JP6585204B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

半導体装置、表示装置、液晶表示装置、それらの駆動方法、又はそれらを生産する方法に
関する。特に、画素部と同じ基板に形成される駆動回路を有する半導体装置、表示装置、
液晶表示装置、又はそれらの駆動方法に関する。又は、当該半導体装置、当該表示装置、
又は当該液晶表示装置を有する電子機器に関する。
近年、表示装置は、液晶テレビなどの大型表示装置の増加から、活発に開発が進められて
いる。特に、非単結晶半導体によって構成されるトランジスタを用いて、画素部と同じ基
板にゲートドライバなどの駆動回路を構成する技術は、コストの低減、信頼性の向上に大
きく貢献するため、活発に開発が進められている。
非単結晶半導体によって構成されるトランジスタは、閾値電圧の変動、又は移動度の低下
などの劣化を生じる。このトランジスタの劣化が進むと、駆動回路が動作しづらくなり、
画像を表示できなくなるといった問題がある。そこで、特許文献1、特許文献2、及び非
特許文献1には、フリップフロップの出力信号をLレベル(ローレベルともいう)に下げ
る機能を有するトランジスタ(以下、プルダウントランジスタともいう)の劣化を抑制す
ることができるシフトレジスタが開示されている。これらの文献では、二つのプルダウン
トランジスタが用いられる。この二つのプルダウントランジスタは、フリップフロップの
出力端子と、VSS(以下負電源)が供給される配線との間に接続される。そして、一方
のプルダウントランジスタと、他方のプルダウントランジスタとが交互にオン(オン状態
ともいう)になる。こうすることによって、それぞれのプルダウントランジスタがオンに
なる時間が短くなるので、プルダウントランジスタの特性劣化を抑制することができる。
特開2005−50502号公報 特開2006−24350号公報
Yong Ho Jang, et al., "Integrated Gate Driver Circuit Using a−Si TFT with Dual Pull−down Structure", Proceedings of The 11th International Display Workshops 2004, pp.333−336
従来の技術の構成において、出力信号をハイレベルに制御するためのトランジスタ(以下
、プルアップトランジスタともいう)のゲートの電位は、正電源電圧、又はクロック信号
のハイレベルの電位よりも高くなる場合がある。このために、プルアップトランジスタに
は、大きな電圧が印加される場合がある。又は、プルアップトランジスタのゲートと接続
されるトランジスタには、大きな電圧が印加される場合がある。又は、トランジスタが劣
化しても、シフトレジスタが動作するように、シフトレジスタを構成するトランジスタの
チャネル幅が大きい場合がある。又は、トランジスタのチャネル幅が大きいと、トランジ
スタのゲートと、ソース又はドレインとの間でショートしやすくなる場合がある。又は、
トランジスタのチャネル幅が大きくなると、シフトレジスタを構成する各トランジスタで
の寄生容量が増加してしまう場合がある。
本発明の一態様は、トランジスタの特性劣化を抑制することを課題とする。又は、本発明
の一態様は、トランジスタのチャネル幅を小さくすることを課題とする。又は、本発明の
一態様は、プルアップトランジスタの特性劣化の抑制、又はチャネル幅を小さくすること
を課題とする。又は、本発明の一態様は、出力信号の振幅を大きくすることを課題とする
。又は、本発明の一態様は、画素が有するトランジスタのオン時間を長くすることを課題
とする。又は、本発明の一態様は、画素への書き込み不足を改善することを課題とする。
又は、本発明の一態様は、出力信号の立ち下がり時間を短くすることを課題とする。又は
、本発明の一態様は、出力信号の立ち上がり時間を短くすることを課題とする。又は、本
発明の一態様は、ある行に属する画素に、別の行に属する画素へのビデオ信号が書き込ま
れることを防止することを課題とする。又は、駆動回路の出力信号の立ち下がり時間のば
らつきを低減することを課題とする。又は、各画素へのフィードスルーの影響を一定にす
ることを課題とする。又は、クロストークを低減することを課題とする。又は、本発明の
一態様は、レイアウト面積を小さくすることを課題とする。又は、本発明の一態様は、表
示装置の額縁を狭くすることを課題とする。又は、本発明の一態様は、表示装置を高精細
にすることを課題とする。又は、本発明の一態様は、歩留まりを高くすることを課題とす
る。又は、本発明の一態様は、製造コストを低減することを課題とする。又は、本発明の
一態様は、出力信号のなまりを低減することを課題とする。又は、本発明の一態様は、出
力信号の遅延を低減することを課題とする。又は、本発明の一態様は、消費電力を低減す
ることを課題とする。又は、本発明の一態様は、外部回路の電流供給能力を小さくするこ
とを課題とする。又は、本発明の一態様は、外部回路のサイズ、又は当該外部回路を有す
る表示装置のサイズを小さくすることを課題とする。なお、これらの課題の記載は、他の
課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これら課題の全てを解決す
る必要はないものとする。
本発明の一態様は、第1の入力信号、第2の入力信号、及び第3の入力信号が入力され、
出力信号を出力する駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に応じて液晶素子に印加され
る電圧が設定される画素と、を有し、駆動回路は、第3の入力信号に応じてオンまたはオ
フになる第1のスイッチ及び第2のスイッチと、第1のスイッチがオン又はオフになるこ
とにより第1の入力信号が入力されるか否かが制御され、第1の入力信号に応じてオンま
たはオフになることにより出力信号の電位状態を設定するか否かを制御する第3のスイッ
チと、第2のスイッチがオン又はオフになることにより第2の入力信号が入力されるか否
かが制御され、第2の入力信号に応じてオンまたはオフになることにより出力信号の電位
状態を設定するか否かを制御する第4のスイッチと、を有する液晶表示装置である。
本発明の一態様は、第1の入力信号、第2の入力信号、及び第3の入力信号が入力され、
出力信号を出力する駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に応じて液晶素子に印加され
る電圧が設定される画素と、を有し、駆動回路は、ゲート、ソース、及びドレインを有し
、ゲートに第3の入力信号が入力され、ソース及びドレインの一方に第1の入力信号が入
力される第1のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲートに第3の
入力信号が入力され、ソース及びドレインの一方に第2の入力信号が入力される第2のト
ランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲートが第1のトランジスタのソ
ース及びドレインの他方に電気的に接続され、オンまたはオフになることにより出力信号
の電位状態を設定するか否かを制御する第3のトランジスタと、ゲート、ソース、及びド
レインを有し、ゲートが第2のトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続
され、オンまたはオフになることにより出力信号の電位状態を設定するか否かを制御する
第4のトランジスタと、を有する液晶表示装置である。
本発明の一態様は、第1の入力信号、第2の入力信号、第3の入力信号、及び第4の入力
信号が入力され、出力信号を出力する駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に応じて液
晶素子に印加される電圧が設定される画素と、を有し、駆動回路は、第1の入力信号が入
力される第1の配線と、第2の入力信号が入力される第2の配線と、第3の入力信号が入
力される第3の配線と、第4の入力信号が入力される第4の配線と、ゲート、ソース、及
びドレインを有し、ゲートが第3の配線に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方
が第1の配線に電気的に接続された第1のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレイ
ンを有し、ゲートが第3の配線に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が第2の
配線に電気的に接続された第2のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し
、ゲートが第1のトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ソース
及びドレインの一方が第4の配線に電気的に接続された第3のトランジスタと、ゲート、
ソース、及びドレインを有し、ゲートが第2のトランジスタのソース及びドレインの他方
に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が第4の配線に電気的に接続された第4
のトランジスタと、第3のトランジスタのソース及びドレインの他方並びに第4のトラン
ジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、与えられる電位が出力信号の電
位となる第5の配線と、を有する液晶表示装置である。
本発明の一態様は、第1の入力信号、第2の入力信号、第3の入力信号、及び第4の入力
信号が入力され、出力信号を出力する駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に従って液
晶素子に印加される電圧が設定される画素と、を有し、駆動回路は、第1の入力信号が入
力される第1の配線と、第2の入力信号が入力される第2の配線と、第3の入力信号が入
力される第3の配線と、第4の入力信号が入力される第4の配線と、ゲート、ソース、及
びドレインを有し、ゲート並びにソース及びドレインの一方が第1の配線に電気的に接続
された第1のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲート並びにソー
ス及びドレインの一方が第2の配線に電気的に接続された第2のトランジスタと、ゲート
、ソース、及びドレインを有し、ゲートが第1のトランジスタのソース及びドレインの他
方に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が第3の配線に電気的に接続された第
3のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲートが第2のトランジス
タのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ソース及びドレインの一方が第4の
配線に電気的に接続された第4のトランジスタと、第3のトランジスタのソース及びドレ
インの他方並びに第4のトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、
与えられる電位が出力信号の電位となる第5の配線と、を有する液晶表示装置である。
本発明の一態様は、第1の入力信号及び第2の入力信号が入力され、出力信号を出力する
駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に従って液晶素子に印加される電圧が設定される
画素と、を有し、駆動回路は、第1の入力信号が入力される第1の配線と、第2の入力信
号が入力される第2の配線と、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲート並びにソー
ス及びドレインの一方が第1の配線に電気的に接続された第1のトランジスタと、ゲート
、ソース、及びドレインを有し、ゲート並びにソース及びドレインの一方が第2の配線に
電気的に接続された第2のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲー
ト並びにソース及びドレインの一方が第1のトランジスタのソース及びドレインの他方に
電気的に接続された第3のトランジスタと、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲー
ト並びにソース及びドレインの一方が第2のトランジスタのソース及びドレインの他方に
電気的に接続された第4のトランジスタと、第3のトランジスタのソース及びドレインの
他方並びに第4のトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、与えら
れる電位が出力信号の電位となる第3の配線と、を有する液晶表示装置である。
なお、本発明の一態様において、第3のトランジスタのチャネル幅を第4のトランジスタ
のチャネル幅と等しくすることもできる。
また、本発明の一態様において、第1のトランジスタのチャネル幅を第3のトランジスタ
のチャネル幅よりも小さくし、第2のトランジスタのチャネル幅を第4のトランジスタの
チャネル幅よりも小さくすることもできる。
本発明の一態様は、第1の入力信号及び第2の入力信号が入力され、出力信号を出力する
駆動回路と、液晶素子を有し、出力信号に従って液晶素子に印加される電圧が設定される
画素と、を有し、駆動回路は、第1の入力信号が入力される第1の配線と、第2の入力信
号が入力される第2の配線と、ゲート、ソース、及びドレインを有し、ゲート並びにソー
ス及びドレインの一方が第1の配線に電気的に接続された第1のトランジスタと、ゲート
、ソース、及びドレインを有し、ゲート並びにソース及びドレインの一方が第2の配線に
電気的に接続された第2のトランジスタと、を有し、正極及び負極を有し、正極が第1の
トランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続された第1のダイオードと、正
極及び負極を有し、正極が第2のトランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接
続された第2のダイオードと、第1のダイオードの負極並びに第2のダイオードの負極に
電気的に接続され、与えられる電位が出力信号の電位となる第3の配線と、を有する液晶
表示装置である。
なお、本発明の一態様において、第1のトランジスタのチャネル幅を第2のトランジスタ
のチャネル幅と等しくすることもできる。
本発明の一態様は、上記いずれかに記載の液晶表示装置と、液晶表示装置の動作を制御す
る操作スイッチと、を少なくとも有する電子機器である。
なお、スイッチとしては、様々な形態のものを用いることができる。スイッチの一例とし
ては、電気的スイッチ又は機械的なスイッチなどを用いることができる。つまり、スイッ
チは、電流を制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。
スイッチの一例としては、トランジスタ(例えば、バイポーラトランジスタ、MOSトラ
ンジスタなど)、ダイオード(例えば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキ
ーダイオード、MIM(Metal Insulator Metal)ダイオード、M
IS(Metal Insulator Semiconductor)ダイオード、ダ
イオード接続のトランジスタなど)、又はこれらを組み合わせた論理回路などがある。機
械的なスイッチの一例としては、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)のように、
MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)技術を用いたスイッチがある。その
スイッチは、機械的に動かすことが可能な電極を有し、その電極が動くことによって、導
通と非導通とを制御して動作する。
なお、スイッチとして、Nチャネル型トランジスタとPチャネル型トランジスタとの両方
を用いて、CMOS型のスイッチを用いてもよい。
なお、表示素子、表示素子を有する装置である表示装置、発光素子、及び発光素子を有す
る装置である発光装置は、様々な形態を用いること、又は様々な素子を有することができ
る。表示素子、表示装置、発光素子又は発光装置の一例としては、EL(エレクトロルミ
ネッセンス)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、
LED(白色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)、トランジスタ(電流
に応じて発光するトランジスタ)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子
、グレーティングライトバルブ(GLV)、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)
、カーボンナノチューブ、など、電気磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、
透過率などが変化する表示媒体を有するものがある。また、表示装置をプラズマディスプ
レイ又は圧電セラミックディスプレイとすることもできる。EL素子を用いた表示装置の
一例としては、ELディスプレイなどがある。電子放出素子を用いた表示装置の一例とし
ては、フィールドエミッションディスプレイ(FED)又はSED(Surface−c
onduction Electron−emitter Display)方式平面型
ディスプレイなどがある。液晶素子を用いた表示装置の一例としては、液晶ディスプレイ
(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視
型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)などがある。電子インク又は電気泳動素
子を用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。
液晶素子の一例としては、液晶の光学的変調作用によって光の透過又は非透過を制御する
素子がある。その素子は一対の電極と液晶層により構成されることが可能である。なお、
液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界又は斜め方向
の電界を含む)によって制御される。なお、具体的には、液晶素子の一例としては、ネマ
チック液晶、コレステリック液晶、スメクチック液晶、ディスコチック液晶、サーモトロ
ピック液晶、リオトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶(PDL
C)、強誘電液晶、反強誘電液晶、主鎖型液晶、側鎖型高分子液晶、プラズマアドレス液
晶(PALC)、バナナ型液晶、TN(Twisted Nematic)モード、ST
N(Super Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane
−Switching)モード、FFS(Fringe Field Switchin
g)モード、MVA(Multi−domain Vertical Alignmen
t)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)、
ASV(Advanced Super View)モード、ASM(Axially
Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Opt
ical Compensated Birefringence)モード、ECB(E
lectrically Controlled Birefringence)モード
、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AF
LC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、
PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モー
ド、ゲストホストモード、ブルー相(Blue Phase)モードなどを用いたものが
ある。ただし、これに限定されず、液晶素子として様々なものを用いることができる。
なお、トランジスタとして、様々な構造のトランジスタを用いることができる。よって、
トランジスタの種類に限定はない。トランジスタの一例としては、非晶質シリコン、多結
晶シリコン、微結晶(マイクロクリスタル、ナノクリスタル、セミアモルファスとも言う
)シリコンなどに代表される非単結晶半導体膜を有する薄膜トランジスタ(TFT)など
を用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、ZnO、a−InGaZnO、SiGe、GaAs
、IZO(インジウム亜鉛酸化物)、ITO(インジウム錫酸化物)、SnO、TiO、
AlZnSnO(AZTO)などの化合物半導体又は酸化物半導体を有するトランジスタ
、又はこれらの化合物半導体又は酸化物半導体を薄膜化した薄膜トランジスタなどを用い
ることができる。
また、トランジスタの一例としては、インクジェット法又は印刷法を用いて形成したトラ
ンジスタなどを用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトラン
ジスタ等を用いることができる。
また、トランジスタとしては、他にも様々な構造のトランジスタを用いることができる。
例えば、トランジスタとして、MOS型トランジスタ、接合型トランジスタ、バイポーラ
トランジスタなどを用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、ゲート電極が2個以上のマルチゲート構造のトラン
ジスタを用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造
のトランジスタを適用することができる。
また、トランジスタの一例としては、チャネル領域の上にゲート電極が配置されている構
造、チャネル領域の下にゲート電極が配置されている構造、正スタガ構造、逆スタガ構造
、チャネル領域を複数の領域に分けた構造、チャネル領域を並列に接続させた構造、又は
チャネル領域を直列に接続させた構造などのトランジスタを用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、チャネル領域(もしくはその一部)にソース電極や
ドレイン電極が重なっている構造のトランジスタを用いることができる。
また、トランジスタの一例としては、LDD(Lightly Doped Drain
)領域を設けた構造のトランジスタを適用できる。
また、トランジスタを形成する基板の種類は、特定のものに限定されることはなく、様々
な基板を用いて、トランジスタを形成することができる。その基板の一例としては、半導
体基板、単結晶基板(例えばシリコン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラ
スチック基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有す
る基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わ
せフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例と
しては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラ
スなどがある。可撓性基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポ
リエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプ
ラスチック、又はアクリル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。貼り合わせフィルム
の一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ビニル、ポリフッ化ビニル、又は塩化
ビニルなどがある。基材フィルムの一例としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。特に、半導体基板、単結晶基板、又はSO
I基板などを用いてトランジスタを製造することによって、特性、サイズ、又は形状など
のばらつきが少なく、電流能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することがで
きる。このようなトランジスタによって回路を構成すると、回路の低消費電力化、又は回
路の高集積化を図ることができる。
なお、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置
し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一例
としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロファ
ン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、
ポリウレタン、ポリエステル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再
生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用
いることにより、トランジスタの電気特性の向上又はトランジスタの消費電力の低減を図
ることができ、さらにはトランジスタを利用した装置の信頼性の向上、耐熱性の向上、軽
量化、又は薄型化を図ることができる。
なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを、同一の基板(例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、単結晶基板、又はSOI基板など)に形成することが可能であ
る。こうして、部品点数の削減によるコストの低減、又は回路部品との接続点数の低減に
よる信頼性の向上を図ることができる。
なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを同じ基板に形成しないことが可
能である。つまり、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ある基板に形成
され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、別の基板に形成されてい
ることが可能である。例えば、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ガラ
ス基板の上に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、単結晶
基板(又はSOI基板)に形成されることが可能である。そして、所定の機能を実現させ
るために必要な回路の別の一部が形成された単結晶基板を、COG(Chip On G
lass)によって、ガラス基板に接続して、ガラス基板にその基板に回路が設けられた
もの(ICチップともいう)を配置することが可能である。又は、ICチップを、TAB
(Tape Automated Bonding)、COF(Chip On Fil
m)、SMT(Surface Mount Technology)、又はプリント基
板などを用いてガラス基板と接続することが可能である。このように、回路の一部が画素
部と同じ基板に形成されていることにより、部品点数の削減によるコストの低減、又は回
路部品との接続点数の低減による信頼性の向上を図ることができる。特に、駆動電圧が大
きい部分の回路、又は駆動周波数が高い部分の回路などは、消費電力が大きくなってしま
う場合が多い。そこで、このような回路を、画素部とは別の基板(例えば単結晶基板)に
形成して、ICチップを構成する。このICチップを用いることによって、消費電力の増
加を防ぐことができる。
なお、トランジスタとして例えばゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つ
の端子を有する素子を用いることができる。該素子は、ドレイン領域とソース領域の間に
チャネル領域を有しており、ドレイン領域とチャネル領域とソース領域とを介して電流を
流すことができる。ここで、ソースとドレインとは、トランジスタの構造又は動作条件等
によって変わるため、いずれがソース又はドレインであるかを限定することが困難である
。そこで、ソースとして機能する領域、及びドレインとして機能する領域を、ソース又は
ドレインと呼ばない場合がある。その場合、一例として、ソースとドレインとのいずれか
一方を、第1端子、第1電極、又は第1領域と表記し、他方を、第2端子、第2電極、又
は第2領域と表記する場合がある。また、ゲートを第3端子又は第3電極と表記する場合
がある。
なお、トランジスタは、ベースとエミッタとコレクタとを含む少なくとも三つの端子を有
する素子であってもよい。この場合も同様に、一例として、エミッタとコレクタとの一方
を、第1端子、第1電極、又は第1領域と表記し、エミッタとコレクタとの他方を、第2
端子、第2電極、又は第2領域と表記する場合がある。なお、トランジスタとしてバイポ
ーラトランジスタが用いられる場合、ゲートという表記をベースと言い換えることが可能
である。
なお、AとBとが接続されている、と明示的に記載する場合は、AとBとが電気的に接続
されている場合と、AとBとが機能的に接続されている場合と、AとBとが直接接続され
ている場合とを含むものとする。ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路
、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。したがって、所定の接続関係、
例えば、図又は文章に示された接続関係に限定されず、図又は文章に示された接続関係以
外のものも含むものとする。
AとBとが電気的に接続されている場合の一例としては、AとBとの電気的な接続を可能
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オードなど)が、AとBとの間に1個以上接続されることが可能である。
AとBとが機能的に接続されている場合の一例としては、AとBとの機能的な接続を可能
とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変
換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電
源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタなど)、電
圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅又は電流量などを大きくできる回路、
オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、
記憶回路、制御回路など)が、AとBとの間に1個以上接続されることが可能である。な
お、一例として、AとBとの間に別の回路を挟んでいても、Aから出力された信号がBへ
伝達される場合は、AとBとは機能的に接続されているものとする。
なお、AとBとが電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、AとBとが電気
的に接続されている場合(つまり、AとBとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続さ
れている場合)と、AとBとが機能的に接続されている場合(つまり、AとBとの間に別
の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、AとBとが直接接続されている場合(
つまり、AとBとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)とを含む
ものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、単に、接続
されている、とのみ明示的に記載されている場合と同じであるとする。
なお、Aの上にBが形成されている、あるいは、A上にBが形成されている、と明示的に
記載する場合は、Aの上にBが直接接して形成されていることに限定されない。直接接し
ていない場合、つまり、AとBと間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。ここ
で、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、な
ど)であるとする。
従って例えば、層Aの上に(もしくは層A上に)、層Bが形成されている、と明示的に記
載されている場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直
接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが
形成されている場合とを含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、単
層でもよいし、複層でもよい。
さらに、Aの上方にBが形成されている、と明示的に記載されている場合についても同様
であり、Aの上にBが直接接していることに限定されず、AとBとの間に別の対象物が介
在する場合も含むものとする。従って例えば、層Aの上方に、層Bが形成されている、と
いう場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して
別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが形成され
ている場合とを含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、単層でもよ
いし、複層でもよい。
なお、Aの上にBが形成されている、A上にBが形成されている、又はAの上方にBが形
成されている、と明示的に記載する場合、斜め上にBが形成される場合も含むこととする
。また、Aの下にBが形成されている、あるいは、Aの下方にBが形成されている、の場
合についても、同様である。
なお、明示的に単数として記載されているものについては、単数であることが望ましい。
ただし、これに限定されず、複数であることも可能である。同様に、明示的に複数として
記載されているものについては、複数であることが望ましい。ただし、これに限定されず
、単数であることも可能である。
なお、図において、大きさ、層の厚さ、又は領域は、明瞭化のために誇張されている場合
がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
なお、図は、理想的な例を模式的に示したものであり、図に示す形状又は値などに限定さ
れない。例えば、図は、製造技術による形状のばらつき、誤差による形状のばらつき、ノ
イズによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、
電圧、若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
なお、専門用語は、特定の実施の形態、又は実施例などを述べる目的で用いられる場合が
多い。ただし、発明の一態様は、専門用語によって、限定して解釈されるものではない。
なお、定義されていない文言(専門用語又は学術用語などの科学技術文言を含む)は、通
常の当業者が理解する一般的な意味と同等の意味として用いることが可能である。辞書等
により定義されている文言は、関連技術の背景と矛盾がないような意味に解釈されること
が好ましい。
なお、第1、第2、第3などの語句は、様々な要素、部材、領域、層、区域を他のものと
区別して記述するために用いられる。よって、第1、第2、第3などの語句は、要素、部
材、領域、層、区域などの数を限定するものではない。さらに、例えば、「第1の」を「
第2の」又は「第3の」などと置き換えることが可能である。
なお、「上に」、「上方に」、「下に」、「下方に」、「横に」、「右に」、「左に」、
「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外に」、又は「中に」などの空間的配
置を示す語句は、ある要素又は特徴と、他の要素又は特徴との関連を、図によって簡単に
示すために用いられる場合が多い。ただし、これに限定されず、これらの空間的配置を示
す語句は、図に描く方向に加えて、他の方向を含むことが可能である。例えば、Aの上に
B、と明示的に示される場合は、BがAの上にあることに限定されない。図中のデバイス
は反転、又は180°回転することが可能なので、BがAの下にあることを含むことが可
能である。このように、「上に」という語句は、「上に」の方向に加え、「下に」の方向
を含むことが可能である。ただし、これに限定されず、図中のデバイスは様々な方向に回
転することが可能なので、「上に」という語句は、「上に」、及び「下に」の方向に加え
、「横に」、「右に」、「左に」、「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外
に」、又は「中に」などの他の方向を含むことが可能である。つまり、状況に応じて適切
に解釈することが可能である。
本発明の一態様は、第1の配線と第2の配線との間に接続される第1のスイッチと、第1
の配線と第2の配線との間に接続される第2のスイッチと、を有し、第1の期間において
、第1のスイッチはオンになり、第2のスイッチはオフになり、第2の期間において、第
1のスイッチはオフになり、第2のスイッチはオフになり、第3の期間において、第1の
スイッチはオフになり、第2のスイッチはオンになり、第4の期間において、第1のスイ
ッチはオフになり、第2のスイッチはオフになるものである。
本発明の一態様は、第1の配線と第2の配線との間に、第1の経路と第2の経路とを有し
、第1の期間において、第1の配線と第2の配線とは第1の経路を介して導通状態になり
、第2の期間において、第1の配線と第2の配線とは非導通状態になり、第3の期間にお
いて、第1の配線と第2の配線とは第2の経路を介して導通状態になり、第4の期間にお
いて、第1の配線と第2の配線とは非導通状態になるものである。
本発明の一態様は、第1のトランジスタと第2のトランジスタとを有し、第1のトランジ
スタの第1の端子は第1の配線と接続され、第1のトランジスタの第2の端子は第2の配
線と接続され、第1のトランジスタのゲートは第3の配線と接続され、第2のトランジス
タの第1の端子は第1の配線と接続され、第2のトランジスタの第2の端子は第2の配線
と接続され、第2のトランジスタのゲートは第4の配線と接続されるものである。
本発明の一態様は、第1のトランジスタと第2のトランジスタとを有し、第1の期間にお
いて、第1のトランジスタはオンになり、且つ第2のトランジスタはオフになり、第2の
期間において、第1のトランジスタはオフになり、且つ第2のトランジスタはオンになり
、第3の期間において、第1のトランジスタはオフになり、且つ第2のトランジスタはオ
ンになり、第4の期間において、第1のトランジスタはオフになり、且つ第2のトランジ
スタはオンになるものである。
本発明の一態様は、第1のトランジスタと第2のトランジスタと第3のトランジスタとを
有し、第1のトランジスタの第1の端子は第1の配線と接続され、第1のトランジスタの
第2の端子は第2の配線と接続され、第1のトランジスタのゲートは第3の配線と接続さ
れ、第2のトランジスタの第1の端子は第1の配線と接続され、第2のトランジスタの第
2の端子は第2の配線と接続され、第2のトランジスタのゲートは第4の配線と接続され
、第3のトランジスタの第1の端子は、第5の配線と接続され、第3のトランジスタの第
2の端子は、第2の配線と接続され、第3のトランジスタのゲートは、第6の配線と接続
されるものである。
本発明の一態様は、トランジスタの特性劣化を抑制することができる。又は、本発明の一
態様は、トランジスタのチャネル幅を小さくすることができる。特に、プルアップトラン
ジスタの特性劣化の抑制、又はチャネル幅の縮小を図ることができる。又は、本発明の一
態様は、レイアウト面積を小さくすることができる。又は、本発明の一態様は、表示装置
の額縁を狭くすることができる。又は、本発明の一態様は、表示装置を高精細にすること
ができる。又は、本発明の一態様は、歩留まりを高くすることができる。又は、本発明の
一態様は、製造コストを低減することができる。又は、本発明の一態様は、消費電力を低
減することができる。又は、本発明の一態様は、外部回路の電流供給能力を小さくするこ
とができる。又は、本発明の一態様は、外部回路のサイズ、又は当該外部回路を有する表
示装置のサイズを小さくすることができる。
実施の形態1における半導体装置の回路図の一例と、動作を説明するための模式図の一例。 実施の形態1における半導体装置の回路図の一例と、実施の形態1における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例と、実施の形態1における半導体装置の動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態1における半導体装置の動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例と、その動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態2における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例と、実施の形態2における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態2における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例。 実施の形態2における半導体装置の動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態2における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態2における半導体装置の回路図の一例と、その動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例。 実施の形態3における半導体装置の動作を説明するための模式図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態4におけるシフトレジスタの回路図の一例。 実施の形態4におけるシフトレジスタの動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態4におけるシフトレジスタの動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態4におけるシフトレジスタの回路図の一例。 実施の形態5における表示装置のブロック図の一例。 実施の形態5における表示装置のブロック図の一例。 実施の形態6における信号線駆動回路の回路図の一例と、その動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態7における画素の回路図の一例と、その動作を説明するためのタイミングチャートの一例。 実施の形態7における画素の回路図の一例。 実施の形態8における表示装置の上面図及び断面図の一例。 実施の形態9におけるトランジスタの断面図の一例。 実施の形態10におけるトランジスタの作製工程を説明する断面図の一例。 実施の形態11における半導体装置のレイアウト図の一例。 実施の形態12における電子機器を説明する図の一例。 実施の形態12における電子機器を説明する図の一例。 実施の形態3における半導体装置の回路図の一例。 実施の形態3における半導体装置の検証結果を示す図である。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異な
る態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及
び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って本実施の形態
の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する構成において、同
様のものを指す符号は異なる図面間で共通の符号を用いて示し、同一部分又は同様な機能
を有する部分の詳細な説明は省略する。
なお、ある一つの実施の形態の中で述べる内容(一部の内容でもよい)は、その実施の形
態で述べる別の内容(一部の内容でもよい)、及び/又は、一つ若しくは複数の別の実施
の形態で述べる内容(一部の内容でもよい)に対して、適用、組み合わせ、又は置き換え
などを行うことができる。
なお、実施の形態の中で述べる内容とは、各々の実施の形態において、様々な図を用いて
述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
なお、ある一つの実施の形態において述べる図(一部でもよい)は、その図の別の部分、
その実施の形態において述べる別の図(一部でもよい)、及び/又は、一つ若しくは複数
の別の実施の形態において述べる図(一部でもよい)に対して、組み合わせることにより
、さらに多くの図を構成させることができる。
なお、ある一つの実施の形態において述べる図又は文章において、その一部分を取り出し
て、発明の一態様を構成することは可能である。したがって、ある部分を述べる図又は文
章が記載されている場合、その一部分の図又は文章を取り出した内容も、発明の一態様と
して開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能であるものとする。
そのため、例えば、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、配線、受動素子(容量
素子、抵抗素子など)、導電層、絶縁層、半導体層、有機材料、無機材料、部品、基板、
モジュール、装置、固体、液体、気体、動作方法、製造方法などが単数又は複数記載され
た図面(断面図、平面図、回路図、ブロック図、フローチャート、工程図、斜視図、立面
図、配置図、タイミングチャート、構造図、模式図、グラフ、表、光路図、ベクトル図、
状態図、波形図、写真、化学式など)又は文章において、その一部分を取り出して、発明
の一態様を構成することが可能であるものとする。
(実施の形態1)
本実施の形態では、半導体装置の一例について説明する。本実施の形態の半導体装置は、
一例として、シフトレジスタ、ゲートドライバ、又はソースドライバなどの様々な駆動回
路に用いることが可能である。なお、本実施の形態の半導体装置を駆動回路、又は回路と
示すことが可能である。
まず、本実施の形態の半導体装置について、図1(A)を参照して説明する。図1(A)
の半導体装置は、スイッチ11_1〜11_2という複数のスイッチを有する。スイッチ
11_1〜11_2は、配線111と配線112との間に接続される。ただし、これに限
定されず、半導体装置は、三つ以上のスイッチを有することが可能である。
次に、各配線に入力又は出力される信号又は電圧などについて説明する。
配線111からは、一例として、信号OUTが出力されるものとする。信号OUTは、例
えば第1の電位状態及び第2の電位状態を有する信号とすることができる。例えば信号O
UTは、Hレベル(ハイレベルともいう)とLレベルとの二つの状態を有するデジタル信
号である場合が多く、出力信号として機能することが可能である。よって、配線111は
、信号線として機能することが可能である。特に、配線111は、画素部に延伸して配置
されることが可能である。そして、配線111は、画素と接続されることが可能である。
例えば液晶表示装置の場合は、配線111を液晶素子を有する画素に接続し、配線111
の電位に応じて液晶素子に印加される電圧を設定する構成とすることができる。又は、配
線111は、画素が有するトランジスタ(例えば選択用トランジスタ、又はスイッチング
トランジスタ)のゲートと接続されることが可能である。このような場合、信号OUTは
、選択信号、転送信号、スタート信号、リセット信号、ゲート信号、又は走査信号として
機能することが可能である。よって、配線111は、ゲート信号線(ゲート線)、又は走
査線として機能することが可能である。
配線112には、一例として、信号CK1が入力されるものとする。信号CK1は、例え
ば第1の電位状態及び第2の電位状態を有する信号とすることができる。例えば信号CK
1は、HレベルとLレベルとの二つの状態を繰り返すデジタル信号である場合が多く、ク
ロック信号として機能することが可能である。よって、配線112は、信号線、又はクロ
ック信号線として機能することが可能である。ただし、これに限定されず、配線111、
又は配線112には、他にも様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流を入力することが
可能である。例えば、配線111、又は配線112に電圧が供給され、これらの配線は電
源線として機能することが可能である。
なお、一例として、第1の電位状態、すなわちLレベルの信号の電位をV1とし、第2の
電位状態、すなわちHレベルの信号の電位をV2とする。そして、V2>V1とする。た
だし、これに限定されず、Lレベルの信号の電位は、V1よりも低くすることが可能であ
るし、V1よりも高くすることが可能である。又は、Hレベルの信号の電位は、V2より
も低いことが可能であるし、V2よりも高いことが可能である。例えば、回路構成によっ
ては、Hレベルの信号と記載する場合でも、その電位はV2よりも低い場合があるし、V
2よりも高い場合がある。又は、回路構成によっては、Lレベルの信号と記載する場合で
も、その電位はV1よりも低い場合があるし、V1よりも高い場合がある。
なお、おおむねとは、ノイズによる誤差、プロセスのばらつきによる誤差、素子の作製工
程のばらつきによる誤差、及び/又は、測定誤差などの様々な誤差を含むものとする。
なお、一般的に電圧とは、2点間における電位の差(電位差ともいう)のことをいい、電
位とは、ある一点における静電場の中にある単位電荷が持つ静電エネルギー(電気的な位
置エネルギー)のことをいう。しかし、電子回路では、一点のみであっても、例えば該一
点の電位と基準となる電位(基準電位ともいう)との電位差を値として用いることがあり
、また、電圧と電位の値は、回路図などにおいていずれもボルト(V)で表されることが
できるため、区別が困難である。そこで、本願の書類(明細書及び特許請求の範囲)では
、特に指定する場合を除き、一点のみであっても電圧を値として用いる場合がある。
なお、信号CK1は、平衡であることが可能であるし、非平衡(不平衡ともいう)である
ことが可能である。平衡とは、1周期のうち、Hレベルになる期間とLレベルになる期間
とがおおむね等しいことをいう。非平衡とは、Hレベルになる期間とLレベルになる期間
とが異なることをいう。なお、ここでの「異なる」とは、おおむね等しい場合の範囲は含
まれないものとする。
次に、スイッチ11_1〜11_2の機能について説明する。スイッチ11_1〜11_
2は、配線111と配線112との導通状態を制御する機能を有する。よって、図1(B
)に示すように、配線111と配線112との間には、経路21_1〜21_2という複
数の経路が存在する。又は、スイッチ11_1及びスイッチ11_2は、信号OUTの電
位状態を設定するか否かを制御する機能を有する。ただし、これに限定されず、スイッチ
11_1〜11_2は、他にも様々な機能を有することが可能である。
なお、配線A(例えば配線111)と配線B(例えば配線112)との間の経路と記載す
る場合、配線Aと配線Bとの間には、スイッチが接続されることが可能である。ただし、
これに限定されず、配線Aと配線Bとの間には、スイッチの他にも、様々な素子(例えば
トランジスタ、ダイオード、抵抗素子、又は容量素子など)、又は様々な回路(例えばバ
ッファ回路、インバータ回路、又はシフトレジスタ回路など)などが接続されることが可
能である。よって、例えば、スイッチ11_1と直列に、又は並列に、抵抗素子、又はト
ランジスタなどの素子が接続されることが可能である。
次に、図1(A)の半導体装置の動作について、図2(A)のタイミングチャートの一例
を参照して説明する。ただし、これに限定されず、図1(A)の半導体装置は、様々なタ
イミングによって制御されることが可能である。
図2(A)のタイミングチャートには、信号CK1、スイッチ11_1の状態(オン又は
オフ)、スイッチ11_2の状態(オン又はオフ)、及び信号OUTの波形をそれぞれ示
す。図2(A)のタイミングチャートは、複数の期間を有し、各期間は、複数のサブ期間
を有する。例えば、図2(A)のタイミングチャートは、期間T1、及び期間T2という
複数の期間(以下、期間のことをフレーム期間ともいう)を有する。期間T1は、期間A
1、期間B1、期間C1、期間D1、期間E1という複数のサブ期間(以下、サブ期間の
ことを1ゲート選択期間ともいう)を有し、期間T2は、期間A2、期間B2、期間C2
、期間D2、期間E2という複数のサブ期間を有する。ただし、これに限定されず、図2
(A)のタイミングチャートは、期間T1、及び期間T2とは別の期間を有することが可
能であるし、期間T1と期間T2との一方を省略することが可能である。又は、期間T1
は、期間A1〜E1の他にも様々な期間を有することが可能であるし、期間A1〜E1の
いずれかを省略することが可能である。又は、期間T2は、期間A2〜E2の他にも様々
な期間を有することが可能であるし、期間A2〜E2のいずれかを省略することが可能で
ある。
なお、図1(A)の半導体装置は、一例として、期間T1と期間T2における動作を交互
に行うものとする。ただし、これに限定されず、図1(A)の半導体装置は、様々な順番
で期間T1、及び期間T2における動作を行うことが可能である。
なお、一例として、期間T1において、図1(A)の半導体装置は、スイッチ11_1が
オンになるまで期間D1における動作と期間E1における動作とを繰り返すものとする。
そして、図1(A)の半導体装置は、スイッチ11_1がオンになると、期間A1におけ
る動作、期間B1における動作、及び期間C1における動作を順番に行うものとする。そ
の後、図1(A)の半導体装置は、再びスイッチ11_1がオンになるまで、期間D1に
おける動作と期間E1における動作とを繰り返すものとする。ただし、これに限定されず
、図1(A)の半導体装置は、期間A1〜E1における動作を様々な順番で行うことが可
能である。
なお、期間T2において、一例として、図1(A)の半導体装置は、スイッチ11_2が
オンになるまで、期間D2における動作と期間E2における動作とを繰り返すものとする
。そして、図1(A)の半導体装置は、スイッチ11_2がオンになると、期間A2にお
ける動作、期間B2における動作、及び期間C2における動作を順番に行うものとする。
その後、図1(A)の半導体装置は、再びスイッチ11_2がオンになるまで、期間D2
における動作と期間E2における動作とを繰り返すものとする。ただし、これに限定され
ず、図1(A)の半導体装置は、期間A2〜E2における動作を様々な順番で行うことが
可能である。
期間T1の動作について説明する。期間T1では、スイッチ11_1はオン又はオフにな
り、スイッチ11_2はオフになる。
期間T1の期間A1において、図2(D)に示すように、スイッチ11_1はオンになり
、スイッチ11_2はオフになる。よって、図2(E)に示すように、経路21_1は導
通状態になり、経路21_2は非導通状態になる。すると、配線112に入力される信号
(例えばLレベルの信号CK1)は、スイッチ11_1を介して配線111に供給される
。よって、信号OUTはLレベルになる。
期間T1の期間B1において、図2(D)に示すように、スイッチ11_1はオンのまま
になり、スイッチ11_2はオフのままになる。よって、図2(E)に示すように、経路
21_1は導通状態のままになり、経路21_2は非導通状態のままになる。すると、配
線112に入力される信号(例えばHレベルの信号CK1)は、スイッチ11_1を介し
て配線111に供給される。よって、信号OUTはHレベルになる。
期間T1の期間C1において、図2(B)に示すように、スイッチ11_1はオフになり
、スイッチ11_2はオフのままになる。よって、図2(C)に示すように、経路21_
1は非導通状態になり、経路21_2は非導通状態のままになる。すると、配線111と
配線112とは、非導通状態になるので、配線112に入力される信号(例えばLレベル
の信号CK1)は、配線111に供給されなくなる。
なお、期間T1の期間C1において、スイッチ11_1がオフになるタイミングは、信号
CK1がLレベルになるタイミングよりも遅い場合が多い。よって、スイッチ11_1が
オフになる前に、配線112に入力される信号(例えばLレベルの信号CK1)は、スイ
ッチ11_1を介して、配線111に供給される場合が多い。よって、信号OUTはLレ
ベルになる。ただし、これに限定されず、配線111にLレベルの信号又は電圧V1が供
給されることが可能である。
期間T1の期間D1及び期間E1において、図2(B)に示すように、スイッチ11_1
及びスイッチ11_2は、オフのままになる。よって、図2(C)に示すように、経路2
1_1、及び経路21_2は、非導通状態のままになる。よって、配線111と配線11
2とは非導通状態になるので、配線112に入力される信号は、配線111に供給されな
いままになる。よって、信号OUTはLレベルのままになる。
次に、期間T2の動作について説明する。期間T2では、スイッチ11_1はオフになり
、スイッチ11_2はオン又はオフになる。
期間T2の期間A2において、図2(F)に示すように、スイッチ11_1はオフになり
、スイッチ11_2はオンになる。よって、図2(G)に示すように、経路21_1は非
導通状態になり、経路21_2は導通状態になる。すると、配線112に入力される信号
(例えばLレベルの信号CK1)は、スイッチ11_2を介して配線111に供給される
。よって、信号OUTはLレベルになる。
期間T2の期間B2において、図2(F)に示すように、スイッチ11_1はオフのまま
になり、スイッチ11_2はオンのままになる。よって、図2(G)に示すように、経路
21_1は非導通状態のままになり、経路21_2は導通状態のままになる。すると、配
線112に入力される信号(例えばHレベルの信号CK1)は、スイッチ11_2を介し
て配線111に供給される。よって、信号OUTはHレベルになる。
期間T2の期間C2において、図2(B)に示すように、スイッチ11_1はオフのまま
になり、スイッチ11_2はオフになる。よって、図2(C)に示すように、経路21_
1は非導通状態のままになり、経路21_2は非導通状態になる。すると、配線111と
配線112とは、非導通状態になるので、配線112に入力される信号(例えばLレベル
の信号CK1)は、配線111に供給されなくなる。
なお、期間T2の期間C2において、スイッチ11_2がオフになるタイミングは、信号
CK1がLレベルになるタイミングよりも遅い場合が多い。よって、スイッチ11_2が
オフになる前に、配線112に入力される信号(例えばLレベルの信号CK1)は、スイ
ッチ11_2を介して配線111に供給される場合が多い。よって、信号OUTはLレベ
ルになる。ただし、これに限定されず、配線111にLレベルの信号又は電圧V1が供給
されることが可能である。
期間T2の期間D2及び期間E2において、図2(B)に示すように、スイッチ11_1
及びスイッチ11_2は、オフのままになる。よって、図2(C)に示すように、経路2
1_1、及び経路21_2は、非導通状態のままになる。よって、配線111と配線11
2とは非導通状態になるので、配線112に入力される信号は、配線111に供給されな
いままになる。よって、信号OUTはLレベルのままになる。
以上のように、各スイッチがオンになる期間を切り替えることによって、スイッチがオン
になる回数を少なくする、又はスイッチがオンになる時間を短くすることができる。よっ
て、スイッチとして用いられる素子、又は回路などの特性劣化を抑制することができる。
又は、スイッチとして用いられる素子又は回路などの特性劣化を抑制することができるこ
とによって、様々なメリットを得ることができる。例えば、配線111がゲート信号線又
は走査線としての機能を有する場合、又は配線111が画素と接続される場合、画素が保
持するビデオ信号は、信号OUTの波形に影響を受けることがある。例えば、信号OUT
の電位がV2まで上昇しない場合、画素が有するトランジスタ(例えば選択トランジスタ
、又はスイッチングトランジスタ)がオンになる時間は短くなる。この結果、画素へのビ
デオ信号の書き込み不足を生じ、表示品位が低下してしまうことがある。又は、信号OU
Tの立ち下がり時間、及び立ち上がり時間が長くなる場合、選択された行に属する画素に
、別の行に属する画素へのビデオ信号が書き込まれてしまうことがある。この結果、表示
品位が低下してしまう。又は、信号OUTの立ち下がり時間がばらつく場合、画素が保持
するビデオ信号へのフィードスルーの影響がばらついてしまうことがある。この結果、表
示ムラが生じてしまう。
しかしながら、本実施の形態の半導体装置は、スイッチとして用いられる素子又は回路な
どの特性劣化を抑制することができる。よって、信号OUTの電位をV2まで上昇させる
ことができるので、画素が有するトランジスタのオンになる時間を長くすることができる
。この結果、画素に十分な時間でビデオ信号を書き込むことができるので、表示品位の向
上を図ることができる。又は、信号OUTの立ち下がり時間、及び立ち上がり時間を短く
することができるので、選択された行に属する画素に、別の行に属する画素へのビデオ信
号が書き込まれてしまうことを防止することができる。この結果、表示品位の向上を図る
ことができる。又は、信号OUTの立ち下がり時間のばらつきを抑制することができるの
で、画素が保持するビデオ信号へのフィードスルーの影響のばらつきを抑制することでき
る。よって、表示ムラを抑制することができる。
なお、期間T1において、期間B1を選択期間と呼び、期間A1、期間C1、期間D1、
及び期間E1を非選択期間と呼ぶことが可能である。同様に、期間T2において、期間B
2を選択期間と呼び、期間A2、期間C2、期間D2、及び期間E2を非選択期間と呼ぶ
ことが可能である。
なお、期間T1において、スイッチ11_1がオンになる期間(期間A1及び期間A2)
を第1の期間と呼び、スイッチ11_1がオフになる期間(期間C1、期間D1、及び期
間E1)を第2の期間と呼ぶことが可能である。同様に、期間T2において、期間A2及
び期間B2を第3の期間と呼び、期間C2、期間D2、及び期間E2を第4の期間と呼ぶ
ことが可能である。
なお、期間T1、及び期間T2をフレーム期間と呼び、期間A1〜E1、及び期間A2〜
E2をサブ期間、又は1ゲート選択期間と呼ぶことが可能である。
なお、期間又はサブ期間は、ステップ、処理、又は動作などを置き換えられることが可能
である。
なお、期間T1において、期間A1の前に、期間D1と期間E1とが順に繰り返して配置
されることが可能である。同様に、期間T2において、期間A2の前に、期間D2と期間
E2とが順に繰り返して配置されることが可能である。このような場合、期間T1の開始
時刻から、期間A1の開始時刻までの時間と、期間T2の開始時刻から期間A2の開始時
刻までの時間とは、おおむね等しいことが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、図1(C)に示すように、スイッチ11_1、及びスイッチ11_2は、同じ期間
にオンになることが可能である。この場合、図1(D)に示すように、経路21_1、及
び経路21_2は、同じ期間に導通状態になる。よって、配線112に入力される信号は
、スイッチ11_1、及びスイッチ11_2を介して配線111に供給される。ただし、
これに限定されない。
なお、図1(E)に示すように、半導体装置は、スイッチ11_1〜11_N(Nは2以
上の自然数)という複数のスイッチを有することが可能である。スイッチ11_1〜11
_Nは、配線111と配線112との間に接続される。スイッチ11_1〜11_Nは、
スイッチ11_1又はスイッチ11_2と同様の機能を有する。よって、図1(F)に示
すように、配線111と配線112との間には、経路21_1〜21_Nという経路が存
在する。
なお、半導体装置がN個のスイッチを有する場合、図3に示すように、期間T1〜TNと
いう複数の期間を有することが可能である。例えば、図3のタイミングチャートでは、期
間T1〜TNが順に配置されている。ただし、これに限定されず、本実施の形態では、期
間T1〜TNを様々な順番に配置することが可能である。又は、期間T1〜TNのいずれ
かを省略することが可能である。期間T1〜TNは、各々、複数のサブ期間を有すること
が可能である。例えば、期間Ti(iは1〜Nのいずれか一)は、期間Ai〜Eiという
複数のサブ期間を有することが可能である。期間Ai〜Eiは、各々、期間A1〜E1又
は期間A2〜E2と同様に、スイッチ11_i以外のスイッチ11_1〜11_N(例え
ば、スイッチ11_1〜11_i−1、及びスイッチ11_i+1〜11_N)はオフに
なる。そして、期間Tiの期間Ai、及びBiにおいて、スイッチ11_iはオンになり
、期間Tiの期間Ci、期間Di、期間Eiにおいて、スイッチ11_iはオフになる。
なお、Nが大きいことによって、それぞれのスイッチがオンになる回数、又はそれぞれの
スイッチがオンになる時間を減らすことができる。ただし、Nが大きすぎると、スイッチ
の数が増えすぎてしまい、回路規模が大きくなってしまう。よって、Nは、6以下である
ことが好ましい。より好ましくは4以下であることが好ましい。さらに好ましくは、3又
は2であることが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、図1(G)に示すように、配線112を配線112A〜112Bという複数の配線
に分割することが可能である。そして、スイッチ11_1は、配線111と配線112A
との間に接続され、スイッチ11_2は、配線111と配線112Bとの間に接続される
ことが可能である。配線112A〜112Bは、他の様々な配線、又は様々な素子と接続
されることが可能である。
なお、図1(G)と同様に、図1(E)においても、配線112を複数の配線に分割する
ことが可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、半導体装置の一例を示す。本実施の形態の半導体装置は、実施の形態
1で述べる半導体装置を有することが可能である。特に、実施の形態1で述べる半導体装
置が有するスイッチとして、例えばトランジスタが用いられる場合の構成について説明す
る。ただし、これに限定されず、スイッチとしては様々な素子、又は様々な回路などを用
いることが可能である。なお、実施の形態1で述べる内容は、その説明を省略する。なお
、本実施の形態の内容は、実施の形態1で述べる内容と適宜組み合わせることが可能であ
る。
まず、本実施の形態の半導体装置について、図4(A)を参照して説明する。図4(A)
の半導体装置は、回路100を有する。回路100は、実施の形態1で述べる構成におい
て、スイッチとしてトランジスタを用いる場合の構成と同様である。図4(A)では、図
1(A)のスイッチ11_1としてトランジスタ101_1が用いられ、スイッチ11_
2としてトランジスタ101_2が用いられる場合の構成を示す。よって、トランジスタ
101_1は、スイッチ11_1と同様の機能を有し、トランジスタ101_2は、スイ
ッチ11_2と同様の機能を有する。ただし、これに限定されず、実施の形態1で述べる
構成において、スイッチとしてトランジスタを用いることが可能である。又は、スイッチ
として、CMOSのスイッチなどを用いることが可能である。
なお、トランジスタ101_1、及びトランジスタ101_2は、Nチャネル型であるも
のとする。Nチャネル型のトランジスタは、ゲートとソースとの間の電位差(Vgs)が
閾値電圧(Vth)を上回った場合にオンするものとする。ただし、これに限定されず、
トランジスタ101_1、及び/又は、トランジスタ101_2は、Pチャネル型である
ことが可能である。Pチャネル型トランジスタは、ゲートとソースとの間の電位差(Vg
s)が閾値電圧(Vth)を下回った場合にオンするものとする。
次に、図4(A)の半導体装置の接続関係について説明する。トランジスタ101_1の
第1端子は、配線112と接続され、トランジスタ101_1の第2端子は、配線111
と接続される。トランジスタ101_2の第1端子は、配線112と接続され、トランジ
スタ101_2の第2端子は、配線111と接続される。
なお、トランジスタ101_1のゲートと回路10との接続箇所をノードn1と示し、ト
ランジスタ101_2のゲートと回路10との接続箇所をノードn2と示す。なお、ノー
ドn1、及びノードn2を配線と呼ぶことが可能である。
次に、トランジスタ101_1、及びトランジスタ101_2が有する機能について説明
する。
トランジスタ101_1は、ノードn1の電位に応じて、配線112の電位を配線111
に供給するタイミングを制御する機能を有する。例えば、配線112に電圧(例えば電圧
V1又は電圧V2)が供給される場合、トランジスタ101_1は、ノードn1の電位に
応じて、配線112に供給される電圧を配線111に供給するタイミングを制御する機能
を有する。別の例として、配線112に信号(例えば信号CK1)が入力される場合、ト
ランジスタ101_1は、ノードn1の電位に応じて、配線112に入力される信号を配
線111に供給するタイミングを制御する機能を有する。このような場合、信号CK1が
Lレベルとすると、トランジスタ101_1は、Lレベルの信号CK1を配線111に供
給するタイミングを制御する機能を有する。又は、トランジスタ101_1は、信号OU
TがLレベルになるタイミングを制御する機能を有する。又は、信号CK1がHレベルと
すると、トランジスタ101_1は、Hレベルの信号CK1を配線111に供給するタイ
ミングを制御する機能を有する。又は、トランジスタ101_1は、信号OUTがHレベ
ルになるタイミングを制御する機能を有する。このとき、ノードn1は、浮遊状態になっ
ていることが可能である。この場合、トランジスタ101_1は、配線111の電位の上
昇に応じて、ノードn1の電位を上昇させる機能を有する。又は、トランジスタ101_
1は、ブートストラップ動作を行う機能を有する。又は、トランジスタ101_1は、ゲ
ートに入力される信号に応じてオン又はオフになることにより信号OUTの電位状態を設
定するか否かを制御する機能を有する。
トランジスタ101_2は、ノードn2の電位に応じて、配線112の電位を配線111
に供給するタイミングを制御する機能を有する。例えば、配線112に電圧(例えば電圧
V1又は電圧V2)が供給される場合、トランジスタ101_2は、ノードn2の電位に
応じて、配線112に供給される電圧を配線111に供給するタイミングを制御する機能
を有する。別の例として、配線112に信号(例えば信号CK1)が入力される場合、ト
ランジスタ101_2は、ノードn2の電位に応じて、配線112に入力される信号を配
線111に供給するタイミングを制御する機能を有する。このような場合、信号CK1が
Lレベルとすると、トランジスタ101_2は、Lレベルの信号CK1を配線111に供
給するタイミングを制御する機能を有する。又は、トランジスタ101_2は、信号OU
TがLレベルになるタイミングを制御する機能を有する。又は、信号CK1がHレベルと
すると、トランジスタ101_2は、Hレベルの信号CK1を配線111に供給するタイ
ミングを制御する機能を有する。又は、トランジスタ101_2は、信号OUTがHレベ
ルになるタイミングを制御する機能を有する。このとき、ノードn2は、浮遊状態になっ
ていることが可能である。この場合、トランジスタ101_2は、配線111の電位の上
昇に応じて、ノードn2の電位を上昇させる機能を有する。又は、トランジスタ101_
2は、ブートストラップ動作を行う機能を有する。又は、トランジスタ101_1は、ゲ
ートに入力される信号に応じてオン又はオフになることにより信号OUTの電位状態を設
定するか否かを制御する機能を有する。
なお、図4(B)に示すように、本実施の形態の半導体装置は、回路10を有することが
可能である。例えば、回路10は、配線113、配線114、配線115_1、配線11
5_2、配線116、配線117、トランジスタ101_1のゲート、トランジスタ10
1_2のゲート、及び/又は配線111と接続される。ただし、これに限定されない。回
路10の構成に応じて、回路10は、他の配線、又は他のノードと接続されることが可能
である。又は、回路10は、配線113、配線114、配線115_1、配線115_2
、配線116、配線117、トランジスタ101_1のゲート、トランジスタ101_2
のゲート、及び/又は配線111と接続されてないことが可能である。
回路10は、一つ又は二つ以上のトランジスタを有する場合が多い。これらのトランジス
タの極性は、トランジスタ101_1〜101_2の極性と同じ場合が多く、Nチャネル
型である場合が多い。ただし、これに限定されず、回路10は、Pチャネル型のトランジ
スタを有することが可能である。又は、回路10は、Nチャネル型のトランジスタとPチ
ャネル型のトランジスタとを有することが可能である。つまり、回路10は、CMOS回
路であることが可能である。
配線111からは、実施の形態1と同様に、信号OUTが出力されるものとする。配線1
12には、実施の形態1と同様に、信号CK1が入力されるものとする。なお、信号CK
2と記載する場合、信号CK2は、信号CK1の反転信号、又は位相が信号CK1から1
80°ずれた信号である場合が多い。配線113には、電圧V2が供給されるものとする
。電圧V2は、電源電圧、基準電圧、又は正電源電圧として機能することが可能である。
よって、配線113は、電源線として機能することが可能である。配線114には、信号
SPが入力されるものとする。信号SPは、スタート信号として機能することが可能であ
る。よって、配線114は、信号線として機能することが可能である。例えば複数の半導
体装置を有する構成とし、配線114が別の段(例えば前の段)の半導体装置の配線11
1と接続される場合、信号SPは、選択信号、転送信号、スタート信号、リセット信号、
ゲート信号、又は走査信号として機能することが可能である。この場合、配線114は、
ゲート信号線、又は走査線として機能することが可能である。配線115_1には、信号
SEL1が入力されるものとする。信号SEL1は、ある期間毎(例えばフレーム期間毎
)に、HレベルとLレベルとを繰り返し、クロック信号、選択信号、又は制御信号として
機能することが可能である。よって、配線115_1は、信号線として機能することが可
能である。配線115_2には、信号SEL2が入力されるものとする。信号SEL2は
、信号SEL1の反転信号、又は位相が信号SEL1から180°ずれた信号である場合
が多い。よって、配線115_2は、信号線として機能することが可能である。配線11
6には、信号REが入力されるものとする。信号REは、リセット信号として機能するこ
とが可能である。よって、配線116は、信号線として機能することが可能である。特に
、複数の半導体装置が接続されるとする。この場合、配線116が別の段(例えば次の段
)の半導体装置の配線111と接続されるとすると、信号REは、選択信号、転送信号、
スタート信号、リセット信号、ゲート信号、又は走査信号として機能することが可能であ
る。この場合、配線116は、ゲート信号線、又は走査線として機能することが可能であ
る。配線117には、電圧V1が供給されるものとする。電圧V1は、電源電圧、基準電
圧、グランド電圧、又は負電源電圧として機能することが可能である。よって、配線11
7は、電源線として機能することが可能である。ただし、これに限定されず、配線111
、配線112、配線113、配線114、配線115_1、配線115_2、配線116
、及び配線117には、様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流を供給することが可能
である。
なお、信号CK1、又は信号CK2は、平衡であることが可能であるし、非平衡(不平衡
ともいう)であることが可能である。同様に、信号SEL1、又は信号SEL2は、平衡
であることが可能であるし、非平衡(不平衡ともいう)であることが可能である。
回路10は、電圧V1、信号CK2、信号SP、信号SEL1、信号SEL2、信号RE
、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、信号OUTに応じて、ノードn1
、ノードn2、及び/又は、配線111に信号又は電圧などを供給するタイミングを制御
する機能を有する。又は、回路10は、電圧V1、信号CK2、信号SP、信号SEL1
、信号SEL2、信号RE、電圧V1、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又
は、信号OUTに応じて、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線11
1の電位を制御する機能を有する。例えば、回路10は、Hレベルの信号又は電圧V2を
ノードn1、及び/又は、ノードn2に供給する機能を有する。又は、回路10は、Lレ
ベルの信号又は電圧V1をノードn1、ノードn2、及び/又は、配線111に供給する
機能を有する。又は、回路10は、信号又は電圧などをノードn1、及び/又は、ノード
n2に供給しない機能を有する。又は、回路10は、ノードn1の電位、及び/又は、ノ
ードn2の電位を上昇させる機能を有する。又は、回路10は、ノードn1の電位、ノー
ドn2の電位、及び/又は、配線111の電位を減少又は維持する機能を有する。又は、
回路10は、ノードn1、及び/又は、ノードn2を浮遊状態にする機能を有する。ただ
し、これに限定されず、回路10は、他にも様々な機能を有することが可能である。又は
、回路10は、上記の機能のすべてを有する必要はない。
次に、本実施の形態の動作の一例について説明する。ここでは、一例として、図4(B)
の半導体装置の動作について、図4(C)のタイミングチャート、図5(A)乃至図5(
E)、及び図6(A)乃至図6(E)を参照して説明する。図4(C)のタイミングチャ
ートには、信号CK1、信号CK2、信号SP、信号RE、ノードn1の電位(Va1)
、ノードn2の電位(Va2)、及び信号OUTを示す。なお、図2(A)のタイミング
チャートと共通するところは、その説明を省略する。なお、図4(B)の半導体装置の動
作は、本実施の形態で述べる内容、又は他の実施の形態で述べる内容に適用することが可
能である。
まず、期間A1において、図5(A)に示すように、信号SPがHレベルになり、信号S
EL1がHレベルになり、信号SEL2がLレベルになる。よって、回路10は、Hレベ
ルの信号SP又は電圧V2をノードn1に供給する。そして、回路10は、ノードn1の
電位を上昇させる。その後、ノードn1の電位は、V1+Vth101_1(Vth10
1_1:トランジスタ101_1の閾値電圧)+Vxになったところで、トランジスタ1
01_1がオンになる。このときVxは0より大きい値である。よって、配線112と配
線111とは、トランジスタ101_1を介して導通状態になるので、Lレベルの信号C
K1は、配線112からトランジスタ101_1を介して配線111に供給される。この
結果、信号OUTは、Lレベルになる。その後、ノードn1の電位はさらに上昇する。や
がて、回路10からノードn1への電圧又は信号の供給が止まるので、回路10とノード
n1とは非導通状態になる。この結果、ノードn1は、浮遊状態になり、ノードn1の電
位は、V1+Vth101_1+Vxに維持される。
なお、期間A1において、回路10は、ノードn2に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
なお、期間A1において、回路10は、配線111に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
次に、期間B1において、図5(B)に示すように、信号SPはLレベルになり、信号S
EL1がHレベルのままになり、信号SEL2がLレベルのままになる。よって、回路1
0は、電圧又は信号などをノードn1に供給しないままである。よって、ノードn1は、
浮遊状態のままであり、ノードn1の電位は、V1+Vth101_1+Vxのままにな
る。つまり、トランジスタ101_1はオンのままになるので、配線112と配線111
とはトランジスタ101_1を介して導通状態のままになる。このとき、信号CK1はL
レベルからHレベルに上昇するので、配線111の電位が上昇し始める。すると、ノード
n1は浮遊状態のままなので、ノードn1の電位は、トランジスタ101_1のゲートと
第2端子との間の寄生容量によって上昇する。いわゆる、ブートストラップ動作である。
こうして、ノードn1の電位がV2+Vth101_1+Vxまで上昇することによって
、配線111の電位をV2まで上昇させることが可能になる。このようにして、信号OU
Tは、Hレベルになる。
なお、期間B1において、回路10は、ノードn2に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
また、期間B1において、回路10は、配線111に、信号又は電圧などを供給しないこ
とが可能である。
次に、期間C1において、図5(C)に示すように、信号REがHレベルになる。よって
、回路10は、Lレベルの信号又は電圧V1をノードn1、ノードn2、及び/又は、配
線111に供給する。すると、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線
111の電位は、V1になる。よって、トランジスタ101_1、及びトランジスタ10
1_2はオフになるので、配線112と配線111とは非導通状態になる。そして、信号
OUTは、Lレベルになる。
なお、期間C1において、ノードn1の電位がLレベルに減少するタイミングよりも、信
号CK1がLレベルに減少するタイミングの方が早くなるように設定することが可能であ
る。すると、図5(E)に示すように、Lレベルの信号CK1は、配線112からトラン
ジスタ101_1を介して配線111に供給されることが可能である。トランジスタ10
1_1のチャネル幅は、例えばトランジスタ101_1以外の他のトランジスタを有する
場合に他のトランジスタのチャネル幅より大きいことが多いので、配線111の電位を早
く減少させることができる。つまり、信号OUTの立ち下がり時間を短くすることができ
る。よって、配線111の電位を減少させるためには、回路10がLレベルの信号又は電
圧V1を配線111に供給する場合と、Lレベルの信号CK1が配線112からトランジ
スタ101_1を介して配線111に供給される場合と、回路10がLレベルの信号又は
電圧V1を配線111に供給し、且つLレベルの信号CK1が配線112からトランジス
タ101_1を介して配線111に供給される場合との三つのパターンがある。
次に、期間D1、及び期間E1において、図5(D)に示すように、回路10は、電圧V
1又はLレベルの信号をノードn1、ノードn2、及び/又は、配線111に供給する。
すると、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線111の電位は、V1
のままになる。よって、トランジスタ101_1、及びトランジスタ101_2はオフの
ままになるので、配線112と配線111とは非導通状態のままになる。そして、信号O
UTは、Lレベルのままになる。
次に、期間A2において、図6(A)に示すように、信号SPがHレベルになり、信号S
EL1がLレベルになり、信号SEL2がHレベルになる。よって、回路10は、Hレベ
ルの信号SP又は電圧V2をノードn2に供給する。そして、回路10は、ノードn2の
電位を上昇させる。その後、ノードn2の電位は、V1+Vth101_2(Vth10
1_2:トランジスタ101_2の閾値電圧)+Vxになったところで、トランジスタ1
01_2がオンになる。このときVxは0より大きい値である。よって、配線112と配
線111とは、トランジスタ101_2を介して導通状態になるので、Lレベルの信号C
K1は、配線112からトランジスタ101_2を介して配線111に供給される。この
結果、信号OUTは、Lレベルになる。その後、ノードn2の電位はさらに上昇する。や
がて、回路10からノードn2への電圧又は信号の供給が止まるので、回路10とノード
n2とは非導通状態になる。この結果、ノードn2は、浮遊状態になり、ノードn2の電
位は、V1+Vth101_2+Vxに維持される。
なお、期間A2において、回路10は、ノードn1に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
なお、期間A2において、回路10は、配線111に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
次に、期間B2において、図6(B)に示すように、信号SPはLレベルになり、信号S
EL1がLレベルのままになり、信号SEL2がHレベルのままになる。よって、回路1
0は、電圧又は信号などをノードn2に供給しないままである。よって、ノードn2は、
浮遊状態のままであり、ノードn2の電位は、V1+Vth101_2+Vxのままにな
る。つまり、トランジスタ101_2はオンのままになるので、配線112と配線111
とはトランジスタ101_2を介して導通状態のままになる。このとき、信号CK1はL
レベルからHレベルに上昇するので、配線111の電位が上昇し始める。すると、ノード
n2は浮遊状態のままなので、ノードn2の電位は、トランジスタ101_2のゲートと
第2端子との間の寄生容量によって上昇する。いわゆる、ブートストラップ動作である。
こうして、ノードn2の電位は、V2+Vth101_2+Vxまで上昇することによっ
て、配線111の電位がV2まで上昇することが可能になる。このようにして、信号OU
Tは、Hレベルになる。
なお、期間B2において、回路10は、ノードn1に、Lレベルの信号又は電圧V2を供
給することが可能である。
なお、期間B2において、回路10は、配線111に、信号又は電圧などを供給しないこ
とが可能である。
次に、期間C2において、図6(C)に示すように、信号REがHレベルになる。よって
、回路10は、Lレベルの信号又は電圧V2をノードn1、ノードn2、及び/又は、配
線111に供給する。すると、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線
111の電位は、V1になる。よって、トランジスタ101_1、及びトランジスタ10
1_2はオフになるので、配線112と配線111とは非導通状態になる。そして、信号
OUTは、Lレベルになる。
なお、期間C2において、ノードn2の電位が減少するタイミングよりも、信号CK1が
Lレベルに減少するタイミングの方が早くなるように設定することが可能である。すると
、図6(E)に示すように、Lレベルの信号CK1は、配線112からトランジスタ10
1_2を介して配線111に供給されることが可能である。トランジスタ101_2のチ
ャネル幅は、例えば他のトランジスタを有する場合に他のトランジスタのチャネル幅より
大きいことが多いので、配線111の電位を早く減少させることができる。つまり、信号
OUTの立ち下がり時間を短くすることができる。よって、配線111の電位を減少させ
るためには、例えば回路10がLレベルの信号又は電圧V1を配線111に供給する場合
、Lレベルの信号CK1が配線112からトランジスタ101_2を介して配線111に
供給される場合、または回路10がLレベルの信号又は電圧V1を配線111に供給し、
且つLレベルの信号CK1が配線112からトランジスタ101_2を介して配線111
に供給される場合などがある。
次に、期間D2、及び期間E2において、図6(D)に示すように、回路10は、電圧V
1又はLレベルの信号をノードn1、ノードn2、及び/又は、配線111に供給する。
すると、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線111の電位は、V1
のままになる。よって、トランジスタ101_1、及びトランジスタ101_2はオフの
ままになるので、配線112と配線111とは非導通状態のままになる。そして、信号O
UTは、Lレベルのままになる。
以上のように、期間T1において、トランジスタ101_2はオフになり、期間T2にお
いて、トランジスタ101_1はオフになるので、トランジスタ101_1、及びトラン
ジスタ101_2のそれぞれがオンになる回数、又はトランジスタ101_1、及びトラ
ンジスタ101_2のそれぞれがオンになる時間が少なくなる。よって、トランジスタ1
01_1、及びトランジスタ101_2の特性劣化を抑制することができる。
以上のように、本実施の形態の半導体装置は、トランジスタの特性劣化を抑制することが
できる。また、信号OUTのHレベルの電位をV2まで上昇させることができるので、画
素が有するトランジスタのオンになる時間を長くすることができる。この結果、画素に十
分な時間の中でビデオ信号を書き込むことができるので、表示品位の向上を図ることがで
きる。又は、信号OUTの立ち下がり時間、及び立ち上がり時間を短くすることができる
ので、選択された行に属する画素に、別の行に属する画素へのビデオ信号が書き込まれて
しまうことを防止することができる。この結果、表示品位の向上を図ることができる。又
は、信号OUTの立ち下がり時間のばらつきを抑制することができるので、画素が保持す
るビデオ信号へのフィードスルーの影響のばらつきを抑制することできる。よって、表示
ムラを抑制することができる。
又は、本実施の形態の半導体装置では、全てのトランジスタの極性をNチャネル型又はP
チャネル型とすることが可能である。したがって、CMOS回路と比較して、工程数の削
減、歩留まりの向上、信頼性の向上、又はコストの削減を図ることができる。特に、画素
部などを含めて、全てのトランジスタがNチャネル型の場合、トランジスタの半導体層と
して例えば非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを用いるこ
とが可能になる。ただし、これらの半導体を用いたトランジスタは、劣化しやすい場合が
多い。しかし本実施の形態の半導体装置は、トランジスタの劣化を抑制することができる
又は、トランジスタの特性が劣化した場合でも、半導体装置が動作するように、トランジ
スタのチャネル幅を大きくする必要がない。よって、トランジスタのチャネル幅を小さく
することができる。なぜなら、本実施の形態の半導体装置では、トランジスタの劣化を抑
制することができるからである。
なお、回路10は、期間C1、期間D1、期間E1、期間A2、期間B2、期間C2、期
間D2、及び/又は、期間E2において、Lレベルの信号又は電圧V1をノードn1に供
給することが可能であるし、電圧又は信号などをノードn1に供給しないことが可能であ
る。ただし、これに限定されない。
なお、回路10は、期間A1、期間B1、期間C1、期間D1、期間E1、期間C2、期
間D2、及び/又は、期間E2において、Lレベルの信号又は電圧V1をノードn2に供
給することが可能であるし、電圧又は信号などをノードn2に供給しないことが可能であ
る。ただし、これに限定されない。
なお、回路10は、期間A1、期間C1、期間D1、期間E1、期間A2、期間C2、期
間D2、及び/又は、期間E2において、Lレベルの信号又は電圧V1を配線111に供
給することが可能であるし、電圧又は信号などを配線111に供給しないことが可能であ
る。ただし、これに限定されない。
なお、信号CK1、及び信号CK2は、非平衡であることが可能である。図7(A)には
、一例として、1周期のうち、Hレベルになる期間がLレベルになる期間よりも短い場合
のタイミングチャートを示す。こうすることによって、期間C1、又は期間C2において
、Lレベルの信号CK1を配線111に供給されるので、信号OUTの立ち下がり時間を
短くすることができる。又は、配線111が画素部に延伸して配置される場合、画素への
不正なビデオ信号の書き込みを防止することができる。ただし、これに限定されず、1周
期のうち、Hレベルになる期間がLレベルになる期間よりも長いことが可能である。
なお、本実施の形態の半導体装置には、多相のクロック信号を用いることが可能である。
例えば、n(nは自然数)と示す場合、n+1相のクロック信号とは、周期がそれぞれ1
/n+1周期ずつずれたn+1個のクロック信号のことである。又は、多相のクロック信
号のいずれか二つが、各々、配線112、配線113に入力されることが可能である。図
7(B)には、一例として、半導体装置に3相のクロック信号を用いる場合のタイミング
チャートを示す。ただし、これに限定されない。
なお、nが大きいほど、クロック周波数が小さくなるので、消費電力の低減を図ることが
できる。ただし、nが大きすぎると、信号の数が増えるので、レイアウト面積が大きくな
ったり、外部回路の規模が大きくなったりする場合がある。よって、n<8であることが
好ましい。より好ましくは、n<6であることが好ましい。さらに好ましくは、n=4、
又はn=3であることが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ101_1とトランジスタ101_2とは同様の機能を有するので、
トランジスタ101_1のチャネル幅と、トランジスタ101_2のチャネル幅とは、お
おむね等しいことが好ましい。このように、トランジスタサイズをおおむね等しくするこ
とによって、トランジスタの電流供給能力をおおむね等しくすることができる。又は、ト
ランジスタの劣化の程度をおおむね等しくすることができる。よって、複数のトランジス
タを切り替えて用いても、信号OUTの波形をおおむね等しくすることができる。ただし
、これに限定されず、トランジスタ101_1のチャネル幅と、トランジスタ101_2
のチャネル幅とは、異なることが可能である。
なお、トランジスタのチャネル幅と記載する場合、これをトランジスタのW/L(W:チ
ャネル幅、L:チャネル長)比と言い換えることが可能である。
なお、トランジスタ101_1とトランジスタ101_2とは、同じ期間においてオンに
なることが可能である。例えば、期間B1又は期間B2において、トランジスタ101_
1とトランジスタ101_2とがオンになることによって、一方のトランジスタのみがオ
ンになる場合よりも配線111の電位を早く上昇させることができる。よって、信号OU
Tの立ち上がり時間を短くすることができる。
なお、図8(A)に示すように、配線112を配線112A〜112Bという複数の配線
に分割することが可能である。そして、トランジスタ101_1の第1端子を配線112
Aと接続させ、トランジスタ101_2の第1端子を配線112Bと接続させることが可
能である。また、配線112A〜112Bは、他の配線、又はノードなどと接続させるこ
とが可能である。
なお、図8(A)と同様に、図4(A)〜(B)においても、配線112を複数の配線(
例えば配線112A〜112B)に分割することが可能である。
なお、図8(B)に示すように、トランジスタ101_1のゲートと第2端子との間に容
量素子121_1を接続し、トランジスタ101_2のゲートとの第2端子との間に容量
素子121_2を接続することが可能である。こうすることによって、ブートストラップ
動作時に、ノードn1の電位、又はノードn2の電位が上昇しやすくなる。よって、トラ
ンジスタ101_1、及びトランジスタ101_2のVgsを大きくすることができるの
で、これらのトランジスタのチャネル幅を小さくすることができる。又は、信号OUTの
立ち下がり時間、又は立ち上がり時間を短くすることができる。ただし、これに限定され
ず、容量素子121_1と容量素子121_2との一方を省略することが可能である。又
は、容量素子をトランジスタのゲート(ノードn1、ノードn2)と、第2端子(配線1
12)との間に接続することが可能である。又は、容量素子として、例えばMIS容量を
用いることが可能である。
なお、容量素子121_1、及び容量素子121_2の一方の電極の材料は、例えばトラ
ンジスタ101_1、及びトランジスタ101_2のゲートと同様な材料であることが好
ましい。容量素子121_1、及び容量素子121_2の他方の電極の材料は、トランジ
スタ101_1、及びトランジスタ101_2のソース又はドレインと同様な材料である
ことが好ましい。こうすることによって、レイアウト面積を小さくすることができる。又
は、容量値を大きくすることができる。ただし、これに限定されず、容量素子121_1
、及び容量素子121_2の一方の電極の材料、及び他方の電極の材料としては、様々な
材料を用いることが可能である。
なお、容量素子121_1の容量値と、容量素子121_2の容量値とはおおむね等しい
ことが好ましい。又は、容量素子121_1の一方の電極と他方の電極とが重なる面積と
、容量素子121_2の一方の電極と他方の電極とが重なる面積とは、おおむね等しいこ
とが好ましい。こうすることによって、トランジスタを切り替えて用いても、トランジス
タ101_1のVgsとトランジスタ101_2のVgsとをおおむね等しくすることが
可能なので、信号OUTの波形をおおむね等しくすることができる。ただし、これに限定
されず、容量素子121_1の容量値と、容量素子121_2の容量値とは、異なること
が可能である。又は、容量素子121_1の一方の電極と他方の電極とが重なる面積と、
容量素子121_2の一方の電極と他方の電極とが重なる面積とは、異なることが可能で
ある。
なお、図8(B)と同様に、図4(A)〜(B)、及び図8(A)においても、トランジ
スタ101_1のゲートと第2端子との間に容量素子121_1を接続することが可能で
ある。又は、トランジスタ101_2のゲートと第2端子との間に容量素子121_2を
接続することが可能である。
なお、図8(C)に示すように、回路100は、トランジスタ101_1〜101_Nと
いう複数のトランジスタを有することが可能である。トランジスタ101_1〜101_
Nの第1端子は、配線112と接続され、トランジスタ101_1〜101_Nの第2端
子は、配線111と接続される。そして、トランジスタ101_1〜101_Nのゲート
を、各々、ノードn1〜nNとする。この図8(C)の構成は、実施の形態1において、
スイッチとしてトランジスタを用いる場合の構成に対応する。よって、トランジスタ10
1_1〜101_Nは、スイッチ11_1〜11_Nと同様な機能をする。
なお、Nが大きいほど、それぞれのトランジスタがオンになる回数、又はそれぞれのトラ
ンジスタがオンになる時間が短くなるので、トランジスタの特性劣化を抑制することがで
きる。ただし、Nが大きすぎると、トランジスタの数が増えるので、回路規模が大きくな
る。よって、N<6であることが好ましい。より好ましくは、N<4であることが好まし
い。さらに好ましくはN=3、又はN=2であることが好ましい。
なお、図8(C)と同様に、図4(A)〜(B)、及び図8(A)〜(B)においても、
回路100は、トランジスタ101_1〜101_Nという複数のトランジスタを有する
ことが可能である。特に、図8(A)において、回路100がトランジスタ101_1〜
101_Nという複数のトランジスタを有する場合、配線112をN本の配線に分割する
ことが可能である。特に、図8(B)において、回路100がトランジスタ101_1〜
101_Nという複数のトランジスタを有する場合、トランジスタ101_1〜101_
Nのゲートとトランジスタ101_1〜101_Nの第2端子との間に、各々、容量素子
を接続することが可能である。
なお、図8(D)に示すように、トランジスタ101_1を、一方の端子(以下、正極と
もいう)がノードn1と接続され、他方の端子(以下、負極ともいう)が配線111と接
続されるダイオード101a_1と置き換えることが可能である。同様に、トランジスタ
101_2を、一方の端子(以下、正極ともいう)がノードn2と接続され、他方の端子
(以下、負極ともいう)が配線111と接続されるダイオード101a_2と置き換える
ことが可能である。ただし、これに限定されず、図8(E)に示すように、トランジスタ
101_1の第1端子をノードn1に接続することによって、トランジスタ101_1を
ダイオード接続された構成にすることが可能である。同様に、トランジスタ101_2の
第1端子をノードn2に接続することによって、トランジスタ101_2をダイオード接
続された構成にすることが可能である。
なお、図8(D)〜(E)と同様に、図4(A)〜(B)、及び図8(A)〜(C)にお
いても、トランジスタをダイオードに置き換えることが可能である。又は、トランジスタ
をダイオード接続された構成にすることが可能である。
なお、図8(F)に示すように、出力信号を二つに分割することが可能である。そのため
に、半導体装置は、回路120を有することが可能である。回路120は、トランジスタ
122_1〜122_2という複数のトランジスタを有する。回路120は、回路100
と同様の機能を有する。トランジスタ122_1〜122_2は、各々、トランジスタ1
01_1〜101_2と同様の機能を有する。トランジスタ122_1の第1端子は、配
線112と接続され、トランジスタ122_1の第2端子は、配線211と接続され、ト
ランジスタ122_1のゲートは、ノードn1と接続される。トランジスタ122_2の
第1端子は、配線112と接続され、トランジスタ122_2の第2端子は、配線211
と接続され、トランジスタ122_2のゲートは、ノードn2と接続される。こうして、
トランジスタ101_1とトランジスタ122_1とは、同じタイミングで制御され、ト
ランジスタ101_2とトランジスタ122_2とは、同じタイミングで制御されること
になる。したがって、配線211から出力される信号は、信号OUTとおおむね等しいタ
イミングでHレベル又はLレベルとなる。
なお、配線111から出力される信号がゲート信号、又は選択信号として機能する場合、
配線211から出力される信号は、転送用の信号、リセット信号、又はゲート信号などと
して機能することが可能である。このような場合、配線111の負荷は、配線211の負
荷よりも大きくなる場合が多いので、トランジスタ101_1のチャネル幅は、トランジ
スタ122_1のチャネル幅よりも大きいことが好ましい。同様に、トランジスタ102
_2のチャネル幅は、トランジスタ122_2のチャネル幅よりも大きいことが好ましい
。ただし、これに限定されない。
なお、図8(F)と同様に、図4(A)〜(B)、及び図8(A)〜(E)においても、
半導体装置は、回路120を有することによって、出力信号を二つに分割することが可能
である。そして、回路120は、トランジスタ122_1〜122_2という複数のトラ
ンジスタを有することが可能である。特に、図8(C)において、回路100がトランジ
スタ101_1〜101_Nという複数のトランジスタを有する場合、回路120は、N
個のトランジスタを有することが可能である。
次に、回路10の具体例について説明する。まず、図9(A)を参照して、回路10が回
路200を有する場合の構成について説明する。回路200は、回路10の一部を示す。
回路200は、配線114、配線115_1、配線115_2、ノードn1、及び/又は
、ノードn2と接続される。ただし、これに限定されず、回路200は、他の配線、又は
他のノードと接続されることが可能である。
回路200は、一つ又は二つ以上のトランジスタを有する場合が多い。これらのトランジ
スタの極性は、トランジスタ101_1〜101_2の極性と同じ場合が多く、Nチャネ
ル型である場合が多い。ただし、これに限定されず、回路200は、Pチャネル型のトラ
ンジスタを有することが可能である。又は、回路200は、Nチャネル型のトランジスタ
とPチャネル型のトランジスタとを有することが可能である。つまり、回路200は、C
MOS回路であることが可能である。
回路200は、信号SP、信号SEL1、信号SEL2、ノードn1の電位、及び/又は
、ノードn2の電位に応じて、ノードn1、及び/又は、ノードn2に信号又は電圧を供
給するタイミングを制御する機能を有する。こうして、回路200は、ノードn1の電位
、及び/又は、ノードn2の電位を制御する機能を有する。例えば、回路200は、Hレ
ベルの信号又は電圧V2をノードn1、及び/又は、ノードn2に供給する機能を有する
。又は、回路200は、Lレベルの信号又は電圧V1をノードn1、及び/又は、ノード
n2に供給する機能を有する。又は、回路200は、信号又は電圧などをノードn1、及
び/又は、ノードn2に供給しない機能を有する。又は、回路200は、ノードn1の電
位、及び/又は、ノードn2の電位を上昇させる機能を有する。又は、回路200は、ノ
ードn1の電位、及び/又は、ノードn2の電位を減少又は維持する機能を有する。又は
、回路200は、ノードn1、及び/又は、ノードn2を浮遊状態にする機能を有する。
ここで、回路200の一例について、図9(B)を参照して説明する。回路200は、ト
ランジスタ201_1〜201_2という複数のトランジスタを有する。トランジスタ2
01_1の第1端子は、配線115_1と接続され、トランジスタ201_1の第2端子
は、トランジスタ101_1のゲートと接続され、トランジスタ201_1のゲートは、
配線114と接続される。トランジスタ201_2の第1端子は、配線115_2と接続
され、トランジスタ201_2の第2端子は、トランジスタ101_2のゲートと接続さ
れ、トランジスタ201_2のゲートは、配線114と接続される。ただし、これに限定
されず、回路200としては、様々な構成を用いることが可能である。
トランジスタ201_1、及びトランジスタ201_2は、トランジスタ101_1、及
びトランジスタ101_2と同じ極性であることが好ましく、Nチャネル型とする。ただ
し、これに限定されず、トランジスタ201_1、及び/又は、トランジスタ201_2
は、Pチャネル型であることが可能である。
トランジスタ201_1は、配線114の電位に応じて、配線115_1とノードn1と
の導通状態を制御する機能を有する。又は、トランジスタ201_1は、配線114の電
位に応じて、配線115_1の電位をノードn1に供給する機能を有する。又は、トラン
ジスタ201_1は、信号SPに応じてオンまたはオフになる機能を有し、又は、トラン
ジスタ201_1は、トランジスタ101_1に信号SEL1が入力されるか否かを制御
する機能を有する。又はトランジスタ201_1は、オン又はオフになることにより信号
OUTの電位状態を設定するか否かを制御する機能を有する。トランジスタ201_2は
、配線114の電位に応じて、配線115_2とノードn2との導通状態を制御する機能
を有する。又は、トランジスタ201_2は、配線114の電位に応じて、配線115_
2の電位をノードn2に供給する機能を有する。又は、トランジスタ201_2は、信号
SPに応じてオンまたはオフになる機能を有し、又は、トランジスタ201_2は、トラ
ンジスタ101_2に信号SEL2が入力されるか否かを制御する機能を有する。又はト
ランジスタ201_2は、オン又はオフになることにより信号OUTの電位状態を設定す
るか否かを制御する機能を有する。
図9(A)の半導体装置の動作について説明する。ここでは、一例として回路200の回
路構成が図9(B)に示す回路構成である場合について説明する。期間A1において、図
10(A)に示すように、信号SPがHレベルになるので、トランジスタ201_1、及
びトランジスタ201_2はオンになる。よって、Hレベルの信号SEL1は、配線11
5_1からトランジスタ201_1を介してノードn1に供給され、Lレベルの信号SE
L2は、配線115_2からトランジスタ201_2を介してノードn2に供給される。
こうして、ノードn1の電位は上昇し始め、ノードn1の電位はV2となる。その後、ノ
ードn1の電位が配線114の電位(V2)からトランジスタ201_1の閾値電圧(V
th201_1)を引いた値(V2−Vth201_1)まで上昇したところで、トラン
ジスタ201_1はオフになる。よって、ノードn1は、電位をV2−Vth201_1
に維持したまま、浮遊状態になる。
期間B1〜E1において、信号SPがLレベルになるので、トランジスタ201_1、及
びトランジスタ201_2はオフになる。よって、配線115_1とノードn1とは非導
通状態になり、配線115_2とノードn2とは非導通状態になる。なお、期間B1にお
ける半導体装置の模式図を図10(B)に示し、期間C1における半導体装置の模式図を
図10(C)に示し、期間D1及び期間E1における半導体装置の模式図を図10(D)
に示す。
次に、期間A2において、図10(E)に示すように、信号SPがHレベルになるので、
トランジスタ201_1、及びトランジスタ201_2はオンになる。よって、Lレベル
の信号SEL1は、配線115_1からトランジスタ201_1を介してノードn1に供
給され、Hレベルの信号SEL2は、配線115_2からトランジスタ201_2を介し
てノードn2に供給される。こうして、ノードn1の電位はV1となり、ノードn2の電
位は上昇し始める。その後、ノードn2の電位が配線114の電位(V2)からトランジ
スタ201_2の閾値電圧(Vth201_2)を引いた値(V2−Vth201_2)
まで上昇したところで、トランジスタ201_2はオフになる。よって、ノードn2は、
電位をV2−Vth201_2に維持したまま、浮遊状態になる。
期間B2〜E2において、信号SPがLレベルになるので、トランジスタ201_1、及
びトランジスタ201_2はオフになる。よって、配線115_1とノードn1とは非導
通状態になり、配線115_2とノードn2とは非導通状態になる。なお、期間B2にお
ける半導体装置の模式図を図10(F)に示し、期間C2における半導体装置の模式図を
図10(G)に示し、期間D2及び期間E2における半導体装置の模式図を図10(H)
に示す。
以上のように、回路10を構成することにより、回路100のいずれかのトランジスタを
選択的にオンまたはオフさせることができる。また、回路100のトランジスタをオフさ
せる場合にも回路10からオフさせるトランジスタのゲートに電位が与えられるため、浮
遊状態になることを抑制することができる
なお、トランジスタ201_1とトランジスタ201_2とは同様の機能を有するので、
トランジスタ201_1のチャネル幅と、トランジスタ201_2のチャネル幅とは、お
おむね等しいことが好ましい。このように、トランジスタサイズをおおむね等しくするこ
とによって、電流供給能力をおおむね等しくすることができる。又は、トランジスタの劣
化の程度をおおむね等しくすることができる。よって、トランジスタを切り替えて用いて
も、ノードn1の電位とノードn2の電位とをおおむね等しくすることができるので、信
号OUTの波形をおおむね等しくすることができる。ただし、これに限定されず、トラン
ジスタ201_1のチャネル幅と、トランジスタ201_2のチャネル幅とは、異なるこ
とが可能である。
なお、トランジスタ201_1の負荷(例えばノードn1)は、トランジスタ101_1
の負荷(例えば配線111)よりも小さい場合が多いので、トランジスタ201_1のチ
ャネル幅は、トランジスタ101_1のチャネル幅よりも小さいことが好ましい。同様に
、トランジスタ201_2の負荷(例えばノードn2)は、トランジスタ101_2の負
荷(例えば配線111)よりも小さい場合が多いので、トランジスタ201_2のチャネ
ル幅は、トランジスタ101_2のチャネル幅よりも小さいことが好ましい。ただし、こ
れに限定されず、トランジスタ201_1のチャネル幅は、トランジスタ101_1のチ
ャネル幅よりも大きいことが可能である。又は、トランジスタ201_2のチャネル幅は
、トランジスタ101_2のチャネル幅よりも大きいことが可能である。
なお、図9(C)に示すように、図8(C)のように回路100がトランジスタ101_
1〜101_Nという複数のトランジスタを有する場合、回路200は、トランジスタ2
01_1〜201_Nという複数のトランジスタを有することが可能である。トランジス
タ201_1〜201_Nの第1端子は、各々、配線115_1〜115_Nと接続され
る。トランジスタ201_1〜201_Nの第2端子は、ノードn1〜nNと接続される
。トランジスタ201_1〜201_Nのゲートは、配線114と接続される。
なお、図9(D)に示すように、配線114を配線114A〜114Bという複数の配線
に分割することが可能である。よって、配線114A〜114Bは、配線114と同様の
機能を有することが可能である。トランジスタ201_1のゲートは、配線114Aと接
続され、トランジスタ201_2のゲートは、配線114Bと接続される。この場合、配
線114A、及び配線114Bには、各々、おおむね等しい波形の信号が入力されること
が可能であるし、別々の信号が入力されることが可能である。
なお、図9(D)と同様に、図9(C)においても、配線114を複数の配線に分割する
ことが可能である。
なお、図9(E)に示すように、トランジスタ201_1の第1端子と、トランジスタ2
01_2の第1端子とは、同じ配線と接続されることが可能である。図9(E)の一例で
は、トランジスタ201_1〜201_2の第1端子は、配線115_1と接続される。
ただし、これに限定されず、トランジスタ201_1〜201_2の第1端子は、他にも
様々な配線と接続されることが可能である。例えば、トランジスタ201_1〜201_
2の第1端子は、配線113、又は信号CK2が入力される配線などと接続されることが
可能である。
なお、図9(E)と同様に、図9(C)〜(D)においても、トランジスタ201_1〜
201_2の第1端子は同じ配線と接続されることが可能である。特に、図9(C)の場
合には、トランジスタ201_1〜201_Nの第1端子は、同じ配線に接続されること
が可能である。
なお、図9(F)に示すように、トランジスタ201_1の第1端子が配線114と接続
され、トランジスタ201_1の第2端子がノードn1と接続され、トランジスタ201
_1のゲートが配線115_1と接続されることが可能である。トランジスタ201_2
の第1端子が配線114と接続され、トランジスタ201_2の第2端子がノードn2と
接続され、トランジスタ201_2のゲートが配線115_2と接続されることが可能で
ある。この場合、期間T1において、信号SEL1はHレベルであり、信号SEL2はL
レベルであるとすると、トランジスタ201_1はオンになり、トランジスタ201_2
はオフになる。よって、期間A1において、Hレベルの信号SPは、配線114からトラ
ンジスタ201_1を介してノードn1に供給されるので、ノードn1の電位が上昇する
。一方で、期間T2において、信号SEL1はLレベルであり、信号SEL2はHレベル
であるとすると、トランジスタ201_1はオフになり、トランジスタ201_2はオン
になる。よって、期間A2において、Hレベルの信号SPは、配線114からトランジス
タ201_2を介してノードn2に供給されるので、ノードn2の電位が上昇する。
なお、図11(A)に示すように、トランジスタ201_1の第2端子とノードn1との
間には、ダイオード接続された構成のトランジスタ202_1が接続されることが可能で
ある。同様に、トランジスタ201_2の第2端子とノードn2との間には、ダイオード
接続された構成のトランジスタ202_2が接続されることが可能である。トランジスタ
202_1の第1端子は、トランジスタ201_1の第2端子と接続され、トランジスタ
202_1の第2端子は、ノードn1と接続され、トランジスタ202_1のゲートは、
トランジスタ201_1の第2端子と接続される。トランジスタ202_2の第1端子は
、トランジスタ201_2の第2端子と接続され、トランジスタ202_2の第2端子は
、ノードn2と接続され、トランジスタ202_2のゲートは、トランジスタ201_2
の第2端子と接続される。トランジスタ201_1、及びトランジスタ201_2は、ダ
イオードとして機能することが可能である。トランジスタ201_1は、非導通状態にな
ることによって、ノードn1の電位の減少を防ぐ機能を有する。同様に、トランジスタ2
01_2は、非導通状態になることによって、ノードn2の電位の減少を防ぐ機能を有す
る。ただし、これに限定されず、トランジスタ201_1の第2端子とノードn1との間
、及び/又は、トランジスタ201_2の第2端子とノードn2との間には、様々な素子
、又は回路を接続することが可能である。又は、トランジスタ201_1の第1端子と配
線115_1との間、及び/又は、トランジスタ201_2の第1端子と配線115_2
との間にも、様々な素子、又は回路を接続することが可能である。例えば、図11(B)
に示すように、トランジスタ202_1は、トランジスタ201_1の第1端子と配線1
15_1との間に接続されることが可能である。又は、トランジスタ202_2は、トラ
ンジスタ201_2の第1端子と配線115_2との間に接続されることが可能である。
なお、図11(A)〜(B)と同様に、図9(C)〜(F)においても、トランジスタ2
01_1の第2端子とノードn1との間、トランジスタ201_2の第2端子とノードn
2との間、トランジスタ201_1の第1端子と配線115_1との間、及び/又は、ト
ランジスタ201_2の第1端子と配線115_2との間には、様々な素子、又は回路を
接続することが可能である。図11(C)には、一例として、図9(F)において、トラ
ンジスタ201_1の第2端子とノードn1との間に、ダイオード接続された構成のトラ
ンジスタ202_1が接続され、トランジスタ201_2の第2端子とノードn2との間
に、ダイオード接続された構成のトランジスタ202_2が接続される場合の構成を示す
。図11(D)には、一例として、図9(F)において、トランジスタ201_1の第1
端子と配線114との間に、ダイオード接続された構成のトランジスタ202_1が接続
され、トランジスタ201_2の第1端子と配線114との間に、ダイオード接続された
構成のトランジスタ202_1が接続される場合の構成を示す。
なお、図11(E)に示すように、回路200は、トランジスタ203_1〜203_2
という複数のトランジスタを有することが可能である。トランジスタ203_1〜203
_2は、トランジスタ201_1〜201_2と同じ極性であることが好ましく、Nチャ
ネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ203_1〜203
_2は、Pチャネル型であることが可能である。トランジスタ203_1の第1端子は、
配線117と接続され、トランジスタ203_1の第2端子は、ノードn1と接続され、
トランジスタ203_1のゲートは、配線115_2と接続される。トランジスタ203
_2の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ203_2の第2端子は、ノー
ドn2と接続され、トランジスタ203_2のゲートは、配線115_1と接続される。
ただし、これに限定されない。例えば、トランジスタ203_1の第2端子は、ノードn
2と接続されることが可能である。又は、トランジスタ203_2の第2端子は、ノード
n1と接続されることが可能である。
なお、トランジスタ203_1は、信号SEL2に応じて、配線117とノードn1との
導通状態を制御することによって、電圧V1がノードn1に供給されるタイミングを制御
する機能を有し、スイッチとして機能することが可能である。トランジスタ203_2は
、信号SEL1に応じて、配線117とノードn2との導通状態を制御することによって
、電圧V1がノードn2に供給されるタイミングを制御する機能を有し、スイッチとして
機能することが可能である。こうして、期間T1において、トランジスタ203_2によ
って、ノードn2に電圧V1が供給される。よって、トランジスタ201_2がオフであ
っても、ノードn2の電位を固定することができる。同様に、期間T2において、トラン
ジスタ203_1によって、ノードn1に電圧V1が供給される。よって、トランジスタ
201_1がオフであっても、ノードn1の電位を固定することができる。この結果、ノ
イズに強い半導体装置を得ることができる。
なお、図11(F)に示すように、配線117を配線117A〜117Bという複数の配
線に分割することが可能である。トランジスタ203_1の第1端子、及びトランジスタ
203_2の第1端子は、各々、配線117A、配線117Bと接続されることが可能で
ある。配線117A〜117Bは、様々な配線、様々な素子、又は様々なノードと接続さ
れることが可能である。
なお、図12(A)に示すように、トランジスタ203_1の第2端子は、配線115_
1と接続され、トランジスタ203_2の第2端子は、配線115_2と接続されること
が可能である。こうすることによって、トランジスタ203_1がオフになる期間(例え
ば期間T1)において、トランジスタ203_1の第1端子にはHレベルの信号が入力さ
れる。よって、トランジスタ203_1には逆バイアスが印加されるので、劣化を抑制す
ることができる。同様に、トランジスタ203_2がオフになる期間(例えば期間T2)
において、トランジスタ203_2第1端子にはHレベルの信号が入力される。よって、
トランジスタ203_2には逆バイアスが印加されるので、劣化を抑制することができる
なお、図12(B)に示すように、トランジスタ203_1、及びトランジスタ203_
2は、ダイオード接続された構成であることが可能である。例えば、トランジスタ203
_1の第1端子は、配線115_1と接続され、トランジスタ203_1の第2端子は、
ノードn1と接続され、トランジスタ203_1のゲートは、ノードn1と接続される。
同様に、トランジスタ203_2の第1端子は、配線115_2と接続され、トランジス
タ203_2の第2端子は、ノードn2と接続され、トランジスタ203_2のゲートは
、ノードn2と接続される。この場合、期間T1において、信号SEL2がLレベルにな
ると、Lレベルの信号SEL2は、配線115_2からトランジスタ203_2を介して
ノードn2に供給される。よって、ノードn2の電位をおおむねV1になるように固定す
ることができる。一方で、期間T2において、信号SEL1がLレベルになると、Lレベ
ルの信号SEL1は、配線115_1からトランジスタ203_1を介してノードn1に
供給される。よって、ノードn1の電位をおおむねV1になるように固定することができ
る。ただし、これに限定されない。例えば、トランジスタ203_1のゲートは、配線1
15_1と接続されることが可能である。又は、トランジスタ203_2のゲートは、配
線115_2と接続されることが可能である。
なお、図11(E)〜(F)、及び図12(A)〜(B)と同様に、図9(C)〜(F)
、及び図11(A)〜(D)においても、回路200は、トランジスタ203_1〜20
3_2を有することが可能である。例えば、図12(C)には、図9(F)において、回
路200がトランジスタ203_1〜203_2を有する場合の構成を示す。図12(D
)〜(E)には、図11(A)において、回路200がトランジスタ203_1〜203
_2を有する場合の構成を示す。図12(F)には、図11(D)において、回路200
がトランジスタ203_1〜203_2を有する場合の構成を示す。
なお、トランジスタ203_1の第2端子、及びトランジスタ203_2の第2端子は、
様々な配線又はノードと接続されることが可能である。例えば、図12(E)に示すよう
に、トランジスタ203_1の第2端子は、トランジスタ201_1の第2端子と接続さ
れることが可能である。同様に、トランジスタ203_2の第2端子は、トランジスタ2
01_2の第2端子と接続されることが可能である。又は、図12(F)に示すように、
トランジスタ203_1の第2端子は、トランジスタ201_1の第1端子と接続される
ことが可能である。同様に、トランジスタ203_2の第2端子は、トランジスタ201
_2の第1端子と接続されることが可能である。
なお、図5(F)に示すように、回路200は、トランジスタ201_1〜201_2に
加え、トランジスタ203_1〜203_2という複数のトランジスタを有することが可
能である。トランジスタ203_1〜203_2は、トランジスタ201_1〜201_
2と同じ極性であることが好ましく、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限
定されず、トランジスタ203_1〜203_2は、Pチャネル型であることが可能であ
る。トランジスタ203_1の第1端子は、配線114と接続され、トランジスタ203
_1の第2端子は、ノードn1と接続され、トランジスタ203_1のゲートは、配線1
18と接続される。トランジスタ203_2の第1端子は、配線114と接続され、トラ
ンジスタ203_2の第2端子は、ノードn2と接続され、トランジスタ203_2のゲ
ートは、配線118と接続される。配線118には、信号CK2が入力されるものとする
。よって、配線118は、信号線又はクロック信号線として機能することが可能である。
ただし、これに限定されず、配線118には様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流を
入力することが可能である。トランジスタ203_1は、配線118の電位に応じて、配
線114とノードn1との導通状態を制御する機能を有する。又は、トランジスタ203
_1は、配線118の電位に応じて、配線114の電位をノードn1に供給する機能を有
する。トランジスタ203_2は、配線118の電位に応じて、配線114とノードn2
との導通状態を制御する機能を有する。又は、トランジスタ203_2は、配線118の
電位に応じて、配線114の電位をノードn2に供給する機能を有する。ただし、これに
限定されず、トランジスタ203_1〜203_2は、他にも様々な機能を有することが
可能である。
なお、トランジスタ203_1の第1端子とトランジスタ203_2の第1端子とは、別
々の配線と接続されることが可能である。なお、トランジスタ203_1のゲートとトラ
ンジスタ203_2のゲートとは、別々の配線と接続されることが可能である。
なお、図5(F)と同様に、図9(C)〜(F)、図11(A)〜(F)、及び図12(
A)〜(F)においても、トランジスタ203_1〜203_2と同様の機能を有するト
ランジスタを新たに追加することが可能である。
なお、図13(A)に示すように、トランジスタ101_1〜101_2、トランジスタ
201_1〜201_2として、Pチャネル型トランジスタを用いることが可能である。
トランジスタ101p_1〜101p_2は、トランジスタ101_1〜101_2に対
応し、Pチャネル型である。トランジスタ102p_1〜102p_2は、トランジスタ
102_1〜102_2に対応し、Pチャネル型である。そして、図13(B)に示すよ
うに、トランジスタの極性がPチャネル型の場合、配線113に電圧V1が供給され、配
線117には電圧V2が供給され、信号CK1、信号SP、信号RE、ノードn1の電位
、ノードn2の電位、及び信号OUTは、図4(B)のタイミングチャートと比較して反
転していることを付記する。
なお、図13(A)と同様に、図9(C)〜(F)、図11(A)〜(F)、及び図12
(A)〜(F)においても、トランジスタとして、Pチャネル型トランジスタを用いるこ
とが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態2で述べる回路10とは異なる構成の一例について説明す
る。なお、実施の形態1〜実施の形態2で述べる内容は、その説明を省略する。なお、本
実施の形態で述べる内容は、実施の形態1〜実施の形態2で述べる内容と適宜組み合わせ
ることができる。
まず、実施の形態2とは異なる回路10の具体例について、図14を参照して説明する。
図14の回路10は、回路200に加え、回路300を有する。回路300は、回路10
の一部である。なお、回路300の一部は、回路200と共有することができ、回路20
0の一部は、回路300と共有することが可能である。回路300は、配線113、配線
116、配線117、ノードn1、ノードn2、及び/又は、配線111と接続される。
ただし、これに限定されず、回路200は、他の配線、又は他のノードと接続されること
が可能である。
回路300は、一つ又は二つ以上のトランジスタを有する場合が多い。これらのトランジ
スタの極性は、トランジスタ101_1〜101_2の極性と同じ場合が多く、Nチャネ
ル型である場合が多い。ただし、これに限定されず、回路300は、Pチャネル型のトラ
ンジスタを有することが可能である。又は、回路300は、Nチャネル型のトランジスタ
とPチャネル型のトランジスタとを有することが可能である。つまり、回路300は、C
MOS回路であることが可能である。
回路300は、信号RE、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、信号OU
Tの立ち下がり時間に応じて、ノードn1、ノードn2、及び/又は、配線111に信号
又は電圧を供給するタイミングを制御する機能を有する。こうして、回路200は、ノー
ドn1の電位、ノードn2の電位、及び/又は、配線111の電位を制御する機能を有す
る。例えば、回路200は、Lレベルの信号又は電圧V1をノードn1、ノードn2、及
び/又は、配線111に供給する機能を有する。
次に、回路300の一例について、図15(A)を参照して説明する。図15(A)の一
例では、回路300は、トランジスタ301_1〜301_2という複数のトランジスタ
、トランジスタ302、トランジスタ303_1〜303_2という複数のトランジスタ
、トランジスタ304、回路310_1〜310_2という複数の回路、及び回路320
を有する。
なお、トランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302、トランジスタ303
_1〜303_2、及びトランジスタ304は、一例としてNチャネル型であるものとす
る。ただし、これに限定されず、トランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ3
02、トランジスタ303_1〜303_2、及び/又は、トランジスタ304は、Pチ
ャネル型であることが可能である。
なお、一例として、図15(B)に示すように、回路310_1〜310_2、及び回路
320としては、インバータ回路を用いることが可能である。ただし、これに限定されず
、回路310_1〜310_2、及び回路320としては、他にも様々な回路を用いるこ
とが可能である。
次に、図15(A)の回路300の接続関係について説明する。トランジスタ301_1
の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ301_1の第2端子は、ノードn
1と接続される。トランジスタ301_2の第1端子は、配線117と接続され、トラン
ジスタ301_2の第2端子は、ノードn2と接続される。トランジスタ302の第1端
子は、配線117と接続され、トランジスタ302の第2端子は、配線111と接続され
る。トランジスタ303_1の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ303
_1の第2端子は、ノードn1と接続され、トランジスタ303_1のゲートは、配線1
16と接続される。トランジスタ303_2の第1端子は、配線117と接続され、トラ
ンジスタ303_2の第2端子は、ノードn2と接続され、トランジスタ303_2のゲ
ートは、配線116と接続される。トランジスタ304の第1端子は、配線117と接続
され、トランジスタ304の第2端子は、配線111と接続され、トランジスタ304の
ゲートは、配線116と接続される。回路310_1は、配線113、ノードn1、配線
117、及びトランジスタ301_1のゲートと接続される。回路310_2は、配線1
13、ノードn2、配線117、及びトランジスタ301_2のゲートと接続される。回
路320は、配線113、配線111、配線117、及びトランジスタ302のゲートと
接続される。
次に、回路310_1〜310_2、及び回路320が有する機能について説明する。回
路310_1は、ノードn1の電位に応じて、トランジスタ301_1のゲートの電位を
制御することによって、トランジスタ301_1の導通状態を制御する機能を有し、制御
回路として機能することが可能である。回路310_2は、ノードn2の電位に応じて、
トランジスタ301_2のゲートの電位を制御することによって、トランジスタ301_
2の導通状態を制御する機能を有し、制御回路として機能することが可能である。回路3
20は、配線111の電位に応じて、トランジスタ302のゲートの電位を制御すること
によって、トランジスタ302の導通状態を制御する機能を有し、制御回路として機能す
ることが可能である。ただし、これに限定されず、回路310_1〜310_2、及び回
路320は、他にも様々な機能を有することが可能である。
次に、トランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302、トランジスタ303
_1〜303_2、及びトランジスタ304が有する機能について説明する。トランジス
タ301_1は、回路310_1の出力信号に応じて、配線117とノードn1との導通
状態を制御することによって、電圧V1をノードn1に供給するタイミングを制御する機
能を有し、スイッチとして機能することが可能である。トランジスタ301_2は、回路
310_2の出力信号に応じて、配線117とノードn2との導通状態を制御することに
よって、電圧V1をノードn2に供給するタイミングを制御する機能を有し、スイッチと
して機能することが可能である。トランジスタ302は、回路320の出力信号に応じて
、配線117と配線111との導通状態を制御することによって、電圧V1を配線111
に供給するタイミングを制御する機能を有し、スイッチとして機能することが可能である
。トランジスタ303_1は、信号REに応じて、配線117とノードn1との導通状態
を制御することによって、電圧V1をノードn1に供給するタイミングを制御する機能を
有し、スイッチとして機能することが可能である。トランジスタ303_2は、信号RE
に応じて、配線117とノードn2との導通状態を制御することによって、電圧V1をノ
ードn2に供給するタイミングを制御する機能を有し、スイッチとして機能することが可
能である。トランジスタ304は、信号REに応じて、配線117と配線111との導通
状態を制御することによって、電圧V1を配線111に供給するタイミングを制御する機
能を有し、スイッチとして機能することが可能である。ただし、これに限定されず、トラ
ンジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302、トランジスタ303_1〜30
3_2、及びトランジスタ304は、他にも様々な機能を有することが可能である。
次に、図15(A)の回路300の動作の一例について説明する。なお、図15(A)の
半導体装置の動作は、図4(A)の半導体装置の動作と共通する部分があるため、図4(
C)のタイミングチャートを参照して説明する。なお、実施の形態1〜実施の形態2と共
通するところは、その説明を省略する。
まず、期間A1において、図16(A)に示すように、信号REはLレベルになるので、
トランジスタ303_1〜303_2、及びトランジスタ304はオフになる。回路31
0_1の出力信号は、ノードn1の電位が例えばV2+Vth101_1+Vxになるの
で、Lレベルになる。よって、トランジスタ301_1はオフになる。回路310_2の
出力信号は、ノードn2の電位がおおむねV1になるので、Hレベルになる。よって、ト
ランジスタ301_2はオンになる。回路320の出力信号は、配線111の電位がおお
むねV1になるので、Hレベルになる。よって、トランジスタ302はオンになる。この
結果、配線117とノードn1とは非導通状態になり、配線117とノードn2とはトラ
ンジスタ301_2を介して導通状態になり、配線117と配線111とはトランジスタ
302を介して導通状態になる。よって、電圧V1は、配線117からトランジスタ30
1_2を介してノードn2に供給される。電圧V1は、配線117からトランジスタ30
2を介して配線111に供給される。
一方で、期間A2では、図16(B)に示すように、回路310_1の出力信号は、ノー
ドn1の電位がおおむねV1になるので、Hレベルになり、回路310_2の出力信号は
、ノードn2の電位が例えばV2+Vth101_2+Vxになるので、Lレベルになる
ところが、期間A1とは異なる。よって、トランジスタ301_1はオンになり、トラン
ジスタ301_2はオフになる。この結果、配線117とノードn1とはトランジスタ3
01_1を介して導通状態になり、配線117とノードn2とは非導通状態になる。よっ
て、電圧V1は、配線117を介してノードn1に供給される。
次に、期間B1において、図16(C)に示すように、信号REはLレベルのままなので
、トランジスタ303_1〜303_2、及びトランジスタ304はオフのままである。
回路310_1の出力信号は、ノードn1の電位が例えばV2+Vth101_1+Vx
のままなので、Lレベルのままである。よって、トランジスタ301_1はオフのままに
なる。回路310_2の出力信号は、ノードn2の電位がおおむねV1のままなので、H
レベルのままになる。よって、トランジスタ301_2はオンのままになる。回路320
の出力信号は、配線111の電位がおおむねV2になるので、Lレベルになる。よって、
トランジスタ302はオフになる。この結果、配線117とノードn1とは非導通状態の
ままになり、配線117とノードn2とはトランジスタ301_2を介して導通状態のま
まになり、配線117と配線111とは非導通状態になる。よって、電圧V1は、配線1
17からトランジスタ301_2を介してノードn2に供給される。
一方で、期間B2では、図17(A)に示すように、回路310_1の出力信号は、ノー
ドn1の電位がおおむねV1のままなので、Lレベルのままになり、回路310_2の出
力信号は、ノードn2の電位が例えばおおむねV2+Vth101_2+Vxのままなの
で、Lレベルのままになるところが、期間B1とは異なる。よって、トランジスタ301
_1はオンのままになり、トランジスタ301_2はオフのままになる。この結果、配線
117とノードn1とはトランジスタ301_1を介して導通状態のままになり、配線1
17とノードn2とは非導通状態のままになる。よって、電圧V1は、配線117を介し
てノードn1に供給される。
次に、期間C1、及び期間C2において、図17(B)に示すように、信号REはHレベ
ルになるので、トランジスタ303_1〜303_2、及びトランジスタ304はオンに
なる。回路310_1の出力信号は、ノードn1の電位がおおむねV1になるので、Hレ
ベルになる。よって、トランジスタ301_1はオンになる。回路310_2の出力信号
は、ノードn2の電位がおおむねV1になるので、Hレベルになる。よって、トランジス
タ301_2はオンになる。回路320の出力信号は、配線111の電位がおおむねV1
になるので、Hレベルになる。よって、トランジスタ302はオンになる。この結果、配
線117とノードn1とはトランジスタ301_1及びトランジスタ303_1を介して
導通状態になり、配線117とノードn2とはトランジスタ301_2及びトランジスタ
303_2を介して導通状態になり、配線117と配線111とはトランジスタ302及
びトランジスタ304を介して導通状態になる。よって、電圧V1は、配線117からト
ランジスタ301_1及びトランジスタ303_1を介してノードn1に供給される。電
圧V1は、配線117からトランジスタ301_2及びトランジスタ303_2を介して
ノードn2に供給される。電圧V1は、配線117からトランジスタ302及びトランジ
スタ304を介して配線111に供給される。
次に、期間D1、期間D2、期間E1、期間E2において、図17(C)に示すように、
信号REはLレベルになるので、トランジスタ303_1〜303_2、及びトランジス
タ304はオフになる。回路310_1の出力信号は、ノードn1の電位がおおむねV1
のままなので、Hレベルのままである。よって、トランジスタ301_1はオンのままに
なる。回路310_2の出力信号は、ノードn2の電位がおおむねV1のままなので、H
レベルのままになる。よって、トランジスタ301_2はオンのままになる。回路320
の出力信号は、配線111の電位がおおむねV1のままなので、Hレベルのままになる。
よって、トランジスタ302はオンのままになる。この結果、配線117とノードn1と
はトランジスタ301_1を介して導通状態のままになり、配線117とノードn2とは
トランジスタ301_2を介して導通状態のままになり、配線117と配線111とはト
ランジスタ302を介して導通状態のままになる。よって、電圧V1は、配線117から
トランジスタ301_1を介してノードn1に供給される。電圧V1は、配線117から
トランジスタ301_2を介してノードn2に供給される。電圧V1は、配線117から
トランジスタ302を介して配線111に供給される。
なお、トランジスタ301_1〜301_2は、互いに同様の機能を有するので、これら
のチャネル幅はおおむね等しいことが好ましい。同様に、トランジスタ303_1〜30
3_2は、同様の機能を有するので、これらのチャネル幅はおおむね等しいことが好まし
い。ただし、これに限定されず、トランジスタ301_1〜301_2は、互いにチャネ
ル幅が異なる構造とすることが可能である。又は、トランジスタ303_1〜303_2
は、互いにチャネル幅が異なる構造とすることが可能である。
なお、トランジスタ301_1〜301_2は、ノードn1〜n2に電圧V1を供給する
タイミングを制御する機能を有し、トランジスタ302は、配線111に電圧V1を供給
するタイミングを制御する機能を有する。ノードn1〜n2の負荷は、配線111の負荷
よりも小さい場合が多いので、トランジスタ301_1〜301_2のチャネル幅は、ト
ランジスタ302のチャネル幅よりも小さいことが好ましい。同様の理由で、トランジス
タ303_1〜303_2のチャネル幅は、トランジスタ304のチャネル幅よりも小さ
いことが好ましい。ただし、これに限定されず、トランジスタ301_1〜301_2の
チャネル幅は、トランジスタ302のチャネル幅よりも大きい、又はおおむね等しいこと
が可能である。又は、トランジスタ303_1〜303_2のチャネル幅は、トランジス
タ304のチャネル幅よりも大きい、又はおおむね等しいことが可能である。
なお、図18(A)に示すように、実施の形態1〜実施の形態2と同様に、配線117を
配線117C〜117Kという複数の配線に分割することが可能である。配線117C、
配線117D、配線117E、配線117F、配線117G、配線117H、配線117
I、配線117J、及び配線117Kは、各々、トランジスタ303_1の第1端子、ト
ランジスタ303_2の第1端子、トランジスタ304の第1端子、回路310_1、ト
ランジスタ301_1の第1端子、回路310_2、トランジスタ301_2の第1端子
、回路320、トランジスタ302の第1端子と接続されることが可能である。配線11
7C〜117Kは、配線111、配線112、配線113、配線114、配線115_1
〜115_2、配線116、配線118、若しくは配線211などの様々な配線、又はノ
ードn1〜n2などの様々なノードと接続されることが可能である。ただし、これに限定
されず、配線113も同様に複数の配線に分割することが可能である。
なお、図18(B)に示すように、トランジスタ303_1の第1端子、トランジスタ3
03_2の第1端子、及びトランジスタ304の第1端子は、配線118と接続されるこ
とが可能である。
なお、図18(C)に示すように、トランジスタ304を省略することが可能である。た
だし、これに限定されず、トランジスタ303_1、及び/又は、トランジスタ303_
2を省略することが可能である。
なお、図18(C)と同様に、図18(A)〜(B)においても、トランジスタ303_
1、トランジスタ303_2、及び/又は、トランジスタ304を省略することが可能で
ある。
なお、図19(A)に示すように、回路320、及びトランジスタ302を省略すること
が可能である。ただし、これに限定されず、回路310_1、及びトランジスタ301_
1を省略することが可能であるし、回路310_1、及びトランジスタ301_2を省略
することが可能である。
なお、図19(A)と同様に、図18(A)〜(C)においても、回路310_1、及び
トランジスタ301_1を省略することが可能であるし、回路310_1、及びトランジ
スタ301_2を省略することが可能であるし、回路320、及びトランジスタ302を
省略することが可能である。
なお、図19(B)に示すように、トランジスタ301_1を、一方の端子(以下、正極
ともいう)がノードn1と接続され、他方の端子(以下、負極ともいう)が回路310_
1の出力端子と接続されるダイオード301a_1と置き換えることが可能である。又は
、トランジスタ301_2を、一方の端子(以下、正極ともいう)がノードn2と接続さ
れ、他方の端子(以下、負極ともいう)が回路310_2の出力端子と接続されるダイオ
ード301a_2と置き換えることが可能である。又は、トランジスタ302を、一方の
端子(以下、正極ともいう)が配線111と接続され、他方の端子(以下、負極ともいう
)が回路320の出力端子と接続されるダイオード302aと置き換えることが可能であ
る。又は、トランジスタ303_1を、一方の端子(以下、正極ともいう)がノードn1
と接続され、他方の端子(以下、負極ともいう)が配線116と接続されるダイオード3
03a_1と置き換えることが可能である。又は、トランジスタ303_2を、一方の端
子(以下、正極ともいう)がノードn2と接続され、他方の端子(以下、負極ともいう)
が配線116と接続されるダイオード303a_2と置き換えることが可能である。又は
、トランジスタ304を、一方の端子(以下、正極ともいう)が配線111と接続され、
他方の端子(以下、負極ともいう)が配線116と接続されるダイオード304aと置き
換えることが可能である。ただし、これに限定されず、各トランジスタのゲートと、第2
端子と接続することによって、トランジスタをダイオード接続させた構成にすることが可
能である。又は、各トランジスタのゲートと、第1端子と接続することによって、トラン
ジスタをダイオード接続させた構成にすることが可能である。
なお、図19(B)と同様に、図18(A)〜(C)、及び図19(A)においても、ト
ランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302、トランジスタ303_1〜3
03_2、及び/又は、トランジスタ304をダイオードに置き換えることが可能である
。又は、これらのトランジスタを、ダイオード接続された構成にすることが可能である。
なお、図19(C)に示すように、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジ
スタ302の導通状態を制御するための回路をトランジスタ301_1〜301_2、及
びトランジスタ302で共有することが可能である。回路330は、ノードn1〜n2の
電位に応じて、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジスタ302のゲート
の電位を制御することによって、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジス
タ302の導通状態を制御する機能を有し、制御回路として機能することが可能である。
図4(C)に示す期間A1、期間A2、期間B1、及び期間B2では、回路330の出力
信号は、ノードn1の電位又はノードn2の電位がV1よりも高い電位なので、Lレベル
になる。よって、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジスタ302はオフ
になる。期間C1、期間C2、期間D1、期間D2、期間E1、及び期間E2では、回路
330の出力信号は、ノードn1の電位又はノードn2の電位がおおむねV1なので、H
レベルになる。よって、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジスタ302
はオンになる。
なお、図19(C)と同様に、図18(A)〜(C)、及び図19(A)〜(B)におい
ても、トランジスタ301_1〜301_2、及びトランジスタ302の導通状態を制御
するための回路を共有することが可能である。
なお、図20(A)に示すように、図10(C)のように回路100がトランジスタ10
1_1〜101_Nという複数のトランジスタを有する場合、回路300は、トランジス
タ301_1〜301_Nという複数のトランジスタ、トランジスタ303_1〜303
_Nという複数のトランジスタ、及び回路310_1〜310_Nという複数の回路を有
することが可能である。トランジスタ301_1〜301_Nは、トランジスタ301_
1又はトランジスタ301_2に対応し、同様の機能を有する。トランジスタ303_1
〜303_Nは、トランジスタ303_1又はトランジスタ303_2に対応し、同様の
機能を有する。回路310_1〜310_Nは、回路310_1又は回路310_2に対
応し、同様の機能を有する。トランジスタ301_1〜301_Nの第1端子は、配線1
17と接続される。トランジスタ301_1〜301_Nの第2端子は、各々、ノードn
1〜nNと接続される。トランジスタ301_1〜301_Nのゲートは、各々、回路3
10_1〜310_Nの出力端子と接続される。トランジスタ303_1〜303_Nの
第1端子は、配線117と接続される。トランジスタ303_1〜303_Nの第2端子
は、各々、ノードn1〜nNと接続される。トランジスタ303_1〜303_Nのゲー
トは、配線116と接続される。
なお、図20(A)と同様に、図18(A)〜(C)、及び図19(A)〜(C)におい
ても、回路300は、トランジスタ301_1〜301_Nという複数のトランジスタ、
トランジスタ303_1〜303_Nという複数のトランジスタ、及び/又は、回路31
0_1〜310_Nという複数の回路を有することが可能である。
なお、図8(F)のように半導体装置が回路120を有する場合、図20(B)に示すよ
うに、回路300は、トランジスタ342、及びトランジスタ344を有することが可能
である。トランジスタ342は、トランジスタ302に対応し、同様の機能を有する。ト
ランジスタ344は、トランジスタ304に対応し、同様の機能を有する。トランジスタ
342の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ342の第2端子は、配線2
11と接続され、トランジスタ342のゲートは、トランジスタ302のゲートと接続さ
れる。トランジスタ344の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ344の
第2端子は、配線211と接続され、トランジスタ344のゲートは、配線116と接続
される。
なお、図20(B)と同様に、図18(A)〜(C)、図19(A)〜(C)、及び図2
0(A)においても、回路300は、トランジスタ342、及び/又は、トランジスタ3
44を有することが可能である。
なお、図21に示すように、トランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302
、トランジスタ303_1〜303_2、及びトランジスタ304として、Pチャネル型
トランジスタを用いることが可能である。トランジスタ301p_1〜301p_2、ト
ランジスタ302p、トランジスタ303p_1〜303p_2、及びトランジスタ30
4pは、各々、トランジスタ301_1〜301_2、トランジスタ302、トランジス
タ303_1〜303_2、及びトランジスタ304に対応し、Pチャネル型である。な
お、トランジスタの極性がPチャネル型の場合、配線113に電圧V1が供給され、配線
117には電圧V2が供給され、回路310_1の出力信号、回路310_2の出力信号
、回路320の出力信号、ノードn1の電位、ノードn2の電位、及び信号OUTは、ト
ランジスタの極性がNチャネル型の場合と比較して反転していることを付記する。
なお、図21と同様に、図18(A)〜(C)、図19(A)〜(C)、及び図20(A
)〜(B)においても、トランジスタとして、Pチャネル型トランジスタを用いることが
可能である。
次に、回路310_1〜310_2、及び回路320の具体例について説明する。
まず、図22(A)には、回路310_1の一例を示す。回路310_1は、トランジス
タ311_1、及びトランジスタ312_1を有する。トランジスタ311_1の第1端
子は、配線113と接続され、トランジスタ311_1の第2端子は、トランジスタ30
1_1のゲートと接続され、トランジスタ311_1のゲートは、配線113と接続され
る。トランジスタ312_1の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ312
_2の第2端子は、トランジスタ301_1のゲートと接続され、トランジスタ312_
2のゲートは、ノードn1と接続される。トランジスタ311_1、及びトランジスタ3
12_1は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ
311_1、及び/又は、トランジスタ312_1は、Pチャネル型であることが可能で
ある。トランジスタ311_1は、トランジスタ301_1のゲートの電位がおおむねV
1になる場合に、トランジスタ301_1のゲートの電位を上昇させる機能を有し、ダイ
オードとして機能することが可能である。トランジスタ312_1は、ノードn1の電位
に応じて、配線117とトランジスタ301_1との導通状態を制御することによって、
電圧V1をトランジスタ301_1のゲートに供給するタイミングを制御する機能を有し
、スイッチとして機能することが可能である。
図22(A)に示す回路310_1の動作について説明する。期間A1及び期間B1にお
いて、ノードn1の電位はトランジスタ312_1の閾値電圧よりも高い値になるので、
トランジスタ312_1はオンになる。よって、トランジスタ312_1のチャネル幅を
トランジスタ311_1のチャネル幅よりも大きくすることによって、トランジスタ30
1_1のゲートの電位はおおむねV1になる。例えば、トランジスタ301_1のゲート
の電位は、配線117の電位(V1)とトランジスタ301_1の閾値電圧(Vth30
1_1)との和よりも小さい値になる。期間A2、期間B2、期間C1、期間C2、期間
D1、期間D2、期間E1、及び期間E2において、ノードn1の電位はおおむねV1に
なるので、トランジスタ312_1はオフになる。よって、トランジスタ301_1のゲ
ートの電位は、配線113の電位(V2)からトランジスタ311_1の閾値電圧(Vt
h311_1)を引いた値(V2−Vth311_1)になる。
なお、トランジスタ312_1のチャネル幅は、トランジスタ311_1のチャネル幅の
2倍以上であることが好ましい。より好ましくは、4倍以上であることが好ましい。さら
に好ましくは、8倍以上であることが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ311_1のゲート及び第1端子は、様々な配線と接続されることが
可能である。例えば、トランジスタ311_1のゲート及び第1端子は、配線112又は
配線118と接続されることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ312_1の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ312_1の第1の配線は、配線115_2と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、図22(B)に示すように、回路310_1は、トランジスタ311_1、及びト
ランジスタ312_1に加え、トランジスタ313_1及びトランジスタ314_1を有
することが可能である。トランジスタ313_1の第1端子は、配線113と接続され、
トランジスタ313_1の第2端子は、トランジスタ301_1のゲートと接続され、ト
ランジスタ313_1のゲートは、トランジスタ311_1の第2端子及びトランジスタ
312_1の第2端子と接続される。トランジスタ311_1、及びトランジスタ312
_1は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ31
1_1、及び/又はトランジスタ312_1は、Pチャネル型であることが可能である。
トランジスタ313_1は、配線113に供給される電圧をトランジスタ301_1に供
給するタイミングを制御する機能を有し、ブートストラップ用トランジスタ、又はスイッ
チとして機能することが可能である。トランジスタ314_1の第1端子は、配線117
に接続され、トランジスタ314_1の第2端子は、トランジスタ313_1の第2端子
に接続され、トランジスタ314_1のゲートは、ノードn1に接続される。トランジス
タ314_1は、ノードn1の電位に応じて、配線117とトランジスタ301_1との
導通状態を制御することによって、電圧V1をトランジスタ301_1のゲートに供給す
るタイミングを制御する機能を有し、スイッチとして機能することが可能である。
なお、トランジスタ313_1の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ313_1の第1端子は、配線112又は配線118と接続され
ることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ314_1の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ314_1の第1の配線は、配線115_2と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、図22(B)において、図22(C)に示すように、トランジスタ313_1のゲ
ートと第2端子との間に、容量素子315_1を接続することが可能である。
なお、図22(D)に示すように、回路300は、トランジスタ316_1を有すること
が可能である。トランジスタ316_1の第1端子は、配線117と接続され、トランジ
スタ316_1の第2端子は、トランジスタ301_1のゲートと接続され、トランジス
タ316_1のゲートは、配線114と接続される。トランジスタ316_1は、Nチャ
ネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ316_1は、Pチ
ャネル型であることが可能である。トランジスタ316_1は、信号SPに応じて、配線
117とトランジスタ301_1のゲートとの間の導通状態を制御することによって、電
圧V1がトランジスタ301_1に供給されるタイミングを制御する機能を有する。
なお、図22(D)と同様に、図22(B)〜(C)においても、第1端子が配線117
と接続され、第2端子がトランジスタ301_1のゲートと接続され、ゲートが配線11
4と接続されるトランジスタ316_1を新たに追加することが可能である。
次に、図23(A)に回路310_2の一例を示す。回路310_2は、トランジスタ3
11_2、及びトランジスタ312_2を有する。トランジスタ311_2の第1端子は
、配線113と接続され、トランジスタ311_2の第2端子は、トランジスタ301_
2のゲートと接続され、トランジスタ311_2のゲートは、配線113と接続される。
トランジスタ312_2の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ312_2
の第2端子は、トランジスタ301_2のゲートと接続され、トランジスタ312_2の
ゲートは、ノードn2と接続される。トランジスタ311_2、及びトランジスタ312
_2は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ31
1_2、及び/又は、トランジスタ312_2は、Pチャネル型であることが可能である
。トランジスタ311_2は、トランジスタ301_2のゲートの電位がおおむねV1と
なる場合に、トランジスタ301_2のゲートの電位を上昇させる機能を有し、ダイオー
ドとして機能することが可能である。トランジスタ312_2は、ノードn2の電位に応
じて、配線117とトランジスタ301_2との導通状態を制御することによって、電圧
V1をトランジスタ301_2のゲートに供給するタイミングを制御する機能を有し、ス
イッチとして機能することが可能である。
図23(A)に示す回路310_2の動作について説明する。期間A1及び期間B1にお
いて、ノードn2の電位はトランジスタ312_2の閾値電圧より高い値になるので、ト
ランジスタ312_2はオンになる。よって、トランジスタ312_2のチャネル幅をト
ランジスタ311_2のチャネル幅よりも大きくすることによって、トランジスタ301
_2のゲートの電位はおおむねV1になる。例えば、トランジスタ301_2のゲートの
電位は、配線117の電位(V1)とトランジスタ301_2の閾値電圧(Vth301
_2)との和よりも小さい値になる。期間A2、期間B2、期間C1、期間C2、期間D
1、期間D2、期間E1、及び期間E2において、ノードn2の電位はおおむねV1にな
るので、トランジスタ312_2はオフになる。よって、トランジスタ301_2のゲー
トの電位は、配線113の電位(V2)からトランジスタ311_2の閾値電圧(Vth
311_2)を引いた値(V2−Vth311_2)になる。
なお、トランジスタ312_2のチャネル幅は、トランジスタ311_2のチャネル幅の
2倍以上であることが好ましい。より好ましくは、4倍以上であることが好ましい。さら
に好ましくは、8倍以上であることが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ311_2のゲート及び第1端子は、様々な配線と接続されることが
可能である。例えば、トランジスタ311_2のゲート及び第1端子は、配線112又は
配線118と接続されることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ312_2の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ312_2の第1の端子は、配線115_1と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、図23(B)に示すように、回路310_2は、トランジスタ311_2、及びト
ランジスタ312_2に加え、トランジスタ313_2及びトランジスタ314_2を有
することが可能である。トランジスタ313_2の第1端子は、配線113と接続され、
トランジスタ313_2の第2端子は、トランジスタ301_2のゲートと接続され、ト
ランジスタ313_2のゲートは、トランジスタ311_2の第2端子及びトランジスタ
312_2の第2端子と接続される。トランジスタ311_2、及びトランジスタ312
_2は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ31
1_2、及び/又はトランジスタ312_2は、Pチャネル型であることが可能である。
トランジスタ313_2は、配線113に供給される電圧をトランジスタ301_2に供
給するタイミングを制御する機能を有し、ブートストラップ用トランジスタ、又はスイッ
チとして機能することが可能である。トランジスタ314_2は、ノードn2の電位に応
じて、配線117とトランジスタ301_2との導通状態を制御することによって、電圧
V1をトランジスタ301_2のゲートに供給するタイミングを制御する機能を有し、ス
イッチとして機能することが可能である。
なお、トランジスタ313_2の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ313_2の第1端子は、配線112又は配線118と接続され
ることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ314_2の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である
。例えば、トランジスタ314_2の第1の配線は、配線115_1と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、図23(C)に示すように、トランジスタ313_2のゲートと第2端子との間に
、容量素子315_2を接続することが可能である。
なお、図23(D)に示すように、回路300は、トランジスタ316_2を有すること
が可能である。トランジスタ316_2の第1端子は、配線117と接続され、トランジ
スタ316_2の第2端子は、トランジスタ301_2のゲートと接続され、トランジス
タ316_2のゲートは、配線114と接続される。トランジスタ316_2は、Nチャ
ネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ316_2は、Pチ
ャネル型であることが可能である。トランジスタ316_2は、信号SPに応じて、配線
117とトランジスタ301_2のゲートとの間の導通状態を制御することによって、電
圧V1がトランジスタ301_2に供給されるタイミングを制御する機能を有する。
なお、図23(D)と同様に、図23(B)〜(C)においても、第1端子が配線117
と接続され、第2端子がトランジスタ301_2のゲートと接続され、ゲートが配線11
4と接続されるトランジスタ316_2を新たに追加することが可能である。
次に、図24(A)に回路320の一例を示す。回路320は、トランジスタ321、及
びトランジスタ322を有する。トランジスタ321の第1端子は、配線113と接続さ
れ、トランジスタ321の第2端子は、トランジスタ302のゲートと接続され、トラン
ジスタ321のゲートは、配線113と接続される。トランジスタ322の第1端子は、
配線117と接続され、トランジスタ322の第2端子は、トランジスタ302のゲート
と接続され、トランジスタ322のゲートは、配線111と接続される。トランジスタ3
21、及びトランジスタ322は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定
されず、トランジスタ321、及び/又は、トランジスタ322は、Pチャネル型である
ことが可能である。トランジスタ321は、トランジスタ302のゲートの電位がおおむ
ねV1になる場合に、トランジスタ302のゲートの電位を上昇させる機能を有し、ダイ
オードとして機能することが可能である。トランジスタ322は、配線111の電位に応
じて、配線117とトランジスタ302との導通状態を制御することによって、電圧V1
をトランジスタ302のゲートに供給するタイミングを制御する機能を有し、スイッチと
して機能することが可能である。
図24(A)に示す回路320の動作について説明する。図4(C)に示す期間B1及び
期間B2において、配線111の電位がトランジスタ322の閾値電圧よりも高い値にな
るので、トランジスタ322はオンになる。よって、トランジスタ322のチャネル幅を
トランジスタ321のチャネル幅よりも大きくすることによって、トランジスタ302の
ゲートの電位はおおむねV1になる。例えば、トランジスタ302のゲートの電位は、配
線117の電位(V1)とトランジスタ302の閾値電圧(Vth302)との和よりも
小さい値になる。期間A1、期間A2、期間C1、期間C2、期間D1、期間D2、期間
E1、及び期間E2において、配線111の電位はおおむねV1になるので、トランジス
タ322はオフになる。よって、トランジスタ302のゲートの電位は、配線113の電
位(V2)からトランジスタ321の閾値電圧(Vth321)を引いた値(V2−Vt
h321)になる。
なお、トランジスタ322のチャネル幅は、トランジスタ321のチャネル幅の2倍以上
であることが好ましい。より好ましくは、4倍以上であることが好ましい。さらに好まし
くは、8倍以上であることが好ましい。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ321のゲート及び第1端子は、様々な配線と接続されることが可能
である。例えば、トランジスタ321のゲート及び第1端子は、配線112又は配線11
8と接続されることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ322の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である。例
えば、トランジスタ322の第1の配線は、配線112と接続されることが可能である。
ただし、これに限定されない。
なお、図24(B)に示すように、回路320は、トランジスタ321、及びトランジス
タ322に加え、トランジスタ323及びトランジスタ324を有することが可能である
。トランジスタ323の第1端子は、配線113と接続され、トランジスタ323の第2
端子は、トランジスタ302のゲートと接続され、トランジスタ323のゲートは、トラ
ンジスタ321の第2端子及びトランジスタ322の第2端子と接続される。トランジス
タ324の第1端子は、トランジスタ323の第2端子と接続され、トランジスタ324
の第2端子は、配線117と接続され、トランジスタ324のゲートは、配線111と接
続される。トランジスタ323、及びトランジスタ324は、Nチャネル型であるものと
する。ただし、これに限定されず、トランジスタ323、及び/又はトランジスタ324
は、Pチャネル型であることが可能である。トランジスタ323は、配線113に供給さ
れる電圧をトランジスタ302に供給するタイミングを制御する機能を有し、ブートスト
ラップ用トランジスタ、又はスイッチとして機能することが可能である。トランジスタ3
24は、配線111の電位に応じて、配線117とトランジスタ302のゲートとの導通
状態を制御することによって、電圧V1をトランジスタ302のゲートに供給するタイミ
ングを制御する機能を有し、スイッチとして機能することが可能である。
なお、トランジスタ323の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である。例
えば、トランジスタ323の第1の配線は、配線112、配線118と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ324の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である。例
えば、トランジスタ324の第1端子は、配線118と接続されることが可能である。
なお、図24(C)に示すように、図24(B)に示す構成に加え、トランジスタ323
のゲートと第2端子との間に、容量素子325を接続することが可能である。
なお、図24(D)に示すように、回路320は、トランジスタ326を有することが可
能である。トランジスタ326の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ32
6の第2端子は、トランジスタ302のゲートと接続され、トランジスタ326のゲート
は、配線114と接続される。トランジスタ326は、Nチャネル型であるものとする。
ただし、これに限定されず、トランジスタ326は、Pチャネル型であることが可能であ
る。トランジスタ326は、信号SPに応じて、配線117とトランジスタ302のゲー
トとの間の導通状態を制御することによって、電圧V1がトランジスタ302に供給され
るタイミングを制御する機能を有する。
なお、図24(D)と同様に、図24(B)〜(C)においても、第1端子が配線117
と接続され、第2端子がトランジスタ302のゲートと接続され、ゲートが配線114と
接続されるトランジスタ326を新たに追加することが可能である。
次に、図25(A)には、回路330の一例を示す。回路330は、トランジスタ331
、トランジスタ332、トランジスタ333を有する。トランジスタ331の第1端子は
、配線113と接続され、トランジスタ331の第2端子は、トランジスタ301_1の
ゲート、トランジスタ301_2のゲート、及びトランジスタ302のゲートと接続され
、トランジスタ331のゲートは、配線113と接続される。トランジスタ332の第1
端子は、配線117と接続され、トランジスタ332の第2端子は、トランジスタ331
の第2端子と接続され、トランジスタ332のゲートは、ノードn1と接続される。トラ
ンジスタ333の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ333の第2端子は
、トランジスタ331の第2端子と接続され、トランジスタ333のゲートは、ノードn
2と接続される。トランジスタ331、トランジスタ332、及びトランジスタ333は
、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジスタ331、ト
ランジスタ332、及びトランジスタ333は、Pチャネル型であることが可能である。
図25(A)に示す回路330の動作について説明する。図4(C)に示す期間A1、期
間A2、期間B1、及び期間B2において、ノードn1の電位又はノードn2の電位は、
トランジスタ332又はトランジスタ333の閾値電圧より高い値になるので、トランジ
スタ332又はトランジスタ333はオンになる。このとき、トランジスタ332又はト
ランジスタ333のチャネル幅をトランジスタ331のチャネル幅よりも大きくすること
によって、トランジスタ301_1のゲート、トランジスタ301_2のゲート、及びト
ランジスタ302のゲートの電位はおおむねV1になる。期間C1、期間C2、期間D1
、期間D2、期間E1、及び期間E2において、ノードn1の電位及びノードn2の電位
は、おおむねV1になるので、トランジスタ332及びトランジスタ333はオフになる
。よって、トランジスタ301_1のゲート、トランジスタ301_2のゲート、及びト
ランジスタ302のゲートの電位は、配線113の電位(V2)からトランジスタ331
の閾値電圧(Vth331)を引いた値より大きい値(V2−Vth331+Vx)にな
る。このときVxは0より大きい値である。
なお、トランジスタ332のチャネル幅、又はトランジスタ333のチャネル幅は、トラ
ンジスタ331のチャネル幅の2倍以上であることが好ましい。より好ましくは、4倍以
上であることが好ましい。さらに好ましくは、8倍以上であることが好ましい。ただし、
これに限定されない。
なお、トランジスタ331のゲート及び第1端子は、様々な配線と接続されることが可能
である。例えば、トランジスタ331のゲート及び第1端子は、配線112又は配線11
8と接続されることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ332のゲート、及びトランジスタ333のゲートは、様々な配線と
接続されることが可能である。例えば、トランジスタ332のゲートは配線114と接続
され、トランジスタ333のゲートは配線111と接続されることが可能である。ただし
、これに限定されない。
なお、トランジスタ332の第1端子と、トランジスタ333の第1端子とは、別々の配
線と接続されることが可能である。例えば、トランジスタ332の第1端子は、配線11
5_2と接続され、トランジスタ333の第1端子は、配線115_1と接続されること
が可能である。ただし、これに限定されない。
なお、図25(B)に示すように、回路330は、トランジスタ331、トランジスタ3
32、及びトランジスタ333に加え、トランジスタ334、トランジスタ335、及び
トランジスタ336を有することが可能である。トランジスタ334の第1端子は、配線
113と接続され、トランジスタ334の第2端子は、トランジスタ301_1のゲート
、トランジスタ301_2のゲート、及びトランジスタ302のゲートと接続され、トラ
ンジスタ334のゲートは、トランジスタ331の第2端子と接続される。トランジスタ
335の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ335の第2端子は、トラン
ジスタ334の第2端子と接続され、トランジスタ335のゲートは、ノードn1と接続
される。トランジスタ336の第1端子は、配線117と接続され、トランジスタ336
の第2端子は、トランジスタ334の第2端子と接続され、トランジスタ336のゲート
は、ノードn2と接続される。トランジスタ334、トランジスタ335、及びトランジ
スタ336は、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジス
タ334、トランジスタ335、及びトランジスタ336は、Pチャネル型であることが
可能である。
なお、トランジスタ334のゲートと第2端子との間に、容量素子を接続することが可能
である。
なお、トランジスタ334の第1端子は、様々な配線と接続されることが可能である。例
えば、トランジスタ334の第1端子は、配線112又は配線118と接続されることが
可能である。ただし、これに限定されない。
なお、トランジスタ335のゲート、及びトランジスタ336のゲートは、様々な配線と
接続されることが可能である。例えば、トランジスタ335のゲートは、配線114と接
続され、トランジスタ336のゲートは、配線111と接続されることが可能である。た
だし、これに限定されない。
なお、トランジスタ335の第1端子と、トランジスタ336の第1端子とは、別々の配
線と接続されることが可能である。例えば、トランジスタ335の第1端子は、配線11
5_2と接続され、トランジスタ336の第1端子は、配線115_1と接続されること
が可能である。ただし、これに限定されない。
ここで、実施の形態1〜3で述べる内容を適宜組み合わせる場合の半導体装置の一例を図
41に示す。ただし、これに限定されず、他にも実施の形態1〜実施の形態3で述べる内
容を組み合わせて、半導体装置を様々な構成とすることが可能である。
図41の半導体装置は、回路100、及び回路10を有し、回路10は、回路200及び
回路300を有し、回路300は、回路330を有する。図41の半導体装置では、回路
100として、図4(A)に示す構成が用いられ、回路200として、図11(E)に示
す構成が用いられ、回路300として、図19(C)に示す構成が用いられ、回路330
として、図25(B)に示す構成が用いられる。
さらに、図41に示す半導体装置の動作検証を行った。検証結果について図42に示す。
図42は、本実施の形態の半導体装置の検証結果を示す図である。なお検証は、SPIC
Eシミュレータを用いて行った。また、比較例として図41に示す半導体装置のトランジ
スタ101_2、トランジスタ201_2、トランジスタ203_1、トランジスタ20
3_2、トランジスタ301_2、トランジスタ303_2、トランジスタ333、及び
トランジスタ336を設けない回路構成の半導体装置についても動作検証を行った。また
、検証は、Vdd=30V、Vss=0V、クロック周波数=25kHz(1周期=20
μsec)、各トランジスタの移動度=1cm/VS、各トランジスタの閾値電圧=5
V、出力容量=50pFとして行った。
図42(A)は、比較例の半導体装置における検証結果のタイミングチャートである。図
42(A)に示すように、比較例の半導体装置では、期間T1及び期間T2ともノードn
1の電位に従ってトランジスタ101_1がオンになり、配線112と配線111とは、
トランジスタ101_1を介して導通状態になり、信号CK1が配線112からトランジ
スタ101_1を介して配線111に供給される。
図42(B)は、図41に示す半導体装置における検証結果のタイミングチャートである
。図42(B)に示すように、図41に示す半導体装置では、期間T1では、ノードn1
の電位に従ってトランジスタ101_1がオンになり、配線112と配線111とは、ト
ランジスタ101_1を介して導通状態になり、信号CK1が配線112からトランジス
タ101_1を介して配線111に供給され、期間T2では、ノードn2の電位に従って
トランジスタ101_1がオンになり、配線112と配線111とは、トランジスタ10
1_1を介して導通状態になり、信号CK1が配線112からトランジスタ101_1を
介して配線111に供給される。よって図42に示すように、本実施の形態の半導体装置
では、各期間で異なるトランジスタをオンにして動作することにより、各トランジスタが
オンになる回数及びオンになる時間を低減することができることがわかる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、シフトレジスタの一例について説明する。本実施の形態のシフトレジ
スタは、実施の形態1〜実施の形態3の半導体装置を有することが可能である。なお、シ
フトレジスタを、半導体装置、又はゲートドライバを示すことが可能である。なお、実施
の形態1〜実施の形態3で述べる内容は、その説明を省略する。なお、実施の形態1〜実
施の形態3で述べる内容は、本実施の形態で述べる内容と適宜組み合わせることができる
まず、シフトレジスタの一例について、図26を参照して説明する。シフトレジスタ50
0は、フリップフロップ501_1〜501_Nという複数のフリップフロップを有する
なお、フリップフロップ501_1〜501_Nは、各々、実施の形態1〜実施の形態3
で述べる半導体装置に対応する。図26の一例には、フリップフロップ501_1〜50
1_Nとして、各々、図4(A)の半導体装置が用いられる場合について示す。ただし、
これに限定されず、フリップフロップ501_1〜501_Nとしては、他にも例えば実
施の形態1〜実施の形態3で述べる半導体装置若しくは回路を用いることが可能である。
次に、シフトレジスタの接続関係について説明する。シフトレジスタ500は、配線51
1_1〜511_N、配線512、配線513、配線514、配線515_1〜515_
2、配線516、配線517、及び配線518と接続される。そして、フリップフロップ
501_i(iは2〜Nのいずれか一)において、配線111、配線112、配線113
、配線114、配線115_1、配線115_2、配線116、及び配線117は、各々
、配線511_i、配線512、配線514、配線511_i−1、配線515_1、配
線515_2、配線511_i+1、配線516と接続される。なお、奇数段のフリップ
フロップと、偶数段のフリップフロップとでは、配線112の接続先が異なる場合が多い
。例えば、i段目のフリップフロップにおいて、配線112が配線512と接続される場
合、i+1段目のフリップフロップ、又はi−1段目のフリップフロップにおいては、配
線112は配線513と接続される。
なお、フリップフロップ501_1において、配線114は、配線517と接続される場
合が多い。そして、フリップフロップ501_Nにおいて、配線116は、配線518と
接続される場合が多い。ただし、これに限定されない。
次に、各配線に入力又は出力される信号又は電圧の一例について説明する。配線511_
1〜511_Nからは、一例として、各々、信号GOUT_1〜GOUT_Nが出力され
るものとする。信号GOUT_1〜GOUT_Nは、各々、フリップフロップ501_1
〜501_Nの出力信号である。そして、信号GOUT_1〜GOUT_Nは、信号OU
Tに対応し、出力信号、選択信号、転送信号、スタート信号、リセット信号、ゲート信号
、又は走査信号として機能することが可能である。配線512には、信号GCK1が入力
されるものとする。信号GCK1は、信号CK1に対応し、クロック信号として機能する
ことが可能である。配線513には、一例として、信号GCK2が入力されるものとする
。信号GCK2は、信号CK2に対応し、反転クロック信号として機能することが可能で
ある。配線514には、一例として、電圧V2が供給されるものとする。配線515_1
〜515_2には、一例として、各々、信号SEL1〜SEL2が入力されるものとする
。配線516には、一例として、電圧V1が供給されるものとする。配線517には、一
例として、信号GSPが入力されるものとする。信号GSPは、信号SPに対応し、スタ
ート信号、又は垂直同期信号として機能することが可能である。配線518には、一例と
して、信号GREが入力されるものとする。信号GREは、信号REに対応し、リセット
信号として機能することが可能である。ただし、これに限定されず、これらの配線には、
他にも様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流を入力することが可能である。
なお、配線511_1〜511_Nは、信号線、ゲート信号線、又は走査線として機能す
ることが可能である。配線512、及び配線513は、信号線、又はクロック信号線とし
て機能することが可能である。配線514は、電源線として機能することが可能である。
配線515_1〜515_2は、信号線として機能することが可能である。配線516は
、電源線、又はグランド線として機能することが可能である。配線517は、信号線とし
て機能することが可能である。配線518は、信号線として機能することが可能である。
ただし、これに限定されず、これらの配線は他にも様々な種類の配線として機能すること
が可能である。
なお、配線512、配線513、配線514、配線515_1〜515_2、配線516
、配線517、及び配線518は、回路520から信号又は電圧などが入力されるものと
する。回路520は、シフトレジスタに信号又は電圧などを供給することによって、シフ
トレジスタを制御する機能を有し、制御回路、又はコントローラなどとして機能すること
が可能である。
なお、回路520は、一例として、回路521、及び回路522を有するものとする。回
路521は、正電源電圧、負電源電圧、グランド電圧、基準電圧などの電源電圧を生成す
る機能を有し、電源回路、又はレギュレータとして機能することが可能である。回路52
2は、クロック信号、反転クロック信号、スタート信号、リセット信号、及び/又は、ビ
デオ信号などの様々な信号を生成する機能を有し、タイミングジェネレータとして機能す
ることが可能である。ただし、これに限定されず、回路520は、回路521及び回路5
22の他にも様々な回路、又は様々な素子を有することが可能である。例えば、回路52
0は、オシレータ、レベルシフタ回路、インバータ回路、バッファ回路、DA変換回路、
AD変換回路、オペアンプ、シフトレジスタ、ルックアップテーブル、コイル、トランジ
スタ、容量素子、抵抗素子、及び/又は、分周器などを有することが可能である。
次に、図26のシフトレジスタの動作について、図27を参照して説明する。図27は、
シフトレジスタの動作を説明するためのタイミングチャートの一例である。図27には、
信号GSP、信号GRE、信号GCK1、信号GCK2、信号SEL1、信号SEL2、
信号GOUT_1、信号GOUT_i−1、信号GOUT_i、信号GOUT_i+1、
及び信号GOUT_Nの一例を示す。なお、実施の形態1〜実施の形態3の半導体装置の
動作と共通するところは、その説明を省略する。
k(kは自然数)フレーム目におけるフリップフロップ501_iの動作について説明す
る。まず、信号GOUT_i−1がHレベルになる。すると、フリップフロップ501_
iは、期間A1における動作を開始し、信号GOUT_iはLレベルになる。その後、信
号GCK1及び信号GCK2のそれぞれが反転する。すると、フリップフロップ501_
iが期間B1における動作を開始し、信号GOUT_iがHレベルになる。信号GOUT
_iは、フリップフロップ501_i−1にリセット信号として入力され、且つフリップ
フロップ501_i+1にスタート信号として入力される。よって、フリップフロップ5
01_i−1は、期間C1における動作を開始し、フリップフロップ501_i+1は、
期間A1における動作を開始する。その後、信号GCK1、及び信号GCK2が再び反転
する。すると、フリップフロップ501_i+1が期間B1における動作を開始し、信号
GOUT_i+1がHレベルとなる。信号GOUT_i+1は、フリップフロップ501
_iにリセット信号として入力される。したがって、フリップフロップ501_iが期間
C1における動作を開始するので、信号GOUT_iはLレベルとなる。その後、再び信
号GOUT_i−1がHレベルになるまでは、フリップフロップ501_iは、信号GC
K1及び信号GCK2が反転するたびに、期間D1における動作と期間E1における動作
とを繰り返す。
k+1フレーム目におけるフリップフロップ501_iの動作について説明する。まず、
信号GOUT_i−1がHレベルになる。すると、フリップフロップ501_iは、期間
A2における動作を開始し、信号GOUT_iはLレベルになる。その後、信号GCK1
、及び信号GCK2が反転する。すると、フリップフロップ501_iが期間B2におけ
る動作を開始し、信号GOUT_iがHレベルになる。信号GOUT_iは、フリップフ
ロップ501_i−1にリセット信号として入力され、且つフリップフロップ501_i
+1にスタート信号として入力される。よって、フリップフロップ501_i−1は、期
間C2における動作を開始し、フリップフロップ501_i+1は、期間A2における動
作を開始する。その後、信号GCK1、及び信号GCK2が再び反転する。すると、フリ
ップフロップ501_i+1が期間B1における動作を開始し、信号GOUT_i+1が
Hレベルとなる。信号GOUT_i+1は、フリップフロップ501_iにリセット信号
として入力される。したがって、フリップフロップ501_iが期間C2における動作を
開始するので、信号GOUT_iはLレベルとなる。その後、再び信号GOUT_i−1
がHレベルになるまでは、フリップフロップ501_iは、信号GCK1及び信号GCK
2が反転するたびに、期間D2における動作と期間E2における動作とを繰り返す。
なお、フリップフロップ501_1では、前の段のフリップフロップの出力信号の代わり
に、信号GSPが回路520から配線517を介して入力される。よって、信号GSPが
Hレベルになると、フリップフロップ501_1は、期間A1又は期間A2における動作
を開始する。
なお、フリップフロップ501_Nでは、次の段のフリップフロップの出力信号の代わり
に、信号GREが回路520から配線518を介して入力される。よって、信号GREが
Hレベルになると、フリップフロップ501_Nは、期間C1又は期間C2における動作
を開始する。
以上のように、本実施の形態のシフトレジスタは、実施の形態1〜実施の形態3の半導体
装置を用いることによって、当該半導体装置と同様のメリットを得ることが可能である。
なお、信号GCK1と信号GCK2との関係を非平衡にすることが可能である。例えば、
図28(A)のタイミングチャートに示すように、信号GCK1及び信号GCK2におい
て、Hレベルになる期間がLレベルになる期間よりも短くすることが可能である。こうす
ることによって、信号GOUT_1〜GOUT_Nに、遅延又はなまりなどが生じても、
これらの信号がHレベルとなる期間を防止することができる。したがって、本実施の形態
のシフトレジスタが表示装置に用いられる場合、複数の行が同時に選択されることを防ぐ
ことができる。ただし、これに限定されず、信号GCK1、及び/又は、信号GCK2に
おいて、Hレベルになる期間がLレベルになる期間よりも長いことが可能である。
なお、シフトレジスタに多相のクロック信号を入力することが可能である。例えば、図2
8(B)のタイミングチャートに示すように、M(Mは3以上の自然数)相のクロック信
号を用いることが可能である。この場合、信号GOUT_1〜GOUT_Nにおいて、あ
る段においてHレベルとなる期間は、その前後の段においてHレベルとなる期間と重なる
ことが可能となる。したがって、本実施の形態が表示装置に用いられる場合、複数の行が
同時に選択されることになる。これにより、他の行の画素へのビデオ信号をプリチャージ
電圧として用いることが可能になる。
なお、図28(B)において、M≦8であることが好ましい。より好ましくは、M≦6で
あることが好ましい。さらに好ましくは、M≦4であることが好ましい。なぜなら、シフ
トレジスタが表示装置の走査線駆動回路に用いられる場合、Mが大きすぎると、画素に複
数の種類のビデオ信号が書き込まれるからである。そして、当該画素に不正なビデオ信号
が入力される期間が長くなるので、表示品位が低下する場合があるからである。
なお、図28(B)と同様に、図28(A)のタイミングチャートにおいても、多相のク
ロック信号を用いることが可能である。
なお、配線518と、他の配線(例えば配線512、配線513、配線515_1、配線
515_2、配線516、又は配線517)とを一つの共通の配線で構成し、配線518
を省略することができる。この場合、フリップフロップ501_Nにおいて、配線116
が配線512、配線513、配線515_1、配線515_2、配線516、又は配線5
17と接続されることが好ましい。また、他の構成により配線518を省略することも可
能である。この場合、フリップフロップ501_Nにおいて、トランジスタ303_1〜
303_2、及びトランジスタ304を省略することも可能である。
なお、図29に示すように、出力信号を分割することが可能である。図29の一例では、
フリップフロップ501_1〜501_Nとして、各々、図10(E)の半導体装置が用
いられる。そして、フリップフロップ501_i(iは2〜Nのいずれか一)において、
配線111、配線112、配線113、配線114、配線115_1、配線115_2、
配線116、及び配線117は、各々、配線511_i、配線512、配線514、配線
518_i−1、配線515_1、配線515_2、配線511_i+1、配線516と
接続される。こうすることによって、配線511_1〜511_Nに、画素又はゲート信
号線などの負荷が接続される場合でも、次の段のフリップフロップを駆動するための転送
信号になまり又は遅延などが生じることがない。よって、シフトレジスタの遅延の影響を
低減することができる。ただし、これに限定されず、配線114は、配線511_i−1
と接続されることが可能である。又は、配線116は、配線517_i+1と接続される
ことが可能である。
(実施の形態5)
本実施の形態では、表示装置の一例について説明する。
まず、図30(A)を参照して、液晶表示装置のシステムブロックの一例について説明す
る。液晶表示装置は、回路5361、回路5362、回路5363_1、回路5363_
2、画素を有する画素部5364、回路5365、及び照明装置5366を有する。画素
部5364には、複数の配線5371が回路5362から延伸して配置され、複数の配線
5372が回路5363_1、及び回路5363_2から延伸して配置されている。そし
て、複数の配線5371と複数の配線5372との交差領域には、各々、液晶素子などの
表示素子を有する画素5367がマトリクス状に配置されている。
回路5361は、ビデオ信号5360に応じて、回路5362、回路5363_1、回路
5363_2、及び回路5365に、信号、電圧、又は電流などを供給する機能を有し、
コントローラ、制御回路、タイミングジェネレータ、電源回路、又はレギュレータなどと
して機能することが可能である。本実施の形態では、一例として、回路5361は、回路
5362に、信号線駆動回路用スタート信号(SSP)、信号線駆動回路用クロック信号
(SCK)、信号線駆動回路用反転クロック信号(SCKB)、ビデオ信号用データ(D
ATA)、ラッチ信号(LAT)を供給するものとする。又は、回路5361は、一例と
して、回路5363_1、及び回路5363_2に、走査線駆動回路用スタート信号(G
SP)、走査線駆動回路用クロック信号(GCK)、及び反転走査線駆動回路用クロック
信号(GCKB)を供給するものとする。又は、回路5361は、回路5365に、バッ
クライト制御信号(BLC)を供給するものとする。ただし、これに限定されず、回路5
361は、他にも様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流などを、回路5362、回路
5363_1、回路5363_2、及び回路5365に供給することが可能である。
回路5362は、回路5361から供給される信号(例えば、SSP、SCK、SCKB
、DATA、LAT)に応じて、ビデオ信号を複数の配線5371に出力する機能を有し
、信号線駆動回路として機能することが可能である。回路5363_1、及び回路536
3_2は、回路5361から供給される信号(GSP、GCK、GCKB)に応じて、走
査信号を複数の配線5372に出力する機能を有し、走査線駆動回路として機能すること
が可能である。回路5365は、回路5361から供給される信号(BLC)に応じて、
照明装置5366に供給する電力の量、又は時間などを制御することによって、照明装置
5366の輝度(又は平均輝度)を制御する機能を有し、電源回路として機能することが
可能である。
なお、複数の配線5371にビデオ信号が入力される場合、複数の配線5371は、信号
線、ビデオ信号線、又はソース信号線などとして機能することが可能である。複数の配線
5372に走査信号が入力される場合、複数の配線5372は、信号線、走査線、又はゲ
ート信号線などとして機能することが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、回路5363_1、及び回路5363_2のそれぞれに、同じ信号が回路5361
から入力される場合、回路5363_1が複数の配線5372に出力する走査信号と、回
路5363_2が複数の配線5372に出力する走査信号とは、おおむね等しいタイミン
グとなる場合が多い。したがって、回路5363_1、及び回路5363_2が駆動する
負荷を小さくすることができる。よって、表示装置を大型化することができる。又は、表
示装置を高精細にすることができる。又は、回路5363_1、及び回路5363_2が
有するトランジスタのチャネル幅を小さくすることができるので、額縁が狭い表示装置を
得ることができる。ただし、これに限定されず、回路5361は、回路5363_1と回
路5363_2とに別々の信号を供給することが可能である。
なお、回路5363_1と回路5363_2とのいずれか一方を省略することが可能であ
る。
なお、画素部5364には、容量線、電源線、走査線などの配線を新たに配置することが
可能である。そして、回路5361は、これらの配線に信号又は電圧などを出力すること
が可能である。又は、回路5363_1又は回路5363_2と同様の回路を新たに追加
することができ、この新たに追加した回路は、新たに追加した配線に走査信号などの信号
を出力することが可能である。
なお、画素5367が表示素子としてEL素子などの発光素子を有することが可能である
。この場合、図30(B)に示すように、表示素子は発光することが可能なので、回路5
365、及び照明装置5366は省略されることが可能である。そして、表示素子に電力
を供給するために、電源線として機能することが可能な複数の配線5373を画素部53
64に配置することが可能である。回路5361は、電源電圧(電圧ANOともいう)を
配線5373に供給することが可能である。この配線5373は、画素の色要素別に接続
されることが可能であるし、全ての画素に共通して接続されることが可能である。
なお、図30(B)では、一例として、回路5361は、回路5363_1と回路536
3_2とに別々の信号を供給する場合の一例を示す。回路5361は、走査線駆動回路用
スタート信号(GSP1)、走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)、及び反転走査
線駆動回路用クロック信号(GCKB1)などの信号を回路5363_1に供給する。そ
して、回路5361は、走査線駆動回路用スタート信号(GSP2)、走査線駆動回路用
クロック信号(GCK2)、及び反転走査線駆動回路用クロック信号(GCKB2)など
の信号を回路5363_2に供給する。この場合、回路5363_1は、複数の配線53
72のうち奇数行目の配線のみを走査し、回路5363_2は、複数の配線5372のう
ち偶数行目の配線のみを走査することが可能になる。よって、回路5363_1、及び回
路5363_2の駆動周波数を小さくできるので、消費電力の低減を図ることができる。
又は、1段分のフリップフロップをレイアウトすることが可能な面積を大きくすることが
できる。よって、表示装置を高精細にすることができる。又は、表示装置を大型にするこ
とができる。ただし、これに限定されず、図30(A)と同様に、回路5361は、回路
5363_1と回路5363_2とに同じ信号を出力することが可能である。
なお、図30(B)と同様に、図30(A)においても、回路5361は、回路5363
_1と回路5363_2とに別々の信号を供給することが可能である。
以上、表示装置のシステムブロックの一例についての説明である。
次に、表示装置の構成の一例について、図31(A)、(B)、(C)、(D)、及び(
E)を参照して説明する。
図31(A)では、画素部5364に信号を出力する機能を有する回路(例えば、回路5
362、回路5363_1、及び回路5363_2など)は、画素部5364と同じ基板
5380に形成される。そして、回路5361は、画素部5364とは別の基板に形成さ
れる。こうして、外部部品の数が減るので、コストの低減を図ることができる。又は、基
板5380に入力される信号又は電圧の数が減るので、基板5380と、外部部品との接
続数を減らすことができる。よって、信頼性の向上、又は歩留まりの向上を図ることがで
きる。
なお、回路が画素部5364とは別の基板に形成される場合、当該基板は、TAB(Ta
pe Automated Bonding)方式によってFPC(Flexible
Printed Circuit)に実装されることが可能である。又は、当該基板は、
COG(Chip on Glass)方式によって画素部5364と同じ基板5380
に実装することが可能である。
なお、回路が画素部5364とは別の基板に形成される場合、当該基板には、単結晶半導
体を用いたトランジスタを形成することが可能である。したがって、当該基板に形成され
る回路は、広範囲で駆動周波数を設定することができる。例えば駆動周波数を高くするこ
とにより、画素部5364に配置する画素を増やすことができる(解像度を高くすること
ができる)。駆動電圧を小さくすることにより、消費電力を低減することができる。また
、当該基板に形成される回路は、駆動電圧を大きくすることができるので、表示素子とし
て駆動電圧が大きい表示素子を用いることができる。また、当該基板に形成される回路は
、出力信号のばらつきを低減することができる。
なお、外部回路からは、入力端子5381を介して信号、電圧、又は電流などが入力され
る場合が多い。
図31(B)では、回路5363_1及び回路5363_2の駆動周波数は、回路536
1又は回路5362の駆動周波数よりも低い場合が多く、画素部に形成されるトランジス
タと同じ工程で形成されるトランジスタを回路5363_1、及び回路5363_2に用
いることができるので、回路5363_1、及び回路5363_2は、画素部5364と
同じ基板5380に形成される。そして、回路5361、及び回路5362は、画素部5
364とは別の基板に形成される。こうして、移動度が小さいトランジスタによって、基
板5380に形成される回路を構成することが可能になる。よって、トランジスタの半導
体層として、非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを用いる
ことが可能になる。したがって、表示装置の大型化、工程数の削減、コストの低減、又は
歩留まりの向上などを図ることができる。
なお、図31(C)に示すように、回路5362の一部(回路5362a)が画素部53
64と同じ基板5380に形成され、回路5362の残りの部分(回路5362b)が画
素部5364とは別の基板に形成されることが可能である。回路5362aは、移動度が
低いトランジスタによって構成することが可能な回路(例えば、シフトレジスタ、セレク
タ、スイッチなど)を有する場合が多い。そして、回路5362bは、移動度が高く、且
つ特性ばらつきが小さいトランジスタによって構成することが好ましい回路(例えば、シ
フトレジスタ、ラッチ回路、バッファ回路、DA変換回路、AD変換回路など)を有する
場合が多い。こうすることによって、図31(B)と同様に、トランジスタの半導体層と
して、例えば非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを用いる
ことが可能となり、さらに外部部品の削減を図ることができる。
図31(D)では、画素部5364に信号を出力する機能を有する回路(例えば、回路5
362、回路5363_1、及び回路5363_2など)、及びこれらの回路を制御する
機能を有する回路(例えば、回路5361)は、画素部5364とは別の基板に形成され
る。こうして、画素部と、その周辺回路とを別々の基板に形成することが可能になるので
、歩留まりの向上を図ることができる。
なお、図31(D)と同様に、図31(A)〜(C)においても、回路5363_1、及
び回路5363_2を画素部5364とは別の基板に形成することが可能である。
図31(E)では、回路5361の一部(回路5361a)が画素部5364と同じ基板
5380に形成され、残りの回路5361(回路5361b)が画素部5364とは別の
基板に形成される。回路5361aは、移動度が小さいトランジスタによって構成するこ
とが可能な回路(例えば、スイッチ、セレクタ、レベルシフタなど)を有する場合が多い
。そして、回路5361bは、移動度が高く、ばらつきが小さいトランジスタを用いて構
成することが好ましい回路(例えば、シフトレジスタ、タイミングジェネレータ、オシレ
ータ、レギュレータ、又はアナログバッファなど)を有する場合が多い。
なお、図31(A)〜(D)においても、回路5361aを画素部5364と同じ基板に
形成し、回路5361bを画素部5364とは別の基板に形成することが可能である。
ここで、回路5363_1、及び回路5363_2として、実施の形態1〜実施の形態4
の半導体装置又はシフトレジスタを用いることが可能である。この場合、回路5363_
1、及び回路5363_2と画素部とが同じ基板に形成されることによって、当該基板に
形成される全てのトランジスタの極性をNチャネル型又はPチャネル型とすることが可能
である。したがって、工程数の削減、歩留まりの向上、信頼性の向上、又はコストの削減
を図ることができる。特に、全てのトランジスタの極性がNチャネル型である場合には、
トランジスタの半導体層として、非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物
半導体などを用いることが可能になる。よって、表示装置の大型化、コストの低減、又は
歩留まりの向上などを図ることができる。
又は、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置、又はシフトレジスタは、トランジスタ
のチャネル幅を小さくすることができる。よって、レイアウト面積を小さくすることがで
きるので、額縁を小さくすることができる。又は、レイアウト面積を小さくすることがで
きるので、解像度を高くすることができる。
又は、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置、又はシフトレジスタは、寄生容量を小
さくすることができる。よって、消費電力を低減することができる。又は、外部回路の電
流能力を小さくすることができる。又は、外部回路のサイズ、又は当該外部回路を有する
表示装置のサイズを小さくすることができる。
なお、非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを半導体層とし
て用いるトランジスタは、閾値電圧の増加、又は移動度の低下などの特性劣化を生じる場
合が多い。しかし、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置又はシフトレジスタは、ト
ランジスタの特性劣化を抑制することができるので、表示装置の寿命を長くすることがで
きる。
なお、回路5362の一部として、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置、又はシフ
トレジスタを用いることが可能である。例えば、回路5362aは、実施の形態1〜実施
の形態4の半導体装置、又はシフトレジスタを有することが可能である。
(実施の形態6)
本実施の形態では、信号線駆動回路の一例について説明する。なお、信号線駆動回路を半
導体装置、又は信号生成回路と示すことが可能である。
信号線駆動回路の一例について、図32(A)を参照して説明する。信号線駆動回路は、
回路602_1〜602_Nという複数の回路と、回路600と、回路601とを有する
。そして、回路602_1〜602_Nは、各々、トランジスタ603_1〜603_k
(kは2以上の自然数)という複数のトランジスタを有する。トランジスタ603_1〜
603_kは、Nチャネル型であるものとする。ただし、これに限定されず、トランジス
タ603_1〜603_kは、Pチャネル型とすることが可能であるし、CMOS型のス
イッチとすることが可能である。
信号線駆動回路の接続関係について、回路602_1を例にして説明する。トランジスタ
603_1〜603_kの第1端子は、配線605_1と接続される。トランジスタ60
3_1〜603_kの第2端子は、各々、配線S1〜Skと接続される。トランジスタ6
03_1〜603_kのゲートは、各々、配線604_1〜604_kと接続される。例
えば、トランジスタ603_1の第1端子は、配線605_1と接続され、トランジスタ
603_1の第2端子は、配線S1と接続され、トランジスタ603_1のゲートは、配
線604_1と接続される。
回路600は、配線604_1〜604_kを介して、信号を回路602_1〜602_
Nに供給する機能を有し、シフトレジスタ、又はデコーダなどとして機能することが可能
である。当該信号は、デジタル信号である場合が多く、選択信号として機能することが可
能である。そして、配線604_1〜604_kは、信号線として機能することが可能で
ある。
回路601は、信号を回路602_1〜602_Nに出力する機能を有し、ビデオ信号生
成回路などとして機能することが可能である。例えば、回路601は、配線605_1を
介して信号を回路602_1に供給する。同時に、配線605_2を介して信号を回路6
02_2に供給する。当該信号は、アナログ信号である場合が多く、ビデオ信号として機
能することが可能である。そして、配線605_1〜605_Nは、信号線として機能す
ることが可能である。
回路602_1〜602_Nは、回路601の出力信号を、どの配線に出力するのかを選
択する機能を有し、セレクタ回路として機能することが可能である。例えば、回路602
_1は、回路601が配線605_1に出力する信号を、配線S1〜Skのうちどの配線
に出力するのかを選択する機能を有する。
トランジスタ603_1〜603_Nは、各々、回路600の出力信号に応じて、配線6
05_1と、配線S1〜Skとの導通状態を制御する機能を有し、スイッチとして機能す
る。
次に、図32(A)の信号線駆動回路の動作について、図32(B)のタイミングチャー
トを参照して説明する。図32(B)には、配線604_1に入力される信号614_1
、配線604_2に入力される信号614_2、配線604_kに入力される信号614
_k、配線605_1に入力される信号615_1、及び配線605_2に入力される信
号615_2の一例を示す。
なお、信号線駆動回路の1動作期間は、表示装置における1ゲート選択期間に対応する。
1ゲート選択期間とは、ある行に属する画素が選択され、当該画素にビデオ信号を書き込
むことが可能な期間のことをいう。
なお、1ゲート選択期間は、期間T0、及び期間T1〜期間Tkに分割される。期間T0
は、選択された行に属する画素にプリチャージ用の電圧を同時に印加するための期間であ
り、プリチャージ期間として機能することが可能である。期間T1〜Tkは、各々、選択
された行に属する画素にビデオ信号を書き込むための期間であり、書き込み期間として機
能することが可能である。
なお、便宜上、回路602_1の動作を例にして、信号線駆動回路の動作を説明する。
まず、期間T0において、回路600は、配線604_1〜604_kにHレベルの信号
を出力する。すると、トランジスタ603_1〜603_kがオンするので、配線605
_1と、配線S1〜Skとが導通状態となる。このとき、回路601は、配線605_1
にプリチャージ電圧Vpを供給しているので、プリチャージ電圧Vpは、トランジスタ6
03_1〜603_kを介して、配線S1〜Skにそれぞれ出力される。そして、プリチ
ャージ電圧Vpは、選択された行に属する画素に書き込まれるので、選択された行に属す
る画素がプリチャージされる。
次に、期間T1において、回路600は、Hレベルの信号を配線604_1に出力する。
すると、トランジスタ603_1がオンするので、配線605_1と配線S1とが導通状
態となる。そして、配線605_1と配線S2〜Skとが非導通状態となる。このとき、
回路601は、信号Data(S1)を配線605_1に出力しているとすると、信号D
ata(S1)は、トランジスタ603_1を介して、配線S1に出力される。こうして
、信号Data(S1)は、配線S1と接続される画素のうち、選択された行に属する画
素に書き込まれる。
次に、期間T2において、回路600は、Hレベルの信号を配線604_2に出力する。
すると、トランジスタ603_2がオンするので、配線605_2と配線S2とが導通状
態となる。そして、配線605_1と配線S1とが非導通状態となり、配線605_1と
配線S3〜Skとが非導通状態のままとなる。このとき、回路601は、信号Data(
S2)を配線605_1に出力しているとすると、信号Data(S2)は、トランジス
タ603_2を介して、配線S2に出力される。こうして、信号Data(S1)は、配
線S1と接続される画素のうち、選択された行に属する画素に書き込まれる。
その後、期間Tkまで、回路600は、配線604_1〜604_kにHレベルの信号を
順に出力するので、期間T1及び期間T2と同様に、期間T3から期間Tkまで、回路6
00は、配線604_3〜604_kにHレベルの信号を順に出力する。よって、トラン
ジスタ603_3〜603_kが順にオンするので、回路601から出力される信号は、
配線S3〜Skに順に出力される。こうして、選択された行に属する画素に、信号を順に
書き込むことが可能になる。
以上、信号線駆動回路の一例について説明した。本実施の形態の信号線駆動回路は、セレ
クタとして機能する回路を有するので、信号の数、又は配線の数を減らすことができる。
又は、画素にビデオ信号を書き込む前(期間T0)に、プリチャージを行うための電圧を
画素に書き込むので、ビデオ信号の書き込み時間を短くすることができる。したがって、
表示装置の大型化、表示装置の高精細化を図ることができる。ただし、これに限定されず
、期間T0を省略し、画素にプリチャージしないことが可能である。
なお、kが大きすぎると、画素への書き込み時間が短くなるので、ビデオ信号の画素への
書き込みが時間内に終了しない場合がある。したがって、k≦6であることが好ましい。
より好ましくはk≦3であることが好ましい。さらに好ましくはk=2であることが好ま
しい。
特に、画素の色要素がn個に分割される場合、k=nとすることが可能である。例えば、
画素の色要素が赤(R)と緑(G)と青(B)との三つに分割される場合、k=3である
ことが可能である。この場合、1ゲート選択期間は、期間T0、期間T1、期間T2、期
間T3に分割される。そして、期間T1、期間T2、期間T3では、各々、赤(R)の画
素、緑(G)の画素、青(B)の画素にビデオ信号を書き込むことが可能である。ただし
、これに限定されず、期間T1、期間T2、期間T3の順番は任意に設定することが可能
である。
特に、画素がn(nは自然数)個のサブ画素(以下サブピクセル、又は副画素ともいう)
に分割される場合、k=nとすることが可能である。例えば、画素が2個のサブ画素に分
割される場合、k=2であることが可能である。この場合、1ゲート選択期間は、期間T
0、期間T1、期間T2に分割される。そして、期間T1では、2個のサブ画素の一方に
ビデオ信号を書き込み、期間T2では、2個のサブ画素の他方にビデオ信号を書き込むこ
とが可能である。
なお、回路600、及び回路602_1〜602_Nの駆動周波数は、回路601と比較
して低い場合が多いので、回路600、及び回路602_1〜602_Nは、画素部と同
じ基板に形成することが可能である。こうして、画素部が形成される基板と、外部回路と
の接続数を減らすことができるので、歩留まりの向上、又は信頼性の向上などを図ること
ができる。さらに、図31(A)乃至(E)のように、走査線駆動回路も画素部と同じ基
板に形成されることによって、さらに外部回路との接続数を減らすことができる。
なお、回路600として、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置又はシフトレジスタ
を用いることが可能である。この場合、回路600が有する全てのトランジスタの極性を
Nチャネル型、又はPチャネル型とすることが可能である。したがって、工程数の削減、
歩留まりの向上、又はコストの削減を図ることができる。
なお、回路600だけでなく、回路602_1〜602_Nが有する全てのトランジスタ
の極性もNチャネル型、又はPチャネル型とすることが可能である。したがって、回路6
00、及び回路602_1〜602_Nが、画素部と同じ基板に形成される場合、工程数
の削減、歩留まりの向上、又はコストの削減を図ることができる。特に、全てのトランジ
スタの極性をNチャネル型とすることによって、トランジスタの半導体層として、例えば
非晶質半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを用いることができる
(実施の形態7)
本実施の形態においては、液晶表示装置に適用できる画素の構成及び画素の動作について
説明する。
図33(A)は、画素の一例を示す。画素3020は、トランジスタ3021、液晶素子
3022、及び容量素子3023を有する。そして、トランジスタ3021の第1端子は
、配線3031と接続され、トランジスタ3021の第2端子は、液晶素子3022の一
方の電極及び容量素子3023の一方の電極と接続され、トランジスタ3021のゲート
は、配線3032と接続される。液晶素子3022の他方の電極は、電極3034と接続
され、容量素子3023の他方の電極は、配線3033と接続される。
配線3031には、一例として、ビデオ信号が入力されることが可能である。配線303
2には、一例として、走査信号、選択信号、又はゲート信号が入力されることが可能であ
る。配線3033には、一例として、一定の電圧が供給されることが可能である。電極3
034には、一例として、一定の電圧が供給されることが可能である。ただし、これに限
定されず、配線3031にはプリチャージ電圧が供給されることによって、ビデオ信号の
書き込み時間を短くすることが可能である。又は、配線3033には信号が入力されるこ
とによって、液晶素子3022に印加される電圧を制御することが可能である。又は、電
極3034に信号が入力されることによって、フレーム反転駆動を実現することが可能で
ある。
なお、配線3031は、信号線、ビデオ信号線、又はソース信号線として機能することが
可能である。配線3032は、信号線、走査線、又はゲート信号線として機能することが
可能である。配線3033は、電源線、又は容量線として機能することが可能である。電
極3034は、共通電極、又は対向電極として機能することが可能である。ただし、これ
に限定されず、配線3031、配線3032に、電圧が供給される場合、これらの配線は
、電源線として機能することが可能である。又は、配線3033に信号が入力される場合
、配線3033は信号線として機能することが可能である。
トランジスタ3021は、配線3031と液晶素子3022の一方の電極との導通状態を
制御することによって、画素にビデオ信号を書き込むタイミングを制御する機能を有し、
スイッチとして機能することが可能である。容量素子3023は、液晶素子3022の一
方の電極と、配線3033との間の電位差を保持し、液晶素子3022に印加される電圧
を一定に保持する機能を有し、保持容量として機能する。ただし、これに限定されない。
図33(B)には、図33(A)の画素の動作を説明するためのタイミングチャートの一
例を示す。図33(B)には、信号3042_j(jは自然数)、信号3042_j+1
、信号3041_i、信号3041_i+1、及び電圧3043を示す。そして、図33
(B)には、第k(kは自然数)フレームと、第k+1フレームを示す。なお、信号30
42_j、信号3042_j+1、信号3041_i、信号3041_i+1、及び電圧
3043は、各々、j行目の配線3032に入力される信号、j+1行目の配線3032
に入力される信号、i列目の配線3031に入力される信号、i+1列目の配線3031
に入力される信号、配線3033に供給される電圧の一例である。
j行i列目に属する画素3020の動作について説明する。信号3042_jがHレベル
になると、トランジスタ3021がオンする。よって、i列目の配線3031と液晶素子
3022の一方の電極とが導通状態となるので、信号3041_jがトランジスタ302
1を介して液晶素子3022の一方の電極に入力される。そして、容量素子3023は、
このときの液晶素子3022の一方の電極の電位と、配線3033の電位との電位差を保
持する。よって、その後、再び信号3042_jがHレベルになるまで、液晶素子302
2に印加される電圧は一定となる。そして、液晶素子3022は、印加される電圧に応じ
た階調を表現する。
なお、図33(B)には、正極性の信号と負極性の信号とが、1行選択期間毎に交互に配
線3031に入力される場合の一例を示す。正極性の信号とは、電位が基準の値(例えば
電極3034の電位)よりも高い信号のことであり、負極性の信号とは、電位が基準の値
(例えば電極3034の電位)よりも低い信号のことである。ただし、これに限定されず
、配線3031に入力される信号は、1フレーム期間中、同じ極性であることが可能であ
る。
なお、図33(B)には、信号3041_iの極性と信号3041_i+1の極性とがお
互いに異なる場合の一例を示す。ただし、これに限定されず、信号3041_iの極性と
信号3041_i+1の極性とは同じであることが可能である。
なお、図33(B)には、信号3042_jがHレベルとなる期間と、信号3042_j
+1がHレベルになる期間とは、重ならない場合の一例を示した。ただし、これに限定さ
れず、図33(C)に示すように、信号3042_jがHレベルとなる期間と、信号30
42_j+1がHレベルになる期間とは重なることが可能である。この場合、配線303
1には、1フレーム期間中、同じ極性の信号が供給されることが好ましい。こうすること
によって、j行目の画素へ書き込まれる信号3041_jを用いて、j+1行目の画素を
プリチャージすることができる。こうして、画素へのビデオ信号の書き込み時間を短くす
ることができる。よって、表示装置を高精細にすることができる。又は、表示装置の表示
部を大きくすることができる。又は、1フレーム期間において、配線3031に同じ極性
の信号が入力されるので、消費電力を削減することができる。
なお、図34(A)の画素構成と、図33(C)のタイミングチャートとを組み合わせる
ことによって、ドット反転駆動を実現することができる。図34(A)の画素構成では、
画素3020(i、j)は、配線3031_iと接続される。一方、画素3020(i、
j+1)は、配線3031_i+1と接続される。つまり、i列目に属する画素は、1行
ずつ交互に、配線3031_iと、配線3031_i+1と接続される。こうして、i列
目に属する画素は、1行ずつ交互に、正極性の信号と負極性の信号とが書き込まれるので
、ドット反転駆動を実現することができる。ただし、これに限定されず、i列目に属する
画素は、複数行(例えば2行又は3行)ずつ交互に、配線3031_iと、配線3031
_i+1と接続されることが可能である。
なお、画素構成としては、サブピクセル構造を用いることが可能である。図34(B)、
及び(C)には、画素を二つのサブ画素に分割する場合の構成を示す。そして、図34(
B)には、1S+2G(例えば1サブ画素あたり1つの信号線と、2つの走査線を用いる
もの)と呼ばれるサブピクセル構造を示し、図34(C)には、2S+1G(例えば1サ
ブ画素あたり2つの信号線と、1つの走査線を用いるもの)と呼ばれるサブピクセル構造
を示す。サブ画素3020A及びサブ画素3020Bは、画素3020に対応する。トラ
ンジスタ3021A及びトランジスタ3021Bは、トランジスタ3021に対応する。
液晶素子3022A及び液晶素子3022Bは、液晶素子3022に対応する。容量素子
3023A及び容量素子3023Bは、容量素子3023に対応する。配線3031A及
び配線3031Bは、配線3031に対応する。配線3032A及び配線3032Bは、
配線3032に対応する。
ここで、本実施の形態の画素と、実施の形態1〜実施の形態6の半導体装置、シフトレジ
スタ、表示装置、又は信号線駆動回路とを組み合わせることによって、様々なメリットを
得ることができる。例えば、画素として、サブピクセル構造を用いる場合、表示装置を駆
動するために必要な信号の数が増えてしまう。このため、ゲート信号線の数、又はソース
信号線の数が増えてしまう。この結果、画素部が形成される基板と、外部回路との接続数
が大幅に増えてしまう場合がある。しかし、ゲート信号線の数が増えても、実施の形態7
に示すように、走査線駆動回路を画素部と同じ基板に形成することが可能である。したっ
て、画素部が形成される基板と、外部回路との接続数を大幅に増やすことなく、サブピク
セル構造の画素を用いることができる。又は、ソース信号線の数が増えても、実施の形態
6の信号線駆動回路を用いることによって、ソース信号線の数を減らすことができる。し
たがって、画素部が形成される基板と、外部回路との接続数を大幅に増やすことなく、サ
ブピクセル構造の画素を用いることができる。
又は、容量線に信号を入力する場合、画素部が形成される基板と、外部回路との接続数が
大幅に増えてしまう場合がある。そこで、容量線に、実施の形態1〜実施の形態5の半導
体装置又はシフトレジスタを用いて信号を供給することが可能である。そして、実施の形
態1〜実施の形態5の半導体装置又はシフトレジスタは、画素部と同じ基板に形成するこ
とが可能である。したがって、画素部が形成される基板と、外部回路との接続数を大幅に
増やすことなく、容量線に信号を入力することができる。
又は、交流駆動を用いる場合、画素へのビデオ信号の書き込み時間が短くなってしまう。
この結果、画素へのビデオ信号の書き込み時間が足りなくなってしまう場合がある。同様
に、サブピクセル構造の画素を用いる場合、画素へのビデオ信号の書き込み時間が短くな
る。この結果、画素へのビデオ信号の書き込み時間が足りなくなってしまう場合がある。
そこで、実施の形態6の信号線駆動回路を用いて、画素にビデオ信号を書き込むことが可
能である。この場合、画素にビデオ信号を書き込む前に、画素にプリチャージ用の電圧を
書き込むので、短い時間で画素にビデオ信号を書き込むことができる。又は、図28(B
)に示すように、ある行が選択される期間と、別の行が選択される期間とを重ねることに
よって、別の行のビデオ信号をプリチャージ用の電圧として用いることが可能である。
(実施の形態8)
本実施の形態では、表示装置の一例について、図35(A)、(B)、及び(C)を参照
して説明する。なお、ここでは一例として液晶表示装置について説明する。
図35(A)は、表示装置の上面図の一例である。基板5391に、駆動回路5392と
画素部5393とが形成されている。駆動回路5392の一例としては、走査線駆動回路
、又は信号線駆動回路などがある。例えば液晶表示装置の場合、画素部5393は画素を
有し、画素は、駆動回路5392の出力信号に応じて液晶素子に印加される電圧が設定さ
れる。
図35(B)には、図35(A)のA−B断面の一例を示す。そして、図35(B)には
、基板5400と、基板5400の上に形成される導電層5401と、導電層5401を
覆うように形成される絶縁層5402と、導電層5401及び絶縁層5402の上に形成
される半導体層5403aと、半導体層5403aの上に形成される半導体層5403b
と、半導体層5403bの上及び絶縁層5402の上に形成される導電層5404と、絶
縁層5402の上及び導電層5404の上に形成され、開口部を有する絶縁層5405と
、絶縁層5405の上及び絶縁層5405の開口部に形成される導電層5406と、絶縁
層5405の上及び導電層5406の上に配置される絶縁層5408と、絶縁層5405
の上に形成される液晶層5407と、液晶層5407の上及び絶縁層5408の上に形成
される導電層5409と、導電層5409の上に形成される基板5410とを示す。
導電層5401は、ゲート電極として機能することが可能である。絶縁層5402は、ゲ
ート絶縁膜として機能することが可能である。導電層5404は、配線、トランジスタの
電極、又は容量素子の電極などとして機能することが可能である。絶縁層5405は、層
間膜、又は平坦化膜として機能することが可能である。導電層5406は、配線、画素電
極、又は反射電極として機能することが可能である。絶縁層5408は、シール材として
機能することが可能である。導電層5409は、対向電極、又は共通電極として機能する
ことが可能である。
ここで、駆動回路5392と、導電層5409との間には、寄生容量が生じることがある
。この結果、駆動回路5392の出力信号又は各ノードの電位に、なまり又は遅延などが
生じてしまう。又は、消費電力が大きくなってしまう。しかし、図35(B)に示すよう
に、駆動回路5392の上に、シール材として機能することが可能な絶縁層5408を形
成することによって、駆動回路5392と、導電層5409との間に生じる寄生容量を低
減することができる。なぜなら、シール材の誘電率は、液晶層の誘電率よりも低い場合が
多いからである。したがって、駆動回路5392の出力信号又は各ノードの電位のなまり
又は遅延を低減することができる。又は、駆動回路5392の消費電力を低減することが
できる。
なお、図35(C)に示すように、駆動回路5392の一部の上に、シール材として機能
することが可能な絶縁層5408が形成されることが可能である。このような場合でも、
駆動回路5392と、導電層5409との間に生じる寄生容量を低減することができるの
で、駆動回路5392の出力信号又は各ノードの電位のなまり又は遅延を低減することが
できる。ただし、これに限定されず、駆動回路5392の上に、シール材として機能する
ことが可能な絶縁層5408が形成されていないことが可能である。
なお、表示素子は、液晶素子に限定されず、EL素子、又は電気泳動素子などの様々な表
示素子を用いることが可能である。
以上、本実施の形態では、表示装置の断面構造の一例について説明した。このような構造
と、実施の形態1〜実施の形態4の半導体装置又はシフトレジスタとを組み合わせること
が可能である。例えば、トランジスタの半導体層として、非晶質半導体、微結晶半導体、
有機半導体、又は酸化物半導体などを用いる場合、トランジスタのチャネル幅が大きくな
る場合が多い。しかし、本実施の形態のように、駆動回路の寄生容量を小さくできると、
トランジスタのチャネル幅を小さくすることができる。よって、レイアウト面積の縮小を
図ることができるので、表示装置の額縁を狭くすることができる。又は、表示装置を高精
細にすることができる。
(実施の形態9)
本実施の形態では、トランジスタの構造の一例について図36(A)、(B)、及び(C
)を参照して説明する。
図36(A)は、表示装置の構造の一例を示す図であり、また、トップゲート型のトラン
ジスタの構造の一例を示す図である。図36(B)は、表示装置の構造の一例を示す図で
あり、また、ボトムゲート型のトランジスタの構造の一例、又は表示装置の構造の一例を
示す図である。図36(C)は、半導体基板を用いて作製されるトランジスタの構造の一
例を示す図である。
図36(A)のトランジスタの一例は、絶縁層5261を挟んで基板5260の上に形成
され、領域5262a、領域5262b、領域5262c、領域5262d、及び526
2eを有する半導体層5262と、半導体層5262を覆うように形成される絶縁層52
63と、半導体層5262及び絶縁層5263の上に形成される導電層5264と、絶縁
層5263及び導電層5264の上に形成され、開口部を有する絶縁層5265と、絶縁
層5265の上及び絶縁層5265の開口部に形成される導電層5266と、を有する。
図36(B)のトランジスタの一例は、基板5300の上に形成される導電層5301と
、導電層5301を覆うように形成される絶縁層5302と、導電層5301及び絶縁層
5302の上に形成される半導体層5303aと、半導体層5303aの上に形成される
半導体層5303bと、半導体層5303bの上及び絶縁層5302の上に形成される導
電層5304と、絶縁層5302の上及び導電層5304の上に形成され、開口部を有す
る絶縁層5305と、絶縁層5305の上及び絶縁層5305の開口部に形成される導電
層5306と、を有する。
図36(C)のトランジスタの一例は、領域5353及び領域5355を有する半導体基
板5352と、半導体基板5352の上に形成される絶縁層5356と、半導体基板53
52の上に形成される絶縁層5354と、絶縁層5356の上に形成される導電層535
7と、絶縁層5354、絶縁層5356、及び導電層5357の上に形成され、開口部を
有する絶縁層5358と、絶縁層5358の上及び絶縁層5358の開口部に形成される
導電層5359とを有する。こうして、領域5350と領域5351とに、各々、トラン
ジスタが作製される。
なお、本実施の形態におけるトランジスタを用いて表示装置を構成する場合、例えば図3
6(A)に示すように、導電層5266の上及び絶縁層5265の上に形成され、開口部
を有する絶縁層5267と、絶縁層5267の上及び絶縁層5267の開口部に形成され
る導電層5268と、絶縁層5267の上及び導電層5268の上に形成され、開口部を
有する絶縁層5269と、絶縁層5269の上及び絶縁層5269の開口部に形成される
発光層5270と、絶縁層5269の上及び発光層5270の上に形成される導電層52
71と、を形成することが可能である。
また、図36(B)に示すように、絶縁層5305の上及び導電層5306の上に配置さ
れる液晶層5307と、液晶層5307の上に形成される導電層5308と、を形成する
ことが可能である。
絶縁層5261は、下地膜として機能することが可能である。絶縁層5354は、素子間
分離層(例えばフィールド酸化膜)として機能する。絶縁層5263、絶縁層5302、
絶縁層5356は、ゲート絶縁膜として機能することが可能である。導電層5264、導
電層5301、導電層5357は、ゲート電極として機能することが可能である。絶縁層
5265、絶縁層5267、絶縁層5305、及び絶縁層5358は、層間膜、又は平坦
化膜として機能することが可能である。導電層5266、導電層5304、及び導電層5
359は、配線、トランジスタの電極、又は容量素子の電極などとして機能することが可
能である。導電層5268、及び導電層5306は、画素電極、又は反射電極などとして
機能することが可能である。絶縁層5269は、隔壁として機能することが可能である。
導電層5271、及び導電層5308は、対向電極、又は共通電極などとして機能するこ
とが可能である。
基板5260、及び基板5300の一例としては、ガラス基板、石英基板、半導体基板(
例えば単結晶基板(例えばシリコン基板)、又は単結晶基板)、SOI基板、プラスチッ
ク基板、金属基板、ステンレス基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タング
ステン基板、タングステン・ホイルを有する基板又は可撓性基板などがある。ガラス基板
の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラスなどがある。可
撓性基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタ
レート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、又は
アクリル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。他にも、貼り合わせフィルム(ポリプ
ロピレン、ポリエステル、ビニル、ポリフッ化ビニル、塩化ビニルなど)、繊維状な材料
を含む紙、基材フィルム(ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、無機蒸着フィルム、
紙類等)などがある。
半導体基板5352としては、一例として、n型又はp型の導電型を有する単結晶Si基
板を用いることが可能である。領域5353は、一例として、半導体基板5352に不純
物が添加された領域であり、ウェルとして機能する。例えば、半導体基板5352がp型
の導電型を有する場合、領域5353は、n型の導電型を有し、nウェルとして機能する
。一方で、半導体基板5352がn型の導電型を有する場合、領域5353は、p型の導
電型を有し、pウェルとして機能する。領域5355は、一例として、不純物が半導体基
板5352に添加された領域であり、ソース領域又はドレイン領域として機能する。なお
、半導体基板5352に、LDD領域を形成することが可能である。
絶縁層5261の一例としては、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒
化珪素(SiOxNy)(x>y>0)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y>0)
などの酸素若しくは窒素を有する膜、又はこれらの積層構造などがある。絶縁層5261
が2層構造で設けられる場合の一例としては、1層目の絶縁層として窒化珪素膜を設け、
2層目の絶縁層として酸化珪素膜を設けることが可能である。絶縁層5261が3層構造
で設けられる場合の一例としては、1層目の絶縁層として酸化珪素膜を設け、2層目の絶
縁層として窒化珪素膜を設け、3層目の絶縁層として酸化珪素膜を設けることが可能であ
る。
半導体層5262、半導体層5303a、及び半導体層5303bの一例としては、非単
結晶半導体(例えば、非晶質(アモルファス)シリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコ
ンなど)、単結晶半導体、化合物半導体若しくは酸化物半導体(例えば、ZnO、InG
aZnO、SiGe、GaAs、IZO、ITO、SnO、AZTO、有機半導体、又は
カーボンナノチューブなどがある。
なお、例えば、領域5262aは、不純物が半導体層5262に添加されていない真性の
状態であり、チャネル領域として機能する。ただし、領域5262aに不純物を添加する
ことが可能であり、領域5262aに添加される不純物は、領域5262b、領域526
2c、領域5262d、又は領域5262eに添加される不純物の濃度よりも低いことが
好ましい。領域5262b、及び領域5262dは、領域5262c又は領域5262e
よりも低濃度の不純物が添加された領域であり、LDD領域として機能する。ただし、領
域5262b、及び領域5262dを省略することが可能である。領域5262c、及び
領域5262eは、高濃度に不純物が半導体層5262に添加された領域であり、ソース
領域又はドレイン領域として機能する。
なお、半導体層5303bは、不純物元素としてリンなどが添加された半導体層であり、
n型の導電型を有する。
なお、半導体層5303aとして、酸化物半導体、又は化合物半導体が用いられる場合、
半導体層5303bを省略することが可能である。
絶縁層5263、絶縁層5302、及び絶縁層5356の一例としては、酸化珪素(Si
Ox)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y>0)、窒化酸
化珪素(SiNxOy)(x>y>0)などの酸素若しくは窒素を有する膜、又はこれら
の積層構造などがある。
導電層5264、導電層5266、導電層5268、導電層5271、導電層5301、
導電層5304、導電層5306、導電層5308、導電層5357、及び導電層535
9は、単層構造又は積層構造とすることができ、導電膜を用いて形成される。当該導電膜
の一例としては、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデ
ン(Mo)、タングステン(W)、ネオジム(Nd)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni
)、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、コバルト
(Co)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)、鉄(Fe)、パラジウム(Pd)、炭素
(C)、スカンジウム(Sc)、亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)
、錫(Sn)、ジルコニウム(Zr)、セリウム(Ce)によって構成される群から選ば
れた一つの元素の単体膜、又は、群から選ばれた一つ又は複数の元素を含む化合物などが
ある。なお、当該単体膜又は化合物は、リン(P)、ボロン(B)、ヒ素(As)、及び
/又は、酸素(O)などを含むことが可能である。当該化合物の一例としては、前述した
複数の元素から選ばれた一つ若しくは複数の元素を含む合金(例えば、ITO、IZO、
酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化錫(SnO
)、酸化錫カドミウム(CTO)、アルミニウムネオジム(Al−Nd)、アルミニウム
タングステン(Al−W)、アルミニウムジルコニウム(Al−Zr)、アルミニウムチ
タン(Al−Ti)、アルミニウムセリウム(Al−Ce)、マグネシウム銀(Mg−A
g)、モリブデンニオブ(Mo−Nb)、モリブデンタングステン(Mo−W)、モリブ
デンタンタル(Mo−Ta)などの合金材料)、前述した複数の元素から選ばれた一つ若
しくは複数の元素と窒素との化合物(例えば、窒化チタン、窒化タンタル、窒化モリブデ
ンなどの窒化膜)、又は、前述した複数の元素から選ばれた一つ若しくは複数の元素とシ
リコンとの化合物(例えば、タングステンシリサイド、チタンシリサイド、ニッケルシリ
サイド、アルミニウムシリコン、モリブデンシリコンなどのシリサイド膜)などがある。
他にも、例えば、カーボンナノチューブ、有機ナノチューブ、無機ナノチューブ、又は金
属ナノチューブなどのナノチューブ材料がある。
絶縁層5265、絶縁層5267、絶縁層5269、絶縁層5305、及び絶縁層535
8の一例としては、単層構造の絶縁層、又はこれらの積層構造などがある。当該絶縁層の
一例としては、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、若しくは酸化窒化珪素(
SiOxNy)(x>y>0)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y>0)等の酸素
若しくは窒素を含む膜、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)等の炭素を含む膜、又は
、シロキサン樹脂、エポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリビニルフェノール、ベンゾ
シクロブテン、若しくはアクリル等の有機材料などがある。
発光層5270の一例としては、有機EL素子、又は無機EL素子などがある。有機EL
素子の一例としては、正孔注入材料からなる正孔注入層、正孔輸送材料からなる正孔輸送
層、発光材料からなる発光層、電子輸送材料からなる電子輸送層、電子注入材料からなる
電子注入層など、若しくはこれらの材料のうち複数の材料を混合した層の単層構造、若し
くはこれらの積層構造などがある。
液晶層5307の一例、液晶層5307に適用可能な液晶材料の一例、又は液晶層530
7を含む液晶素子に適用可能な液晶モードの一例としては、ネマチック液晶、コレステリ
ック液晶、スメクチック液晶、ディスコチック液晶、サーモトロピック液晶、リオトロピ
ックライオトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC)、
強誘電液晶、反強誘電液晶、主鎖型液晶、側鎖型高分子液晶、プラズマアドレス液晶(P
ALC)、バナナ型液晶、TN(Twisted Nematic)モード、STN(S
uper Twisted Nematic)モード、IPS(In−Plane−Sw
itching)モード、FFS(Fringe Field Switching)モ
ード、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)モ
ード、PVA(Patterned Vertical Alignment)、ASV
(Advanced Super View)モード、ASM(Axially Sym
metric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optica
l Compensated Birefringence)モード、ECB(Elec
trically Controlled Birefringence)モード、FL
C(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(
AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、PDL
C(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード、ゲ
ストホストモード、ブルー相(Blue Phase)モードなどがある。
なお、絶縁層5305の上及び導電層5306の上には、配向膜として機能する絶縁層、
突起部として機能する絶縁層などを形成することが可能である。
なお、導電層5308の上には、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、又は突起部とし
て機能する絶縁層などを形成することが可能である。導電層5308の下には、配向膜と
して機能する絶縁層を形成することが可能である。
本実施の形態のトランジスタは、実施の形態1〜実施の形態8に適用することが可能であ
る。特に、図36(B)において、半導体層として、非晶質半導体、微結晶半導体、有機
半導体、又は酸化物半導体などを用いる場合、トランジスタが劣化してしまう場合がある
。よって、本実施の形態のトランジスタを半導体装置、シフトレジスタ、又は表示装置に
用いると、これらの寿命が短くなってしまう。しかし、実施の形態1〜実施の形態8の半
導体装置、シフトレジスタ、又は表示装置では、トランジスタの劣化を抑制することがで
きる。したがって、本実施の形態のトランジスタを実施の形態1〜実施の形態8の半導体
装置、シフトレジスタ、又は表示装置に適用することによって、これらの寿命を長くする
ことができる。
(実施の形態10)
本実施の形態では、トランジスタ、及び容量素子の作製工程の一例を示す。特に、半導体
層として、酸化物半導体を用いる場合の作製工程について説明する。
図37(A)〜(C)を参照して、トランジスタ、及び容量素子の作製工程の一例につい
て説明する。図37(A)〜(C)には、トランジスタ5441、及び容量素子5442
の作製工程の一例である。トランジスタ5441は、逆スタガ型薄膜トランジスタの一例
であり、酸化物半導体層上にソース電極又はドレイン電極を介して配線が設けられている
トランジスタの例である。
まず、基板5420上に、スパッタリング法により第1導電層を全面に形成する。次に、
第1フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスクを用い
て、選択的に第1導電層のエッチングを行い、導電層5421、及び導電層5422を形
成する。導電層5421は、ゲート電極として機能することが可能であり、導電層542
2は、容量素子の一方の電極として機能することが可能である。ただし、これに限定され
ず、導電層5421、及び導電層5422は、配線、ゲート電極、又は容量素子の電極と
して機能する部分を有することが可能である。この後、レジストマスクを除去する。
次に、絶縁層5423をプラズマCVD法又はスパッタリング法を用いて全面に形成する
。絶縁層5423は、ゲート絶縁層として機能することが可能であり、導電層5421、
及び導電層5422を覆うように形成される。なお、絶縁層5423の膜厚は、50nm
〜250nmである場合が多い。
次に、第2フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスク
を用いて、絶縁層5423を選択的にエッチングして導電層5421に達するコンタクト
ホール5424を形成する。この後、レジストマスクを除去する。ただし、これに限定さ
れず、コンタクトホール5424を省略することが可能である。又は、酸化物半導体層の
形成後に、コンタクトホール5424を形成することが可能である。ここまでの段階での
断面図が図37(A)に相当する。
次に、酸化物半導体層をスパッタリング法により全面に形成する。ただし、これに限定さ
れず、酸化物半導体層をスパッタリング法により形成し、さらにその上にバッファ層(例
えばn層)を形成することが可能である。なお、酸化物半導体層の膜厚は、5nm〜2
00nmである場合が多い。
次に、第3フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスク
を用いて、選択的に酸化物半導体層のエッチングを行う。この後、レジストマスクを除去
する。
次に、スパッタリング法により第2導電層を全面に形成する。次に、第4フォトマスクを
用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスクを用いて選択的に第2導電
層のエッチングを行い、導電層5429、導電層5430、及び導電層5431を形成す
る。導電層5429は、コンタクトホール5424を介して導電層5421と接続される
。導電層5429、及び導電層5430は、ソース電極又はドレイン電極として機能する
ことが可能であり、導電層5431は、容量素子の他方の電極として機能することが可能
である。ただし、これに限定されず、導電層5429、導電層5430、及び導電層54
31は、配線、ソース若しくはドレイン電極、又は容量素子の電極として機能する部分を
含むことが可能である。
なお、この後、熱処理(例えば200℃〜600℃の)を行う場合、この熱処理に耐えら
れる耐熱性を第2導電層に持たせることが好ましい。よって、第2導電層は、Alと、耐
熱性の高い導電性材料(例えば、Ti、Ta、W、Mo、Cr、Nd、Sc、Zr、Ce
などの元素、これらの元素を組み合わせた合金、又は、これらの元素を成分とする窒化物
など)とを組み合わせた材料であることが好ましい。ただし、これに限定されず、第2導
電層を積層構造にすることによって、第2導電層に高い耐熱性を持たせることができる。
例えば、Alの上下に、Ti、又はMoなどの耐熱性の高い導電性材料を設けることが可
能である。
なお、第2導電層のエッチングの際に、さらに、酸化物半導体層の一部をエッチングして
、酸化物半導体層5425を形成する。このエッチングによって、導電層5421と重な
る部分の酸化物半導体層5425、又は、上方に第2の導電層が形成されていない部分の
酸化物半導体層5425は、削れられるので、薄くなる場合が多い。ただし、これに限定
されず、酸化物半導体層5425は、エッチングされないことが可能である。ただし、酸
化物半導体層5425の上にn層が形成される場合は、酸化物半導体層5425はエッ
チングされる場合が多い。この後、レジストマスクを除去する。このエッチングが終了し
た段階でトランジスタ5441と容量素子5442とが完成する。ここまでの段階での断
面図が図37(B)に相当する。
次に、大気雰囲気下又は窒素雰囲気下で200℃〜600℃の加熱処理を行う。この熱処
理により酸化物半導体層5425の原子レベルの再配列が行われる。このように、熱処理
(光アニールも含む)によりキャリアの移動を阻害する歪が解放される。なお、この加熱
処理を行うタイミングは限定されず、酸化物半導体層の形成後であれば、様々なタイミン
グで行うことが可能である。
次に、絶縁層5432を全面に形成する。絶縁層5432は、単層構造であることが可能
であるし、積層構造であることが可能である。例えば、絶縁層5432として有機絶縁層
を用いる場合、有機絶縁層の材料である組成物を塗布し、大気雰囲気下又は窒素雰囲気下
で200℃〜600℃の加熱処理を行って、有機絶縁層を形成する。このように、酸化物
半導体層5425に接する有機絶縁層を形成することにより、信頼性の高い薄膜トランジ
スタを作製することができる。なお、絶縁層5432として有機絶縁層を用いる場合、有
機絶縁層の下に、窒化珪素膜、又は酸化珪素膜を設けることが可能である。
なお、図37(C)においては、非感光性樹脂を用いて絶縁層5432を形成した形態を
示すため、コンタクトホールが形成される領域の断面において、絶縁層5432の端部が
角張っている。しかしながら、感光性樹脂を用いて絶縁層5432を形成すると、コンタ
クトホールが形成される領域の断面において、絶縁層5432の端部を湾曲させることが
可能になる。この結果、後に形成される第3導電層又は画素電極の被覆率が向上する。
なお、組成物を塗布する代わりに、その材料に応じて、ディップ法、スプレー塗布法、イ
ンクジェット法、印刷法、ドクターナイフ、ロールコーター、カーテンコーター、又はナ
イフコーター等を用いることが可能である。
なお、酸化物半導体層を形成した後の加熱処理をせず、有機絶縁層の材料である組成物の
加熱処理時に、酸化物半導体層5425の加熱処理を兼ねることが可能である。
なお、絶縁層5432の膜厚は、200nm〜5μm、好ましくは300nm〜1μmと
することが可能である。
次に、第3導電層を全面に形成する。次に、第5フォトマスクを用いたフォトリソグラフ
ィ工程により形成したレジストマスクを用いて第3導電層を選択的にエッチングして、導
電層5433、及び導電層5434を形成する。ここまでの段階での断面図が図37(C
)に相当する。導電層5433、及び導電層5434は、配線、画素電極、反射電極、透
光性電極、又は容量素子の電極として機能することが可能である。特に、導電層5434
は、導電層5422と接続されるので、容量素子5442の電極として機能することが可
能である。ただし、これに限定されず、第1導電層を用いて形成された導電層と第2導電
層を用いて形成された導電層とを接続する機能を有することが可能である。例えば、導電
層5433と導電層5434とを接続することによって、導電層5422と導電層543
0とを第3導電層(導電層5433及び導電層5434)を介して接続されることが可能
になる。
なお、容量素子5442は、導電層5422と導電層5434とによって、導電層543
1が挟まれる構造になるので、容量素子5442の容量値を大きくすることができる。た
だし、これに限定されず、導電層5422と導電層5434との一方を省略することが可
能である。
なお、レジストマスクをウェットエッチングで除去した後、大気雰囲気下又は窒素雰囲気
下で200℃〜600℃の加熱処理を行うことが可能である。
以上の工程により、トランジスタ5441と容量素子5442とを作製することができる
なお、図37(D)に示すように、酸化物半導体層5425の上に絶縁層5435を形成
することが可能である。絶縁層5435は、第2導電層がパターニングされる場合に、酸
化物半導体層5425が削られることを防止する機能を有し、ストップ膜として機能する
。よって、酸化物半導体層5425の膜厚を薄くすることができるので、トランジスタの
駆動電圧の低減、オフ電流の低減、ドレイン電流のオンオフ比の向上、又はS値の改善な
どを図ることができる。なお、絶縁層5435は、酸化物半導体層と絶縁層とを連続して
全面に形成し、その後、フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレ
ジストマスクを用いて選択的に当該絶縁層をパターニングすることによって、形成される
ことができる。その後、第2導電層を全面に形成し、第2導電層と同時に酸化物半導体層
をパターニングする。つまり、同じマスク(レチクル)を用いて、酸化物半導体層と第2
導電層とをパターニングすることが可能になる。この場合、第2導電層の下には、必ず酸
化物半導体が形成されることになる。こうして、工程数を増やすことなく、絶縁層543
5を形成することができる。このような製造プロセスでは、第2導電層の下に酸化物半導
体層が形成される場合が多い。ただし、これに限定されず、酸化物半導体層をパターニン
グした後に、絶縁層を全面に形成し、当該絶縁層をパターニングすることによって、絶縁
層5435を形成することが可能である。
なお、図37(D)において、容量素子5442は、導電層5422と導電層5431と
によって、絶縁層5423と酸化物半導体層5436とが挟まれる構造である。ただし、
酸化物半導体層5436を省略することが可能である。そして、導電層5430と導電層
5431とは、第3導電層をパターニングして形成される導電層5437を介して接続さ
れている。このような構造は、一例として、液晶表示装置の画素に用いられることが可能
である。例えば、トランジスタ5441はスイッチングトランジスタとして機能し、容量
素子5442は保持容量として機能することが可能である。そして、導電層5421、導
電層5422、導電層5429、導電層5437は、各々、ゲート線、容量線、ソース線
、画素電極として機能することが可能である。ただし、これに限定されない。なお、図3
7(D)と同様に、図37(C)においても、導電層5430と導電層5431とを第3
導電層を介して接続することが可能である。
なお、図37(E)に示すように、第2導電層をパターニングした後に、酸化物半導体層
5425を形成することが可能である。こうすることによって、第2導電層がパターニン
グされる場合、酸化物半導体層5425は形成されていないので、酸化物半導体層542
5が削られることがない。よって、酸化物半導体層5425の膜厚を薄くすることができ
るので、トランジスタの駆動電圧の低減、オフ電流の低減、ドレイン電流のオンオフ比の
向上、又はS値の改善などを図ることができる。なお、酸化物半導体層5425は、第2
導電層がパターニングされる後に、酸化物半導体層5425が全面に形成され、その後フ
ォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスクを用いて選択
的に酸化物半導体層5425をパターニングすることによって形成されることができる。
なお、図37(E)において、容量素子5442は、導電層5422と、第3導電層をパ
ターニングして形成される導電層5439とによって、絶縁層5423と絶縁層5432
とが挟まれる構造である。そして、導電層5422と導電層5430とは、第3導電層を
パターニングして形成される導電層5438を介して接続される。さらに、導電層543
9は、第2導電層をパターニングして形成される導電層5440と接続される。なお、図
37(E)と同様に、図37(C)及び(D)においても、導電層5430と導電層54
22とは、導電層5438を介して接続されることが可能である。
なお、酸化物半導体層(又はチャネル層)の膜厚を、トランジスタがオフの場合の空乏層
の厚さ以下にすることによって、完全空乏化状態を作り出すことが可能になる。こうして
、オフ電流を低減することができる。これを実現するために、酸化物半導体層5425の
膜厚は、20nm以下であることが好ましい。より好ましくは10nm以下である。さら
に好ましくは6nm以下であることが好ましい。
なお、トランジスタの動作電圧の低減、オフ電流の低減、ドレイン電流のオンオフ比の向
上、S値の改善などを図るために、酸化物半導体層の膜厚は、トランジスタを構成する層
の中で、一番薄いことが好ましい。例えば、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423よ
りも薄いことが好ましい。より好ましくは、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423の
1/2以下であることが好ましい。より好ましくは、1/5以下であることが好ましい。
さらに好ましくは、1/10以下であることが好ましい。ただし、これに限定されず、信
頼性を向上させるために、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423よりも厚いことが可
能である。特に、図37(C)のように、酸化物半導体層が削られる場合には、酸化物半
導体層の膜厚は厚いほうが好ましいので、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423より
も厚いことが可能である。
なお、トランジスタの絶縁耐圧を高くするために、絶縁層5423の膜厚は、第1導電層
の膜厚よりも厚いことが好ましい。より好ましくは、絶縁層5423の膜厚は、第1導電
層の5/4以上であることが好ましい。さらに好ましくは、4/3以上であることが好ま
しい。ただし、これに限定されず、トランジスタの移動度を高くするために、絶縁層54
23の膜圧は、第1導電層よりも薄いことが可能である。
なお、本実施の形態の基板、絶縁層、導電層、及び半導体層としては、他の実施の形態に
述べる材料、又は本明細書において述べる材料と同様なものを用いることが可能である。
本実施の形態のトランジスタを実施の形態1〜実施の形態8の半導体装置、シフトレジス
タ、又は表示装置に用いることによって、表示部を大きくすることができる。又は、表示
部を高精細にすることができる。
(実施の形態11)
本実施の形態では、シフトレジスタのレイアウト図(以下、上面図ともいう)について説
明する。本実施の形態では、一例として、実施の形態4に述べるシフトレジスタのレイア
ウト図について説明する。なお、本実施の形態において説明する内容は、実施の形態4に
述べるシフトレジスタの他にも、実施の形態1〜実施の形態7の半導体装置、シフトレジ
スタ、又は表示装置に適用することが可能である。なお、本実施の形態のレイアウト図は
一例であって、これに限定されるものではないことを付記する。
本実施の形態のレイアウト図について、図38を参照して説明する。図38には、一例と
して、図5(A)のレイアウト図を示す。なお、図38の右部に示すハッチングパターン
は、それぞれのハッチングパターンに付されている符号の構成要素のハッチングパターン
を示すものである。
図38に示すトランジスタ、又は配線などは、導電層701、半導体層702、導電層7
03、導電層704、及びコンタクトホール705によって構成される。ただし、これに
限定されず、別の導電層、絶縁膜、又は別のコンタクトホールを形成することが可能であ
る。例えば、導電層701と導電層703とを接続するためのコンタクトホールを追加す
ることが可能である。
導電層701は、ゲート電極、又は配線として機能する部分を含むことが可能である。半
導体層702は、トランジスタの半導体層として機能する部分を含むことが可能である。
導電層703は、配線、ソース電極、又はドレイン電極として機能する部分を含むことが
可能である。導電層704は、透光性を有する電極、画素電極、又は配線として機能する
部分を含むことが可能である。コンタクトホール705は、導電層701と導電層704
とを接続する機能、又は導電層703と導電層704とを接続する機能を有する。
本実施の形態では、トランジスタ101_1、トランジスタ101_2、トランジスタ2
01_1、及び/又は、トランジスタ202_2において、第2端子としての機能を有す
る導電層703と、導電層701とが重なる面積は、第1端子としての機能を有する導電
層703と、導電層701とが重なる面積よりも小さいことが好ましい。こうすることに
よって、第2端子への電界の集中を抑制することができるので、トランジスタの劣化、又
はトランジスタの破壊を抑制することができる。ただし、これに限定されず第2端子とし
ての機能を有する導電層703と、導電層701とが重なる面積は、第1端子としての機
能を有する導電層703と、導電層701とが重なる面積よりも大きいことが可能である
なお、導電層701と導電層703とが重なる部分には、半導体層702を形成すること
が可能である。こうすることによって、導電層701と導電層703との間の寄生容量を
小さくすることができるので、ノイズの低減を図ることができる。同様の理由で、導電層
703と導電層704とが重なる部分には、半導体層702を形成することが可能である
なお、導電層701の一部の上に導電層704を形成し、当該導電層701は、コンタク
トホール705を介して導電層704と接続されることが可能である。こうすることによ
って、配線抵抗を下げることができる。又は、導電層701の一部の上に導電層703、
及び導電層704を形成し、当該導電層701は、コンタクトホール705を介して当該
導電層704と接続され、当該導電層703は、別のコンタクトホール705を介して当
該導電層704と接続されることが可能である。こうすることによって、配線抵抗を下げ
ることができる。
なお、導電層703の一部の上に導電層704を形成し、当該導電層703は、コンタク
トホール705を介して導電層704と接続されることが可能である。こうすることによ
って、配線抵抗を下げることができる。
なお、導電層704の一部の下に導電層701、又は導電層703を形成し、当該導電層
704は、コンタクトホール705を介して、当該導電層701、又は当該導電層703
と接続されることが可能である。こうすることによって、配線抵抗を下げることができる
なお、すでに述べたように、トランジスタ101_1のゲートと第1端子との間の寄生容
量よりも、トランジスタ101_1のゲートと第2端子との間の寄生容量を大きくするこ
とが可能である。図38に示すように、トランジスタ101_1の第1端子として機能す
ることが可能な導電層703の幅を幅731と示し、トランジスタ101_1の第2端子
として機能することが可能な導電層703の幅を幅732と示す。そして、幅731は、
幅732よりも大きいことが可能である。こうすることによって、トランジスタ101_
1のゲートと第1端子との間の寄生容量よりも、トランジスタ101_1のゲートと第2
端子との間の寄生容量を大きくすることが可能である。ただし、これに限定されない。
なお、すでに述べたように、トランジスタ101_2のゲートと第1端子との間の寄生容
量よりも、トランジスタ101_2のゲートと第2端子との間の寄生容量を大きくするこ
とが可能である。図38に示すように、トランジスタ101_2の第1端子として機能す
ることが可能な導電層703の幅を幅741と示し、トランジスタ101_2の第2端子
として機能することが可能な導電層703の幅を幅742と示す。そして、幅741は、
幅742よりも大きいことが可能である。こうすることによって、トランジスタ101_
2のゲートと第1端子との間の寄生容量よりも、トランジスタ101_2のゲートと第2
端子との間の寄生容量を大きくすることが可能である。ただし、これに限定されない。
(実施の形態12)
本実施の形態においては、電子機器の例について説明する。
図39(A)乃至図39(H)、図40(A)乃至図40(D)は、電子機器を示す図で
ある。これらの電子機器は、筐体5000、表示部5001、スピーカ5003、LED
ランプ5004、操作キー5005(表示装置の動作を制御する操作スイッチ、又は電源
スイッチを含む)、接続端子5006、センサ5007(力、変位、位置、速度、加速度
、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電
流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を
含むもの)、マイクロフォン5008、等を有することができる。
図39(A)はモバイルコンピュータであり、上述したものの他に、スイッチ5009、
赤外線ポート5010、等を有することができる。図39(B)は記録媒体を備えた携帯
型の画像再生装置(たとえば、DVD再生装置)であり、上述したものの他に、第2表示
部5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図39(C)はゴーグ
ル型ディスプレイであり、上述したものの他に、第2表示部5002、支持部5012、
イヤホン5013、等を有することができる。図39(D)は携帯型遊技機であり、上述
したものの他に、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図39(E)はプ
ロジェクタであり、上述したものの他に、光源5033、投射レンズ5034、等を有す
ることができる。図39(F)は携帯型遊技機であり、上述したものの他に、第2表示部
5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図39(G)はテレビ受
像器であり、上述したものの他に、チューナ、画像処理部、等を有することができる。図
39(H)は持ち運び型テレビ受像器であり、上述したものの他に、信号の送受信が可能
な充電器5017、等を有することができる。図40(A)はディスプレイであり、上述
したものの他に、支持台5018、等を有することができる。図40(B)はカメラであ
り、上述したものの他に、外部接続ポート5019、シャッターボタン5015、受像部
5016、等を有することができる。図40(C)はコンピュータであり、上述したもの
の他に、ポインティングデバイス5020、外部接続ポート5019、リーダ/ライタ5
021、等を有することができる。図40(D)は携帯電話機であり、上述したものの他
に、アンテナ5014、携帯電話・移動端末向けの1セグメント部分受信サービス用チュ
ーナ、等を有することができる。
図39(A)乃至図39(H)、図40(A)乃至図40(D)に示す電子機器は、様々
な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)
を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する
機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、
無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を
用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又
はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。さらに、複数の
表示部を有する電子機器においては、一つの表示部を主として画像情報を表示し、別の一
つの表示部を主として文字情報を表示する機能、又は、複数の表示部に視差を考慮した画
像を表示することで立体的な画像を表示する機能、等を有することができる。さらに、受
像部を有する電子機器においては、静止画を撮影する機能、動画を撮影する機能、撮影し
た画像を自動又は手動で補正する機能、撮影した画像を記録媒体(外部又はカメラに内蔵
)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有することができる。な
お、図39(A)乃至図39(H)、図40(A)乃至図40(D)に示す電子機器が有
することのできる機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。
本実施の形態において述べた電子機器は、何らかの情報を表示するための表示部を有する
ことを特徴とする。本実施の形態の電子機器と、実施の形態1〜実施の形態9の半導体装
置、シフトレジスタ、又は表示装置とを組み合わせることによって、信頼性の向上、歩留
まりの向上、コストの削減、表示部の大型化、表示部の高精細化などを図ることができる
次に、半導体装置の応用例を説明する。
図40(E)に、半導体装置を、建造物と一体にして設けた例について示す。図40(E
)は、筐体5022、表示部5023、操作部であるリモコン装置5024、スピーカ5
025等を含む。半導体装置は、壁かけ型として建物と一体となっており、設置するスペ
ースを広く必要とすることなく設置可能である。
図40(F)に、建造物内に半導体装置を、建造物と一体にして設けた別の例について示
す。表示パネル5026は、ユニットバス5027と一体に取り付けられており、入浴者
は表示パネル5026の視聴が可能になる。
なお、本実施の形態において、建造物として壁、ユニットバスを例としたが、本実施の形
態はこれに限定されず、様々な建造物に半導体装置を設置することができる。
次に、半導体装置を、移動体と一体にして設けた例について示す。
図40(G)は、半導体装置を、自動車に設けた例について示した図である。表示パネル
5028は、自動車の車体5029に取り付けられており、車体の動作又は車体内外から
入力される情報をオンデマンドに表示することができる。なお、ナビゲーション機能を有
していてもよい。
図40(H)は、半導体装置を、旅客用飛行機と一体にして設けた例について示した図で
ある。図40(H)は、旅客用飛行機の座席上部の天井5030に表示パネル5031を
設けたときの、使用時の形状について示した図である。表示パネル5031は、天井50
30とヒンジ部5032を介して一体に取り付けられており、ヒンジ部5032の伸縮に
より乗客は表示パネル5031の視聴が可能になる。表示パネル5031は乗客が操作す
ることで情報を表示する機能を有する。
なお、本実施の形態において、移動体としては自動車車体、飛行機機体について例示した
がこれに限定されず、自動二輪車、自動四輪車(自動車、バス等を含む)、電車(モノレ
ール、鉄道等を含む)、船舶等、様々なものに設置することができる。
10 回路
11_1 スイッチ
11_2 スイッチ
11 スイッチ
21 経路
100 回路
101 トランジスタ
101p トランジスタ
101a ダイオード
102 トランジスタ
102p トランジスタ
111 配線
112 配線
111A 配線
112A 配線
112B 配線
114A 配線
114B 配線
117A 配線
117B 配線
117C 配線
117D 配線
117E 配線
117F 配線
117G 配線
117H 配線
117I 配線
117J 配線
117K 配線
301a ダイオード
301p トランジスタ
3020 画素
3021 トランジスタ
3022 液晶素子
3023 容量素子
302a ダイオード
302p トランジスタ
111 配線
112 配線
113 配線
114 配線
115 配線
116 配線
117 配線
118 配線
120 回路
121 容量素子
122 トランジスタ
200 回路
201 トランジスタ
202 トランジスタ
203 トランジスタ
211 配線
300 回路
301 トランジスタ
302 トランジスタ
303 トランジスタ
303a ダイオード
303p トランジスタ
304 トランジスタ
304a ダイオード
304p トランジスタ
310 回路
311 トランジスタ
312 トランジスタ
313 トランジスタ
314 トランジスタ
315 容量素子
316 トランジスタ
320 回路
321 トランジスタ
322 トランジスタ
323 トランジスタ
324 トランジスタ
325 容量素子
326 トランジスタ
330 回路
331 トランジスタ
332 トランジスタ
333 トランジスタ
334 トランジスタ
335 トランジスタ
336 トランジスタ
342 トランジスタ
344 トランジスタ
500 シフトレジスタ
501 フリップフロップ
511 配線
512 配線
513 配線
514 配線
515 配線
516 配線
517 配線
518 配線
520 回路
521 回路
522 回路
600 回路
601 回路
602 回路
603 トランジスタ
604 配線
605 配線
614 信号
615 信号
701 導電層
702 半導体層
703 導電層
704 導電層
705 コンタクトホール
731 幅
732 幅
741 幅
742 幅
3031 配線
3032 配線
3033 配線
3034 電極
3041 信号
3042 信号
3043 電圧
5000 筐体
5001 表示部
5002 表示部
5003 スピーカ
5004 LEDランプ
5005 操作キー
5006 接続端子
5007 センサ
5008 マイクロフォン
5009 スイッチ
5010 赤外線ポート
5011 記録媒体読込部
5012 支持部
5013 イヤホン
5014 アンテナ
5015 シャッターボタン
5016 受像部
5017 充電器
5018 支持台
5019 外部接続ポート
5020 ポインティングデバイス
5021 リーダ/ライタ
5022 筐体
5023 表示部
5024 リモコン装置
5025 スピーカ
5026 表示パネル
5027 ユニットバス
5028 表示パネル
5029 車体
5030 天井
5031 表示パネル
5032 ヒンジ部
5033 光源
5034 投射レンズ
5260 基板
5261 絶縁層
5262 半導体層
5263 絶縁層
5264 導電層
5265 絶縁層
5266 導電層
5267 絶縁層
5268 導電層
5269 絶縁層
5270 発光層
5271 導電層
5273 絶縁層
5300 基板
5301 導電層
5302 絶縁層
5304 導電層
5305 絶縁層
5306 導電層
5307 液晶層
5308 導電層
5350 領域
5351 領域
5352 半導体基板
5353 領域
5354 絶縁層
5355 領域
5356 絶縁層
5357 導電層
5358 絶縁層
5359 導電層
5360 ビデオ信号
5361 回路
5362 回路
5363 回路
5364 画素部
5365 回路
5366 照明装置
5367 画素
5371 配線
5372 配線
5373 配線
5380 基板
5381 入力端子
5391 基板
5392 駆動回路
5393 画素部
5400 基板
5401 導電層
5402 絶縁層
5404 導電層
5405 絶縁層
5406 導電層
5407 液晶層
5408 絶縁層
5409 導電層
5410 基板
5420 基板
5421 導電層
5422 導電層
5423 絶縁層
5424 コンタクトホール
5425 酸化物半導体層
5429 導電層
5430 導電層
5431 導電層
5432 絶縁層
5433 導電層
5434 導電層
5435 絶縁層
5436 酸化物半導体層
5437 導電層
5438 導電層
5439 導電層
5440 導電層
5441 トランジスタ
5442 容量素子
3020A サブ画素
3020B サブ画素
3021A トランジスタ
3021B トランジスタ
3022A 液晶素子
3022B 液晶素子
3023A 容量素子
3023B 容量素子
3031A 配線
3031B 配線
3032A 配線
3032B 配線
5262a 領域
5262b 領域
5262c 領域
5262d 領域
5262e 領域
5303a 半導体層
5303b 半導体層
5361a 回路
5361b 回路
5362a 回路
5362b 回路
5403a 半導体層
5403b 半導体層

Claims (4)

  1. ゲートドライバを有し、
    前記ゲートドライバは、第1のトランジスタを有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極と、第1の半導体層と、第1のソース電極と、第1のドレイン電極と、を有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1のゲート電極上方に設けられ、
    前記第1のソース電極は、前記第1の半導体層上方に設けられ、
    前記第1のドレイン電極は、前記第1の半導体層上方に設けられ、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の一方は、第1の導電層を有し、
    前記第1のゲート電極は、第2の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、開口部を有し、
    前記開口部は、前記第2の導電層と重なる領域と、前記第2の導電層と重ならない領域と、を有し、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の他方は、ゲート信号線と電気的に接続される表示装置。
  2. ゲートドライバを有し、
    前記ゲートドライバは、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極と、第1の半導体層と、第1のソース電極と、第1のドレイン電極と、を有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1のゲート電極上方に設けられ、
    前記第1のソース電極は、前記第1の半導体層上方に設けられ、
    前記第1のドレイン電極は、前記第1の半導体層上方に設けられ、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極と、第2の半導体層と、第2のソース電極と、第2のドレイン電極と、を有し、
    前記第2の半導体層は、前記第2のゲート電極上方に設けられ、
    前記第2のソース電極は、前記第2の半導体層上方に設けられ、
    前記第2のドレイン電極は、前記第2の半導体層上方に設けられ、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の一方は、第1の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、前記第2のソース電極又は前記第2のドレイン電極の一方を有し、
    前記第1のゲート電極は、第2の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、開口部を有し、
    前記開口部は、前記第2の導電層と重なる領域と、前記第2の導電層と重ならない領域と、を有し、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の他方は、ゲート信号線と電気的に接続される表示装置。
  3. 第1の画素と、第2の画素と、ゲートドライバと、を有し、
    前記第1の画素及び前記第2の画素は、同じ列に属しており、
    前記第1の画素は、第1のトランジスタと、第1の液晶素子と、を有し、
    前記第2の画素は、第2のトランジスタと、第2の液晶素子と、を有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極と、第1の半導体層と、第1のソース電極と、第1のドレイン電極と、を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極と、第2の半導体層と、第2のソース電極と、第2のドレイン電極と、を有し、
    前記第1のゲート電極は、第1のゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第2のゲート電極は、第2のゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の一方は、第1のソース信号線と電気的に接続され、
    前記第2のソース電極又は前記第2のドレイン電極の一方は、第2のソース信号線と電気的に接続され、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の他方は、前記第1の液晶素子と電気的に接続され、
    前記第2のソース電極又は前記第2のドレイン電極の他方は、前記第2の液晶素子と電気的に接続され、
    前記ゲートドライバは、第3のトランジスタを有し、
    前記第3のトランジスタは、第3のゲート電極と、第3の半導体層と、第3のソース電極と、第3のドレイン電極と、を有し、
    前記第3の半導体層は、前記第3のゲート電極上方に設けられ、
    前記第3のソース電極は、前記第3の半導体層上方に設けられ、
    前記第3のドレイン電極は、前記第3の半導体層上方に設けられ、
    前記第3のソース電極又は前記第3のドレイン電極の一方は、第1の導電層を有し、
    前記第3のゲート電極は、第2の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、開口部を有し、
    前記開口部は、前記第2の導電層と重なる領域と、前記第2の導電層と重ならない領域と、を有し、
    前記第3のソース電極又は前記第3のドレイン電極の他方は、前記第1のゲート信号線又は前記第2のゲート信号線の一方と電気的に接続される表示装置。
  4. 第1の画素と、第2の画素と、ゲートドライバと、を有し、
    前記第1の画素及び前記第2の画素は、同じ列に属しており、
    前記第1の画素は、第1のトランジスタと、第1の液晶素子と、を有し、
    前記第2の画素は、第2のトランジスタと、第2の液晶素子と、を有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極と、第1の半導体層と、第1のソース電極と、第1のドレイン電極と、を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極と、第2の半導体層と、第2のソース電極と、第2のドレイン電極と、を有し、
    前記第1のゲート電極は、第1のゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第2のゲート電極は、第2のゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の一方は、第1のソース信号線と電気的に接続され、
    前記第2のソース電極又は前記第2のドレイン電極の一方は、第2のソース信号線と電気的に接続され、
    前記第1のソース電極又は前記第1のドレイン電極の他方は、前記第1の液晶素子と電気的に接続され、
    前記第2のソース電極又は前記第2のドレイン電極の他方は、前記第2の液晶素子と電気的に接続され、
    前記ゲートドライバは、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、を有し、
    前記第3のトランジスタは、第3のゲート電極と、第3の半導体層と、第3のソース電極と、第3のドレイン電極と、を有し、
    前記第3の半導体層は、前記第3のゲート電極上方に設けられ、
    前記第3のソース電極は、前記第3の半導体層上方に設けられ、
    前記第3のドレイン電極は、前記第3の半導体層上方に設けられ、
    前記第4のトランジスタは、第4のゲート電極と、第4の半導体層と、第4のソース電極と、第4のドレイン電極と、を有し、
    前記第4の半導体層は、前記第4のゲート電極上方に設けられ、
    前記第4のソース電極は、前記第4の半導体層上方に設けられ、
    前記第4のドレイン電極は、前記第4の半導体層上方に設けられ、
    前記第3のソース電極又は前記第3のドレイン電極の一方は、第1の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、前記第4のソース電極又は前記第4のドレイン電極の一方を有し、
    前記第3のゲート電極は、第2の導電層を有し、
    前記第1の導電層は、開口部を有し、
    前記開口部は、前記第2の導電層と重なる領域と、前記第2の導電層と重ならない領域と、を有し、
    前記第3のソース電極又は前記第3のドレイン電極の他方は、前記第1のゲート信号線又は前記第2のゲート信号線の一方と電気的に接続される表示装置。
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