JPH07111100A - テスト回路 - Google Patents

テスト回路

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JPH07111100A
JPH07111100A JP5275940A JP27594093A JPH07111100A JP H07111100 A JPH07111100 A JP H07111100A JP 5275940 A JP5275940 A JP 5275940A JP 27594093 A JP27594093 A JP 27594093A JP H07111100 A JPH07111100 A JP H07111100A
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JP
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output
signal
cell group
sense amplifier
memory cell
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Yasushi Kato
康史 加藤
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】冗長切換情報を検出するための回路素子数を縮
減するとともにセンスアンプ以降の寄生容量を低減して
読み出しスピードを向上させた、冗長メモリセルアレイ
を有する半導体記憶装置の提供。 【構成】テストモード状態にするためのテスト信号を発
生するテスト信号発生手段と、通常モード状態の時には
記憶セル中及び冗長セル中に記憶されたデータをセンス
アンプを介して出力回路に出力し、テストモード状態の
時には記憶セル中及び冗長セル中に記憶されたデータを
センスアンプが検知することを防止する手段と、アドレ
ス入力信号が不良アドレスと一致しているか否かを示す
信号をセンスアンプに検知させるための手段と、を具備
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テスト回路に関し、特
に冗長回路の使用状態をテストする回路に関する。
【0002】
【従来の技術】記憶セルが行列状に配列された半導体記
憶装置においては、一般に製造歩留りを向上させるため
に、その行又は列の中に不良セルがあっても、これらの
行又は列の代りをする冗長セル行又は列、すなわち冗長
セル群を複数個設け、不良セルの行又は列と冗長セル行
又は列の置換えを行っている。
【0003】冗長切換のなされた半導体記憶装置製品
は、一般のユーザーが使用する場合には特別な支障はな
いが、この種の半導体記憶装置製品の製造者の側からす
ると、製品の評価、及び不良解析を行なうにあたり、冗
長切換がなされているか否かの情報は重要且つ必須とさ
れている。
【0004】具体的に説明すると、製造者が冗長切換情
報を持たずに半導体記憶装置製品の不良解析を行った場
合、外部的に観察される不良箇所と実際の不良アドレス
との相関がとれなくなるという問題が生じる。このた
め、製品の評価及び不良解析には冗長切換情報を得るこ
とが必要とされる。
【0005】冗長切換機能を有する半導体記憶装置製品
の冗長切換情報を得る手法として、従来、例えば特開平
3−73500には、図12に示すような冗長セル群の
使用状況を外部から検出するための手段が提案されてい
る。
【0006】図12に示す回路構成において、符号1A
は冗長セル使用状況検出回路(「検出回路」という)
を、符号1Bはデータ出力防止回路を、符号1Cはテス
ト信号発生回路をそれぞれ表わしている。同図に示すよ
うに、検出回路1Aとデータ出力防止回路1Bの出力と
を共通接続しこれを出力パットに接続する構成をとって
いる。
【0007】検出回路1Aは、通常動作時にはテスト信
号発生回路1Cから出力されるテスト信号FDEが
“L”とされるため、pチャネル型MOSトランジスタ
TP1とnチャネル型MOSトランジスタTN1はともに
オフとされ、この相補型インバータの出力インピーダン
スは高インピーダンス状態となる。なお、以下では、n
チャネル(pチャネル)型MOSトランジスタをnMO
S(pMOS)トランジスタと略記する。
【0008】この時、回路全体の動作としては、アウト
プットイネーブル信号OEがアクティブ(“H”)とさ
れ、半導体記憶装置のセンスアンプから送出されたデー
タ出力は、インバータNOT2、OE信号及び反転OE
信号により制御されるAND回路AN3及びOR回路O
R2を介してpMOSトランジスタTP2とnMOSトラ
ンジスタTN2のゲート電極に伝達され出力パットに出
力される。
【0009】次に、テストモード時においては、テスト
信号発生回路1Cから出力されるテスト信号FDEが
“H”とされるため、信号B11〜Bnn、FD1〜FDn
論理合成により得られた信号が出力パットに出力される
構成となっている。
【0010】ここに、信号FD1〜FDnは、冗長切換情
報を決定するヒューズの溶断の有無と外部より入力され
たアドレス情報との一致、不一致により“H”又は
“L”となる信号である。また、信号B11〜Bnnについ
ては、各NAND回路NAk(k=1,n)のi番目の入力
ikはアドレス入力Ai又はAiの反転値が選択され、あ
る特定のNAND回路NAkの入力のB1k〜Bnkが全て
“H”の時には他のNAND回路NAjの入力B1j〜B
njが全て“H”とならないように選択される。
【0011】そして、これらの信号の組合せによりNA
ND回路NA1〜NAnのいずれか1つの出力が“L”と
なった時AND回路AN1の出力は“L”とされpMO
SトランジスタTP1がオンし、出力パットの電圧レベ
ルは“H”となる。
【0012】また、NAND回路NA1〜NAnの出力の
全てが“H”の時出力パットの電圧レベルは“L”とな
る。すなわち冗長切換がなされているアドレスがアクセ
スされた時には出力パットに“H”が出力され、冗長切
換がなされていないアドレスがアクセスされた時には出
力パットに“L”が出力されることになる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の回路構成には、冗長切換情報を出力するための
MOSトランジスタTP1,TP2がデータ出力の信号結
路に共通接続されており、このため寄生の出力負荷が生
じ、本来の読出し(センスアンプからの信号を出力す
る)スピードが劣化してしまうという問題がある。
【0014】また、従来の回路構成では、冗長切換情報
を論理合成するための回路NA1〜NAn、及びAN1
新たに設けることが必要とされ、このため回路素子数の
増大を招くことになる。
【0015】したがって、本発明は前記問題点を解消
し、冗長切換情報を検出するための回路素子数を大幅に
縮減するとともに、センスアンプ以降の寄生容量を低減
して読み出しスピードを向上させた、冗長メモリセルア
レイを有する半導体記憶装置を提供することを目的とす
る。
【0016】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、行列状に配列された記憶セル中に不良セ
ルを有する場合に、この不良セルを含む記憶セル群の選
択に際して、前記記憶セルとは別個に設けられた冗長セ
ル群に切換えて選択するとともに、切換えられた冗長セ
ル群のアドレス及び対応する不良セルを含む前記記憶セ
ル群のアドレスを不揮発性の記憶素子により記憶してい
る半導体記憶装置において、テストモード状態にするた
めのテスト信号を発生するテスト信号発生手段と、通常
モード状態の時には前記記憶セル中及び冗長セル中に記
憶されたデータをセンスアンプを介して出力回路に出力
し、テストモード状態の時には前記記憶セル中及び冗長
セル中に記憶されたデータをセンスアンプが検知するこ
とを防止する手段と、アドレス入力信号が不良アドレス
と一致しているか否かを示す信号を前記センスアンプに
検知させるための手段と、を具備したことを特徴とする
半導体記憶装置を提供する。
【0017】本発明の半導体記憶装置は、テストモード
状態の時にはアドレス入力信号が不良アドレスと一致し
ているか否かに対応して互いに異なる論理値を出力する
ことにより冗長切換情報を外部に提供するものである。
【0018】さらに、本発明は、別の視点において、行
列状に配列された記憶セル中に不良セルを有する場合
に、この不良セルを含む記憶セル群の選択に際して、前
記記憶セルとは別個に設けられた冗長セル群に切換えて
選択するとともに、切換えられた冗長セル群のアドレス
及び対応する不良セルを含む前記記憶セル群のアドレス
を不揮発性の記憶素子により記憶している半導体記憶装
置において、前記記憶セル群専用の第1のセンスアンプ
と、前記冗長セル群専用の第2のセンスアンプと、テス
トモード状態にするためのテスト信号を発生するテスト
信号発生手段と、アドレス入力信号が不良アドレスと一
致しているか否かを示す信号に対応して前記第1のセン
スアンプの出力又は第2のセンスアンプの出力のうちい
ずれか一を出力回路に伝達する切換え手段と、テストモ
ード状態の時に前記記憶セル群中及び冗長セル群中に記
憶されたデータを前記第1及び第2のセンスアンプが検
知することを防止する手段と、テストモード状態の時に
は前記第1のセンスアンプの出力と前記第2のセンスア
ンプの出力を互いに異なる論理値に固定する手段と、を
具備し、通常モード状態の時には前記記憶セル群中又は
前記冗長セル群中に記憶されたデータを前記第1又は第
2のセンスアンプと前記切換え手段を介して前記出力回
路に出力し、テストモード状態の時には前記アドレス入
力信号と不良アドレスとの一致又は不一致に依存して互
いに相異なる論理値を前記出力回路に出力するように構
成されたことを特徴とする半導体記憶装置を提供する。
【0019】上記の如く、本発明における冗長切換情報
検出用のテスト回路は、前記従来例のような冗長切換情
報専用の出力回路を有さず、センスアンプ入力段の電位
を制御する素子を設けることにより、冗長切換情報を間
接的にセンスアンプ出力として取り出すように構成した
ことを特徴としている。
【0020】
【実施例】図面を参照して、本発明の実施例を以下に詳
細に説明する。
【0021】
【実施例1】本発明の第1の実施例を図1から図6を参
照して以下に説明する。図1は、本発明の第1の実施例
に係る半導体記憶装置の全体の構成をブロック図で示し
ている。また、図2及び図3は、図1におけるYデコー
ダ2(104)及びYデコーダ1(105)の回路構成の一例
をそれぞれ示しており、図4は論理回路103の回路構成
の一例を示している。そして、図5はテストモード状態
にするためのテスト信号TEST(以下「信号TES
T」という)を発生するテスト信号発生回路を、図6は
アドレス入力信号が不良アドレスと一致しているか否か
を示す信号FUSE(以下「信号FUSE」という)を
発生する回路の概略構成をそれぞれ示している。図2、
図3、及び図6において、a0〜a3はアドレス信号を
表わす。
【0022】図1に示すように、本実施例に係る半導体
記憶装置は、メモリセルアレイ107、不良セルの行又は
列と置換えを行なう冗長メモリセルアレイ106、アドレ
ス信号に基づき行選択するXデコーダ108、アドレス信
号に基づき列選択するYデコーダ2(104)とYデコー
ダ1(105)、センスアンプ101,102、センスアンプ10
1,102への記憶セルの出力信号の伝達をYデコーダ(10
4,105)の出力信号によって選択するYセレクタ、及び
ディジット線D1,D2から構成されている。
【0023】本実施例に係る半導体記憶装置は、更に、
ディジット線D1,D2にはnMOSトランジスタN
3,N4がそれぞれ接続され、信号TESTを入力とし
出力R1及びR0をnMOSトランジスタN3及びN4
のゲート電極にそれぞれ接続した論理回路103、ディジ
ット線D1に挿入されたnMOSトランジスタN5、及
び、センスアンプ101,102の出力T1,T2にそれぞれ
接続され信号FUSEの値により出力T1,T2のうち
一方を伝達し他方を遮断する2つの相補型のパストラン
ジスタ(P1,N1とP2,N2)を含み、2つのパス
トランジスタの出力を共通接続した信号S1が不図示の
出力回路に送出される。
【0024】本実施例において、信号TESTは、通常
動作時には“H”とされ、テストモード時には“L”と
される。図5に示すテスト信号発生回路において、例え
ば半導体記憶装置に専用の外部端子を設け、外部から該
端子にテストモード信号を入力しこの信号をそのまま信
号TESTとして用いるようにしてもよい。あるいは、
テスト信号発生回路は半導体記憶装置に入力される所定
の制御信号をデコードして信号TESTを発生してもよ
い。
【0025】また、信号FUSEは、冗長切換のなされ
たアドレスが選択された時に“L”とされ、それ以外の
時には“H”とされる。
【0026】図6を参照して、信号FUSEを発生する
回路を説明する。ヒューズf1は冗長セル列が不良セル
列の置き換えである時に予めレーザにより溶断され、ヒ
ューズf2,f3はヒューズf1が溶断されていて且つ
冗長セル列に対応する不良セル列を示すアドレス信号a
0,a1のビットの値が“L”の場合に予め溶断され
る。
【0027】ヒューズf1が溶断されている時にバッフ
ァC12の出力は“H”となり、排他的論理和ゲートC13
及びC14の出力は冗長切換のなされたアドレスが選択さ
れた時に常に“H”を出力する。したがって、不良セル
列を示すアドレスが入力された時、NAND回路C15の
入力は全て“H”となり、信号FUSEは“L”とな
る。なお、アドレス信号は簡単のためにa0,a1の2
ビットのみが示されている。
【0028】次に、図1に示す本実施例に係る半導体記
憶装置の回路動作について説明する。
【0029】通常動作時においては、前述したように信
号TESTは“H”とされ、論理回路103の出力信号R
0,R1はともに“L”とされる(図4参照)。また、
図2に示すように、Yデコーダ2(104)の出力YD20
〜YD23はアドレス信号a0,a1によってのみ制御さ
れる。
【0030】通常動作時に、メモリセルアレイ107と冗
長メモリセルアレイ106の読出しを行った場合、Xデコ
ーダ108、Yデコーダ1(105)、Yデコーダ2(104)
により任意のアドレスのメモリセルが選択され、対応す
るセンスアンプ101,102により読出しが行なわれる。な
お、センスアンプのセンス方式はディジット線D1,D
2に電流が流れるか否かを検知する電流センス方式であ
るものとする。
【0031】そして、センスアンプ101,102の出力信号
T1,T2のいずれか一方が、ヒューズの溶断の有無を
示す信号FUSEの値によって選択され信号S1として
出力される。より詳細には、信号FUSEが“H”の時
信号S1は出力T2とされ、信号FUSEが“L”の時
信号S1は出力T1とされる。したがって、メモリセル
のヒューズが溶断されている場合には冗長メモリセルア
レイ106の記憶データが選択され、それ以外はメモリセ
ルアレイ106の記憶データが出力される。
【0032】次に、図1に示す本実施例に係る半導体記
憶装置のテストモード時における回路動作について説明
する。前述したように、信号TESTはテストモード時
に“L”とされ、図4に示す論理回路103のNOR回路
C10,C11の出力R0及びR1はそれぞれ“L”及び
“H”となる。
【0033】また、図2に回路構成を示すYデコーダ2
(104)の出力信号YD20〜YD23は全て“L”とな
り、このためnMOSトランジスタN6〜N9は全てオ
フとなる。さらに、nMOSトランジスタN5もゲート
電極に入力される信号TESTが“L”となることによ
りオフする。
【0034】そして、論理回路103の出力信号R0が
“L”、R1が“H”となるため、nMOSトランジス
タN3はオンとなり、N4はオフする。この状態で半導
体記憶装置の読出しを行った場合、センスアンプ101,1
02の出力T1,T2の論理レベルは必ず互いに逆の論理
となる。より詳細には、読み出し時にはセンスアンプ10
1,102側から電流を流し、nMOSトランジスタN3は
オン(導通)しているためセンスアンプ101からnMO
SトランジスタN3を介して接地に電流が流れ、出力T
1は例えば“L”となり、nMOSトランジスタN4は
オフ(非導通)であるためセンスアンプ102から電流は
流れずセンスアンプ102の出力T2は“H”となる。
【0035】前述したように、相補型のパストランジス
タ(P1,N1とP2,N2)によって、信号FUSE
が“H”の時には出力回路への信号S1として出力T2
が選択され、信号FUSEが“L”の時には信号S1と
して出力T1が選択されるため、冗長切換のなされたア
ドレスがアクセスされた時には出力T1が、上記以外の
アドレスがアクセスされた時には出力T2が信号S1と
して不図示の出力回路に送出されることになる。
【0036】したがって、本実施例においては、テスト
モード状態の時、冗長切換がなされたアドレスの読み出
しデータとして“H”、通常のメモリセルの読み出しデ
ータとして“L”が出力され、これらの互いに逆の論理
値をとる出力から冗長切換情報を外部に取り出すことが
できる。
【0037】なお、テストモード時において用いたnM
OSトランジスタN3,N4は本来ディジット線D1,
D2のディスチャージ用に設けてあるものであり、本発
明のために新たに追加したものではない。また、ディス
チャージの制御信号は本発明の動作説明とは直接関係な
いので、簡略化のため図1では省略した。
【0038】さらに、図2に示すように、本実施例にお
いては、Yデコーダ2(104)は、信号TESTを入力
とする3入力ANDゲートが用いられており、従来の2
入力ANDゲートに比較して、図面上、回路素子が増加
したようにも見えるが、半導体記憶装置においては、従
来、スタンバイ時等Yセレクタを全非選択にするための
制御信号が存在しており、この制御信号と信号TEST
を共有することにより、本実施例を構成することが可能
であるため、実質的に回路素子の増加は無いといえる。
【0039】なお、本実施例は、メモリセルアレイ107
の不良セルを冗長メモリセルアレイ106の冗長セルと置
換える場合、行又は列単位の置換え、及び複数行又は複
数列単位のブロック置換えを行なうものを含んでいる。
【0040】
【実施例2】次に、本発明の第2の実施例を図7から図
11を参照して説明する。
【0041】図7は本発明の第2の実施例に係る半導体
記憶装置の全体の構成をブロック図にて示している。ま
た、図8及び図9にYデコーダ2(703)及びYデコー
ダ1(704)の回路構成の一例をそれぞれ示す。さらに
図10に論理回路702の回路構成の一例を示す。
【0042】図7に示すように、本実施例に係る半導体
記憶装置は、メモリセルアレイ(706,708,710,71
2)、不良セルの行又は列と置換えを行なう冗長メモリ
セルアレイ(705,707,709,711)、アドレス信号に基
づき行選択するXデコーダ713、アドレス信号に基づき
列選択するYデコーダ2(703)とYデコーダ1(70
4)、センスアンプ701、センスアンプ701への記憶セル
の出力信号の伝達をYデコーダ703,704の出力信号によ
って選択するYセレクタ、及び、ディジット線D3から
構成されている。
【0043】本実施例に係る半導体記憶装置は、更に、
ディジット線D3にはnMOSトランジスタN30が接続
され、信号TESTを入力とし出力R2をnMOSトラ
ンジスタN30のゲート電極に接続した論理回路702を含
み、センスアンプ701の出力信号S2は不図示の出力回
路に送出される。なお、センスアンプ701は前記第1の
実施例同様電流センス方式であるものとする。
【0044】信号TESTは、通常動作時には“H”と
されテストモード時には“L”とされ、信号TESTを
発生する回路は第1の実施例(図5参照)と同一である
ため説明は省略する。
【0045】また、信号FUSEは、第1の実施例と同
様に、冗長切換のなされたアドレスが選択された時に
“L”とされ、それ以外の時には“H”とされる。図1
1は信号FUSEを発生する回路を示している。図11
に示す信号FUSE発生回路は図6と実質的に同一であ
るためその詳細な説明は省略する。なお、図11に示す
ように、本実施例における信号FUSE発生回路では、
排他的論理和回路C27,C28に入力されるアドレス信号
は図6のa0,a1の代わりにa2,a3とされている
が、これは本実施例ではメモリアレイ(706,708,71
0,712)及び冗長メモリセルアレイ(705,707,709,7
11)の列を選択するYデコーダ1(704)に入力される
アドレス信号が、図9に示すように、a2,a3である
ことに対応している。
【0046】次に、図7に示す本実施例に係る半導体記
憶装置の回路動作を説明する。
【0047】通常動作においては、第1の実施例との相
違点のみを説明する。第1の実施例においては、メモリ
セル用のセンスアンプ102とは別に冗長メモリセル専用
のセンスアンプ101を設け、冗長メモリセルの読み出し
と通常メモリセルの読出しの切換をセンスアンプ101,1
02の出力T1,T2について行っているのに対し、本実
施例においては、冗長メモリセルの読み出しと通常メモ
リセルの読出しの切換をYデコーダ1(704)で行なっ
ている。
【0048】より詳細には、図9に示すYデコーダ1
(704)において、入力された信号FUSEが“L”の
時、すなわち、冗長切換のなされたアドレスをアクセス
した時、インバータC20を介して出力信号YDRは
“H”となり、ゲート回路C21〜C24は信号FUSEに
よりマスクされ出力信号YD30〜YD33はいずれも
“L”となるため、Yセレクタを構成するnMOSトラ
ンジスタのうちN35,N40,N45,及びN50がオンとさ
れ、冗長メモリセルアレイ(705,707,709,711)の選
択を実現している。
【0049】信号FUSEが“H”の時、すなわち、冗
長切換のなされていないアドレスをアクセスした時に
は、Yデコーダ1(704)の出力信号YDRは“H”と
なりYセレクタを構成するnMOSトランジスタのうち
N35,N40,N45,N50はいずれもオフとなるため冗長
メモリセルアレイは選択されず、アドレス信号a2,a
3のデコード出力信号YD30〜YD33によって通常のメ
モリセルアレイ(706,708,710,712)が選択されるこ
とになる。
【0050】次に、図7に示す本実施例に係る半導体記
憶装置のテストモードにおける動作を説明する。
【0051】テストモード時には、前述のとおり信号T
ESTは“L”とされるため、図8のYデコーダ2(70
3)において、ゲート回路C16〜C19の出力信号YD40
〜YD43は全てL”となり、nMOSトランジスタN31
〜N34は全てオフする。
【0052】また、図10に示す論理回路702におい
て、ゲート回路C25の出力信号R2は信号FUSEの論
理レベルに依存する状態となる。すなわち、信号FUS
Eが“H”の時には出力信号R2は“L”となり、信号
FUSEが“L”の時には出力信号R2は“H”とな
る。
【0053】図7に示すように、出力信号R2の電圧レ
ベルによりnMOSトランジスタN30のオン又はオフが
決定され、冗長切換のなされたアドレスをアクセスした
時と冗長切換のなされていないアドレスをアクセスした
時の差別化が実現され、その情報は信号S2として外部
にとり出すことが可能となる。
【0054】より詳細には、読み出し時にはセンスアン
プ701側から電流を流し、nMOSトランジスタN30が
オン(導通)の時センスアンプ701側からnMOSトラ
ンジスタN30を介して接地に電流が流れ、センスアンプ
701は該電流を検出して出力S2は“L”となり、nM
OSトランジスタN30がオフ(非導通)の時電流は流れ
ずセンスアンプ701の出力S2は“H”となる。
【0055】したがって、本実施例においては、テスト
モード状態時、冗長切換のなされたアドレスがアクセス
された時に信号S2は“L”となり、上記以外のアドレ
スがアクセスされた時には信号S2は“H”となり、冗
長切換アドレスと一致しているか否かに対応して互いに
逆の論理値が出力される。このため冗長切換情報を外部
に取り出すことができる。なお、本実施例は第1の実施
例と同様nMOSトランジスタN30がディジット線D3
のディスチャージ用に設けてあるものである。
【0056】以上、本発明を上記第1及び第2の実施例
について説明したが、本発明はこれらの態様に限定され
るものではなく、本発明の原理に準ずる各種実施態様を
含む。
【0057】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の半導体記
憶装置によれば、テストモード状態時にメモリセル及び
冗長メモリセルの記憶データをセンスアンプが検出する
ことを防止するように制御する論理回路を備え、アドレ
ス信号が冗長切換されたアドレスと一致しているか否か
を示す信号をセンスアンプに検知させることにより、冗
長切換情報の取得が可能であり、読出し系の信号経路に
余分な負荷をつけることがないため、冗長切換情報検出
用のテスト回路を設けたことによる読出しスピードが悪
化するという心配は全くない。
【0058】また、本発明は、半導体記憶装置に既に設
けられている素子を兼用することにより、冗長切換情報
を取り出すために追加された回路は、実質的に、テスト
モード状態時にメモリセル及び冗長メモリセルの記憶デ
ータをセンスアンプが検出することを防止するように制
御する論理回路のみとなり、前記従来例と比較して冗長
切換情報検出用のテスト回路の回路素子数の大幅な縮
減、及び回路構成の簡易化を達成し、さらに配線数の低
減によりチップ面積を縮小するものである。
【0059】さらに、本発明は記憶セル群と冗長セル群
の配列構成に対応して、記憶セル群と冗長セル群にそれ
ぞれ専用のセンスアンプを設ける構成、及び記憶セル群
と冗長セル群の出力を共通のセンスアンプに入力する構
成のいずれの場合も冗長切換情報を外部に取り出すテス
ト回路の回路構成の簡易化及び回路素子数の減縮を達成
している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の回路構成を示すブロッ
ク図である。
【図2】本発明の第1の実施例におけるYデコーダ2
(104)の回路構成の一例を示す図である。
【図3】本発明の第1の実施例におけるYデコーダ1
(105)の回路構成の一例を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施例における論理回路103の
回路構成の一例を示す図である。
【図5】テスト信号発生回路を示す概略図である。
【図6】本発明の第1の実施例における信号FUSEを
発生する回路を示す図である。
【図7】本発明の第2の実施例の回路構成を示すブロッ
ク図である。
【図8】本発明の第2の実施例におけるYデコーダ2
(703)の回路構成一の例を示す図である。
【図9】本発明の第2の実施例におけるYデコーダ1
(704)の回路構成の一例を示す図である。
【図10】本発明の第2の実施例における論理回路702
の回路構成の一例を示す図である。
【図11】本発明の第2の実施例における信号FUSE
を発生する回路を示す図である。
【図12】従来例(特開平3−73500)の回路構成
を示す図である。
【符号の説明】
101,102,701 センスアンプ 103,702 論理回路 104,703 Yデコーダ2 105,704 Yデコーダ1 106,705,707,709,711 冗長メモリセルアレイ 107,706,708,710,712 メモリセルアレイ 108,713 Xデコーダ C1 インバータ N1〜N29 nチャネル型MOSトランジスタ N30〜N54 nチャネル型MOSトランジスタ P1,P2 pチャネル型トランジスタ D1,D2,D3 ディジット線 a0〜a3 アドレス信号 f1〜f3,f4〜f6 ヒューズ r1〜r3,r4〜r6 抵抗

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】行列状に配列された記憶セル中に不良セル
    を有する場合に、この不良セルを含む記憶セル群の選択
    に際して、前記記憶セルとは別個に設けられた冗長セル
    群に切換えて選択するとともに、切換えられた冗長セル
    群のアドレス及び対応する不良セルを含む前記記憶セル
    群のアドレスを不揮発性の記憶素子により記憶している
    半導体記憶装置において、 テストモード状態にするためのテスト信号を発生するテ
    スト信号発生手段と、 通常モード状態の時には前記記憶セル中及び冗長セル中
    に記憶されたデータをセンスアンプを介して出力回路に
    出力し、 テストモード状態の時には前記記憶セル中及び冗長セル
    中に記憶されたデータをセンスアンプが検知することを
    防止する手段と、 アドレス入力信号が不良アドレスと一致しているか否か
    を示す信号を前記センスアンプに検知させるための手段
    と、 を具備したことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】前記テストモード状態の時に前記アドレス
    入力信号が不良アドレスと一致しているか否かに対応し
    て互いに異なる論理値を出力することを特徴とする請求
    項1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】前記記憶セル群の出力と前記冗長セル群の
    出力を前記センスアンプに導くディジット線に付加され
    たMOSトランジスタと、 前記テスト信号と前記アドレス入力信号が不良アドレス
    と一致しているか否かを示す信号とを入力とし、前記テ
    ストモード状態の時には前記アドレス入力信号が不良ア
    ドレスと一致しているか否かに応じて前記MOSトラン
    ジスタをオン状態又はオフ状態とする制御回路と、 前記テストモード状態の時には前記記憶セル群及び冗長
    セル群をともに非選択状態とする信号をYセレクタに供
    給するYデコーダと、 を備えて成る請求項1記載の半導体記憶回路。
  4. 【請求項4】行列状に配列された記憶セル中に不良セル
    を有する場合に、この不良セルを含む記憶セル群の選択
    に際して、前記記憶セルとは別個に設けられた冗長セル
    群に切換えて選択するとともに、切換えられた冗長セル
    群のアドレス及び対応する不良セルを含む前記記憶セル
    群のアドレスを不揮発性の記憶素子により記憶している
    半導体記憶装置において、 前記記憶セル群専用の第1のセンスアンプと、前記冗長
    セル群専用の第2のセンスアンプと、 テストモード状態にするためのテスト信号を発生するテ
    スト信号発生手段と、 アドレス入力信号が不良アドレスと一致しているか否か
    を示す信号に対応して前記第1のセンスアンプの出力又
    は第2のセンスアンプの出力のうちいずれか一を出力回
    路に伝達する切換え手段と、 テストモード状態の時に前記記憶セル群中及び冗長セル
    群中に記憶されたデータを前記第1及び第2のセンスア
    ンプが検知することを防止する手段と、 テストモード状態の時には前記第1のセンスアンプの出
    力と前記第2のセンスアンプの出力を互いに異なる論理
    値に固定する手段と、を具備し、 通常モード状態の時には前記記憶セル群中又は前記冗長
    セル群中に記憶されたデータを前記第1又は第2のセン
    スアンプと前記切換え手段を介して前記出力回路に出力
    し、 テストモード状態の時には前記アドレス入力信号と不良
    アドレスとの一致又は不一致に依存して互いに相異なる
    論理値を前記出力回路に出力するように構成されたこと
    を特徴とする半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】前記記憶セル群の出力を前記第1のセンス
    アンプに導くための第1のディジット線と、前記冗長セ
    ル群の出力を前記第2のセンスアンプに導く第2のディ
    ジット線と、 前記第1及び第2のディジット線にそれぞれ付加された
    第1及び第2のMOSトランジスタと、 テストモード状態の時には前記第1及び第2のMOSト
    ランジスタのうち一をオン状態とし他をオフ状態にする
    制御回路と、 テストモード状態の時には前記記憶セル群を非選択状態
    とする信号をYセレクタに供給するYデコーダと、 前記第2のディジット線に挿入されテストモード状態の
    時には前記冗長セル群の出力を前記第2のセンスアンプ
    から遮断するパストランジスタと、 を備えて成る請求項4記載の半導体記憶回路。
  6. 【請求項6】前記ディジット線に付加されるMOSトラ
    ンジスタとして前記ディジット線のディスチャージ用に
    設けられているMOSトランジスタを兼用したことを特
    徴とする請求項3又は5記載の半導体記憶回路。
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