JP2010129125A - 多値不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】ワード線セットアップ期間の工夫により読み出し動作を高速化する。
【解決手段】本発明の例に係る多値不揮発性半導体メモリは、第一及び第二セレクトゲートトランジスタと、第一及び第二セレクトゲートトランジスタの間に直列接続され、各々が三値以上を記憶する複数のメモリセルと、複数のメモリセルのうち読み出し対象となる選択メモリセルに接続される選択ワード線と、複数のメモリセルのうち選択メモリセル以外の非選択メモリセルに接続される非選択ワード線と、読み出し時に、選択ワード線に選択読み出し電位を印加し、非選択ワード線に選択読み出し電位よりも高い非選択読み出し電位を印加する電位発生回路と、異なる二つ以上の読み出し電位のうちの一つを選択読み出し電位とし、選択読み出し電位の値に応じてワード線セットアップ期間を異ならせる制御回路とを備える。
【選択図】図16
【解決手段】本発明の例に係る多値不揮発性半導体メモリは、第一及び第二セレクトゲートトランジスタと、第一及び第二セレクトゲートトランジスタの間に直列接続され、各々が三値以上を記憶する複数のメモリセルと、複数のメモリセルのうち読み出し対象となる選択メモリセルに接続される選択ワード線と、複数のメモリセルのうち選択メモリセル以外の非選択メモリセルに接続される非選択ワード線と、読み出し時に、選択ワード線に選択読み出し電位を印加し、非選択ワード線に選択読み出し電位よりも高い非選択読み出し電位を印加する電位発生回路と、異なる二つ以上の読み出し電位のうちの一つを選択読み出し電位とし、選択読み出し電位の値に応じてワード線セットアップ期間を異ならせる制御回路とを備える。
【選択図】図16
Description
本発明は、多値不揮発性半導体メモリの読み出し動作に関する。
複数のメモリセルにより一つのセルユニットが構成される不揮発性半導体メモリ、例えば、NANDフラッシュメモリ(例えば、特許文献1を参照)では、メモリセルアレイの高集積化が進むにつれて、一つのセルユニット内の複数のワード線の配線抵抗と、これら複数のワード線間の寄生容量とに起因するいくつかの問題が発生している。
そのうちの一つに、読み出し時におけるワード線セットアップ期間の長期化がある。
ここで、本明細書において、ワード線セットアップ期間とは、選択ワード線に選択読み出し電位を印加し始めてからセンスを開始するまでの期間のことである。
また、選択読み出し電位とは、読み出し対象となる選択メモリセルのデータに応じてそのメモリセルのオン/オフが決まる電位のことである。センスを開始するとは、ビット線の電位を選択メモリセルのデータに応じた値にし始めること、又は、センスアンプによりメモリセルのデータをセンスし始めることである。
さらに、単に読み出しと言ったときは、通常読み出しとベリファイ読み出しの双方を含むものとする。通常読み出しとは、チップ外部にメモリセルのデータを出力することであり、ベリファイ読み出しとは、書き込み時に正確にデータが書き込めたか否かを検証するための読み出しを行うことである。
メモリセルアレイの高集積化が進むと、一つのセルユニット内の複数のワード線は、細く、かつ、長くなり、配線抵抗が増大する。また、これら複数のワード線間の幅が狭くなり、寄生容量が増大する。
このような状況の下では、非選択読み出し電位が、非選択ワード線の一端(ワード線ドライバに最も近い端部)から他端(ワード線ドライバに最も遠い端部)まで、完全に伝わるには一定時間を要する、即ち、非選択ワード線の他端の電位の立ち上がり波形が緩やかになる。
また、非選択読み出し電位は、読み出し対象とならない非選択メモリセルの閾値によらずそのメモリセルをオンにする電位のことであり、選択ワード線に印加する選択読み出し電位よりも大きい。
このため、非選択ワード線の他端の電位の立ち上がりに起因して、選択ワード線の他端の電位は、選択ワード線と隣接した非選択ワード線との容量カップリングにより、非選択読み出し電位付近まで上昇する。
また、上述のように、非選択ワード線の他端の電位の立ち上がり波形が緩やかなために、選択ワード線の一端に選択読み出し電位を印加した後においても、選択ワード線の他端の電位は、非選択ワード線の他端の電位の影響を受けて、非選択読み出し電位付近の電位を維持する。
従って、選択ワード線の電位が、非選択読み出し電位付近から低下し、最終的に選択読み出し電位に落ち着くまでには、非常に長い時間を要する。
一方で、センスの開始は、誤読み出しを防止するため、選択ワード線の他端の電位が、選択読み出し電位になってからでないと行うことはできない。
このようなことから、ワード線セットアップ期間が長期化する。
特に、一つのメモリセルに三値以上を記憶させる多値不揮発性半導体メモリでは、選択ワード線に印加する選択読み出し電位の値は、二つ以上存在する。即ち、一つのメモリセルに記憶させるデータ数が大きくなるにつれて、非選択読み出し電位の値と選択読み出し電位の最も低い値との差が大きくなる。
このため、選択読み出し電位が最も低い値のとき、選択ワード線の他端の電位が、非選択読み出し電位付近から選択読み出し電位になるまでの期間が最も長くなる。
また、ワード線セットアップ期間は、選択読み出し電位の値にかかわらず、上述の最も長い期間に固定される。
従って、多値不揮発性半導体メモリでは、メモリセルアレイの高集積化によるワード線セットアップ期間の長期化が特に顕著となる。
このようなワード線セットアップ期間の長期化は、読み出し動作の高速化の阻害要因となる。
米国特許出願公開第2004/0109357明細書
本発明は、読み出し動作を高速化するためのワード線セットアップ期間の設定技術について提案する。
本発明の例に係る多値不揮発性半導体メモリは、第一及び第二セレクトゲートトランジスタと、前記第一及び第二セレクトゲートトランジスタの間に直列接続され、各々が三値以上を記憶する複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルのうち読み出し対象となる選択メモリセルに接続される選択ワード線と、前記複数のメモリセルのうち前記選択メモリセル以外の非選択メモリセルに接続される非選択ワード線と、読み出し時に、前記選択ワード線に選択読み出し電位を印加し、前記非選択ワード線に前記選択読み出し電位よりも高い非選択読み出し電位を印加する電位発生回路と、異なる二つ以上の読み出し電位のうちの一つを前記選択読み出し電位とし、前記選択読み出し電位の値に応じてワード線セットアップ期間を異ならせる制御回路とを備える。
本発明によれば、ワード線セットアップ期間の設定を工夫することにより読み出し動作を高速化できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の例を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
1. 概要
本発明の例では、一つのメモリセルが三値以上を記憶する多値不揮発性半導体メモリにおいて、ワード線セットアップ期間を選択読み出し電位の値に応じて異ならせる。
本発明の例では、一つのメモリセルが三値以上を記憶する多値不揮発性半導体メモリにおいて、ワード線セットアップ期間を選択読み出し電位の値に応じて異ならせる。
多値不揮発性半導体メモリでは、選択ワード線に印加する選択読み出し電位の値が二つ以上存在し、かつ、選択読み出し電位の値に応じて、選択ワード線の他端(ワード線ドライバに最も遠い端部)の電位が、非選択読み出し電位付近から選択読み出し電位に落ち着くまでの期間が異なる。
この点に着目し、本発明の例では、ワード線セットアップ期間を選択読み出し電位の値に応じて異ならせる。
具体的には、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、選択ワード線の他端の電位が、非選択読み出し電位付近から選択読み出し電位に落ち着くまでの期間が短くなるため、これに合わせて、ワード線セットアップ期間も短くする。
これにより、ワード線セットアップ期間が固定であった従来に比べて、本発明の例によれば、読み出し動作を高速化することができる。
2. 多値不揮発性半導体メモリ
まず、本発明の前提となる多値不揮発性半導体メモリについて、多値NANDフラッシュメモリを例に説明する。
まず、本発明の前提となる多値不揮発性半導体メモリについて、多値NANDフラッシュメモリを例に説明する。
図1は、多値NANDフラッシュメモリを示している。
メモリセルアレイ11は、複数のNANDブロックBK1,BK2,・・・BLjを有する。複数のNANDブロックBK1,BK2,・・・BLjの各々は、NANDセルユニットを有する。
データ回路12は、読み出し/書き込み時にページデータを一時的にラッチする複数のラッチ回路(ページバッファ)を有する。I/O(input/output)バッファ13は、データのインターフェイス回路として、アドレスバッファ14は、アドレス信号のインターフェイス回路として機能する。
アドレス信号には、ブロックアドレス信号、ロウアドレス信号及びカラムアドレス信号が含まれる。
ロウデコーダ15は、ブロックアドレス信号に基づいて、複数のブロックBK1,BK2,・・・BLjのうちの1つを選択し、ロウアドレス信号に基づいて、選択されたブロック内の複数のワード線のうちの1つを選択する。
ワード線ドライバ16は、選択されたブロック内の複数のワード線を駆動する。
カラムデコーダ17は、カラムアドレス信号に基づいて、複数のラッチ回路のうちから所定数を選択し、選択された所定数のラッチ回路をI/Oバッファ13に接続する。
ベリファイ回路18は、書き込み時に、正確にデータが書き込めたか否かを検証する。ベリファイ回路18は、ベリファイ読み出し時に選択メモリセルから読み出されたデータを書き込みデータと比較し、書き込み完了/未完了を判断する。
電位発生回路19は、読み出し時に、選択ワード線に選択読み出し電位を印加し、非選択ワード線に選択読み出し電位よりも高い非選択読み出し電位を印加する。
制御回路20は、データ回路12、I/Oバッファ13、アドレスバッファ14、ロウデコーダ15、ワード線ドライバ16、カラムデコーダ17、ベリファイ回路18及び電位発生回路19の動作を制御する。
図2は、メモリセルアレイ内の一つのNANDブロックを示している。
NANDセルユニット21は、ソース線側セレクトゲートトランジスタS01と、ビット線側セレクトゲートトランジスタS02と、これらの間に直列接続されるi(iは、2以上の自然数)個のメモリセルMC00,MC01,MC02,…MC0(i−3),MC0(i−2),MC0(i−1)とから構成される。
2本のセレクトゲート線SGS,SGD及びi本のワード線WL0,WL1,WL2,…WL(i−3),WL(i−2),WL(i−1)は、第一方向に延びる。j(jは、2以上の自然数)本のビット線BL0,BL1,…BL(j−1)は、第一方向に直交する第二方向に延びる。
ソース線側セレクトゲートトランジスタS01は、ソース線CELSRCに接続され、ビット線側セレクトゲートトランジスタS02は、ビット線BL0に接続される。
これらメモリセルアレイは、ウェル領域CPWELL内に配置される。
3. 本発明の原理
本発明の原理について、上述の図1及び図2の多値NANDフラッシュメモリを例に説明する。
本発明の原理について、上述の図1及び図2の多値NANDフラッシュメモリを例に説明する。
以下の説明に当たっては、簡単のため、四値を前提とする。
図3に示すように、メモリセルの閾値が最も低い状態を消去状態(“0”−状態)とし、書き込み状態は、三つ(“1”−状態、“2”−状態、“3”−状態)存在するものとする。メモリセルの閾値が最も高い状態を“3”−状態とし、“2”−状態のメモリセルの閾値は、“3”−状態のメモリセルの閾値よりも低く、“1”−状態のメモリセルの閾値は、“2”−状態のメモリセルの閾値よりも低いものとする。
メモリセルの初期状態は、消去状態とする。
また、図2において、選択ワード線を、WL0とし、非選択ワード線を、WL1,WL2,…WL(i−3),WL(i−2),WL(i−1)とする。選択ワード線WL0に接続される範囲X内のj個のメモリセルMC00,MC10,…MC(j−1)0を、選択メモリセルとする。
センス開始時点の電位関係は、図2に示すようになる。
通常読み出し時においては、選択ワード線WL0は、選択読み出し電位Vcgrに設定され、非選択ワード線WL1,WL2,…WL(i−3),WL(i−2),WL(i−1)は、非選択読み出し電位Vreadに設定される。
但し、Vread(例えば、5〜7V)>Vcgr(例えば、0〜4V)である。
また、Vcgrの値は、図3に示すように、三つの値Vcgr1,Vcgr2,Vcgr3のうちから選択される一つとなる(四値の場合)。
二本のセレクトゲート線SGS,SGDは、これらをオンにするセレクトゲート電位Vsg(例えば、3.5〜7V)に設定される。ソース線CELSRC及びウェル領域CPWELLは、接地電位Vssに設定され、ビット線BL0,BL1,…BL(j−1)は、例えば、プリチャージ電位Vblに設定される。
この後、ビット線BL0,BL1,…BL(j−1)の電位は、選択メモリセルMC00,MC10,…MC(j−1)0の閾値に応じて変化する。
ベリファイ読み出し時においては、選択ワード線WL0は、選択読み出し電位Vcgvに設定され、非選択ワード線WL1,WL2,…WL(i−3),WL(i−2),WL(i−1)は、非選択読み出し電位Vreadに設定される。
但し、Vread(例えば、5〜7V)>Vcgv(例えば、0〜4V)である。
また、Vcgvの値は、図3に示すように、三つの値Vcgv1,Vcgv2,Vcgv3のうちから選択される一つとなる(四値の場合)。
二本のセレクトゲート線SGS,SGDは、これらをオンにするセレクトゲート電位Vsg(例えば、3.5〜7V)に設定される。ソース線CELSRC及びウェル領域CPWELLは、接地電位Vssに設定され、ビット線BL0,BL1,…BL(j−1)は、例えば、プリチャージ電位Vblに設定される。
この後、ビット線BL0,BL1,…BL(j−1)の電位は、選択メモリセルMC00,MC10,…MC(j−1)0の閾値に応じて変化する。
ここで、選択ワード線WL0にVcgv1及びVcgv3を印加するときのメモリセルアレイ内のA点及びB点の電位波形について考える。
図2に示すように、A点は、選択ワード線WL0の最もワード線ドライバに近い点(具体的には、最もワード線ドライバに近い選択メモリセルMC00のコントロールゲート電極)であり、B点は、選択ワード線WL0の最もワード線ドライバから遠い点(具体的には、最もワード線ドライバから遠い選択メモリセルMC(j−1)0のコントロールゲート電極)である。
図4は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第一例である。
第一例では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点の波形変化を表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点の波形変化を表している。
まず、時刻t1において、ビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)は、Vsgに上昇し始める。
この後、時刻t2において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、Vreadに上昇し始め、時刻t3において、選択ワード線WL0の電位は、Vcgv1に上昇し始める。
また、時刻t4において、ビット線BLの電位は、プリチャージ電位Vblに上昇し始める。さらに、ビット線BLの全体がプリチャージ電位Vblになった後、ビット線BLをフローティング状態にする。
ここで、ビット線BLは、図2における全てのビット線BL0〜BL(j−1)であってもよいし、これらビット線BL0〜BL(j−1)のうちから選択される複数本のビット線であってもよい。
そして、時刻t5において、センスを開始する。
具体的には、ソース線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGSの電位)を、Vsgにする。
この時、選択メモリセルの閾値がVcgv1よりも低ければ、その選択メモリセルはオン状態であり、ビット線BLの電位は、プリチャージ電位Vblから低下する。一方、選択メモリセルの閾値がVcgv1よりも高ければ、その選択メモリセルはオフ状態であり、ビット線BLの電位は、プリチャージ電位Vblを維持する。
この電位変化をセンスアンプによりセンスする。
最後に、時刻t6において、全てのワード線WL0〜WL(i−1)及び2本のセレクトゲート線SGS,SGDの電位を立ち下げ、接地電位Vssにする。ビット線BLの電位は、イコライズした後に、時刻t7において、接地電位に低下させる。
図5は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第二例である。
第二例では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点及びB点の波形変化を比較して表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点及びD点の波形変化を比較して表している。
B点及びD点の波形図は、時刻t2〜t5の範囲内においてA点及びC点の波形図と異なる。点線は、A点及びC点の波形図を表し、実線は、B点及びD点の波形図を表している。
時刻t2において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の一端に非選択読み出し電位Vreadが印加されると、最もワード線ドライバに近いC点では、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、急峻に立ち上がり、直ちにVreadに到達する。
これに対し、最もワード線ドライバから遠いD点では、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、配線抵抗及び配線容量の影響により緩やかに立ち上がる。
時刻t3において、選択ワード線WL0の一端に選択読み出し電位Vcgv1が印加されると、A点では、選択ワード線WL0の電位は、直ちにVcgv1になるが、B点では、Vcgv1がA点からB点に伝わるまでに相当の時間を要するため、直ちにVcgv1になることはない。
一方で、非選択ワード線WL1のD点の電位は、配線抵抗及び配線容量の影響により緩やかに立ち上がるため、選択ワード線WL0のB点の電位は、選択ワード線WL0と非選択ワード線WL1との容量カップリングにより、Vread付近までオーバーシュートする。
従って、センスの開始は、誤読み出しを防止するため、B点の電位が、Vread付近からVcgv1に低下してからでないと行うことはできない。つまり、選択ワード線WL0にVcgv1を印加し始めてからセンス開始するまでのワード線セットアップ期間tw(fix)が必要になる。
ここで、B点の電位がVcgv1になる時点を安定点(Stable point)と称することにする。B点の電位がVcgv1になるとは、B点の電位がVcgv1±αの範囲内に収まることを意味するものとする。αの値は、例えば、Vcgv1の値の10%とする。仮にVcgv1を0.5Vとすると、αは、0.05Vとなる。
図6は、選択ワード線WL0にVcgv3を印加するときの波形図である。
この波形図では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点及びB点の波形変化を比較して表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点及びD点の波形変化を比較して表している。
Vcgv1は、選択読み出し電位の最も低い値であるのに対し、Vcgv3は、選択読み出し電位の最も高い値である。
この波形図から分かることは、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、安定点(Stable point)が時刻t3(選択ワード線の選択読み出し電位を印加し始める時点)に近づくことにある。
しかし、従来においては、同図に示すように、ワード線セットアップ期間tw(fix)は、選択読み出し電位の値にかかわらず、選択読み出し電位がVcgv1のときの最も長い期間に固定される。
このようなことから、本発明では、選択読み出し電位の値に応じて、ワード線セットアップ期間を異ならせることを提案する。
即ち、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、ワード線セットアップ期間を短くする。例えば、選択読み出し電位がVcgv3のときのワード線セットアップ期間をtw’とすれば、時刻t5を、時刻t5’に早めることができ、読み出し動作の高速化に貢献できる。
以上、本発明の原理について説明したが、同様のことは、以下の読み出し波形についても言える。
図7は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第三例である。
第三例では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点の波形変化を表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点の波形変化を表している。
この波形図の特徴は、図4の波形図と比べると、ソース線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGSの電位)を立ち上げるタイミングと、ビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)を立ち上げるタイミングとが、逆になっていることにある。
即ち、時刻t1において、ソース線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGSの電位)は、Vsgに上昇し始め、時刻t5において、ビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)は、Vsgに上昇し始める。
その他の点は、図4の波形図と同じである。
ここで、図4の波形図と図7の波形図とを組み合わせることも可能である。
例えば、WL0を選択ワード線とするときに、図7の波形図を採用し、WL1〜WL(i−1)のうちの1本を選択ワード線とするときに、図4の波形図を採用してもよい。
また、WL0〜WL(i−1)のソース線側半分の複数のワード線のうちの1本を選択ワード線とするときに、図7の波形図を採用し、WL0〜WL(i−1)のビット線側半分の複数のワード線のうちの1本を選択ワード線とするときに、図4の波形図を採用してもよい。
図8は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第四例である。
第四例では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点の波形変化を表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点の波形変化を表している。
この波形図の特徴は、図4の波形図と比べると、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位を、複数ステップ(例えば、二ステップ)で、非選択読み出し電位Vreadまで立ち上げることにある。
即ち、時刻t0において、ビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)は、Vsgに上昇し始める。また、時刻t1において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、接地電位Vssから中間電位Vmに上昇し始め、さらに、時刻t2において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、中間電位Vmから非選択読み出し電位Vreadに上昇し始める。
その他の点は、図4の波形図と同じである。
図9は、センスアンプの例を示している。
センスアンプSAは、ABL(All Bit Line)センシング方式に適用される。
NANDセルユニット21は、クランプ回路31を介してセンスアンプSAに接続される。クランプ回路31は、ゲートに制御信号BLCが入力されるNチャネルMOSトランジスタから構成される。
センスアンプSAは、電圧クランプ回路32、プリチャージ回路33、ディスクリミネート回路(discriminator)34及びラッチ回路35から構成される。
電圧クランプ回路32は、電源端子Vddとビット線BLとの間に直列接続されるNチャネルMOSトランジスタ36,37から構成される。MOSトランジスタ36のゲートは、ラッチ回路35の出力端子に接続され、MOSトランジスタ37のゲートには、制御信号BLXが入力される。
プリチャージ回路33は、ゲートに制御信号FLTが入力されるPチャネルMOSトランジスタ38から構成される。プリチャージ回路33は、センスノードSENをプリチャージする。
ディスクリミネート回路34は、キャパシタ39、PチャネルMOSトランジスタ40,41及びNチャネルMOSトランジスタ42から構成される。MOSトランジスタ40のゲートには、制御信号STBが入力され、MOSトランジスタ42のゲートには、制御信号RSTが入力される。
MOSトランジスタ41のゲートは、センスノードSENに接続される。
ラッチ回路35は、PチャネルMOSトランジスタ43,44,47及びNチャネルMOSトランジスタ45,46,48とから構成される。MOSトランジスタ43,44,45,46は、フリップフロップ接続された二つのインバータを構成する。MOSトランジスタ47のゲートには、制御信号RSTが入力され、MOSトランジスタ48のゲートには、制御信号STBが入力される。
図10は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第五例である。
第五例では、図9のセンスアンプを用いたABLセンシング方式を採用する。
選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点の波形変化を表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点の波形変化を表している。
まず、時刻t1において、ソース線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGSの電位)及びビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)は、Vsgに上昇し始める。
この後、時刻t2において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、Vreadに上昇し始め、時刻t3において、選択ワード線WL0の電位は、Vcgv1に上昇し始める。
また、時刻t4において、センスノードSENを充電し始める。即ち、図9の制御信号FLTを“L”にし、センスノードSENを、Vsenに充電する。
そして、時刻t5において、制御信号FLTを“H”にすると共に、制御信号STBを“H”にし、制御信号RSTを“L”にする。
この時、選択メモリセルの閾値が選択読み出し電位Vcgv1よりも低いと、図9のNANDセルユニット21内の選択メモリセルは、オン状態になる。
このため、センスノードSENは、放電され、図9のMOSトランジスタ41がオン状態になる。即ち、ラッチ回路35には、“H”がラッチされ、NチャネルMOSトランジスタ49によりビット線BLが放電される。
また、選択メモリセルの閾値が選択読み出し電位Vcgv1よりも高いと、図9のNANDセルユニット21内の選択メモリセルは、オフ状態になる。
このため、センスノードSENは、Vsenを維持し、図9のMOSトランジスタ41は、オフ状態を維持する。即ち、ラッチ回路35には、“L”がラッチされる。
最後に、時刻t6において、制御信号FLTを“L”にし、ソース線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGSの電位)を立ち下げる。
また、時刻t7において、全てのワード線WL0〜WL(i−1)及びビット線側セレクトゲートトランジスタのゲート電位(セレクトゲート線SGDの電位)を立ち下げ、接地電位Vssにする。
図11は、選択ワード線WL0にVcgv1を印加するときの波形図の第六例である。
第六例では、図9のセンスアンプを用いたABLセンシング方式を採用する。
第六例では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点及びB点の波形変化を比較して表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点及びD点の波形変化を比較して表している。
B点及びD点の波形図は、時刻t2〜t5の範囲内においてA点及びC点の波形図と異なる。点線は、A点及びC点の波形図を表し、実線は、B点及びD点の波形図を表している。
時刻t2において、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の一端に非選択読み出し電位Vreadが印加されると、最もワード線ドライバに近いC点では、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、急峻に立ち上がり、直ちにVreadに到達する。
これに対し、最もワード線ドライバから遠いD点では、非選択ワード線WL1〜WL(i−1)の電位は、配線抵抗及び配線容量の影響により緩やかに立ち上がる。
時刻t3において、選択ワード線WL0の一端に選択読み出し電位Vcgv1が印加されると、A点では、選択ワード線WL0の電位は、直ちにVcgv1になるが、B点では、Vcgv1がA点からB点に伝わるまでに相当の時間を要するため、直ちにVcgv1になることはない。
一方で、非選択ワード線WL1のD点の電位は、配線抵抗及び配線容量の影響により緩やかに立ち上がるため、選択ワード線WL0のB点の電位は、選択ワード線WL0と非選択ワード線WL1との容量カップリングにより、Vread付近までオーバーシュートする。
従って、センスの開始は、誤読み出しを防止するため、B点の電位が、Vread付近からVcgv1に低下してからでないと行うことはできない。つまり、選択ワード線WL0にVcgv1を印加し始めてからセンス開始するまでのワード線セットアップ期間tw(fix)が必要になる。
ここで、B点の電位がVcgv1になる時点は、上述のように、安定点(Stable point)と称される。B点の電位がVcgv1になるとは、B点の電位がVcgv1±αの範囲内に収まることを意味するものとする。αの値は、例えば、Vcgv1の値の10%とする。仮にVcgv1を0.5Vとすると、αは、0.05Vとなる。
図12は、選択ワード線WL0にVcgv3を印加するときの波形図である。
この波形図は、図9のセンスアンプを用いたABLセンシング方式に関する。
この波形図では、選択ワード線WL0については、メモリセルアレイ内のA点及びB点の波形変化を比較して表し、非選択ワード線WL1については、メモリセルアレイ内のC点及びD点の波形変化を比較して表している。
Vcgv1は、選択読み出し電位の最も低い値であるのに対し、Vcgv3は、選択読み出し電位の最も高い値である。
この波形図から分かることは、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、安定点(Stable point)が時刻t3(選択ワード線の選択読み出し電位を印加し始める時点)に近づくことにある。
しかし、上述のように、従来においては、ワード線セットアップ期間tw(fix)は、選択読み出し電位の値にかかわらず、選択読み出し電位がVcgv1のときの最も長い期間に固定される。
このようなことから、本発明では、ABLセンシング方式においても、選択読み出し電位の値に応じて、ワード線セットアップ期間を異ならせることを提案する。
即ち、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、ワード線セットアップ期間を短くする。例えば、選択読み出し電位がVcgv3のときのワード線セットアップ期間をtw’とすれば、時刻t5を、時刻t5’に早めることができ、読み出し動作の高速化に貢献できる。
4. 実施例
(1) 第一実施例
第一実施例は、通常読み出し動作に関する。
(1) 第一実施例
第一実施例は、通常読み出し動作に関する。
図13は、選択ワード線の読み出し電位とセットアップ期間との関係を示している。
一つのメモリセルは、n(nは、三以上の自然数)値を記憶するものとする。
この場合、選択読み出し電位Vcgrの数は、(n−1)個となる。これを、Vcgr1,Vcgr2,Vcgr3,…Vcgr(n−1)とする。但し、Vcgr1<Vcgr2<Vcgr3<…Vcgr(n−1)である。
また、選択読み出し電位Vcgr1,Vcgr2,Vcgr3,…Vcgr(n−1)に対応するワード線セットアップ期間を、tw1,tw2,tw3,…tw(n−1)とする。本発明の例によれば、tw1>tw2>tw3>…tw(n−1)となる。
図14は、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、ワード線セットアップ期間が短くなる様子を示している。
この波形図内の時刻t2〜t5は、図4〜図7及び図10〜図12の波形図内の時刻t2〜t5に対応する。
例えば、選択読み出し電位が最も低い値Vcgr1のときのワード線セットアップ期間tw1を基準にすると、選択読み出し電位の値が1レベル上になるごとに、ワード線セットアップ期間は、約1μsec短縮される。
従って、本発明の例は、多値化が進むほど(一つのメモリセルに記憶させるデータ数が増加するほど)、効果が顕著に表れる。
このように、選択読み出し電位Vcgrの値に応じて、ワード線セットアップ期間twを異ならせることにより、読み出し動作の高速化に貢献できる。
(2) 第二実施例
第二実施例は、ベリファイ読み出し動作に関する。
第二実施例は、ベリファイ読み出し動作に関する。
図15は、選択ワード線の読み出し電位とセットアップ期間との関係を示している。
一つのメモリセルは、n(nは、三以上の自然数)値を記憶するものとする。
この場合、選択読み出し電位Vcgvの数は、(n−1)個となる。これを、Vcgv1,Vcgv2,Vcgv3,…Vcgv(n−1)とする。但し、Vcgv1<Vcgv2<Vcgv3<…Vcgv(n−1)である。
また、選択読み出し電位Vcgv1,Vcgv2,Vcgv3,…Vcgv(n−1)に対応するワード線セットアップ期間を、tw1,tw2,tw3,…tw(n−1)とする。本発明の例によれば、tw1>tw2>tw3>…tw(n−1)となる。
図16は、選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、ワード線セットアップ期間が短くなる様子を示している。
この波形図内の時刻t2〜t5は、図4〜図7及び図10〜図12の波形図内の時刻t2〜t5に対応する。
例えば、選択読み出し電位が最も低い値Vcgv1のときのワード線セットアップ期間tw1を基準にすると、選択読み出し電位の値が1レベル上になるごとに、ワード線セットアップ期間は、約1μsec短縮される。
従って、本発明の例は、多値化が進むほど(一つのメモリセルに記憶させるデータ数が増加するほど)、効果が顕著に表れる。
また、多値化が進むほど、ベリファイ回数が多くなる傾向にあるため、本発明の例は、このようなベリファイ回数の増大に対しても非常に有効である。
このように、選択読み出し電位Vcgvの値に応じて、ワード線セットアップ期間twを異ならせることにより、読み出し動作の高速化に貢献できる。
5. 適用例
本発明の例は、多値NANDフラッシュメモリに有効である。また、本発明の例は、一つのメモリセルが三値以上を記憶する多値不揮発性半導体メモリ全般に適用可能である。
本発明の例は、多値NANDフラッシュメモリに有効である。また、本発明の例は、一つのメモリセルが三値以上を記憶する多値不揮発性半導体メモリ全般に適用可能である。
6. むすび
本発明によれば、ワード線セットアップ期間の設定を工夫することにより読み出し動作を高速化できる。
本発明によれば、ワード線セットアップ期間の設定を工夫することにより読み出し動作を高速化できる。
本発明の例は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
11: メモリセルアレイ、 12: データ回路、 13: I/Oバッファ、 14: アドレスバッファ、 15: ロウデコーダ、 16: ワード線ドライバ、 17: カラムデコーダ、 18: ベリファイ回路、 19: 電位発生回路、 20: 制御回路、 21: NANDセルユニット。
Claims (5)
- 第一及び第二セレクトゲートトランジスタと、前記第一及び第二セレクトゲートトランジスタの間に直列接続され、各々が三値以上を記憶する複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルのうち読み出し対象となる選択メモリセルに接続される選択ワード線と、前記複数のメモリセルのうち前記選択メモリセル以外の非選択メモリセルに接続される非選択ワード線と、読み出し時に、前記選択ワード線に選択読み出し電位を印加し、前記非選択ワード線に前記選択読み出し電位よりも高い非選択読み出し電位を印加する電位発生回路と、異なる二つ以上の読み出し電位のうちの一つを前記選択読み出し電位とし、前記選択読み出し電位の値に応じてワード線セットアップ期間を異ならせる制御回路とを具備することを特徴とする多値不揮発性半導体メモリ。
- 前記制御回路は、前記選択読み出し電位の値が大きくなるに従い、前記ワード線セットアップ期間を短くすることを特徴とする請求項1に記載の多値不揮発性半導体メモリ。
- 前記電位発生回路は、前記非選択ワード線に、接地電位よりも高く、前記非選択読み出し電位よりも低い中間電位を印加した後に、前記非選択読み出し電位を印加することを特徴とする請求項1に記載の多値不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1セレクトゲートトランジスタは、ソース線に接続され、前記第2セレクトゲートトランジスタは、ビット線に接続され、前記第1セレクトゲートトランジスタをオンにした後に前記第2セレクトゲートトランジスタをオンにすることを特徴とする請求項1に記載の多値不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1セレクトゲートトランジスタは、ソース線に接続され、前記第2セレクトゲートトランジスタは、ビット線に接続され、前記第1及び第2セレクトゲートトランジスタを同時にオンにすることを特徴とする請求項1に記載の多値不揮発性半導体メモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008302758A JP2010129125A (ja) | 2008-11-27 | 2008-11-27 | 多値不揮発性半導体メモリ |
US12/563,274 US7995389B2 (en) | 2008-11-27 | 2009-09-21 | Multi-level nonvolatile semiconductor memory |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008302758A JP2010129125A (ja) | 2008-11-27 | 2008-11-27 | 多値不揮発性半導体メモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010129125A true JP2010129125A (ja) | 2010-06-10 |
Family
ID=42196111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008302758A Pending JP2010129125A (ja) | 2008-11-27 | 2008-11-27 | 多値不揮発性半導体メモリ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7995389B2 (ja) |
JP (1) | JP2010129125A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010140554A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置の読出し方法 |
JP2017216025A (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
WO2020105596A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 国立大学法人静岡大学 | 駆動回路及び電子デバイス |
JP7358496B2 (ja) | 2019-11-28 | 2023-10-10 | 長江存儲科技有限責任公司 | メモリデバイスからデータを読み取る速度を高める方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI490865B (zh) * | 2012-08-15 | 2015-07-01 | Phison Electronics Corp | 資料讀取方法、記憶體控制器與記憶體儲存裝置 |
CN103594116A (zh) * | 2012-08-15 | 2014-02-19 | 群联电子股份有限公司 | 数据读取方法、控制电路、存储器模块与存储器存储装置 |
KR102116671B1 (ko) | 2014-07-30 | 2020-06-01 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치 및 그것의 워드 라인 구동 방법 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05225792A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-09-03 | Hyundai Electron Ind Co Ltd | Nand型セルを具備したメモリ装置の感知装置 |
JPH10208490A (ja) * | 1997-01-21 | 1998-08-07 | Samsung Electron Co Ltd | 不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2000091546A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2002133885A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2004326866A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びこれを用いた電子装置 |
JP2005285185A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2006107577A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びメモリカード |
JP2007048410A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2007133999A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びこれを搭載したメモリカード |
JP2007157289A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体装置 |
WO2007078611A1 (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-12 | Sandisk Corporation | Reading non-volatile storage with efficient control of non-selected word lines |
JP2008052808A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びそのデータの読出方法並びにメモリカード |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100323554B1 (ko) | 1997-05-14 | 2002-03-08 | 니시무로 타이죠 | 불휘발성반도체메모리장치 |
US7196931B2 (en) | 2002-09-24 | 2007-03-27 | Sandisk Corporation | Non-volatile memory and method with reduced source line bias errors |
KR100512181B1 (ko) | 2003-07-11 | 2005-09-05 | 삼성전자주식회사 | 멀티 레벨 셀을 갖는 플래시 메모리 장치와 그것의 독출방법 및 프로그램 방법 |
KR100795634B1 (ko) * | 2005-11-11 | 2008-01-17 | 가부시끼가이샤 도시바 | 불휘발성 반도체 기억 장치, 그 데이터 판독 방법 및메모리 카드 |
US7369437B2 (en) | 2005-12-16 | 2008-05-06 | Sandisk Corporation | System for reading non-volatile storage with efficient setup |
JP4510060B2 (ja) * | 2007-09-14 | 2010-07-21 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の読み出し/書き込み制御方法 |
-
2008
- 2008-11-27 JP JP2008302758A patent/JP2010129125A/ja active Pending
-
2009
- 2009-09-21 US US12/563,274 patent/US7995389B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05225792A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-09-03 | Hyundai Electron Ind Co Ltd | Nand型セルを具備したメモリ装置の感知装置 |
JPH10208490A (ja) * | 1997-01-21 | 1998-08-07 | Samsung Electron Co Ltd | 不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2000091546A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2002133885A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2004326866A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びこれを用いた電子装置 |
JP2005285185A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2006107577A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びメモリカード |
JP2007048410A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2007133999A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びこれを搭載したメモリカード |
JP2007157289A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体装置 |
WO2007078611A1 (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-12 | Sandisk Corporation | Reading non-volatile storage with efficient control of non-selected word lines |
JP2009520310A (ja) * | 2005-12-16 | 2009-05-21 | サンディスク コーポレイション | 非選択ワード線を効果的に制御して不揮発性メモリを読み出す方法 |
JP2008052808A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びそのデータの読出方法並びにメモリカード |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010140554A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 不揮発性半導体記憶装置の読出し方法 |
JP2017216025A (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
WO2020105596A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 国立大学法人静岡大学 | 駆動回路及び電子デバイス |
US11735264B2 (en) | 2018-11-20 | 2023-08-22 | National University Corporation Shizuoka University | Drive circuit and electronic device |
JP7358496B2 (ja) | 2019-11-28 | 2023-10-10 | 長江存儲科技有限責任公司 | メモリデバイスからデータを読み取る速度を高める方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7995389B2 (en) | 2011-08-09 |
US20100128526A1 (en) | 2010-05-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110302 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
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|
A02 | Decision of refusal |
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