JP6899648B2 - 半導体ウェーハ、半導体構造体、及びそれを製造する方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 202
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title description 169
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/562—Protection against mechanical damage
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02021—Edge treatment, chamfering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02013—Grinding, lapping
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02035—Shaping
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54426—Marks applied to semiconductor devices or parts for alignment
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54493—Peripheral marks on wafers, e.g. orientation flats, notches, lot number
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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Description
図1ないし図3を参照すれば、半導体ウェーハ100は、ウェーハ本体110、ノッチ部120、第1ベベル部130及び第2ベベル部140を含んでもよい。半導体ウェーハ100は、シリコンウェーハでもよく、またはゲルマニウム(Ge)のような半導体元素、またはSiC(silicon carbide)、GaAs(gallium arsenide)、InAs(indium arsenide)及びInP(indium phosphide)のような化合物半導体を含んでもよい。また、半導体ウェーハ100は、シリコン−オン−インシュレータ(silicon-on-insulator)でもよい。
第1面110aと第1傾斜面131とが出合う第1地点130aから、第2面110bと第1傾斜面131とが出合う第2地点130bまで延長された直線を基準にするとき、第1ベベル部130は、半導体ウェーハ100の半径方向に、第1高さL1を有するように形成される。ここで、前記第1高さL1は、ベベル長(bevel length)でもある。
例えば、第1ベベル部130は、単結晶インゴット(ingot)に対してスライシング工程を遂行し、所定の厚みを有する半導体ウェーハ100を作った後、半導体ウェーハ100に対して、コーナー加工を行って形成される。コーナー加工を介して、半導体ウェーハ100の鋭いエッジをラウンディングすることにより、引き続く半導体ウェーハ100の製造工程の間、または半導体素子の製造工程の間、半導体ウェーハ100の壊れを防止することができる。
言い換えれば、第3地点140aと第4地点140bは、半導体ウェーハ100の厚みが薄くなり始める地点でもあり、第3地点140aと第4地点140bとを連結する直線を基準に、ウェーハ本体110から、開口121に向かう方向に、半導体ウェーハ100の厚みはだんだんと薄くなる。すなわち、第3地点140aと第4地点140bとを連結する直線を基準にする第2ベベル部140の高さが高くなるほど、ノッチ部120において、半導体ウェーハ100の厚みは薄くなる。
第2ベベル部140は、例えば、ノッチ部120に対して、グラインディング工程及びポリッシング工程を遂行することによって形成される。開口121が提供するノッチ部120の端部をラウンディングすることにより、半導体製造工程中に、ノッチ部120損傷を防止することができる。
また、一実施形態において、ウェーハ本体110の厚みT、すなわち、第1面110aと第2面110bとの距離は、第2ベベル部140の第2高さL2と比較し、少なくとも3倍以上でもある。例えば、300mm径の半導体ウェーハは、約775μm厚を有することができ、第2ベベル部140の第2高さL2は、250μm以下に構成される。
図4を参照すれば、半導体構造体200は、半導体ウェーハ100、半導体ウェーハ100のエッジに形成されたノッチ部120、第1ベベル部130(図2)、第2ベベル部140(図3)、及び半導体ウェーハ100の一面上に形成された半導体チップ210を含んでもよい。半導体ウェーハ100、ノッチ部120、第1ベベル部及び第2ベベル部は、図1ないし図3を参照して説明したのと実質的に同一であり、説明の便宜のために、図1ないし図3の説明部分において記述した内容は、省略または簡略する。
図5を、図1ないし図3と共に参照すれば、半導体ウェーハ100を準備する(S100)。この半導体ウェーハ100は、互いに反対になる第1面110aと第2面110bとを有し、半導体ウェーハ100の外周には、半導体ウェーハ100の外周から半導体ウェーハ100の中心部に向けて形成された開口121を有するノッチ部120を含んでもよい。
半導体ウェーハ100を準備する段階(S100)、第1ベベル部130を形成する段階(S200)、及び半導体ウェーハ100を検査する段階(S400)は、図5を参照して説明したのと実質的に同一であり、説明の便宜のために、図5の説明部分で記述した内容は省略する。以下では、図6を、図1ないし図3と共に参照し、第2ベベル部140を形成する段階についてさらに詳細に説明する。
図7は、本発明の技術的思想の一実施形態による半導体ウェーハ100の製造方法を示すフローチャートである。
まず、半導体ウェーハを準備する(S500)。半導体ウェーハは、図5のS100段階ないしS300段階を経て生成された半導体ウェーハでもあり、または図6のS100段階ないしS320段階を経て生成された半導体ウェーハでもある。次に、半導体ウェーハを検査する(S510)。半導体ウェーハを検査する段階は、図7のS410段階ないしS440段階とも同一である。半導体ウェーハに対する検査結果、検査された半導体ウェーハが良品であるか不良品であるかということを判別する(S530)。検査する段階は、1つの単位にされた複数個の半導体ウェーハにおいて一部に対しても実施される。検査結果、半導体ウェーハが良品である場合、半導体製造工程を進める(S530)。反対に、半導体ウェーハが不良品である場合、ウェーハの欠陥を除去するか、あるいは半導体ウェーハを廃棄する(S540)。
従って、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術的思想を限定するためではなく、説明するためのものであり、かような実施形態によって、本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって解釈されなければならず、それと同等な範囲内にいる全ての技術的思想は、本発明の権利範囲に含まれるものであると解釈されなければならない。
110 ウェーハ本体
111 チップ形成領域
113 エッジ領域
120 ノッチ部
121 開口
130 第1ベベル部
131 第1傾斜面
140 第2ベベル部
141 第2傾斜面
200 半導体構造体
210 半導体チップ
Claims (8)
- 互いに反対になる第1面及び第2面を有し、その外周から中心部に向けて形成された開口を具備したノッチ部を含む半導体ウェーハを準備する段階と、
前記半導体ウェーハの外周を加工し、前記第1面及び第2面を連結する第1傾斜面を含み、前記第1面と前記第1傾斜面とが出合う第1地点から、前記第2面と前記第1傾斜面とが出合う第2地点まで延長された直線に対して第1高さを有する第1ベベル部を形成する段階と、
前記ノッチ部を加工し、前記開口と接するように配置され、前記第1面及び第2面を連結する第2傾斜面を含み、前記第1面と前記第2傾斜面とが出合う第3地点から、前記第2面と前記第2傾斜面とが出合う第4地点まで延長された直線に対して、前記第1高さと異なる第2高さを有する第2ベベル部を形成する段階と、を含み、
前記第2ベベル部は、前記ノッチ部内にあり、前記第1ベベル部は、前記第2ベベル部に隣接した前記半導体ウェーハの外周の残部に沿って形成され、
前記半導体ウェーハのウェーハ本体の厚みは、前記第2高さよりも3倍以上厚いことを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。 - 前記第2高さは、前記第1高さよりも低いことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 前記第2ベベル部を形成する段階後に、
前記半導体ウェーハを熱処理し、前記半導体ウェーハの欠陥を検査する段階をさらに含み、
前記検査する段階は、
第1温度で、前記半導体ウェーハを熱処理する段階と、
前記第1温度より高い第2温度で、前記半導体ウェーハを熱処理する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの製造方法。 - 前記第1温度は、1,000℃以上1,150℃未満であることを特徴とする請求項3に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 互いに反対になる第1面及び第2面を有するウェーハ本体と、
前記ウェーハ本体の外周上に形成され、前記ウェーハ本体の外周から、前記ウェーハ本体の中心部に向けて形成された開口を具備したノッチ部と、
前記ウェーハ本体の外周に沿って形成され、前記第1面及び第2面を連結する第1傾斜面を含み、前記第1面と前記第1傾斜面とが出合う第1地点から、前記第2面と前記第1傾斜面とが出合う第2地点まで延長された直線に対して第1高さを有する第1ベベル部と、
前記開口と接するように配置され、前記第1面及び第2面を連結する第2傾斜面を含み、前記第1面と前記第2傾斜面とが出合う第3地点から、前記第2面と前記第2傾斜面とが出合う第4地点まで延長された直線に対して、前記第1高さと異なる第2高さを有する第2ベベル部と、を含み、
前記第2ベベル部は、前記ノッチ部内にあり、前記第1ベベル部は、前記第2ベベル部に隣接した前記ウェーハ本体の外周の残部に沿って形成され、
前記ウェーハ本体の厚みは、前記第2高さよりも3倍以上厚いことを特徴とする半導体ウェーハ。 - 前記第2高さは、前記第1高さよりも低いことを特徴とする請求項5に記載の半導体ウェーハ。
- 前記開口は、0.4mmないし1.0mmの深さに形成されたことを特徴とする請求項5に記載の半導体ウェーハ。
- 前記ノッチ部は、前記ウェーハ本体の第1面に対して垂直になる方向から見たとき、曲線上の端部を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体ウェーハ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160002779A KR102468793B1 (ko) | 2016-01-08 | 2016-01-08 | 반도체 웨이퍼, 반도체 구조체 및 이를 제조하는 방법 |
KR10-2016-0002779 | 2016-01-08 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017123458A JP2017123458A (ja) | 2017-07-13 |
JP2017123458A5 JP2017123458A5 (ja) | 2019-12-19 |
JP6899648B2 true JP6899648B2 (ja) | 2021-07-07 |
Family
ID=59274963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016229899A Active JP6899648B2 (ja) | 2016-01-08 | 2016-11-28 | 半導体ウェーハ、半導体構造体、及びそれを製造する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9806036B2 (ja) |
JP (1) | JP6899648B2 (ja) |
KR (1) | KR102468793B1 (ja) |
CN (1) | CN106992113B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6493253B2 (ja) * | 2016-03-04 | 2019-04-03 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
KR101992778B1 (ko) * | 2017-11-01 | 2019-06-25 | 에스케이실트론 주식회사 | 웨이퍼 및 그 형상 분석 방법 |
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US10978331B2 (en) | 2018-03-30 | 2021-04-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for orientator based wafer defect sensing |
CN109926911A (zh) * | 2019-03-04 | 2019-06-25 | 天通日进精密技术有限公司 | 晶圆凹口抛光装置及晶圆凹口抛光方法 |
CN110842754A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-28 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种边缘抛光系统、边缘抛光方法及晶圆 |
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JP3580600B2 (ja) * | 1995-06-09 | 2004-10-27 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法およびそれに使用される半導体ウエハ並びにその製造方法 |
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JPH11297799A (ja) | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Hitachi Cable Ltd | ノッチ付き半導体基板 |
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JP5979081B2 (ja) | 2013-05-28 | 2016-08-24 | 信越半導体株式会社 | 単結晶ウェーハの製造方法 |
-
2016
- 2016-01-08 KR KR1020160002779A patent/KR102468793B1/ko active IP Right Grant
- 2016-11-17 US US15/354,320 patent/US9806036B2/en active Active
- 2016-11-28 JP JP2016229899A patent/JP6899648B2/ja active Active
-
2017
- 2017-01-06 CN CN201710009776.3A patent/CN106992113B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106992113B (zh) | 2020-03-03 |
US9806036B2 (en) | 2017-10-31 |
JP2017123458A (ja) | 2017-07-13 |
CN106992113A (zh) | 2017-07-28 |
KR20170083384A (ko) | 2017-07-18 |
US20170200683A1 (en) | 2017-07-13 |
KR102468793B1 (ko) | 2022-11-18 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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