JPH065506A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
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- JPH065506A JPH065506A JP15962792A JP15962792A JPH065506A JP H065506 A JPH065506 A JP H065506A JP 15962792 A JP15962792 A JP 15962792A JP 15962792 A JP15962792 A JP 15962792A JP H065506 A JPH065506 A JP H065506A
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- chemical liquid
- chemical solution
- chemical
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薬液の熱膨張や収縮があっても薬液吐出ノズ
ル先端における薬液の位置を高精度に制御することがで
きる。 【構成】 薬液２は薬液容器１からポンプ４によって供
給管３と薬液用開閉バルブ５Ａと薬液用サックバック・
バルブ５Ｂと温調装置７とを介して薬液吐出ノズル６か
ら半導体ウエーハ１０に一定量吐出される。薬液用開閉
バルブ５Ａが閉弁され上記吐出が終了すると、検出装置
１３が薬液吐出ノズル６の先端における薬液の先端位置
を検出する。制御装置１２は、この検出出力に基づき薬
液用サックバック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御
して薬液の先端位置を調整する。
ル先端における薬液の位置を高精度に制御することがで
きる。 【構成】 薬液２は薬液容器１からポンプ４によって供
給管３と薬液用開閉バルブ５Ａと薬液用サックバック・
バルブ５Ｂと温調装置７とを介して薬液吐出ノズル６か
ら半導体ウエーハ１０に一定量吐出される。薬液用開閉
バルブ５Ａが閉弁され上記吐出が終了すると、検出装置
１３が薬液吐出ノズル６の先端における薬液の先端位置
を検出する。制御装置１２は、この検出出力に基づき薬
液用サックバック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御
して薬液の先端位置を調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薬液供給装置に係り、特
に半導体ウエーハにレジスト液や現像液を吐出するのに
使用される薬液供給装置に関する。
に半導体ウエーハにレジスト液や現像液を吐出するのに
使用される薬液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の製造では、吐出ノズル
からレジスト液を半導体ウエーハに吐出しそこに塗布
し、この塗布された半導体ウエーハに回路パターンを転
写した後に、これに現像液を吐出して現像する工程が行
われる。このようなレジスト液や現像液の吐出量は、塗
布ムラを生じないように極めて正確に行う必要がある。
からレジスト液を半導体ウエーハに吐出しそこに塗布
し、この塗布された半導体ウエーハに回路パターンを転
写した後に、これに現像液を吐出して現像する工程が行
われる。このようなレジスト液や現像液の吐出量は、塗
布ムラを生じないように極めて正確に行う必要がある。
【０００３】図５は半導体集積回路の製造工程に使用さ
れている従来のレジスト液等の薬液供給装置を示したも
ので、薬液容器１はレジスト液等の薬液２を収容し、こ
の薬液２は供給管３を介してポンプ４によって圧送され
る。供給管３の途中には弁装置５が設置され、この弁装
置５は、薬液用開閉バルブ５Ａとこの薬液用開閉バルブ
５Ａよりも下流側の薬液用サックバック・バルブ５Ｂと
から構成される。
れている従来のレジスト液等の薬液供給装置を示したも
ので、薬液容器１はレジスト液等の薬液２を収容し、こ
の薬液２は供給管３を介してポンプ４によって圧送され
る。供給管３の途中には弁装置５が設置され、この弁装
置５は、薬液用開閉バルブ５Ａとこの薬液用開閉バルブ
５Ａよりも下流側の薬液用サックバック・バルブ５Ｂと
から構成される。
【０００４】供給管３の先端には薬液吐出ノズル６が接
続され、この薬液吐出ノズル６と弁装置５との間の供給
管３には、この供給管３を流れる薬液の温度を所定温度
に調整する温調装置７が設置されている。この温調装置
７は温調ブロック７Ａと温調水循環用管７Ｂと温調ブロ
ック７Ｃと恒温槽７Ｄとから構成されている。薬液吐出
ノズル６の先端部の下方には薬液スピナーのカップ８が
設置され、このカップ８内のスピンチャック９には半導
体ウエーハ１０が載置されている。
続され、この薬液吐出ノズル６と弁装置５との間の供給
管３には、この供給管３を流れる薬液の温度を所定温度
に調整する温調装置７が設置されている。この温調装置
７は温調ブロック７Ａと温調水循環用管７Ｂと温調ブロ
ック７Ｃと恒温槽７Ｄとから構成されている。薬液吐出
ノズル６の先端部の下方には薬液スピナーのカップ８が
設置され、このカップ８内のスピンチャック９には半導
体ウエーハ１０が載置されている。
【０００５】薬液用開閉バルブ５Ａはその開弁によって
一定量の薬液２を薬液吐出ノズル６から半導体ウエーハ
１０に吐出する。この時、温調装置７は、恒温水１１を
温調ブロック７Ａと温調水循環用管７Ｂと温調ブロック
７Ｃと恒温槽７Ｄとを介して循環し、薬液用サックバッ
ク・バルブ５Ｂの下流側の供給管３を流れる薬液を一定
温度に制御する。一定量の薬液の吐出が終了すると、薬
液用開閉バルブ５Ａが閉弁すると共に、薬液用サックバ
ック・バルブ５Ｂが作動され、薬液吐出ノズル６の先端
の薬液をサックバックし、次の吐出に備える。
一定量の薬液２を薬液吐出ノズル６から半導体ウエーハ
１０に吐出する。この時、温調装置７は、恒温水１１を
温調ブロック７Ａと温調水循環用管７Ｂと温調ブロック
７Ｃと恒温槽７Ｄとを介して循環し、薬液用サックバッ
ク・バルブ５Ｂの下流側の供給管３を流れる薬液を一定
温度に制御する。一定量の薬液の吐出が終了すると、薬
液用開閉バルブ５Ａが閉弁すると共に、薬液用サックバ
ック・バルブ５Ｂが作動され、薬液吐出ノズル６の先端
の薬液をサックバックし、次の吐出に備える。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の薬液
供給装置は吐出の際、供給管３の温調水循環用管７Ｂで
覆われた区間に薬液が送り込まれたのち、通常その薬液
の温度が温調水の水温に十分近づかない間に吐出が終わ
り薬液吐出ノズル先端の薬液がサックバックされるため
弁装置の下流側の薬液が熱膨張や収縮し体積変化する
と、薬液吐出ノズル先端から薬液が垂れ下がったり、逆
にノズル先端内に吸込まれ過ぎてしまい、これにより次
の薬液吐出量が変化したり塗布ムラを生ずる等の問題が
あった。
供給装置は吐出の際、供給管３の温調水循環用管７Ｂで
覆われた区間に薬液が送り込まれたのち、通常その薬液
の温度が温調水の水温に十分近づかない間に吐出が終わ
り薬液吐出ノズル先端の薬液がサックバックされるため
弁装置の下流側の薬液が熱膨張や収縮し体積変化する
と、薬液吐出ノズル先端から薬液が垂れ下がったり、逆
にノズル先端内に吸込まれ過ぎてしまい、これにより次
の薬液吐出量が変化したり塗布ムラを生ずる等の問題が
あった。
【０００７】更に、吐出量の安定化を図るためには、薬
液用サックバック・バルブを頻繁に点検整備しなければ
ならないといった問題もあった。そこで、本発明の目的
は薬液の熱膨張や収縮があっても薬液吐出ノズル先端に
おける薬液の位置を高精度に制御することができる薬液
供給装置を提供することにある。
液用サックバック・バルブを頻繁に点検整備しなければ
ならないといった問題もあった。そこで、本発明の目的
は薬液の熱膨張や収縮があっても薬液吐出ノズル先端に
おける薬液の位置を高精度に制御することができる薬液
供給装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を
上記薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の
途中に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉
バルブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サ
ックバック・バルブと、この薬液用サックバック・バル
ブよりも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定
の温度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置に
おいて、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬
液吐出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検
出装置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用
サックバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位
置に調整する制御装置とを具備することを特徴とするも
のである。
に本発明は、薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を
上記薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の
途中に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉
バルブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サ
ックバック・バルブと、この薬液用サックバック・バル
ブよりも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定
の温度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置に
おいて、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬
液吐出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検
出装置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用
サックバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位
置に調整する制御装置とを具備することを特徴とするも
のである。
【０００９】この構成にあっては、上記薬液吐出ノズル
先端部は透明な部材から構成され、上記検出装置は、上
記薬液吐出ノズルの最先端よりも僅かに上流位置に薬液
が存在するか否かを検出する第１の光電センサと、薬液
が上記薬液吐出ノズルの最先端から垂れ下がっているか
否かを検出する第２の光電センサとを有することが望ま
しい。
先端部は透明な部材から構成され、上記検出装置は、上
記薬液吐出ノズルの最先端よりも僅かに上流位置に薬液
が存在するか否かを検出する第１の光電センサと、薬液
が上記薬液吐出ノズルの最先端から垂れ下がっているか
否かを検出する第２の光電センサとを有することが望ま
しい。
【００１０】
【作用】薬液用開閉バルブが閉弁され薬液の吐出が終了
すると、検出装置は薬液吐出ノズルの先端部における薬
液先端の位置を検出する。この検出装置の検出出力に応
じて、制御装置は薬液用サックバック・バルブのサック
バック量を制御し、これによって薬液用サックバック・
バルブは薬液吐出ノズルの先端部における薬液先端を所
定の位置に調整する。
すると、検出装置は薬液吐出ノズルの先端部における薬
液先端の位置を検出する。この検出装置の検出出力に応
じて、制御装置は薬液用サックバック・バルブのサック
バック量を制御し、これによって薬液用サックバック・
バルブは薬液吐出ノズルの先端部における薬液先端を所
定の位置に調整する。
【００１１】こうして、薬液用開閉バルブの閉弁後に薬
液の熱膨張や収縮が生じて薬液の体積変化が発生して
も、検出装置はこれを薬液吐出ノズルの先端部における
薬液先端の位置の変化として検出するので、制御装置は
薬液用サックバック・バルブを介して薬液吐出ノズル先
端における薬液先端を薬液の熱膨張や収縮に無関係に所
定の位置に制御することができる。
液の熱膨張や収縮が生じて薬液の体積変化が発生して
も、検出装置はこれを薬液吐出ノズルの先端部における
薬液先端の位置の変化として検出するので、制御装置は
薬液用サックバック・バルブを介して薬液吐出ノズル先
端における薬液先端を薬液の熱膨張や収縮に無関係に所
定の位置に制御することができる。
【００１２】
【実施例】以下に本発明による薬液供給装置の実施例を
図５と同部分には同一符号を付して示した図１乃至図４
を参照して説明する。図１において、薬液用サックバッ
ク・バルブ５Ｂには電子制御レギュレータ等の電子制御
装置１２が接続され、薬液吐出ノズル６の先端部には検
出装置１３が設置されている。この検出装置１３は第１
及び第２の光電センサ１４，１５から構成され、薬液吐
出ノズル６の先端部における薬液の先端位置を検出し、
検出出力を電子制御装置１２に送出する。
図５と同部分には同一符号を付して示した図１乃至図４
を参照して説明する。図１において、薬液用サックバッ
ク・バルブ５Ｂには電子制御レギュレータ等の電子制御
装置１２が接続され、薬液吐出ノズル６の先端部には検
出装置１３が設置されている。この検出装置１３は第１
及び第２の光電センサ１４，１５から構成され、薬液吐
出ノズル６の先端部における薬液の先端位置を検出し、
検出出力を電子制御装置１２に送出する。
【００１３】第１及び第２光電センサ１４，１５の各々
は図２に示したように、発光部１４ａ，１５ａと受光部
１４ｂ，１５ｂとから構成され、第１光電センサ１４は
薬液吐出ノズル６の最先端６ａよりも僅かに上流位置に
配置されている。更に詳述すると、第１光電センサ１４
の発光部１４ａと受光部１４ｂとは、薬液吐出ノズル最
先端６ａよりも僅かに上流位置において、薬液吐出ノズ
ル６を挟んで対向している。第２光電センサ１５は薬液
吐出ノズル最先端６ａよりも僅かに下方位置に配置さ
れ、第２光電センサ１５の発光部１５ａと受光部１５ｂ
も第１光電センサ１４と同様に互いに対向している。ま
た、薬液吐出ノズル６は少なくともその先端部は透明部
材によって構成されている。これは、第１光電センサ１
４が薬液吐出ノズル６を介してその先端部内部の薬液の
有無の検出を行うことを可能するためである。本実施例
の薬液供給装置のその他の構成は、図５の構成と同一で
あるので、説明を省略する。
は図２に示したように、発光部１４ａ，１５ａと受光部
１４ｂ，１５ｂとから構成され、第１光電センサ１４は
薬液吐出ノズル６の最先端６ａよりも僅かに上流位置に
配置されている。更に詳述すると、第１光電センサ１４
の発光部１４ａと受光部１４ｂとは、薬液吐出ノズル最
先端６ａよりも僅かに上流位置において、薬液吐出ノズ
ル６を挟んで対向している。第２光電センサ１５は薬液
吐出ノズル最先端６ａよりも僅かに下方位置に配置さ
れ、第２光電センサ１５の発光部１５ａと受光部１５ｂ
も第１光電センサ１４と同様に互いに対向している。ま
た、薬液吐出ノズル６は少なくともその先端部は透明部
材によって構成されている。これは、第１光電センサ１
４が薬液吐出ノズル６を介してその先端部内部の薬液の
有無の検出を行うことを可能するためである。本実施例
の薬液供給装置のその他の構成は、図５の構成と同一で
あるので、説明を省略する。
【００１４】次に、上記実施例の作用を説明する。薬液
２の吐出は前述した図４の場合と同一である。薬液用開
閉バルブ５Ａが閉弁され薬液２の吐出が終了すると、検
出装置１３は薬液吐出ノズル６の先端部における薬液先
端２ａの位置を検出する。薬液先端２ａが図２に示した
ように、第１光電センサ１４の位置と第２光電センサ１
５の位置との中間に存在する時、即ち正常な位置にある
時には、第１光電センサ１４は薬液２の存在を検出しＯ
Ｎ信号を発生し、第２光電センサ１５は薬液２の不存在
を検出しＯＦＦ信号を発生し、夫々検出信号を制御装置
１２に送る。制御装置１２はこれらの検出信号から薬液
先端２ａが正常な位置にあることを判別して、薬液用サ
ックバック・バルブ５Ｂの状態をそのまま維持する。
２の吐出は前述した図４の場合と同一である。薬液用開
閉バルブ５Ａが閉弁され薬液２の吐出が終了すると、検
出装置１３は薬液吐出ノズル６の先端部における薬液先
端２ａの位置を検出する。薬液先端２ａが図２に示した
ように、第１光電センサ１４の位置と第２光電センサ１
５の位置との中間に存在する時、即ち正常な位置にある
時には、第１光電センサ１４は薬液２の存在を検出しＯ
Ｎ信号を発生し、第２光電センサ１５は薬液２の不存在
を検出しＯＦＦ信号を発生し、夫々検出信号を制御装置
１２に送る。制御装置１２はこれらの検出信号から薬液
先端２ａが正常な位置にあることを判別して、薬液用サ
ックバック・バルブ５Ｂの状態をそのまま維持する。
【００１５】薬液先端２ａが図３に示したように、第２
光電センサ１５と同一高さまたはそれよりも下方に位置
している場合には、第１及び第２光電センサ１４と１５
が共に薬液２の存在を検出し、夫々ＯＮ信号を発生す
る。制御装置１２はこれらの検出信号から薬液先端２ａ
が垂れ下がり過ぎであることを判別して、薬液用サック
バック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御して、薬液
２を図２の状態に調整する。
光電センサ１５と同一高さまたはそれよりも下方に位置
している場合には、第１及び第２光電センサ１４と１５
が共に薬液２の存在を検出し、夫々ＯＮ信号を発生す
る。制御装置１２はこれらの検出信号から薬液先端２ａ
が垂れ下がり過ぎであることを判別して、薬液用サック
バック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御して、薬液
２を図２の状態に調整する。
【００１６】薬液先端２ａが図４に示したように、第１
光電センサ１４よりも上方に位置している場合には、第
１及び第２光電センサ１４と１５が共に薬液２の不存在
を検出し、夫々ＯＦＦ信号を発生する。制御装置１２は
これらの検出信号から薬液先端２ａが薬液吐出ノズル６
の内部に吸込まれ過ぎであることを判別して、薬液用サ
ックバック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御して、
薬液２を図２の状態に調整する。このように、検出装置
１３は薬液用開閉バルブ５Ａの閉弁後に、薬液先端２ａ
を時々刻々検出し、検出信号をフィードバック信号とし
て制御装置１２に送出し、制御装置１２はこれに基づき
薬液先端２ａを正常位置に調整する。
光電センサ１４よりも上方に位置している場合には、第
１及び第２光電センサ１４と１５が共に薬液２の不存在
を検出し、夫々ＯＦＦ信号を発生する。制御装置１２は
これらの検出信号から薬液先端２ａが薬液吐出ノズル６
の内部に吸込まれ過ぎであることを判別して、薬液用サ
ックバック・バルブ５Ｂのサックバック量を制御して、
薬液２を図２の状態に調整する。このように、検出装置
１３は薬液用開閉バルブ５Ａの閉弁後に、薬液先端２ａ
を時々刻々検出し、検出信号をフィードバック信号とし
て制御装置１２に送出し、制御装置１２はこれに基づき
薬液先端２ａを正常位置に調整する。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を上記
薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の途中
に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉バル
ブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サック
バック・バルブと、この薬液用サックバック・バルブよ
りも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定の温
度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置におい
て、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬液吐
出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検出装
置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用サッ
クバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位置に
調整する制御装置とを具備するため、薬液用開閉バルブ
の閉弁後に薬液の熱膨張や収縮等が生じて薬液の体積変
化が発生しても、薬液の先端位置を常に所定の位置に制
御することができ、これにより、薬液の吐出量の安定化
を図ることができ、高精度の薬液吐出を行うことができ
る。
よれば、薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を上記
薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の途中
に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉バル
ブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サック
バック・バルブと、この薬液用サックバック・バルブよ
りも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定の温
度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置におい
て、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬液吐
出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検出装
置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用サッ
クバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位置に
調整する制御装置とを具備するため、薬液用開閉バルブ
の閉弁後に薬液の熱膨張や収縮等が生じて薬液の体積変
化が発生しても、薬液の先端位置を常に所定の位置に制
御することができ、これにより、薬液の吐出量の安定化
を図ることができ、高精度の薬液吐出を行うことができ
る。
【００１８】更に、薬液用サックバック・バルブはフィ
ードバック制御されるので、従来のような頻繁な定期点
検整備を不要とすることができる。
ードバック制御されるので、従来のような頻繁な定期点
検整備を不要とすることができる。
【図１】本発明による薬液供給装置の一実施例を概略的
に示した配管図。
に示した配管図。
【図２】上記実施例の要部を拡大して示した断面図。
【図３】上記実施例の要部を拡大して示した断面図。
【図４】上記実施例の要部を拡大して示した断面図。
【図５】従来の薬液供給装置を概略的に示した配管図。
１ 薬液容器 ２ 薬液 ２ａ 薬液先端 ３ 供給管 ４ ポンプ ５Ａ 薬液用開閉バルブ ５Ｂ 薬液用サックバック・バルブ ６ 薬液吐出ノズル ６ａ 薬液吐出ノズル最先端 ７ 温調装置 ８ カップ ９ スピンチャック １０ 半導体ウェーハ １１ 恒温水 １２ 制御装置 １３ 検出装置 １４ 第１光電センサ １４ａ 発光部 １５ 第２光電センサ １５ａ 発光部 １５ｂ 受光部 ７Ａ 温調ブロック ７Ｂ 温調査水循環用管 ７Ｃ 温調ブロック
Claims (2)
- 【請求項１】薬液吐出ノズルと、薬液容器からの薬液を
上記薬液吐出ノズルに供給する供給管と、この供給管の
途中に設置された薬液用開閉バルブと、この薬液用開閉
バルブよりも下流側の上記供給管に設置された薬液用サ
ックバック・バルブと、この薬液用サックバック・バル
ブよりも下流側において上記供給管に流れる薬液を所定
の温度に調整する温調装置とを具備する薬液供給装置に
おいて、上記薬液用開閉バルブの閉弁時における上記薬
液吐出ノズルの先端部での薬液先端の位置を検出する検
出装置と、この検出装置の検出出力に基づき上記薬液用
サックバック・バルブを制御して上記薬液先端を所定位
置に調整する制御装置とを具備することを特徴とする薬
液供給装置。 - 【請求項２】上記薬液吐出ノズル先端部は透明な部材か
ら構成され、上記検出装置は、上記薬液吐出ノズルの最
先端よりも僅かに上流位置に薬液が存在するか否かを検
出する第１の光電センサと、薬液が上記薬液吐出ノズル
の最先端から垂れ下がっているか否かを検出する第２の
光電センサとを有することを特徴とする請求項１に記載
の薬液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15962792A JPH065506A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15962792A JPH065506A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 薬液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065506A true JPH065506A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15697857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15962792A Withdrawn JPH065506A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065506A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0863345A2 (en) * | 1997-03-05 | 1998-09-09 | SMC Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| EP0863346A3 (en) * | 1997-03-05 | 1999-05-19 | SMC Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
| EP0867649A3 (en) * | 1997-03-25 | 1999-05-19 | SMC Kabushiki Kaisha | Suck back valve |
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