JP5910801B1 - エピタキシャルウエハおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
次に本開示の一実施形態(以下「本実施形態」とも記す)の具体例を、図面を参照しつつ説明する。なお以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。また本明細書中においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示す。また負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。
まず、本実施形態に係るエピタキシャルウエハの構成について、図1〜図3を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態に係るエピタキシャルウエハの断面構造を部分的に示している。図2および図3は、本実施形態に係るエピタキシャルウエハの平面構造を部分的に示している。図1は、図2および図3中に示した線分I−Iに沿った断面構造を示している。
次に本実施形態に係るエピタキシャルウエハの製造方法について説明する。図4に示すように、当該製造方法は、炭化珪素基板を準備する工程(S10)と、炭化珪素膜をエピタキシャル成長させる工程(S20)と、を備える。
次に第1の膜をエピタキシャル成長させる工程が実行される。この工程では、C/Si比が1未満の原料ガスを用いて、炭化珪素基板110の第2の主面102上に第1の膜121(図1を参照)をエピタキシャル成長させる。先ず、チャネル2内をガス置換した後、キャリアガスを流しながら、チャネル2内を所定の圧力、たとえば60mbar〜100mbar(6kPa〜10kPa)に調整する。キャリアガスは、たとえば水素(H2)ガス、アルゴン(Ar)ガス、ヘリウム(He)ガス等でよい。キャリアガス流量は、たとえば50slm〜200slm程度でよい。ここで流量の単位「slm(Standard Liter per Minute)」は、標準状態(0℃、101.3kPa)における「L/min」を示している。
次いで、第1の膜の表面を再構成する工程が実行される。表面を再構成する工程は、第1の膜をエピタキシャル成長させる工程と連続して実行されてもよい。あるいは、第1の膜をエピタキシャル成長させる工程と、表面を再構成する工程との間に、所定の休止時間を挟んでもよい。表面を再構成する工程では、サセプタ温度を10〜30℃程度上昇させてもよい。
第1の膜の表面を再構成した後、該表面に第2の膜をエピタキシャル成長させる工程が実行される。第2の膜122(図1を参照)は、C/Si比が1以上の原料ガスを用いて形成される。C/Si比は、1以上である限り、たとえば1.05以上でもよいし、1.1以上でもよいし、1.2以上でもよいし、1.3以上でもよいし、1.4以上でもよい。またC/Si比は、2.0以下でもよいし、1.8以下でもよいし、1.6以下でもよい。
1.サンプル作製
直径が150mmの炭化珪素基板110を準備した。炭化珪素基板110において第2の主面102は、オフ方向が<11−20>方向であり、(0001)面に対して4°のオフ角を有する。
各サンプルにおいて、第1の主面101に形成された溝部の形状を欠陥検査装置およびAFMを用いて評価した。結果を表1に示す。ここでは欠陥の位置検査装置にレーザーテック株式会社製のWASAVIシリーズ「SICA 6X」(対物レンズ:×10)を用いた。
サンプル1および2を、酸素を含む雰囲気中で加熱することにより、炭化珪素膜120の第1の主面101に酸化膜を形成した。さらに透過型電子顕微鏡によって酸化膜を観察し、酸化膜の膜厚のばらつきを測定した。結果を表2に示す。
Claims (3)
- 第1の主面を有する炭化珪素膜と、
第2の主面を有する炭化珪素基板と、を備え、
前記炭化珪素膜は、前記第2の主面上に形成されており、
前記第2の主面は、(0001)面に対して±4°以下のオフ角を有しており、
前記オフ角のオフ方向は、<11−20>方向に対して±5°以下の範囲内か、または<01−10>方向に対して±5°以下の範囲内にあり、
前記第1の主面には、前記第1の主面に沿って前記オフ方向に延びるとともに、前記オフ方向における幅が前記オフ方向に垂直な方向における幅の2倍以上であり、かつ、前記第1の主面からの最大深さが10nm以下である溝部が形成されている、エピタキシャルウエハ。 - 前記溝部は、第1の溝部と、前記第1の溝部に接続された第2の溝部とを含み、
前記第1の溝部は、前記オフ方向において前記溝部の一方の端部に形成され、
前記第2の溝部は、前記第1の溝部から前記オフ方向に沿って延びて前記一方の端部と反対側の他方の端部に至り、かつ、前記第1の主面からの深さが前記第1の溝部の最大深さよりも小さい、請求項1に記載のエピタキシャルウエハ。 - 第2の主面を有する炭化珪素基板を準備する工程と、
前記第2の主面上に、炭化珪素膜をエピタキシャル成長させる工程と、を備え、
前記炭化珪素膜をエピタキシャル成長させる工程は、
前記第2の主面上に、C/Si比が1未満の原料ガスを用いて、第1の膜をエピタキシャル成長させる工程と、
C/Si比が1未満の原料ガスと、水素ガスとを含む混合ガスを用いて、前記第1の膜の表面を再構成する工程と、
再構成された前記第1の膜の前記表面に、C/Si比が1以上の原料ガスを用いて、第2の膜をエピタキシャル成長させる工程と、を含み、
前記再構成する工程においては、前記水素ガスによるエッチングと、前記原料ガスによるエピタキシャル成長とが拮抗した状態である、エピタキシャルウエハの製造方法。
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