DE10017971A1 - Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem Mikrowärmeübertrager - Google Patents
Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem MikrowärmeübertragerInfo
- Publication number
- DE10017971A1 DE10017971A1 DE10017971A DE10017971A DE10017971A1 DE 10017971 A1 DE10017971 A1 DE 10017971A1 DE 10017971 A DE10017971 A DE 10017971A DE 10017971 A DE10017971 A DE 10017971A DE 10017971 A1 DE10017971 A1 DE 10017971A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- heat exchanger
- cooling device
- refrigerant
- component
- micro heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung, insbesondere zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mittels eines durch einen in gutem Wärmekontakt mit dem Bauelement (1) stehenden Mikrowärmeübertrager (10) strömenden Kältemittels, und ist dadurch gekennzeichnet, dass das Kältemittel so gewählt ist, dass es bei der gewünschten Bauelementetemperatur im Mikrowärmeübertrager (10) verdampft (Figur 1).
Description
Die Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung, insbesondere
zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik
mittels eines durch einen in gutem Wärmekontakt mit dem
Bauelement stehenden Mikrowärmeübertrager strömenden
Kältemittels.
Eine derartige Kühlvorrichtung ist in INT. J. Heat Mass
Transfer, Band 37, Nr. 2, Seiten 321-332, 1994, von M. P.
Bowers und I. Mudawar mit dem Titel "High flux boiling in
low flow rate, low pressure drop mini-channel and micro
channel heat sinks" beschrieben worden.
Allgemein werden derzeit Bauelemente oder Baugruppen der
Leistungselektronik, wie z. B. Pulswechselrichter, vor
wiegend mit Hilfe von massiven Kühlkörpern aus Aluminium
oder Kupfer gekühlt. Dabei erfolgt die Wärmeabfuhr mit
Kühlflüssigkeit, die durch Bohrungen in den Kühlkörpern
geleitet wird.
Alternativ dazu ist bei Leistungselektronikbauelementen
die Wärmeabfuhr durch Siedebadkühlung bekannt. Dabei wird
die Wärme durch Verdampfung einer elektrisch nicht
leitenden Flüssigkeit abgeführt, die jeweils in direktem
Kontakt mit den Bauteilen steht.
Die bisher eingesetzten Verfahren zur Kühlung von
Leistungselektronikbauelementen haben Nachteile, die bei
den massiven Kühlkörpern, die z. B. 30 mm dick sind,
durch eine großes Bauvolumen und Gewicht bedingt sind.
Aufgrund der begrenzten Kühlwirkung solcher massiver
Kühlkörper führen große Verlustwärmeströmungen der Leis
tungselektronikbauteile zu einem deutlichen Anstieg der
Bauteiltemperaturen. Hohe Bauteiltemperaturen bewirken
einen schlechteren Wirkungsgrad der elektronischen Bau
teile und können zur Zerstörung derselben führen.
Bei der Siedebadkühlung stehen die Bauteile in direktem
Kontakt mit der wärmeübertragenden Flüssigkeit. Dabei
werden üblicherweise Fluor-Kohlenwasserstoffe eingesetzt.
Die Verwendung dieser Kältemittel macht umfangreiche
Abdichtungsmaßnahmen notwendig, da mit der Änderung der
Temperatur auch der Dampfdruck der Flüssigkeit in
mehreren Bar variiert. Weiterhin werden die Komponenten
der Leistungselektronik im Kraftfahrzeug aufgrund der
hohen mechanischen Belastungen zur besseren Stabilität
mit Materialien, wie Silikonkautschukmasse, vergossen.
Dies ist beim Einsatz der Siedebadkühlung nur
eingeschränkt möglich.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Kühlvorrichtung
insbesondere zur Kühlung von Bauelementen der Leistungs
elektronik so anzugeben, dass große Wärmeströme auf einer
kleinen Fläche bei niedrigen Temperaturen und geringem
Gewicht des eingesetzten Wärmeübertragers unter Einsatz
kleiner Kältemittelmengen abführbar sind, wobei kein
Kontakt zwischen Kältemittel und Elektronikbauteilen
besteht.
Kern der Erfindung ist die Kombination des Phasen
übergangs, z. B. bei der Verdampfungskühlung, zur Kühlung
der Leistungselektronikbauelemente mit dem Einsatz eines
Mikrowärmeübertragers. Mikrowärmeübertrager sind Gebilde,
in denen sich Kanalanordnungen mit sehr kleinen Abmes
sungen im Submillimeterbereich, befinden.
Der Einsatz eines Mikrowärmeübertragers bietet mehrere
Vorteile:
- - Kleine Abmessungen verbunden mit geringem Gewicht,
- - Große wärmeübertragende Fläche der Kanäle für das Kältemittel und dadurch gute lokale Kühlung der Elektronikbauteile.
Üblicherweise erfolgt die Wärmeabfuhr in Mikrowärme
übertragern durch Wärmeübergang an eine durchströmende
Flüssigkeit.
Entscheidende Vorteile ergeben sich durch die Durch
strömung des Mikrowärmeübertragers mit einem geeigneten
Kältemittel, das bei der gewünschten Bauteiletemperatur
verdampft. Mikrowärmeübertrager besitzen durch ihre Viel
zahl von durchströmten Kanälen eine große Wärmeübertra
gungsfläche und sind somit in der Lage, wenn sie von
einem geeigneten Kältemittel durchströmt werden, sehr
große Wärmeströme bei der gewünschten Temperatur
abzuführen. Weiterhin ist die Temperaturdifferenz entlang
der Kühlkanäle geringer als bei einphasiger konvektiver
Wärmeübertragung, da ein großer Teil der Wärme bei der
Phasenübergangstemperatur übertragen wird. Somit stellen
sich auch im Bereich der zu kühlenden Bauelemente
gleichmäßige Temperaturverteilungen ein. Aufgrund ihrer
geringen Kanaldurchmesser sind Mikrowärmeübertrager für
den Einsatz bei hohen Drücken geeignet. Außerdem sind
Dichtungsprobleme einfacher als bei der Siedebadkühlung
zu lösen.
Eine erfindungsgemäße Kühlvorrichtung wird nachstehend in
Ausführungsbeispielen bezugnehmend auf die beiliegende
Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch im Schnitt ein erstes Ausführungs
beispiel einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung;
Fig. 2 schematisch im Schnitt ein zweites Ausführungs
beispiel einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung und
Fig. 3 schematisch im Schnitt ein drittes Ausführungs
beispiel einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung.
In den Fig. 1 bis 3 sind drei Varianten einer
erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bau
elementen der Leistungselektronik dargestellt.
Bei einem in Fig. 1 gezeigten ersten Ausführungsbeispiel
ist ein Mikrowärmeübertrager 10 auf der Rückseite eines
isolierenden Schaltungsplattensubstrats 2 einem zu
kühlenden Bauteil 1 gegenüber angeordnet, das auf der
Vorderseite des Substrats 2 über eine elektrische und
thermische Kontaktierung 6 und eine Lotschicht 5 mit dem
Schaltungsplattensubstrat 2 verbunden ist. In dem
Leistungselektronikbauelement 1 wird ein Wärmestrom frei,
der über das Lot 5, die elektrische und thermische
Kontaktierung 6 und das Schaltungsplattensubstrat 2 (kurz
Platine) an den Mikrowärmeübertrager 10 abgegeben wird.
Dem Mikrowärmeübertrager 10 wird flüssiges Kältemittel,
das geringfügig unterkühlt ist, zugeführt. Das Kälte
mittel erwärmt sich zunächst auf Siedezustand und beginnt
dann, in den Kanälen des Mikrowärmeübertragers 10 zu
sieden. Dabei spricht man auch von Strömungssieden einer
gesättigten Flüssigkeit.
Eine Alternative ist das Strömungssieden einer als
Kältemittel dienenden unterkühlten Flüssigkeit. Hierbei
tritt die unterkühlte Flüssigkeit in den Mikrowärme
übertrager 10 ein und es bilden sich Blasen, die jedoch
im Gegensatz zum Strömungssieden gesättigter Flüssig
keiten entweder schon an der Wand oder in unmittelbarer
Wandnähe kollabieren. Der hierbei auftretende verbesserte
Wärmeübergang ist auf gleichzeitiges Verdampfen und
Kondensieren sowie auf eine verstärkte Turbulenz in der
wandnahen Flüssigkeit stromabwärts von Blasenentstehungs
punkt zurückzuführen.
Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der
erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung, bei der ein Mikro
wärmeübertrager 11 direkt auf und über dem zu kühlenden
Bauelement (z. B. Chip) 1 angeordnet ist. Auch dieses Bau
element 1 ist über eine Lotschicht 5 und eine elektrische
und thermische Kontaktierung 6 mit einer isolierenden
Platine 2 verbunden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel zeigt Fig. 3. Ein
Mikrowärmeübertrager 12 ist direkt im Schaltungsplatten
substrat 3 integriert, und zwar so, dass die Mikrokanäle
des Mikrowärmeübertragers 3 in der Substratebene
verlaufen und dem zu kühlenden Bauteil 1 bzw. dessen
elektrischer und thermischer Kontaktierung 6 benachbart
verlaufen.
Es ist ausdrücklich zu bemerken, dass auch Kombinationen
der in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiele
möglich und sinnvoll sein können, d. h., dass
dann der Mikrowärmeübertrager in einzelne Abschnitte
aufgeteilt sein kann, die dann jeweils die in den Fig.
1 bis 3 dargestellte Struktur und Lage haben können.
Das Kältemittel und der Systemdruck, bei dem sich der
entsprechende Verdampfungsvorgang einstellt, werden so
gewählt, dass der Wärmestrom aus den elektrischen
Bauteilen abgeführt und die maximal zulässige Temperatur
im Bereich des Bauteils bzw. Chips nicht überschritten
wird. Im Fall des Strömungssiedens verdampft ein Großteil
des zugeführten Kältemittels, wird nachfolgend konden
siert und tritt anschließend wieder in den Mikrowärme
übertrager ein. Ein (nicht gezeigter) Kondensator, der
zur Kondensierung des aus dem Mikrowärmeübertrager
tretenden verdampften Kältemittels dient, kann mikro
strukturiert oder konventionell aufgebaut sein, und ist
zentral oder dezentral angeordnet. Der Rücktransport des
im Kondensator kondensierten Kältemittels kann aktiv über
eine (nicht gezeigte) Pumpe oder passiv über Schwerkraft
oder über Kapillarleitungen in den Mikrowärmeübertrager
erfolgen.
Bedingt durch die kleinen Volumina in den Kanälen des
Mikrowärmeübertragers sind sowohl für den Fall des
Strömungssiedens einer gesättigten als auch einer
unterkühlten Flüssigkeit nur geringe Mengen an Kälte
mittel erforderlich.
Claims (10)
1. Kühlvorrichtung, insbesondere zur Kühlung von Bau
elementen der Leistungselektronik mittels eines durch
einen in gutem Wärmekontakt mit dem Bauelement stehenden
Mikrowärmeübertrager strömenden Kältemittels, dadurch
gekennzeichnet, dass das Kältemittel so gewählt ist, dass
es bei der gewünschten Bauelementetemperatur im Mikro
wärmeübertrager verdampft.
2. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Mikrowärmeübertrager (10) auf der
Rückseite eines das Leistungselektronikbauelement (1) auf
seiner Vorderseite tragenden Schaltungsplattensubstrats
(2) dem Bauelement gegenüberliegend angeordnet ist.
3. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Mikrowärmeübertrager (11) direkt auf
und über dem Bauelement (1) angeordnet ist.
4. Kühlvorrichtung nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessungen
des Mikrowärmeübertragers (10, 11) an die Abmessungen des
Bauelements (1) angepasst sind.
5. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Mikrowärmeübertrager (12) in einem das
Bauelement tragenden Schaltungsplattensubstrat (3) dem
Bauelement (1) benachbart so angeordnet ist, dass das
Kältemittel das Substrat (3) in der Substratebene durch
strömt.
6. Kühlvorrichtung nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der
Mikrowärmeübertrager (10, 11, 12) in mehrere Abschnitte
unterteilt ist, die jeweils auf der Rückseite des das
Bauelement auf seiner Vorderseite tragenden Schaltungs
plattensubstrats und/oder direkt auf und über dem Bau
element und/oder in dem das Bauelement tragenden
Schaltungsplattensubstrat liegen.
7. Kühlvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowärmeübertrager
Element eines Kältemittelkreises ist.
8. Kühlvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, dass in dem Kältemittelkreis dem Mikrowärme
übertrager in Strömungsrichtung ein Kondensator für das
im Mikrowärmeübertrager verdampfte Kältemittel nachge
schaltet ist.
9. Kühlvorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch
gekennzeichnet, dass der Rücktransport des Kältemittels
zum Mikrowärmeübertrager aktiv durch eine im Kältemittel
kreis angeordnete Pumpe erfolgt.
10. Kühlvorrichtung nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Struktur und
Anordung des Mikrowärmeübertragers, das Kältemittel und
der Systemdruck so gewählt sind, dass eine maximal
zulässige Temperatur des zu kühlenden Bauelements nicht
überschritten wird.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10017971A DE10017971A1 (de) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem Mikrowärmeübertrager |
JP2001575793A JP2004509450A (ja) | 2000-04-11 | 2001-02-09 | マイクロ熱伝達器を用いて、パワーエレクトロニクスの構成部材を冷却するための冷却装置 |
KR1020027013507A KR20020093897A (ko) | 2000-04-11 | 2001-02-09 | 마이크로 열 교환기를 장착한 파워 전자 장치의 부품냉각을 위한 냉각장치 |
EP01913609A EP1275278A1 (de) | 2000-04-11 | 2001-02-09 | Kühlvorrichtung zur kühlung von bauelementen der leistungselektronik mit einem mikrowärmeübertrager |
PCT/DE2001/000498 WO2001078478A1 (de) | 2000-04-11 | 2001-02-09 | Kühlvorrichtung zur kühlung von bauelementen der leistungselektronik mit einem mikrowärmeübertrager |
US10/257,509 US20030178178A1 (en) | 2000-04-11 | 2001-02-09 | Cooling device for cooling components of the power electronics, said device comprising a micro heat exchanger |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10017971A DE10017971A1 (de) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem Mikrowärmeübertrager |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10017971A1 true DE10017971A1 (de) | 2001-10-25 |
Family
ID=7638356
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10017971A Ceased DE10017971A1 (de) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem Mikrowärmeübertrager |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20030178178A1 (de) |
EP (1) | EP1275278A1 (de) |
JP (1) | JP2004509450A (de) |
KR (1) | KR20020093897A (de) |
DE (1) | DE10017971A1 (de) |
WO (1) | WO2001078478A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10333877A1 (de) * | 2003-07-25 | 2005-02-24 | Sdk-Technik Gmbh | Kühlvorrichtung, insbesondere zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mittels eines Wärmeübertragungskreislaufes |
DE202007016535U1 (de) | 2007-11-23 | 2008-10-16 | Hellwig, Udo, Prof. Dr.-Ing. | Einrichtung zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente |
EP2063696A2 (de) | 2007-11-23 | 2009-05-27 | MiCryon Technik GmbH | Verfahren zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE102007056783A1 (de) | 2007-11-23 | 2009-05-28 | Micryon Technik Gmbh | Verfahren zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US7872349B2 (en) | 2003-07-08 | 2011-01-18 | Infineon Technologies Ag | Integrated coolant circuit arrangement, operating method and production method |
US7913751B2 (en) | 2005-02-22 | 2011-03-29 | Behr Gmbh & Co. Kg | Micro-heat exchanger |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7246940B2 (en) * | 2003-06-24 | 2007-07-24 | Halliburton Energy Services, Inc. | Method and apparatus for managing the temperature of thermal components |
US20050141195A1 (en) * | 2003-12-31 | 2005-06-30 | Himanshu Pokharna | Folded fin microchannel heat exchanger |
US20060102353A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Halliburton Energy Services, Inc. | Thermal component temperature management system and method |
US8024936B2 (en) * | 2004-11-16 | 2011-09-27 | Halliburton Energy Services, Inc. | Cooling apparatus, systems, and methods |
WO2006060673A1 (en) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Halliburton Energy Services, Inc. | Rechargeable energy storage device in a downhole operation |
WO2006060708A1 (en) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Halliburton Energy Services, Inc. | Switchable power allocation in a downhole operation |
WO2006065559A1 (en) | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Halliburton Energy Services, Inc. | Heating and cooling electrical components in a downhole operation |
US20070119572A1 (en) * | 2005-11-30 | 2007-05-31 | Raytheon Company | System and Method for Boiling Heat Transfer Using Self-Induced Coolant Transport and Impingements |
TWI513069B (zh) * | 2013-05-21 | 2015-12-11 | Subtron Technology Co Ltd | 散熱板 |
US20170332514A1 (en) * | 2014-11-14 | 2017-11-16 | Exascaler Inc. | Cooling system and cooling method for electronic equipment |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3206059C2 (de) * | 1982-02-19 | 1984-11-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Kühleinrichtung für elektrische Bauelemente |
DE3402003A1 (de) * | 1984-01-21 | 1985-07-25 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Leistungshalbleitermodul |
EP0484320A2 (de) * | 1985-11-19 | 1992-05-06 | Fujitsu Limited | Kühlmodule für Vorrichtungen mit elektronischem Schaltkreis |
DE4311839A1 (de) * | 1993-04-15 | 1994-10-20 | Siemens Ag | Mikrokühleinrichtung für eine Elektronik-Komponente |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2204589A1 (de) * | 1972-02-01 | 1973-08-16 | Siemens Ag | Kuehlanordnung fuer flache halbleiterbauelemente |
US4047198A (en) * | 1976-04-19 | 1977-09-06 | Hughes Aircraft Company | Transistor cooling by heat pipes having a wick of dielectric powder |
JPS5936827B2 (ja) * | 1979-01-12 | 1984-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 集積回路素子の冷却装置 |
US4392362A (en) * | 1979-03-23 | 1983-07-12 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Micro miniature refrigerators |
US4322737A (en) * | 1979-11-20 | 1982-03-30 | Intel Corporation | Integrated circuit micropackaging |
US4573067A (en) * | 1981-03-02 | 1986-02-25 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Method and means for improved heat removal in compact semiconductor integrated circuits |
US4386505A (en) * | 1981-05-01 | 1983-06-07 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Refrigerators |
US4503483A (en) * | 1982-05-03 | 1985-03-05 | Hughes Aircraft Company | Heat pipe cooling module for high power circuit boards |
US4491010A (en) * | 1983-06-20 | 1985-01-01 | General Motors Corporation | Dynamic combustion characteristic sensor for internal combustion engine |
DE3504992A1 (de) * | 1985-02-14 | 1986-08-14 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Leistungshalbleitermodul mit integriertem waermerohr |
US4758926A (en) * | 1986-03-31 | 1988-07-19 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Fluid-cooled integrated circuit package |
US4894709A (en) * | 1988-03-09 | 1990-01-16 | Massachusetts Institute Of Technology | Forced-convection, liquid-cooled, microchannel heat sinks |
US5179043A (en) * | 1989-07-14 | 1993-01-12 | The Texas A&M University System | Vapor deposited micro heat pipes |
JP2859927B2 (ja) * | 1990-05-16 | 1999-02-24 | 株式会社東芝 | 冷却装置および温度制御装置 |
US5199487A (en) * | 1991-05-31 | 1993-04-06 | Hughes Aircraft Company | Electroformed high efficiency heat exchanger and method for making |
US5355942A (en) * | 1991-08-26 | 1994-10-18 | Sun Microsystems, Inc. | Cooling multi-chip modules using embedded heat pipes |
US5218515A (en) * | 1992-03-13 | 1993-06-08 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Microchannel cooling of face down bonded chips |
DE59302279D1 (de) * | 1992-05-25 | 1996-05-23 | Fichtel & Sachs Ag | Elektrische maschine mit halbleiterventilen |
US5283715A (en) * | 1992-09-29 | 1994-02-01 | International Business Machines, Inc. | Integrated heat pipe and circuit board structure |
US5316077A (en) * | 1992-12-09 | 1994-05-31 | Eaton Corporation | Heat sink for electrical circuit components |
US5441102A (en) * | 1994-01-26 | 1995-08-15 | Sun Microsystems, Inc. | Heat exchanger for electronic equipment |
US5611214A (en) * | 1994-07-29 | 1997-03-18 | Battelle Memorial Institute | Microcomponent sheet architecture |
US5598632A (en) * | 1994-10-06 | 1997-02-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method for producing micro heat panels |
DE19514548C1 (de) * | 1995-04-20 | 1996-10-02 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Herstellung einer Mikrokühleinrichtung |
US5548605A (en) * | 1995-05-15 | 1996-08-20 | The Regents Of The University Of California | Monolithic microchannel heatsink |
DE19608824A1 (de) * | 1996-03-07 | 1997-09-18 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Mikrowärmetauschern |
DE19626227C2 (de) * | 1996-06-29 | 1998-07-02 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur Wärmeableitung bei Chipmodulen auf Mehrschicht-Keramikträgern, insbesondere für Multichipmodule, und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US5801442A (en) * | 1996-07-22 | 1998-09-01 | Northrop Grumman Corporation | Microchannel cooling of high power semiconductor devices |
US5901037A (en) * | 1997-06-18 | 1999-05-04 | Northrop Grumman Corporation | Closed loop liquid cooling for semiconductor RF amplifier modules |
US5841244A (en) * | 1997-06-18 | 1998-11-24 | Northrop Grumman Corporation | RF coil/heat pipe for solid state light driver |
US6290685B1 (en) * | 1998-06-18 | 2001-09-18 | 3M Innovative Properties Company | Microchanneled active fluid transport devices |
US6907921B2 (en) * | 1998-06-18 | 2005-06-21 | 3M Innovative Properties Company | Microchanneled active fluid heat exchanger |
KR100294317B1 (ko) * | 1999-06-04 | 2001-06-15 | 이정현 | 초소형 냉각 장치 |
US6457515B1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-10-01 | The Ohio State University | Two-layered micro channel heat sink, devices and systems incorporating same |
US6415860B1 (en) * | 2000-02-09 | 2002-07-09 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | Crossflow micro heat exchanger |
EP1321015B1 (de) * | 2000-09-29 | 2004-05-19 | Nanostream, Inc. | Mikrofluidische vorrichtung zur wärmeübertragung |
US6437981B1 (en) * | 2000-11-30 | 2002-08-20 | Harris Corporation | Thermally enhanced microcircuit package and method of forming same |
-
2000
- 2000-04-11 DE DE10017971A patent/DE10017971A1/de not_active Ceased
-
2001
- 2001-02-09 WO PCT/DE2001/000498 patent/WO2001078478A1/de not_active Application Discontinuation
- 2001-02-09 JP JP2001575793A patent/JP2004509450A/ja active Pending
- 2001-02-09 US US10/257,509 patent/US20030178178A1/en not_active Abandoned
- 2001-02-09 KR KR1020027013507A patent/KR20020093897A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-02-09 EP EP01913609A patent/EP1275278A1/de not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3206059C2 (de) * | 1982-02-19 | 1984-11-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Kühleinrichtung für elektrische Bauelemente |
DE3402003A1 (de) * | 1984-01-21 | 1985-07-25 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Leistungshalbleitermodul |
EP0484320A2 (de) * | 1985-11-19 | 1992-05-06 | Fujitsu Limited | Kühlmodule für Vorrichtungen mit elektronischem Schaltkreis |
DE4311839A1 (de) * | 1993-04-15 | 1994-10-20 | Siemens Ag | Mikrokühleinrichtung für eine Elektronik-Komponente |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7872349B2 (en) | 2003-07-08 | 2011-01-18 | Infineon Technologies Ag | Integrated coolant circuit arrangement, operating method and production method |
DE10333877A1 (de) * | 2003-07-25 | 2005-02-24 | Sdk-Technik Gmbh | Kühlvorrichtung, insbesondere zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mittels eines Wärmeübertragungskreislaufes |
US7913751B2 (en) | 2005-02-22 | 2011-03-29 | Behr Gmbh & Co. Kg | Micro-heat exchanger |
DE202007016535U1 (de) | 2007-11-23 | 2008-10-16 | Hellwig, Udo, Prof. Dr.-Ing. | Einrichtung zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente |
EP2063696A2 (de) | 2007-11-23 | 2009-05-27 | MiCryon Technik GmbH | Verfahren zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE102007056783A1 (de) | 2007-11-23 | 2009-05-28 | Micryon Technik Gmbh | Verfahren zum Kühlen thermisch hochbelasteter Bauelemente und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1275278A1 (de) | 2003-01-15 |
KR20020093897A (ko) | 2002-12-16 |
US20030178178A1 (en) | 2003-09-25 |
JP2004509450A (ja) | 2004-03-25 |
WO2001078478A1 (de) | 2001-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE602005002507T2 (de) | Integriertes Kühlsystem für elektronische Geräte | |
DE10017971A1 (de) | Kühlvorrichtung zur Kühlung von Bauelementen der Leistungselektronik mit einem Mikrowärmeübertrager | |
DE112005000672B4 (de) | Kühlen eines Chips mit integrierter Schaltung mit Kühlflüssigkeit in einem Mikrokanal und eine thermoelektrischer Dünnfilm-Kühlvorrichtung im Mikrokanal | |
DE602006000243T2 (de) | Flussigskeitsgekühlter Thermosiphon für elektronische Bauelemente | |
DE112005001365B4 (de) | Wärmeableitungseinrichtung mit verbesserter Siede/Kondensationsstruktur | |
DE69821779T2 (de) | Kühlmodul für elektronische bauelemente | |
DE4121447C2 (de) | Luftgekühlter Wärmeaustauscher für Vielchip-Baugruppen | |
DE112006000645B4 (de) | Systeme für eine verbesserte passive Flüssigkeitskühlung | |
DE10393583T5 (de) | Rippen-Wärmetauschsystem mit Kanal-Flachplatten, Vorrichtung und Verfahren | |
DE102010043904A1 (de) | Leistungselektroniksubstrat für direkte Substratkühlung | |
DE2056699A1 (de) | Kuhlsystem, insbesondere fur Schal tungsanordnungen | |
EP0013362B1 (de) | Vorrichtung zur Wärmeübertragung, insbesondere für integrierte Schaltungen | |
DE102018118070B4 (de) | Monolithische Phasenänderung-Wärmeabführvorrichtung | |
DE102010017001A1 (de) | Wärmesenke und Verfahren zu deren Herstellung | |
EP1905076B1 (de) | Anordnung eines elektrischen bauelements und einer zwei-phasen-kühlvorrichtung und verfahren zum herstellen der anordnung | |
DE112021006439T5 (de) | Umhüllter Pulverpatch | |
DE102006019376A1 (de) | Leistungskühler für Stromrichterbaugruppen und Stromrichter, insbesondere für Schienen- und Hybridfahrzeuge | |
EP3723123A1 (de) | Wärmeübertragungsvorrichtung und bauteil | |
CN108766943A (zh) | 一种智能响应芯片热点的自适应热质传输散热装置 | |
WO2018000848A1 (zh) | 一种通信设备的电路板及散热方法、通信设备 | |
EP2255604B1 (de) | Steuergerät | |
DE19527674C2 (de) | Kühleinrichtung | |
DE102013217615B4 (de) | Dampfkondensator mit dreidimensional gefalzter Struktur | |
EP4071800A1 (de) | Halbleiterchipanordnung mit kühlung | |
DE102021204758A1 (de) | Kühlvorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
8131 | Rejection |