグにす
る。試料に1/4インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度
を評価する。結果は以下の通りである。
3―アミノプロピル)トリメトキシシランを脱イオン水
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。下記のよう
な粗さおよび処理特性を有する重量1oz/ft2の電着銅箔
試料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液
を光沢面から除去して風乾する。試料を、炉で90±5
゜Cで1分間加熱し、シラン処理試料を得る。シラン処
理試料、およびシラン処理を行わない以外はこれと同一
の箔試料を、積層して多官能性エポキシプリプレグにす
る。試料に1/4インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度
を評価する。結果は以下の通りである。
ルトリメトキシシランを脱イオン水に溶かした0.5重
量%水溶液を調製する。下記のような粗さおよび処理特
性を有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に3
0秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液を片面から除去して
風乾する。試料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱し、
シラン処理試料を得る。シラン処理試料、およびシラン
処理を行わない以外はこれと同一の箔試料を、積層して
二官能性エポキシプリプレグにする。試料に1/4イン
チ幅で線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果は以
下の通りである。
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。シラン混合
物は、3―グリシドキシプロピルトリメトキシシラン2
5重量%と、フェニルトリエトキシシラン75重量%から
成る。下記のような粗さおよび処理特性を有する重量1
oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒間浸漬し、圧
搾して余分な溶液を光沢面から除去して風乾する。試料
を、炉で90±5゜Cで1分間加熱し、シラン処理試料
を得る。シラン処理試料、およびシラン処理を行わない
以外はこれと同一の箔試料を、積層して二官能性エポキ
シプリプレグにする。試料に1/4インチ幅で線を刻ん
で、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通りであ
る。
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。シラン混合
物は、N―メチルアミノプロピルトリメトキシシラン5
0重量%と、クロロプロピルトリメトキシシラン50重
量%から成る。下記のような粗さおよび処理特性を有す
る重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒間浸
漬し、圧搾して余分な溶液を光沢面から除去して風乾す
る。試料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱し、シラン
処理試料を得る。シラン処理試料、およびシラン処理を
行わない以外はこれと同一の箔試料を、積層して二官能
性エポキシプリプレグにする。試料に1/4インチ幅で
線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通
りである。
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。シラン混合
物は、3―(N―スチリルメチル―2―アミノエチルア
ミノ)プロピルトリメトキシシラン50重量%と、N―
メチルアミノプロピルトリメトキシシラン50重量%か
ら成る。下記のような粗さおよび処理特性を有する重量
1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に30秒間浸漬し、
圧搾して余分な溶液を光沢面から除去して風乾する。試
料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱し、シラン処理試
料を得る。シラン処理試料、およびシラン処理を行わな
い以外はこれと同一の箔試料を、積層して二官能性エポ
キシプリプレグにする。試料に1/4インチ幅で線を刻
んで、初期剥離強度を評価する。結果は以下の通りであ
る。
に溶かした0.5重量%水溶液を調製する。シラン混合
物は、3―グリシドキシプロピルトリメトキシシラン5
0重量%と、N―メチルアミノプロピルトリメトキシシ
ラン50重量%から成る。下記のような粗さおよび処理
特性を有する重量1oz/ft2の電着銅箔試料をこの溶液に
30秒間浸漬し、圧搾して余分な溶液を光沢面から除去
して風乾する。試料を、炉で90±5゜Cで1分間加熱
し、シラン処理試料を得る。シラン処理試料、およびシ
ラン処理を行わない以外はこれと同一の箔試料を、積層
して二官能性エポキシプリプレグにする。試料に1/4
インチ幅で線を刻んで、初期剥離強度を評価する。結果
は以下の通りである。
び構造的な安定性を与えるために、該誘電性基板に接合
され得る。本発明の接着性促進層により、銅箔と誘電性
基板との間の接合力または剥離強度が高められる。本発
明の銅箔は、表面粗さの増加を防止し、しかも誘電性基
板との間に、有効な接合力または剥離強度を示す、とい
う利点を有する。このような箔は、標準プロフィル表
面、低プロフィル表面、および超低プロフィル表面さえ
有し得、しかも所望の剥離強度を示す。本発明の箔で
は、つや消し面と光沢面のどちらかが誘電性基板に有効
に接合され得る。
(例えば、二官能性、四官能性、多官能性エポキシな
ど)である部分的硬化樹脂に、ガラス繊維強化材料を含
浸させることによって調製され得る。他の有用な樹脂に
は、ホルムアルデヒトと尿素、もしくはホルムアルデヒ
トとメラミンとの反応から生じるアミノ型樹脂、ポリエ
ステル、フェノール樹脂、シリコーン、ポリアミド、ポ
リイミド、ジ―アリルフタレート、フェニルシラン、ポ
リベンズイミダゾール、ジフェニルオキサイド、ポリテ
トラフルオロエチレン、シアン酸エステル、などが含ま
れる。これらの誘電性基板は、プリプレグと称されるこ
とがある。
銅箔の両方を、ロール状に一巻きにした長いウエブ状で
与えると有用である。1つの実施態様では、これら箔と
プリプレグの長いウエブは、連続した工程によって積層
される。この工程では、接着性促進層が接着した本発明
の連続的ウエブを、積層条件下でプリプレグ材料の連続
的ウエブに接触させ、積層構造物を形成する。次に、こ
の積層構造物を方形シートに切断し、方形シートは、う
ず高い状態に積み上げられるか集められる。
料の長いウエブは、まず方形シートに切断され、次に積
層化される。この工程では、接着性促進層が接着した本
発明の箔と、プリプレグ材料の方形シートとは、次い
で、うず高い状態に積み上げられるか集められる。
ちらかの面に備えたプリプレグシートを有し得る。どの
場合も、接着性促進層が接着した銅箔シートの面(もし
くは、その内の一面)が、プリプレグに隣接して配置さ
れる。銅箔シート間にプリプレグシートを挟んだサンド
イッチ構造を有する積層物を調製するため、上記集合物
は、積層プレス板の間で、公知の積層温度および圧力に
よって処理され得る。プリプレグは、部分的に硬化され
た二段法(two-stage)樹脂で含浸されたガラス繊維強
化ファブリックから構成され得る。熱と圧力を加えるこ
とにより、銅箔はプリプレグに対してきつく押し付けら
れる。集合物の受ける温度は、樹脂を活性化して、硬化
つまり樹脂の架橋を起こさせ、それによって、箔をプリ
プレグ誘電性基板に堅く接合させる。一般に積層工程
は、圧力約250〜750psi、温度約175゜C〜23
5゜C、そして約40分から2時間の積層サイクルを必
要とする。完成した積層物は、プリント回路板(PC
B)を作成するのに使用され得る。
はパターンを形成するために、積層物は、多層回路板を
作成する工程の一部として減法銅エッチング処理を受け
る。次に、上述の技術を用いて、第二の接着性促進層
が、エッチングされたパターンの上に設けられる。そし
て、第二のプリプレグが、エッチングされたパターンの
上に接着され、第二の接着性促進層は、エッチングされ
たパターンと第二のプリプレグの間に配置され、その両
方に接着される。多層回路板を作成する技術は、当該技
術分野で周知である。同様に、減法エッチングプロセス
も周知であり、例えば、本発明に参考として援用されて
いる米国特許第5,017,271号に開示されている。
製造方法が用いられ得る。さらに、PCBには、テレ
ビ、ラジオ、コンピュータを含めて、多種多様な最終用
途への適用が存在する。これらの方法および最終用途は
当該技術分野で公知である。
が、本明細書を読むことで当業者に本発明の様々な変形
が明らかになることが理解されるであろう。従って、開
示された発明は、そのような変形を添付の請求項の請求
の範囲に含むものとして理解されたい。
て、接着が強められるばかりでなく、特に電着銅箔の光
沢面が処理される場合、処理された箔に、より強い耐酸
化特性が与えられる点にある。当業界では、より速い、
より高温の処理を実施する傾向があるため、後者の特性
には特別な価値がある。さらに、本発明の接着性促進層
には、処理された箔に、より優れた酸アンダーカット耐
性を与えるという利点がある。
性促進層の側面図である。
付着した接着性促進層の側面図である。
ヤ層、安定剤層および接着性促進層の側面図である。
付着したバリヤ層、安定剤層および接着性促進層の側面
図である。
Claims (35)
- 【請求項1】 少なくとも一面に接着性促進層を有する
金属箔であって、 該接着性促進層が、少なくとも1つのシランカップリン
グ剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づ
けられ、 該接着性促進層の下に形成される該金属箔のベース表面
が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース表面
に付着した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことに
よって特徴づけられる、 金属箔。 - 【請求項2】 前記金属箔がつや消し面と光沢面とを有
し、前記接着性促進層が該つや消し面上に形成されてい
る、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項3】 前記金属箔がつや消し面と光沢面とを有
し、前記接着性促進層が該光沢面上に形成されている、
請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項4】 前記金属箔の前記一面に前記接着性促進
層を形成する前に、該金属箔の該一面は処理されない、
請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項5】 前記接着性促進層が前記金属箔の両面に
形成されている、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項6】 前記金属箔が電着銅箔である、請求項1
に記載の金属箔。 - 【請求項7】 前記金属箔が錬銅箔である、請求項1に
記載の金属箔。 - 【請求項8】 前記金属箔の前記一面が標準プロフィル
面である、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項9】 前記金属箔の前記一面が低プロフィル面
である、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項10】 前記金属箔の前記一面が超低プロフィ
ル面である、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項11】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化1】 Rが官能基で置換された炭化水素基であり、該官能基で
置換された炭化水素基の官能置換基がアミノ、ヒドロキ
シ、ハロ、メルカプト、アルコキシ、アシルまたはエポ
キシであり、Xが加水分解性基であり、nが1、2また
は3である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項12】 前記シランカップリング剤が、N−
(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチ
ルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチ
ル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、β−
(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキ
シシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルト
リクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニル−
トリス(2−メトキシエトキシ)シラン、アミノプロピ
ルトリメトキシシラン、N−メチルアミノプロピルトリ
メトキシシラン、N−フェニルアミノプロピルトリメト
キシシラン、3−アセトキシプロピルトリメトキシシラ
ン、N−(3−アクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピ
ル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−ア
クリルオキシプロピルトリメトキシシラン、アリルトリ
エトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、4−アミ
ノブチルトリエトキシシラン、(アミノエチルアミノメ
チル)フェネチルトリメトキシシラン、N−(2−アミ
ノエチル−3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、
N−(2−アミノエチル−3−アミノプロピル)トリス
(2−エチルヘキソキシ)シラン、6−(アミノヘキシ
ルアミノプロピル)トリメトキシシラン、アミノフェニ
ルトリメトキシシラン、3−(1−アミノプロポキシ)
−3,3−ジメチル−1−プロペニルトリメトキシシラ
ン、3−アミノプロピルトリス(メトキシエトキシエト
キシ)シラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラ
ン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、ω−アミ
ノウンデシルトリメトキシシラン、3−[2−N−ベン
ジルアミノエチルアミノプロピル]トリメトキシシラ
ン、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、8−ブロモオクチルトリメトキ
シシラン、ブロモフェニルトリメトキシシラン、3−ブ
ロモプロピルトリメトキシシラン、2−クロロエチルト
リエトキシシラン、p−(クロロメチル)フェニルトリ
メトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、ク
ロロフェニルトリエトキシシラン、3−クロロプロピル
トリエトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシ
シラン、2−(4−クロロスルホニルフェニル)エチル
トリメトキシシラン、3−(シアノエトキシ)−3,3
−ジメチル−1−プロペニルトリメトキシシラン、2−
シアノエチルトリエトキシシラン、2−シアノエチルト
リメトキシシラン、(シアノメチルフェネチル)トリメ
トキシシラン、3−シアノプロピルトリエトキシシラ
ン、3−シクロペンタジエニルプロピルトリエトキシシ
ラン、(N,N−ジエチル−3−アミノプロピル)トリ
メトキシシラン、ジエチルホスファトエチルトリエトキ
シシラン、(N,N−ジメチル−3−アミノプロピル)
トリメトキシシラン、2−(ジフェニルホスフィノ)エ
チルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシク
ロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−ヨードプ
ロピルトリメトキシシラン、3−イソシアナートプロピ
ルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエ
トキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシ
ラン、メタクリルオキシプロペニルトリメトキシシラ
ン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラ
ン、3−メタクリルオキシプロピルトリス(メトキシエ
トキシ)シラン、3−メトキシプロピルトリメトキシラ
ン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシシラン、O
−4−メチルクマリニル−N−[3−(トリエトキシシ
リル)プロピル]カルバメート、7−オクタン−1ーエ
ニルトリメトキシシラン、N−フェネチル−N’−トリ
エトキシシリルプロピル、N−フェニルアミノプロピル
トリメトキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−
アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3
−チオシアナートプロピルトリエトキシシラン、N−
(3−トリエトキシシリルプロピル)アセチルグリシン
アミド、N−(トリエトキシシリルプロピル)ダンシル
アミド、N−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]
−2,4−ジニトロフェニルアミン、トリエトキシシリ
ルプロピルエチルカルバメート、N−[3−(トリエト
キシシリル)プロピル]−4,5−ジヒドロイミダゾー
ル、N−トリエトキシシリルプロピル−oーメントカル
バメート、3−(トリエトキシシリルプロピル)−p−
ニトロベンズアミド、N−[3−(トリエトキシシリ
ル)プロピル]フタルアミド酸、N−(トリエトキシシ
リロプロピル)尿素、1−トリメトキシシリル−2−
(p,m−クロロメチル)−フェニルエタン、2−(ト
リメトキシシリル)−エチルフェニルスルホニルアジ
ド、β−トリメトキシシリルエチル−2−ピリジン、ト
リメトキシシリルオクチルトリメチルアンモニウムブロ
マイド、トリメトキシシリルプロピルシンナメート、N
(3−トリメトキシシリルプロピル)−N−メチル−
N,N−ジアリルアンモニウムクロライド、トリメトキ
シシリルプロピルジエチレントリアミン、N−[(3−
トリメトキシシリル)プロピル]エチレンジアミン三酢
酸三ナトリウム塩、トリメトキシシリルプロピルイソチ
オウロニウムクロライド、N−(3−トリメトキシシリ
ルプロピル)ピロール、N−トリメトキシシリルプロピ
ルトリ−N−ブチルアンモニウムブロマイド、N−トリ
メトキシシリルプロピル−N,N,N−トリメチルアン
モニウムクロライド、ビニルトリエトキシシラン、ビニ
ルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリス−t−ブトキシシラン、ビニルトリス
(2−メトキシエトキシ)シラン、ビニルトリイソプロ
ペノキシシラン、ビニルトリス(t−ブチルペルオキ
シ)シラン、2−アセトキシエチルトリクロロシラン、
3−アクリルオキシプロピルトリクロロシラン、アリル
トリクロロシラン、8−ブロモオクチルトリクロロシラ
ン、ブロモフェニルトリクロロシラン、3−ブロモプロ
ピルトリクロロシラン、2−(カルボメトキシ)エチル
トリクロロシラン、1−クロロエチルトリクロロシラ
ン、2−クロロエチルトリクロロシラン、p−(クロロ
メチル)フェニルトリクロロシラン、クロロメチルトリ
クロロシラン、クロロフェニルトリクロロシラン、3−
クロロプロピルトリクロロシラン、2−(4−クロロス
ルホニルフェニル)エチルトリクロロシラン、(3−シ
アノブチル)トリクロロシラン、2−シアノエチルトリ
クロロシラン、3−シアノプロピルトリクロロシラン、
(ジクロロメチル)トリクロロシラン、(ジクロロフェ
ニル)トリクロロシラン、6−ヘキサン−1−エニルト
リクロロシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリク
ロロシラン、3−(4−メトキシフェニル)プロピルト
リクロロシラン、7−オクタン−1−エニルトリクロロ
シラン、3−(N−フタルイミド)プロピルトリクロロ
シラン、1−トリクロロシリル−2−(p,m−クロロ
メチルフェニル)エタン、4−[2−(トリクロロシリ
ル)エチル]シクロヘキセン、2−[2−(トリクロロ
シリル)エチル]ピリジン、4−[2−(トリクロロシ
リル)エチル]ピリジン、3−(トリクロロシリル)プ
ロピルクロロフォルメート、およびビニルトリクロロシ
ランからなる群から選択される少なくとも1つの化合物
である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項13】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化2】 R1、R2およびR3が独立して水素または炭化水素基で
あり、 R4およびR5が独立してアルキレン基またはアルキリデ
ン基であり、 R6、R7およびR8が独立して炭化水素基である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項14】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化3】 R1、R2およびR3が独立して水素または炭化水素基で
あり、 R4がアルキレン基またはアルキリデン基であり、 R5、R6およびR7が独立して炭化水素基である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項15】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化4】 R1およびR2が独立して水素または炭化水素基であり、 R3がアルキレン基またはアルキリデン基であり、 R4、R5およびR6が独立してヒドロカルビル基であ
る、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項16】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化5】 R1、R2およびR4が独立して水素または炭化水素基で
あり、 R3およびR5が独立してアルキレン基またはアルキリデ
ン基であり、 R6、R7およびR8が独立して炭化水素基である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項17】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化6】 R1が水素または炭化水素基であり、 R2がアルキレン基またはアルキリデン基であり、 R3、R4およびR5が独立して炭化水素基である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項18】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化7】 R1、R2、R3、R5およびR7が独立して水素または炭
化水素基であり、 R4、R6およびR8が独立してアルキレン基またはアル
キリデン基であり、 各R9が独立して炭化水素基であり、 Arが芳香族基であり、 Xがハロゲンである、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項19】 前記シランカップリング剤が以下の式
で示される少なくとも1つの化合物であり、 【化8】 R1、R2、R3、R5、R6およびR7が独立して炭化水素
基であり、 R4がアルキレン基またはアルキリデン基であり、 nが0または1である、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項20】 前記シランカップリング剤が、アミノ
プロピルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルト
リエトキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−ア
ミノエチルアミン)プロピルトリメトキシシラン、3−
グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、N−メチル
アミノプロピルトリメトキシシラン、2−(2−アミノ
エチル−3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、お
よびN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランか
らなる群から選択される、請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項21】 前記シランカップリング剤がシランカ
ップリング剤の混合物であって、該混合物は、 (A)3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランお
よびフェニルトリエトキシシラン; (B)N−メチルアミノプロピルトリメトキシシランお
よびクロロプロピルトリメトキシシラン; (C)3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルア
ミノ)プロピルトリメトキシシランおよびN−メチルア
ミノプロピルトリメトキシシラン;または(D)3−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランおよびN−メチ
ルアミノプロピルトリメトキシシランである、 請求項1に記載の金属箔。 - 【請求項22】 少なくとも1つの金属層が、前記金属
箔の前記一面と、前記接着性促進層との間に設けられ、
該金属層中の金属が、インジウム、錫、ニッケル、コバ
ルト、真鍮、青銅、または2個以上のこれらの金属の混
合物からなる群から選択される、請求項1に記載の金属
箔。 - 【請求項23】 少なくとも1つの金属層が、前記金属
箔の前記一面と、前記接着性促進層との間に設けられ、
該金属層中の金属が、錫、クロム−亜鉛混合物、ニッケ
ル、モリブデン、アルミニウム、および2個以上のこれ
らの金属の混合物からなる群から選択される、請求項1
に記載の金属箔。 - 【請求項24】 少なくとも1つの第1金属層が前記金
属箔の前記一面に接着され、該第1金属層中の金属が、
インジウム、錫、ニッケル、コバルト、真鍮および青銅
からなる群から選択され、少なくとも1つの第2金属層
が該第1金属層に接着され、該第2金属層中の金属が、
錫、クロム、クロム−亜鉛混合物、亜鉛、ニッケル、モ
リブデン、アルミニウム、および2個以上のこれらの金
属の混合物からなる群から選択され、該接着性促進層
が、該第2金属層に接着されている、請求項1に記載の
金属箔。 - 【請求項25】 つや消し面と、光沢面と、該光沢面上
に形成されている接着性促進層とを有する銅箔であっ
て、該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリ
ング剤を含有し、該接着性促進層の下に形成されている
該銅箔のベース表面が、表面粗さを加えられないことに
よって特徴づけられる、銅箔。 - 【請求項26】 つや消し面と、光沢面と、該光沢面上
に形成されている接着性促進層とを有する銅箔であっ
て、該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリ
ング剤を含有し、該光沢面のベース表面が、表面粗さが
加えられないこと、および該ベース表面に付与された亜
鉛層が存在しないことによって特徴づけられる、銅箔。 - 【請求項27】 少なくとも一面に接着性促進層を有す
る金属箔であって、 該接着性促進層が、少なくとも1つのシランカップリン
グ剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づ
けられ、該シランカップリング剤が3−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシラン以外のものであり、 該接着性促進層の下に形成されている該金属箔のベース
表面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース
表面に付着した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないこ
とによって特徴づけられる、金属箔。 - 【請求項28】 つや消し面と、光沢面と、該光沢面上
に形成されている接着性促進層とを有する銅箔であっ
て、該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリ
ング剤を含有し、該シランカップリング剤が3−グリシ
ドキシプロピルトリメトキシシラン以外のものであり、
該接着性促進層の下に形成されている該金属箔のベース
表面が、表面粗さが加えられないことによって特徴づけ
られる、銅箔。 - 【請求項29】 少なくとも一面に接着性促進層を有す
る電着銅箔であって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に形成されている該銅箔のベース表
面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース表
面に付着した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないこと
によって特徴づけられ、 該ベース表面が、該ベース表面に付着した少なくとも1
つの金属層を有し、該金属層中の金属が、インジウム、
錫、ニッケル、コバルト、真鍮、青銅または2個以上の
これらの金属の混合物からなる群から選択され、該接着
性促進層が該金属層に付着している、 電着銅箔。 - 【請求項30】 少なくとも一面に接着性促進層を有す
る電着銅箔であって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に形成されている該銅箔のベース表
面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース表
面に付着した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないこと
によって特徴づけられ、 該ベース表面が、該ベース表面に付着した少なくとも1
つの金属層を有し、該金属層中の金属が、錫、クロム−
亜鉛混合物、ニッケル、モリブデン、アルミニウム、お
よび2個以上のこれらの金属の混合物からなる群から選
択され、該接着性促進層が該金属層に付着している、 電着銅箔。 - 【請求項31】 少なくとも一面に接着性促進層を有す
る電着銅箔であって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に形成されている該銅箔のベース表
面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース表
面に付着した亜鉛層もしくはクロム層が存在しないこと
によって特徴づけられ、 該ベース表面が該ベース表面に付着した少なくとも1つ
の第1金属層を有し、該第1金属層中の金属が、インジ
ウム、錫、ニッケル、コバルト、真鍮および青銅からな
る群から選択され、少なくとも1つの第2金属層が該第
1金属層に接着され、該第2金属層中の金属が、錫、ク
ロム、クロム−亜鉛混合物、亜鉛、ニッケル、モリブデ
ン、アルミニウム、および2個以上のこれらの金属の混
合物からなる群から選択され、該接着性促進層が、該第
2金属層に接着されている、 電着銅箔。 - 【請求項32】 少なくとも一面に低プロフィル表面
と、接着性促進層とを有する電着銅箔であって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に形成されている該銅箔のベース表
面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース表
面に接着された亜鉛層もしくはクロム層が存在しないこ
とによって特徴づけられる、 電着銅箔。 - 【請求項33】 導電性材料層と、非導電性材料層と、
該導電性材料層と該非導電性材料層との間に設けられた
接着性促進層とを包含するラミネートであって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に形成されている該導電性材料層の
ベース表面が、表面粗さが加えられないこと、または該
ベース表面に接着された亜鉛層もしくはクロム層が存在
しないことによって特徴づけられる、 ラミネート。 - 【請求項34】 エッチングされた導電性材料層と、非
導電材料層と、該導電材料層と該非導電性材料層との間
に設けられ接着された接着性促進層とを包含するエッチ
ングされたラミネートであって、 該接着性促進層が少なくとも1つのシランカップリング
剤を含有し、クロムが存在しないことによって特徴づけ
られ、 該接着性促進層の下に存在する該導電性材料層のベース
表面が、表面粗さが加えられないこと、または該ベース
表面に接着された亜鉛層もしくはクロム層が存在しない
ことによって特徴づけられる、 エッチングされたラミネート。 - 【請求項35】 対向する第1面と第2面とを有するエ
ッチングされた導電材料層と、非導電性材料の第1層
と、非導電性材料の第2層と、第1接着性促進層と、第
2接着性促進層とを包含するエッチングされた多層ラミ
ネートであって、該第1接着性促進層が、該エッチング
された導電材料層の該第1面と、該非導電材料の第1層
との間に設けられ接着され、該第2接着性促進層が、該
エッチングされた導電材料の該第2面と、該非導電材料
の第2層との間に設けられ、 該第1接着性促進層および該第2接着性促進層が、少な
くとも1つのシランカップリング剤を含有し、クロムが
存在しないことによって特徴づけられ、 該第1および第2接着性促進層の下に形成されている該
導電性材料層の該1面および該2面のベース表面が、表
面粗さが加えられないこと、または該ベース表面に接着
された亜鉛層もしくはクロム層が存在しないことによっ
て特徴づけられる、 多層ラミネート。
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