JP6456661B2 - 情報処理装置 - Google Patents
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Description
図1(A)は、情報処理装置100aの構成と動作例を示す。情報処理装置100aは、メモリセルMCがマトリクス状に配置されたメモリセルアレイ101を有する。ここでは、メモリセルアレイ101の規模は16行10列とするが、メモリセルアレイ101の規模はこれに限られない。
1つのデータ線に4本以上のビット線が交差し、それぞれにプログラマブルスイッチPSが設けられているとしても、そのうちの少なくとも1つは予備のビット線の接続には関与できない。換言すれば、1つのデータ線に対して、3つのビット線が接続可能であるようにプログラマブルスイッチPSを配置すれば十分である、ということである。
実施の形態1では、不良メモリセルを有するビット線にデータが送られないようにする構成を示したが、本実施の形態では、不良メモリセルを検知するテスト回路をも有する情報処理装置について説明する。
実施の形態1では、不良メモリセルを排除するため、予備のビット線(あるいは予備のワード線)を設ける例を示したが、予備のビット線と予備のワード線の双方を設けてもよい。図15に示す情報処理装置100mは、128ビットの記憶容量であるが、18行10列のメモリセルアレイ101を有する。つまり、予備のビット線と予備のワード線が、それぞれ、2本ある。
実施の形態2で説明したテスト回路108a乃至テスト回路108dは、専用の回路(固定された回路)を用いてもよいし、コンフィギュラブルな回路の設定を変更することで実現してもよい。コンフィギュラブルな回路として、複数回プログラム可能な回路(リコンフィギャラブルな回路)を用いてもよい。また、リコンフィギャラブルな回路からテスト回路108a乃至テスト回路108dに信号を送る構成としてもよい。
本実施の形態では、実施の形態1乃至4で使用できるプログラマブルスイッチPSの例について説明する。図19(A)には、スイッチトランジスタ121と、選択トランジスタ122と、容量素子123を有するプログラマブルスイッチPS[1,2]の回路図を示す。なお、容量素子123は意図的に設けなくてもよい。
本実施の形態では、実施の形態1乃至5で説明した情報処理装置100a乃至情報処理装置100n、情報処理装置100p乃至情報処理装置100r(以下、情報処理装置100、という)を、酸化物半導体を用いたトランジスタ(OSトランジスタ)と単結晶シリコンを用いたトランジスタ(Siトランジスタ)を含む半導体装置で作製する場合の具体的なデバイス構造について説明する。
図21(A)は、OSトランジスタとSiトランジスタを含む半導体装置のデバイス構造の一例を示す断面図である。図21(A)には、このような半導体装置として情報処理装置100を示している。なお、図21(A)は、情報処理装置100の特定の断面を示すものではなく、情報処理装置100の積層構造を説明するための図面である。図21(A)には、代表的に、情報処理装置100のプログラマブルスイッチPSを構成するスイッチトランジスタ121、選択トランジスタ122、容量素子123を示している。スイッチトランジスタ121はSiトランジスタである。スイッチトランジスタ121はn型である。スイッチトランジスタ121上に、選択トランジスタ122および容量素子123が積層されている。
半導体装置を構成するSiトランジスタや、OSトランジスタの構造は、図21(A)に限定されるのもではない。例えば、OSトランジスタに、バックゲートを設けてもよい。この場合、導電体245、導電体256、導電体265と、導電体281乃至導電体284の間に、絶縁層およびその絶縁層上にバックゲートを構成する導電体を形成すればよい。
本実施の形態では、OSトランジスタに用いられる酸化物半導体について説明する。
以下では、酸化物半導体膜の構造について説明する。なお、以下の説明において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、85°以上95°以下の場合も含まれる。また、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す。
まずは、CAAC−OS膜について説明する。
次に、微結晶酸化物半導体膜について説明する。
微結晶酸化物半導体膜は、TEMによる観察像では、明確に結晶部を確認することができない場合がある。微結晶酸化物半導体膜に含まれる結晶部は、1nm以上100nm以下、または1nm以上10nm以下の大きさであることが多い。特に、1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の微結晶であるナノ結晶(nc:nanocrystal)を有する酸化物半導体膜を、nc−OS(nanocrystalline Oxide Semiconductor)膜と呼ぶ。また、nc−OS膜は、例えば、TEMによる観察像では、結晶粒界を明確に確認できない場合がある。
上記で説明した情報処理装置は、様々な半導体装置、電子機器に用いることが可能である。電子機器として、例えば、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備えた画像再生装置(DVD等の記録媒体の画像データを読み出し、その画像を表示するディスプレイを有する装置)に用いることができる。その他に、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯情報端末、電子書籍、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機等が挙げられる。これら電子機器の具体例を図25(A)乃至図25(F)に示す。
100a 情報処理装置
100b 情報処理装置
100c 情報処理装置
100d 情報処理装置
100e 情報処理装置
100f 情報処理装置
100g 情報処理装置
100h 情報処理装置
100i 情報処理装置
100j 情報処理装置
100k 情報処理装置
100l 情報処理装置
100m 情報処理装置
100n 情報処理装置
100p 情報処理装置
100q 情報処理装置
100r 情報処理装置
101 メモリセルアレイ
102 ワード線ドライバ
103 データドライバ
104a スイッチアレイ
104b スイッチアレイ
104c スイッチアレイ
104d スイッチアレイ
104e スイッチアレイ
104f スイッチアレイ
104g スイッチアレイ
104h スイッチアレイ
104i スイッチアレイ
104j スイッチアレイ
104k スイッチアレイ
104l スイッチアレイ
105 メモリセル
106 スイッチ
107 ヒューズ
108a テスト回路
108b テスト回路
108c テスト回路
108d テスト回路
109 スイッチ群
110 デコーダ
111 リコンフィギャラブルブロック
112 インターコネクトマトリクス
121 スイッチトランジスタ
122 選択トランジスタ
123 容量素子
124 選択ドライバ
125a コンフィギュレーションドライバ
125b コンフィギュレーションドライバ
200 単結晶シリコンウェハ
210 絶縁層
211 絶縁層
212 絶縁層
213 絶縁層
214 絶縁層
220 導電体
221 導電体
222 導電体
223 導電体
231 導電体
232 導電体
233 導電体
241 導電体
242 導電体
243 導電体
244 導電体
245 導電体
251 導電体
252 導電体
253 導電体
254 導電体
255 導電体
256 導電体
261 導電体
262 導電体
263 導電体
264 導電体
265 導電体
271 酸化物半導体層
273 酸化物半導体層
276 絶縁層
277 絶縁層
278 絶縁層
281 導電体
282 導電体
283 導電体
284 導電体
291 導電体
292 導電体
296 導電体
297 導電体
300 基板
301 素子分離領域
302 不純物領域
303 不純物領域
304 チャネル形成領域
305 絶縁層
306 ゲート電極
311 絶縁層
312 導電体
313 導電体
314 導電体
316 導電体
317 導電体
318 導電体
320 絶縁層
321 絶縁層
322 絶縁層
330 酸化物半導体層
330a 酸化物半導体層
330b 酸化物半導体層
330c 酸化物半導体層
331 絶縁層
332 導電体
333 導電体
334 ゲート電極
400 携帯型ゲーム機
401 筐体
402 筐体
403 表示部
404 表示部
405 マイクロホン
406 スピーカ
407 操作キー
408 スタイラス
410 携帯情報端末
411 筐体
412 筐体
413 表示部
414 表示部
415 接続部
416 操作キー
420 パーソナルコンピュータ
421 筐体
422 表示部
423 キーボード
424 ポインティングデバイス
430 電気冷蔵庫
431 筐体
432 冷蔵室用扉
433 冷凍室用扉
440 ビデオカメラ
441 筐体
442 筐体
443 表示部
444 操作キー
445 レンズ
446 接続部
450 自動車
451 車体
452 車輪
453 ダッシュボード
454 ライト
MC メモリセル
WL ワード線
BL ビット線
DL データ線
PS プログラマブルスイッチ
TL 端子
TLa 端子
TLb 端子
SL 選択線
CL コンフィギュレーション線
PLC プログラマブルロジック回路
Claims (5)
- 複数の第1の配線と、
複数の第2の配線と、
複数の第3の配線と、
前記複数の第1の配線と前記複数の第3の配線の交差部にメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記複数の第2の配線と前記複数の第3の配線の交差部に前記複数の第2の配線の一と、前記複数の第3の配線の一を電気的に接続できるプログラマブルスイッチを有するスイッチアレイと、
前記複数の第1の配線に信号を供給する機能を有する第1のドライバ回路と、
前記複数の第2の配線に信号を供給する機能を有する第2のドライバ回路と、
前記スイッチアレイと電気的に接続された、第1のリコンフィギャラブルブロックと、
前記第1のリコンフィギャラブルブロックと電気的に接続された、インターコネクトマトリクスと、
前記インターコネクトマトリクスと電気的に接続された、第2のリコンフィギャラブルブロックと、を有し、
前記第1のリコンフィギャラブルブロックと、前記インターコネクトマトリクスと、前記第2のリコンフィギャラブルブロックと、の一部又は全部は、前記メモリセルアレイのテスト回路として機能し、
前記スイッチアレイは、前記第2のドライバ回路と電気的に接続される第1のスイッチ群と、第3のリコンフィギャラブルブロックと電気的に接続される第2のスイッチ群と、前記第1のスイッチ群と、前記第2のスイッチ群との間の第3のスイッチ群と、を有し、
前記メモリセルアレイをテストするときは、前記第3のスイッチ群をオンとすることを特徴とする情報処理装置。 - 請求項1において、
前記複数の第1の配線はワード線として機能し、
前記複数の第2の配線はデータ線として機能し、
前記複数の第3の配線はビット線として機能することを特徴とする情報処理装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記複数の第3の配線の数は、前記複数の第2の配線の数よりも多いことを特徴とする情報処理装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記複数の第2の配線は、前記複数の第3の配線と電気的に接続されていない配線を一以上有すること特徴とする情報処理装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、
前記プログラマブルスイッチは、第1のトランジスタと第2のトランジスタとを有し、
前記第1のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記複数の第2の配線の一と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記複数の第3の配線の一と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタが酸化物半導体を有し、前記酸化物半導体にチャネル形成領域を有することを特徴とする情報処理装置。
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US10403338B2 (en) | 2015-08-30 | 2019-09-03 | Chih-Cheng Hsiao | Low power memory device with column and row line switches for specific memory cells |
US20160189755A1 (en) * | 2015-08-30 | 2016-06-30 | Chih-Cheng Hsiao | Low power memory device |
KR20180042489A (ko) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 메모리 장치 및 메모리 장치의 동작 방법 |
JP6779821B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2020-11-04 | キオクシア株式会社 | メモリシステム及びデータの読み出し方法 |
WO2020222068A1 (ja) | 2019-04-30 | 2020-11-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 冗長メモリセルを有する記憶装置、半導体装置、および、電子機器 |
US10832790B1 (en) * | 2019-09-26 | 2020-11-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Performance of non data word line maintenance in sub block mode |
Family Cites Families (123)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56111194A (en) * | 1980-01-18 | 1981-09-02 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Semiconductor memory |
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPS62293598A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH04134860A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Nec Corp | ゲートアレイのramブロック |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
DE69319886T2 (de) | 1993-03-31 | 1999-03-18 | Sgs Thomson Microelectronics | Halbleiterspeicher mit Speichermatrix, der mit einem einzigen Sektor assoziierte Redundantezellenspalte enthält |
JPH07111100A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Nec Corp | テスト回路 |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
WO1997006554A2 (en) | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Philips Electronics N.V. | Semiconductor device provided with transparent switching element |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000122935A (ja) | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 不揮発性メモリのアドレス変換装置 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
JP4147005B2 (ja) | 1999-04-14 | 2008-09-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路およびそのテスト方法並びに製造方法 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP3980827B2 (ja) * | 2000-03-10 | 2007-09-26 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置および製造方法 |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP2002184948A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-28 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
WO2003040441A1 (en) | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Japan Science And Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4588965B2 (ja) | 2002-01-11 | 2010-12-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
KR101078509B1 (ko) | 2004-03-12 | 2011-10-31 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 박막 트랜지스터의 제조 방법 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CN102938420B (zh) | 2004-11-10 | 2015-12-02 | 佳能株式会社 | 无定形氧化物和场效应晶体管 |
WO2006051994A2 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
CA2585071A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI472037B (zh) | 2005-01-28 | 2015-02-01 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI569441B (zh) | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
US8230167B1 (en) * | 2005-06-29 | 2012-07-24 | Netlogic Microsystems, Inc. | Block mapping circuit and method for memory device |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
EP1995787A3 (en) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method therof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101707212B (zh) | 2005-11-15 | 2012-07-11 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
JP4837372B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2011-12-14 | 三菱電機株式会社 | 情報記憶装置 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
US7206236B1 (en) * | 2006-01-12 | 2007-04-17 | International Business Machines Corporation | Array redundancy supporting multiple independent repairs |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
DE102006046206B4 (de) * | 2006-09-29 | 2009-06-25 | Siemens Ag | Verbindungseinrichtung zur wahlfreien Verbindung einer Anzahl an Sendern und Empfängern, Kommunikationseinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Verbindungseinrichtung |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP2009123258A (ja) | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Panasonic Corp | 半導体記憶装置 |
JP2008059751A (ja) | 2007-11-13 | 2008-03-13 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
US7847588B2 (en) * | 2008-08-14 | 2010-12-07 | Nantero, Inc. | Nonvolatile nanotube programmable logic devices and a nonvolatile nanotube field programmable gate array using same |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
IN2012DN05920A (ja) | 2010-01-20 | 2015-09-18 | Semiconductor Energy Lab | |
KR101899880B1 (ko) | 2011-02-17 | 2018-09-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 프로그래머블 lsi |
US8581625B2 (en) * | 2011-05-19 | 2013-11-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device |
TWI439711B (zh) * | 2011-10-03 | 2014-06-01 | Star Techn Inc | 切換矩陣器及其半導體元件特性之測試系統 |
DE112013002281T5 (de) | 2012-05-02 | 2015-03-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmierbare Logikvorrichtung |
KR102059218B1 (ko) | 2012-05-25 | 2019-12-24 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 프로그래머블 로직 디바이스 및 반도체 장치 |
-
2014
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