JP6902628B2 - 基板処理装置、基板処理方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
基板処理システム1は、塗布・現像装置2と露光装置3とを備える。露光装置3は、レジスト膜の露光処理を行う。具体的には、液浸露光等の方法によりレジスト膜(感光性被膜)の露光対象部分にエネルギー線を照射する。エネルギー線としては、例えばArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、g線、i線又は極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)が挙げられる。
続いて、図4を参照して、塗布ユニットU1についてさらに詳しく説明する。塗布ユニットU1は、図4に示されるように、回転保持部20と、駆動部30と、液供給システム40とを備える。
液供給システム40の詳細な構成、及び、液供給システム40を制御するコントローラ100の機能について、図5を参照して説明する。
次に、基板処理方法の一例として、上述した塗布液の色情報の判定等を含む基板処理手順を説明する。図9に示すように、コントローラ100は、ステップS1,S2,S3,S4,S5,S6,S7を順に実行する。
本実施形態に係る塗布・現像装置2は、配管D3を流れるウエハWの塗布液に対してレーザ光を照射し、該レーザ光の変化に基づき塗布液の状態を取得する第1レーザユニット50と、流路における、第1レーザユニット50から塗布液にレーザ光が照射される箇所よりも塗布液の供給源である液ボトルB側の塗布液(具体的には配管D2を流れる塗布液)に基づき、第1レーザユニット50による塗布液へのレーザ光の照射可否を決定する照射可否決定機構と、を備え、照射可否決定機構は、塗布液の色情報を取得する第2レーザユニット60と、コントローラ100と、を有し、コントローラ100は、塗布液の色情報が、第1レーザユニット50によって照射される光の波長を吸収し易い所定の色情報であるか否かを判定することと、判定結果に基づき塗布液へのレーザ光の照射可否を決定し該照射可否を示す情報を出力することと、を実行するように構成されている。
Claims (11)
- 流路を流れる基板の処理液に対して光を照射し、該光の変化に基づき前記処理液の状態を取得する光学測定機構と、
前記流路における、前記光学測定機構から前記処理液に光が照射される箇所よりも前記処理液の供給源側の前記処理液に基づき、前記光学測定機構による前記処理液への光の照射可否を決定する照射可否決定機構と、を備え、
前記照射可否決定機構は、
前記処理液の色情報を取得する色情報取得機構と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記処理液の色情報が、前記光学測定機構によって照射される光の波長を吸収し易い所定の色情報であるか否かを判定することと、
判定結果に基づき前記処理液への光の照射可否を決定し該照射可否を示す情報を出力することと、を実行するように構成されている、基板処理装置。 - 前記色情報取得機構は、測色計又は撮像装置を有する、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記色情報取得機構は、前記光学測定機構から前記処理液に照射される光の波長と近似する波長の判別用光を前記処理液に照射する照射部を有し、
前記制御部は、前記照射部によって前記処理液に照射された前記判別用光が前記処理液において一定以上吸収された場合に、前記処理液の色情報が、前記光学測定機構によって照射される光の波長を吸収し易い所定の色情報であると判定する、請求項1記載の基板処理装置。 - 前記照射部は、前記判別用光として、前記光学測定機構から前記処理液に照射される光よりも長波長の光を照射する、請求項3記載の基板処理装置。
- 前記色情報取得機構は、前記光学測定機構から前記処理液に照射される光よりも照射強度が低い判別用光を前記処理液に照射する照射部を有する、請求項3又は4記載の基板処理装置。
- 前記照射部は、複数パターンの波長の前記判別用光を前記処理液に照射する、請求項3〜5のいずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記処理液への光の照射が不可であると決定した場合において、前記照射可否を示す情報として、処理液の色が異常である旨を示す警告、及び、処理中の基板を特定する情報を出力する、請求項1〜6のいずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記処理液への光の照射が不可であると決定した場合において、光学測定機構による光の出力を遮断する遮断制御、新たな基板の搬入を停止する搬入停止制御、前記流路への前記処理液の送液を停止する送液停止制御、及び、前記流路を流れる前記処理液を廃棄する排液制御の少なくともいずれか一つを更に実行するように構成されている、請求項1〜7のいずれか一項記載の基板処理装置。
- 流路を流れる基板の処理液の色情報を取得することと、
前記処理液の色情報が、光学測定機構から前記処理液に対して照射される光の波長を吸収し易い所定の色情報であるか否かを判定することと、
前記所定の色情報でないと判定された場合にのみ、前記光学測定機構から前記処理液に対して光を照射し、該光の変化に基づき前記処理液の状態を取得することと、を含む基板処理方法。 - 前記処理液の色情報を取得することは、前記光学測定機構から前記処理液に照射される光の波長と近似する波長の判別用光を前記処理液に照射することによって行われ、
前記所定の色情報であるか否かを判定することは、前記判別用光が前記処理液において一定以上吸収された場合に、前記処理液の色情報が前記所定の色情報であると判定することによって行われる、請求項9記載の基板処理方法。 - 請求項9又は10に記載の方法を基板処理機構に実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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