JP2014017439A - 半導体製造装置および半導体製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チャネル内部において、基板が保持される中央部の均熱化を実現できる、半導体製造装置および半導体製造方法を提供する。
【解決手段】基板1を処理する半導体製造装置100であって、誘導加熱用コイル3と、誘導加熱用コイル3により加熱される発熱体6と、発熱体6に沿って形成されたチャネル2とを備え、発熱体6は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む。これにより、チャネル2内部に保持された基板1表面の温度分布の均一性を高めることができる。
【選択図】図1
【解決手段】基板1を処理する半導体製造装置100であって、誘導加熱用コイル3と、誘導加熱用コイル3により加熱される発熱体6と、発熱体6に沿って形成されたチャネル2とを備え、発熱体6は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む。これにより、チャネル2内部に保持された基板1表面の温度分布の均一性を高めることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造装置および半導体製造方法に関する。
炭化珪素のような化合物半導体を基板上にエピタキシャル成長させる際には、高温下で処理用ガス(原料ガス等)を反応させてエピタキシャル成長を行う必要がある。
一般に、処理用ガスと基板とを反応させる装置の構成の1つとして、処理用ガスを流通させ、基板との反応を生じさせるチャネルは処理用ガスの流通方向に沿って延び、周囲に導電材料からなるサセプタが付設されるものがある。さらにサセプタには可変磁束を与える誘導加熱用コイルが処理用ガスの流通方向(チャネルの延びる方向)に並んで付設される。チャネルおよび当該チャネルの内部に配置された基板は、誘導加熱用コイルに流れる交流電流により誘導加熱されたサセプタによって間接的に加熱される。
このとき、チャネル内部には温度分布が生じる。具体的には、サセプタと誘導加熱用コイルとを処理用ガスの流通方向に沿って均一に配置すると、チャネル全体がほぼ均一に加熱される。そして、処理用ガスの流通方向(チャネルの延びる方向)におけるチャネルの中央部は、当該チャネルの上記流通方向における上流側端部や下流側端部に比べて放熱されにくいことから、当該中央部が最高温度となり、中央部から上記上流側端部や下流側端部に向かうにつれて温度が低下するような温度分布が生じる。
さらに、チャネルに処理用ガスを流通させることにより、チャネルでの温度分布が変化する。一般に、処理用ガスは、チャネル内に供給された時点ではチャネル内部の温度よりも低いため、チャネル内の処理用ガスの流通方向における上流側は温度が低下し、また、チャネル内の高温領域が下流側に移動する。
これに対して、処理対象の基板表面においては、形成されるエピタキシャル膜の膜質を向上させるために、基板表面の温度分布は極力均一とすることが望まれる。そのため、従来は、たとえば基板が搭載されるサセプタにおいて、基板が搭載される部分に熱伝導率の相対的に大きな材料からなる均熱部材を配置するといったように、サセプタの構造を工夫することにより当該基板表面の温度を均一化するといった方法が提案されている(たとえば、特開2011−1634号公報参照)。
しかし、上記のようにサセプタ自体の構造を改善したとしても、チャネル内の温度分布の均一性が悪ければ当該基板表面の温度の均一化には限界があった。さらに、より高品質な処理を、より大口径の基板に対し行うためには、チャネル内において、特に基板が保持される中央部において、より高い均熱化が求められる。
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、チャネル内部において、基板が保持される中央部の均熱化を実現できる、半導体製造装置および半導体製造方法を提供することである。
本発明の半導体製造装置は、基板を処理する半導体製造装置であって、誘導加熱用コイルと、誘導加熱用コイルにより加熱される発熱体と、発熱体に沿って形成されたチャネルとを備え、発熱体は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む。
これにより、発熱体において電気抵抗率の異なる部分の配置などを適宜調整することにより、発熱体における電磁誘導に起因する発熱の分布を調整できる。そのため、たとえばチャネル中央部での発熱を抑制するように発熱体を構成する(電気抵抗率の異なる部分の配置を決定することにより、チャネルの延びる方向におけるチャネル内部の温度分布を低減し、チャネル内に保持された基板表面を均熱化することができる。
上記発熱体は炭素を含み、電気抵抗率の異なる複数の部分は、炭素の密度が異なってもよい。この場合、炭素の密度は発熱体の電気抵抗率に相関するため、チャネル内の温度分布に応じて発熱体における炭素の密度を制御することにより、チャネル内の温度分布を低減し、基板表面上を均熱化することができる。なお、ここで炭素の密度とは、当該発熱体の複数の部分を構成する炭素材料のバルク材として密度(見掛け上の密度)を意味し、当該炭素材料の形成方法などにより変更できる。
上記発熱体は、表面を薄膜で被覆された被覆部分を含み、電気抵抗率の異なる複数の部分のうちの1つは、当該被覆部分を含んでもよい。このように、任意の電気抵抗率を有する薄膜で発熱体の表面を局所的に被覆することにより、電気抵抗率の異なる複数の部分を形成することができる。よって、チャネル内の温度分布に応じて薄膜を被覆することにより、チャネル内の温度分布を低減し、基板表面を均熱化することができる。
上記電気抵抗率の異なる複数の部分のうち、相対的に電気抵抗率の高い部分は、表面を薄膜で被覆された上記被覆部分としてもよい。つまり、薄膜の材料として発熱体の表面を構成する材料より電気抵抗率の高い材料を用いてもよい。これにより、たとえば被覆部分をチャネルの中央部以外に対向する発熱体の領域に配置することで、チャネルの延びる方向におけるチャネルの中央部以外における発熱体の温度を上昇させて、チャネルの延びる方向における温度分布を低減することができる。この結果、該中央部に基板が保持される場合に、基板表面を均熱化することができる。
本発明の半導体製造方法は、誘導加熱用コイルと、誘導加熱用コイルにより加熱される発熱体と、発熱体に沿って形成されたチャネルとを備え、発熱体は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む、半導体製造装置を用いた半導体製造方法であって、基板を準備する工程と、基板をチャネル内に配置する工程と、発熱体を、誘導加熱用コイルにより加熱することによって、基板を加熱する工程とを備える。
これにより、電気抵抗率の異なる複数の部分の配置を調節することで、チャネルの延びる方向におけるチャネル内部の温度分布を低減し、チャネル内に保持された基板表面を均熱化することができる。この結果、基板表面における処理の均一性(たとえば基板表面に形成される膜の性質の均一性)を高めることができる。
上記半導体製造方法では、上記発熱体は炭素を含み、電気抵抗率の異なる複数の部分は、炭素の密度が互いに異なってもよい。チャネル内の温度分布に応じて発熱体を構成する複数の部分の炭素の密度を制御することにより、チャネル内の温度分布を低減し、基板表面上を均熱化することができる。
上記半導体製造方法では、上記発熱体は、表面を薄膜で被覆された部分(被覆部分)を含み、電気抵抗率の異なる複数の部分のうちの1つは、表面を薄膜で被覆された被覆部分からなってもよい。また、上記半導体製造方法では、発熱体は、表面を薄膜で被覆された被覆部分と、表面を薄膜で被覆されていない露出部分とを含んでいてもよく、電気抵抗率の異なる複数の部分は、被覆部分と露出部分とを含んでいてもよい。この場合、任意の電気抵抗率を有する薄膜を、チャネル内の温度分布に応じて発熱体の所定の部分の表面に形成することにより、チャネル内の温度分布を低減し、基板表面上を均熱化することができる。
上記半導体製造方法において、上記電気抵抗率の異なる複数の部分のうち、相対的に電気抵抗率の高い部分は、表面を薄膜で被覆された被膜部分としてもよい。これにより、たとえば被覆部分をチャネルの中央部以外に対向する発熱体の領域に配置することで、チャネルの延びる方向におけるチャネルの中央部以外における発熱体の温度を上昇させて、チャネルの延びる方向における温度分布を低減することができる。この結果、該中央部に基板が保持される場合に、基板表面を均熱化することができる。
本発明によれば、チャネル内部に保持された基板表面の温度分布の均一性を高めることができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
(実施の形態1)
以下、図1〜図4を参照して、本実施の形態の半導体製造装置について説明する。本実施の形態に係る半導体製造装置100は、基板1を処理する半導体製造装置100である。
以下、図1〜図4を参照して、本実施の形態の半導体製造装置について説明する。本実施の形態に係る半導体製造装置100は、基板1を処理する半導体製造装置100である。
基板1は、チャネル2の内部に保持される。チャネル2は、内部に基板1を保持し、さらに、処理用ガスを、基板1の表面上を通って、一方向に流通可能とする任意の構造を有する。図2に示すように、チャネル2は、その周囲を誘導加熱用コイル3と、石英管4と、断熱材5と、発熱体6とによって囲まれていてもよい。このとき、チャネル2の上壁および下壁は発熱体6により形成され、側壁はチャネル2の横方向の端部を規定する側壁部材2a,2bにより形成されてもよい。チャネル2の側壁部材2a,2bの材料としては、誘導加熱されない任意の材料とすることができ、例えば、高抵抗の焼結体とすることができる。また、チャネル2は、延長部2eにより、処理用ガスの流通方向に延長されていてもよい。延長部2eが、処理用ガスの流通方向の上流側に設けられた場合には、処理用ガスが基板1に到達する距離を延ばすことができ、処理用ガスを整流して基板1表面上に供給することができる。延長部2eは任意の構造とすることができ、チャネル2の側壁部材2a,2bや発熱体6等と別体として設けてもよいし、一体として設けられてもよい。このとき、基板1を回転可能な構成となるように、チャネル2において基板1を保持する部分を構成してもよい。
発熱体6は、チャネル2を挟むように形成された任意の構造を有する。例えば、一部が反応室に近接して配置され、かつ、他の一部が誘導加熱用コイル3の内周形状に沿うように曲面状に形成され、これらの部分に囲まれた領域が中空である半円柱型の発熱体6を、チャネル2の上部と下部とを挟むように設けてもよい。発熱体6の材料としては、たとえば導電性の高純度カーボンを用いることができる。
断熱材5は、半導体製造装置100の内部に位置するチャネル2と半導体製造装置100の外部とを断熱するためのものであり、発熱体6の外周側を囲うように配置される。たとえば断熱材5は円筒状の形状を有する。断熱材5の材質としては、たとえば炭素繊維を用いることができる。石英管4は、断熱材5の外周側を囲うように配置される。石英管4の形状は、誘導加熱用コイル3の巻回を容易にするため、たとえば円筒状である。
誘導加熱用コイル3は、複数のコイル部材を含み、例えば、石英管4の外周側を巻回するように設けられた第1〜第3のコイル部材3a〜3cを含む。これらの複数のコイル部材はチャネル2の延びる方向に並んで配置された高周波コイルである。誘導加熱用コイル3を高周波コイルとしてこれに高周波電流を流すと、電磁誘導作用により、図1に示す誘導加熱用コイル3に囲まれた領域に存在する導電性物質は誘導加熱される。つまり発熱体6が加熱される。発熱体6が加熱されることによってチャネル2内に流通する処理用ガスおよび基板1を所定の温度に加熱することができる。
このとき、チャネル2の内部には、温度分布が生ずる。すなわち、誘導加熱用コイル3を構成する各コイル部材がチャネル2の延びる方向に均等の間隔で配置され、かつ、発熱体6がチャネル2の延びる方向に同じ材質で均等の熱容量となるように構成された場合には、チャネル2の延びる方向におけるチャネル2の中央部は、最も加熱され易く、また放熱されにくい。そのため、当該チャネル2の中央部は、チャネル2において最も高温となるため、チャネル2の内部では当該チャネル2の延びる方向に温度分布を生じる。さらに、このチャネル2の延びる方向での温度分布は、チャネル2内部に処理用ガスを流通させることによっても変化する。
本実施の形態1に係る半導体製造装置100において、発熱体6は電気抵抗率の異なる複数の部分を含む。具体的には、図3および図4を参照して、発熱体6は、電気抵抗率の異なる複数の部分(相対的に電気抵抗率の低い低抵抗部分7と、低抵抗部分7よりも相対的に電気抵抗率の高い高抵抗部分8)を含む。
発熱体6における電気抵抗率の異なる複数の部分は、任意の手段により電気抵抗率が異なるよう設けられる。図3および図4の例では、発熱体6自体を電気抵抗率の異なる複数の部分により形成している。例えば、発熱体6は炭素を含み、上記複数の部分のそれぞれにおける炭素の密度や炭素の結合状態に差異を持たせることで、電気抵抗率の異なる部分を形成してもよい。
相対的に電気抵抗率の低い低抵抗部分7(以下、「低抵抗部分7」という。)は、相対的に電気抵抗率の高い高抵抗部分8(以下、「高抵抗部分8」という。)に比べて、所定の誘導電流により発生するジュール熱が低減するため、誘導加熱の効果は小さい。よって、低抵抗部分7がチャネル2に与える熱量も、高抵抗部分8に比べて小さくなる。その結果、低抵抗部分7の直下に位置するチャネル2の領域は、高抵抗部分8の直下に位置するチャネル2の領域と比較して、温度上昇が抑制される。つまり、チャネル2での上述した温度分布に応じて、発熱体6に電気抵抗率の異なる部分を形成することにより、チャネル2の内部における温度の均一性を高めることができ、チャネル2の中央部に配置された基板1の表面を均熱化することができる。
好ましくは、図3および図4を参照して、発熱体6の低抵抗部分7と高抵抗部分8とは、チャネル2が延びる方向に並んで形成される。より具体的には、チャネル2の延びる方向において、チャネル2の中央部に対応する位置に低抵抗部分7が配置され、当該低抵抗部分7をチャネル2の延びる方向において挟むように、2つの高抵抗部分8が配置されている。これにより、上述したように、チャネル2が延びる方向におけるチャネル2の中央部の温度を低下させることができる。そのため、チャネル2の該中央部が最高温度を示す温度分布が発生する場合には、当該温度分布における最高温度を低減し、結果的に当該温度分布を平準化することができる。
このとき、発熱体6に形成した低抵抗部分7と高抵抗部分8の大きさ、位置および個数は、上述したチャネル2内部の温度分布を減少可能な任意の構成とすればよい。例えば、図3および図4を参照して、チャネル2の上部および下部に位置する発熱体6のいずれにも低抵抗部分7と高抵抗部分8とを設けてもよい。
発熱体6は、上述のように、チャネル2に近接した(つまりチャネル2の壁を形成する平板状の)チャネル近接部6aと、当該チャネル近接部6aに接続されるとともに、誘導加熱用コイル3に近接した(誘導加熱用コイル3の内周に沿った曲面状の)コイル近接部6bとにより構成される。チャネル近接部6aとコイル近接部6bとに囲まれた部分には中空部6cが形成される。
コイル近接部6bは、誘導加熱用コイル3の形状に沿って配置されるため、チャネル近接部6aと比較して、貫通する磁束密度が大きく、大きな誘導電流を流すことができる。さらに、コイル近接部6bとチャネル近接部6aとの間を中空部6cとすることによって、コイル近接部6bで生じた誘導電流はチャネル近接部6aにも流れるため、チャネル近接部6aにおいて生じるジュール熱を増大させることができる。このとき、発熱体6における低抵抗部分7と高抵抗部分8とは、それぞれチャネル近接部6aとコイル近接部6bとを有するように構成されてもよい。また、少なくともコイル近接部6bに低抵抗部分7と高抵抗部分8とを設けてもよいし、あるいは少なくともチャネル近接部6aに低抵抗部分7と高抵抗部分8とを設けてもよい。
そして、図3などに示すようにコイル近接部6bおよび/またはチャネル近接部6aに低抵抗部分7と高抵抗部分8とが形成された場合には、チャネル2の延びる方向において発熱体6に均等に発生した誘導電流に対して、低抵抗部分7の発熱量は高抵抗部分8の発熱量より小さくなる。よって、チャネル2での上述した温度分布に応じて、発熱体6に低抵抗部分7と高抵抗部分8とを設けることにより、チャネル2の内部における温度の均一性を高めることができる。この結果、チャネル2の中央部に配置された基板1の表面を均熱化することができる。
以上のように、本実施の形態に係る半導体製造装置100は、炭素を含む発熱体6に、炭素の密度の高低により低抵抗部分7と高抵抗部分8とを、チャネル2内の温度分布に応じて設けることによって、チャネル2内の温度分布を低減し、チャネル2内の基板1の表面を均熱化することができる。
次に、図1〜図5を参照して、本実施の形態の半導体製造方法について説明する。本実施の形態に係る半導体製造方法は、図1〜図4に示した本発明による半導体製造装置100を用いた半導体製造方法であって、図5に示すように基板1を準備する工程(S01)と、基板1をチャネル2内に配置する工程(S02)と、発熱体6を誘導加熱用コイル3により加熱することによって、基板1を加熱する工程(S03)とを備える。
基板1を準備する工程(S01)では、任意の基板1を準備すればよい。例えば、炭化珪素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)等からなる基板、あるいは表面にSiCやGaNなどの化合物半導体層、あるいは他の材料層を形成するための基板を準備する。
次に、基板1をチャネル2内に配置する工程(S02)では、基板1をチャネル2内部の基板保持部に配置する。配置する手段は基板1を搬送可能な任意の手段を用いることができる。
発熱体6を誘導加熱用コイル3により加熱することによって、基板1を加熱する工程(S03)では、誘導加熱用コイル3に所定の交流電流を流すことにより誘導加熱された発熱体6がチャネル2を上下から加熱する。この結果、チャネル2内に保持された基板1が所定の温度に加熱される。このとき、上述した半導体製造装置100を用いているため、チャネル2の延在方向における温度分布を小さくできるので、結果的にチャネル2の中央部に配置された基板1の表面上を均熱化することができる。
(実施の形態2)
次に、図6を参照して、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態に係る半導体製造装置および半導体製造方法は、基本的には実施の形態1と同様の構成を備えるが、発熱体6の電気抵抗率の異なる複数の部分の構造が実施の形態1における半導体製造装置100と異なっている。本実施の形態2においては、発熱体6の低抵抗部分7および高抵抗部分8を構成する発熱体の本体部分(コイル近接部6bを構成する壁部分)の材料は同一だが、高抵抗部分8では、その表面に、発熱体6よりも高抵抗の薄膜9が被覆されることにより、電気抵抗率を高めている。なお、図6は、発熱体6のコイル近接部6bにおける、チャネル2の延在方向の中央部近傍の断面模式図であり、図4における線分VIで囲まれた領域に相当する。
次に、図6を参照して、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態に係る半導体製造装置および半導体製造方法は、基本的には実施の形態1と同様の構成を備えるが、発熱体6の電気抵抗率の異なる複数の部分の構造が実施の形態1における半導体製造装置100と異なっている。本実施の形態2においては、発熱体6の低抵抗部分7および高抵抗部分8を構成する発熱体の本体部分(コイル近接部6bを構成する壁部分)の材料は同一だが、高抵抗部分8では、その表面に、発熱体6よりも高抵抗の薄膜9が被覆されることにより、電気抵抗率を高めている。なお、図6は、発熱体6のコイル近接部6bにおける、チャネル2の延在方向の中央部近傍の断面模式図であり、図4における線分VIで囲まれた領域に相当する。
薄膜9の材料としては、発熱体6よりも電気抵抗率の高い任意の材料を用いることができる。例えば、炭化珪素(SiC)や炭素を薄膜9の材料としてもよい。このとき、薄膜9の厚みは、必要とされる所定の電気抵抗率と薄膜9の材料とによって任意に決めることができる。
このような薄膜9を、発熱体6のチャネル近接部6aおよびコイル近接部6bの任意の位置に形成することで、発熱体6での発熱量を局所的に調整できる。例えば、図6に示すようにコイル近接部6bの外周側(断熱材5(図2参照)と対向する外周表面側)の任意の位置に薄膜9を形成してもよい。あるいは、チャネル近接部6aおよびコイル近接部6bの中空部6c側の任意の位置に、薄膜9を形成してもよい。この結果、発熱体6に含まれる炭素の密度を調整して低抵抗部分7と高抵抗部分8とを形成する場合と同様の効果を得ることができる。
好ましくは、低抵抗部分7と高抵抗部分8とは、チャネル2の延びる方向に並んで配置されるように、つまりチャネル2の延びる方向における発熱体6の両端部の表面に薄膜9が形成され、当該方向での発熱体6の中央部には薄膜9は形成されない。これにより、チャネル2が延びる方向におけるチャネル2の中央部以外の温度を上昇させることができる。そのため、薄膜9が形成されない構成ではチャネル2の該中央部が最高温度を示す温度分布が発生する場合には、当該温度分布におけるチャネル2の延びる方向での端部での温度が上昇し、結果的に当該温度分布を平準化することができる。
上述した構成では、高抵抗部分8の表面に、発熱体6と比べて高抵抗の薄膜9を形成することにより、発熱体6に電気抵抗率の異なる複数の部分(高抵抗部分8および低抵抗部分7)を形成した。一方、図7を参照して、低抵抗部分7となるべき部分(チャネル2の延びる方向での発熱体6の中央部に位置する領域)の表面に、発熱体6と比べて低抵抗の薄膜10を形成することにより、発熱体6において電気抵抗率の異なる複数の部分を形成してもよい。薄膜10の材料としては、発熱体6よりも電気抵抗率の低い任意の材料を用いることができる。このとき、薄膜10の厚みは、必要とされる所定の電気抵抗率と薄膜10の材料とによって任意に決めることができる。
さらに、図8を参照して、薄膜9と薄膜10とにより、発熱体6に電気抵抗率の異なる複数の部分を形成してもよい。このとき、薄膜9と薄膜10とは、相対的に電気抵抗率の異なる任意の材料を用いることができる。さらに、それぞれ任意の膜厚で構成してもよい。これにより、薄膜9および薄膜10の構成によって
低抵抗部分7と高抵抗部分8のそれぞれの電気抵抗率を設定できる自由度を、図6や図7に示した構成における当該自由度より大きくできるその結果、チャネル2内のより複雑な温度分布にも対応できる。
低抵抗部分7と高抵抗部分8のそれぞれの電気抵抗率を設定できる自由度を、図6や図7に示した構成における当該自由度より大きくできるその結果、チャネル2内のより複雑な温度分布にも対応できる。
図8の例では、薄膜9と薄膜10とをそれぞれ単層として発熱体6の表面に形成し、高抵抗部分8と低抵抗部分7を構成している。この場合、発熱体6に電気抵抗率の異なる複数の部分を形成するには、一方の薄膜を発熱体6の表面に被覆させた後、他方の薄膜を形成する部分について上記一方の薄膜をエッチングなどにより除去してから、他方の薄膜を部分的に形成する必要がある。図8の変形例として、例えば、低抵抗部分7において、薄膜10の上に薄膜9が積層していてもよい。この場合には、薄膜10を発熱体6の表面に部分的に形成した後、薄膜9を発熱体6の表面全体に亘って形成することができる。そのため、発熱体6に電気抵抗率の異なる複数の部分を容易に形成することができる。また、先に薄膜9を所定の平面形状に形成した後、発熱体6の全体を覆うように薄膜10を形成してもよい。
なお、電気抵抗率の異なるさらに複数の薄膜を発熱体6の表面に形成することにより、電気抵抗率の異なる複数の部分を形成してもよい。これにより、チャネル2内のより複雑な温度分布にも対応できる。
図6〜図8に示したいずれの場合にも、チャネル2の延びる方向において、たとえばチャネル2の中央部が最高温となる温度分布がある場合に、チャネル2内の温度分布を抑制し、基板表面上を均熱化することができる。また、その他の温度分布に対しても、高抵抗部分8と低抵抗部分7との配置や形状、サイズを調整することで、基板1表面を均熱化することができる。
なお、チャネルの延びる方向に対して交差する方向である横方向においても、発熱体6の電気抵抗率の異なる複数の部分を並べてもよい。これにより、チャネル2における横方向の温度分布に対しても、温度分布を低減することができる。
また、図6〜図8に示した例では、発熱体6のコイル近接部6bに薄膜9や薄膜10を形成したが、チャネル近接部6aにおいて同様に薄膜9や薄膜10を形成し、あるいはそれぞれの膜厚を変更してもよい。また、コイル近接部6bの内周側(チャネル近接部6aに対向する内周側)に薄膜9や薄膜10を形成してもよい。
また、図6〜図8で説明した半導体製造装置を用いた半導体製造方法は、基本的には図7に示した半導体製造方法と同様であり、図5で説明した半導体製造方法と同様の効果を得ることができる。
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 基板、2 チャネル、2a,2b 側壁部材、2e 延長部、3 誘導加熱用コイル、3a〜3c 第1〜第3のコイル部材、4 石英管、5 断熱材、6 発熱体、6a チャネル近接部、6b コイル近接部、6c 中空部、7 低抵抗部分、8 高抵抗部分、9,10 薄膜、100 半導体製造装置。
Claims (8)
- 基板を処理する半導体製造装置であって、
誘導加熱用コイルと、
前記誘導加熱用コイルにより加熱される発熱体と、
前記発熱体に沿って形成されたチャネルとを備え、
前記発熱体は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む、半導体製造装置。 - 前記発熱体は炭素を含み、
前記電気抵抗率の異なる複数の部分は、前記炭素の密度が互いに異なる、請求項1に記載の半導体製造装置。 - 前記発熱体は、表面を薄膜で被覆された被覆部分を含み、
前記電気抵抗率の異なる複数の部分のうちの1つは、前記被覆部分を含む、請求項1または請求項2に記載の半導体製造装置。 - 前記電気抵抗率の異なる複数の部分のうち、相対的に電気抵抗率の高い部分は、前記被覆部分である、請求項3に記載の半導体製造装置。
- 誘導加熱用コイルと、前記誘導加熱用コイルにより加熱される発熱体と、前記発熱体に沿って形成されたチャネルとを備え、前記発熱体は、電気抵抗率の異なる複数の部分を含む、半導体製造装置を用いた半導体製造方法であって、
基板を準備する工程と、
前記基板を前記チャネル内に配置する工程と、
前記発熱体を、前記誘導加熱用コイルにより加熱することで、前記チャネル内の前記基板を加熱する工程とを備える、半導体製造方法。 - 前記発熱体は炭素を含み、
前記電気抵抗率の異なる複数の部分は、前記炭素の密度が互いに異なる、請求項5に記載の半導体製造方法。 - 前記発熱体は、表面を薄膜で被覆された被覆部分と、表面を薄膜で被覆されていない露出部分とを含み、
前記電気抵抗率の異なる複数の部分は、前記被覆部分と前記露出部分とを含む、請求項5または請求項6に記載の半導体製造方法。 - 前記電気抵抗率の異なる複数の部分のうち、相対的に電気抵抗率の高い部分は、前記被覆部分である、請求項7に記載の半導体製造方法。
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JP2012155369A JP2014017439A (ja) | 2012-07-11 | 2012-07-11 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
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US9957641B2 (en) | 2014-08-01 | 2018-05-01 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Epitaxial wafer and method for manufacturing same |
US10612160B2 (en) | 2014-08-01 | 2020-04-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Epitaxial wafer and method for manufacturing same |
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