JPH07148634A - ワークキャリア部材を機械加工装置に位置決めする方法および機械加工装置に位置決めするのに適したワークキャリア部材 - Google Patents

ワークキャリア部材を機械加工装置に位置決めする方法および機械加工装置に位置決めするのに適したワークキャリア部材

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JPH07148634A
JPH07148634A JP6182581A JP18258194A JPH07148634A JP H07148634 A JPH07148634 A JP H07148634A JP 6182581 A JP6182581 A JP 6182581A JP 18258194 A JP18258194 A JP 18258194A JP H07148634 A JPH07148634 A JP H07148634A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークキャリア部材のXY方向とZ軸まわり
の角度方向に対する正確な有効位置を簡単に決定できる
ようし、ワークキャリア部材を機械加工装置に対して所
定の正確な位置に置くことを不要とする。 【構成】 ワークキャリア部材1を機械加工装置40に
挿入し、所望の呼称位置と少なくともほぼ一致する位置
で固定する。その後、ワークキャリア部材1に設けた2
つの基準マーク22、23を走査してワークキャリア部
材1の有効位置を決定し、別の測定整合ステーション3
0でワークキャリア部材1に収容されたワーク50〜5
4の正確な位置を決定する。測定した位置データは機械
加工装置40に転送する。ワークキャリア部材1に収容
されたワーク50〜54の有効位置は基準マーク22、
23の位置に基づいて計算する。また、ワークキャリア
部材1にはお互いに水平方向に一定距離だけ離れている
少なくとも2つの基準マーク22〜25がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークキャリア部材を
機械加工装置に位置決めする方法、およびこの方法を実
行するのに適したワークキャリア部材に関する。さら
に、本発明は、ワークを機械加工装置の作業区域内に正
確に位置決めするためのそのようなワークキャリア部材
に関する。
【0002】
【従来の技術】ワークを機械加工する機械加工装置を大
きな中断なく動作させるために、ワークキャリア部材を
前記機械加工装置に固定する前に、機械加工を施すワー
クをワークキャリア部材にクランプして固定し収容する
ことが行われている。この作業は、好ましくは、ワーク
キャリア部材にワークが固定される特別に適合した測定
整合ステーションにおいて行われ、その後、ワークのワ
ークキャリア部材に対する正確な位置が決定され記憶さ
れる。通常、ワークキャリア部材には、測定整合ステー
ションにおいてだけでなく機械加工装置においてもワー
クキャリア部材の位置を決めるクランピング手段が設け
られている。言い換えれば、位置決め手段としての役を
も果たす前記クランピング手段、または少なくともそれ
の1つは、ワークキャリア部材に収容されたワークの位
置を決定し記憶する際の基準である。
【0003】たいていの場合、これらの位置決めクラン
ピング手段は、ワークキャリア部材から突き出たクラン
ピングピン部材によって構成されており、このクランピ
ングピン部材は、ワークキャリア部材を機械加工装置の
ワークテーブルにクランプする際に、前記ワークテーブ
ルの対応する位置に設けられたクランピング位置決め孔
に嵌合される。このようにして、ワークキャリア部材、
そしてワークキャリア部材に収容されたワークは、機械
加工装置に付与された座標系または基準格子に対して機
械加工装置のワークテーブル上の十分に規定された位置
に固定される。もちろん、位置決め孔をワークキャリア
部材に設け、位置決めピンまたはスタッドを機械加工装
置のワークテーブルに設けることも可能である。
【0004】通常、ワークキャリア部材に対する各ワー
クの正確な位置は、お互いに直角にX方向およびY方向
に伸びる2つの軸と、Z軸(つまり、X軸とY軸の交点
を通り直角方向に伸びる軸)のまわりの角度的方向とに
よって規定される。たとえワークキャリア部材およびこ
れに収容されたワークのZ軸方向の位置もまたそれぞれ
ワークを機械加工する際に重要であるとしても、それは
位置決めおよび位置の正確な決定のそれぞれに関する限
りそれほど重要ではない。
【0005】機械加工を施す1個以上のワークを収容す
るワークキャリア部材を位置的に正確にクランプする方
法として、多くの技術が知られている。このような方法
に関する要求条件は、ワークに対する所望の機械加工精
度によって完全に決まる。さらなる判定規準は次のとお
りである。お互いにまったく異なる複数の機械加工装置
によって1個のワークをいくつのステップで機械加工し
なければならない場合には、ワークキャリア部材をそれ
ぞれ各機械加工装置にクランプしそれから取り除かなけ
ればならない。したがって、絶対位置精度のほかに、ま
ず何よりも機械加工装置の座標系または基準格子に対す
るワークの繰返し位置精度が最も重要である。
【0006】以下の観察について、ワークキャリア部材
を機械加工装置および/または測定整合ステーションに
位置決めするプロセスや方法に関する限り、また、ワー
クキャリア部材それ自体の設計や構造に関する限り、特
に、ワークキャリア部材に収容されたワークの機械加工
精度としては1ミリメートルの数千分の一の範囲内の精
度が要求されそして実現されるべきものと仮定してあ
る。
【0007】ドイツ特許第31 15 586号には、
とくに小寸法のワークをクランプして収容するのに適し
た二部品ワーククランピングシステム(two part work p
iececlamping system) が開示されている。このクラン
ピングシステムは、チャック部材と、このチャック部材
に十分に規定された位置で接続するのに適したワークキ
ャリア部材とを有している。したがって、チャック部材
にはいくつかの突き出た位置決めスタッドまたはピンが
設けられており、これらはワークキャリア部材に設けら
れた対応する数の対応する位置にある位置決め孔に嵌合
される。スタッドまたはピンと孔とからなるこれらペア
の中の2組の共働によって、ワークキャリア部材に収容
されたワークをチャック部材に対して正確に位置決めす
ることが保証される。第1のスタッドまたはピンと孔と
のペアによって、ワークのX方向およびY方向の正確な
位置が決定され、そしてもう一方のスタッドまたはピン
と孔とのペアによって、Z軸のまわりのワークの角度的
方向が決定される。
【0008】このようなクランピングシステムにおいて
高度の位置的精度を達成するためには、センタリングピ
ンまたはスタッドだけでなくこれと共働するセンタリン
グ孔をお互いに高精度に位置決めすることが絶対的に必
要である。この方法によってのみ、センタリングピンま
たはスタッドとセンタリング孔との確かな共働が保証さ
れる。しかし、こうして、非常に高度の製造精度が要求
される。
【0009】このようなセンタリングシステムの他の問
題は、通常円錐形に設計されたセンタリングピンまたは
スタッドによってもたらされる。なぜなら、X方向とY
方向の位置はセンタリングピンまたはスタッドと孔との
それぞれのペアによってお互いに独立して規定されるた
め、クランピングチャック部材に対するワークキャリア
部材の幾何学的位置が過度に規定されることになるから
である。
【0010】大きな寸法を持ったこの種のクランピング
システム、たとえばフレーム状に設計されたワークキャ
リア部材について、これらの問題はなおいっそう顕著で
ある。できるだけ安定かつ正確に位置決めするために、
ピンと孔のペアはそれぞれできるだけ他のピンと孔のペ
アから離れて位置される。したがって、このような設計
においては、得られる位置決め精度がたとえば熱的影響
によってそこなわれるので、たとえば50cmの長さおよ
び/または幅を持ったたとえばフレーム状のワークキャ
リア部材を備えたクランピングシステムの場合、ワーク
キャリア部材に収容されたワークの位置に約1ミリメー
トルの数百分の一の誤差が生じることがあるという不利
益が生じる。
【0011】これらの問題を最小化するために、本出願
人は、上記問題をいくぶん回避しうるヨーロッパ特許出
願公開(EP−A2)第0,403,428号における
クランピングシステムを提案し開示している。この設計
は、センタリング孔を備えたフレーム状のキャリアユニ
ットの形をしたワークキャリア部材からなっている。セ
ンタリング孔は、機械加工装置のワークテーブルの表面
の対応する位置に配置されたセンタリングピンと共働す
る。そのために、機械加工装置に対するワークキャリア
部材のX方向とY方向の位置を規定しそれによって基準
座標系または格子の原点を設定するセンタリング孔とセ
ンタリングピンの第1グループが設けられている。そし
て、ワークキャリア部材の上記原点のまわり、つまりZ
軸のまわりの角度的方向を規定するために、前記第1グ
ループのセンタリング孔とセンタリングピンからX方向
に一定の距離だけ離れて位置されたセンタリング孔とセ
ンタリングピンの第2グループが設けられている。特に
非常に大きなワークキャリア部材の場合には、Z軸のま
わりの角度的方向をさらに規定するために、前記第1グ
ループのセンタリング孔とセンタリングピンからY方向
に一定の距離だけ離れて位置されたセンタリング孔とセ
ンタリングピンのさらに他のグループを設ける。このよ
うな設計のクランピングシステムによって、ワークキャ
リア部材の機械加工装置に対する非常に高度の位置的精
度が達成され、熱に起因する長さの変化が前記システム
の原点の漠然としたシフトに反映されることはない。
【0012】以上の言及および説明はすべて、クランピ
ング時のセンタリング要素の正確かつ十分に規定された
共働関係、つまり機械加工装置に対するワークキャリア
部材の位置的に規定された位置に関するものである。こ
の仮定は、クランピング時のセンタリング要素の規定さ
れた共働関係、つまり機械加工装置に対するワークキャ
リア部材の位置的に規定された位置によって、自動的
に、ワークキャリア部材とこれに収容されたワークとが
それぞれ正確に位置決めされるという事実に基づいてい
る。
【0013】しかし、実際には、ある事情のもとでは、
ワークキャリア部材の原点が安定的に十分に規定されて
いる場合であっても、そのようなワークキャリア部材に
収容されたワークの、センタリング要素とこれらセンタ
リング要素により規定された原点のそれぞれに対する位
置は、1ミリメートルの数百分の一の範囲内で変化する
ことがある。
【0014】これの理由は、まず第一に、たぶん熱に起
因してワークキャリア部材の寸法および/または機械加
工装置のワークテーブルの寸法が変化することであろ
う。ワークキャリア部材の寸法が熱の影響を受けて変化
すれば、ワークキャリア部材に収容されたワークの位置
はワークキャリア部材の原点に対してシフトする。ワー
クキャリア部材に収容されたワークとワークキャリア部
材の原点との間の距離が長くなればなるほど絶対位置誤
差が大きくなる。また、ワークキャリア部材の寸法が熱
に起因して変化した場合には、ワークキャリア部材に設
けられたセンタリング要素間の距離が変化する。機械加
工装置のワークテーブルに設けられたセンタリング孔ま
たはセンタリングピンどうしの間の距離の変化は、熱に
起因する前記ワークテーブルの寸法の変化を反映してい
る。機械加工装置のワークテーブルに設けられたセンタ
リング要素によって規定された機械原点でさえ、熱の影
響を受けて理論的に正しい原点に対してシフトすること
がある。
【0015】これらすべての問題は、たとえばドイツ特
許第31 15 586号に開示されているように、幾
何学的に過度に規定されたクランピングシステムの場合
になおいっそう顕著に現われる。また、ワークキャリア
部材と機械加工装置のワークテーブルとの間の異なる熱
膨張係数によってさらに誤差が生じる。これらの問題に
他のファクタ、たとえばクランプされるワークの重量が
重たいことおよび/またはクランプ力が大きいことが加
われば、ワークキャリア部材の材料は弾性変形を受ける
ので、その結果ワークキャリア部材の機械加工装置に対
する位置的精度はさらにそこなわれることになる。大き
なワークキャリア部材を組み入れる大きなクランピング
システムほど小さなクランピングシステムよりもこれら
負のファクタに強く反応するということを特に強調して
はならない。
【0016】さらに、ワークキャリア部材としては、通
常まったく同じ鋼材の複数の別々の要素からなるものを
製造するように注意しなければならない。なぜなら、異
なる製造バッチに由来する鋼材は熱的膨張および/また
は弾性に関する限り異なる性質を示すことがあるからで
ある。
【0017】さらに、他の技術上周知の誤差源を考慮に
入れなければならない。最悪の場合、これらすべての誤
差は足し合わされ、機械加工装置に対するワークキャリ
ア部材とこれに収容されたワークのそれぞれの最終的な
位置的精度はもはや所要の範囲内におさまらなくなって
しまうことがある。こうしたさらなる誤差のいくつかの
ありうる原因は次のとおりである。 ・センタリングピンの製造公差 ・センタリング孔の製造公差 ・センタリングピンをワークキャリア部材に結合する公
差および/またはセンタリング孔を機械加工装置のワー
クテーブルに対して位置決めする公差 これらすべての公差を最小化するためには、そのような
高精度のクランピングシステムを製造するときに非常に
多額の支出が必要となる。その結果、それに相応するよ
うにセンタリング要素(共働ペアのピンと孔)およびワ
ークキャリア部材全体にかなりのコストがかかる。
【0018】上述したすべての不利益を避けるために
は、ワークキャリア部材の位置基準を、ワークキャリア
部材を機械加工装置のワークテーブルに取り付けるのに
必要なクランピング固定手段から完全に分離し独立して
設けることが望ましい。このような場合、これは、言い
換えれば、ワークキャリア部材を機械加工装置のワーク
テーブルにクランプする際に必然的に存在する誤差、お
よび機械加工装置の理論的座標原点と位置決めクランピ
ング要素の位置と共働によって機械的に決められた機械
的ワークキャリア部材座標原点との不一致は、ワークキ
ャリア部材の位置的精度および/またはそれに収容され
たワークの機械加工精度にもはやまったく影響を及ぼさ
ないということを意味している。また、製造に非常に費
用のかかる周知のセンタリング要素をより簡単なものに
取り替えたりまたはそれらを完全に省略することが望ま
しい。達成すべき最終目標は、機械加工装置の理論的座
標原点に対するワークキャリア部材の起こりうる寸法変
化およびワークキャリア部材に収容されたワークの位置
変化をそれぞれ決定し、ワークキャリア部材の前記寸法
変化およびワークキャリア部材に収容されたワークの前
記位置変化に関してワークキャリア部材に収容されたワ
ークの座標を演算的に修正することである。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、機械
加工装置に対するワークキャリア部材の位置、そしてこ
れに収容されたワークの位置を従来よりも正確に決めう
るワークキャリア部材を機械加工装置に位置決めする方
法を提供することである。
【0020】本発明の他の目的は、機械加工装置に対す
るワークの位置を簡単かつ正確に決定することができる
1個以上のワークをクランプして収容するのに適したワ
ークキャリア部材を提供することである。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ワークキャリア部材を機械加工装置に位
置決めする新しい方法を提供している。本発明によれ
ば、まず、ワークキャリア部材を機械加工装置にあらか
じめ決められた呼称位置と少なくともおおよそ一致する
位置で挿入する。次に、ワークキャリア部材を前記あら
かじめ決められた呼称位置と少なくともおおよそ一致す
る前記位置で位置的に固定する。それから、機械加工装
置の呼称基準軸に対するワークキャリア部材の有効位置
を決定し、決定した有効位置の座標を記憶する。
【0022】本発明は、さらに、1個以上のワークをク
ランプして収容するのに適したワークキャリア部材を提
供している。このワークキャリア部材は、これに収容さ
れたワークを機械加工する機械加工装置のワークテーブ
ルに位置的に固定するのに適している。また、このワー
クキャリア部材には、X方向およびY方向、ならびにこ
れらXY軸の交点、つまりZ軸のまわりの角度的方向に
対するワークキャリア部材の有効位置を決定するため
に、ワークキャリア部材にお互いに水平方向に離れて位
置する少なくとも2つの基準マークを具備している。
【0023】この方法の好適な実施例では、さらに、ワ
ークキャリア部材を機械加工装置に固定し、そしてワー
クキャリア部材に収容されたワークを機械加工する前
に、前記基準マーク間の距離を決定し、測定整合ステー
ションで決定された基準マーク間の距離と比較するよう
にしている。これら2つの値の偏差が一定の限度を超え
ておれば、ワークキャリア部材に収容されたワークの座
標を、X方向および/またはY方向において前記測定距
離偏差をもとに演算的に修正する。これにより、熱に起
因するワークキャリア部材の長さの変化が高度に補償さ
れうる。
【0024】このワークキャリア部材の好適な実施例で
は、ワークキャリア部材のクランピングフレーム部材は
1部品で作られるようになっている。よって、そのよう
な設計には、ワークキャリア部材の必須の全体部分が同
じ材料からなる、言い換えれば、異なる特性を持った異
なる材料を使ってはならないという利点がある。さら
に、ワークキャリア部材の組立て公差が生じない。
【0025】
【作用】上記の方法および上記のように構成されたワー
クキャリア部材によって、ワークキャリア部材の公差、
ワークキャリア部材のクランピング位置決め要素の公
差、および熱的影響の公差にかかわりなく、機械加工す
るワークの位置を正確に決定し定めることができる。
【0026】また、ワークキャリア部材にお互いに水平
方向に一定の距離だけ離れて位置された2つの基準マー
クを設けたため、ワークキャリア部材の有効位置を、X
方向とY方向だけでなく、Z軸のまわりの角度的方向に
ついても正確に決定することができる。その結果、ワー
クキャリア部材のセンタリング固定要素を非常に簡単な
設計で製造することができる。したがって、ワークキャ
リア部材の位置的精度をそこなうという不利益なしに、
ワークキャリア部材全体は従来の高精度ワークキャリア
部材よりもかなり安価となる。
【0027】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図1はワークキャリア部材1の一例を示す概
略平面図である。ワークキャリア部材1は、ほぼ長方形
の形状をした剛性のクランピングフレーム部材2と複数
のクランピングバー部材7、8、9とからなり、クラン
ピングフレーム部材2は2つの横フレーム部材3、4と
2つのクロスフレーム部材5、6とを1部品で構成して
なっている。第1クランピングバー部材7と第2クラン
ピングバー部材8との間には、断面が長方形の平行六面
体形状をした2つのワーク50、51がクランプされ、
また、第2クランピングバー部材8と第3クランピング
バー部材9との間には、シリンダー形状の3つのワーク
52、53、54がクランプされる。2つの横フレーム
部材3、4には、それぞれ、クランピングフレーム部材
2の内側に面する端部に沿って伸長しねじ穴12を具備
する段形状の凹部11が設けられている。3つのクラン
ピングバー部材7、8、9をクランピングフレーム部材
2に固定できるようにするために、クランピングバー部
材7、8、9の両端には、縦に長い穴(縦長穴)15を
備えた短い支持アーム部材14が設けられている。クラ
ンピングバー部材7、8、9は、上記支持アーム部材1
4を横フレーム部材3、4の凹部11に載置し、ねじ1
6を所定の縦長穴15を通して横フレーム部材3、4の
ねじ穴12の1つにはめることによって横フレーム部材
3、4に固定される。
【0028】3つのクランピングバー部材の中の2つ、
すなわち、クランピングバー部材7と8には、それぞ
れ、その下端部の一方に沿って伸長する突き出たリブ部
材18が設けられており、このリブ部材18は、クラン
プの際クランプされるワーク50、51を支える支持部
材の役を果たしている。第3クランピングバー部材9に
は、シリンダー形状のボディー52、53、54を受け
るV形の凹部19が設けられている。もちろん、3つの
クランピングバー部材7、8、9はほんの模範的な実施
例であって、本発明の範囲内において多くの他の設計の
クランピングバー部材を使用してもよい。
【0029】本実施例において、ワークキャリア部材1
には、クランピングフレーム部材2の下面から突き出た
4つのクランピング要素または部材21が設けられてお
り、これらクランピング部材21は、ワークキャリア部
材1を測定整合ステーションや機械加工装置に固定する
役を果たしている。4つのクランピング部材21は、ほ
ぼクランピングフレーム部材2の四隅の領域に配置され
ており、測定整合ステーションや機械加工装置内のワー
クキャリア部材1に明瞭な位置決め基準点を提供するた
めに、左側のクロスフレーム部材6に設けられた2つの
クランピング部材21間の距離は、右側のクロスフレー
ム部材5に設けられた2つのクランピング部材21間の
距離よりもいくらか小さくなっている。クランピング部
材21は、測定整合ステーションや機械加工装置のそれ
ぞれに対してワークキャリア部材1をあらく心出しし位
置決めする役を果たしている。
【0030】基本的に、このようなワークキャリア部材
1は周知の技術である。たとえば、この種のワークキャ
リア部材は米国特許第5,201,502号に開示され
ている。したがって、このようなワークキャリア部材の
詳細をさらに説明することは不要である。図示のクラン
ピング部材21の配置と原理は単なる例示であって、多
数の他の設計のクランピング部材を使用してもよいこと
はもちろんである。たとえば、ワークキャリア部材にク
ランピングおよび/またはセンタリング部材をまったく
設けずに、測定整合ステーションや機械加工装置に適当
に設計されたクランピングおよび/またはセンタリング
要素を設けることも可能である。
【0031】とはいえ、本発明の本質的特徴は、ワーク
キャリア部材1に2つの基準マークが設けられているこ
とである。本実施例では、クランピングフレーム部材2
の2つのクロスフレーム部材5、6のそれぞれに、貫通
穴22、23の形をとった基準マークがそれぞれ設けら
れている。これら2つの基準穴22、23は、クランピ
ングフレーム部材1の2つのかどの領域に対角線的に互
いに反対位置に設けられている。貫通穴22、23は基
準マークの役を果たしており、ワークキャリア部材1の
X方向、Y方向、およびZ軸のまわりの角度的方向に対
する位置を規定するのに役立っている。また、図1で
は、さらに2つの貫通穴24、25が破線で示されてい
る。これら2つのさらなる貫通穴24、25は、クラン
ピングフレーム部材2の残り2つの反対側のかどの領域
に位置している。これに関して、指摘すべきは、クラン
ピングフレーム部材2に3つ、4つ、またはそれよりも
多くの貫通基準穴を設けることも可能だということであ
る。
【0032】貫通基準穴22、23の形をとった2つの
基準マークによって規定される座標系または基準枠26
が、横座標27(X軸)および縦座標28(Y軸)によ
って図1に概略的に示されている。Z軸は、X軸とY軸
の交点または原点を通ってX軸およびY軸に対して直角
をなす線に沿って伸長している。座標系26に対するク
ランプされたワーク50、51、52、53、54の位
置を示すため、xで示される一点鎖線が断面長方形の平
行六面体形状のワーク51から縦座標28に引かれ、ま
た、yで示される一点鎖線が断面長方形の平行六面体形
状のワーク51から横座標27に引かれている。同様
に、同種の線が最上位にあるシリンダー形状のワーク5
2に対して引かれている。
【0033】図2において、ワークキャリア部材1は、
図1の線A−Aに沿う縦断面図で示されている。わかり
やすくするために、クランピングフレーム部材2によっ
てクランプされた図1に示すワークやいくつかの隠れ線
は図2では示していない。この図面から、下方に突き出
た4つのクランピング要素21の中の2つがはっきりと
表われている。すでに述べたように、これらクランピン
グ要素は、一方では、測定整合ステーションや機械加工
装置に対してワークキャリア部材1をあらく位置決め
し、他方では、測定整合ステーションや機械加工装置の
ワークテーブルにそれぞれワークキャリア部材1をしっ
かり固定する役を果たしている。実際の固定クランピン
グ作業はたとえばばねの力によって機械的に行われ、そ
してクランピング要素の解放は空気圧によって行われ
る。したがって、たとえ空気圧系または油圧系に漏れが
あったりまたは停電があった場合にもワークキャリア部
材1を所定の位置に固定し続けることが保証される。好
ましくは、電源および/または空気圧源が故障した場合
にもワークキャリア部材1が所定の位置に間違いなく保
持されるようにクランピング装置は自己固定作用を備え
ている。
【0034】図3において、ワークキャリア部材1は、
図1の線B−Bに沿う断面図で示されている。同図にお
いて、クランピングバー部材7は縦断面図で示され、長
手方向の輪郭形状を示している。
【0035】図4には、測定整合ステーション(measuri
ng and aligning station)30、ワイヤ浸食装置(wire
erosion apparatus)40、およびコンピュータ45が非
常に概略的に示されている。測定整合ステーション30
は、すでに名称によって暗に示されているように、ワー
クキャリア部材1に対するワークキャリア部材1に収容
されたワーク5xの正確な位置を決定する役を果たして
いる。このような測定整合ステーション30、ならびに
ワークの位置を決定する測定および整合のやり方は周知
の技術であり、それ自体で本発明の本質的部分を形成す
ることはないので、以下では、本発明に欠くことのでき
ない事実に限定して説明する。
【0036】測定整合ステーション30は、測定テーブ
ル31と、フレーム構造32によって支持された測定ア
ーム部材33とからなっている。測定アーム部材33に
は、これの自由端に載置された測定キャリパ34が設け
られている。このような測定整合ステーション30の動
作に必要なコンピュータ45は、記号的に示されたデー
タ線35によって測定整合ステーション30に接続され
ている。測定アーム部材33、そして測定キャリパ34
は、X方向、Y方向、およびZ方向に変位可能である。
当業者によく知られているように、測定アーム部材33
のX方向およびY方向の現在位置、ならびに基準点に対
する位置は、周知の測定処理によってきわめて正確に決
定し記録することができる。ワークキャリア部材1をZ
方向に正確に位置決めするために、測定テーブル31に
は、ワークキャリア部材1を載せる支持面(詳細には図
示せず)が、好ましくはクランピング要素21の領域に
設けられている。したがって、ワークキャリア部材1の
高さ位置が正確に知れているからといって測定アーム部
材33のZ方向の位置は決定されない。これに反して、
測定アーム部材33の変位の偏向または経路は、コンピ
ュータ45によって困難なくきわめて正確にディジタル
的に決定され、処理され、そして記憶される。
【0037】好ましくは、図4に示されているように参
照番号5xで示されワークキャリア部材1に収容された
ワークの位置を決定する前に、まず、クランピングフレ
ーム部材2に設けた基準穴22、23の正確な位置を決
定する。このために、測定キャリパ34の先端を基準穴
22、23にそれぞれ導入し、当該基準穴の壁に測定キ
ャリパ34の先端を少なくとも3回、好ましくはお互い
に90〜150°だけずれた位置で接触させる。測定キ
ャリパ34の先端が基準穴の壁に触れ次第、測定キャリ
パ34と測定アーム部材33のそれぞれのX方向および
Y方向の位置が、測定整合ステーション30の基準原点
に対して決定され、記憶される。基準穴22、23の壁
の3点をそれぞれ測定することによって、基準穴の軸を
正確かつ明瞭に電気的に決定することができる。その
後、仮想座標系または基準枠を演算的にワークキャリア
部材1に重ねるが、その際、2つの基準穴22、23の
測定された中心は前記仮想座標系または基準枠の基準(b
asis) の役を果たす。
【0038】さて、ワークキャリア部材1に収容された
ワーク5xの位置および正確な座標は、それぞれ、上記
の仮想座標系または基準枠に対して正確に決定すること
ができる。このために、測定キャリパ34をクランプさ
れたワーク5xのほうへ少なくとも2回、好ましくは9
0°だけずれた異なる方向に移動させ、測定キャリパ3
4の先端とワーク5xの表面とが接触した時に測定アー
ム部材33のX方向とY方向の位置を決定する。それぞ
れの測定値はコンピュータ45に記憶される。このよう
にして、ワークキャリア部材1に収容された各ワーク5
xの位置と座標が、それぞれ、上記の仮想座標系または
基準格子に対して決定される。全体の測定手順はコンピ
ュータ45によって制御され、測定値はコンピュータ4
5に記憶される。このようにして、ワークキャリア部材
1に付与され2つの基準穴22、23の位置によって規
定された仮想座標系または基準枠に対するワーク5xの
正確な位置と方向が知られ、次の処理の用意がなされ
る。
【0039】本実施例では、ワイヤ浸食装置40は、ワ
ークキャリア部材1に収容されたワーク5xを機械加工
する機械加工手段として用いられている。このようなワ
イヤ浸食装置40の欠くことのできない本質的な部分な
いし要素は、図4のまったくの概略図にはっきりと表わ
れているものについて、好ましくは周知のオープンフレ
ーム部材の形をとったワークテーブル41と、X方向と
Y方向に変位可能なワイヤ案内ヘッド部材42と、実際
の浸食ワイヤ(erosion wire)43とである。ワイヤ浸食
装置40は、概略的に示されたデータ線46によってコ
ンピュータ45に接続されている。
【0040】次に、ワークキャリア部材1内のワークの
位置を正確に決定する方法、およびワークキャリア部材
1をワイヤ浸食装置40に正確に位置決めする方法につ
いて、図1と図4を参照しながら詳細に説明する。もち
ろん、本発明の方法または本発明の範囲内における類似
の方法は他の機械加工装置についても実行可能であり、
下記の例に示すようなワイヤ浸食装置40に限定される
ものではない。
【0041】第1のステップとして、測定整合ステーシ
ョン30において、ワークキャリア部材1に収容されク
ランプされたワーク50、51、52、53、54の正
確な位置を基準穴22、23に対して決定する。これに
よって、仮想座標系または基準格子がワークキャリア部
材1に重ねられる。それから、前記仮想座標系に対する
ワークの位置座標をコンピュータ45に記憶し、そして
データ線46によって機械加工装置(本実施例ではワイ
ヤ浸食装置40)に転送する。次のステップとして、ワ
ークキャリア部材1を測定整合ステーション30から取
り外し、ワイヤ浸食装置40に移してワークテーブル4
1にしっかりとクランプする。ワークキャリア部材1の
Z方向、つまり高さ位置に対する正確な位置決めは、ワ
イヤ浸食装置40のワークテーブル41の平面とワーク
キャリア部材1の平らな下面との共働によって行われ
る。
【0042】ワークキャリア部材1に設けられたクラン
ピング要素21によって、ワークキャリア部材1は、ワ
イヤ浸食装置40の基準原点に対してX方向とY方向に
あらく位置決めされる。実際、1ミリメートルの数十分
の一くらいの位置精度の偏差は重要な影響をまったく及
ぼさない。ある特定の状況においてワークキャリア部材
1をワイヤ浸食装置40の前記基準原点に対してより正
確に位置決めすることが要求される場合には、ワークキ
ャリア部材1に、たとえば米国特許第5,065,99
1号に開示されているような、より正確に動作するクラ
ンピング位置決め手段を設けるとよい。
【0043】クランピング要素の位置に対する基準穴2
2、23の位置は測定整合ステーション30でなされた
先の測定プロセスからわかっているので、1ミリメート
ルの数十分の一の範囲内でワークキャリア部材1をワイ
ヤ浸食装置40にクランプする精度で十分に、ワイヤ浸
食装置40が、周知の方法で、たとえばよく知られてい
るように浸食ワイヤ43を案内する液体ジェットによっ
て、基準穴22、23のおおよその位置を見つけ出し、
浸食ワイヤ43を基準穴22、23に通すことが保証で
きる。それから、これもまた周知の技術であるが、浸食
ワイヤ43をワークキャリア部材1の下側に集めて張
る。
【0044】浸食ワイヤ43は、つかまれて張られ次
第、浸食ワイヤ43とワークキャリア部材1とをお互い
に相対的に動かすことによって基準穴22の壁と接触す
るようになる。好ましくは、このような相対運動は、浸
食ワイヤ43が基準穴22の壁とお互いに90〜150
°だけずれた位置で接触するのを保証するために3回行
われる。浸食ワイヤ43とワークキャリア部材1との間
の抵抗を測定することによって、浸食ワイヤ43と基準
穴22の壁との間で接触が起こる測定アーム部材33の
偏向点と測定アーム部材33の正確なXY位置とをそれ
ぞれ正確に決定することができる。この方法によって、
これら3つの接触点の位置に基づいて、基準穴22の中
心を正確に計算することができる。この方法が持つさら
に重要な利点は、前記仮想座標系または基準格子の基準
である基準穴22、23の位置が実際の機械加工ツー
ル、つまり浸食ワイヤ43の助けをかりて決定されるの
で、このように位置的誤差が最小化され機械的公差が回
避されるということである。
【0045】それから、上記と同じようにして、基準穴
23の中心の位置、そして必要があればさらに基準穴2
4、25の中心の位置をそれぞれ正確に決定する。これ
らの測定結果に基づいて、先にワークキャリア部材1に
重ねられた前記仮想座標系または基準枠を、機械加工装
置、つまり本実施例ではワイヤ浸食装置40によって認
識する。したがって、この仮想座標系または基準枠は、
先に測定整合ステーション30で決定されたワーク位置
座標と共に、ワイヤ浸食装置40の基準座標系に重ねる
ことができる。その結果、最終的に、ワークキャリア部
材1に収容されたワーク50、51、52、53、54
のX軸とY軸に対する位置、およびZ軸のまわりの角度
方向に対する位置は正確にワイヤ浸食装置40に知られ
ることになる。このデータに基づいて、実際の機械加工
プロセスが開始される。
【0046】ワークキャリア部材に設けられた基準マー
クに対してワークキャリア部材に収容されたワークの位
置を正確に求めるプロセスを実行するためには、機械加
工装置、つまり本実施例ではワイヤ浸食装置40が、自
由に使える対応するソフトウェアを備えていることが必
要となる。そのようなプログラムは周知の技術であるの
で、そのようなソフトウェアを詳細にさらに説明する必
要はない。
【0047】測定整合ステーション30と機械加工装置
40との間のデータ交換は、欲すれば、ソフトウェア記
憶手段、たとえばフロッピーディスクによって、もし機
械加工装置40が適当な記憶手段を備えていれば、たと
えばフロッピーディスクドライブによって実行可能であ
る。
【0048】本発明による方法によれば、ワークキャリ
ア部材1が機械加工装置40に固定される位置的精度に
関係なく、また、ワークキャリア部材1の製造時に避け
られない公差に関係なく、さらには、ワーク50、5
1、52、53、54をワークキャリア部材1にクラン
プしそれに対して整合させる際にそれぞれ生じる公差に
関係なく、機械加工プロセスの開始前にあらかじめ未知
の程度の精度でワーク50、51、52、53、54の
位置を正確に知ることが保証される。
【0049】次に、本発明による方法またはそれから得
られる方法によって提供されるいつかのさらなる、しか
し排他的でない可能性を説明する。
【0050】ワークキャリア部材1に3つの基準穴2
2、23、24が設けられている場合には、第3の基準
穴24をクロスチェック基準として用いることができ
る。これにより、第3基準穴24を他の2つの基準穴2
2、23と同じ方法で測定し、これらの測定結果から計
算により平均値が得られる。
【0051】ワークキャリア部材1に4つの基準穴2
2、23、24、25が設けられている場合には、前記
仮想座標系または基準格子の正確な位置を決定すること
のほかに、熱的影響によって起こりうるワークキャリア
部材1の長さまたは幅の変化を決定することができる。
これらのさらなる測定結果に基づいて、仮想座標系また
は基準格子をそれに応じて修正することができる。
【0052】基準穴の位置は特別な状況に応じて自由に
選択することができる。したがって、たとえば、クラン
ピングバー部材7、8、および/または9に基準穴を設
けることができる。これによる利点として、熱的長さ偏
差の影響を最小にしつつ、基準穴を機械加工されるワー
クにできるだけ近づけることができる。
【0053】本発明の方法の一変形例によれば、仮想座
標系または基準格子の原点は、ワークキャリア部材1の
中心に置かれる。このようにして、上記原点に対して測
定されるワークキャリア部材1の起こりうる長さ偏差は
単に全長偏差の最大50%だけ全体の精度に影響を及ぼ
すようになる。
【0054】本発明によるプロセスの好適な実施例で
は、ワークキャリア部材1が機械加工装置40に固定さ
れた後に、基準穴22、23の中心間の距離を測定し、
測定整合ステーション30で測定されたそれらの間の距
離と比較するようになっている。これら2つの測定距離
の間に一定程度の偏差があれば、基準穴22、23間の
距離の前記測定偏差をもとに、機械加工装置40によっ
てワーク50、51、52、53、54の位置を計算で
修正する。これにより、たとえば熱的原因によるワーク
キャリア部材1の長さ変化といった影響をX方向、Y方
向共にほぼ完全に補償することができる。
【0055】本発明による方法の他の実施例では、測定
整合ステーション30で決定されたワーク5xの座標
を、ワークキャリア部材1に設けられた電気的記憶手段
に転送し記憶するようになっている。この種の記憶装置
としては、電源手段を必要とせずに転送された情報やデ
ータを記憶できる半導体要素または磁気ストリップが適
している。半導体要素または磁気ストリップからのデー
タ変換は、好ましくは、タッチレス方式、たとえば搬送
周波数システムによって行われる。この場合には、エネ
ルギーの変換のために誘導交流フィールドが提供され
る。そのような記憶要素を用いることによって、ワーク
キャリア部材1にクランプされたワークに関するデータ
を確実に移転することができる。
【0056】要するに、指摘しうる点は、ワークキャリ
ア部材1が測定整合ステーションおよび機械加工装置に
それぞれ固定されるX方向とY方向の位置は、ワークキ
ャリア部材にクランプされたワークの位置が少なくとも
2つの基準マークに対して十分かつ正確に知られている
ので、それほど重要ではないということである。言い換
えれば、このことは、ワークキャリア部材を測定整合ス
テーションのワークテーブルおよび機械加工装置のワー
クテーブルにそれぞれ不正確に固定することができると
いうことである。測定整合ステーションの場合には、仮
想座標系または基準格子が生成され、また、機械加工装
置の場合には、先に生成された仮想座標系または基準格
子が認識されワークの機械加工の基準の役を果たすから
である。このようにして、非常に簡単な構造をしかつ非
常に安価に製造できるクランピング要素を使用すること
ができる。
【0057】このようなプロセスにおいて一定の重要性
を持つ要素はソフトウェアである。ソフトウェアは精度
および修正の可能性に決定的な影響を及ぼすからであ
る。しかし、よく作られたソフトウェアを用いれば、仮
想座標系または基準格子の位置、そしてワークキャリア
部材に収容されたワークの位置を決定し、ほぼ完全な精
度で機械加工を行うことができる。
【0058】最後に、指摘しておくべき点は、前記基準
穴の代わりに、他の種類の基準マークをワークキャリア
部材1に設けることができるということである。このよ
うな他の基準マークとしては、適当な位置検出手段によ
って明確に認識しうる突起、凹部、スロット、光学的マ
ーク、または類似の手段の形をとることができる。
【0059】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の方法によれ
ば、機械加工装置に対するワークキャリア部材の位置、
そしてこれに収容されたワークの位置を正確に決定する
ことができる。
【0060】また、本発明のワークキャリア部材によれ
ば、機械加工装置に対するワークの位置を簡単かつ正確
に決定することができる1個以上のワークをクランプし
て収容するのに適したワークキャリア部材を安価に製造
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ワークキャリア部材の概略を示す平面図
【図2】 ワークがクランプされていない状態における
図1の線A−Aに沿う図1のワークキャリア部材の縦断
面図
【図3】 ワークがクランプされていない状態における
図1の線B−Bに沿う図1のワークキャリア部材の断面
【図4】 測定整合ステーション、ワークを載せたワー
クキャリア部材を備えたワイヤ浸食装置、およびコンピ
ュータの略図
【符号の説明】
1…ワークキャリア部材 2…クランピングフレーム部材 7、8、9…クランピングバー部材 21…クランピング要素または部材(クランピング手
段) 22、23、24、25…貫通穴(基準マーク) 26…座標系または基準枠 27…横座標(X軸) 28…縦座標(Y軸) 30…測定整合ステーション 34…測定キャリパ 40…ワイヤ浸食装置(機械加工装置) 41…ワークテーブル 43…浸食ワイヤ 45…コンピュータ 50、51、52、53、54…ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B23Q 17/24 B 9423−3C G01B 21/02 G05B 19/19 F 7531−3H G05D 3/12 L 7740−3H

Claims (34)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークキャリア部材を機械加工装置に位
    置決めする方法であって、 前記ワークキャリア部材を前記機械加工装置にあらかじ
    め決められた呼称位置と少なくともおおよそ一致する位
    置で挿入するステップと、 前記ワークキャリア部材を前記あらかじめ決められた呼
    称位置と少なくともおおよそ一致する前記位置で位置的
    に固定するステップと、 前記機械加工装置の呼称基準軸に対する前記ワークキャ
    リア部材の有効位置を決定するステップと、 前記有効位置の座標を記憶するステップと、 を有する前記方法。
  2. 【請求項2】 前記ワークキャリア部材の前記有効位置
    は、前記ワークキャリア部材にお互いに水平方向に離れ
    て設けられた少なくとも2つの基準マークを走査するこ
    とによって決定されることを特徴とする請求項1記載の
    方法。
  3. 【請求項3】 前記少なくとも2つの基準マークによっ
    て仮想座標系または基準格子が設定されることを特徴と
    する請求項2記載の方法。
  4. 【請求項4】 前記ワークキャリア部材に収容された各
    ワークの位置と座標は、それぞれ、前記ワークキャリア
    部材を前記機械加工装置に位置的に固定する前に、測定
    整合ステーションにおいて前記仮想座標系または基準格
    子に対して決定され記憶されることを特徴とする請求項
    3記載の方法。
  5. 【請求項5】 さらに前記少なくとも2つの基準マーク
    間の距離が前記測定整合ステーションにおいて決定され
    記憶されることを特徴とする請求項4記載の方法。
  6. 【請求項6】 前記測定整合ステーションにおいて決定
    され記憶されたデータは前記機械加工装置に転送され記
    憶されることを特徴とする請求項4または5記載の方
    法。
  7. 【請求項7】 前記少なくとも2つの基準マークによっ
    て規定され前記測定整合ステーションにおいて決定され
    た前記仮想座標系または基準格子を、前記ワークキャリ
    ア部材に収容されたワークの座標と共に、前記機械加工
    装置の座標系または基準格子に演算的に重ねることを特
    徴とする請求項6記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記ワークキャリア部材のZ方向の位置
    は機械的に決定されることを特徴とする前記請求項の1
    つに記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記ワークキャリア部材のZ方向の位置
    は、前記ワークキャリア部材にお互いに垂直方向に離れ
    て設けられた少なくとも2つの基準マークを走査するこ
    とによって決定されることを特徴とする請求項1〜7の
    1つに記載の方法。
  10. 【請求項10】 前記基準マークの位置は前記測定整合
    ステーションにおいて機械的または光学的に走査される
    ことを特徴とする請求項4〜9の1つに記載の方法。
  11. 【請求項11】 前記ワークキャリア部材に収容された
    ワークの位置は、前記測定整合ステーションにおいて測
    定キャリパが前記ワークのそれぞれとお互いに90°の
    角度だけずれた少なくとも2つの点で接触することによ
    って決定されることを特徴する請求項4〜10の1つに
    記載の方法。
  12. 【請求項12】 前記ワークキャリア部材に収容された
    ワークの位置は、前記測定整合ステーションにおいて光
    学的手段、たとえばレーザビーム手段がお互いに90°
    の角度だけずれた少なくとも2つの点で各ワークを走査
    することによって決定されることを特徴する請求項4〜
    10の1つに記載の方法。
  13. 【請求項13】 前記機械加工装置はワイヤ浸食装置で
    あり、また、前記基準マークは前記ワークキャリア部材
    に設けられた貫通基準穴によって構成されており、前記
    基準穴の位置は前記ワイヤ浸食装置の浸食ワイヤによっ
    て走査されることを特徴とする前記請求項の1つに記載
    の方法。
  14. 【請求項14】 前記基準穴のそれぞれの中心の位置を
    決定するために、前記基準穴のそれぞれの壁に前記浸食
    ワイヤをお互いに90〜150°の角度だけずれた3つ
    の異なる点で接触させ、それぞれの場合に前記浸食ワイ
    ヤが前記基準穴の壁に接触次第前記浸食ワイヤの位置を
    記録し、そして前記3つの接触点の位置に基づいて前記
    基準穴の中心の位置を演算的に計算することを特徴とす
    る請求項13記載の方法。
  15. 【請求項15】 前記ワークキャリア部材を前記機械加
    工装置に固定した後、さらに前記基準マーク間の距離を
    測定しこれと前記測定整合ステーションで測定された基
    準マーク間の距離とを比較し、それによって、測定値に
    所定の偏差がある場合には、前記ワークキャリア部材に
    収容された各ワークの座標を、前記機械加工装置におい
    て前記仮想座標系または基準格子に対して測定偏差をも
    とに演算的に修正することを特徴とする請求項5〜14
    の1つに記載の方法。
  16. 【請求項16】 前記仮想座標系または基準格子の原点
    は、前記2つの基準マークを結ぶ直線のおおよそ中心と
    なるように選ばれることを特徴とする前記請求項の1つ
    に記載の方法。
  17. 【請求項17】 前記測定整合ステーションで測定され
    た値はインタフェース手段、たとえばネットワークによ
    って前記機械加工装置に転送されることを特徴とする請
    求項4または5記載の方法。
  18. 【請求項18】 前記測定整合ステーションで測定され
    た値は、データ記憶手段に記憶され、そして前記データ
    記憶手段に記憶されたデータを読み取るのに適した読取
    り手段によって前記機械加工装置に読み取られることを
    特徴とする請求項4または5記載の方法。
  19. 【請求項19】 前記測定整合ステーションで測定され
    た値は、前記ワークキャリア部材に配置されまたは接続
    されたデータ記憶手段に記憶されることを特徴とする請
    求項4または5記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記測定整合ステーションで測定され
    前記ワークキャリア部材に配置されまたは接続されたデ
    ータ記憶手段に記憶された値は、前記機械加工装置に付
    与された読取り手段によってタッチレス方式で読み取ら
    れ、そして前記機械加工装置に設けられた記憶手段に記
    憶されることを特徴とする請求項19記載の方法。
  21. 【請求項21】 前記ワークキャリア部材は、前記測定
    整合ステーションおよび/または前記機械加工装置に機
    械的手段、好ましくはばね手段によって位置的に固定さ
    れ、そして空気圧手段によってリリースされることを特
    徴とする前記請求項の1つに記載の方法。
  22. 【請求項22】 1個以上のワークをクランプした状態
    で収容するのに適したワークキャリア部材であって、こ
    れに収容された前記ワークを機械加工する機械加工装置
    のワークテーブル手段に位置的に固定するのに適してお
    り、また、X方向およびY方向、ならびに前記XY軸の
    交点、つまりZ軸のまわりの角度的方向に対する有効位
    置を決定するためにお互いに水平方向に離れて位置する
    少なくとも2つの基準マークを具備している前記ワーク
    キャリア部材。
  23. 【請求項23】 お互いに対角線的に反対位置にある2
    つの基準マークを有する請求項22記載のワークキャリ
    ア部材。
  24. 【請求項24】 前記ワークキャリア部材は少なくとも
    おおよそ長方形の形状をしており、これの少なくとも2
    つの対角線的に反対のかどにはそれぞれ前記基準マーク
    の1つが設けられていることを特徴とする請求項22ま
    たは23記載のワークキャリア部材。
  25. 【請求項25】 前記ワークキャリア部材にはこれの3
    つのかどの領域に3つの基準マークが設けられているこ
    とを特徴とする請求項24記載のワークキャリア部材。
  26. 【請求項26】 前記基準マークは前記ワークキャリア
    部材に設けられた貫通穴によって構成されていることを
    特徴とする請求項22〜25の1つに記載のワークキャ
    リア部材。
  27. 【請求項27】 前記ワークキャリア部材はこれをZ方
    向に位置決めするためのストップ手段を備えたクランピ
    ングフレーム部材を有することを特徴とする請求項22
    〜26の1つに記載のワークキャリア部材。
  28. 【請求項28】 前記ワークキャリア部材および前記ク
    ランピングフレーム部材は、それぞれ、その下面にその
    Z方向の位置を規定するのに適した支持面を備えてお
    り、前記支持面と共働して前記測定整合ステーションお
    よび前記機械加工装置にそれぞれ提供されることを特徴
    とする請求項22〜27の1つに記載のワークキャリア
    部材。
  29. 【請求項29】 前記クランピングフレーム部材は1部
    品で作られていることを特徴とする請求項27または2
    8記載のワークキャリア部材。
  30. 【請求項30】 前記ワークキャリア部材には、これに
    収容されたワークの位置およびその座標をそれぞれ記憶
    し、もし適切なら他のデータをも記憶するデータ記憶手
    段が設けられていることを特徴とする請求項22〜29
    の1つに記載のワークキャリア部材。
  31. 【請求項31】 前記ワークキャリア部材には、これを
    前記測定整合ステーションおよび前記機械加工装置にそ
    れぞれクランプして固定するのに適したクランピング手
    段が設けられていることを特徴とする請求項22〜30
    の1つに記載のワークキャリア部材。
  32. 【請求項32】 前記クランピング手段は、同時に、前
    記ワークキャリア部材を前記機械加工装置に少なくとも
    あらく心出し確実に整合させるセンタリング要素として
    設計されていることを特徴とする請求項31記載のワー
    クキャリア部材。
  33. 【請求項33】 前記ワークキャリア部材には、さら
    に、前記ワークキャリア部材のZ方向の位置を決定する
    ために、お互いに垂直方向に一定の距離だけ離れて位置
    する少なくとも2つの他の基準マークが設けられている
    ことを特徴とする請求項22〜32の1つに記載のワー
    クキャリア部材。
  34. 【請求項34】 前記ワークキャリア部材は、これに収
    容されたワークを機械加工する機械加工装置、特にワイ
    ヤ浸食機械加工装置に固定するのに適したワーククラン
    ピング部材として用いられることを特徴とする請求項2
    2〜33の1つに記載のワークキャリア部材。
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