JPH0420788A - 冷却装置および温度制御装置 - Google Patents

冷却装置および温度制御装置

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JPH0420788A
JPH0420788A JP2124084A JP12408490A JPH0420788A JP H0420788 A JPH0420788 A JP H0420788A JP 2124084 A JP2124084 A JP 2124084A JP 12408490 A JP12408490 A JP 12408490A JP H0420788 A JPH0420788 A JP H0420788A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明は、熱搬送装置に関連し、特に液体の熱媒体を熱
の作用により循環させて熱を搬送し、種種の機器を冷却
する冷却装置およびそれを利用した機器の温度制御装置
に関する。
(従来の技術) 機器の冷却、加熱、空調その他の温度調節装置などにお
ける熱搬送に関し、熱媒体を熱作用により流動させる熱
搬送の方法としては、自然対流による熱搬送は広く用い
られている。しかしこれは発熱の密度、搬送の密度が低
い場合にしか有効ではない。
搬送密度の高い熱作用による熱搬送装置として近年、研
究開発が活発に行われているものに第14図に示すよう
なヒートバイブがある。
これは、熱媒体100を密封管路101内に入れ、熱媒
の受熱部102において液媒体100が蒸発し、気体と
なって放熱部103に流れ、放熱部103で凝縮液化し
、また受熱部102に戻る。
この循環力は重力による方式の場合は第14図に示され
るように放熱部103は受熱部102より高い位置にあ
ることと、途中の管路も重力による流れが維持されるよ
う配置が限定される。
また重力によらない場合はウィックと呼ばれる繊維状物
質のぬれ作用に基く力など、微妙な力に頼ることになり
、熱媒循環力としては限定されたものとなる。したがっ
て、ヒートバイブの利用は現在かなり限定された用途に
しか用いられておらず、熱媒循環にはポンプが使用され
ることが一般である。しかしポンプのような循環装置は
大規模で複雑になるため、ポンプのような可動部のない
、シンプルで信頼性が高く、低コストで使用条件が限定
されない熱媒循環システムに対する要望が大きい。
特に最近、半導体電子回路の小形高密度化が進み、また
インバーターエアコンなどに見られるようにパワー半導
体素子やパワー制御システムに半導体が多用され、発熱
密度の高い半導体制御回路が、増々多く使われるように
なっていくと考えられる。
従来、回路素子や基板の冷却には自然通風やファン通風
冷却が主で、発熱密度が上って来ると前記したヒートパ
イプや、水冷式も用いられている。
しかしヒートバイブは前述のような制約があり、水冷式
はポンプなどの水の循環装置が必要で、大規模装置にし
か向かない。
(発明が解決しようとする課題) 上記したように、熱搬送装置としての一例としての冷却
装置にあっては、自然対流によるものおよび重力によら
ないヒートパイプにおいては、熱搬送密度の低いものに
しか適用できず、重力を利用したヒートパイプにあって
は、各構成部品(受熱部、放熱部等)の配置が限定され
てしまい、ポンプ等の循環装置を用いたものでは、装置
自体が大規模になってしまうという欠点があった。
本発明は、上記問題点を解決する目的でなされたもので
、熱搬送密度が高く、各構成部品の配置が限定されるこ
となく、かつポンプ等の機械的動力源となる循環装置を
必要としないシンプルな構成の冷却装置およびそれを利
用した温度制御装置を提供することにある。
[発明の構成コ (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために本発明の第1の冷却装置は、
内部に液体熱媒体を所定量封入した閉ループ管路手段と
、冷却すべき物体から熱を受け取り、前記閉ループ管路
手段内の前記熱媒体へ熱を伝える受熱部と、前記閉ルー
プ管路手段内の前記熱媒体から熱を奪う放熱部と、前記
閉ループ管路手段内に設けられ、前記受熱部から前記放
熱部へ向かう前記熱媒体の一方向の流れだけを許容する
逆止弁と、から成ることを特徴としている。
また、第2の冷却装置は、内部に液体熱媒体を所定量封
入した閉ループ管路手段と、冷却すべき物体から熱を受
け取り、前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体へ熱を伝
える受熱部と、前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体か
ら熱を奪う放熱部と、前記受熱部で前記熱媒体の少くと
も一部が蒸発した際の体積膨張により前記熱媒体が前記
放熱部の方向へ向かう第1の方向に移動するように設け
られた第1の逆止弁と、前記放熱部で前記蒸発した熱媒
体が冷却された際の体積収縮により前記熱媒体が前記第
1の方向と同方向に移動するように設けられた第2の逆
上弁と、から構成されていることを特徴としている。
また、第3の冷却装置は内部に液体熱媒体を所定量封入
した閉ループ管路手段と、冷却すべき物体から熱を受け
取り、前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体へ熱を伝え
る受熱部と、前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体から
熱を奪う第1の放熱部と、この第1の放熱部で冷却され
た前記熱媒体と前記受熱部で加熱された前記熱媒体とを
熱交換させて前記閉ループ管路手段内の熱媒体から熱を
奪う第2の放熱部と、前記第1および第2の放熱部の間
に設けられ、前記受熱部および前記第2の放熱部から前
記第1の放熱部に向かう前記熱媒体の一方向の流れだけ
を許容する第1の逆止弁と、前記第2の放熱部と前記受
熱部との間に設けられ、前記第1の逆止弁と同方向の前
記熱媒体の流れだけを許容する第2の逆止弁と、から成
ることを特徴としている。
また、本発明の温度制御装置は、内部に液体熱媒体を所
定量封入した閉ループ管路手段と、温度を調節すべき物
体から熱を受け取り、前記閉ループ管路手段内の前記熱
媒体へ熱を伝える受熱部と、前記閉ループ管路手段内の
前記熱媒体から熱を奪う放熱部と、前記閉ループ管路手
段内に設けられ、前記受熱部から前記放熱部へ向かう前
記熱媒体の一方向の流れだけを許容する第1および第2
の逆止弁と、 前記閉ループ管路手段内の圧力を調整する圧力調整手段
と、から成ることを特徴としている。
(作  用) 以上のように構成された本発明によれば、第1の冷却装
置にあっては、受熱部で熱媒体が蒸気化する際に体積が
著しく膨張する際の体積膨張エネルギーを、逆止弁を用
いて熱媒体の循環力に有効に変換できるため、冷却すべ
き機器から熱を奪った熱媒体が放熱部まで循環して前記
機器が冷却できる。体積膨張のエネルギーは、比較的大
きいため、熱媒体は、重力に逆らってでも循環でき、し
たがって、配管の配置が限定されることもなく、簡単な
構成で冷却装置が実現される。
また、上記のような熱媒循環作用は、冷却すべき機器の
発熱量が多ければ蒸気泡の発生が促進されて冷却作用は
強く働き、冷却すべき機器の発熱量が少なければ蒸気泡
の発生が抑制されて冷却作用は弱くなる。
言い換えると、本発明の冷却装置は、自己温度制御機能
を有していると言える。つまり、外部から何も制御する
ことなしに、発熱量が多いには自動的に冷却作用が強ま
り、発熱量が少いときには、自動的に冷却作用が弱まる
。したがって、冷却すべき機器1の温度をある程度一定
に制御することが可能である。
第2の冷却装置にあっては、第1の冷却装置の作用、効
果に加えて、次のような作用効果が得られる。
すなわち、逆止弁を2つ設けて、一方の逆止弁は、第1
の冷却装置の場合と同様に熱媒体の体積膨張エネルギー
を、熱媒体の循環力に有効に変換するとともに、他方の
逆止弁は蒸発した熱媒体が放熱部で冷却された際の体積
収縮エネルギーをこの逆止弁で熱媒体の循環力に有効に
変換している。
したがって、循環力がより大きくなり動作が安定して、
第1の冷却装置よりも冷却作用をさらに向上させること
ができる。
第3の冷却装置にあっては、第1および第2の冷却装置
の作用、効果に加えて、次のような作用効果が得られる
すなわち、熱媒体の冷却効果を大きくして体積収縮エネ
ルギーを大きくして、循環力をアップさせるものである
。すなわち、第1の放熱部でしっくり冷却された熱媒体
と、体積収縮させたい蒸気の混合した熱媒体を瞬時に熱
交換させているため蒸気は、非常に早く収縮し、循環力
が大きくなって動作が安定し、第1および第2の冷却装
置よりも冷却作用をさらに向上させることができる。
本発明の温度制御装置によれば、前記第1の冷却装置に
おける冷却力を自在に調整できるため、前記機器の温度
を任意に制御できる。
つまり、閉ループ管路内の圧力を任意に調整することに
より、熱媒体の蒸発温度(沸点)を自由に調節できこれ
により、温度制御すべき機器の温度を制御できる。
(実施例) 以下図面を参照しなから本発明の種々の実施例を説明す
る。
(実施例1) 第1図は本発明の冷却装置の第1の実施例である。1は
高発熱の半導体部品など冷却すべき機器、2は銅など熱
伝導性の良い材料で作られた冷却板で内部に熱媒管6が
挿入されており、受熱部3として作用する。8は第1の
放熱部たる放熱器で、ファン11などで空気を吹き付け
て熱媒から空気中に熱を放熱させる。4,7は逆止弁で
熱媒の流れを制御するものでそれぞれa、bの矢印の方
向の流れのみを許すものである。5は第2の放熱部たる
熱媒間熱交換器で、2重管構造となっている。
内側管6a内は受熱部3内で加熱された熱媒が流れ、外
側管6bには放熱器8で冷却された熱媒が流れる。熱媒
管6.内側管6aの外側管6bから構成されるループ配
管全体は外部とは密封され、管路内には例えば次のよう
な熱媒10が封入されている。
水、メチルアルコール、エチルアルコール、各種フレオ
ン、ブタンなどの有機熱媒、ふっ素化オレフィンなど各
種熱媒である。
封入液量は全ループ堆積の20〜99%程度さらに望ま
しくは70〜95%程度で、管路内で平衡状態のときは
飽和圧力、温度になって蒸気と液が共存する状態で止っ
ている。
冷却すべき機器1の運転開始され、発熱がはじまると、
放熱器8の冷却ファン11も運転開始され、冷却すべき
機器1の発熱は冷却板2に伝わりさらに受熱部3の熱媒
管6内の熱媒10に伝わり、熱媒10が蒸発し始める。
その蒸発により、熱媒10の体積が膨張し管路内の圧力
が上昇し、この結果逆止弁4が開いて熱媒10は矢印a
の方向へ移動する。それにともない蒸気泡が移動して、
熱媒熱交換器5の近傍まで達すると、この蒸気泡は放熱
器8で冷却された熱媒と熱交換して冷却されて凝縮する
。この結果管路内の圧力が低下し、それにより、今度は
逆止弁4が閉じて逆止弁7が開き、熱媒10はループ内
で矢印a方向と同一方向の矢印す方向に移動する。
以上のようにして、閉ループ管路(熱媒管6)内で熱媒
10は一方向の流れとなる。なお、放熱器8は、熱媒熱
交換器5の外側管6bに冷却された比較的冷たい熱媒1
0を供給して内側管6aとの熱交換効率を向上させるた
めのものである。
このように本発明の原理は、発熱の熱エネルギーを放熱
部と一対の逆止弁を用いて閉ループ管内で熱媒の循環力
に有効に変換するものである。
次に前記したように閉ループ配管内で熱媒を一方向に効
率良く駆動するための条件を考えてみる。
受熱部3において熱媒10が受熱して温度が上り、飽和
温度に達すると蒸気が発生し、気液2相となる。2相流
となった場合の気液の様相は第2図および第3図に示す
ように種々の様相になり得るが、プラグ流、スラグ流、
フロス流の流動様相が特に第4図に示すような、いわゆ
るピストン流となるような条件のときは、蒸発が進んで
、気泡が生長すると逆止弁4,7により一方向に流れが
制限されているので、液体が一方向に良好に駆動される
(流れ)ることになる。
ところで、いわゆるピストン流の流動様式となる条件を
考えてみると、 水平管の場合は重力の影響で、第3図(a)の層状流の
ように気液が上下に分離しようとする力を気液界面の表
面張力により、界面の小さいピストンフローに維持され
るようにするには管がある条件より細いこと、沸とうが
あまり激し急ぎないこと、流速がある程度遅いことなど
の条件が満だされることである。
もう少し数値的に検討すると、水平管の場合、重力によ
り第3図(a)の層状流になろうとする力と表面張力で
、ピストンフローの流動様式に押えようとする力の拮抗
を第5図により考えてみる。
第5図は水平円管で、ピストンフローの状態での気液界
面を示しており、いまP 点、P2点の重カによって生
ずる圧力差を計算すると △P−P2−P1−Pgd     (1)ここで、ρ
:液の密度   [kg/rn3]g:重力加速度  
[rn/s”] △P:差圧  [P  −N / m 2コa d:管内径 気泡内の圧力の表面張力による上昇圧力P、はここで、
σ:表面張力  [N / m ]P :表面張力によ
る上昇圧力[N/cm2]σ △PよりP が大きいと、重力でピストンフロσ のパターンがくずされることはないと考えられるので、 の関係が得られる。つまり管内径は2Jσ/ρgより小
さければ第4図のようなピストン型気泡が重力の力で第
3図(a)のような層状になることはないことになる。
垂直管や斜め配置のときはピストン型気泡はよりくずれ
難いと考えられるので前述(1)式は一般に成立すると
考えて良い。(1)式より重力が小さいとき、例えば人
工衛星内ではより太い管でもピストン型気泡が維持され
ることを示している。
前述のごとく、蒸気が発生して蒸発が続き、気泡が拡大
して体積が膨張すると逆止弁4が開いて逆止弁7が閉じ
るため一方向に液および気泡が押されて流れて行き、熱
媒間熱交換器5に気泡が流入すると放熱部8で冷却され
ている熱媒10との熱交換により気泡は凝縮し体積か縮
小し始める。
すると、受熱部3の前方の逆止弁7が開いて逆止弁4が
閉じるため放熱部8からの戻りの温度の低い熱媒液10
が受熱部3に導入されることになる。
そして、受熱部3が冷却され、蒸発が押えられて体積収
縮がさらに促進される。気泡の凝縮が進み、体積が十分
に縮少すると受熱部3への熱媒10の流入は止まり、再
び受熱部3が温度上昇に転じ、蒸発、気泡拡大体積膨張
のサイクルを繰り返すことになる。このようなサイクル
のくり返しによりポンプ作用が継続され、熱媒10が受
熱部3から放熱部8へ、また放熱部8から受熱部3へと
、循環され、機器の冷却システムとして作用がなされる
このような熱媒循環作用は、冷却すべき機器1の発熱量
が多ければ蒸気泡の発生が促進されて冷却作用は強く働
き、冷却すべき機器1の発熱量が少なければ蒸気泡の発
生が抑制されて冷却作用は弱くなる。
言い換えると、本発明の冷却装置は、自己温度制御機能
を有していると言える。つまり、外部から何も制御する
ことなしに、発熱量が多いには自動的に冷却作用が強ま
り、発熱量が少いときには、自動的に冷却作用が弱まる
。したがって、冷却すべき機器1の温度をある程度一定
に制御することが可能である。このような自己温度制御
機能は注目すべき作用である。
次に、前記した第(1)式から効率良く熱媒循環作用を
得るための熱媒管6の受熱部3近傍での太さを算出して
以下の表1にまとめた。ただし、これらの管の太さは、
あくまでも熱媒管6を水平に配置した場合で、かつ循環
効率を最大限に高めるためのものであって、本発明は、
これに限定されるものではない。
表1に示すように、受熱部3近傍の熱媒管6の太さは、
水では管内径が5.34mm以下、フレオン113では
同様に2.0市以下、エチルアルコールでは3.25+
a+e以下が望ましい。
ただし前記したように、この管の太さは水平管において
、最も効率の良い循環力を得るためのものであり垂直管
、斜め配管等では管の太さは上記範囲より太くとも効率
の良い循環力が得られ、これに限定されることはない。
また、人工衛星の中のように無重力状態では重力加速度
g−0であるから前記(1)式ではdくψとなり、管の
太さは定まらない。しかし、理論的に無重力では管の径
が太くともピストン型気泡が維持され易いことが理解で
きる。
(実施例2) 次に第6図と第7図は、本発明の冷却装置の第2の実施
を示すものである。
第1図に示す第1の実施例においては、第1の放熱部た
る放熱器8と第2の放熱部たる熱媒熱交換器10とが分
割されてそれぞれの間に逆止弁7が設けられていたが、
第6図に示すものは放熱器8と熱媒熱交換器10を一つ
にまとめて放熱部12として形成したものである。そし
て第7図は、同様の主旨であるが、熱交換器10を省略
すると共に冷却ファン11も省略して放熱フィン等によ
る放熱部12だけで熱媒10の冷却を行なうものである
。この場合放熱部12は、例えば機器筐体内から外部へ
出す等して放熱に良好な場所へ設置するとよい。
これら2つの実施例共に逆止弁7は、放熱部12の途中
に設けである。これは、熱媒10の膨張、凝縮により熱
媒10の一方の循環力を有効に得るために特に適した場
所に設置しているためである。
このように、本発明の冷却装置の最もシンプルな構成と
しては、受熱部3と放熱部12と放熱部12の途中に設
けられた第1の逆止弁4と、受熱部3の流れ方向手前側
に設けられた第2の逆止弁7で構成されるものである。
特に冷却すべき機器1は、冷却板2に取付けられる必要
もなく、冷却板2を設けない場合には熱媒管6に直接取
り付けてもよい。
(実施例3) 次に第8図は、本発明の第3の実施例を示す図である。
この実施例においては、受熱部3近傍における熱媒管6
を並列管炉として熱媒管6c、6d、6eと3本に分岐
させて受熱部3近傍での流量を十分確保したものである
高密度実装に伴ない冷却すべき機器1の発熱密度が極め
て高くなると、効率の良い熱媒循環力を得るために受熱
部3近傍での熱媒管6の太さが前記した(1)式により
制限され、パイプ1本では冷却能力を十分高められなく
なるおそれが生じることに対応したものである。したが
って、受熱部3近傍て熱媒管6を複雑並列に分岐させ、
受熱部3近傍以外では熱媒管6の太さは制限されないこ
とから、他の部分の太い熱媒管6に合流させている。
なお、第8図においては、熱媒熱交換器5として前述し
てきた2重管方式とは異なる複数管熱接触方式を採用し
ている。この熱交換器5のA−A切断面矢視図を第9図
(a)に示す。第9図(a)に示すように受熱部3から
熱をうばった熱媒10の流れる熱媒管6c、6d、6e
は、放熱器8で冷却された熱媒10の流れる熱媒管6と
例えばハンダ付等で充分を熱を伝達され易く接触してお
り、熱交換が良好に行なえる。
また第9図(b)に示すように熱媒管6と6c。
6d  6eを良熱伝導体の熱交換板5aにそれぞれ例
えばハンダ付等し、この熱交換板5aを介して熱交換さ
せてもよい。
また、第8図に示すように熱媒管6を並列に分岐させる
ようなものにおいても、熱交換器5午前にて合流させれ
ば、前記の2重管式の熱交換器が使用できる。
なお、複数の並列管路は必要に応して分岐数を調整して
充分な流量が確保できる。
(実施例4) 次に第10図は、本発明の冷却装置の第4の実施例を示
すものである。
この実施例は、冷却装置としての熱媒ループの動作がよ
り安定するように体積変化吸収装置20を設けたもので
ある。この体積変化吸収装置20はコムダイヤフラム2
1で分割される上方空間に例えば窒素ガス等の通常の使
用状態で凝縮しない不凝縮性のガス(窒素ガスに限定さ
れない)が封入されており、下方空間は熱媒管6と接続
されて熱媒10が入っている。
このように体積変化吸収装置20を設けたものは以下の
ように動作が安定する。
つまり、閉ループ管路(熱媒管6)内においては、受熱
部6から熱媒10が受熱して蒸気泡が発生すると、閉ル
ープ管路内の圧力が上昇する。圧力が高くなると熱媒1
0の蒸発温度が高くなり動作か不安定となるおそれが生
じる。したがって、熱媒10の蒸発、凝縮によって発生
する閉ループ管路内の圧力変化を体積変化吸収装置20
て吸収して閉ループ管路内の圧力を常にほぼ一定となる
ように制御している。閉ループ管路内の圧力変化が小さ
ければ、熱媒10の蒸発温度もほぼ一定であって、冷却
装置の動作は極めて一定となる。
さらに前述したように本発明の冷却装置は自己温度制御
機能を有しているが、閉ループ管路内の圧力がほぼ一定
に保たれると、上述のごとく熱媒の蒸発温度が一定とな
り、冷却すべき機器の温度をさらに安定に保つことがで
きる。
(実施例5) 次に第2の発明たる温度制御装置について説明する。
第11図の基本的な構造は、第10図の体積変化吸収装
置20のコムダイヤフラム21で分割される上方空間に
封入される不凝縮性ガスのガス圧力を調整可能なように
圧力調整装置22としての小型ボンベ23と減圧弁24
を設けたものである。
この温度制御装置においては、ボンベ23内の高圧ガス
を減圧弁24でコントロールして体積変化吸収装置20
内、ひいては閉ループ管路(熱媒管6)内の圧力を所定
圧力に制御できるものである。この圧力調整装置22に
よれば閉ループ管路内の圧力を任意に変化させることに
より熱媒10の蒸発温度を変化させ、よって冷却効率を
調整し、冷却すべき機器]の温度を調整することができ
る。
また、機器1の温度を自動的に制御するために例えば第
12図に示すように熱媒10(あるいは機器1等)の温
度を熱電対26により検出し、弁開度調整装置27によ
り減圧弁24の弁開度を自動的に調整するようにしても
よい。
本来本発明の冷却装置は自己温度制御機能を有している
が、この実施例のように圧力調整装置22を設けること
により、温度制御の温度範囲を極めて広く設定制御でき
極めて有効である。
次に第13図は、逆止弁の例を示すものである。
第13図(a)は、最もシンプルな逆止弁であるが、熱
媒管6内に設けられた弁座30と弁体31としてのボー
ルとから構成されている。ボールとしては鋼球等各種金
属や合金あるいは耐熱プラスチック等の各種樹脂等が用
いられる。このタイプは、弁体31がフリーの状態とな
っており使用状態がある程度限られてしまう。
第13図(b)乃至(e)は弁体31を弁座30に押圧
しておく圧縮バネ32を設けているもので無重力や水平
管の場合にも問題なく使用可能である。
なお、逆止弁の形状等はこれらに限定されることなくど
のようなものでもよい。
なお、先に熱媒10の封入量について閉ループ管路(熱
媒管6)全体積の20〜99%程度さらに望ましくは7
0〜95%程度という記載をしたが、これは閉ループ管
路全体の長さや受熱部の割合等にも影響されるため、以
下もう少し具体的に検討する。
閉ループ金管路体積をVとし、受熱部3の管路体積をv
e、tf人される熱媒1oの液体積をVlとする。受熱
部3の熱媒10が全て蒸気になると仮定すると封入量は
V−Ve、また循環力の効率を考えて、受熱部3て熱媒
10が10%程度蒸気になると仮定すると、封入量はV
−0,1xveである。したがって望ましい熱媒1oの
封入量は以下のように表せる。
V−Ve<V、p <V−0,1xVeなお、本発明の
冷却装置、温度制御装置は上記実施例に限定されること
なく、その要旨逸脱しない範囲で種々変形して実施する
ことができる。
[発明の効果コ 以上説明してきたように本発明によれば、各構成部品の
配置が限定されることなく、がっポンプ等の機械的動力
源となる循環装置を必要としないシンプルな構成の冷却
装置およびそれを利用した温度制御装置を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の冷却装置の一実施例を示す概略図、
第2図および第3図は、各種管路内の熱媒体の各種流動
様式を示す概略図、第4賢は、本発明に係る管路内の熱
媒体のピストンフロー型流動様式の模式図、第5図は、
本発明に係り水平管を示す概略図、第9図は、第8図に
おけるA−A線矢視図、第10図は、本発明の冷却装置
の他の実施例を示す概略図、第11図は、本発明の温度
制御装置の一実施例を示す概略図、第12図は、本発明
の温度制御装置の実施例の一部を抜き出して示す概略図
、第13図は、本発明の冷却装置および温度制御装置に
適用可能な逆止弁の例を示す概略図、第14図は、従来
の冷却装置の一例を示す概略図である。 1・・・冷却すべき機器(温度制御すべき機器)2・・
・冷却板、3・・・受熱部、4・・・第1の逆止弁。 5・・・熱媒間熱交換器(第2の放熱部)、5a・・・
熱交換板、6・・・熱媒管、7・・・第2の逆上弁、8
・・・放熱器(第1の放熱部)、10・・・熱媒(熱媒
体)11・・・冷却フィン、12・・・放熱部、20・
・・体積変化吸収装置 21・・・コムダイヤフラム。 2・・・圧 力調整装置。 3・・・ボンベ。 24・・・減圧弁。 ・・・弁開度調整装置

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)内部に液体熱媒体を所定量封入した閉ループ管路
    手段と、 冷却すべき物体から熱を受け取り、前記閉ループ管路手
    段内の前記熱媒体へ熱を伝える受熱部と、前記閉ループ
    管路手段内の前記熱媒体から熱を奪う放熱部と、 前記閉ループ管路手段内に設けられ、前記受熱部から前
    記放熱部へ向かう前記熱媒体の一方向の流れだけを許容
    する逆止弁と、 から成ることを特徴とする冷却装置。
  2. (2)内部に液体熱媒体を所定量封入した閉ループ管路
    手段と、 冷却すべき物体から熱を受け取り、前記閉ループ管路手
    段内の前記熱媒体へ熱を伝える受熱部と、前記閉ループ
    管路手段内の前記熱媒体から熱を奪う放熱部と、 前記受熱部で前記熱媒体の少くとも一部が蒸発した際の
    体積膨張により前記熱媒体が前記放熱部の方向へ向かう
    第1の方向に移動するように設けられた第1の逆止弁と
    、 前記放熱部で前記蒸発した熱媒体が冷却された際の体積
    収縮により前記熱媒体が前記第1の方向と同方向に移動
    するように設けられた第2の逆止弁と、 から構成されていることを特徴とする冷却装置。
  3. (3)内部に液体熱媒体を所定量封入した閉ループ管路
    手段と、 冷却すべき物体から熱を受け取り、前記閉ループ管路手
    段内の前記熱媒体へ熱を伝える受熱部と、前記閉ループ
    管路手段内の前記熱媒体から熱を奪う第1の放熱部と、 この第1の放熱部で冷却された前記熱媒体と前記受熱部
    で加熱された前記熱媒体とを熱交換させて前記閉ループ
    管路手段内の熱媒体から熱を奪う第2の放熱部と、 前記第1および第2の放熱部の間に設けられ、前記受熱
    部および前記第2の放熱部から前記第1の放熱部に向か
    う前記熱媒体の一方向の流れだけを許容する第1の逆止
    弁と、 前記第2の放熱部と前記受熱部との間に設けられ、前記
    第1の逆止弁と同方向の前記熱媒体の流れだけを許容す
    る第2の逆止弁と、 から成ることを特徴とする冷却装置。
  4. (4)内部に液体熱媒体を所定量封入した閉ループ管路
    手段と、 温度を調節すべき物体から熱を受け取り、前記閉ループ
    管路手段内の前記熱媒体へ熱を伝える受熱部と、 前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体から熱を奪う放熱
    部と、 前記閉ループ管路手段内に設けられ、前記受熱部から前
    記放熱部へ向かう前記熱媒体の一方向の流れだけを許容
    する第1および第2の逆止弁と、前記閉ループ管路手段
    内の圧力を調整する圧力調整手段と、 から成ることを特徴とする温度制御装置。
  5. (5)前記受熱部近傍における前記閉ループ管路の管の
    太さは、前記熱媒体が熱を受取り蒸発して気液2層流と
    なった時にピストン型流となるような太さに設定されて
    いることを特徴とする請求項1または請求項2または請
    求項3に記載の冷却装置あるいは請求項4に記載の温度
    制御装置。
  6. (6)前記受熱部近傍における前記閉ループ管路の管が
    水平に配置されている場合、この管の内径d(mm)は d<50×√σ/ρ ただし、 σ:熱媒体の表面張力(N/m) ρ:熱媒体の密度(g/cm^2) に設定されていることを特徴とする請求項1または請求
    項2または請求項3に記載の冷却装置あるいは請求項4
    に記載の温度制御装置。
  7. (7)前記逆止弁は、 前記受熱部で前記熱媒体の少くとも一部が蒸発した際の
    体積膨張により前記熱媒体が前記放熱部の方向へ向かう
    第1の方向に移動するように設けられた第1の逆止弁と
    、 前記放熱部で前記蒸発した熱媒体が冷却された際の体積
    収縮により前記熱媒体が前記第1の方向と同方向に移動
    するように設けられた第2の逆止弁と、 から構成されていることを特徴とする請求項1記載の冷
    却装置。
  8. (8)前記逆止弁は、 前記放熱部の途中に設けられる第1の逆止弁と、前記熱
    媒体が前記放熱部で冷却されて前記受熱部に戻る途中の
    前記閉ループ管路手段内に設けられている第2の逆止弁
    と、 から構成されていることを特徴とする請求項1記載の冷
    却装置。
  9. (9)前記放熱部は、冷却ファンを備えていることを特
    徴とする請求項1または請求項2に記載の冷却装置ある
    いは請求項4に記載の温度制御装置。
  10. (10)前記第1の放熱部は、冷却ファンを備えている
    ことを特徴とする請求項3に記載の冷却装置。
  11. (11)前記冷却ファンは前記冷却すべき機器あるいは
    温度制御すべき機器の運転開始にあわせて運転を開始さ
    れることを特徴とする請求項9に記載の冷却装置または
    温度制御装置あるいは請求項10に記載の冷却装置。
  12. (12)前記放熱部は、 前記受熱部から熱を受け取った熱媒体を案内する第1の
    管と 前記第1の放熱部で冷却された熱媒体を案内し、前記第
    1の管内の熱媒体と熱交換させる第2の管と、 から構成されていることを特徴とする請求項1または請
    求項2に記載の冷却装置あるいは請求項4に記載の温度
    制御装置。
  13. (13)前記第2の放熱部は、 前記受熱部から熱を受け取った熱媒体を案内する第1の
    管と 前記第1の放熱部で冷却された熱媒体を案内し、前記第
    1の管内の熱媒体と熱交換させる第2の管から構成され
    ていることを特徴とする請求項3に記載の冷却装置。
  14. (14)前記第2の管は、前記第1の管の外側を覆うよ
    うに配置され、これら第1および第2の管は、2重管に
    構成されていることを特徴とする請求項12に記載の冷
    却装置または温度制御装置あるいは請求項13に記載の
    冷却装置。
  15. (15)前記第1および第2の管は、それぞれの間で熱
    交換可能に配置されていることを特徴とする請求項12
    に記載の冷却装置または温度制御装置あるいは請求項1
    3に記載の冷却装置。
  16. (16)前記熱媒体の封入量は以下の値に設定されてい
    ることを特徴とする請求項1または請求項2または請求
    項3に記載の冷却装置あるいは請求項4に記載の温度制
    御装置。 V−Ve<Vl<V−0.1×Ve ただし、 V:閉ループ管路の全体積 Ve:受熱部の管路体積 Vl:熱媒体の全体積
  17. (17)前記受熱部近傍における前記閉ループ管路は複
    数に分割された並列管路で構成されていることを特徴と
    する請求項1または請求項2または請求項3に記載の冷
    却装置あるいは請求項4に記載の温度制御装置。
  18. (18)前記並列管路のそれぞれに前記第2の逆止弁が
    それぞれ設けられていることを特徴とする請求項17に
    記載の冷却装置あるいは温度制御装置。
  19. (19)前記閉ループ管路手段内の圧力を調整する圧力
    調整手段をさらに設けたことを特徴とする請求項1また
    は請求項2または請求項3に記載の冷却装置。
  20. (20)前記閉ループ管路手段内の前記熱媒体の体積膨
    張を吸収する体積変化吸収手段をさらに設けたことを特
    徴とする請求項1または請求項2または請求項3に記載
    の冷却装置。
  21. (21)前記体積変化吸収手段は、 前記閉ループ管路手段に接続される密閉容器と、この容
    器内を前記閉ループ管路手段に接続される側の第1の空
    間および密閉される第2の空間とに区切る可撓性部材と
    、 前記第2の空間に密封される不凝縮性ガスと、から構成
    されていることを特徴とする請求項20に記載の冷却装
    置。
  22. (22)前記不凝縮性ガスの圧力を調整するガス圧力調
    整手段をさらに設けたことを特徴とする請求項21に記
    載の冷却装置。
  23. (23)前記ガス圧力調整手段は、 ガス供給手段と、 このガス供給手段から供給される高圧ガスを減圧して、
    前記第2の空間に導くための減圧弁と、この減圧弁の開
    度を調節する制御手段と、 から成ることを特徴とする請求項21に記載の冷却装置
  24. (24)前記圧力調整手段は、 前記閉ループ管路手段に接続される密閉容器と、この容
    器内を前記閉ループ管路手段に接続される側の第1の空
    間および密閉される第2の空間とに区切る可撓性部材と
    、 前記第2の空間に不凝縮性ガスを供給するガス供給手段
    と、 このガス供給手段から供給される高圧ガスを減圧して、
    前記第2の空間に導くための減圧弁と、この減圧弁の開
    度を調節する制御手段と、 から成ることを特徴とする請求項4に記載の温度制御装
    置。
  25. (25)前記受熱部は前記閉ループ管路手段の一部であ
    って、前記冷却すべき物体は前記閉ループ管路手段の一
    部に直接取り付けられていることを特徴とする請求項1
    または請求項2または請求項3に記載の冷却装置あるい
    は請求項4に記載の温度制御装置。
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