JP4893574B2 - 表面露光装置、表面露光方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 - Google Patents
表面露光装置、表面露光方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 Download PDFInfo
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前記基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板上のレジスト膜の表面に露光用の光を照射する光照射面を有する露光ヘッドと、
少なくとも前記パターンが形成される領域のレジスト膜の表面を露光するように、前記露光ヘッドを当該基板に対して相対的に水平移動させる移動手段と、
前記露光ヘッドと基板の表面との間にその屈折率がレジスト膜の屈折率よりも大きい液体を供給する液体供給部と、
基板に供給された前記液体を除去する液体除去部と、
前記露光ヘッドに設けられ、前記光照射面から照射されて基板の表面から反射された光を吸収する光吸収体と、を備え、
前記光照射面は、前記液体を介してレジスト膜の表面に供給された光が当該レジスト膜の表面にて全反射するようにその向きが設定されていることを特徴とする。
基板保持部により前記基板を水平に保持する工程と、
光照射面を有する露光ヘッドから前記基板上のレジスト膜の表面に露光用の光を照射する工程と、
移動手段により少なくとも前記パターンが形成される領域のレジスト膜の表面を露光するように、前記露光ヘッドを当該基板に対して相対的に水平移動させる工程と、
液体供給部により前記露光ヘッドと基板の表面との間にその屈折率がレジスト膜の屈折率よりも大きい液体を供給する工程と、
液体除去部により基板に供給された前記液体を除去する工程と、
前記露光ヘッドに設けられた光吸収体により、前記光照射面から照射されて基板の表面から反射された光を吸収する工程と、を備え、
前記光照射面は、前記液体を介してレジスト膜の表面に供給された光が当該レジスト膜の表面にて全反射するようにその向きが設定されていることを特徴とする。
前記キャリアから取り出された基板の表面に化学増幅型のポジレジストを塗布してレジスト膜を形成する塗布部と、前記レジスト膜が形成された基板を加熱処理する加熱装置と、液浸露光後の基板を現像する現像処理部と、を含む処理ブロックと、
この処理ブロックと前記レジストに対して前記液浸露光を行う露光装置との間で基板の受け渡しを行うインターフェイスブロックと、を備えた塗布、現像装置において、
前記前記液浸露光後、前記加熱処理を行うまでに、レジスト膜に表面露光処理を行う上述の表面露光装置を備えることを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上述の表面露光方法を実施するためのものであることを特徴とする。
また、この手法は光をレジスト膜で全反射させることにより、露光される領域を非常に薄い極表面に留めることができるので、液浸露光により形成される本来のパターン形状や線幅(CD)への影響が少ないため有効である。
[式1]・・・入射角θ≧arcsin(n2/n1)
このように入射角θが設定されるのは、この表面露光装置2の作用で説明するようにレジスト膜Rの表面で前記全反射が起こるようにランプ54からの光をレジスト膜Rに供給して、レジスト膜Rの表面のみを露光するためである。また、θ=arcsin(n2/n1)であるとき、このθは全反射が起きる最も小さな入射角である臨界角となる。
また、レジスト膜表面のPAGは液浸露光に使用される液体により当該レジスト膜から抜けてしまう可能性があり、その場合は液浸露光前の方がレジスト膜にPAGが十分に存在するため、露光領域において酸が均一に発生しやすい。従ってこの場合は、液浸露光前に表面露光を行うことがより有効である。
D 液滴
L 液膜
R レジスト膜
2 表面露光装置
22 基板保持部
3 露光ヘッド
32 処理液吐出口
33 吸引口
44,45,46 導光ロッド
49 光吸収体
52 光ファイバ
Claims (12)
- その表面に露光されることで酸を生じる化学増幅型のポジレジストからなるレジスト膜にパターンを形成するために液浸露光が行われ、次いで露光部分を現像液に対して可溶にするための加熱処理が行われる基板に対して、液浸露光の前または後にレジスト膜の表面のみを露光する表面露光装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板上のレジスト膜の表面に露光用の光を照射する光照射面を有する露光ヘッドと、
少なくとも前記パターンが形成される領域のレジスト膜の表面を露光するように、前記露光ヘッドを当該基板に対して相対的に水平移動させる移動手段と、
前記露光ヘッドと基板の表面との間にその屈折率がレジスト膜の屈折率よりも大きい液体を供給する液体供給部と、
基板に供給された前記液体を除去する液体除去部と、
前記露光ヘッドに設けられ、前記光照射面から照射されて基板の表面から反射された光を吸収する光吸収体と、を備え、
前記光照射面は、前記液体を介してレジスト膜の表面に供給された光が当該レジスト膜の表面にて全反射するようにその向きが設定されていることを特徴とする表面露光装置。 - 前記液体供給部として、前記光照射面を介して表面露光を行うにあたり、露光ヘッドの下端部において基板から見て、前記光照射面よりも当該露光ヘッドの進行方向側に開口した前記液体の吐出口が設けられていることを特徴とする請求項1記載の表面露光装置。
- 前記液体除去部として、露光ヘッドの下端部に基板に供給された液体を吸引する吸引口が設けられ、前記吐出口と吸引口とは互いに光照射面を挟むように開口していることを特徴とする請求項2記載の表面露光装置。
- 前記光源から発せられる光はレジスト膜が吸収する帯域の波長を有する単色光であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の表面露光装置。
- 前記光照射面は、石英からなる導光ロッドにより構成されている特徴とする請求項1ないし4のいずれか一に記載の表面露光装置。
- レジスト膜が吸収する帯域の波長を有する光を発する光源を備え、その光源からの光が、前記露光ヘッドを介さずに、少なくとも前記パターンが形成される領域に照射されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載の表面露光装置。
- その表面に露光されることで酸を生じる化学増幅型のポジレジストからなるレジスト膜にパターンを形成するために液浸露光が行われ、次いで露光部分を現像液に対して可溶にするための加熱処理が行われる基板に対して、液浸露光の前または後にレジスト膜の表面のみを露光する表面露光方法において、
基板保持部により前記基板を水平に保持する工程と、
光照射面を有する露光ヘッドから前記基板上のレジスト膜の表面に露光用の光を照射する工程と、
移動手段により少なくとも前記パターンが形成される領域のレジスト膜の表面を露光するように、前記露光ヘッドを当該基板に対して相対的に水平移動させる工程と、
液体供給部により前記露光ヘッドと基板の表面との間にその屈折率がレジスト膜の屈折率よりも大きい液体を供給する工程と、
液体除去部により基板に供給された前記液体を除去する工程と、
前記露光ヘッドに設けられた光吸収体により、前記光照射面から照射されて基板の表面から反射された光を吸収する工程と、を備え、
前記光照射面は、前記液体を介してレジスト膜の表面に供給された光が当該レジスト膜の表面にて全反射するようにその向きが設定されていることを特徴とする表面露光方法。 - 前記処理液を供給する工程は、前記光照射面を介して表面露光を行うにあたり、露光ヘッドの下端部において基板から見て、前記光照射面よりも露光ヘッドの進行方向側に開口した吐出口から前記液体を吐出する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の表面露光方法。
- 前記処理液を除去する工程は、露光ヘッドの下端部に開口し、前記吐出口と互いに光照射面を挟むように設けられた吸引口から基板に供給された処理液を吸引する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の表面露光方法。
- レジスト膜が吸収する帯域の波長を有する光を発する光源からの光を、前記露光ヘッドを介さずに、少なくとも前記パターンが形成される領域のレジスト膜の表面に照射する工程を含むことを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一に記載の表面露光方法。
- 基板を収納しキャリアが搬入されるキャリアブロックと、
前記キャリアから取り出された基板の表面に化学増幅型のポジレジストを塗布してレジスト膜を形成する塗布部と、前記レジスト膜が形成された基板を加熱処理する加熱装置と、液浸露光後の基板を現像する現像処理部と、を含む処理ブロックと、
この処理ブロックと前記レジストに対して前記液浸露光を行う露光装置との間で基板の受け渡しを行うインターフェイスブロックと、を備えた塗布、現像装置において、
前記前記液浸露光後、前記加熱処理を行うまでに、レジスト膜に表面露光処理を行う請求項1ないし6のいずれか一つに記載の表面露光装置を備えることを特徴とする塗布、現像装置。 - その表面に露光されることで酸を生じる化学増幅型のポジレジストからなるレジスト膜にパターンを形成するために液浸露光が行われ、次いで露光部分を現像液に対して可溶にするための加熱処理が行われる基板に対して、液浸露光の前または後にレジスト膜の表面のみを露光する表面露光装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項8ないし11のいずれか一に記載の表面露光方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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