JP4748740B2 - 光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置 - Google Patents
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Description
1a 基板の盛り上がり部
2 載置台(ステージ)
3 異物
4 光軸(光ビーム)
5 投光部
6 受光部(カメラ)
11 処理液供給ノズル
11a 処理液供給口
11b 処理液吐出開口
R 処理液
Claims (8)
- ステージ上に載置された被処理基板の上面に沿って光ビームを投射する投光部、および前記光ビームを受光する受光部とを含む光透過型センサユニットと、前記センサユニットを被処理基板に対して相対移動させることで、前記光ビームの光軸が被処理基板の上面に沿って平行に走査されるようになされる相対移動手段とを備えた光学式異物検出装置であって、
前記相対移動手段による前記センサユニットの相対移動方向に沿って複数の検査エリアが設定され、前記各検査エリアごとにおける前記光ビームの受光量を、あらかじめ定められたサンプルタイミングごとに測定して、各検査エリアごとにおける前記受光量の情報を得る第1手段と、
前記第1手段により得られた前記各検査エリアごとにおける受光量の情報と、前記サンプルタイミング単位の過去の同一検査エリアの受光量の情報との差分をそれぞれ演算し、各検査エリアごとの前記差分値を得る第2手段と、
前記第2手段により得られた各検査エリアごとの前記差分値より、前記センサユニットの相対移動履歴に対応した検査エリア順にサンプルタイミングが順次1つずれた、前記検査エリア毎の当該サンプルタイミングにおける前記差分値をそれぞれ引き出し、当該各差分値を乗算する第3手段と、
前記第3手段によって得られた乗算出力の絶対値に応じて、異物の存否を判定する第4手段と、
を具備したことを特徴とする光学式異物検出装置。 - ステージ上に載置された被処理基板の上面に沿って光ビームを投射する投光部、および前記光ビームを受光する受光部とを含む光透過型センサユニットと、前記センサユニットを被処理基板に対して相対移動させることで、前記光ビームの光軸が被処理基板の上面に沿って平行に走査されるようになされる相対移動手段とを備えた光学式異物検出装置であって、
前記相対移動手段による前記センサユニットの相対移動方向に沿って複数の検査エリアが設定され、前記各検査エリアごとにおける前記光ビームの受光量を、あらかじめ定められたサンプルタイミングごとに測定して、前記サンプルタイミングごとに得られる前記光ビームの受光量を、基板処理開始時に得た光ビームの受光量との比較による割合で示した受光量の情報を各検査エリアごとに得る第1手段と、
前記第1手段により得られた前記各検査エリアごとにおける受光量の情報と、前記サンプルタイミング単位の過去の同一検査エリアの受光量の情報との差分をそれぞれ演算し、各検査エリアごとの前記差分値を得る第2手段と、
前記第2手段により得られた各検査エリアごとの前記差分値より、前記センサユニットの相対移動履歴に対応した検査エリア順にサンプルタイミングが順次1つずれた、前記検査エリア毎の当該サンプルタイミングにおける前記差分値をそれぞれ引き出し、当該各差分値を加算する第3手段と、
前記第3手段によって得られた加算出力の絶対値に応じて、異物の存否を判定する第4手段と、
を具備したことを特徴とする光学式異物検出装置。 - 前記第1手段において得られる前記受光量の情報は、前記サンプルタイミングごとに得られる前記光ビームの受光量を、基板処理開始時に得た光ビームの受光量との比較による割合で示した値であることを特徴とする請求項1に記載された光学式異物検出装置。
- 前記センサユニットの相対移動方向に沿って、3もしくは4つの検査エリアが設定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載された光学式異物検出装置。
- 前記サンプルタイミング単位の過去の同一検査エリアの受光量の情報として、5サンプルタイミング前の受光量の情報を利用するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載された光学式異物検出装置。
- ステージ上に載置された前記被処理基板に対峙して相対的に移動し、前記被処理基板に向かって処理液を吐出することで、処理液を前記基板の表面に塗布する処理液供給ノズルが備えられ、
前記被処理基板に対して相対移動する処理液供給ノズルの移動方向の前方に、前記請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載された光学式異物検出装置を搭載することで、前記処理液供給ノズルを前記相対移動手段として利用するように構成したことを特徴とする処理液塗布装置。 - 前記処理液供給ノズルには、前記基板の幅方向に延びるスリット状吐出開口が備えられ、処理液供給ノズルの前記スリット状吐出開口から帯状に吐出される処理液を前記基板の表面に塗布するように構成され、前記スリット状吐出開口の長手方向に平行するように、かつ前記基板の直近に沿って前記光ビームが投射されるように前記センサユニットが配置されていることを特徴とする請求項6に記載された処理液塗布装置。
- 前記光学式異物検出装置により異物の存在を検知した場合において、前記基板に対する処理液供給ノズルの相対移動が停止されるように構成したことを特徴とする請求項6または請求項7に記載された処理液塗布装置。
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