JP7278278B2 - 電源装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ポリイミド基板、ガラエポ基板などの従来基板を使用しても高発熱部品を実装できる高排熱構造を有する宇宙用電源に関する。
電気部品は自身の発熱あるいは周囲温度によって性能及び寿命が左右される。特に真空中で使用される電気部品は、地上と異なり周囲に冷却するための空気がないため、空気を媒体とした熱伝達及び空気への熱放射ができない。このため、宇宙用電源では、基板からシャシへの排熱設計が重要である。
また、近年、人工衛星の大電力化に伴い、搭載される機器の消費電力も増加しており、排熱設計が重要な技術となっている。特に、スイッチング電源で使用するFET(Field Effect Transistor)及びダイオードは高発熱の電気部品である。従来は排熱対策として基板のシャシ固定用のネジに近い位置に高発熱の電気部品を実装している。あるいは、高発熱の電気部品をシャシに直接取り付けて、リード曲げの工夫、または基板への配線を伸張する工夫により、電気部品が基板上のパターンと電気的に接続されていた。
特開2014-53618号公報 特開2007-019125号公報 特開2000-332171号公報 国際公開第2015/076050号パンフレット
www.irf.com/technical-info/whitepaper/hermsmd.pdf「New Materials and Technologies Solve Hermetic SMD Integration」[平成28年12月27日検索]
しかし、上記の取り付け方法では、配線経路が長くなることによるインダクタンス成分の増加または損失、EMC(Electromagnetic Compatibility)の影響及び実装時に作業工程が増えるという課題があった。
更には、排熱を促すために基板とシャシとを接続しているネジの本数を増やすこと、発熱部品を極力ネジの近くに配置すること、または多数の部品を使用して分流することにより、発熱密度を抑制する対策が必要である。このため、電源の大型化及び質量増加を招くという課題があった。
また、人工衛星のような宇宙機で使用される電源装置は、振動対策及び放射線に照射されることの考慮が求められる。
この発明は、発熱部品の配線経路が長くならず、基板とシャシとを接続するネジの本数を増加させる必要のない、電源装置における簡易な構成の排熱構造の提供を目的とする。
また、この発明は、振動対策及び放射線対策が施された宇宙用電源装置の提供を目的とする。
この発明の電源装置は、
宇宙機に用いられる電源装置であって、
電気部品が実装面に実装された基板と、
前記実装面の裏面に対向するシャシ面と、ネジ加工が施されたネジ加工部とを有するシャシと、
前記基板の前記裏面と前記シャシ面との間に配置され、前記裏面と前記シャシ面とに接続する、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物であるシャシ側樹脂部と、
ネジ加工された軸部を有する固定ネジと、
前記固定ネジが配置される貫通孔が形成されている絶縁部材と、
を備え、
前記電気部品と前記基板とは、
貫通孔が形成されており、
前記絶縁部材は、
前記電気部品の前記貫通孔に前記基板の前記貫通孔が続いて配置されて形成された空間に配置された第1配置部と、
前記電気部品の前記貫通孔の外側に配置されて前記電気部品の前記貫通孔の周縁に当たる第2配置部と、
を有し、
前記固定ネジは、
前記絶縁部材の前記貫通孔から前記シャシの方向へ露出した前記軸部の端部が前記シャシの前記ネジ加工部とねじ結合することで前記電気部品と前記基板との両方を前記シャシに固定すると共に、前記絶縁部材の前記貫通孔に配置されることで前記電気部品と前記シャシとを電気的に非接触にする。
本発明はシャシ側樹脂部を備えたので、簡易な構成の排熱構造を有する電源装置を提供できる。
また本発明の電源装置では、基板と電気部品とが絶縁部材を介して、固定ネジでシャシに固定される。よって、シャシと電気部品との電気的な非接触を確保した上で、耐振動を有する宇宙用の電源装置を提供できる。
実施の形態1の図で、電源装置の断面図。 実施の形態1の図で、シャシの部分的な平面図とE-E断面図。 実施の形態1の図で、電源装置の平面図を模式的に示す図。 実施の形態2の図で、電源装置の断面図。 実施の形態2の図で、電源装置の平面図を模式的に示す図。 実施の形態3の図で、電源装置の断面図。 実施の形態4の図で、電源装置の断面図。 実施の形態4の図で、電源装置の断面図。 実施の形態5の図で、電源装置の断面図。 実施の形態6の図で、電源装置の断面図。 実施の形態7の図で、電源装置の断面図。 実施の形態7の図で、電源装置の断面図。 実施の形態8の図で、電源装置の断面図。 実施の形態9の図で、大気中での電源装置の製造方法を説明する図。 実施の形態10の図で、電源装置101-1の断面図。 実施の形態10の図で、電源装置101-2の断面図。 実施の形態10の図で、電源装置102-1の平面図及び断面図。 実施の形態10の図で、電源装置102-2の断面図。 実施の形態10の図で、電源装置102-3の断面図。 実施の形態10の図で、電源装置102-4の断面図。 実施の形態11の図で、電源装置103の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-1の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-2の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-3の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-4の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-5の断面図。 実施の形態12の図で、電源装置104-6の断面図。 実施の形態12の図で、タイプA1の構成を示す部分拡大図。 実施の形態12の図で、タイプA2の構成を示す部分拡大図。 実施の形態12の図で、タイプA3の構成を示す部分拡大図。 実施の形態12の図で、タイプB1の構成を示す部分拡大図。 実施の形態12の図で、タイプB2の構成を示す部分拡大図。 実施の形態12の図で、電源装置104-7の断面図。 実施の形態12の図で、放射線量の調整を説明する図。
以下、本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。なお、各図中、同一または相当する部分には、同一符号を付している。実施の形態の説明において、同一または相当する部分については、説明を適宜省略または簡略化する。実施の形態1から実施の形態8では構成の異なる宇宙用の電源装置100を説明する。宇宙用の電源装置100は、以下では電源装置100と記す。
電源装置100は、実施の形態1から実施の形態8のうちの一つの構成を有してもよいし、実施の形態1から実施の形態8のうちの複数の構成を有してもよい。
なお、以下の実施の形態では、例えば電源装置100-1のように「-1」をつけて電源装置100を区別する。
実施の形態1.
***構成の説明***
図1から図3を参照して、実施の形態1の電源装置100-1を説明する。なお、電源装置100-1は地上において、真空あるいは真空に近い環境で使用されてもよい。
図1は、電源装置100-1の断面図である。なお、電気部品25及びネジは断面を表していない。図1にはxyz座標系を示している。実施の形態2~9も同じ座標系を示す。実施の形態2から実施の形態9の断面図である図4、図6~図14は図1と同じ箇所の断面を示す。
電源装置100-1は、シャシ10と、電気部品25が実装されてシャシ10に固定される基板20と、基板20をシャシ10に固定する固定部30とを備える。電源装置100-1では固定部30は基板固定ネジ31である。
図2は、シャシ10の部分的な平面図(図1における-Z方向矢視)及びE-E断面を示す。E-E断面が図1,4,6-16,21に対応する。ネジ孔12には、基板固定ネジ31がねじ込まれる。図1ではシャシ10と基板20との一部を記載している。シャシ10ではネジ孔12は複数存在する。各ネジ孔12に基板固定ネジ31がねじ込まれる。基板固定ネジ31およびネジ孔12は、基板20の外周に沿った周縁部に複数配置され、例えば長方形の四隅または四辺に所定の間隔で設けられる。
図3は、図2の範囲13に相当する部分、つまり図1を-Z方向から見た矢視を、模式的に示す図である。
図1の電源装置100-1では、電気部品25が実装された基板20がシャシ10に固定されている。電気部品25の電極26は、基板20の一方の面20aの裏面の他方の面20bであるC面に接続している。基板20には後述する充填スルーホール21が形成されている。図1では10個の充填スルーホール21を示している。矢印で示している、電気部品25で発生した熱8は、充填スルーホール21から後述の絶縁樹脂硬化物27-1を経由してシャシ面11へ伝わる。
このように、電源装置100-1は、基板20と、シャシ10と、シャシ側樹脂部91である絶縁樹脂硬化物27-1とを備え、基板20には電気部品25が実装されている。シャシ10は、基板20の一方の面20aに対向する面であるシャシ面11を有する。絶縁樹脂硬化物27-1は、基板20の一方の面20aとシャシ面11との間に配置される。絶縁樹脂硬化物27-1は、一方の面20aとシャシ面11とに接続する、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物である。
(基板20)
基板20には発熱量の大きい電気部品25が取り付けられる。本実施の形態では、発熱量の大きい電気部品25として、SMD(Surface Mount Device)タイプのFETを使用する。通常、SMDタイプのFETで発生した熱は、FETの電極から基板20の回路パターンに伝わり、面内方向に伝わり、ネジ留め部を介してシャシ10に伝わる。
(充填スルーホール)
電源装置100-1では、図1に示すように高熱伝導性の絶縁樹脂組成物(硬化前の絶縁樹脂硬化物27-1)で、基板20の一方の面20aであるS面と、シャシ10のシャシ面11との間をポッティング(モールド)する。これにより、絶縁樹脂組成物である高熱伝導性ポッティング樹脂を経路として、電気部品25の熱をシャシ10に伝える。このとき、基板20の厚さ方向(他方の面20bであるC面からS面)への熱伝導を向上させるために、基板20のC面からS面へ貫通するスルーホールが設けられている。スルーホールはメッキが施されている。メッキ後のスルーホールの内部には、はんだ、あるいはその他の金属、あるいは高熱伝導性を有するポッティング樹脂、が充填される。このスルーホールを充填スルーホール21と呼ぶ。
このように、基板20は、一方の面20aから他方の面20bへ貫通するスルーホールに熱伝達材が充填された充填スルーホール21を備える。そして、絶縁樹脂硬化物27-1は、一方の面20aに現れた充填スルーホール21の一方の端部21aに接続している。なお充填スルーホール21に充填されている熱伝達材は、金属と、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物などである。
次に、絶縁樹脂硬化物27-1及び絶縁樹脂硬化物27-1のもとになる液状の絶縁樹脂組成物の特性を説明する。なお、詳細は以下で説明するが、絶縁樹脂硬化物27-1では、シリコーンあるいはウレタンがベース樹脂として用いられる。また絶縁樹脂硬化物27-1では、無機充填材として、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有しており、絶縁樹脂硬化物27-1は硬度がショアAの硬度で70以下であり、300℃加熱時の低分子成分揮発量が1000ppm以下であり、ガラス転移点が-20℃以下である。
基板20のS面とシャシ10との間の高熱伝導性の絶縁樹脂硬化物27-1の形成方法としては、以下の(1)、(2)等の方法がある。
(1)シャシ10に基板20を固定した後、液状の絶縁樹脂組成物をシャシ10と基板20との間に流し込み、絶縁樹脂組成物を加熱硬化させて形成する方法がある。
(2)あるいは、シャシ10の底面に絶縁樹脂硬化物27-1を形成した後に、基板20を基板固定ネジ31でシャシ10に固定する。この(2)の方法の場合、絶縁樹脂硬化物27-1の硬度によるが、基板20をシャシ10へ取り付ける前における、絶縁樹脂硬化物27-1の厚みL2は、基板20のS面(一方の面20a)とシャシ10のシャシ面11との間の幅L1の110%以上250%以下の範囲の厚みになるように形成する。
つまり、
L2=(1.1~2.5)×L1
である。
さらに、より好ましくは、基板20をシャシ10へ取り付ける前における、
絶縁樹脂硬化物27-1の厚みL2は、幅L1の120%以上200%以下の範囲がよい。
つまり、
L2=(1.2~2.0)×L1
である。絶縁樹脂硬化物27-1の厚みL2をこの範囲内に形成する場合、基板20との固定部30により、S面と絶縁樹脂硬化物27-1との界面がより強固に密着し、排熱効果が高まる。さらに、使用環境時の冷熱サイクルによる厚み減少があった場合の排熱低下を抑制することができる。絶縁樹脂硬化物27-1の厚みが、S面とシャシ面11との間の幅の110%より薄い場合は、
つまり、
L2<1.1×L1
の場合、冷熱サイクルによる絶縁樹脂硬化物27-1の厚み減少により排熱効果が低下する。
また、厚みL2が厚みL1の200%を超える場合は、
つまり、
L2>2.0×L1
の場合、基板20をシャシ10にネジで固定する時に基板20が変形し、この変形が原因となって、冷熱サイクルで基板20に亀裂が入る恐れがある。
上記の(1)及び(2)の方法では、基板20のS面を上(+Z方向)に向けて、液状の絶縁樹脂組成物を流し込み、絶縁樹脂硬化物27-1を形成してもよい。この場合も、絶縁樹脂硬化物の厚みL2は、上記(2)で述べた厚みになるようにする。
次に、形成した絶縁樹脂硬化物27-1とシャシ10とが接するように基板20をネジでシャシ10に固定する。このようにすることで、S面上の配線パターンなどの高電圧部位に絶縁弱点部となる気泡が残らない。
(絶縁樹脂組成物及び硬度)
絶縁樹脂組成物は、液状の絶縁樹脂に、高熱伝導性を付与する無機充填材として、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有した液状の絶縁樹脂組成物であるとする。
つまり、
<液状の絶縁樹脂組成物=[液状の絶縁樹脂+無機充填材]>+熱硬化→絶縁樹脂硬化物27-1である。液状の絶縁樹脂組成物が硬化して得られる絶縁樹脂硬化物27-1の硬度は、80以下(ショアA)であり、さらに好ましくは70以下である。
硬度が80を超える場合、基板20との接着性が低下して排熱効果が得られない恐れ及び基板20が変形する恐れがある。
硬度はショアA硬度計を代表として標記している。柔かい材料はショアEやショア00、ASKER Cなどで測定してもよい。ショアA80以下であれば、ショアEやショア00、ASKER Cで測定してもよい。
(硬化物の低分子成分含有量)
また、絶縁樹脂硬化物27-1を細かく切断し、ヘキサンやアセトンなどの有機溶媒で絶縁樹脂硬化物27-1の成分を抽出する。ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/MS)を使用し、その抽出溶媒を、ヘリウムをキャリアガスとして使用して、40℃から300℃まで昇温しながら、低分子成分量を分析する。その低分子成分量は、2000ppm以下、好ましくは1000ppm以下である。
2000ppmを超える場合は、絶縁樹脂硬化物27-1の使用時の冷熱サイクルで電気部品及び配線が汚染されたり、電気接点障害を引き起こしたり、電気部品特性が劣化する恐れがある。
(硬化物のアウトガス)
絶縁樹脂硬化物27-1を、ASTM E595に準拠し、真空環境下(7×10-3Pa 以下)において、加熱温度:125℃、保持時間:24時間、放出ガス冷却温度:25℃の試験条件で試験する。この試験条件で絶縁樹脂硬化物27-1から放出されるアウトガスを測定する。
測定結果から算出した質量損失比(TML:Total Mass Loss)は1%以下、再凝縮物質量比(CVCM:Collected Volatile Condensable Material)が0.1%以下であるべきある。
TMLが1%を超えたり、CVCMが0.1%を超える場合は、使用時の冷熱サイクルで電気部品及び配線が汚染されたり、電気接点障害を引き起こしたり、電気部品特性が劣化する恐れがある。
(ガラス転移点)
絶縁樹脂硬化物27-1のガラス転移点は、-10℃以下、好ましくは-20℃以下である。より好ましくは絶縁樹脂硬化物27-1の使用時の冷熱サイクル温度の低温側より低い温度が好ましい。ガラス転移点が-10℃より高い場合は、絶縁樹脂硬化物27-1の使用時の冷熱サイクルにおいて、絶縁樹脂硬化物27-1の変形が大きくなり安定な排熱が得られない恐れ、あるいは基板20の反りを引き起こすことなどの恐れがある。
(液状の絶縁樹脂)
液状の絶縁樹脂としては、シリコーン樹脂あるいはウレタン樹脂の液状の熱硬化性樹脂とすることができる。
(シリコーン樹脂)
シリコーン樹脂は、室温で液状であれば公知のものを使用することができる。シリコーン樹脂は、硬化システムが付加反応型と縮合反応型とのいずれでも良い。シリコーン樹脂は、硬化後がゴム状(エラストマー)であっても、ゲル状であっても構わない。
例えば、ベースポリマーは平均分子量5,000~10万であり、25℃での粘度が1~100,000Pa・sの液状である。ベースポリマーは側鎖と末端にアルキル基、アルケニル基、アリル基、水酸基、水素基、アルコキシアルキル基、アルコキシシリル基の少なくとも1種類を有する直鎖状、環状、分岐状あるいは、梯子状の主鎖構造を有する公知のオルガノポリシロキサンである。ベースポリマーは、2種以上のオルガノポリシロキサンの混合物でも良い。
付加反応型の場合、ベースポリマーとして、アルケニル基を含むオルガノポリシロキサン、架橋剤として水素シロキサン、触媒として白金化合物を含有する組成を用いることができる。これらの配合量は、硬化反応が進行し、硬化後に必要な硬度が得られ、公知の有効量で良い。
縮合反応型の場合、ベースポリマーとして、シラノール基を含むオルガノポリシロキサン、架橋剤としてアルコキシシランやアセトキシシランなどのシラン化合物、触媒として有機錫化合物を含有する組成を用いることができる。
これらの配合量は、硬化反応が進行し、硬化後に必要な硬度が得られ、従来公知の有効量で良い。
(ウレタン樹脂)
ウレタン樹脂は、主剤として1分子中に複数の水酸基を持つポリオール樹脂と硬化剤としての1分子中に2個以上のイソシアネート基をもつ化合物を組み合わせ、共重合させることで得られる組成内にウレタン結合を有する樹脂である。
ウレタン樹脂は、混合後に25℃での粘度が1~100,000Pa・sの液状であれば、公知のものを使用できる。
例えば、ポリオール樹脂としては、公知のポリエステル系ポリオール、ジカルボン酸エステル系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリテトラメチレンポリオキシグリコール、ひまし油系ポリオール、ε-カプロラクトン系ポリオール、ポリオキシポリアルキレン系ポリオール、β-メチル-δ-バレロラクトン系ポリオール、カーボネート系ポリオール等を用いてもよく、これらの2種以上を併用することもできる。
イソシアネート化合物としては、公知のトリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリデンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、シクロヘキシルジイソシアネート等を用いてもよく、これらの2種以上を併用することもできる。
また、ウレタン化反応を促進させるため、適宜のウレタン化触媒を用いることができる。このウレタン化触媒としては、第3級アミン化合物や有機金属化合物等の公知の触媒を用いることが可能である。ウレタン化触媒としては、例えば、トリエチレンジアミン,N,N’-ジメチルヘキサメチレンジアミン,N,N’-ジメチルブタンジアミン,ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン―7(DBU)及びDBU塩、オクチル酸鉛,ラウリル酸ジブチル錫、ビスマストリス(2-エチルヘキサノエート)、ジイソプロポキシビス(エチルアセトアセテート)チタン、等が挙げられる。
ポリオールとイソシアネート化合物の配合に関しては、ポリオールの水酸基(OH)に対するイソシアネートのイソシアネート基(NCO)の当量比から算出する。当量比(NCO/OH)は、特に規定するものではないが、0.95~1.05の範囲とすることが好ましい。この当量比が1.05を超える場合は、絶縁樹脂組成物の硬化物の硬度が高くなり好ましくない。また、副生成物の炭酸ガスにより硬化物内にボイドが残存し、絶縁特性を低下させるために好ましくない。一方、この当量比が0.95未満の場合は、硬化の反応の進行が遅く、未硬化物となりやすく生産安定性に欠けるため好ましくない。また耐熱性に欠けるために好ましくない。
(熱伝導性を得る充填剤)
熱伝導性を有する充填材は、組成物(硬化物)に熱伝導性を付与する役割を有し、公知の熱伝導性の充填材を使用することができる。充填剤として、例えば、アルミナ粉末、酸化マグネシム粉末、窒化ホウ素粉末、窒化アルミニム粉末、酸化ベリリウム粉末、酸化亜鉛粉末、窒化珪素粉末、酸化ケイ素粉末、アルミニウム粉末、銅粉末、銀粉末、ニッケル粉末、金粉末、ダイヤモンド粉末、カーボン粉末、インジウム、及びガリウムなどが挙げられる。
熱伝導経路だけでなく、基板20とシャシ10との間に絶縁性を確保する必要がある場合は、アルミナ粉末、酸化マグネシム粉末、窒化ホウ素粉末、窒化アルミニム粉末、酸化ベリリウム粉末、酸化ケイ素粉末の高い絶縁性を有する粉末を使用することが好ましい。
このような熱伝導性充填材は、1種単独であるいは2種以上を混ぜ合わせて使用してもよい。熱伝導性充填材は、10W/m・K以上の熱伝導率を有するものが好ましい。熱伝導率が10W/m・Kより小さいと、組成物(硬化物)に十分な熱伝導率を付与できないためである。熱伝導性を付与するための充填材の平均粒径は、
0.1μm以上200μm以下、
好ましくは、
0.5μm以上100μm以下である。
このような平均粒径の熱伝導性充填材は、1種単独であるいは粒径が異なる2種以上を混ぜ合わせて使用してもよい。平均粒径が0.1μm未満の熱伝導性充填材は、粒子同士が凝集し易くなり流動性に乏しいものとなることがあるため好ましくない。平均粒径が100μm超過の熱伝導性充填材は、粒子が沈降しやすく、硬化物の熱伝導率が不均一になることがあるため好ましくない。
充填材の形状は、不定形でも球形でも如何なる形状でも構わない。なお、平均粒径は、レーザー光回折法による粒度分布測定における体積平均値D50(即ち、累積体積が50%になるときの粒子径又はメジアン径)として測定することができる。
(液状の絶縁樹脂組成物)
絶縁樹脂組成物は、上記の液状絶縁樹脂に、上記の高熱伝導性を付与するための無機充填材を混合して得られる。充填材の配合量が増加すると、硬化物の熱伝導率は上昇する。その場合、組成物の粘度は高くなり、作業性が低下し、あるいは硬化物の硬度が高くなることで基材との密着性が低下する。これらにより、目的とする排熱効果を得ることができない可能性もある。
従って、液状の絶縁樹脂組成物に含有される無機充填材の配合割合は、無機充填材が配合された絶縁樹脂組成物の25℃における粘度が、300Pa・s以下であれば特に限定されない。
さらに、絶縁樹脂組成物を狭い隙間に流し込む必要がある場合は、その粘度は50Pa・s以下が望ましい。例えば、無機充填材は、
40vol%以上80vol%以下、
の範囲内に含まれることが好ましく、
50vol%以上75vol%以下、
の範囲内に含まれることがより好ましい。
80vol%を超える場合は、絶縁樹脂組成物の粘度が高くなり作業性が悪くなり、あるいは硬化物の硬度が高くなり安定した排熱特性を得られないために好ましくない。一方、粘度が40vol%未満の場合は、樹脂の比率が高く、硬化物の熱伝導率の向上が見込めないため、好ましくない。また、絶縁樹脂組成物の反応性や基材との接着性を制御するための、アセチレン化合物、各種窒素化合物、有機りん化合物、オキシム化合物、及び有機クロロ化合物等の反応制御剤、あるいはシランカップリング剤などの密着性改質剤などの添加剤を必要に応じて、適宜加えても構わない。
(硬化条件)
液状の絶縁樹脂組成物の硬化条件は、公知のシリコーンポッティング材あるいはウレタンポッティング材と同様の条件とすることができる。
硬化温度は、
室温から180℃以下が良く、
より好ましくは
室温から150℃以下
である。
硬化温度が室温以下では、硬化が不十分で、使用時の冷熱サイクルで未反応原料が揮発し、電気部品を汚染する恐れがある。一方、硬化温度が150℃を超える場合は、電気部品の耐熱温度を超える恐れがあり、電気部品劣化を引き起こす可能性がある。
硬化時間は、所要の硬度が得られれば限定しないが、
室温の場合
48時間以下、好ましくは
24時間以下、
加熱硬化の場合は、
0.1時間以上12時間以下、
好ましくは
0.5時間以上6時間以下
である。
絶縁樹脂硬化物27-1の使用時のアウトガスの懸念がある場合は、加熱硬化することが好ましい。例えば、電気部品の使用許容の上限温度で加熱処理すれば、硬化物内部の揮発しやすい低分子成分を減少させ、アウトガスによる悪影響を回避することができる。
絶縁樹脂組成物の硬化物の絶縁破壊電界は、
10kV/mm以上が良く、より好ましくは15kV/mm以上である。
10kV/mm未満の場合は、使用電圧によっては、電気部品の配線間、基板20の配線パターン間の距離を長くする必要があり、電源部材の小型化の寄与が小さくなる。
(絶縁樹脂硬化物の体積抵抗率)
絶縁樹脂組成物の硬化物の体積抵抗率は、
1.0E+10Ω・cm以上が良く、より好ましくは
1.0E+12Ω・cm以上である。
1.0E+10Ω・cm未満の
場合は、使用電圧によっては、電気部品の配線間、基板20の配線パターン間の距離を長くする必要があり、電源部材の小型化の寄与が小さくなる。液状の絶縁樹脂組成物を発熱部品上あるいは基材上にポッティングしたり、筺体内に流し込んだりする前に、接着性を改善する表面改質剤(プライマー)で、これら被着体を処理しても構わない。公知のシリコーン用あるいはウレタン用プライマーを使用することができる。
上記の電源装置100-1の製造方法の概要をまとめると、基板20とシャシ10との間に樹脂を流し込む製法は以下のようである。
電源装置100-1の製造方法は、
シャシ面11に対して、基板20の一方の面20aがシャシ面11に対向するように基板20を配置する基板配置工程と、
基板20の一方の面20aとシャシ面11との間に、絶縁性を有する液状の樹脂組成物を流し込む流し込み工程と、
流し込まれた液状の樹脂組成物を硬化させてシャシ側樹脂部91を生成する硬化工程とを備える。
ここで、液状の樹脂組成物は、シリコーンあるいはウレタンをベース樹脂として用い、無機充填材として、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有する。
シャシ側樹脂部27-1の硬度は、ショアAの硬度で70以下であることが好ましい。シャシ側樹脂部27-1は、300℃加熱時の低分子成分揮発量が1000ppm以下であり、ガラス転移点が-20℃以下であることが好ましい。
また、樹脂を硬化させた後、基板20をシャシ10に取り付ける電源装置100-1の製造方法の概要は以下のようである。
電源装置100-1の製造方法は、
シャシ面11に、絶縁性を有する液状の樹脂組成物を流し込む流し込み工程と、
シャシ面11に流し込まれた液状の樹脂組成物を硬化させて、シャシ側樹脂部91を生成する硬化工程と、
基板20の一方の面20aが、シャシ面11に対向し、かつ、シャシ側樹脂部91に密着するように、基板20をシャシ10に取り付ける取り付け工程と
を備える。
ここで、液状の樹脂組成物は、
シリコーンあるいはウレタンをベース樹脂として用い、無機充填材として、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有する。
シャシ側樹脂部27-1の硬度は、ショアAの硬度で70以下であることが好ましい。シャシ側樹脂部27-1は、300℃加熱時の低分子成分揮発量が1000ppm以下であり、ガラス転移点が-20℃以下であることが好ましい。
また、上記のいずれの製法においても、液状の樹脂組成物の25℃における粘度は、300Pa・s以下が好ましい。
実施の形態2.
図4、図5を参照して実施の形態2の電源装置100-2を説明する。
図4は、電源装置100-2の断面図である。図5は、図3に対応する図であり、図4の-Z方向矢視に相当する模式的な図である。
電源装置100-2は電源装置100-1に対して、宇宙用パワーMOSFETとして、TO-254パッケージのような、電極26であるリードが形成されているタイプの電気部品25を使用する。電源装置100-2では、発熱部品である電気部品25はTO-254である。電源装置100-2は、電源装置100-1に対して、以下の(1)~(3)が異なる。他は電源装置100-1と同じである。
(1)電気部品25の直下に充填スルーホール21を設けて、基板20のS面に熱を伝える構成である。
(2)電気部品25の下面と基板20との間には、電気部品25の熱8を充填スルーホール21に効率的に伝えるため、熱伝導材23が配置されている。熱伝導材23は、例えば、はんだペーストあるいは銀ペーストである。
(3)電気部品25は、基板20に固定ネジ29で固定される。
通常、宇宙用として使用される同タイプの電気部品25は、電気部品25内(パッケージ内)において、基板20もしくはシャシ10等と接触する面に近い位置に半導体を実装する排熱設計とされている。そのため、図4の構成にすることで、効率よくシャシ10へ排熱できる。上記(1)~(3)以外の、はんだ、あるいはその他金属あるいは熱伝導性樹脂によるスルーホールへの充填、基板20のS面とシャシ10との間に高熱伝導率の樹脂を流し込むことは、実施の形態1と同様である。
実施の形態3.
図6を参照して実施の形態3の電源装置100-3を説明する。
図6は、電源装置100-3を説明する図である。電源装置100-3は、電源装置100-1に対して基板固定ネジ31の頭を、高い熱伝導率の樹脂27-2によってポッティングした構成である。電源装置100-3の他の構成は、電源装置100-1と同じ構成である。
宇宙では電源装置100-3の周囲に熱伝導に影響を与えるほどの空気等の気体が存在しないため、基板20からの発熱は、シャシ10へ基板20を固定している基板固定ネジ31から排熱される。しかし、空気等の気体がないため、基板固定ネジ31によって押圧されることにより形成される基板20とシャシ10の接触面積からのみ排熱される。このため、発熱量の増加と共に、ネジ数を増加させる必要がある。高熱伝導率の樹脂27-2により基板固定ネジ31を含む基板20の端部とシャシ10とをポッティング材にて覆うことにより、排熱経路を増やすことが可能である。この場合の樹脂27-2として、絶縁樹脂硬化物27-1と同じ樹脂を使用することができる。なお図2の説明で述べたように、シャシ10には複数のネジ孔12があり、これらのネジ孔12に基板固定ネジ31がねじ込まれる場合には、それらの基板固定ネジ31の頭部も樹脂27-2で覆う構成でもよい。なお、基板固定ネジ31およびネジ孔12は、基板20の外周に沿った周縁部に複数配置され、例えば長方形の四隅または四辺に所定の間隔で設けられる。
実施の形態4.
図7及び図8は、実施の形態4の電源装置100-4を示す図である。図7及び図8の電源装置100-4は、電源装置100-1に対して、固定部30の構成が異なる他は、電源装置100-1と同じである。
図7に示す電源装置100-4は、基板20とシャシ10との間にバネ特性を持ったバネ固定具33を備える構成である。一般的に絶縁樹脂硬化物27-1の熱膨張率は数百ppmであり、金属の数ppmから数十ppmと比較して大きい。そのため、シャシ10と基板20との間に充填した絶縁樹脂硬化物27-1が熱によって、厚み及び幅等の寸法が変化する際に、バネ固定具33により基板20も絶縁樹脂硬化物27-1の変化に追従することが可能となる。従って、基板20と絶縁樹脂硬化物27-1との剥離を抑制できる。図7では基板20とバネ固定具33とは、はんだ32aで接続されているが、図8の電源装置100-4のように、ネジ32bで締結してもよい。なお、基板固定ネジ31およびバネ固定具33は、基板20の外周に沿った周縁部に複数配置され、例えば長方形の四隅または四辺に所定の間隔で設けられる。
実施の形態5.
図9は、実施の形態5の電源装置100-5を示す図である。電源装置100-5は、電源装置100-1に対して、以下の(1)~(3)が異なる。他は電源装置100-1と同じである。
(1)電気部品25の電極26が、電気部品25の上にある。
(2)電極26と充填スルーホール21とが、電極接続部28-1である、ワイヤーあるいはブスバーで接続されている。
(3)電気部品25が基板20に接着剤24で固定されている。
一般的に、基板20に実装される電気部品25では、電極26は基板20上の回路パターンに直接接続される。しかし、基板20と電気部品25との熱膨張率が大きく異なる場合は、熱サイクルにて、はんだ付け部にクラックが入ってしまう。このため、敢えて基板20とは逆の上方向に電気部品25の電極26を向け、上に向けた電極26に、ワイヤあるいはブスバーを電極延長部として接続して、ワイヤあるいはブスバーを基板20の回路パターンに接続する方法が取られる。このような場合において、ワイヤあるいはブスバーを、充填スルーホール21と接続し、排熱することが可能である。
排熱のため、図9では、電極26と充填スルーホール21とを接続する熱伝達材である電極接続部28-1として、ワイヤあるいはブスバーが使用される。
実施の形態6.
図10は、実施の形態6の電源装置100-6を示す図である。電源装置100-6は、電源装置100-5に対して、さらに、電気部品25と、ブスバーあるいはワイヤである電極接続部28-1とを、樹脂硬化物27-3で包み込んだ構成である。この構成により、熱伝導率を向上させることが可能となる。樹脂硬化物27-3は部品側樹脂部92である。
図10のように、充填スルーホール21は、基板20において電気部品25の周囲のいずれかの位置に配置されている。樹脂硬化物27-3は、シャシ側樹脂部91である絶縁樹脂硬化物27-1とともに基板20を間に挟むように、基板20に対して絶縁樹脂硬化物27-1の反対の位置に配置されている。樹脂硬化物27-3は、電気部品25と、基板20の他方の面20bに現れた充填スルーホール21の他方の端部21bと、電極接続部28-1とを封じ込める絶縁性の樹脂硬化物である。樹脂硬化物27-3として、絶縁樹脂硬化物27-1と同じ樹脂を使用することができる。
実施の形態7.
図11及び図12は実施の形態7の電源装置100-7を示す図である。図11に示す電源装置100-7は、電源装置100-6に対して、シャシ接続部28-2である排熱用のブスバーを、電気部品25の上部に設けた構成である。シャシ接続部28-2はネジ42でシャシ10に固定される。排熱用のブスバーにより、排熱を増加できる。この場合、図11の樹脂硬化物27-3は、絶縁性の樹脂硬化物である接触樹脂部93である。
図12は、電気部品25の上部に接触樹脂部93である樹脂硬化物27-4を配置する構成である。なお、図12の電気部品25は、後述する図13に示す電気部品25と同様の電極26を有するが、電極26の並ぶ方向が図12ではY方向であり図13ではX方向である。樹脂硬化物27-4として、絶縁樹脂硬化物27-1と同じ樹脂を使用することができる。図12の構成により、SMDタイプのトランスあるいはICなど、基板20とは逆側である上部が樹脂硬化物27-4でモールドされた電気部品25の上部からも、排熱できる。
図11、図12に示すように、接触樹脂部93とシャシ側樹脂部91である絶縁樹脂硬化物27-1とが、基板20を間に挟む。
接触樹脂部93は基板20に対して絶縁樹脂硬化物27-1の反対の位置に配置されて、電気部品25の少なくとも一部と接触する。熱伝達性を有するシャシ接続部28-2は、接触樹脂部93とシャシ10とを接続する。
実施の形態8.
図13は、実施の形態8の電源装置100-8を示す図である。電源装置100-7では、排熱用として設けたブスバーであるシャシ接続部28-2をシャシ10に接続している。
電源装置100-8では、スルーホール接続部28-3が、基板20上の充填スルーホール21の他方の端部21bに接続している。これにより、熱8が絶縁樹脂硬化物27-1を介してシャシ10に排熱する。このため、図12の電源装置100-7よりも排熱経路を短くできる。
つまり図13に示すように、充填スルーホール21は、基板20において電気部品25の周囲のいずれかの位置に配置されている。接触樹脂部93とシャシ側樹脂部91である絶縁樹脂硬化物27-1とが基板20を間に挟む。接触樹脂部93は基板20に対して絶縁樹脂硬化物27-1の反対の位置に配置されて、電気部品25の少なくとも一部と接触する。スルーホール接続部28-3は、接触樹脂部93と、充填スルーホール21の他方の端部21bとを接続する。
実施の形態9.
図14は、実施の形態9を表す図である。実施の形態9は、電源装置100を大気が存在する環境で製造する方法に関する。実施の形態9は、真空ではなく、地上の通常の大気環境で基板20とシャシ10との間に絶縁樹脂硬化物27-1(絶縁樹脂組成物)の層を成形する作業、つまり、液状の絶縁樹脂組成物を注入する作業を示している。
実施の形態9では電源装置100-8を例としているが、実施の形態9の方法は、電源装置100-1から100-7にも適用できる。
図14の(a)は大気環境での好ましい製造方法を示し、図14の(b)は、大気環境での好ましくない製造方法を示している。図14の(a),(b)では、空気の流れを矢印44で示した。図14の(a)では液状の絶縁樹脂組成物と、気泡つまり空気との比重の差により、気泡は液状の絶縁樹脂組成物から上方であるZ方向へ向かうので大気中へと出ていくことになる。このため、空気を巻き込む確率が小さくなる。一方、図14の(b)の場合は、上方つまりZ方向へ向かう空気は基板20のS面で遮られてしまいボイド41が形成されやすい。図14の(a)の製造方法を用いることにより、大気中に於いても通常、基板20のS面に形成されやすく、熱伝導度を低下させる要因となるボイド41の形成を極力避けることが可能である。これにより、機器を真空容器に入れることなく樹脂層を成形でき、作業性が大幅に向上する。また、機器導入に関わるコストも削減可能である。
実施の形態1~9で述べた電源装置100は、高発熱部品が実装された基板のS面と、人工衛星の構体と接続されている電源のシャシとの間を宇宙環境に耐えうる高熱伝導率を有する液状絶縁樹脂にてポッティング(充填、モールド)し、及び基板とシャシを接続するネジ部を宇宙環境に耐えうる高熱伝導率を有する液状絶縁樹脂にてポッティング(充填、モールド)することにより、排熱パスを確保する。
すなわち、回路パターンとなる基板中の銅箔に依存する従来の熱伝導経路(基板面内方向)に加え、上記の排熱経路を設けて、電源の筐体であるシャシへの排熱能力を増加させることで、基板上の部品温度上昇を抑制することを可能とするものである。
***実施の形態の効果の説明***
高発熱部品の周囲または、その部品が実装されている基板とシャシの間を、宇宙環境に耐えうる高熱伝導率を有する液状絶縁樹脂にてポッティング(充填、モールド)することにより排熱パスを確保する。通常数十um~数百umの銅箔で構成される回路パターンから成る従来の熱伝導経路(基板面内方向)に加え、その基板とシャシとを高熱伝導率の樹脂にて接続し排熱経路を設ける。この排熱経路によって、基板の面外方向となるシャシ方向への排熱能力を増加させる。これにより基板上の部品温度上昇を抑制することが可能となる。
上記の高熱伝導率を有する液状絶縁樹脂は、高熱伝導性を付与する無機充填材として、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有する。
液状絶縁樹脂の硬化物の硬度は70以下(ショアA)である。
また、液状絶縁樹脂の硬化物は、300℃加熱時の低分子成分揮発量が500ppm以下であり、ガラス転移点が-20℃以下である。上記で述べたように、液状絶縁樹脂の硬化物は、シリコーンあるいはウレタンがベース樹脂である。
この構成により、熱伝導性ポッティング樹脂で放熱路を確保することで、FET素子等の電気部品の温度上昇を抑制することが可能となり、電源の小型化または高出力化が可能である。ポリイミド基板、ガラエポ基板などの従来基板を使用しても高発熱部品を実装できる高排熱構造を提供することができる。
実施の形態10.
図15から図20を参照して実施の形態10を説明する。実施の形態10では、電源装置101-1,101-2、102-1、102-2,102-3、102-4を説明する。実施の形態10は、電気部品25のグランド端子25aの電位と、シャシ10の電位とを異なる電位に保持し、かつ、電気部品25の熱をシャシ10に伝達する電源装置に関する。実施の形態10の電源装置では、シャシ10が起立部を有する。
図15は、電源装置101-1の平面図及び断面図を示している。図15の上側の図は、電源装置101-1のZ1方向の平面図を模式的に示す。図15の上側の図では、充填スルーホール21は実線で示している。図15を参照して実施の形態10の電源装置101-1を説明する。
電源装置101-1は、シャシ10、基板20及びシャシ側樹脂部91を備えている。
基板20の一方の面20a及び他方の面20bは、以下、面20a及び面20bと記す。
基板20には電気部品25が実装されている。シャシ10は、基板20の面20aに対向する面であるシャシ面11と、シャシ面11から面20aに向かって起立すると共に起立方向15の端部14aが面20aと接触せずに、面20aに対向する起立部14を有する。起立部14は伝熱部94である。電気部品25に発生した熱が、起立部14に伝達される。シャシ側樹脂部91は、基板20の面20aと起立部14の端部14aとの間に配置され、面20aと端部14aとに接続している。シャシ側樹脂部91は、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物である。
図15に示すように、基板20は、面20aから面20bへ貫通するスルーホールに熱伝達材が充填された充填スルーホール21を備えている。シャシ側樹脂部91は、面20aに現れた充填スルーホール21の一方の端部21aと起立部14の端部14aとに接続している。充填スルーホール21の熱伝達材は、金属と、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物とのいずれかである。
図15において、シャシ10は、取り付け部16と、伝熱部94である起立部14とを有する。電気部品25のグランド端子25aは、固定ネジ29によって、電気部品25と共に取り付け部16に固定される。グランド端子25aは充填スルーホール21に、熱的に接続している。シャシ10は、絶縁体17を有し、電気部品25は、絶縁体17に固定ネジ29で固定されている。具体的には、固定ネジ29は、シャシ10に埋め込まれている絶縁体17に形成された雌ネジ18に係合する。図15に示すように、充填スルーホール21は、固定ネジ29とは接触していない。
起立部14は、端部14aの端面14bがシャシ面11から突出し、端面14bが基板20の面20aに近接している。シャシ側樹脂部91が、起立部14の端面14bと基板20の面20aとの間に充填されている。シャシ側樹脂部91は、電気部品25に熱的に接続している充填スルーホール21に、熱的に接続している。
充填スルーホール21の周囲は、基板20の非導電領域20cに囲まれている。非導電領域20cとは、基板20において導電性のない領域である。図15に示すように、非導電領域20cの沿面距離d1は、グランド端子25aから、定められた距離d以上の長さである。具体的には、グランド端子25aの端と起立部14の側面14cとの、面20aに沿う沿面距離d1は、定められた距離d以上の長さである。沿面距離d1が定められた距離d以上であることによって、高電圧の電気部品25を基板20に取り付けることが可能になる。電気部品25の電極26及びグランド端子25aの電位は、シャシ10とは異なる電位となる。
図15に示す電源装置101-1は、起立部14によって段差を設けたシャシ10と、基板20に設けた充填スルーホール21とを、シャシ側樹脂部91で埋めている構成である。この構成により、充填スルーホール21が、「段差の壁面である起立部14の側面14dおよび起立部14の端面14b」と、接続されているという特徴を持つ。
電気部品25の熱8は、基板20の充填スルーホール21からシャシ側樹脂部91に伝達し、シャシ側樹脂部91からシャシ10の起立部14に伝わる。また、電気部品25の熱8は、固定ネジ29の周囲から基板20を介して取り付け部16に伝達する。
電源装置では、基板20に形成されたスルーホールとシャシ10とを樹脂で接続し、一定方向に排熱させる構成の場合、排熱性能は樹脂の熱伝導率に大きく依存する。
これに対し、実施の形態10の電源装置では、シャシ10に、起立部14によって凸状の段差を設けている。また、後述する実施の形態11では、シャシ10に凹状の凹部55を設けている。
樹脂内の熱拡散により、凸状または凹状の壁面に熱を拡散させることによって、排熱パスが増え、または、樹脂の中で最短ルートの排熱パスが形成されてる。このような排熱パスによって排熱性能が向上するため、電源装置に、より高い排熱性を持たせることができる。
図16は、電源装置101-1の変形例である電源装置101-2を示す。電源装置101-2は、電気部品25が部品側樹脂部92に覆われている。この点が電源装置101-1と異なるのみである。このように、電気部品25が部品側樹脂部92に覆われる構成でもよい。
図17は、電源装置102-1の平面図及び断面図を示している。
図17の上側の図は、電源装置102-1のZ1方向の平面図を模式的に示す。図17の上側の図では、起立部14-1の端面14bと、複数の充填スルーホール21との位置を示している。なお上側の図では、充填スルーホール21は実線で示している。
基板20は、面20aから面20bへ貫通するスルーホールに熱伝達材が充填された充填スルーホール21を備えている。起立部14-1は、シャシ側樹脂部91の内部でシャシ面11から面20aに向かって起立しており、起立方向15の端部14aが面20aに対向している。シャシ側樹脂部91は、面20aに現れた充填スルーホール21の一方の端部21aに接続している。
図17では、起立部14-1の端面14bは、基板20の面20aの非導電領域20cに当接している。つまり、起立部14-1の端部14aの端面14bは、非導電領域20cに接触している。面20aにおいて充填スルーホール21の一方の端部21aが現れていない領域は非導電領域20cである。
起立部14-1は、例えば柱形状である。起立部14-1は、例示すれば、円柱形状、三角柱形状、四角柱形状または5角以上の多角柱形状である。
図17では、非導電領域20cの回りには、複数の充填スルーホール21が配置される。図17の上側の図のように、非導電領域20cは、複数の充填スルーホール21に周囲を囲まれている。
図17に示すように、複数の充填スルーホール21の上に、電気部品25が配置されている。また起立部14は、シャシ側樹脂部91に囲まれている。なお、図17では、起立部14の端面14bは基板20の面20aと接触しているが、端面14bと基板20の面20aとの間に、シャシ側樹脂部91が充填されても良い。
図17に示すように、起立部14の端面14bの端部と、最も近い充填スルーホール21との、面20aに沿う沿面距離d1は、電源装置101-1と同様に、定められた距離d以上の長さである。これは電源装置102-2、102-3,102-4も同様である。
図18は、電源装置102-2の断面図である。
図19は、電源装置102-3の断面図である。
図20は、電源装置102-4の断面図である。
電源装置102-2、電源装置102-3及び電源装置102-4は、電源装置102-1に対して、起立部の形状が異なる。電源装置102-2の起立部14-2及び電源装置102-4の起立部14-4は、いずれも、起立方向15を法線の方向とする断面の形状が、起立方向15に向かって変化している。起立部14-2及び起立部14-4では、断面の形状が起立方向15に向かって次第に小さくなる。
電源装置102-2の起立部14-2は、横断面積(外径)が変化している。電源装置102-2の起立部14-2は、シャシ面11から基板20の面20aに向かって、段階的に横断面積が小さくなる。電源装置102-2の起立部14-2は、外径の異なる複数の円柱を、シャシ面11ら基板20の面20aに向かって、外径の大きい順に積み上げた形状である。
電源装置102-3の起立部14-3は、シャシ面11から面20aに向かって、横断面積の外径が長径と短径を繰り返して変化する。
例えば、起立部14-3は螺旋形状もしくは縦断面が楔型状となっており、外周が凹凸形状をなす。
電源装置102-4の起立部14-4は、シャシ面11から基板20の面20aに向かって緩やかに、もしくは連続的に断面積が小さくなる。例えば起立部14-4は、円錐台形状もしくは多角錐台形状をなす。
***実施の形態10の効果の説明***
電源装置101-1及び電源装置101-2では、起立部14の端面14bと面20aとをシャシ側樹脂部91が接続している。また、沿面距離d1が、定められた距離d以上の長さである。よって、電源装置101-1及び電源装置101-2によれば、グランド端子25aの電位と、シャシ10の電位とを異なる電位に保持し、かつ、電気部品25の熱をシャシ10に伝達することができる。
電源装置102-1から電源装置102-4では、起立部14の端面14bが面20aに接触している。起立部の端面14bと面20aとをシャシ側樹脂部91が接続している。さらに、沿面距離d1が、定められた距離d以上の長さである。よって、電源装置102-1から電源装置102-4によれば、グランド端子25aの電位と、シャシ10の電位とを異なる電位に保持し、かつ、電気部品25の熱をシャシ10に伝達することができる。
実施の形態11.
図21は、実施の形態11による電源装置103を示す図である。電源装置103では、シャシ面11に対して段差が設けられており、凹状の凹部55が存在する。凹部55は、図21では、角部AからDで示される。凹部55はシャシ面11よりも低い、底面11aを有する。
電源装置103は、電気部品25、基板20、基板20の面20aに対向するシャシ面11を有するシャシ10及びシャシ側樹脂部91を備える。基板20は、面20aの裏面である面20bのうち電気部品25で覆われる領域に、はんだレベラー54が形成されたはんだレベラー形成領域51を有し、面20aに、はんだレベラー54が形成されたはんだレベラー形成領域51を有する。また、基板20は、面20aから面20bへ貫通し、内面にはんだレベラー54が形成され電気部品25で覆われる領域に配置された複数のスルーホール52を有する。
シャシ側樹脂部91は、電気部品25と基板20の面20bに形成されたはんだレベラー形成領域51との間と、基板20の面20aに形成されたはんだレベラー形成領域51とシャシ10との間と、スルーホール52の内部とに配置される。
シャシ側樹脂部91は、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下であり、硬度がショアA硬度計で70以下である。シャシ側樹脂部91は、絶縁性の樹脂硬化物である。
図21に示すように、スルーホール52に形成されたはんだレベラー52aは、面20aに形成されたはんだレベラー形成領域51と、面20bに形成されたはんだレベラー形成領域51とに接続している。
図21に示すように、電源装置103の特徴は、上記で述べたように、以下の(1)(2)(3)で説明している箇所に、樹脂硬化物であるシャシ側樹脂部91が配置されていることである。ここでシャシ側樹脂部91については、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下であり、硬度がショアA硬度計で70以下である。シャシ側樹脂部91は、絶縁性の樹脂硬化物である。
(1)シャシ側樹脂部91は、電気部品25と、基板20の面20bに形成されているはんだレベラー形成領域51との間に配置されている。
はんだレベラー形成領域51では、基板20の面20bに施された銅メッキ53の表面に、はんだレベラー54が形成されている。
(2)シャシ側樹脂部91は、基板20の面20aに形成されているはんだレベラー形成領域51と、シャシ10との間に配置されている。
(3)シャシ側樹脂部91は、電気部品25の直下の基板20の領域に形成されたスルーホール52の内部に配置されている。
ここで、スルーホール52の内面には銅メッキ53が施されており、銅メッキ53の表面にはんだレベラー54が施されている。
スルーホール52の内部は、銅メッキ53とはんだレベラー54との積層構造である。
電源装置103では、発熱する電気部品25からシャシ10に至る排熱経路が、樹脂であるシャシ側樹脂部91で形成される。
硬度が低い樹脂を用いることで、熱衝撃及び振動で発生する応力が樹脂によって吸収または緩和できる。
このため、電気部品25、基板20、スルーホール52、シャシ10のそれぞれと、シャシ側樹脂部91の樹脂界面との剥離を抑制できるので、排熱信頼性を高めることができる。
電気部品25と基板20との間に低硬度のシャシ側樹脂部91を介在させることで、電気部品25と基板20との密着力が高まり、界面熱抵抗を低減できる。
電気部品25と基板20との間に設ける樹脂硬化物であるシャシ側樹脂部91の厚みは、熱抵抗を下げるために薄い方がよく、シャシ側樹脂部91の厚みは、0.25mm以下が好ましい。
尚、電気部品25は、樹脂モールド品、セラミックパッケージ品または金属ケースで覆われた構成のどれでも良い。
<変形例1>
また、図21に示すシャシ側樹脂部91として、粘度10Pa・s以上300Pa・s以下の液状樹脂組成物を用いても良い。
10Pa・s以上の高粘度の液状樹脂組成物を、シャシ10の底面11aまたは基板20の面20bに、通常の場合よりもより厚く塗布する。
塗布された高粘度の液状樹脂組成物は、基板20を基板固定ネジ31でシャシ10に固定するとき、または、電気部品25が固定ネジ29で基板20に固定されるときに発生する圧力によって、スルーホール52の内部に充填される。
なお、10Pa・s以上の高粘度の液状樹脂組成物の粘度は、上記のように10Pa・s以上300Pa・s以下である。
ただし、液状樹脂組成物の粘度が高いほどネジ固定がしにくくなるため、より好ましくは、液状樹脂組成物の粘度は、50Pa・s~150Pa・sである。
粘度が10Pa・s以上の樹脂であっても、塗布時には、樹脂はスルーホール52に充填される。
しかし、硬化時に粘度が下がり、スルーホール52から流れ出る場合がある。その場合は、加熱硬化の可能な樹脂であれば、低温で樹脂を加熱して半硬化させた後、半硬化させた温度よりも高い硬化温度で樹脂を硬化させる。
これにより、スルーホール52からの流れ出しが、改善できる。
液状樹脂組成物の粘度が10Pa・s未満の場合、樹脂の硬化時に粘度が下がり、スルーホール52の内部に樹脂が留まらず、未充填領域が発生するおそれがあり、また、樹脂の硬化後に、スルーホール52の内部にボイドが残存するそれがある。これらの場合、樹脂が流動しないように、樹脂を堰きとめるための壁を設ける必要がある。
<変形例2>
また、樹脂硬化物が、同一樹脂で形成されてもよい。「同一樹脂」における同一とは、樹脂の物性が同一とみなされることを意味する。
つまり、
(1)電気部品25と基板20のはんだレベラー形成領域51との間と、
(2)基板20の面20aに形成されたはんだレベラー形成領域51とシャシ10との間と、
(3)電気部品25直下に設けた基板20のスルーホール52の内部とを、
異なる樹脂で充填した場合には、各樹脂硬化物の硬度及び熱膨張率のような物性の違いにより、熱衝撃のため硬化物界面で剥離が起こる恐れがある。一方に、物性が同一の樹脂を充填することで、剥離のような課題を回避できる。
実施の形態12.
図22から図34を参照して、実施の形態12の電源装置104を説明する。図22に示す枠A及び枠Bの構成の相違によって、電源装置104として、電源装置104-1から電源装置104-7の7つを説明する。区別の必要がない場合には、電源装置104-1から電源装置104-7は、電源装置104と記す。
電源装置104の特徴は、主に以下の(1)から(3)である。
(1)電源装置104は、図15の電源装置101-1に対して、後述のように、枠Aから枠Cに示す構成が異なる。
(2)電源装置104は、電気部品25とシャシ10とが電気的に非接触である。電気部品25は半導体パッケージを想定する。
(3)電源装置104は、人工衛星のような宇宙機で使用されるが、宇宙機で使用される際の放射線の影響が考慮されている。
実施の形態12では、基板20の一方の面20aを裏面20aと記し、他方の面20bを実装面20bと記す。
図22は電源装置104-1の断面図を示す。図22に示す電源装置104-1は、図15に示す電源装置101-1に対して,点線の枠A、枠B及び枠Cで示す構成が異なる。
(a)枠Aで示す構成は、電気部品25と基板20との固定方法に関する。
(b)枠Bで示す構成は、基板20の端部とシャシ10との固定方法に関する。
(c)枠Cで示す構成は、電気部品25の下面と基板20の実装面20bとの間に配置される第2樹脂部96に関する。第2樹脂部96はシャシ側樹脂部91と同じ樹脂である。シャシ側樹脂部91が電気部品25の下面と基板20の実装面20bとの間に配置された場合、シャシ側樹脂部91は第2樹脂部96である。
実施の形態12では、枠Aで示す構成としてタイプA1からタイプA3の3タイプと、枠Bで示す構成としてタイプB1及びタイプB2の2タイプとの組み合わせである、6つの構成を説明する。また変形例として後述の電源装置104-7を説明する。タイプA1とタイプB1からなる構成をA1-B1のように表すとすれば、6つの構成は、A1-B1、A1-B2、A2-B1、A2-B2、A3-B1、A3-B2のように表せる。電源装置104-1はA1-B1の構成である。
図22は、A1-B1の構成の電源装置104-1を示す断面図及び平面図である。
図23は、A1-B2の構成の電源装置104-2を示す断面図及び平面図である。
図24は、A2-B1の構成の電源装置104-3を示す断面図及び平面図である。
図25は、A2-B2の構成の電源装置104-4を示す断面図及び平面図である。
図26は、A3-B1の構成の電源装置104-5を示す断面図及び平面図である。
図27は、A3-B2の構成の電源装置104-6を示す断面図及び平面図である。
図28は、タイプA1の構成を示す部分拡大図である。
図29は、タイプA2の構成を示す部分拡大図である。
図30は、タイプA3の構成を示す部分拡大図である。
図31は、タイプB1の構成を示す部分拡大図である。
図32は、タイプB2の構成を示す部分拡大図である。
図33は、電源装置104-6の変形例である電源装置104-7を示す断面図及び平面図である。図22から図27、及び図33は図15と同様の、電源装置104の断面図及び平面図である。
<電源装置104-1の構成>
図22、図28及び図31を参照して、A1-B1の構成を有する電源装置104-1を説明する。宇宙機に用いられる電源装置104は、基板20と、シャシ10と、シャシ側樹脂部91と、固定ネジ29と、絶縁部材60とを備える。基板20は、電気部品25が実装面20bに実装されている。電気部品25は銅を基材としたメタルパッケージで覆われている。シャシ10は、実装面20bの裏面20aに対向するシャシ面11と、ネジ加工が施されたネジ加工部10aとを有する。図28では、ネジ加工部10aは、シャシ10の表面が掘られて形成されている。ネジ加工部10aの内部にはネジが切られている。ネジ加工部10aはシャシ10と一体に形成されている。シャシ側樹脂部91は、基板20の裏面20aとシャシ面11との間に配置され、裏面20aとシャシ面11とに接続する、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物である。固定ネジ29は、頭部29aと、ネジ加工された軸部29bとを有する。絶縁部材60には、固定ネジ29が配置される貫通孔61が形成されている。絶縁部材60は、ガラスエポキシ、PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)、またはカプトンのような材質である。
図31に示すタイプB1の構成の構成は、図15に示す構成に対して、基板固定ネジ31がワッシャ31aを有する点が異なる。その他の構成は図15に示す基板固定ネジ31を用いた固定方法と同じである。
図28を参照してタイプA1の構成を説明する。タイプA1の構成では、固定ネジ29と絶縁部材60を用いて、電気部品25と基板20との両方がシャシ10に固定される。電気部品25と基板20とは、それぞれ、貫通孔25d、貫通孔20dが形成されている。絶縁部材60は、第1配置部60aと第2配置部60bを有する。貫通孔61は、第1配置部60aと第2配置部60bを貫通している。第1配置部60aは、電気部品25の貫通孔25dに基板20の貫通孔20dが続いて配置されて形成された空間71に配置される。第2配置部60bは、電気部品25の貫通孔25dの外側に配置されて電気部品25の貫通孔25dの周縁25eに当たる。固定ネジ29にはワッシャ72が取り付けられている。固定ネジ29は、絶縁部材60の貫通孔61からシャシ10の方向へ露出した軸部29bの端部29cがシャシ10のネジ加工部10aとねじ結合することで電気部品25と基板20との両方をシャシ10に固定する。また固定ネジ29は、絶縁部材60の貫通孔61に配置されることで電気部品25とシャシ10とを電気的に非接触にする。
<電源装置104-2の構成>
図23、図28及び図32を参照して、A1-B2の構成の電源装置104-2を説明する。タイプA1の構成は電源装置104-1で説明したのでその説明は省略する。図32を参照してタイプB2の構成を説明する。タイプB2は図31のタイプB2に対して、柱状部10bを有する点が異なる。図32には重量部品77が示されている。重量部品77としては、積層セラミックキャパシタまたはタンタルキャパシタのような部品がある。柱状部10bによって重量部品77を支持し、重量部品77を原因とする振動を低減する。柱状部10bはシャシ10の表面の削り出し加工で作成することができる。電源装置104-2は、柱状部10bと結合ネジ10cを備えている。柱状部10bは、シャシ面11から柱状に起立し、ネジ加工が施され、起立する方向の端面が基板20の裏面20aに接続する。柱状部10bは、内側にはネジ加工が施されている。結合ネジ10cは、ワッシャ10dが取り付けられており、柱状部10bとネジ結合する。基板20には、柱状部10bと接続する位置に貫通孔20eが形成されている。結合ネジ10cは、柱状部10bと接続する位置に形成された貫通孔20eを貫通して柱状部10bとネジ結合することで、基板20を柱状部10bに固定する。柱状部10bを設けることで、重量部品77に起因する振動が低減できる。
<電源装置104-3の構成>
図24、図29及び図31を参照して、A2-B1の構成の電源装置104-3を説明する。タイプB1の構成は電源装置104-1で説明したのでその説明は省略する。図29を参照してタイプA2の構成を説明する。基板20の下にシャシ10がない場合は、タイプA2として、貫通孔25dと貫通孔20dで形成される空間71から露出した固定ネジ29の軸部29bの端部29cを、ワッシャ74及びナット73で止めている。このように、固定ネジ29は、電気部品25の貫通孔25dに基板20の貫通孔20dが続いて配置されて形成された空間71に、軸部29bが挿し込まれて空間71から軸部29bの端部29cが露出している。固定ネジ29は、露出した端部29cがナット73とねじ結合することで、電気部品25と基板20とを互いに固定する。
<電源装置104-4の構成>
図25に示す電源装置104-4は、A2-B2の構成を有する。タイプA2は電源装置104-3で説明し、タイプB2は電源装置104-2で説明したとおりである。
<電源装置104-5の構成>
図26に示す電源装置104-5は、A3-B1の構成を有する。タイプA3を示す図30を参照して、タイプA3の構成を説明する。タイプA3は、図28のタイプA1に対して、ネジ加工部10aが柱状部10bと同様の柱形状の構成である。図30のネジ加工部10aは、柱状部10bと同様に、シャシ10の表面の削り出し加工で作成することができる。
<電源装置104-6の構成>
図27に示す電源装置104-6は、A3-B2の構成を有する。タイプA3の構成は電源装置104-5の説明で述べたとおりでる。タイプB2の構成は電源装置104-2の説明で述べたとおりである。
<電源装置104-7の構成>
図33に示す電源装置104-7は、電源装置104-6に対して、柱状のネジ加工部10aがシャシ10と別部品である。ネジ加工部10aはシャシ10の裏面から、ネジ75及びワッシャ76によってシャシ10に固定される。ネジ加工部10aの内面にはネジ加工が施されている。ネジ加工部10aの基板20の側の取付構造は電源装置104-6と同じである。電源装置104-7はタイプB2の構成との組み合わせであるが、柱状のネジ加工部10aが別部品である構成は、タイプB1の構成と組み合わせてもよい。また、タイプB2の柱状部10bはシャシ10と一体に形成されているが、タイプB2の柱状部10bは電源装置104-7のネジ加工部10aのように、シャシ10と別部品としてもよい。
次に、電源装置104と放射線との関係を述べる。宇宙機に配置される電源装置104は、放射線にさらされる。電気部品25を設置するシャシ10は、肉厚を2mm以上とすることで、α線、γ線、電子線、中性子線のような放射線の透過性を弱めることができる。電源装置104が15年間で受ける放射線総量としては、シャシ側樹脂部91及び第2樹脂部96の変質の防止から、5Mrad以下が良く、より好ましくはアナログ半導体の誤動作及び特性劣化を防止する観点から2Mrad以下が良い。さらは、電源装置104がデジタル半導体を搭載する場合はその誤動作及び特性劣化を防止する観点から、電源装置104が15年間で受ける放射線総量は、0.1Mrad以上1Mrad以下の範囲になるように設定することが最も好適である。
シャシ側樹脂部91は、硬化後にショアAの硬度で50以下であり、15年間で受ける放射線総量5Mradを照射した後にショアAの硬度で70以下とする。シャシ側樹脂部91は、未反応の活性基が放射線照射により反応し重合が進むため、硬度が進む傾向がある。しかし、50Mradを超える過剰な放射線を照射すると、側鎖の有機基が開裂し、架橋が進んで樹脂が収縮し、硬度が顕著に高くなる。樹脂収縮が起こると高熱伝導樹脂と、シャシ、基板、電気部品または半田ラベラーなどのような被着体との界面で剥離が起こり、排熱が低下する。このような樹脂の現象有無は、FT-IR分析による構造解析により、側鎖の有機基のピークの減少で判定できる。シャシ側樹脂部91が15年間で受ける放射線総量が5Mrad以下であれば、FT-IR分析による構造解析により、側鎖の有機基のピーク強度に変化がなく、側鎖の有機基の開裂は起こらないことが確認されている。このため、シャシ側樹脂部91が15年間で受ける放射線総量が5Mrad以下であれば、排熱性能を低下せずに好適に使用できる。
以上により、電源装置104については、15年間で受ける放射線総量の上限は、5Mradと、2Mradと、0.1Mrad以上1Mrad以下の範囲の値との、いずれかである。また、シャシ側樹脂部91は、硬化後のショアAの硬度で50以下であり、15年間で受ける放射線総量を5Mradとして放射線を照射した後のショアAの硬度で70以下である。
図34は、放射線量の遮蔽を説明する図である。図34は、例えば特開2003-291898号公報に示される人工衛星構体230の一例を示した図である。図34において、電子機器208は、人工衛星に搭載される電子機器である。電子機器208は電気部品25に相当する。セントラルシリンダ221は、人工衛星構体230の中央に配置される円筒形をなす。ウェブパネル222は、セントラルシリンダ221の外側に半径方向にかつセントラルシリンダ221の中心軸に平行に取り付けられる。天井パネル223は、セントラルシリンダ221とウェブパネル222の上端に水平方向に取り付けられて箱型の人工衛星構体230の天井を構成する。ベースパネル224は、セントラルシリンダ221の下側から水平方向に取り付けられて箱型の人工衛星構体230の底板を構成する。外表面パネル225は、ウェブパネル222、天井パネル223およびベースパネル224に取り付けられて、人工衛星構体230の外表面を構成する。
セントラルシリンダ221の周囲に、電源装置104と他の電子機器を配置する。それらそれぞれを放射線に対する遮蔽物とすることで、宇宙機である人工衛星の寿命の期間に、電源装置104及び他の電子機器が被ばくする放射線量を調整する。調整された環境下でシャシ側樹脂部91を使用することで、人工衛星の寿命の期間における放射線の影響によるシャシ側樹脂部91の劣化が低減できる。
***実施の形態12の効果***
(1)実施の形態12の電源装置104はシャシ側樹脂部91を備えたので、簡易な構成の排熱構造で電源装置の熱を排熱できる。
(2)電源装置104-1、104-2、104-5から104-7は、基板と電気部品とが、絶縁部材60を介して固定ネジでシャシに固定される。よって、シャシと電気部品との電気的な非接触を確保した上で、耐振動性を有する宇宙用の電源装置を提供できる。
(3)電源装置104-3及び電源装置104-4は、ナット73によって、電気部品25と基板20とを互いに固定するので、基板20とシャシ10との間に空間を有する仕様の電源装置104の場合も、電気部品25と基板20とを固定できる。
(4)実施の形態12の電源装置104は、15年間で受ける放射線総量の上限が、5Mradと、2Mradと、0.1Mrad以上1Mrad以下の範囲の値との、いずれかになるように制限する。これにより、15年間で受ける放射線総量が制限されるので、シャシ側樹脂部91の放射線に起因する劣化による不具合を防止できる。よって、シャシ側樹脂部91による排熱効果が15年間維持できる。
以上、実施の形態1から実施の形態12について説明したが、これらの実施の形態は宇宙用の電源装置に関するものであり、これら実施の形態のうち、2つ以上を組み合わせても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、1つを部分的に実施しても構わない。あるいは、これらの実施の形態のうち、2つ以上を部分的に組み合わせて実施しても構わない。なお、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
8 熱、10 シャシ、10a ネジ加工部、10b 柱状部、10c 結合ネジ、10d ワッシャ、11 シャシ面、11a 底面、12 ネジ孔、13 範囲、14,14-1,14-2,14-3,14-4 起立部、14a 端部、14b 端面、14c 側面、15 起立方向、16 取り付け部、17 絶縁体、18 雌ネジ、20 基板、20a 一方の面、20b 他方の面、20c 非導電領域、20d 貫通孔、20e 貫通孔、21 充填スルーホール、21a 一方の端部、21b 他方の端部、23 熱伝導材、24 接着剤、25 電気部品、25a グランド端子、25d 貫通孔、25e 周縁、26 電極、27-1 絶縁樹脂硬化物、27-2 樹脂、27-3,27-4 樹脂硬化物、28-1 電極接続部、28-2 シャシ接続部、28-3 スルーホール接続部、29 固定ネジ、29a 頭部、29b 軸部、29c 端部、30 固定部、31 基板固定ネジ、31a ワッシャ、32a はんだ、32b ネジ、33 バネ固定具、41 ボイド、42 ネジ、51 はんだレベラー形成領域、52 スルーホール、53 銅メッキ、54 はんだレベラー、55 凹部、60 絶縁部材、60a 第1配置部、60b 第2配置部、61 貫通孔、71 空間、72 ワッシャ、73 ナット、74 ワッシャ、75 ネジ、76 ワッシャ、77 重量部品、91 シャシ側樹脂部、92 部品側樹脂部、93 接触樹脂部、94 伝熱部、96 第2樹脂部、100,100-1,100-2,100-3,100-4,100-5,100-6,100-7,100-8,101-1,101-2,102-1,102-2,102-3,102-4,103,104,104-1,104-2,104-3,104-4,104-5,104-6,104-7 電源装置、208 電子機器、221 セントラルシリンダ、222 ウェブパネル、223 天井パネル、224 ベースパネル、225 外表面パネル、230 人工衛星構体。

Claims (13)

  1. 宇宙機に用いられる電源装置であって、
    電気部品が実装面に実装された基板と、
    前記実装面の裏面に対向するシャシ面と、端部の端面が前記シャシ面から突出し、前記端面が前記基板の実装面の裏面に近接している起立部と、ネジ加工が施されネジ加工部が設けられた前記基板を支える取り付け部とを有するシャシと、
    前記基板の前記裏面と前記起立部の端面との間配置される、熱伝導率が1W/mK以上10W/mK以下の絶縁性の樹脂硬化物であるシャシ側樹脂部と、
    ネジ加工された軸部を有する固定ネジと、
    前記固定ネジが配置される貫通孔が形成されている絶縁部材と、
    を備え、
    前記電気部品と前記基板とは、
    貫通孔が形成されており、
    前記絶縁部材は、
    前記電気部品の前記貫通孔に前記基板の前記貫通孔が続いて配置されて形成された空間に挿入され配置された第1配置部と、
    前記電気部品の前記貫通孔の外側に配置されて前記電気部品の前記貫通孔の周縁に当たる第2配置部と、
    を有し、
    前記固定ネジは、
    前記絶縁部材の前記貫通孔から前記取り付け部の方向へ露出した前記軸部の端部が前記取り付け部に設けられた前記ネジ加工部にてねじ結合して前記電気部品と前記基板との両方を前記取り付け部に固定すると共に、前記絶縁部材の前記貫通孔に配置されて前記電気部品と電気的に非接触の状態で前記取り付け部に接続され、前記電気部品と前記シャシとを電気的に非接続にするとともに、
    前記基板は、
    前記電気部品のグランド端子に熱的に接続し、一方の面である前記裏面から他方の面である前記実装面へ貫通する複数のスルーホールに熱伝達材が充填されて、それぞれの端部が前記シャシ側樹脂部に接続されている複数の充填スルーホールを備え、
    前記シャシと前記グランド端子とは、
    異なる電位に保持される
    電源装置。
  2. 前記シャシの有する前記ネジ加工部は、
    前記シャシと一体に形成されている請求項1に記載の電源装置。
  3. 前記シャシの有する前記ネジ加工部は、
    前記シャシとは別部品である請求項1に記載の電源装置。
  4. 前記電源装置は、さらに、
    前記シャシ面から柱状に起立し、ネジ加工が施され、起立する方向の端面が前記基板の前記裏面に接続する柱状部と、
    前記柱状部とネジ結合する結合ネジと、
    を備え、
    前記基板は、
    前記柱状部と接続する位置に貫通孔が形成されており、
    前記結合ネジは、
    前記柱状部と接続する位置に形成された前記貫通孔を貫通して前記柱状部とネジ結合することで、前記基板を前記柱状部に固定する請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電源装置。
  5. 前記柱状部は、
    前記シャシと一体に形成されている請求項4に記載の電源装置。
  6. 前記柱状部は、
    前記シャシとは別部品である請求項4に記載の電源装置。
  7. 15年間で受ける放射線総量の上限は、
    5Mrad以下である請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の電源装置。
  8. 前記シャシ側樹脂部は、
    硬化後のショアAの硬度で50以下であり、15年間で受ける放射線総量を5Mradとして放射線を照射した後のショアAの硬度で70以下である請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の電源装置。
  9. 15年間で受ける放射線総量の上限は、
    2Mrad以下である請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の電源装置。
  10. 15年間で受ける放射線総量は、
    0.1Mrad以上1Mrad以下の範囲である請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の電源装置。
  11. 前記シャシ側樹脂部は、
    前記基板を前記取り付け部へ取り付ける前における厚みL2が、
    前記基板の前記裏面と前記起立部の端面との間の幅L1の1.1倍以上、2.5倍以下の範囲と、
    前記幅L1の1.2倍以上、2.0倍以下の範囲との、
    いずれかの範囲である請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の電源装置
  12. 前記シャシ側樹脂部は、
    シリコーンあるいはウレタンがベース樹脂であり、無機充填材としてアルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム、酸化ベリリウムのうち少なくとも一つを含有しており、硬度がショアAの硬度で70以下であり、300℃加熱時の低分子成分揮発量が1000ppm以下であり、ガラス転移点が-20℃以下である請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の電源装置。
  13. 前記電源装置は、
    セントラルシリンダの周囲に、他の機器とともに配置される請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の電源装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018127075B4 (de) * 2018-10-30 2021-12-30 Auto-Kabel Management Gmbh Hochstromschaltung
DE102022102408A1 (de) * 2022-02-02 2023-08-03 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Elektrisches System und elektrische Antriebseinheit
WO2024034578A1 (ja) * 2022-08-08 2024-02-15 株式会社Ihi 基板固定構造
FR3144979A1 (fr) * 2023-01-18 2024-07-19 Universite De Montpellier Dispositif de temporisation d’un système de passivation d’un engin spatial

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003289191A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Denso Corp 電子制御装置
JP4113695B2 (ja) 2001-08-31 2008-07-09 本田技研工業株式会社 リヤフェンダー構造
JP2009188182A (ja) 2008-02-06 2009-08-20 Denso Corp 電子装置の放熱構造
JP2011187729A (ja) 2010-03-09 2011-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 電界放射低減構造
WO2015076050A1 (ja) 2013-11-20 2015-05-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 電子制御装置の実装構造
JP6064039B2 (ja) 2012-05-10 2017-01-18 コリア ハイドロ アンド ニュークリア パワー カンパニー リミティッド 低レベル電離放射線に敏感な遺伝子の検出方法及び該方法により検出された遺伝子
JP6180415B2 (ja) 2011-09-09 2017-08-16 クノル−ブレムゼ ジステーメ フューア シーネンファールツォイゲ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングKnorr−Bremse Systeme fuer Schienenfahrzeuge GmbH レール車両のための改善された制動

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4396936A (en) 1980-12-29 1983-08-02 Honeywell Information Systems, Inc. Integrated circuit chip package with improved cooling means
US4460917A (en) 1982-06-03 1984-07-17 Motorola, Inc. Molded-in isolation bushing for semiconductor devices
JPH0316291Y2 (ja) * 1985-04-27 1991-04-08
JPS62190356U (ja) * 1986-05-26 1987-12-03
JPH02220495A (ja) * 1989-02-22 1990-09-03 Oki Electric Ind Co Ltd レギュレータ、パワートランジスタの基板への固定方法
JPH04111493A (ja) 1990-08-31 1992-04-13 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk プリント配線板の製造工程に於ける半田レベラー処理方法
JPH04113695A (ja) * 1990-09-03 1992-04-15 Fujitsu Ltd 電子機器の放熱構造
JPH05160289A (ja) 1991-12-10 1993-06-25 Fujitsu Ltd 半導体チップの実装構造
JPH05259669A (ja) 1992-03-16 1993-10-08 Fujitsu Ltd 印刷配線基板の放熱構造
JPH07162177A (ja) 1993-12-09 1995-06-23 Toshiba Electron Eng Corp 放熱体
JPH0955459A (ja) 1995-06-06 1997-02-25 Seiko Epson Corp 半導体装置
JPH09130049A (ja) 1995-11-01 1997-05-16 Cmk Corp 多層プリント配線板のビルドアップ法におけるバイア・ホールの形成方法およびそれにより製造される多層プリント配線板
JPH09283949A (ja) * 1996-04-10 1997-10-31 Nemic Lambda Kk 電子部品の基板実装構造
JP2861981B2 (ja) 1997-04-11 1999-02-24 日本電気株式会社 半導体装置の冷却構造
JPH1140966A (ja) * 1997-07-15 1999-02-12 Alps Electric Co Ltd 電子機器
JP2000299564A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Fujitsu Ten Ltd 多層基板の放熱構造
JP3733783B2 (ja) 1999-05-20 2006-01-11 株式会社村田製作所 発熱素子の放熱構造を有するモジュール
FR2798814B1 (fr) 1999-09-22 2001-11-16 Valeo Vision Perfectionnements aux assemblages electroniques a drain thermique, notamment pour module de commande de lampe a decharge de projecteur de vehicule automobile
US6707671B2 (en) 2001-05-31 2004-03-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Power module and method of manufacturing the same
US6493233B1 (en) * 2001-08-21 2002-12-10 Intel Corporation PCB-to-chassis mounting schemes
JP4071026B2 (ja) 2002-04-01 2008-04-02 三菱電機株式会社 人工衛星構体
ITTO20020416A1 (it) 2002-05-16 2003-11-17 Negesat Di Boer Fabrizio E C S Struttura di contenimento e dissipazione termica per apparecchiature elettroniche.
JP3804861B2 (ja) 2002-08-29 2006-08-02 株式会社デンソー 電気装置および配線基板
JP2004158545A (ja) 2002-11-05 2004-06-03 Denso Corp 多層基板及びその製造方法
DE10300175B4 (de) 2003-01-08 2016-12-29 Hella Kgaa Hueck & Co. Elektronische Baugruppe mit Wärme ableitendem Gehäuseteil
JP4280200B2 (ja) 2003-05-19 2009-06-17 株式会社日本触媒 放熱材用樹脂組成物
WO2004101678A1 (ja) 2003-05-19 2004-11-25 Nippon Shokubai Co., Ltd. 熱伝導性材料用樹脂組成物および熱伝導性材料
JP4053478B2 (ja) 2003-08-11 2008-02-27 電気化学工業株式会社 金属ベース回路基板の製造方法
US7345350B2 (en) 2003-09-23 2008-03-18 Micron Technology, Inc. Process and integration scheme for fabricating conductive components, through-vias and semiconductor components including conductive through-wafer vias
JP2005158985A (ja) 2003-11-26 2005-06-16 Sony Corp 磁気メモリ装置の実装構造及び実装基板
JP2005333077A (ja) 2004-05-21 2005-12-02 Denso Corp 電子制御装置
JP2007019125A (ja) 2005-07-06 2007-01-25 Yaskawa Electric Corp 電力変換装置
JP5068098B2 (ja) 2007-04-25 2012-11-07 三菱電機株式会社 放熱装置
JP5013516B2 (ja) * 2007-07-04 2012-08-29 信越ポリマー株式会社 医療用ゴム部材、滅菌済医療用ゴム部材及びゴム組成物
WO2009069308A1 (ja) 2007-11-30 2009-06-04 Panasonic Corporation 放熱構造体基板とこれを用いたモジュール及び放熱構造体基板の製造方法
JP4789997B2 (ja) 2008-11-20 2011-10-12 三菱電機株式会社 電子基板装置
JP2010153831A (ja) 2008-11-25 2010-07-08 Shinko Electric Ind Co Ltd 配線基板、半導体装置、及び半導体素子
US8237260B2 (en) 2008-11-26 2012-08-07 Infineon Technologies Ag Power semiconductor module with segmented base plate
JP2010218688A (ja) 2009-03-12 2010-09-30 Shinshu Univ 放熱性絶縁材料及びその製造方法並びに大電流用インダクタ
JP2010245174A (ja) 2009-04-02 2010-10-28 Denso Corp 電子制御ユニット及びその製造方法
DE102010016288B4 (de) 2010-04-01 2011-12-15 Jena-Optronik Gmbh Elektronische Baueinheit und Weltraumfahrzeug damit
JP2013089683A (ja) * 2011-10-14 2013-05-13 Sony Corp 放熱構造及び電子機器
JP2013258330A (ja) 2012-06-13 2013-12-26 Renesas Electronics Corp 電子装置およびその製造方法
JP2014036033A (ja) 2012-08-07 2014-02-24 Hitachi Automotive Systems Ltd 半導体装置
JP2015021118A (ja) 2013-07-23 2015-02-02 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 2液型ポッティング組成物
JP2015207729A (ja) 2014-04-23 2015-11-19 三菱電機株式会社 プリント配線板
JP2016171288A (ja) 2015-03-16 2016-09-23 日本精工株式会社 制御ユニット、モータ、電動パワーステアリング装置、車両、搬送装置及び産業機械
JP6693706B2 (ja) 2015-04-06 2020-05-13 株式会社デンソー 電子制御装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4113695B2 (ja) 2001-08-31 2008-07-09 本田技研工業株式会社 リヤフェンダー構造
JP2003289191A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Denso Corp 電子制御装置
JP2009188182A (ja) 2008-02-06 2009-08-20 Denso Corp 電子装置の放熱構造
JP2011187729A (ja) 2010-03-09 2011-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 電界放射低減構造
JP6180415B2 (ja) 2011-09-09 2017-08-16 クノル−ブレムゼ ジステーメ フューア シーネンファールツォイゲ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングKnorr−Bremse Systeme fuer Schienenfahrzeuge GmbH レール車両のための改善された制動
JP6064039B2 (ja) 2012-05-10 2017-01-18 コリア ハイドロ アンド ニュークリア パワー カンパニー リミティッド 低レベル電離放射線に敏感な遺伝子の検出方法及び該方法により検出された遺伝子
WO2015076050A1 (ja) 2013-11-20 2015-05-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 電子制御装置の実装構造

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Publication number Publication date
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