JP5992983B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
こうした事態に対処するため、通常、プログラムベリファイにより、電子の注入が不十分なメモリセルには、再度、プログラム電圧を印加し、メモリセルのしきい値が「0」の分布幅内に到達するように制御している。
さらに本発明は、データ保持特性を改善したNAND型フラッシュメモリのプログラム方法を提供することを目的とする。
110:メモリアレイ
120:入出力バッファ
130:アドレスレジスタ
140:キャッシュメモリ
150:コントローラ
160:ワード線選択回路
170:ページバッファ/センス回路
180:列選択回路
190:内部電圧発生回路
200:システムクロック発生回路
Claims (11)
- メモリセルが直列に接続されたNANDストリングが形成されたメモリアレイを有するフラッシュメモリのプログラム方法であって、
選択ワード線にプログラム電圧を印加した後、選択メモリセルのしきい値の合否を検証するベリファイ読出しを含み、
前記ベリファイ読出しは、ビット線に電圧をプリチャージするプリチャージステップと、プリチャージされたビット線の電圧をソース線に放電可能にする放電ステップと、放電ステップ後にビット線の電圧をセンスするセンスステップとを含み、
ビット線の放電開始からセンス開始までの放電期間は、最初のプログラム電圧印加後のベリファイ読出しの方が後のプログラム電圧印加後のベリファイ読出しよりも長く設定され、
前記放電期間は、データ「0」をプログラムするメモリセルの数に応じて可変される、プログラム方法。 - ベリファイ読出しが複数回行われるとき、前記放電期間が徐々に短くなるように設定される、請求項1に記載のプログラム方法。
- ベリファイ読出しが複数回行われるとき、最初のプログラム電圧印加後のベリファイ読出しのときのみ、前記放電時間が他のベリファイ読出しのときよりも長く設定される、請求項1または2に記載のプログラム方法。
- 前記ビット線の放電開始は、NANDストリングのソース線側選択トランジスタを導通させたときである、請求項1ないし3いずれか1つに記載のプログラム方法。
- 前記センス開始は、ビット線がセンス回路に電気的に接続されたときである、請求項1ないし4いずれか1つに記載のプログラム方法。
- 最初のプログラム電圧印加後のベリファイ読出し時の放電期間は、少なくとも6μsより大きく設定される、請求項1ないし5いずれか1つに記載のプログラム方法。
- メモリセルが直列に接続されたNANDストリングが形成されたメモリアレイと、
メモリアレイのワード線を選択する選択手段と、
前記選択手段により選択されたワード線にプログラム電圧を印加する印加手段と、
プログラム電圧が印加された後に選択メモリセルのしきい値の合否を検証するベリファイ読出し手段とを有し、
前記ベリファイ読出し手段は、前記選択手段により選択ワード線にベリファイ電圧を印加する手段と、ベリファイ電圧が印加されたとき、選択メモリセルに接続されたビット線の電圧をソース線に放電可能にする放電手段と、前記放電手段の放電後にビット線の電圧を感知する感知手段と、前記放電手段によるビット線の放電開始から前記感知手段による感知開始までの放電期間を後のプログラム電圧印加後のベリファイ読出しのときよりも最初のプログラム電圧印加後のベリファイ読出しのときに長く設定する設定手段と、を有し、
前記設定手段は、前記放電期間を、データ「0」をプログラムするメモリセルの数に応じて可変する、フラッシュメモリ。 - 前記ベリファイ読出し手段は、ビット線をプリチャージするプリチャージ手段を含み、前記放電手段は、プリチャージされたビット線を放電可能にする、請求項7に記載のフラッシュメモリ。
- 前記設定手段は、ベリファイ読出しが複数回行われるとき、前記放電期間を徐々に短くなるように設定する、請求項7に記載のフラッシュメモリ。
- 前記放電手段は、NANDストリングのソース線選択トランジスタを導通させることでビット線の電圧をソース線に放電可能にする、請求項7に記載のフラッシュメモリ。
- 前記感知手段は、ビット線をセンス回路に接続するためのビット線選択トランジスタを含み、ビット線選択トランジスタによりビット線がセンス回路に電気的に接続されたとき前記感知が開始がされる、請求項7に記載のフラッシュメモリ。
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