JPH0586000B2 - - Google Patents

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JPH0586000B2
JPH0586000B2 JP58243807A JP24380783A JPH0586000B2 JP H0586000 B2 JPH0586000 B2 JP H0586000B2 JP 58243807 A JP58243807 A JP 58243807A JP 24380783 A JP24380783 A JP 24380783A JP H0586000 B2 JPH0586000 B2 JP H0586000B2
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signal
current
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transistors
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Hitachi Ltd
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    • H01L29/86Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
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Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、半導体集積回路装置に関するもの
で、例えば、CMOS(相補型MOS)又はバイポー
ラ型スタテイツク型RAM(ランダム、アクセ
ス・メモリ)に利用して有効な技術に関するもの
である。 〔背景技術〕 従来より、特開昭56−58193号公報によつて、
CMOSスタテイツク型RAMにおける動作の高速
化を図るため、読み出し/書込み回路及びデイジ
ツト線選択回路にバイポーラ型トランジスタを採
用したものが公知である。 このような半導体記憶装置にあつては、バイポ
ーラ型トランジスタに動作(バイアス)電流を常
時供給し続けるものであるため、その消費電流が
極めて大きく、バツテリーバツクアツプをその大
きな特長とするCMOSスタテイツク型RAMとし
ては、バツテリーバツクアツプが不能になるとい
う重大な欠陥を有するものとなる。また、この読
み出し回路は、カラムスイツチ回路としてバイポ
ーラ型トランジスタを用いるとともに、このカラ
ムスイツチ回路を通して選択されたメモリセルに
電流を供給して、その読み出し信号を得るもので
ある。しかし、上記読み出し電流の電流値は、メ
モリセルのMOSFETのコンダクタンス特性によ
り決定されるため大きくできない。なぜなら、上
記電流値を大きくするためには、その素子サイズ
を大きくしなければならないが、大記憶容量化の
ためにメモリセルの素子サイズは大きくできない
からである。したがつて、上記公知の半導体記憶
装置は、バイポーラ型トランジスタを用いたにも
かかわらず、あまり読み出し動作を速くできな
い。また、カラムスイツチ回路をバイポーラ型ト
ランジスタの構成するため、カラムアドレスデコ
ーダ回路の出力信号(選択/非選択)レベルの設
定が難しくなるという問題も有する。 〔発明の目的〕 この発明の目的は、無効電流の発生を防止しつ
つ、動作の高速化を達成した半導体集積回路装置
を提供することにある。 この発明の他の目的は、CMOS回路における
低消費電力性を損なうことなく、動作の高速化を
図つたCMOSスタテイツク型RAMを提供するこ
とにある。 この発明の更に他の目的は、大幅な低消費電力
化を達成したバイポーラ型RAMを提供すること
にある。 この発明の前記ならびにその他の目的と新規な
特徴は、この明細書の記述および添付図面から明
らかになるであろう。 〔発明の概要〕 本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、バイポーラ型トランジスタの動作
期間にのみその動作電流を流す電流源としての
MOSFETを用いることにより、高速化と低消費
電力化とを達成した半導体集積回路装置を得るも
のである。 〔実施例 1〕 第1図には、この発明をCMOSスタテイツク
型RAMに適用した場合の一実施例の回路図が示
されている。特に制限されないが、同図のRAM
は、公知のバイポーラ(Bi)及びCMOS(相補型
MOS)集積回路(IC)技術によつて1個のシリ
コン単結晶のような半導体基板上に形成される。
端子Ax,Ay,Din,Dout,及びは、その
外部端子とされる。なお、同図において電源供給
端子は省略されている。特に制限されないが、こ
の実施例のCMOSスタテイツク型RAMは、約
64Kビツトの記憶容量を持つようされる。そし
て、後述するコモンデータ線における浮遊容量を
削減するため、メモリアレイが4個に分割されて
構成される。 メモリセルMCは、その1つの具体的回路が代
表として示されており、ゲートとドレインが互い
に交差結線(ラツチ形態)された記憶(駆動)
MOSFETQ1,Q2と、上記MOSFETQ1,Q
2のドレインと電源電圧VDDとの間には、特に制
限されないが、情報保持用のポリ(多結晶)シリ
コン層で形成された高抵抗R1,R2が設けられ
ている。そして、上記MOSFETQ1,Q2の共
通接続点と相補データ線(又はデイジツト線)D
0,0との間に伝送ゲートMOSFETQ3,Q
4が設けられている。他のメモリセルMCも相互
において同様な回路構成にされている。これらの
メモリセルMCは、マトリツクス状に配置され
て、代表として示されているメモリアレイM−
ARYOを構成する。すなわち、同じ行に配置さ
れたメモリセルの伝送ゲート型MOSFETQ3,
Q4等のゲートは、それぞれ対応するワード線W
1及びW2に共通に接続され、同じ列に配置され
たメモリセルの入出力端子は、それぞれ対応する
一対の相補データ線D0,0及びD1,1に
接続される。 上記メモリセルMCにおいて、それを低消費電
力にさせるため、その抵抗R1は、MOSFETQ
1がオフ状態にされているときのMOSFETQ2
のゲート電圧をしきい値電圧以上に維持させるこ
とができる程度の高抵抗値にされる。同様に抵抗
R2も高抵抗値にされる。言い換えると、上記抵
抗R1は、MOSFETQ1のドレインリーク電流
によつてMOSFETQ2のゲート容量(図示しな
い)に蓄積されている情報電荷が放電させられて
しまうのを防ぐ程度の電流供給能力を持つように
される。 この実施例に従うと、メモリアレイがCMOS
−IC技術によつて製造されるにもかかわらず、
上記のようにメモリセルMCはnチヤンネル
MOSFETとポリシリコン抵抗素子とから構成さ
れる。上記ポリシリコン抵抗素子に代えてpチヤ
ンネルMOSFETを用いる場合に比べ、メモリセ
ル及びメモリアレイの大きさを小さくできる。す
なわち、ポリシリコン抵抗を用いた場合、駆動
MOSFETQ1又はQ2のゲート電極と一体的に
形成できるとともに、それ自体のサイズを小型化
できる。そして、pチヤンネルMOSFETを用い
たときのように、駆動MOSFETQ1,Q2から
比較的大きな距離を持つて離さなければならない
ことがないので無駄な空白部分が生じない。 同図において、ワード線W1は、Xアドレスデ
コーダX−DCRで形成された選択信号を受ける
駆動回路DV1によつて選択される。他のワード
線W2についても同様である。 上記XアドレスデコーダX−DCRは、相互に
おいて類似のノアゲート回路G1,G2等により
構成される。これらのノアゲート回路G1,G2
等の入力には、図示しない適当な回路装置から供
給される外部アドレス信号Axを受けるXアドレ
スバツフアX−ADBで加工された内部相補アド
レス信号が所定の組合せにより印加される。 上記メモリアレイM−ARY0における一対の
データ線D0,0及びD1,1は、特に制限
されないが、それぞれデータ線選択のための伝送
ゲートMOSFETQ9,Q10及びQ11,Q1
2から構成されたカラムスイツチ回路を介してコ
モンデータ線CD0,0に接続される。このコ
モンデータ線CD0,0には、読み出し回路R
の入力端子と、書込み回路Wの出力端子が接続さ
れる。図示しない他のメモリアレイM−ARY0
〜メモリアレイM−ARY3のコモンデータ線も
それぞれ上記読み出し回路Rの対応する入力端子
と、書込み回路Wの対応する出力端子に接続され
る。上記読み出し回路Rの出力端子は、データ出
力端子Doutに読み出し信号を送出し、書込み回
路Wの入力端子には、データ入力端子Dinから供
給される書込みデータ信号が印加される。 上記カラムスイツチ回路を構成する
MOSFETQ9,Q10及びQ11,Q12のゲ
ートには、それぞれYアドレスデコーダY−
DCRから選択信号Y1,Y2が供給される。こ
のYアドレスデコーダY−DCRは、相互におい
て類似のノアゲート回路G3、G4等により構成
される。これらのノアゲート回路G3,G4の入
力には、図示しない適当な回路装置から供給され
る外部アドレス信号Ayを受けるYアドレスバツ
フアY−ADBで加工された内部相補アドレス信
号が所定の組合せにより印加される。 制御回路CONは、外部端子,からの制
御信号を受けて、内部制御タイミング信号を形成
する。 この実施例では、特に制限されないが、チツプ
非選択時にデータ線の負荷MOSFETQ5等とい
ずれか1つ選択状態とされたワード線に接続され
たメモリセルMCの伝送ゲートMOSFETQ3等及
びオン状態となつている記憶MOSFETQ1等を
通して直流電流が流れるのを防止するため、上記
XアドレスデコーダX−DCRを構成するノアゲ
ート回路G1,G2等の入力に上記制御回路
CONにより形成された非選択状態の内部チツプ
選択信号のハイレベルによつて、全ワード線を
非選択状態としている。 第2図には、上記読み出し回路の一実施例の回
路図が示されている。 この実施例では、上記メモリアレイM−ARY
0からの読み出し信号を増幅するセンスアンプ
SA0として、差動形態のバイポーラ型トランジ
スタT1,T2が用いられる。すなわち、上記コ
モンデータ線CD0,0に現れたメモリセルの
読み出し電圧は、上記差動トランジスタT1,T
2のベースに供給される。これらの差動トランジ
スタT1,T2の共通エミツタには、動作タイミ
ング信号φpa0を受けるNチヤンネル
MOSFETQ13が設けられる。他の代表として
示されているメモリアレイM−ARY3に対して
も同様な差動トランジスタT3,T4と、Nチヤ
ンネルMOSFETQ14とで構成されたセンスア
ンプSA3が設けられる。そして、上記差動トラ
ンジスタT1,T2及びT3,T4等の対応する
コレクタは、それぞれ共通化されて後述するメイ
ンアンプMAの一対の入力端子に接続される。 各差動トランジスタの共通エミツタに設けられ
るMOSFETQ13,Q14のゲートに供給され
る動作タイミング信号φpa0,φpa3は、チツプ
が選択状態にされ、読み出し動作状態にされたと
きにロウレベル(論理“0”)になる読み出し制
御信号WE+と、上記メモリアレイM−ARY
0〜M−ARY3の選択動作に用いられる相補ア
ドレス信号xi,yiとを受けるノア(NOR)
ゲート回路G5,G6により形成される。これに
よつて、読み出し動作のために選択されたメモリ
アレイに対応した1つのセンスアンプSAの動作
電流を形成するMOSFETのみがオン状態とな
り、残り3個のセンスアンプSAのMOSFETはオ
フ状態になる。 上記共通化された各センスアンプSA0〜SA3
を構成する差動トランジスタT1,T2〜T3,
T4のそれぞれのコレクタは、メインアンプMA
の初段回路を構成するベース接地型の増幅トラン
ジスタT5,T6のエミツタにそれぞれ接続され
る。これらのトランジスタT5,T6のベースに
は、次のバイアス回路によつて形成されたバイア
ス電圧が供給されている。すなわち、電源電圧
VDDと回路の接地電位点との間に、上記電源電圧
VDDをレベルシフトする直列形態のダイオードD
1,D2とバイアス電流を流すNチヤンネル
MOSFETQ16とが直列形態に接続される。ま
た、上記ダイオードD1には、並列形態にNチヤ
ンネルMOSFETQ23が設けられ、この
MOSFETQ23とゲートには、特に制限されな
いが、読み出し動作のときにロウレベルになる読
み出し制御信号WE+が供給される。また、上
記トランジスタT5,T6のそれぞれのエミツタ
にはそのバイアス電流を形成するNチヤンネル
MOSFETQ15,Q17が設けられる。これら
のMOSFETQ15,Q17のゲートには、上記
読み出し動作の時にハイレベルになる制御信号
WE・CSが供給されることによつて、読み出し動
作の時のみ上記MOSFETQ15〜Q17がオン
状態となり、それぞれのバイアス電流を形成す
る。 また、上記トランジスタT5,T6のコレクタ
と電源電圧VDDとの間には、負荷手段としてそれ
ぞれ並列形態にされたPチヤンネルMOSFETQ
20,Q21とNチヤンネルMOSFETQ22,
Q24が設けられる。上記Pチヤンネル
MOSFETQ20,Q21のゲートは、回路の接
地電位が定常的に供給されることによつて常時オ
ン状態となり、NチヤンネルMOSFETQ22,
Q24のゲートには、上記読み出し制御信号WE
+が供給される。 これらのトランジスタT5,T6のコレクタ出
力は、エミツタフオロワトランジスタT7,T8
を通してデータ出力バツフアDOBに伝えられる。
上記トランジスタT7,T8のエミツタには、そ
の動作電流を形成するNチヤンネルMOSFETQ
18,Q19がそれぞれ設けられ、上記読み出し
制御信号CSが供給される。 この実施例回路の動作の一例を第3図に示した
タイミング図に従つて説明する。 読み出し動作においては、ライトイネーブル信
号がハイレベルにされ、チツプ選択信号が
ロウレベルされる。これにより、読み出し制御信
号・CSがハイレベルに、その反転信号WE+
CSがロウレベル(図示せず)になる。したがつ
て、例えば、このとき供給されたアドレス信号
axi,ayiがロウレベルならノアゲート回路G5が
開いてその出力信号φpa0がハイレベルになり
MOSFETQ13がオン状態にする。これにより
差動トランジスタT1,T2に動作電流が流れる
ので、メモリアレイM−ARY0からの読み出し
信号を増幅してコレクタから送出する。 一方、メインアンプMAの制御信号・CSが
ハイレベルになるので、電流源を構成する
MOSFETQ15〜Q19がオン状態になつて、
それぞれのトランジスタT5〜T8に動作電流を
形成するので、上記センスアンプSA0の出力信
号を増幅して図示しないデータ出力バツフア
DOBに供給するので、外部端子から読み出し出
力信号Dputが得られる。 なお、他のメモリアレイM−ARY1〜M−
ARY3のセンスアンプSA1〜SA3は、その動
作タイミング信号pa1〜φpa3がロウレベルにな
つて動作電流を形成するMOSFETQ14等がオ
フ状態になるので、出力ハイインピーダンス状態
となる。これにより、メインアンプMAには、上
記選択されたメモリアレイM−ARY0の出力電
流のみが供給される。 また、書込み動作にあつては、同図に破線で示
すように上記ライトイネーブル信号がロウレ
ベルになるため、上記制御信号・CSがロウレ
ベルに、WE+がハイレベルになる。これによ
り、センスアンプSA0〜SA3とメインアンプ
MAの増幅トランジスタの動作電流を形成する
MOSFETQ13〜Q19が全てオフ状態になつ
て、これらの動作を禁止するものである。このと
き、メインアンプMAの初段回路のバイアス電圧
は、MOSFETQ23のオン状態によつて約VDD
Vf(VfはダイオードD2の順方向電圧)にしてい
る。また、負荷手段としてのNチヤンネル
MOSFETQ22及びQ24もオン状態としてエ
ミツタフオロワトランジスタT7,T8のベース
電位を共に高くして、その出力信号を受けるデー
タ出力バツフア回路DOBの入力段回路を構成す
るところのPチヤンネルMOSFETが共にオフ状
態になるようにしている(図示せず)。 〔実施例 2〕 第4図には、この発明をバイポーラ型RAMに
適用した場合の一実施例の回路図が示されてい
る。同図のRAMは、上記第1図の回路と同様な
半導体集積回路の製造技術によつて、1個のシリ
コンのような半導体基板上において形成される。
端子XA0ないしXAk,YA0ないしYA1,
Dout,Din,,,−Vee及びGNDは、その
外部端子とされる。なお、電源端子−Vee,
GNDは、同図には示されていない。また、同図
においては、第1図の実施例回路と異なり、トラ
ンジスタを示す回路記号をQで表し、MOSFET
をMで表している。 メモリアレイM−ARYを構成する複数のメモ
リセルのうち、1つのメモリセルについてのみ具
体的回路が同図に示されている。メモリセルとし
ては、特に制限されないが、そのベース、コレク
タ間が互いに交差結線された駆動npnトランジス
タQ12,Q13と、そのコレクタにそれぞれ設
けられた負荷pnpトランジスタQ14,Q15と
で構成されたフリツプフロツプが用いられてい
る。上記駆動npnトランジスタQ12,Q13
は、特に制限されないが、マルチエミツタ構造と
されている。そして、その一方のエミツタが共通
化され、他方のエミツタがメモリセルの入出力端
子とされ、代表として示されている一対の相補デ
ータ線D0,0にそれぞれ接続される。なお、
上記駆動npnトランジスタQ12,Q13は、ベ
ース及びコレクタがそれぞれ共通接続された2つ
のトランジスタにより、それぞれ構成するものと
してもよい。また、上記負荷トランジスタQ1
4,Q15は、並列形態にされた負荷抵抗とクラ
ンプダイオードとに置き換えるものであつてもよ
い。上記負荷トランジスタQ14,Q15の共通
化されたエミツタは、代表として示されているワ
ード線W0に接続される。 上記代表として示されているメモリセルを中心
として、横の行には同様なm個のメモリセルが配
置され(同図では、ブラツクボツクスにて1個の
みが示されている)、上記ワード線W0に接続さ
れる。この横の行には、上記ワード線W0に対応
した保持電流線ST0が設けられており、メモリ
セルの駆動トランジスタQ12,Q13の上記共
通化された一方のエミツタが接続される。同様に
代表として示された他の行(ワード線Wn、保持
電流線STn)についても上記同様にメモリセルが
接続される。これらの保持電流線ST0,STnに
は、メモリセルへの保持電流を形成する定電流源
Ist(図示せず)がそれぞれ設けられている。 また、縦の列には、上記同様なn個のメモリセ
ルが配置され、相補データ線D0,0にその入
出力端子が共通に接続される。このように行、列
にm×n個のメモリセルが配置され、メモリアレ
イM−ARYが構成される。 代表として示された上記ワード線W0,Wn
は、アドレスデコード信号X0,Xnを受けるワ
ード線駆動トランジスタQ16,Q17により、
選択/非選択が行われる。これらのアドレスデコ
ード信号X0,Xnは、XアドレスデコーダX−
DCRによつて形成される。 図示しない適当な回路装置から供給されるアド
レス信号は、外部端子XA0ないしXAkを介して
アドレスバツフアXAB0ないしXABkに入力さ
れる。これらのアドレスバツフアXAB0ないし
XABkは、入力アドレス信号に従つた非反転ア
ドレス信号、反転アドレス信号を加工形成して上
記XアドレスデコーダX−DCRに伝える。これ
によりXアドレスデコーダX−DCRが1つのワ
ード線選択信号を形成するので、1つのワード線
選択が行われる。 この実施例においては、代表として示された相
補データ線D0,0は、カラムスイツチとして
のトランジスタQ18,Q20を介して、図示し
ない他の相補データ線に対しても共通に設けら
れ、内部チツプ選択信号csによつてオン状態とな
つて読み出し/書込み電流Irを形成するNチヤン
ネルMOSFETM1,M3に接続される。上記カ
ラムスイツチとしてのトランジスタQ18,Q2
0のベースには、YアドレスデコーダY−DCR
で形成されたアドレスデコード信号Y0が印加さ
れる。すなわち、図示しない適当な回路装置から
供給されたアドレス信号は、外部端子YA0ない
しYA1を介してアドレスバツフアYAB0ない
しYAB1に入力される。これらのアドレスバツ
フアYAB0ないしYAB1は、入力アドレス信号
に従つた非反転アドレス信号、反転アドレス信号
を加工形成して上記YアドレスデコーダY−
DCRに伝える。これによりYアドレスデコーダ
Y−DCRが1つのデータ線選択信号を形成する。
これによつて、一対の相補データ線の選択が行わ
れる。この実施例では、特に制限されないが、非
選択時のデータ線に所定のバイアス電圧を与える
ために、次のバイアス回路が設けられる。すなわ
ち、そのコレクタに回路の接地電位が与えられた
トランジスタQ21がベース、コレクタ間に直列
形態とされたダイオードD3と抵抗R6が設けら
れる。そして、この直列ダイオードD3と抵抗R
6は、上記カラムスイツチトランジスタと同様な
トランジスタQ19を介して上記同様な電流Irを
形成するNチヤンネルMOSFETM2に接続され
る。上記トランジスタQ21は、特に制限されな
いが、マルチエミツタ構造とされ、それぞれ相補
データ線D0,0に接続される。 一方、この相補データ線D0,0には、微小
定電流源が結合されている。すなわち、定電圧
Vb1をベースに受け、エミツタに抵抗が設けら
れたトランジスタQ23(Q24)により、常時
微小定電流の吸い込みを行つている。 これにより、非選択時のデータ線電位は、約ダ
イオードD3の順方向電圧とトランジスタQ21
のベース、エミツタ間電圧とを加えた電圧でバイ
アスされる。なお、相補データ線D0,0が選
択された時には、上記MOSFETM2のオン状態
により形成した電流IrがトランジスタQ19を通
して抵抗R6に流れるのでトランジスタQ21が
オフして、相補データ線D0,0は選択された
メモリセルの記憶情報に従つた電位にされる。 代表として示された行のメモリセルの書込み/
読み出しのために、相補データ線D0,0に
は、そのエミツタが結合された電流切り換えスイ
ツチトランジスタQ7,Q6が設けられる。これ
らのトランジスタQ7,Q6のコレクタ出力は、
メインアンプMAの入力に伝えられる。メインア
ンプMAは、その増幅動作を行うとともに、ECL
(Emitter Coupled Logic)で構成されたデータ
出力バツフアDOBの入力レベルに合致させた出
力信号を形成する。データ出力バツフアDOBは、
外部端子Doutから送出する読み出し出力信号を
形成する。上記メインアンプMAは、上記第1図
の実施例回路と類似の回路によつて構成される。 上記電流切り換えスイツチトランジスタQ7,
Q6のベースには、書込回路WAの出力電圧V
1,V2が印加される。この出力電圧V1,V2
を形成する書込回路WAは、差動トランジスタQ
1〜Q3と、その共通エミツタに設けられた定電
流源と、上記トランジスタQ1,Q2のコレクタ
にそれぞれ設けられた抵抗R1,R2と、この抵
抗R1,R2とトランジスタQ3のコレクタとの
共通接続点と、接地電位との間に設けられた抵抗
R3とで構成される。上記トランジスタQ1,Q
2のベースには、後述するデータ入力バツフア
DIBからの書込みデータ信号din,inが印加さ
れ、トランジスタQ3のベースには、後述する制
御回路CONTからの内部ライトイネーブル信号
weが供給される。 この実施例では、特に制限されないが、読み出
し動作のとき、上記書込回路WAの出力電圧V
1,V2に前記入力データ信号din,inのレベ
ル変化に従つてノイズが発生するのを防止するた
め、データ入力バツフアDIBは、次の回路構成と
される。すなわち、外部端子Dinから供給された
書込みデータ信号を受けるトランジスタQ8と、
そのベースに入力信号を識別するための基準電圧
Vb2が印加されたトランジスタQ9とが差動形
態にされる。この差動トランジスタQ8,Q9の
コレクタにそれぞれ抵抗R4,R5が設けられ
る。そして、この差動トランジスタQ8,Q9の
コレクタ出力は、エミツタフオロワトランジスタ
Q25,Q26のベースに印加され、これらのト
ランジスタQ25,Q26のエミツタから上記書
込回路WAに伝えられるデータ信号din,inが
出力される。読み出し動作のとき、外部端子Din
からの信号に従つて上記データ信号din,inが
変化しないようにするため、上記差動トランジス
タQ8,Q9の共通エミツタには、差動トランジ
スタQ10のコレクタが接続される。このトラン
ジスタQ10のベースには、上記内部ライトイネ
ーブル信号を識別するための基準電圧Vb3が
印加される。上記トランジスタQ10と差動形態
にされたトランジスタQ11のベースには、上記
内部ライトイネーブル信号が印加される。こ
のトランジスタQ11のコレクタは、ダイオード
D1,D2を通して上記差動トランジスタQ8,
Q9のコレクタに接続される。 この実施例では、チツプ非選択状態での無効電
流を削減するため、特に制限されないが、上記各
トランジスタQ1〜Q5及びトランジスタQ8〜
Q11,Q25,Q26の動作電流11〜14
は、内部チツプ選択信号csによりオン状態になる
NチヤンネルMOSFETM4〜M9により形成さ
れる。 外部端子,から供給された制御信号を受
ける制御回路CONTは、上記データ出力バツフ
アDOBの動作制御信号、上記書込回路WA及び
データ入力バツフアDIBに供給される上記内部ラ
イトイネーブル信号及び上記内部チツプ選択
信号csを形成する。 このチツプを選択するために、制御信号が
ロウレベルにされると、この制御回路CONTは、
ハイレベルの内部チツプ選択信号csを形成する。
これに対して、このチツプを非選択状態にするた
めに、制御信号がハイレベルにされたときに
は、ロウレベルの内部チツプ選択信号csを制御回
路CONTが形成する。 読み出し動作は、端子がハイレベルとさ
れ、端子がロウレベルとされた時に行われる。
この時、データ入力バツフアDIBは、端子WEの
ハイレベルにより上記ライトイネーブル信号
がハイレベルになつているため、トランジスタQ
10がオフ状態となり、トランジスタQ11がオ
ン状態となつてダイオードD1,D2を通して抵
抗R4,R5に1/2づつの電流14を流す。した
がつて、外部端子Dinからの信号に無関係にその
出力レベルを中間レベルに固定して、読み出し動
作状態で、外部端子Dinの変化によるノイズがそ
の読み出し基準電圧V1,V2(Vrefc)に現れ
るのを防止するものである。 この実施例では、上記メモリアレイM−ARY
の読み出し/書込み電流Ir、及び代表として示さ
れている書込回路WAの動作電流がMOSFETに
より形成されるようにするとともに、上記内部チ
ツプ選択信号csにより上記MOSFETが動作させ
られるようにしたことにより、チツプ非選択状態
での無駄な電流が流れるのを防止するものであ
る。他の周辺回路であるアドレスデコーダX−
DCR,Y−DCRの動作電流を形成する電流源回
路も上記内部チツプ選択信号csを受けてオン状態
となる同様なMOSFETにより構成することによ
つて、その無効電流を削減するものである。な
お、チツプ非選択状態でアドレスデコーダX−
DCR,Y−DCRの動作電流を形成するMOSFET
をオフ状態としたとき、その出力信号が非選択レ
ベルになるようにされるものである。 この実施例では、チツプ選択信号を用い、チツ
プ非選択状態とチツプ選択状態とで、トランジス
タの動作電流を形成するMOSFETをオフ/オン
状態に切り換えることにより、チツプ非選択状態
での無駄な電流消費を削減するものであるが、チ
ツプ選択状態においても、アドレス信号の変化検
出回路と、この検出回路により、アドレスバツフ
ア、アドレスデコーダ、メモリアレイM−ARY、
読み出し回路又は書込み回路の順に時系列的に動
作させるタイミング信号を形成する回路とを設け
て、それぞれの動作タイミング信号に従つて時系
列的に動作の必要なタイミングのみに各回路ブロ
ツクを動作状態にするものであつてもよい。この
場合には、チツプ選択状態においてもその電流消
費を削減することができる。 なお、上記実施例1及び2においては、バイポ
ーラトランジスタの動作電流を形成するとき、そ
のMOSFETは、飽和領域で動作させられてい
る。これにより、MOSFETは、バイポーラトラ
ンジスタに対して、ほゞ一定(定電流)の動作電
流を形成することができるものである。 また、実施例1において、高速動作化を図るた
めに、アドレスバツフアADB、アドレスデコー
ダDCRなどのそれぞれが、MOSFETとバイポー
ラ型トランジスタとにより構成された場合(例え
ば、MOSFETにより必要な論理回路が構成さ
れ、次段を高速駆動できるように、バイポーラ型
トランジスタで構成されたドライバー回路が上記
論理回路の出力信号を受けるように設けられた場
合)、バイポーラ型トランジスタの動作電流を
MOSFETにより形成するようにするとともに、
このMOSFETを上述したのと同様に制御するこ
とにより、RAMの低消費電力化と高速化とを図
ることが可能となる。また、この場合、上述した
アドレス信号の変化検出回路と同様なアドレス信
号の変化検出回路と、上述したタイミング信号を
形成する回路と同様なタイミング信号形成回路と
を設けておいて、上述したのと同様にアドレスバ
ツフア、デコーダ、センスアンプ、書込み回路又
は読み出し回路の順に時系列的に必要なタイミン
グのときにのみ動作させるようにしてもよい。こ
のようにすれば、チツプ選択状態においても、低
消費電力化を図ることが可能となる。 なお、アドレス信号の変化を検出する回路の具
体的構成は、周知であるので、その詳細な説明は
省略するものである。 〔効果〕 (1) 比較的大きな動作電流を必要とするバイポー
ラ型トランジスタの動作電流を形成する回路と
してその動作期間中にのみオン状態となる
MOSFETを用いることによつて、その無駄な
電流消費が削減できるから、大幅な低消費電力
化を図ることができるという効果が得られる。 (2) CMOSスタテイツク型RAMにおけるセンス
アンプとして、バイポーラ型トランジスタによ
り構成された差動トランジスタを用いることに
よつてデータ線にはその電流増幅率の逆比例に
従つて微少電流しか流れない。言い換えると、
メモリセルのセルサイズを小さくしてその電流
駆動能力を小さくしても、センスアンプの動作
電流(を大きくできる。これにより、高速読み
出し動作を実現できるという効果が得られる。 (3) センスアンプを構成する差動トランジスタの
動作電流を形成する回路として読み出し動作の
ときのみオン状態になるMOSFETを用いるこ
とにより、無駄な電流消費を削減できるという
効果が得られる。これにより、CMOSスタテ
イツク型RAMの特長である低消費電力性を損
なうことがなく、バイポーラ型トランジスタ回
路を用いつつバツテリーバツクアツプ等の動作
も可能になる。 (4) メモリアレイM−ARYを複数個に分割する
とともに、センスアンプにアドレスデコーダ機
能を設けることによつて、いつそうの低消費電
力化と高速動作化とを実現することができると
いう効果が得られる。 (5) バイポーラ型RAMにおけるメモリアレイM
−ARYの読み出し/書込み電流及び書込回路、
読出回路等の周辺回路の電流源としてチツプ選
択状態のときのみオン状態となるMOSFETを
用いることによつて、チツプ非選択状態での無
駄な電流を大幅に削減できるという効果が得ら
れる。 (6) RAMにおける各回路ブロツクの動作電流を
形成する回路としてMOSFETを用いるととも
に、アドレス信号の変化検出信号に基づいてこ
れらの回路ブロツクを時系列的に必要なタイミ
ングで動作させることにより、チツプ選択状態
での無駄な電流消費をも削減できるという効果
が得られる。 以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、この発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。例えば、第1図の実施例回路のメモリセル
は、上記情報保持用抵抗に代え、pチヤンネル
MOSFETを用いるものであつてもよい。また、
上記CMOS回路に代え、nチヤンネルMOSFET
か又はpチヤンネルMOSFETのMOSFET一方
により構成するものとしてもよい。また、その周
辺回路の具体的回路構成及びタイミング制御は、
種々の実施形態を採ることができるものである。 また、バイポーラ型トランジスタの動作電流を
形成するMOSFETは、PチヤンネルMOSFET
により構成するものの他、これらのMOSFETの
ゲートには、所定の定電圧をその動作タイミング
時に供給するものであつてもよい。 〔利用分野〕 以上の説明では本願発明者によつてなされた発
明をその背景となつた技術分野であるCMOSス
タテイツク型RAM及びバイポーラ型RAMに適
用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、信号の増幅、伝達等を行うバイ
ポーラ型トランジスタと、その動作電流を形成す
る回路を含む半導体集積回路装置に広く利用でき
るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明をCMOSスタテイツク型
RAMに適用した場合の一実施例を示す回路図、
第2図は、第1図に示した実施例における読み出
し回路の一実施例を示す回路図、第3図は、その
動作の一例を説明するためのタイミング図、第4
図は、この発明をバイーラ型RAMに適用した場
合の一実施例を示す回路図である。 X−ADB,XAB0〜XABk……Xアドレスバ
ツフア、Y−ADB,YAB0〜YAB1……Yア
ドレスバツフア、X−DCR……Xアドレスデコ
ーダ、Y−DCR……Yアドレスデコーダ、MC…
…メモリセル、W,WA……書込み回路、R……
読み出し回路、SA,SA0〜SA3……センスア
ンプ、MA……メインアンプ、DOB……データ
出力バツフア、DIB……データ入力バツフア、
CON,CONT……制御回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 CMOSスタテツク型RAMをなす複数のメモ
    リアレイと、 それぞれ入力が対応されるメモリアレイに接続
    されかつ出力が互いに共通接続されてなる複数の
    センスアンプと、 上記複数のセンスアンプの動作を制御する制御
    信号を形成する制御手段と、 を備え、 上記各センスアンプは、バイポーラ差動トラン
    ジスタと、かかる差動トランジスタ共通エミツタ
    に接続された電流源用MOSFETとを持ち、 上記制御手段は、上記複数のセンスアンプの内
    の、チツプ選択信号とアドレス信号とライトイネ
    ーブル信号とにより読み出し選択されるべきメモ
    リアレイに対応されたセンスアンプの電流源用
    MOSFETのみをオン状態とする制御信号を形成
    するようにされてなる、 ことを特徴とする半導体集積回路装置。 2 上記差動トランジスタの共通接続されたコレ
    クタ出力は、エミツタ入力のバイポーラ型トラン
    ジスタからなる増幅素子と、かかるエミツタ入力
    のバイポーラ型トランジスタのエミツタに接続さ
    れその動作期間中のみにオン状態となつて電流源
    負荷を構成するMOSFETとからなる増幅回路の
    より増幅されるものであることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の半導体集積回路装置。
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